CN116256662A - 一种用于半导体装置的性能检测装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种用于半导体装置的性能检测装置，属于半导体器件性能检测技术领域，该用于半导体装置的性能检测装置，包括检测机构，检测机构包括安装架，安装架上设置有对称分布的横向定位件，横向定位件上均对称且转动设置有圆柱状的纵向定位件。该用于半导体装置的性能检测装置，通过横向定位件以及在横向定位件上对称设置圆柱状的纵向定位件快速的对电源进行定位并完成电源与连接端的连接，且在定位连接的过程中，纵向定位件始终在电源与连接端连接之前先对电源进行定位并可以自动的对电源的位置状态进行调整，使后续电源与连接端可以快速顺利的连接在一起，有效提高了电源批量检测的效率以及检测过程的稳定性和顺利度。

Description

一种用于半导体装置的性能检测装置

技术领域

本发明涉及半导体器件性能检测技术领域，具体为一种用于半导体装置的性能检测装置。

背景技术

半导体激光器是一种转换效率高、易于控制光电转换的器件，被广泛用于通讯医疗、国防军工等领域，其内的驱动电源是半导体激光器的核心组成部分，驱动电源性能的好坏直接影响着半导体激光器输出光功率的稳定性、激光质量以及激光器的使用寿命，因此，在半导体激光器电源批量化生产出来之后，会对电源的导电性能进行检测以剔除不合格的电源产品，而电源导电性能检测的方法主要会通过观察电源驱动下激光头的发射状态以及发出的激光的状态来判断。

现有的半导体激光器根据结构划分主要有两种，一种是驱动电源与激光头固定设置在一起的一体式半导体激光器，另外一种则是驱动电源与激光头独立分开的分体式激光器，在进行性能检测的过程中，前者只需要直接启动电源，即可进行测试，而后者则需要先接入激光头，然后才能进行检测。

目前，针对分体式半导体激光器性能的检测效率还有待提高，尤其是批量检测的效率，在检测的过程中，需要人工或者机械将半导体激光器的电源与激光头连接在一起，前者效率较低，而后者受到连接精度的影响，会降低连接的速度，进而降低了检测的效率。

发明内容

本发明提供用于半导体装置的性能检测装置，以解决相关技术中分体式半导体激光器性能检测效率低的问题。

本发明提供了一种用于半导体装置的性能检测装置，该用于半导体装置的性能检测装置，包括输送机构、检测机构，输送机构用于将电源以水平放置的状态送至检测工位，检测机构位于检测工位，且检测机构包括安装架，安装架上设置有对称分布的横向定位件，其中一个横向定位件上设置有连接端，连接端通过导线连接有激光头，激光头设置在安装架上，横向定位件上均对称且转动设置有圆柱状的纵向定位件，纵向定位件位于当前横向定位件靠近另一个横向定位件的一侧，在检测的过程中，当电源位于检测工位后，横向定位件分别从电源的两侧向电源所在移动直至连接端与电源连接，在此期间，纵向定位件同步随着横向定位件移动且纵向定位件始终在连接端与电源连接之前先行从电源的另外两侧对电源进行定位。

在一种可能实施的方式中，设置有连接端的所述横向定位件上弹性滑动连接有带接触面的定位辅助件，接触面上设置有供连接端活动的通孔，在横向定位件分别从电源的两侧向电源的方向移动直至连接端与电源连接的过程中，接触面先与电源接触，之后，随着横向定位件之间间距的缩小，连接端穿过通孔与电源连接，而在完成测试后，随着横向定位件之间间距的增大，连接端先与电源断开，之后，随着间距的持续增大，接触面与电源分离。

在一种可能实施的方式中，所述检测机构还包括主动控制件，主动控制件与纵向定位件一一对应并在横向定位件移动的过程中控制纵向定位件转动，主动控制件包括相互啮合的齿轮和齿条，齿轮与纵向定位件同轴且固定连接，齿条设置在安装架上且在横向定位件移动的方向上处于限位的状态。

在一种可能实施的方式中，所述输送机构包括输送带和区域限位组件，区域限位组件位于检测工位处，区域限位组件包括若干沿着输送方向均匀且水平分布的转轴，若干转轴构成一个水平的承接面，承接面贴靠在检测工位处的输送带的下方。

在一种可能实施的方式中，所述横向定位件上设置有用于调节其上对称设置的纵向定位件间距的间距调节机构，间距调节机构包括双向螺纹杆，双向螺纹杆上对称设置有滑动块，转动双向螺纹杆通过滑动块带动纵向定位件同步反向滑动。

在一种可能实施的方式中，设置有连接端的所述横向定位件包括纵向滑动部分和横向调节部分，横向调节部分滑动连接在纵向滑动部分上，定位辅助件和连接端均连接在横向调节部分上。

在一种可能实施的方式中，所述横向定位件同步运动，且二者通过齿轮齿条组件连动。

本发明实施例中的上述一个或多个技术方案，至少具有如下技术效果之一：1、根据本发明实施例提供的一种用于半导体装置的性能检测装置，通过横向定位件以及在横向定位件上对称设置圆柱状的纵向定位件快速的对电源进行定位并完成电源与连接端的连接，且在定位连接的过程中，纵向定位件始终在电源与连接端连接之前先对电源进行定位并可以自动的对电源的位置状态进行调整，使后续电源与连接端可以快速顺利的连接在一起，有效提高了电源批量检测的效率以及检测过程的稳定性和顺利度，其次，结合定位辅助件对电源连接以及断开状态的控制，使电源在与连接端连接或者断开的过程中均先处于固定状态再进行连接或者断开，既提高了连接过程的稳定性和顺利度，又提高了断开过程的顺利度和稳定性，避免发生电源随着连接端移动而移动致使二者没能顺利分开的情况，同时便于后续检测过程顺利稳定性的进行。

2、根据本发明实施例提供的一种用于半导体装置的性能检测装置，通过通过主动控制件主动的控制纵向定位件转动，使纵向定位件快速顺利的对电源进行定位并自动的对电源位置状态进行调节，且整个过程无需增设驱动，整体结构也非常简单，具有较高的使用价值和经济价值，其次，在此基础上，可进一步通过提高横向定位件的滑动速度提高检测的效率。

3、根据本发明实施例提供的一种用于半导体装置的性能检测装置，通过输送带与区域限位组件的配合，在持续输送电源的过程中，为检测工位处的电源提供稳定的放置面，进一步提高电源放置位置的精度，便于检测过程快速顺利的进行。

4、根据本发明实施例提供的一种用于半导体装置的性能检测装置，通过间距调节机构对横向定位件上的纵向定位件之间的间距进行调节，使本发明在一定程度上可快速稳定的对不同尺寸的电源进行批量检测。

附图说明

图1是本发明实施例提供的一种用于半导体装置的性能检测装置的检测机构以及输送机构的结构示意图。

图2是本发明实施例提供的一种用于半导体装置的性能检测装置的输送结构以及局部的检测机构的结构示意图。

图3是本发明实施例提供的一种用于半导体装置的性能检测装置的主动控制件的俯视结构示意图。

图4是本发明实施例提供的一种用于半导体装置的性能检测装置的横向定位件与纵向定位件的结构示意图。

图5是本发明实施例提供的一种用于半导体装置的性能检测装置的纵向定位件对不同放置状态下的电源进行位置状态调节的过程示意图。

图中：1、输送机构；2、检测机构；3、间距调节机构；101、输送带；102、区域限位组件；201、安装架；202、横向定位件；203、纵向定位件；204、连接端；205、主动控制件；206、定位辅助件；301、双向螺纹杆；302、滑动块。

具体实施方式

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以很多不同于下面所描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似改进，因此本发明不受下面公开的具体实施方式的限制。

请参阅图1、图2、图4和图5，一种用于半导体装置的性能检测装置，包括输送机构1和检测机构2，如图1所示，输送机构1依次将水平放置的电源送至检测机构2进行检测，检测机构2所在的位置为检测工位，检测机构2包括安装架201，安装架201架设在输送机构1上，安装架201上前后对称分布有横向定位件202，后侧的横向定位件202上设置有连接端204，连接端204通过导线连接有激光头，激光头设置在安装架201上，横向定位件202上转动设置有圆柱状的纵向定位件203，如图4所示，纵向定位件203左右对称分布，且纵向定位件203位于当前横向定位件202靠近另一个横向定位件202的一侧，在检测的过程中，输送机构1将电源送至检测工位后停止输送，此时，电源位于对称的横向定位件202之间，然后同步的控制横向定位件202向电源移动直至连接端204与电源连接，在此过程中，纵向定位件203同步随着横向定位件202移动，且纵向定位件203始终在连接端204与电源连接之前先行从电源的左右两侧对电源进行定位，如图4所示，纵向定位件203共四个并形成四个限位点且均分在电源的左右两侧，圆柱状的结构使纵向定位件203在限位的同时会自动的对电源的位置状态进行调节，如图5所示，当检测工位上电源未能精准的处于预设位置上，出现偏左、偏右或者左右倾斜的情况时，在纵向定位件203随着横向定位件202移动的过程中，其圆柱状的结构会使电源发生相应的移动，逐渐的调节电源的位置直至其精准的处于预设的位置上，之后，随着横向定位件202的持续移动，连接端204会顺利的与电源连接，使激光头通电发出激光，通过对激光头的发射情况以及发出的激光的状态判断电源的导电性能，综上，本发明通过在横向定位件202上对称的设置圆柱状的纵向定位件203，在电源导线性能检测的过程中快速顺利的将电源与激光头连接在一起，有效提高了电源批量检测的效率。

参阅图2、图3和图4，基于上述方案，为了进一步提高电源与激光头连接的顺利度、稳定性以及批量检测过程中，二者连接与断开过程的顺利度，在设置有连接端204的横向定位件202上弹性滑动连接一个带接触面的定位辅助件206，定位辅助件206前后滑动连接在横向定位件202上且二者之间连接有弹性件，接触面上设置有供连接端204活动的通孔，在横向定位件202分别从电源的前后两侧向电源移动直至连接端204与电源连接的过程中，接触面先与电源接触，如图4中右侧的视图所示，随着横向定位件202之间间距的缩小，定位辅助件206压缩弹性件并将弹性形变的反作用力施加在电源上，结合另一个横向定位件202对电源的限制以及纵向定位件203对电源的限制，使电源在与连接端204连接之前，先处于固定放置的状态，进而便于后续快速稳定的完成电源与连接端204的连接，且在电源完成检测之后，随着横向定位件202的复位，连接端204先与电源断开，之后，定位辅助件206再与电源分离，在连接端204先与电源断开的过程中，电源相对处于固定放置的状态，便于连接端204快速顺利的断开和后续检测过程顺利稳定的进行，有效避免发生电源随着连接端204移动而移动至使二者没能顺利分开的情况。

参阅图2、图3和图4，检测机构2还包括主动控制件205，主动控制件205与纵向定位件203一一对应并在横向定位件202移动的过程中控制纵向定位件203转动，主动控制件205包括相互啮合的齿轮和齿条，齿轮与纵向定位件203同轴且通过连接轴固定连接在一起，与此同时，齿轮转动连接在滑动块302的顶部，如图4所示，在横向定位件202向电源移动的过程中，纵向定位件203在齿轮与齿条的作用下沿着箭头所示的方向转动，在纵向定位件203对电源进行限位且自动的对电源的位置状态进行调节的过程中，主动转动的纵向定位件203会进一步提高调节过程的便利度以及顺利度，在此基础上，可通过提高横向定位件202的滑动速度，进一步提高检测的效率，且纵向定位件203的转动无需增加驱动源，整体结构也非常简单。其次，在横向定位件202之间设置齿轮齿条组件，通过一个驱动即可控制横向定位件同步运动，如图3所示，齿轮齿条组件包括左侧的齿条一、中间齿轮和右侧的齿条二，齿条一和齿条二分别固定连接在两个横向定点件202上且滑动连接在安装架201上，中间齿轮转动连接在安装架201上且设置在齿条一和齿条二之间并分别与二者啮合，滑动其中任意一个横向定位件202即可同步的带动另一个横向定位件202同步反向滑动，不仅减少了驱动源的使用且整体结构简单。

参阅图1和图2，输送机构1包括输送带101和区域限位组件102，区域限位组件102位于检测工位处，区域限位组件102包括若干沿着输送方向均匀且水平分布的转轴，若干转轴构成一个水平的承接面，承接面贴靠在检测工位处的输送带101的下方，如图3所示，在持续输送的过程中，通过由转轴构成的承接面为电源提供稳定的放置面，进一步提高电源放置位置的精准度。

参阅图1和图2，横向定位件202上设置有用于调节其上对称设置的纵向定位件203间距的间距调节机构3，间距调节机构3包括双向螺纹杆301，双向螺纹杆301转动连接在横向定位件202上，且双向螺纹杆301上对称设置有滑动块302，滑动块302设置在横向定位件202与纵向定位件203之间，如图2所示滑动块302左右滑动连接在横向定位件202上，纵向定位件203转动连接在滑动块302上，主动控制件205内的齿轮转动连接在滑动块302的顶部且通过连接轴与纵向定位件203固定连接，齿条左右滑动连接在安装架201上，同时，如图2所示，齿条前后滑动连接在滑动块302上，在调节纵向定位件203间距的过程中，只需要转动双向螺纹杆301即可实现，如图2所示，转动双向螺纹杆301会使其上的滑动块302同步反向移动，进而控制相应纵向定位件203之间的间距，通过对纵向定位件203之间间距的控制，可对不同尺寸的电源进行定位，有效提高本发明的适用范围。

参阅图1和图4，设置有连接端204的横向定位件202包括纵向滑动部分和横向调节部分，横向调节部分滑动连接在纵向滑动部分上，定位辅助件206和连接端204均连接在横向调节部分上，如图4所示，横向调节部分上滑动连接有螺杆，螺杆固定连接在纵向滑动部分上，且螺杆上螺纹套设有螺纹套，螺纹套转动连接在横向调节部分上，转动螺纹套可带动横向调节部分左右移动，进而可对连接端204的位置进行调节，在一定程度上可根据电源连接处位置的不同对连接端204的位置进行调整。

在本发明实施例中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本发明的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“相连”、“安装”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接，或滑动连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

本具体实施方式的实施例均为本发明的较佳实施例，并非依此限制本发明的保护范围，故：凡依据本发明的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本发明的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种用于半导体装置的性能检测装置，其特征在于：包括输送机构（1），所述输送机构（1）用于将电源以水平放置的状态送至检测工位；

检测机构（2），所述检测机构（2）位于检测工位，且检测机构（2）包括安装架（201），安装架（201）上设置有对称分布的横向定位件（202），其中一个横向定位件（202）上设置有连接端（204），连接端（204）通过导线连接有激光头，激光头设置在安装架（201）上，横向定位件（202）上均对称且转动设置有圆柱状的纵向定位件（203），纵向定位件（203）位于当前横向定位件（202）靠近另一个横向定位件（202）的一侧；

在检测的过程中，当电源位于检测工位后，横向定位件（202）分别从电源的两侧向电源移动直至连接端（204）与电源连接，在此期间，纵向定位件（203）同步随着横向定位件（202）移动且纵向定位件（203）始终在连接端（204）与电源连接之前先行从电源的另外两侧对电源进行定位。

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体装置的性能检测装置，其特征在于：设置有连接端（204）的所述横向定位件（202）上弹性滑动连接有带接触面的定位辅助件（206），接触面上设置有供连接端（204）活动的通孔，在横向定位件（202）分别从电源的两侧向电源移动直至连接端（204）与电源连接的过程中，接触面先与电源接触，之后，随着横向定位件（202）之间间距的缩小，连接端（204）穿过通孔与电源连接，而在完成测试后，随着横向定位件（202）之间间距的增大，连接端（204）先与电源断开，之后，随着间距的持续增大，接触面与电源分离。

3.根据权利要求1所述的一种用于半导体装置的性能检测装置，其特征在于：所述检测机构（2）还包括主动控制件（205），主动控制件（205）与纵向定位件（203）一一对应并在横向定位件（202）移动的过程中控制纵向定位件（203）转动，主动控制件（205）包括相互啮合的齿轮和齿条，齿轮与纵向定位件（203）同轴且固定连接，齿条设置在安装架（201）上且在横向定位件（202）移动的方向上处于限位的状态。

4.根据权利要求1-3中任意一项所述的一种用于半导体装置的性能检测装置，其特征在于：所述输送机构（1）包括输送带（101）和区域限位组件（102），区域限位组件（102）位于检测工位处，区域限位组件（102）包括若干沿着输送方向均匀且水平分布的转轴，若干转轴构成一个水平的承接面，承接面贴靠在检测工位处的输送带（101）的下方。

5.根据权利要求1-3中任意一项所述的一种用于半导体装置的性能检测装置，其特征在于：所述横向定位件（202）上设置有用于调节其上对称设置的纵向定位件（203）间距的间距调节机构（3），间距调节机构（3）包括双向螺纹杆（301），双向螺纹杆（301）上对称设置有滑动块（302），转动双向螺纹杆（301）通过滑动块（302）带动纵向定位件（203）同步反向滑动。

6.根据权利要求2所述的一种用于半导体装置的性能检测装置，其特征在于：设置有连接端（204）的所述横向定位件（202）包括纵向滑动部分和横向调节部分，横向调节部分滑动连接在纵向滑动部分上，定位辅助件（206）和连接端（204）均连接在横向调节部分上。

7.根据权利要求5所述一种用于半导体装置的性能检测装置，其特征在于：所述横向定位件（202）同步运动，且二者通过齿轮齿条组件连动。

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