CN110908248A - 光罩更换方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种光罩更换方法，应用于显示面板生产厂线，该方法包括：判断当前生产流程中预设卡匣内的显示面板对应的第一参数是否与先前生产流程中预设卡匣内的显示面板对应的第二参数相同；若不同，第一子控制系统发送第一询问命令至曝光机；曝光机接收第一询问命令，曝光机根据第一询问命令判断第一机台是否满足预设条件；若满足，发送第一更换命令至第一机台；第一机台接收第一更换命令，第一机台根据第一更换命令更换光罩。该方法可以自动更换光罩，在减少了人力成本的同时，提升了产能，并减少光罩上错风险。

Description

光罩更换方法

技术领域

本发明涉及显示面板生产技术领域，具体涉及一种光罩更换方法。

背景技术

在现有的显示面板彩膜产线的生产模式中，当产品换线需要更换光罩时，或者因Mura现象显示面板出现污染或光罩超过使用次数需要更换光罩时，操作人员需要在机台端手动选择更换光罩，以进行光罩更换。

更换光罩时需要操作人员到达对应的产线前进行更换，且由于产品切线后需要下首件确认，而手动换光罩时间较长，首件下片后需要等待首件片量测特性值完成后，才能将产品完全切换过来，导致产能损失；同时操作人员手动更换光罩也会出现光罩上错的风险。

发明内容

本发明实施例提供一种光罩更换方法，旨在解决现有技术下的光罩更换方法，更换时间长，需要进行首件片量测特性值，导致产能损失；同时操作人员手动更换光罩出现光罩上错的问题。

为解决上述问题，本申请提供一种光罩更换方法，应用于显示面板生产厂线，所述显示面板放置在预设卡匣中，所述显示面板生产厂线包括：

第一机台，所述第一机台包括曝光机；

总控制系统，所述总控制系统包括至少一第一子控制系统，所述第一子控制系统控制所述第一机台；其特征在于，所述光罩更换方法包括：

判断当前生产流程中所述预设卡匣内的显示面板对应的第一参数是否与先前生产流程中所述预设卡匣内的显示面板对应的第二参数相同；

若所述第一参数和所述第二参数不同，第一子控制系统发送第一询问命令至曝光机；

所述曝光机接收所述第一询问命令，所述曝光机根据所述第一询问命令判断第一机台是否满足预设条件；

若满足，发送第一更换命令至所述第一机台；

所述第一机台接收所述第一更换命令，所述第一机台根据所述第一更换命令更换所述光罩。

可选的，所述曝光机内放置有多个光罩，所述多个光罩的光罩参数均不相同，在所述发送第一更换命令至所述第一机台之前，所述方法还包括：

所述曝光机发送优先级请求命令至第一子控制系统；

所述第一子控制系统接收所述优先级请求命令，所述第一子控制系统根据所述优先级请求命令获取所述多个光罩的参数，并发送第二询问命令至所述总控制系统；

所述总控制系统接收所述第二询问命令，所述总控制系统根据所述第二询问命令获取预设的光罩优先级；

所述总控制系统发送所述光罩优先级至所述第一机台。

可选的，所述总控制系统发送所述光罩优先级至所述第一机台，包括：

所述总控制系统发送所述光罩优先级至所述第一子控制系统；

所述第一子控制系统发送所述光罩优先级至所述第一机台。

可选的，所述方法还包括：

所述第一子控制系统发送清线命令至所述第一机台；

所述第一机台接收所述清线命令，所述第一机台根据所述清线命令判断所述机台中是否存在与所述第一显示面板不同的显示面板；

若存在，所述卡匣暂停向所述第一机台投放所述第一显示面板。

可选的，所述曝光机根据所述第一询问命令判断第一机台是否满足预设条件，包括：

所述曝光机根据所述第一询问命令判断第一机台是否满足预设条件；

若满足，所述曝光机发送确认命令至所述第一子控制系统；

若不满足，所述曝光机发送与所述预设条件对应的错误信息。

可选的，所述曝光机根据所述询问命令判断第一机台和所述曝光机是否满足预设条件，包括：

判断所述第一参数与所述第一机台的机台参数是否相同；

判断所述曝光机是否处于正常状态；

判断所述曝光机是否同时接收到第一子控制系统的手动换线询问和自动换线询问；

判断所述光罩是否处于正常位置；

判断所述曝光机中存放所述光罩的多层储位是否满仓。

可选的，所述第一机台接收所述第一更换命令，所述第一机台根据所述第一更换命令更换所述光罩，包括：

所述第一机台接收所述第一更换命令，所述第一机台根据所述第一更换命令更换与所述第一参数对应的光罩参数；

所述第一机台根据所述光罩参数，更换与所述光罩参数对应的光罩。

可选的，在所述判断所述预设卡匣内的第一显示面板对应的第一参数是否与之前进行显示面板生产时预设卡匣内的第二显示面板对应的第二参数相同之后，所述方法还包括：

若所述第一参数和所述第二参数相同，第一子控制系统发送第三询问命令至所述曝光机；

所述曝光机接收所述第三询问命令，所述曝光机根据所述第三询问命令判断所述第一机台是否满足预设条件；

若满足，则按照预设的光罩参数更换所述光罩。

可选的，所述曝光机根据所述第三询问命令判断所述第一机台是否满足预设条件，包括：

所述曝光机根据所述第三询问命令判断所述第一机台是否满足预设条件；

若满足，则所述曝光机发送确认命令至所述第一子控制系统；

若不满足，所述曝光机发送与所述预设条件对应的错误信息。

可选的，所述若满足，则按照预设的光罩参数更换所述光罩，包括：

所述第一机台接收所述第二更换命令，所述第一机台根据所述第二更换命令，更换与所述预设的光罩参数对应的光罩。

有益效果：本发明实施例提供的光罩更换方法，通过控制系统检测需要制备的显示面板的参数与当前机台内的参数是否相同，若不同，则判断机台是否满足光罩更换条件，若满足，则控制系统根据预先设定的流程更换光罩。该方法可以自动更换光罩，在减少了人力成本的同时，提升了产能，并减少光罩上错的风险。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明提供的光罩更换方法的一个实施例流程示意图；

图2为本发明提供的根据更换命令更换光罩一实施例流程示意图；

图3为本发明提供的更换光罩时信息交换一实施例示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本申请中，“示例性”一词用来表示“用作例子、例证或说明”。本申请中被描述为“示例性”的任何实施例不一定被解释为比其它实施例更优选或更具优势。为了使本领域任何技术人员能够实现和使用本发明，给出了以下描述。在以下描述中，为了解释的目的而列出了细节。应当明白的是，本领域普通技术人员可以认识到，在不使用这些特定细节的情况下也可以实现本发明。在其它实例中，不会对公知的结构和过程进行详细阐述，以避免不必要的细节使本发明的描述变得晦涩。因此，本发明并非旨在限于所示的实施例，而是与符合本申请所公开的原理和特征的最广范围相一致。

本发明实施例提供一种光罩更换方法。以下进行详细说明。

在显示面板的制备过程中，显示面板需要在预设的显示面板生产厂线上，通过控制系统对生产厂线进行控制，对玻璃基板进行不同的操作，最终得到所需的显示面板。显示面板的生产厂线包括有多个机台，而不同的机台对显示面板进行不同的操作，包括阵列制程、彩膜制程、成盒制程和模组制程等。而在彩膜制程中，需要进行曝光显影等步骤，此时需要使用光罩，又称光掩膜版或掩膜版。

而当制备不同规格的显示面板时，或是当光罩产生污染或光罩超过使用次数时，需要更换显示面板生产厂线上的光罩，以进行后续的显示面板生产。

本发明提供一种光罩更换方法，该方法应用于显示面板生产厂线，其中当显示面板完成当前的制程后，都会存放在预设的卡匣中，传输到后续制程的产线上进行后续制程。该显示面板生产厂线包括：

第一机台，第一机台包括曝光机。

总控制系统，包括至少一第一子控制系统，第一子控制系统控制第一机台，总控制系统控制机台生产所需的显示面板。

在本发明的一些实施例中，总控制系统可以为制造执行系统(ManufacturingExecution Systems，MES)，制造执行系统传递信息使得从下单到完成品间的生产过程能够最佳化，通过实时数据库连接基本信息系统的理论数据和工厂的实际数据，并提供业务计划系统与制造控制系统之间的通信功能。

如图1所示，为本发明提供的光罩更换方法一实施例流程示意图，该光罩更换方法包括：

10、判断当前生产流程中预设卡匣内的显示面板对应的第一参数是否与先前生产流程中预设卡匣内的显示面板对应的第二参数相同。

11、若第一参数和第二参数不同，第一子控制系统发送第一询问命令至曝光机。

12、曝光机接收第一询问命令，曝光机根据第一询问命令判断第一机台是否满足预设条件。

13、若满足，发送第一更换命令至第一机台。

14、第一机台接收第一更换命令，第一机台根据第一更换命令更换光罩。

本发明提供的光罩更换方法，通过控制系统检测需要制备的显示面板的参数与当前机台内的参数是否相同，若不同，则判断机台是否满足光罩更换条件，若满足，则控制系统根据预先设定的流程更换光罩。该方法可以自动更换光罩，在减少了人力成本的同时，提升了产能，并减少光罩上错的风险。

具体的，在本发明的实施例中，在进行彩膜制程前的显示面板都放置在预设的卡匣中，进行彩膜制程的机台可以为第一机台，第一机台包括曝光机，控制第一机台的子控制系统可以为第一子控制系统。当存放显示面板的卡匣进入显示面板的生产厂线中，需要进行后续彩膜制程之前，第一子控制系统会控制第一机台将卡匣中的显示面板下载放置在生产厂线上，此时，若曝光机的自动换线程序开启，第一子控制系统会判断当前生产流程中卡匣内的第一显示面板对应的第一参数是否与先前生产流程中卡匣内的第二显示面板对应的第二参数是否相同。

在本发明实施例中，该第一参数和第二参数可以包括当前显示面板处于的机台位置，以及当前显示面板的规格参数等。由于不同的显示面板对应的制备过程不同，且显示面板的规格参数也不同，因此需要判断需要进行后续彩膜制程的第一显示面板是否处于正确的机台，且第一显示面板的规格参数是否为当前所需的规格参数。

若第一参数和第二参数不同，则第一子控制系统会发送第一询问命令至曝光机，判断是否需要进行产品换线，即是否需要更换光罩。

在本发明的实施例中，当曝光机接收到来自第一控制信号的第一询问命令后，会根据第一询问命令来判断第一机台是否满足预设的条件，是否可以进行产品换线。而当第一机台满足预设的条件，即第一机台可以进行产品换线时，曝光机会回复第一子控制系统可以进行产品换线，即可以更换光罩，而第一机台更换光罩。

在本发明的实施例中，当曝光机判断第一机台满足预设的条件，并回复第一子控制系统可以更换光罩后，该方法还可以包括：曝光机发送优先级请求命令至第一子控制系统，第一子控制系统控制第一机台；第一子控制系统接收优先级请求命令，第一子控制系统根据优先级请求命令获取多个光罩的参数，并发送第二询问命令至总控制系统；总控制系统接收第二询问命令，总控制系统根据第二询问命令获取预设的光罩优先级；总控制系统发送光罩优先级至第一机台。

具体的，当曝光机回复第一子控制系统可以更换光罩后，第一机台会更换光罩，由于光罩有多个，均放置在曝光机内存放光罩的多层储位中，且不同规格参数的显示面板对应不同的光罩，即不同的光罩的参数均不相同。若更换光罩，还需要将所需的光罩从曝光机中存放光罩的多层储位中挑选出来以便进行后续的显示面板制程。

当曝光机确认可以更换光罩后，曝光机会发送优先级请求命令至第一子控制系统，而第一子控制系统在接收到了优先级请求命令后，会根据优先级请求命令获取曝光机内所有光罩的光罩参数，同时第一子控制系统会发送第二询问命令至总控制系统。当总控制系统接收来自第一子控制系统的第二询问命令后，总控制系统会根据第二询问命令获取预设的光罩优先级。该光罩优先级为操作人员在总控制系统预设的优先级，总控制系统会获取光罩优先级，并根据光罩优先级将所需的光罩挑选出来，以便进行后续的显示面板制程。

而总控制系统获取光罩优先级后，会将所需的光罩挑选出来，并将该光罩对应的的光罩参数发送至第一子控制系统，第一子控制系统再将光罩参数发送至第一机台，第一机台根据获取到的光罩参数确定需要更换的光罩。

而在本发明的一些实施例中，当第一子控制系统发送光罩参数至第一机台的同时，第一子控制系统也会发送清线命令至生产厂线。该清线命令用于判断生产厂线中是否存在有不同于第一显示面板的其他显示面板，即第一子控制系统监控其他机台上正在生产的显示面板数量和位置，直到没有不同于第一显示面板的其他显示面板被送往曝光机，避免前次生产的不同显示面板仍在曝光机前的机台进行显示面板制程，此时更换光罩会影响这些显示面板的后续制程。

若还存在不同于第一显示面板的其他显示面板存在于生产厂线上，则向第一机台投放第一显示面板的卡匣会暂停，不向生产厂线投放第一显示面板，直至生产厂线上没有其他显示面板，即清线完成。当清线完成后，会继续向第一机台投放第一显示面板。

在本发明的一些实施例中，曝光机根据第一询问命令判断第一机台是否满足预设条件可以包括：曝光机根据第一询问命令判断第一机台是否满足预设条件；若满足，则曝光机发送确认命令至第一子控制系统；若不满足，则曝光机发送与预设条件对应的错误信息至第一子控制系统。

在上述实施例的基础上，当曝光机发送与预设条件对应的错误信息至第一子控制系统后，第一子控制系统根据错误信息判断曝光机的错误状态，并显示在操作界面上，使得操作人员可以根据显示的信息调整曝光机，使得曝光机恢复正常。

具体的，在本发明的一些实施例中，曝光机根据第一询问命令判断第一机台是否满足预设条件可以包括：判断第一显示面板对应的第一参数与第一机台当前使用的参数是否相同，若不同，曝光机会回复与之对应的错误信息至第一子控制系统，而第一子控制系统接收到错误信息后，根据错误信息更新第一机台使用的参数，使得第一机台使用的参数与第一参数对应。

在本发明的一些实施例中，曝光机根据第一询问命令判断第一机台是否满足预设条件还可以包括：

判断曝光机的自动换线是否开启，若开启，则说明第一机台和第一子控制系统支持自动换线的整个计算机逻辑。

判断曝光机是否开启，是否处于可使用状态。

判断曝光机是否出现错误，或曝光机内部软体出现超时导致无法正常回复第一子控制系统的情况。

判断曝光机是否处于正在搬送光罩的状态。

判断曝光机是否同时接收到第一子控制系统发出的手动换线询问和自动产品换线询问。

判断需要更换的光罩是否位于曝光机内存放光罩的多层储位中。

判断曝光机内存放光罩的多层储位是否已经满仓。

当曝光机依次确认是否满足上述预设条件后，若满足，则发送确认命令至第一子控制系统，确定可以更换光罩。若上述预设条件任意一条不满足，则曝光机发送与不满足的预设条件对应的错误信息至第一子控制系统，而第一子控制系统会根据错误信息调整曝光机，使得曝光机恢复正常。

具体的，在本发明的实施例中，当曝光机的自动换线未开启，则曝光机会回复与之对应的错误信息至第一子控制系统，该错误信息可以为：NG_ModeDisable。当曝光机未开启，则曝光机会回复与之对应的错误信息至第一子控制系统，该错误信息可以为：NG_AutoNot Execute。当曝光机出现错误或软体异常未能回复第一子控制系统时，则曝光机会回复与之对应的错误信息至第一子控制系统，该错误信息可以为：NG_Sequence Time-out。

当曝光机没有处于搬送光罩状态时，则曝光机会回复与之对应的错误信息至第一子控制系统，该错误信息可以为：NG_Mask Carry Executing。当曝光机同时接收到第一子控制系统发出的手动换线询问和自动产品换线询问，则曝光机会回复与之对应的错误信息至第一子控制系统，该错误信息可以为：NG_Duplication Command。当曝光机中需要更换的光罩没有位于曝光机内存放光罩的多层储位中，则曝光机会回复与之对应的错误信息至第一子控制系统，该错误信息可以为：NG_Mask Not Ready。当曝光机内存放光罩的多层储位已经满仓，则曝光机会回复与之对应的错误信息至第一子控制系统，该错误信息可以为：NG_Stock Full。

在本发明的一些实施例中，如图2所示，为本发明提供的根据更换命令更换光罩一实施例流程示意图，当曝光机确认可以更换光罩，同时第一机台接收到第一更换命令，第一机台根据第一更换命令更换光罩，该方法包括：

20、第一机台接收第一更换命令，第一机台根据第一更换命令更换与第一参数对应的光罩参数。

21、第一机台根据光罩参数，更换与光罩参数对应的光罩。

具体的，当第一机台接收到第一更换命令后，第一机台中的曝光机暂停第一机台，同时第一机台将原本的光罩参数更新至与第一参数对应的光罩参数，同时第一机台根据第光罩参数，更换与光罩参数对应的光罩。同时第一机台在更换了光罩后，自动开启生产厂线，进行后续的面板制程。

上述光罩更换方法的实施例描述的是当生产厂线上的显示面板产品发生更换时，自动触发光罩更换，因此需要向MES系统询问与当前显示面板产品匹配的光罩。而在另一些由于光罩污染出现缺陷或光罩使用次数过多需要清洗而更换光罩的情况下，只需操作人员直接指定光罩进行更换，而不需要询问光罩的优先级。

具体的，在本发明的一些实施例中，在判断预设卡匣内的第一显示面板对应的第一参数是否与之前进行显示面板生产时预设卡匣内的第二显示面板对应的第二参数相同之后，该方法还包括：

若第一参数和第二参数相同，第一子控制系统发送第三询问命令至曝光机；曝光机接收第三询问命令，曝光机根据第三询问命令判断第一机台是否满足预设条件；若满足，则按照预设的光罩参数更换光罩。

具体的，当在光罩污染出现缺陷或光罩使用次数过多需要清洗而更换光罩的情况下，需要更换光罩时，操作人员在第一子控制系统设定好需要更换的光罩或光罩的参数，不需要进行光罩优先级的判断。由于没有进行显示面板产品的更换，所以第一参数和第二参数相同，此时第一控制系统发送第三询问命令至曝光机，曝光机根据第三询问命令判断第一机台是否满足预设条件。若第一机台满足预设条件，则曝光机发送确认命令至第一子控制系统，第一子控制系统接收到确认命令后，确认可以进行光罩更换。若第一机台不满足预设条件，则曝光机发送与预设条件对应的错误信息至第一子控制系统，第一子控制系统根据错误信息调整曝光机，以便曝光机处于正常状态。

需要说明的是，在上述实施例中，预设条件以及预设条件对应的错误信息可以参考前述关于预设条件以及错误信息的实施例的描述，此处不再赘述。

在本发明的实施例中，若第一机台满足预设条件，则曝光机发送确认命令至第一子控制系统，第一子控制系统接收到确认命令后，确认可以进行光罩更换。而第一子控制系统发送第二更换命令至第一机台，使得第一机台更换光罩。

具体的，第一机台接收第二更换命令，第一机台根据第二更换命令，更换与预设的光罩参数对应的光罩。

如图3所示，为本发明提供的更换光罩时信息交换一实施例示意图，该图包括总控制系统，第一子控制系统以及第一机台。当第一机台中的曝光机自动更换光罩状态(MaskAuto Change Mode)在可以/不可以(Enable/Disable)之间进行切换时，需要将该切换动作告诉第一子控制系统及总控制系统，因为曝光机在可以更换光罩状态和不可以更换光罩状态下的跑货逻辑不同，并非在任何时候产线的更换光罩状态都允许切换。因此，总控制系统会回复是否允许切换，并将VALIRESULT作为结果回复第一子控制系统，第一子控制系统进而回复曝光机。

在上述实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详述的部分，可以参见上文针对其他实施例的详细描述，此处不再赘述。

具体实施时，以上各个单元或结构可以作为独立的实体来实现，也可以进行任意组合，作为同一或若干个实体来实现，以上各个单元或结构的具体实施可参见前面的方法实施例，在此不再赘述。

以上对本发明实施例所提供的一种光罩更换方法进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。

Claims (10)

1.一种光罩更换方法，应用于显示面板生产厂线，所述显示面板放置在预设卡匣中，所述显示面板生产厂线包括：

第一机台，所述第一机台包括曝光机；

总控制系统，所述总控制系统包括至少一第一子控制系统，所述第一子控制系统控制所述第一机台；其特征在于，所述光罩更换方法包括：

判断当前生产流程中所述预设卡匣内的显示面板对应的第一参数是否与先前生产流程中所述预设卡匣内的显示面板对应的第二参数相同；

若所述第一参数和所述第二参数不同，第一子控制系统发送第一询问命令至曝光机；

所述曝光机接收所述第一询问命令，所述曝光机根据所述第一询问命令判断第一机台是否满足预设条件；

若满足，发送第一更换命令至所述第一机台；

所述第一机台接收所述第一更换命令，所述第一机台根据所述第一更换命令更换所述光罩。

2.根据权利要求1所述的光罩更换方法，其特征在于，所述曝光机内放置有多个光罩，所述多个光罩的光罩参数均不相同，在所述发送第一更换命令至所述第一机台之前，所述方法还包括：

所述曝光机发送优先级请求命令至第一子控制系统；

所述第一子控制系统接收所述优先级请求命令，所述第一子控制系统根据所述优先级请求命令获取所述多个光罩的参数，并发送第二询问命令至所述总控制系统；

所述总控制系统接收所述第二询问命令，所述总控制系统根据所述第二询问命令获取预设的光罩优先级；

所述总控制系统发送所述光罩优先级至所述第一机台。

3.根据权利要求2所述的光罩更换方法，其特征在于，所述总控制系统发送所述光罩优先级至所述第一机台，包括：

所述总控制系统发送所述光罩优先级至所述第一子控制系统；

所述第一子控制系统发送所述光罩优先级至所述第一机台。

4.根据权利要求3所述的光罩更换方法，其特征在于，所述方法还包括：

所述第一子控制系统发送清线命令至所述第一机台；

所述第一机台接收所述清线命令，所述第一机台根据所述清线命令判断所述机台中是否存在与所述第一显示面板不同的显示面板；

若存在，所述卡匣暂停向所述第一机台投放所述第一显示面板。

5.根据权利要求1所述的光罩更换方法，其特征在于，所述曝光机根据所述第一询问命令判断第一机台是否满足预设条件，包括：

所述曝光机根据所述第一询问命令判断第一机台是否满足预设条件；

若满足，所述曝光机发送确认命令至所述第一子控制系统；

若不满足，所述曝光机发送与所述预设条件对应的错误信息。

6.根据权利要求5所述的光罩更换方法，其特征在于，所述曝光机根据所述询问命令判断第一机台否满足预设条件，包括：

判断所述第一参数与所述第一机台的机台参数是否相同；

判断所述曝光机是否处于正常状态；

判断所述曝光机是否同时接收到第一子控制系统的手动换线询问和自动换线询问；

判断所述光罩是否处于正常位置；

判断所述曝光机中存放所述光罩的多层储位是否满仓。

7.根据权利要求1所述的光罩更换方法，其特征在于，所述第一机台接收所述第一更换命令，所述第一机台根据所述第一更换命令更换所述光罩，包括：

所述第一机台接收所述第一更换命令，所述第一机台根据所述第一更换命令更换与所述第一参数对应的光罩参数；

所述第一机台根据所述光罩参数，更换与所述光罩参数对应的光罩。

8.根据权利要求1所述的光罩更换方法，其特征在于，在所述判断所述预设卡匣内的第一显示面板对应的第一参数是否与之前进行显示面板生产时预设卡匣内的第二显示面板对应的第二参数相同之后，所述方法还包括：

若所述第一参数和所述第二参数相同，第一子控制系统发送第三询问命令至所述曝光机；

所述曝光机接收所述第三询问命令，所述曝光机根据所述第三询问命令判断所述第一机台是否满足预设条件；

若满足，则按照预设的光罩参数更换所述光罩。

9.根据权利要求8所述的光罩更换方法，其特征在于，所述曝光机根据所述第三询问命令判断所述第一机台是否满足预设条件，包括：

所述曝光机根据所述第三询问命令判断所述第一机台是否满足预设条件；

若满足，则所述曝光机发送确认命令至所述第一子控制系统；

若不满足，所述曝光机发送与所述预设条件对应的错误信息。

10.根据权利要求8所述的光罩更换方法，其特征在于，所述若满足，则按照预设的光罩参数更换所述光罩，包括：

所述第一机台接收所述第二更换命令，所述第一机台根据所述第二更换命令，更换与所述预设的光罩参数对应的光罩。

Images