CN116157382A - 金属图案化用材料、胺化合物及电子设备、以及金属图案的形成方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种耐热性优异、抑制了金属薄膜向膜表面形成的金属图案化用材料、胺化合物、使用它们的金属图案的形成方法及电子设备。使用一种金属图案化用材料,其是在分子内具有芳环和/或杂芳环、氟原子和至少1个叔胺,芳环为选自由单芳环、联芳环、以及碳原子数为6以上且15以下的稠芳环组成的组中的至少1种,不具有碳原子数为16以上的稠芳环,形成芳环的碳原子数、以及形成杂芳环的碳原子数中,与氟原子直接结合的碳原子数的比例为10%以上,分子量为500以上且3000以下,玻璃化转变温度为60℃以上的化合物。
Description
技术领域
本公开涉及金属图案化用材料、胺化合物及电子设备、以及金属图案的形成方法。
背景技术
近年来,有机电致发光(EL)元件、有机薄膜太阳能电池、有机晶体管、有机传感器等有机电子器件被广泛开发。在有机电子器件中,使用金属薄膜作为电极,需要将金属薄膜图案化为期望的形状。
作为金属电极的图案化方法,已知有将抑制金属附着的金属图案化用材料作为基础层进行图案化成膜,从该基础层上气相沉积金属的方法。在该方法中,由于在未成膜金属图案化用材料的部分选择性地形成金属膜,因此能够形成图案化为期望的形状的金属电极。
作为金属图案化用材料,专利文献1公开了1,2-二芳族基团乙烯衍生物。根据专利文献1,使用1,2-二芳族基团乙烯衍生物的方法能够形成自由的形状且高精度的金属图案。
另外,作为金属图案化材料,非专利文献1公开了1H,1H,2H,2H-全氟辛基三氯硅烷(以下简称为FTS)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2007-188854号公报
非专利文献
非专利文献1:Materials Horizons,2020年,7卷,143页
发明内容
发明所要解决的技术问题
然而,在专利文献1涉及1,2-二芳族基团乙烯衍生物的情况下,金属对1,2-二芳族基团乙烯衍生物的附着性依赖于材料的玻璃化转变温度。因此,为了使用1,2-二芳族基团乙烯衍生物来抑制金属附着,需要使用低玻璃化转变温度的材料。然而,玻璃化转变温度低的材料由于有机材料薄膜的液状化或者结晶化的问题而无法在要求耐热性的用途中使用。
另外,非专利文献1涉及的FTS的沸点为80℃左右,玻璃化转变温度低。
因此,本公开的一个方式面向提供耐热性优异、抑制了在膜表面形成金属薄膜的金属图案化用材料、胺化合物、使用它们的金属图案化用薄膜、有机电致发光元件、金属图案的形成方法以及电子设备。
用于解决技术问题的手段
根据本公开的一个方式,提供一种金属图案化用材料,其包含化合物,上述化合物为在分子内具有芳环和/或杂芳环、氟原子和至少1个叔胺,芳环为选自由单芳环、联芳环、以及碳原子数为6以上且15以下的稠芳环组成的组中的至少1种,不具有碳原子数为16以上的稠芳环,形成芳环的碳原子数、以及形成杂芳环的碳原子数中与氟原子直接结合的碳原子数的比例为10%以上,分子量为500以上且3000以下,玻璃化转变温度为60℃以上。
根据本公开的其他方式,提供式(7)或者式(8)表示的胺化合物:
[化1]
[化2]
式中,Ar15~Ar20各自独立地表示任选被取代的碳原子数为6~25的单环、联环或稠环的芳族烃基、或者任选被取代的碳原子数为3~25的单环、联环或稠环的杂芳族基团;
L19~L28各自独立地表示任选被取代的碳原子数为6~25的单环、联环、或稠环的2价芳族烃基、任选被取代的碳原子数为3~25的单环、联环、或稠环的2价杂芳族基团、或者单键;
Y表示任选被取代的碳原子数为6~25的单环、联环、或稠环的2价至4价芳族烃基、任选被取代的碳原子数为3~25的单环、联环、或稠环的2价至4价杂芳族基团、任选被取代的碳原子数为1~10的直链、支链、或环状的2价至4价烷基、任选被取代的2价至4价的硅原子;
n表示1~18的整数;
g以及h各自独立地表示1或者2的整数;
i表示0或者1的整数。
根据本公开的其他方式,提供式(9)或式(10)表示的胺化合物:
[化3]
[化4]
式中,a7表示1或者2的整数;
a8表示0~2的整数;
a9表示0或者1的整数;
Alk表示任选被取代的碳原子数为3~25的环状烷基。
A15~A19各自独立地表示任选被取代的碳原子数为6~25的单环、联环、或稠环的芳族烃基、任选被取代的碳原子数为3~25的单环、联环、或稠环的杂芳族基团、或者任选被取代的碳原子数为3~25的环状烷基;
其中,在a9为0时,A16~A18中的至少1个各自独立地为任选被取代的碳原子数为3~25的环状烷基,在a9为1时,A16~A19中的至少1个各自独立地为任选被取代的碳原子数为3~25的环状烷基;
L119~L128各自独立地表示任选被取代的碳原子数为6~25的单环、联环、或稠环的2价芳族烃基、任选被取代的碳原子数为3~25的单环、联环、或稠环的2价杂芳族基团、或者单键;
D表示任选被取代的碳原子数为6~25的单环、联环、或稠环的1价至4价芳族烃基、任选被取代的碳原子数为3~25的单环、联环、或稠环的1价至4价杂芳族基团、任选被取代的碳原子数为1~10的直链、支链、或环状的1价至4价烷基、或者任选被取代的1价至4价的硅原子;
E1~E5各自独立地表示氟原子或者任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链或环状烷基。
根据本公开的其他方式,提供一种金属图案化用材料,其包含化合物,上述化合物为在分子内具有芳环和/或杂芳环和氟原子,形成芳环的碳原子数、以及形成杂芳环的碳原子数中,与氟原子直接结合的碳原子数的比例为10%以上,分子中的氟原子数相对于碳原子数的比例为50%以上,分子量为500以上且3000以下,玻璃化转变温度为60℃以上。
根据本公开的其他方式,提供一种金属图案化用薄膜,其包含金属图案化用材料,能够对金属膜或者金属层叠膜进行图案化,所述金属图案化用材料在分子内具有至少1个被氟原子取代的芳环和/或杂芳环,分子量为500以上且3000以下,玻璃化转变温度为60℃以上,所述金属膜或者金属层叠膜含有选自由镱、镁、银、铝、以及镁和银的合金组成的组中的至少1种。
根据本公开的其他方式,提供一种具备阴极的有机电致发光元件,其中,所述阴极含有选自由镱、镁、银、铝、以及镁和银的合金组成的组中的至少1种,并且用金属图案化用材料图案化而成,该金属图案化用材料在分子内具有至少1个被氟原子取代的芳环和/或杂芳环,分子量为500以上且3000以下,玻璃化转变温度为60℃以上。
根据本公开的其他方式,提供一种金属图案的形成方法,其包括:形成包含上述金属图案化用材料或上述胺化合物的有机材料图案;对上述有机材料图案的形成区域以及上述有机材料图案的未形成区域赋予金属材料,在该未形成区域形成金属图案。
根据本公开的其他方式,提供一种电子设备,其包含上述金属图案化用材料或者上述胺化合物。
发明效果
根据本公开的一个方式,能够提供耐热性优异、抑制了在膜表面形成金属薄膜的金属图案化用材料、胺化合物、使用它们的金属图案化用薄膜、有机电致发光元件、金属图案的形成方法以及电子设备。
附图说明
图1A示出化合物(A177)金属气相沉积前的透射率测定的结果的图。
图1B示出化合物(A177)金属气相沉积后的透射率测定的结果的图。
图2A示出化合物(A433)金属气相沉积前的透射率测定的结果的图。
图2B示出化合物(A433)金属气相沉积后的透射率测定的结果的图。
图3A示出化合物(X1)金属气相沉积前的透射率测定的结果的图。
图3B示出化合物(X1)金属气相沉积后的透射率测定的结果的图。
图4A示出化合物(X4)金属气相沉积前的透射率测定的结果的图。
图4B示出化合物(X4)金属气相沉积后的透射率测定的结果的图。
具体实施方式
以下,对本公开的一个方式的金属图案化用材料、胺化合物及电子设备、以及使用它们的金属图案化用薄膜、有机电致发光元件、金属图案的形成方法进行详细说明。
[第一方式:具有胺取代基的金属图案化用材料]
本公开的一个方式的金属图案化用材料包含化合物,所述化合物在分子内具有芳环和/或杂芳环、氟原子和至少1个叔胺,芳环选自由单芳环、联芳环以及碳原子数为6以上且15以下的稠芳环组成的组中的至少1种,不具有碳原子数为16以上的稠芳环,形成芳环的碳原子数、以及形成杂芳环的碳原子数中,与氟原子直接结合的碳原子数的比例为10%以上,分子量为500以上且3000以下,玻璃化转变温度为60℃以上。
即,上述化合物可以用作金属图案化用材料。
(芳环)
芳环选自由单芳环、联芳环、以及碳原子数为6~15的稠芳环组成的组中的至少1种。单芳环以及联芳环的碳原子数优选为6~25。稠芳环的碳原子数优选为6~14,进一步优选为6~13。
金属图案化用材料具有源自上述芳环的芳族基团。
作为源自芳环的上述芳族基团,可举出例如苯基、联苯基、三联苯基、萘基、芴基、螺二芴基、苯并芴基、二苯并芴基、菲基、荧蒽基、及蒽基、以及在这些基团上稠合选自由苯、萘及菲组成的组中的1种以上而成的基团等。
(杂芳环)
作为杂芳环,优选为碳原子数为3~25的单环杂芳环、联环杂芳环、或稠环的杂芳环。
金属图案化用材料具有源自上述杂芳环的杂芳族基团。
作为源自杂芳环的上述杂芳族基团,可举出例如吡咯基、噻吩基、呋喃基、咪唑基、噻唑基、异噻唑基、恶唑基、异恶唑基、吡啶基、吡嗪基、吲哚基、苯并噻吩基、苯并呋喃基、苯并咪唑基、吲唑基、苯并噻唑基、苯并异噻唑基、2,1,3-苯并噻二唑基、苯并恶唑基、苯并异恶唑基、2,1,3-苯并恶二唑基、喹啉基、异喹啉基、咔唑基、二苯并噻吩基、二苯并呋喃基、吩恶嗪基、吩噻嗪基、吩嗪基、及噻蒽基、以及在这些基团上稠合选自由苯、萘及菲组成的组中的1种以上而成的基团等。
金属图案化用材料不具有碳原子数为16以上的稠芳环。在金属图案化用材料具有这样的稠芳环的情况下,无法有效地抑制在膜表面形成金属膜。作为源自碳原子数为16以上的稠芳环的基团,可举出例如、三亚苯基、芘基、并四苯基、基(Chrysenyl group)、苝基、并五苯基(pentacenyl group)等。
(叔胺)
作为与形成叔胺的氮原子结合的取代基,可以是脂肪族烃基、芳族基团、或杂芳族基团中的任一种。从能够有效地抑制在膜表面形成金属膜的观点出发,这些取代基中,优选芳族基团以及杂芳族基团。作为叔胺,更优选上述芳族基团以及杂芳族基团中的任1个与氮原子的3根结合键结合的芳叔胺。
芳族基团以及杂芳族基团与上述(芳环)以及(杂芳环)所示的芳族基团以及杂芳族基团同义。
(氟原子的含量)
金属图案化用材料能够抑制在膜表面形成金属膜,因此形成芳环的碳原子数、以及形成杂芳环的碳原子数中与氟原子直接结合的碳原子数的比例为10%以上。该比例依次更优选为15%以上、20%以上、25%以上、30%以上、35%以上、40%以上。
(玻璃化转变温度)
金属图案化用材料即使在高温条件下也能够维持稳定的薄膜,因此玻璃化转变温度为60℃以上。玻璃化转变温度更优选为65℃以上、70℃以上、75℃以上、80℃以上、85℃以上、90℃以上、95℃以上、100℃以上。
(分子量)
金属图案化材料在形成该薄膜的气相沉积工艺中,能够降低气相沉积时的加热温度,能够抑制材料的热分解,因此分子量为3000以下。分子量更优选为2800以下、2500以下、2300以下、2100以下、2000以下、1900以下、1800以下、1700以下。另外,金属图案化用材料的分子量为500以上。作为分子量,优选为500以上且2000以下。
金属图案化用材料优选为式(1)、式(2)或式(3)所示的化合物。
[化5]
[化6]
[化7]
式中,Ar1~Ar14各自独立地表示任选被取代的碳原子数为6~25的单环、联环或稠环的芳族烃基、或者任选被取代的碳原子数为3~25的单环、联环或稠环的杂芳族基团;
L1~L18各自独立地表示任选被取代的碳原子数为6~25的单环、联环、或稠环的2价芳族烃基、任选被取代的碳原子数为3~25的单环、联环、或稠环的2价杂芳族基团、或者单键;
X表示任选被取代的碳原子数为6~25的单环、联环、或稠环的2价至4价芳族烃基、任选被取代的碳原子数为3~25的单环、联环、或稠环的2价至4价杂芳族基团、任选被取代的碳原子数为1~10的直链、支链、或环状的2价至4价烷基、或者任选被取代的2价至4价的硅原子;
a、b以及c各自独立地表示1~3的整数;
d以及e各自独立地表示1或者2的整数;
f表示0或者1的整数。
由于能够抑制在膜表面形成金属膜,因此式(1)~(3)中的稠环的芳族烃基的碳原子数可以为6以上且15以下。具体而言,可以为6至15,也可以为6至14,也可以为6至13。
其中,Ar1~Ar14为取代的芳族烃基、或者取代的杂芳族基团时,这些基团各自独立地优选被选自由任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状烷基、任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状烷氧基、任选被氟原子取代的碳原子数为6~20的芳族烃基、任选被氟原子取代的碳原子数为3~20的杂芳族基团、氰基、氟原子、氘原子组成的组中的1个以上的基团取代;
L1~L18为取代的2价芳族烃基、或者取代的2价杂芳族基团时,这些基团各自独立地优选被选自由任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状烷基、任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状烷氧基、任选被氟原子取代的碳原子数为6~20的芳族烃基、任选被氟原子取代的碳原子数为3~20的杂芳族基团、氰基、氟原子、氘原子组成的组中的1个以上的基团取代;
在X为取代的2价至4价芳族烃基、取代的2价至4价杂芳族基团、取代的2价至4价烷基、或者取代的2价至4价的硅原子的情况下,这些基团各自独立地优选被选自由任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状烷基、任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状烷氧基、任选被氟原子取代的碳原子数为6~20的芳族烃基、任选被氟原子取代的碳原子数为3~20的杂芳族基团、氰基、氟原子、氘原子组成的组中的1个以上的基团取代。
作为上述碳原子数为6~25的单环、联环或稠环的芳族烃基,可举出例如苯基、联苯基、三联苯基、萘基、芴基、螺二芴基、苯并芴基、二苯并芴基、菲基、荧蒽基、三亚苯基、芘基、蒽基、并四苯基、基、苝基、及并五苯基,以及在这些基团上稠合选自由苯、萘及菲组成的组中的1种以上而成的基团等。
作为上述碳原子数为3~25的单环、联环或稠环的杂芳族基团,可举出例如吡咯基、噻吩基、呋喃基、咪唑基、噻唑基、异噻唑基、恶唑基、异恶唑基、吡啶基、吡嗪基、吲哚基、苯并噻吩基、苯并呋喃基、苯并咪唑基、吲唑基、苯并噻唑基、苯并异噻唑基、2,1,3-苯并噻二唑基、苯并恶唑基、苯并异恶唑基、2,1,3-苯并恶二唑基、喹啉基、异喹啉基、咔唑基、二苯并噻吩基、二苯并呋喃基、吩恶嗪基、吩噻嗪基、吩嗪基、及噻蒽基、以及在这些基团上稠合选自由苯、萘及菲组成的组中的1种以上而成的基团等。
作为上述碳原子数为6~25的单环、联环或稠环的2价芳族烃基,可举出例如亚苯基、亚联苯基、亚三联苯基、亚萘基、亚芴基、菲二基、三亚苯二基、蒽二基、芘二基等。
作为上述碳原子数为3~25的单环、联环或稠环的2价杂芳族基团,可举出例如噻吩二基、呋喃二基、二苯并噻吩二基、二苯并呋喃二基、吡啶二基、嘧啶二基、三嗪二基、喹啉二基、咔唑二基、吩恶嗪二基、吩噻嗪二基、呫吨二基等。
作为上述碳原子数为1~10的直链、支链或环状的2价烷基,可举出例如亚甲基、亚乙基、丙烷二基、丁烷二基、戊烷二基、己烷二基、环己烷二基、金刚烷二基等。
作为上述碳原子数为6~25的单环、联环或稠环的3价芳族烃基,可举出例如苯三基、联苯三基、三联苯三基、萘三基、芴三基、螺二芴三基、苯并芴三基、二苯并芴三基、菲三基、荧蒽三基、三亚苯三基、芘三基、蒽三基、并四苯三基、三基、苝三基、及并五苯三基、以及在这些基团上稠合选自由苯、萘及菲组成的组中的1种以上而成的基团等。
作为上述碳原子数为3~25的单环、联环或稠环的3价杂芳族基团,可举出例如吡咯三基、噻吩三基、呋喃三基、咪唑三基、噻唑三基、异噻唑三基、恶唑三基、异恶唑三基、吡啶三基、吡嗪三基、吲哚三基、苯并噻吩三基、苯并呋喃三基、苯并咪唑三基、吲唑三基、苯并噻唑三基、苯并异噻唑三基、2,1,3-苯并噻二唑三基、苯并恶唑三基、苯并异恶唑三基、2,1,3-苯并恶二唑三基、喹啉三基、异喹啉三基、咔唑三基、二苯并噻吩三基、二苯并呋喃三基、吩恶嗪三基、吩噻嗪三基、吩嗪三基、及噻蒽三基、以及在这些基团上稠合选自由苯、萘及菲组成的组中的1种以上而成的基团等。
作为上述碳原子数为1~10的直链、支链或环状的3价烷基,可举出例如甲基三基、乙基三基、丙烷三基、丁烷三基、戊烷三基、己烷三基、环己烷三基、金刚烷三基等。
作为上述碳原子数为6~25的单环、联环或稠环的4价芳族烃基,可举出例如苯四基、联苯四基、三联苯四基、萘四基、芴四基、螺二芴四基、苯并芴四基、二苯并芴四基、菲四基、荧蒽四基、三亚苯四基、芘四基、蒽四基、并四苯四基、四基、苝四基、及并五苯四基、以及在这些基团上稠合选自由苯、萘及菲组成的组中的1种以上而成的基团等。
作为上述碳原子数为3~25的单环、联环或稠环的4价杂芳族基团,可举出例如吡咯四基、噻吩四基、呋喃四基、咪唑四基、噻唑四基、异噻唑四基、恶唑四基、异恶唑四基、吡啶四基、吡嗪四基、吲哚四基、苯并噻吩四基、苯并呋喃四基、苯并咪唑四基、吲唑四基、苯并噻唑四基、苯并异噻唑四基、2,1,3-苯并噻二唑四基、苯并恶唑四基、苯并异恶唑四基、2,1,3-苯并恶二唑四基、喹啉四基、异喹啉四基、咔唑四基、二苯并噻吩四基、二苯并呋喃四基、吩恶嗪四基、吩噻嗪四基、吩嗪四基、及噻蒽四基、以及在这些基团上稠合选自由苯、萘及菲组成的组中的1种以上而成的基团等。
作为上述碳原子数为1~10的直链、支链或环状的4价烷基,可举出例如甲基四基、乙基四基、丙烷四基、丁烷四基、戊烷四基、己烷四基、环己烷四基、金刚烷四基等。
需要说明的是,如上所述,碳原子数为6~25的单环、联环或稠环的芳族烃基;碳原子数为3~25的单环、联环或稠环的杂芳族基团;碳原子数为6~25的单环、联环或稠环的2价至4价芳族烃基;碳原子数为3~25的单环、联环或稠环的2价至4价杂芳族基团;碳原子数为1~10的直链、支链、或环状的2价至4价烷基可以具有取代基。它们具有取代基时,优选各自独立地被选自由任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状烷基、任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状烷氧基、任选被氟原子取代的碳原子数为6~20的芳族烃基、任选被氟原子取代的碳原子数为3~20的杂芳族基团、氰基、氟原子、氘原子组成的组中的1个以上的基团取代。此时,对于取代基的数量没有特别限定。
作为上述任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链或环状烷基,可举出例如甲基、丙基、异丙基、丁基、仲丁基、叔丁基、戊基、己基、庚基、辛基、硬脂基、环戊基、环己基、二氟甲基、三氟甲基、2,2,2-三氟乙基、五氟乙基、七氟丙基、七氟异丙基、九氟丁基、全氟戊基、全氟己基、全氟庚基、全氟辛基、全氟环己基等。
作为上述任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链或环状烷氧基,可举出例如丙氧基、异丙氧基、正丁氧基、仲丁氧基、叔丁氧基、戊氧基、己氧基、硬脂氧基、二氟甲氧基、三氟甲氧基、2,2,2-三氟乙氧基、五氟乙氧基、七氟丙氧基、九氟丁氧基、全氟戊氧基、全氟己氧基、全氟庚氧基、全氟辛氧基等。
作为上述任选被氟原子取代的碳原子数为6~20的芳族烃基,可举出例如苯基、单氟苯基、二氟苯基、三氟苯基、四氟苯基、全氟苯基、全氟甲苯基、全氟二甲基苯基、全氟三甲基苯基、全氟异丙基苯基、全氟叔丁基苯基、联苯基、单氟联苯基、二氟联苯基、三氟联苯基、四氟联苯基、五氟联苯基、六氟联苯基、七氟联苯基、八氟联苯基、全氟联苯基、三联苯基、单氟三联苯基、二氟三联苯基、三氟三联苯基、四氟三联苯基、五氟三联苯基、六氟三联苯基、七氟三联苯基、八氟三联苯基、九氟三联苯基、十氟三联苯基、十一氟三联苯基、十二氟三联苯基、全氟三联苯基、萘基、单氟萘基、二氟萘基、三氟萘基、四氟萘基、五氟萘基、六氟萘基、七氟萘基、芴基、单氟芴基、二氟芴基、三氟芴基、四氟芴基、五氟芴基、六氟芴基、七氟芴基、螺二芴基、苯并芴基、二苯并芴基、菲基、全氟菲基、三亚苯基、全氟三亚苯基、芘基、全氟芘基、蒽基、全氟蒽基等。
作为上述任选被氟原子取代的碳原子数为3~20的杂芳族基团,可举出例如吡咯基、噻吩基、全氟噻吩基、呋喃基、全氟呋喃基、咪唑基、噻唑基、异噻唑基、恶唑基、异恶唑基、吡啶基、单氟吡啶基、二氟吡啶基、三氟吡啶基、全氟吡啶基、吡嗪基、吲哚基、苯并噻吩基、苯并呋喃基、苯并咪唑基、吲唑基、苯并噻唑基、苯并异噻唑基、2,1,3-苯并噻二唑基、苯并恶唑基、苯并异恶唑基、2,1,3-苯并恶二唑基、喹啉基、异喹啉基、咔唑基、二苯并噻吩基、二苯并呋喃基、吩恶嗪基、吩噻嗪基、吩嗪基、噻蒽基等。
作为Ar1~Ar14的具体例,能够示例出4-甲基苯基、3-甲基苯基、2-甲基苯基、2,4-二甲基苯基、2,5-二甲基苯基、3,4-二甲基苯基、3,5-二甲基苯基、2,6-二甲基苯基、2,3,5-三甲基苯基、2,3,6-三甲基苯基、3,4,5-三甲基苯基、4-联苯基、3-联苯基、2-联苯基、2-甲基-1,1'-联苯-4-基、3-甲基-1,1'-联苯-4-基、2'-甲基-1,1'-联苯-4-基、3'-甲基-1,1'-联苯-4-基、4'-甲基-1,1'-联苯-4-基、2,6-二甲基-1,1'-联苯-4-基、2,2'-二甲基-1,1'-联苯-4-基、2,3'-二甲基-1,1'-联苯-4-基、2,4'-二甲基-1,1'-联苯-4-基、3,2'-二甲基-1,1'-联苯-4-基、2',3'-二甲基-1,1'-联苯-4-基、2',4'-二甲基-1,1'-联苯-4-基、2',5'-二甲基-1,1'-联苯-4-基、2',6'-二甲基-1,1'-联苯-4-基、对三联苯-2-基、对三联苯-3-基、对三联苯-4-基、对三联苯-2'-基、间三联苯-2-基、间三联苯-3-基、间三联苯-4-基、间三联苯-2'-基、间三联苯-4'-基、间三联苯-5'-基、邻三联苯-2-基、邻三联苯-3-基、邻三联苯-4-基、邻三联苯-3'-基、邻三联苯-4'-基、1-萘基、2-萘基,2-甲基萘-1-基、4-甲基萘-1-基、6-甲基萘-2-基、4-(1-萘基)苯基、4-(2-萘基)苯基、3-(1-萘基)苯基、3-(2-萘基)苯基、3-甲基-4-(1-萘基)苯基、3-甲基-4-(2-萘基)苯基、4-(1-萘基)联苯基、4-(2-萘基)联苯基、3-(1-萘基)联苯基、3-(2-萘基)联苯基、4-(2-甲基萘-1-基)苯基、3-(2-甲基萘-1-基)苯基、4-苯基萘-1-基、4-(2-甲基苯基)萘-1-基、4-(3-甲基苯基)萘-1-基、4-(4-甲基苯基)萘-1-基、6-苯基萘-2-基、4-(2-甲基苯基))萘-2-基、4-(3-甲基苯基)萘-2-基、4-(4-甲基苯基)萘-2-基、四苯基硅烷-4-基、四苯基硅烷-3-基、2-芴基、9,9-二甲基-2-芴基、9,9-二苯基-2-芴基、9,9-二苯基-4-芴基、9,9'-螺二芴-2-基、9,9'-螺二芴-4-基、4-(9,9'-螺二芴-4-基)苯基、3-(9,9'-螺二芴-4-基)苯基、4-(9,9'-螺二芴-4-基)联苯基、3-(9,9'-螺二芴-4-基)联苯基、4-(9,9'-二苯基芴-4-基)苯基、3-(9,9'-二苯基芴-4-基)苯基、4-(9,9'-二苯基芴-4-基)联苯基、3-(9,9'-二苯基芴-4-基)联苯基、3-(1-三亚苯基)联苯基、9-菲基、2-菲基,4-(9-菲基)苯基、3-(9-菲基)苯基、4-(9-菲基)联苯基、3-(1-萘基)联苯基、3-(9-菲基)联苯基、1-三亚苯基、2-三亚苯基、3-三亚苯基、4-三亚苯基、4-(1-三亚苯基)苯基、3-(1-三亚苯基)苯基、4-(1-三亚苯基)联苯基、3-(1-三亚苯基)联苯基、3-(1-三亚苯基)联苯基、11,11'-二甲基苯并[a]芴-9-基、11,11'-二甲基苯并[a]芴-3-基、11,11'-二甲基苯并[b]芴-9-基、11,11'-二甲基苯并[b]芴-3-基、11,11'-二甲基苯并[c]芴-9-基、11,11'-二甲基苯并[c]芴-2-基、3-荧蒽基、8-荧蒽基、单氟苯基、二氟苯基、三氟苯基、四氟苯基、五氟苯基、单氟联苯基、二氟联苯基、三氟联苯基、四氟联苯基、五氟联苯基、六氟联苯基、七氟联苯基、八氟联苯基、九氟联苯基、单氟三联苯基、二氟三联苯基、三氟三联苯基、四氟三联苯基、五氟三联苯基、六氟三联苯基、七氟三联苯基、八氟三联苯基、九氟三联苯基、十氟三联苯基、十一氟三联苯基、十二氟三联苯基、十三氟三联苯基、单氟萘基、二氟萘基、三氟萘基、四氟萘基、五氟萘基、六氟萘基、七氟萘基、单氟芴基、二氟芴基、三氟芴基、四氟芴基、五氟芴基、六氟芴基、七氟芴基、1-咪唑基、2-苯基-1-咪唑基、2-苯基-3,4-二甲基-1-咪唑基、2,3,4-三苯基-1-咪唑基、2-(2-萘基)-3,4-二甲基-1-咪唑基、2-(2-萘基)-3,4-二苯基-1-咪唑基、1-甲基-2-咪唑基、1-乙基-2-咪唑基、1-苯基-2-咪唑基、1-甲基-4-苯基-2-咪唑基、1-甲基-4,5-二甲基-2-咪唑基、1-甲基-4,5-二苯基-2-咪唑基、1-苯基-4,5-二甲基-2-咪唑基、1-苯基-4,5-二苯基-2-咪唑基、1-苯基-4,5-二联苯基-2-咪唑基、1-甲基-3-吡唑基、1-苯基-3-吡唑基、1-甲基-4-吡唑基、1-苯基-4-吡唑基、1-甲基-5-吡唑基、1-苯基-5-吡唑基、2-噻唑基、4-噻唑基、5-噻唑基、3-异噻唑基、4-异噻唑基、5-异噻唑基、2-恶唑基、4-恶唑基、5-恶唑基、3-异恶唑基、4-异恶唑基、5-异恶唑基、2-吡啶基、3-甲基-2-吡啶基、4-甲基-2-吡啶基、5-甲基-2-吡啶基、6-甲基-2-吡啶基、3-吡啶基、4-甲基-3-吡啶基、4-吡啶基、2-嘧啶基、2,2'-联吡啶-3-基、2,2'-联吡啶-4-基、2,2'-联吡啶-5-基、2,3'-联吡啶-3-基、2,3'-联吡啶-4-基、2,3'-联吡啶-5-基、5-嘧啶基、吡嗪基、1,3,5-三嗪基、4,6-二苯基-1,3,5-三嗪-2-基、1-苯并咪唑基、2-甲基-1-苯并咪唑基、2-苯基-1-苯并咪唑基、1-甲基-2-苯并咪唑基、1-苯基-2-苯并咪唑基、1-甲基-5-苯并咪唑基、1,2-二甲基-5-苯并咪唑基、1-甲基-2-苯基-5-苯并咪唑基、1-苯基-5-苯并咪唑基、1,2-二苯基-5-苯并咪唑基、1-甲基-6-苯并咪唑基、1,2-二甲基-6-苯并咪唑基、1-甲基-2-苯基-6-苯并咪唑基、1-苯基-6-苯并咪唑基、1,2-二苯基-6-苯并咪唑基、1-甲基-3-吲唑基、1-苯基-3-吲唑基、2-苯并噻唑基、4-苯并噻唑基、5-苯并噻唑基、6-苯并噻唑基、7-苯并噻唑基、3-苯并异噻唑基、4-苯并异噻唑基、5-苯并异噻唑基、6-苯并异噻唑基、7-苯并异噻唑基、2,1,3-苯并噻二唑-4-基、2,1,3-苯并噻二唑-5-基、2-苯并恶唑基、4-苯并恶唑基、5-苯并恶唑基、6-苯并恶唑基、7-苯并恶唑基、3-苯并异恶唑基、4-苯并异恶唑基、5-苯并异恶唑基、6-苯并异恶唑基、7-苯并异恶唑基、2,1,3-苯并恶二唑-4-基、2,1,3-苯并恶二唑-5-基、2-喹啉基、3-喹啉基、5-喹啉基、6-喹啉基、1-异喹啉基、4-异喹啉基、5-异喹啉基、2-吖啶基(acridinylgroup)、9-吖啶基、1,10-菲罗啉-3-基、1,10-菲罗啉-5-基、2-噻吩基、3-噻吩基、2-苯并噻吩基、3-苯并噻吩基、2-二苯并噻吩基、4-二苯并噻吩基,2-呋喃基、3-呋喃基、2-苯并呋喃基、3-苯并呋喃基、2-二苯并呋喃基、4-二苯并呋喃基、咔唑-9-基、9-甲基咔唑-2-基、9-甲基咔唑-3-基、9-甲基咔唑-4-基、9-苯基咔唑-2-基、9-苯基咔唑-3-基、9-苯基咔唑-4-基、9-联苯基咔唑-2-基、9-联苯基咔唑-3-基、9-联苯基咔唑-4-基、2-(9-咔唑基)苯基、3-(9-咔唑基)苯基、4-(9-咔唑基)苯基,2-(9-咔唑基)联苯基、3-(9-咔唑基)联苯基、4-(9-咔唑基)联苯基、2-(9-苯基咔唑-3-基)苯基、3-(9-苯基咔唑-3-基)苯基、4-(9-苯基咔唑-3-基)苯基、2-噻蒽基、10-苯基吩噻嗪-3-基、10-苯基吩噻嗪-2-基、10-苯基吩恶嗪-3-基、10-苯基吩恶嗪-2-基、1-甲基吲哚-2-基、1-苯基吲哚-2-基、1-甲基吲哚-2-基、1-苯基吲哚-2-基、4-(2-吡啶基)苯基、4-(3-吡啶基)苯基、4-(4-吡啶基)苯基、3-(2-吡啶基)苯基、3-(3-吡啶基)苯基、3-(4-吡啶基)苯基、4-(2-苯基咪唑-1-基)苯基、4-(1-苯基咪唑-2-基)苯基、4-(2,3,4-三苯基咪唑-1-基)苯基、4-(1-甲基-4,5-二苯基咪唑-2-基)苯基、4-(2-甲基苯并咪唑-1-基)苯基、4-(2-苯基苯并咪唑-1-基)苯基、4-(1-甲基苯并咪唑-2-基)苯基、4-(2-苯基苯并咪唑-1-基)苯基、3-(2-甲基苯并咪唑-1-基)苯基、3-(2-苯基苯并咪唑-1-基)苯基、3-(1-甲基苯并咪唑-2-基)苯基、3-(2-苯基苯并咪唑-1-基)苯基,4-(3,5-二苯基三嗪-1-基)苯基、4-(2-噻吩基)苯基、4-(2-呋喃基)苯基、5-苯基噻吩-2-基、5-苯基呋喃-2-基、4-(5-苯基噻吩-2-基)苯基、4-(5-苯基呋喃-2-基)苯基、3-(5-苯基噻吩-2-基)苯基、3-(5-苯基呋喃-2-基)苯基、4-(2-苯并噻吩基)苯基、4-(3-苯并噻吩基)苯基、3-(2-苯并噻吩基)苯基、3-(3-苯并噻吩基)苯基、4-(2-二苯并噻吩基)苯基、4-(4-二苯并噻吩基)苯基、3-(2-二苯并噻吩基)苯基、3-(4-二苯并噻吩基)苯基、4-(2-二苯并呋喃基)苯基、4-(4-二苯并呋喃基)苯基、3-(2-二苯并呋喃基)苯基、3-(4-二苯并呋喃基)苯基、4-(2-苯并噻吩基)苯基、4-(3-苯并噻吩基)苯基、3-(2-苯并噻吩基)联苯基、3-(3-苯并噻吩基)联苯基、4-(2-二苯并噻吩基)联苯基、4-(4-二苯并噻吩基)联苯基、3-(2-二苯并噻吩基)联苯基、3-(4-二苯并噻吩基)联苯基、4-(2-二苯并呋喃基)联苯基、4-(4-二苯并呋喃基)联苯基、3-(2-二苯并呋喃基)联苯基、3-(4-二苯并呋喃基)联苯基、5-苯基吡啶-2-基、4-苯基吡啶-2-基、5-苯基吡啶-3-基等。
式(1)~(3)中,Ar1~Ar14的玻璃化转变温度高,能够抑制膜表面的金属膜的形成,因此各自独立地优选为(i)苯基、联苯基、三联苯基、萘基、芴基、螺二芴基、苯并芴基、菲基、荧蒽基、三亚苯基、蒽基、芘基、吡啶基、咔唑基、苯并呋喃基、苯并噻吩基、二苯并呋喃基、或二苯并噻吩基、或者为(ii),上述(i)所示的基团被选自由甲基、乙基、甲氧基、乙氧基、三氟甲基、三氟甲氧基、碳原子数为2~10的全氟烷基、碳原子数为2~10的全氟烷氧基、氰基、氘原子、氟原子、任选被氟原子取代的苯基、任选被氟原子取代的联苯基、任选被氟原子取代的萘基、任选被氟原子取代的菲基、任选被氟原子取代的吡啶基、任选被氟原子取代的咔唑基、任选被氟原子取代的二苯并噻吩基、以及任选被氟原子取代的二苯并呋喃基组成的组中的1种以上的基团取代的基团。
Ar1~Ar14的玻璃化转变温度高,能够抑制膜表面的金属膜的形成,因此更优选为以下的取代基。
需要说明的是,F表示氟原子,v表示0至5的整数,w表示0至4的整数,x表示0至3的整数,y表示0至2的整数,z表示0至1的整数。
[表1]
[表2]
[表3]
[表4]
[表5]
[表6]
[表7]
[表8]
[表9]
[表10]
[表11]
[表12]
[表13]
[表14]
[表15]
[表16]
[表17]
[表18]
Ar1~Ar14的玻璃化转变温度高,能够抑制膜表面的金属膜的形成,因此各自独立地进一步优选为(i')苯基、联苯基、三联苯基、萘基、芴基、螺二芴基、菲基、荧蒽基、三亚苯基、蒽基、芘基、吡啶基、咔唑基、二苯并呋喃基、或二苯并噻吩基、或者为(ii'),上述(i')所示的基团被选自由甲基、三氟甲基、碳原子数为2~10的全氟烷基、氟原子、任选被氟原子取代的苯基组成的组中的1种以上的基团取代的基团。
Ar1~Ar14的玻璃化转变温度高,能够抑制膜表面的金属膜的形成,因此各自独立地特别优选为苯基、具有至少1个氟原子的苯基、具有至少1个三氟甲基的苯基、联苯基、具有至少1个氟原子的联苯基、具有至少1个三氟甲基的联苯基、三联苯基、具有至少1个氟原子的三联苯基、具有至少1个三氟甲基的三联苯基、萘基、9,9-二甲基芴基、9,9-二苯基芴基、螺二芴基、菲基、咔唑-9-基、9-苯基咔唑基、二苯并呋喃基、或者二苯并噻吩基。
作为L1~L18的具体例,没有特别限定,能够示例为1,4-亚苯基、1,3-亚苯基、1,2-亚苯基、单氟-1,4-亚苯基、二氟-1,4-亚苯基、三氟-1,4-亚苯基、四氟-1,4-亚苯基、单氟-1,3-亚苯基、二氟-1,3-亚苯基、三氟-1,3-亚苯基、四氟-1,3-亚苯基、单氟-1,2-亚苯基、二氟-1,2-亚苯基、三氟-1,2-亚苯基、四氟-1,2-亚苯基、3-三氟甲基-1,2亚苯基、4-三氟甲基-1,2-亚苯基、2-三氟甲基-1,3-亚苯基、4-三氟甲基-1,3-亚苯基、5-三氟甲基-1,3-亚苯基、2-三氟甲基-1,4-亚苯基、4,4'-亚联苯基、4,3'-亚联苯基、4,2'-亚联苯基、3,3'-亚联苯基、3,2'-亚联苯基、2,2'-亚联苯基、单氟-4,4'-亚联苯基、二氟-4,4'-亚联苯基、三氟-4,4'-亚联苯基、四氟-4,4'-亚联苯基、五氟-4,4'-亚联苯基、六氟-4,4'-亚联苯基、七氟-4,4'-亚联苯基、八氟-4,4'-亚联苯基、单氟-4,3'-亚联苯基、二氟-4,3'-亚联苯基、三氟-4,3'-亚联苯基、四氟-4,3'-亚联苯基、五氟-4,3'-亚联苯基、六氟-4,3'-亚联苯基、七氟-4,3'-亚联苯基、八氟-4,3'-亚联苯基、单氟-4,2'-亚联苯基、二氟-4,2'-亚联苯基、三氟-4,2'-亚联苯基、四氟-4,2'-亚联苯基、五氟-4,2'-亚联苯基、六氟-4,2'-亚联苯基、七氟-4,2'-亚联苯基、八氟-4,2'-亚联苯基、单氟-3,3'-亚联苯基、二氟-3,3'-亚联苯基、三氟-3,3'-亚联苯基、四氟-3,3'-亚联苯基、五氟-3,3'-亚联苯基、六氟-3,3'-亚联苯基、七氟-3,3'-亚联苯基、八氟-3,3'-亚联苯基、单氟-3,2'-亚联苯基、二氟-3,2'-亚联苯基、三氟-3,2'-亚联苯基、四氟-3,2'-亚联苯基、五氟-3,2'-亚联苯基、六氟-3,2'-亚联苯基、七氟-3,2'-亚联苯基、八氟-3,2'-亚联苯基、单氟-2,2'-亚联苯基、二氟-2,2'-亚联苯基、三氟-2,2'-亚联苯基、四氟-2,2'-亚联苯基、五氟-2,2'-亚联苯基、六氟-2,2'-亚联苯基、七氟-2,2'-亚联苯基、八氟-2,2'-亚联苯基、2,2'-二甲基-4,4'-亚联苯基、2,2'-二(三氟甲基)-4,4'-亚联苯基4,4”-对亚三联苯基、全氟-4,4”-对亚三联苯基、4,3”-对亚三联苯基、全氟-4,3”-对亚三联苯基、4,2”-对亚三联苯基、全氟-4,2”-对亚三联苯基、3,3”-对亚三联苯基、全氟-3,3”-对亚三联苯基、3,2”-对亚三联苯基、全氟-3,2”-对亚三联苯基、2,2”-对亚三联苯基、全氟-2,2”-对亚三联苯基、4,2'-对亚三联苯基、全氟-4,2'-对亚三联苯基、4,3'-对亚三联苯基、全氟-4,3'-对亚三联苯基、3,2'-对亚三联苯基、全氟-3,2'-对亚三联苯基、3,3'-对亚三联苯基、全氟-3,3'-对亚三联苯基、2,3'-对亚三联苯基、全氟-2,3'-对亚三联苯基、2,2'-对亚三联苯基、全氟-2,2'-对亚三联苯基、4,4”-间亚三联苯基、4,3”-间亚三联苯基、4,2”-间亚三联苯基、3,3”-间亚三联苯基、3,2”-间亚三联苯基、2,2”-间亚三联苯基、4,2'-间亚三联苯基、4,4'-间亚三联苯基、4,5'-间亚三联苯基、4,6'-间亚三联苯基、3,2'-间亚三联苯基、3,4'-间亚三联苯基、3,5'-间亚三联苯基、3,6'-间亚三联苯基、2,2'-间亚三联苯基、2,4'-间亚三联苯基、2,5'-间亚三联苯基、2,6'-间亚三联苯基、全氟-4,4”-间亚三联苯基、全氟-4,3”-间亚三联苯基、全氟-4,2”-间亚三联苯基、全氟-3,3”-间亚三联苯基、全氟-3,2”-间亚三联苯基、全氟-2,2”-间亚三联苯基、全氟-4,2'-间亚三联苯基、全氟-4,4'-间亚三联苯基、全氟-4,5'-间亚三联苯基、全氟-4,6'-间亚三联苯基、全氟-3,2'-间亚三联苯基、全氟-3,4'-间亚三联苯基、全氟-3,5'-间亚三联苯基、全氟-3,6'-间亚三联苯基、全氟-2,2'-间亚三联苯基、全氟-2,4'-间亚三联苯基、全氟-2,5'-间亚三联苯基、全氟-2,6'-间亚三联苯基、4,4”-邻亚三联苯基、4,3”-邻亚三联苯基、4,2”-邻亚三联苯基、3,3”-邻亚三联苯基、3,2”-邻亚三联苯基、2,2”-邻亚三联苯基、4,3'-邻亚三联苯基、4,4'-邻亚三联苯基、4,5'-邻亚三联苯基、4,6'-邻亚三联苯基、3,3'-邻亚三联苯基、3,4'-邻亚三联苯基、3,5'-邻亚三联苯基、3,6'-邻亚三联苯基、2,3'-邻亚三联苯基、2,4'-邻亚三联苯基、2,5'-邻亚三联苯基、2,6'-邻亚三联苯基、全氟-4,4”-邻亚三联苯基、全氟-4,3”-邻亚三联苯基、全氟-4,2”-邻亚三联苯基、全氟-3,3”-邻亚三联苯基、全氟-3,2”-邻亚三联苯基、全氟-2,2”-邻亚三联苯基、全氟-4,3'-邻亚三联苯基、全氟-4,4'-邻亚三联苯基、全氟-4,5'-邻亚三联苯基、全氟-4,6'-邻亚三联苯基、全氟-3,3'-邻亚三联苯基、全氟-3,4'-邻亚三联苯基、全氟-3,5'-邻亚三联苯基、全氟-3,6'-邻亚三联苯基、全氟-2,3'-邻亚三联苯基、全氟-2,4'-邻亚三联苯基、全氟-2,5'-邻亚三联苯基、全氟-2,6'-邻亚三联苯基、1,2-亚萘基、1,3-亚萘基、1,4-亚萘基、单氟-1,4-亚萘基、二氟-1,4-亚萘基、三氟-1,4-亚萘基、四氟-1,4-亚萘基、六氟-1,4-亚萘基、1,5-亚萘基、1,6-亚萘基、1,7-亚萘基、1,8-亚萘基、2,3-亚萘基、2,4-亚萘基、2,5-亚萘基、2,6-亚萘基、单氟-2,6-亚萘基、二氟-2,6-亚萘基、三氟-2,6-亚萘基、四氟-2,6-亚萘基、五氟-2,6-亚萘基、六氟-2,6-亚萘基、2,7-亚萘基、2,8-亚萘基、9,9-二甲基-芴-2,7-二基、9,9-二(三氟甲基)-芴-2,7-二基、9,9-二(五氟乙基)-芴-2,7-二基、9,9-二(七氟丙基)-芴-2,7-二基、9,9-二(九氟丁基)-芴-2,7-二基、9,9-二(全氟戊基)-芴-2,7-二基、9,9-二(全氟己基)-芴-2,7-二基、9,9-二(全氟庚基)-芴-2,7-二基、9,9-二(全氟辛基)-芴-2,7-二基、9,9-二甲基-芴-2,8-二基、9,9-二甲基-芴-2,4-二基、9,9-二甲基-芴-2,5-二基、9,9-二甲基-芴-2,6-二基、9,9-二甲基-芴-3,6-二基、9,9-二苯基-芴-2,7-二基、9,9-二(五氟苯基)-芴-2,7-二基、9,9-二苯基-芴-2,8-二基、9,9-二苯基-芴-2,4-二基、9,9-二苯基-芴-2,5-二基、9,9-二苯基-芴-2,6-二基、9,9-二苯基-芴-3,6-二基、螺二芴-2,7-二基、全氟螺二芴-2,7-二基、螺二芴-2,8-二基、螺二芴-2,4-二基、螺二芴-2,5-二基、螺二芴-2,6-二基、螺二芴-3,6-二基、菲-9,10-二基、菲-2,9-二基、菲-2,10-二基、菲-2,8-二基、菲-2,7-二基、菲-2,6-二基、菲-2,5-二基、菲-2,14-二基、菲-2,3-二基、菲-9,10-二基、菲-3,10-二基、菲-3,9-二基、菲-3,8-二基、菲-3,7-二基、菲-3,6-二基、菲-3,5-二基、菲-4,10-二基、菲-4,9-二基、菲-4,8-二基、菲-4,7-二基、菲-4,6-二基、三亚苯基-1,3-二基、三亚苯基-1,4-二基、三亚苯基-1,5-二基、三亚苯基-1,6-二基、三亚苯基-1,7-二基、三亚苯基-1,8-二基、三亚苯基-2,3-二基、三亚苯基-2,4-二基、三亚苯基-2,5-二基、三亚苯基-2,6-二基、三亚苯基-2,7-二基、三亚苯基-3,5-二基、三亚苯基-3,6-二基、三亚苯基-4,6-二基、芘-1,3-二基、芘-1,6-二基、芘-1,8-二基、芘-2,7-二基、蒽-2,6-二基、蒽-9,10-二基、全氟蒽-9,10-二基、9,10-二苯基蒽二基、吡啶-2,3-二基、吡啶-2,4-二基、吡啶-2,5-二基、吡啶-2,6-二基、吡啶-3,4-二基、吡啶-3,5-二基、全氟吡啶-2,3-二基、全氟吡啶-2,4-二基、全氟吡啶-2,5-二基、全氟吡啶-2,6-二基、全氟吡啶-3,4-二基、全氟吡啶-3,5-二基、二苯并呋喃-2,7-二基、二苯并呋喃-4,5-二基、二苯并噻吩-2,7-二基、二苯并噻吩-4,5-二基、9-苯基咔唑-2,7-二基等。
式(1)~(3)中,L1~L18的玻璃化转变温度高,能够抑制膜表面的金属膜的形成,因此各自独立地优选为(iii)亚苯基、亚联苯基、亚三联苯基、亚萘基、亚吡啶基、或亚芴基,为(iv),上述(iii)所示的基团为甲基、乙基、甲氧基、乙氧基、三氟甲基、三氟甲氧基、碳原子数为2~10的全氟烷基、碳原子数为2~10的全氟烷氧基、氰基、氘原子、氟原子、任选被氟原子取代的苯基、任选被氟原子取代的联苯基、任选被氟原子取代的萘基、任选被氟原子取代的菲基、任选被氟原子取代的吡啶基、任选被氟原子取代的咔唑基、任选被氟原子取代的二苯并噻吩基、以及任选被氟原子取代的二苯并呋喃基、或者为(v)单键。
L1~L18的玻璃化转变温度高,能够抑制膜表面的金属膜的形成,因此更优选为以下的取代基。
需要说明的是,F表示氟原子,v表示0至5的整数,w表示0至4的整数,x表示0至3的整数,y表示0至2的整数,z表示0至1的整数。
[表19]
[表20]
[表21]
[表22]
[表23]
[表24]
[表25]
[表26]
式(1)~(3)中,L1~L18的玻璃化转变温度高,能够抑制膜表面的金属膜的形成,因此各自独立地优选为(iii')亚苯基、亚联苯基、亚三联苯基、亚萘基、亚吡啶基、或亚芴基、为(iv'),上述(iii')所示的基团被选自由甲基、三氟甲基、氟原子、任选被氟原子取代的苯基组成的组中的1个以上的基团取代的基团、或者为(v')单键。
式(1)~(3)中,L1~L18的玻璃化转变温度高,能够抑制膜表面的金属膜的形成,因此各自独立地特别优选为亚苯基、具有至少1个氟原子的亚苯基、具有至少1个三氟甲基的亚苯基、亚联苯基、具有至少1个氟原子的亚联苯基、具有至少1个三氟甲基的亚联苯基、亚三联苯基、具有至少1个氟原子的亚三联苯基、具有至少1个三氟甲基的亚三联苯基、亚萘基或者单键。
作为2价的X的具体例,没有特别限定,能够示例出1,4-亚苯基、1,3-亚苯基、1,2-亚苯基、单氟-1,4-亚苯基、二氟-1,4-亚苯基、三氟-1,4-亚苯基、四氟-1,4-亚苯基、单氟-1,3-亚苯基、二氟-1,3-亚苯基、三氟-1,3-亚苯基、四氟-1,3-亚苯基、单氟-1,2-亚苯基、二氟-1,2-亚苯基、三氟-1,2-亚苯基、四氟-1,2-亚苯基、4,4'-亚联苯基、4,3'-亚联苯基、4,2'-亚联苯基、3,3'-亚联苯基、3,2'-亚联苯基、2,2'-亚联苯基、单氟-4,4'-亚联苯基、二氟-4,4'-亚联苯基、三氟-4,4'-亚联苯基、四氟-4,4'-亚联苯基、五氟-4,4'-亚联苯基、六氟-4,4'-亚联苯基、七氟-4,4'-亚联苯基、八氟-4,4'-亚联苯基、单氟-4,3'-亚联苯基、二氟-4,3'-亚联苯基、三氟-4,3'-亚联苯基、四氟-4,3'-亚联苯基、五氟-4,3'-亚联苯基、六氟-4,3'-亚联苯基、七氟-4,3'-亚联苯基、八氟-4,3'-亚联苯基、单氟-4,2'-亚联苯基、二氟-4,2'-亚联苯基、三氟-4,2'-亚联苯基、四氟-4,2'-亚联苯基、五氟-4,2'-亚联苯基、六氟-4,2'-亚联苯基、七氟-4,2'-亚联苯基、八氟-4,2'-亚联苯基、单氟-3,3'-亚联苯基、二氟-3,3'-亚联苯基、三氟-3,3'-亚联苯基、四氟-3,3'-亚联苯基、五氟-3,3'-亚联苯基、六氟-3,3'-亚联苯基、七氟-3,3'-亚联苯基、八氟-3,3'-亚联苯基、单氟-3,2'-亚联苯基、二氟-3,2'-亚联苯基、三氟-3,2'-亚联苯基、四氟-3,2'-亚联苯基、五氟-3,2'-亚联苯基、六氟-3,2'-亚联苯基、七氟-3,2'-亚联苯基、八氟-3,2'-亚联苯基、单氟-2,2'-亚联苯基、二氟-2,2'-亚联苯基、三氟-2,2'-亚联苯基、四氟-2,2'-亚联苯基、五氟-2,2'-亚联苯基、六氟-2,2'-亚联苯基、七氟-2,2'-亚联苯基、八氟-2,2'-亚联苯基、2,2'-二甲基-4,4'-亚联苯基、2,2'-二(三氟甲基)-4,4'-亚联苯基4,4”-对亚三联苯基、全氟-4,4”-对亚三联苯基、4,3”-对亚三联苯基、全氟-4,3”-对亚三联苯基、4,2”-对亚三联苯基、全氟-4,2”-对亚三联苯基、3,3”-对亚三联苯基、全氟-3,3”-对亚三联苯基、3,2”-对亚三联苯基、全氟-3,2”-对亚三联苯基、2,2”-对亚三联苯基、全氟-2,2”-对亚三联苯基、4,2'-对亚三联苯基、全氟-4,2'-对亚三联苯基、4,3'-对亚三联苯基、全氟-4,3'-对亚三联苯基、3,2'-对亚三联苯基、全氟-3,2'-对亚三联苯基、3,3'-对亚三联苯基、全氟-3,3'-对亚三联苯基、2,3'-对亚三联苯基、全氟-2,3'-对亚三联苯基、2,2'-对亚三联苯基、全氟-2,2'-对亚三联苯基、4,4”-间亚三联苯基、4,3”-间亚三联苯基、4,2”-间亚三联苯基、3,3”-间亚三联苯基、3,2”-间亚三联苯基、2,2”-间亚三联苯基、4,2'-间亚三联苯基、4,4'-间亚三联苯基、4,5'-间亚三联苯基、4,6'-间亚三联苯基、3,2'-间亚三联苯基、3,4'-间亚三联苯基、3,5'-间亚三联苯基、3,6'-间亚三联苯基、2,2'-间亚三联苯基、2,4'-间亚三联苯基、2,5'-间亚三联苯基、2,6'-间亚三联苯基、全氟-4,4”-间亚三联苯基、全氟-4,3”-间亚三联苯基、全氟-4,2”-间亚三联苯基、全氟-3,3”-间亚三联苯基、全氟-3,2”-间亚三联苯基、全氟-2,2”-间亚三联苯基、全氟-4,2'-间亚三联苯基、全氟-4,4'-间亚三联苯基、全氟-4,5'-间亚三联苯基、全氟-4,6'-间亚三联苯基、全氟-3,2'-间亚三联苯基、全氟-3,4'-间亚三联苯基、全氟-3,5'-间亚三联苯基、全氟-3,6'-间亚三联苯基、全氟-2,2'-间亚三联苯基、全氟-2,4'-间亚三联苯基、全氟-2,5'-间亚三联苯基、全氟-2,6'-间亚三联苯基、4,4”-邻亚三联苯基、4,3”-邻亚三联苯基、4,2”-邻亚三联苯基、3,3”-邻亚三联苯基、3,2”-邻亚三联苯基、2,2”-邻亚三联苯基、4,3'-邻亚三联苯基、4,4'-邻亚三联苯基、4,5'-邻亚三联苯基、4,6'-邻亚三联苯基、3,3'-邻亚三联苯基、3,4'-邻亚三联苯基、3,5'-邻亚三联苯基、3,6'-邻亚三联苯基、2,3'-邻亚三联苯基、2,4'-邻亚三联苯基、2,5'-邻亚三联苯基、2,6'-邻亚三联苯基、全氟-4,4”-邻亚三联苯基、全氟-4,3”-邻亚三联苯基、全氟-4,2”-邻亚三联苯基、全氟-3,3”-邻亚三联苯基、全氟-3,2”-邻亚三联苯基、全氟-2,2”-邻亚三联苯基、全氟-4,3'-邻亚三联苯基、全氟-4,4'-邻亚三联苯基、全氟-4,5'-邻亚三联苯基、全氟-4,6'-邻亚三联苯基、全氟-3,3'-邻亚三联苯基、全氟-3,4'-邻亚三联苯基、全氟-3,5'-邻亚三联苯基、全氟-3,6'-邻亚三联苯基、全氟-2,3'-邻亚三联苯基、全氟-2,4'-邻亚三联苯基、全氟-2,5'-邻亚三联苯基、全氟-2,6'-邻亚三联苯基、1,2-亚萘基、1,3-亚萘基、1,4-亚萘基、单氟-1,4-亚萘基、二氟-1,4-亚萘基、三氟-1,4-亚萘基、四氟-1,4-亚萘基、六氟-1,4-亚萘基、1,5-亚萘基、1,6-亚萘基、1,7-亚萘基、1,8-亚萘基、2,3-亚萘基、2,4-亚萘基、2,5-亚萘基、2,6-亚萘基、单氟-2,6-亚萘基、二氟-2,6-亚萘基、三氟-2,6-亚萘基、四氟-2,6-亚萘基、五氟-2,6-亚萘基、六氟-2,6-亚萘基、2,7-亚萘基、2,8-亚萘基、9,9-二甲基-芴-2,7-二基、9,9-二(三氟甲基)-芴-2,7-二基、9,9-二(五氟乙基)-芴-2,7-二基、9,9-二(七氟丙基)-芴-2,7-二基、9,9-二(九氟丁基)-芴-2,7-二基、9,9-二(全氟戊基)-芴-2,7-二基、9,9-二(全氟己基)-芴-2,7-二基、9,9-二(全氟庚基)-芴-2,7-二基、9,9-二(全氟辛基)-芴-2,7-二基、9,9-二甲基-芴-2,8-二基、9,9-二甲基-芴-2,4-二基、9,9-二甲基-芴-2,5-二基、9,9-二甲基-芴-2,6-二基、9,9-二甲基-芴-3,6-二基、9,9-二苯基-芴-2,7-二基、9,9-二(五氟苯基)-芴-2,7-二基、9,9-二苯基-芴-2,8-二基、9,9-二苯基-芴-2,4-二基、9,9-二苯基-芴-2,5-二基、9,9-二苯基-芴-2,6-二基、9,9-二苯基-芴-3,6-二基、螺二芴-2,7-二基、全氟螺二芴-2,7-二基、螺二芴-2,8-二基、螺二芴-2,4-二基、螺二芴-2,5-二基、螺二芴-2,6-二基、螺二芴-3,6-二基、菲-9,10-二基、菲-2,9-二基、菲-2,10-二基、菲-2,8-二基、菲-2,7-二基、菲-2,6-二基、菲-2,5-二基、菲-2,14-二基、菲-2,3-二基、菲-9,10-二基、菲-3,10-二基、菲-3,9-二基、菲-3,8-二基、菲-3,7-二基、菲-3,6-二基、菲-3,5-二基、菲-4,10-二基、菲-4,9-二基、菲-4,8-二基、菲-4,7-二基、菲-4,6-二基、三亚苯基-1,3-二基、三亚苯基-1,4-二基、三亚苯基-1,5-二基、三亚苯基-1,6-二基、三亚苯基-1,7-二基、三亚苯基-1,8-二基、三亚苯基-2,3-二基、三亚苯基-2,4-二基、三亚苯基-2,5-二基、三亚苯基-2,6-二基、三亚苯基-2,7-二基、三亚苯基-3,5-二基、三亚苯基-3,6-二基、三亚苯基-4,6-二基、芘-1,3-二基、芘-1,6-二基、芘-1,8-二基、芘-2,7-二基、蒽-2,6-二基、蒽-9,10-二基、全氟蒽-9,10-二基、9,10-二苯基蒽二基、吡啶-2,3-二基、吡啶-2,4-二基、吡啶-2,5-二基、吡啶-2,6-二基、吡啶-3,4-二基、吡啶-3,5-二基、全氟吡啶-2,3-二基、全氟吡啶-2,4-二基、全氟吡啶-2,5-二基、全氟吡啶-2,6-二基、全氟吡啶-3,4-二基、全氟吡啶-3,5-二基、二苯并呋喃-2,7-二基、二苯并呋喃-4,5-二基、二苯并噻吩-2,7-二基、二苯并噻吩-4,5-二基、9-苯基咔唑-2,7-二基、嘧啶-2,4-二基、嘧啶-2,5-二基、嘧啶-4,6-二基、嘧啶-4,5-二基、三嗪-2,4-二基、金刚烷-1,3-二基、金刚烷-2,2-二基、甲烷二基、(甲)硅烷二基、环己烷-1,1-二基、环己烷-1,2-二基、环己烷-1,3-二基、环己烷-1,4-二基等。
作为3价的X的具体例,没有特别限定,能够示例出苯基-1,2,3-三基、单氟-苯基-1,2,3-三基、二氟-苯基-1,2,3-三基、三氟-苯基-1,2,3-三基、苯基-1,2,4-三基、单氟苯基-1,2,4-三基、二氟苯基-1,2,4-三基、三氟苯基-1,2,4-三基、苯基-1,3,5-三基、单氟苯基-1,3,5-三基、二氟苯基-1,3,5-三基、三氟苯基-1,3,5-三基、联苯-2,3,4-三基、单氟-联苯-2,3,4-三基、二氟-联苯-2,3,4-三基、三氟-联苯-2,3,4-三基、四氟-联苯-2,3,4-三基、五氟-联苯-2,3,4-三基、六氟-联苯-2,3,4-三基、七氟-联苯-2,3,4-三基、单氟-联苯-2,3,5-三基、二氟-联苯-2,3,5-三基、三氟-联苯-2,3,5-三基、四氟-联苯-2,3,5-三基、五氟-联苯-2,3,5-三基、六氟-联苯-2,3,5-三基、七氟-联苯-2,3,5-三基、单氟-联苯-2,3,6-三基、二氟-联苯-2,3,6-三基、三氟-联苯-2,3,6-三基、四氟-联苯-2,3,6-三基、五氟-联苯-2,3,6-三基、六氟-联苯-2,3,6-三基、七氟-联苯-2,3,6-三基、单氟-联苯-2,3,2'-三基、二氟-联苯-2,3,2'-三基、三氟-联苯-2,3,2'-三基、四氟-联苯-2,3,2'-三基、五氟-联苯-2,3,2'-三基、六氟-联苯-2,3,2'-三基、七氟-联苯-2,3,2'-三基、单氟-联苯-2,3,3'-三基、二氟-联苯-2,3,3'-三基、三氟-联苯-2,3,3'-三基、四氟-联苯-2,3,3'-三基、五氟-联苯-2,3,3'-三基、六氟-联苯-2,3,3'-三基、七氟-联苯-2,3,3'-三基、单氟-联苯-2,3,4'-三基、二氟-联苯-2,3,4'-三基、三氟-联苯-2,3,4'-三基、四氟-联苯-2,3,4'-三基、五氟-联苯-2,3,4'-三基、六氟-联苯-2,3,4'-三基、七氟-联苯-2,3,4'-三基、单氟-联苯-2,3,5-三基、二氟-联苯-2,3,5-三基、三氟-联苯-2,3,5-三基、四氟-联苯-2,3,5-三基、五氟-联苯-2,3,5-三基、六氟-联苯-2,3,5-三基、七氟-联苯-2,3,5-三基、单氟-联苯-2,3,6-三基、二氟-联苯-2,3,6-三基、三氟-联苯-2,3,6-三基、四氟-联苯-2,3,6-三基、五氟-联苯-2,3,6-三基、六氟-联苯-2,3,6-三基、七氟-联苯-2,3,6-三基、单氟-联苯-2,3,2'-三基、二氟-联苯-2,3,2'-三基、三氟-联苯-2,3,2'-三基、四氟-联苯-2,3,2'-三基、五氟-联苯-2,3,2'-三基、六氟-联苯-2,3,2'-三基、七氟-联苯-2,3,2'-三基、单氟-联苯-2,3,3'-三基、二氟-联苯-2,3,3'-三基、三氟-联苯-2,3,3'-三基、四氟-联苯-2,3,3'-三基、五氟-联苯-2,3,3'-三基、六氟-联苯-2,3,3'-三基、七氟-联苯-2,3,3'-三基、单氟-联苯-2,3,4'-三基、二氟-联苯-2,3,4'-三基、三氟-联苯-2,3,4'-三基、四氟-联苯-2,3,4'-三基、五氟-联苯-2,3,4'-三基、六氟-联苯-2,3,4'-三基、七氟-联苯-2,3,4'-三基、单氟-联苯-2,5,2'-三基、二氟-联苯-2,5,2'-三基、三氟-联苯-2,5,2'-三基、四氟-联苯-2,5,2'-三基、五氟-联苯-2,5,2'-三基、六氟-联苯-2,5,2'-三基、七氟-联苯-2,5,2'-三基、单氟-联苯-2,5,3'-三基、二氟-联苯-2,5,3'-三基、三氟-联苯-2,5,3'-三基、四氟-联苯-2,5,3'-三基、五氟-联苯-2,5,3'-三基、六氟-联苯-2,5,3'-三基、七氟-联苯-2,5,3'-三基、单氟-联苯-2,5,4'-三基、二氟-联苯-2,5,4'-三基、三氟-联苯-2,5,4'-三基、四氟-联苯-2,5,4'-三基、五氟-联苯-2,5,4'-三基、六氟-联苯-2,5,4'-三基、七氟-联苯-2,5,4'-三基、单氟-联苯-2,6,2'-三基、二氟-联苯-2,6,2'-三基、三氟-联苯-2,6,2'-三基、四氟-联苯-2,6,2'-三基、五氟-联苯-2,6,2'-三基、六氟-联苯-2,6,2'-三基、七氟-联苯-2,6,2'-三基、单氟-联苯-2,6,3'-三基、二氟-联苯-2,6,3'-三基、三氟-联苯-2,6,3'-三基、四氟-联苯-2,6,3'-三基、五氟-联苯-2,6,3'-三基、六氟-联苯-2,6,3'-三基、七氟-联苯-2,6,3'-三基、单氟-联苯-2,6,4'-三基、二氟-联苯-2,6,4'-三基、三氟-联苯-2,6,4'-三基、四氟-联苯-2,6,4'-三基、五氟-联苯-2,6,4'-三基、六氟-联苯-2,6,4'-三基、七氟-联苯-2,6,4'-三基、单氟-联苯-3,4,5-三基、二氟-联苯-3,4,5-三基、三氟-联苯-3,4,5-三基、四氟-联苯-3,4,5-三基、五氟-联苯-3,4,5-三基、六氟-联苯-3,4,5-三基、七氟-联苯-3,4,5-三基、单氟-联苯-3,4,2'-三基、二氟-联苯-3,4,2'-三基、三氟-联苯-3,4,2'-三基、四氟-联苯-3,4,2'-三基、五氟-联苯-3,4,2'-三基、六氟-联苯-3,4,2'-三基、七氟-联苯-3,4,2'-三基、单氟-联苯-3,4,3'-三基、二氟-联苯-3,4,3'-三基、三氟-联苯-3,4,3'-三基、四氟-联苯-3,4,3'-三基、五氟-联苯-3,4,3'-三基、六氟-联苯-3,4,3'-三基、七氟-联苯-3,4,3'-三基、单氟-联苯-3,4,4'-三基、二氟-联苯-3,4,4'-三基、三氟-联苯-3,4,4'-三基、四氟-联苯-3,4,4'-三基、五氟-联苯-3,4,4'-三基、六氟-联苯-3,4,4'-三基、七氟-联苯-3,4,4'-三基、单氟-联苯-3,5,2'-三基、二氟-联苯-3,5,2'-三基、三氟-联苯-3,5,2'-三基、四氟-联苯-3,5,2'-三基、五氟-联苯-3,5,2'-三基、六氟-联苯-3,5,2'-三基、七氟-联苯-3,5,2'-三基、单氟-联苯-3,5,3'-三基、二氟-联苯-3,5,3'-三基、三氟-联苯-3,5,3'-三基、四氟-联苯-3,5,3'-三基、五氟-联苯-3,5,3'-三基、六氟-联苯-3,5,3'-三基、七氟-联苯-3,5,3'-三基、单氟-联苯-3,5,4'-三基、二氟-联苯-3,5,4'-三基、三氟-联苯-3,5,4'-三基、四氟-联苯-3,5,4'-三基、五氟-联苯-3,5,4'-三基、六氟-联苯-3,5,4'-三基、七氟-联苯-3,5,4'-三基、邻三联苯三基、单氟-邻三联苯三基、二氟-邻三联苯三基、三氟-邻三联苯三基、四氟-邻三联苯三基、五氟-邻三联苯三基、六氟-邻三联苯三基、七氟-邻三联苯三基、八氟-邻三联苯三基、九氟-邻三联苯三基、十氟-邻三联苯三基、全氟-邻三联苯三基、间三联苯三基、单氟-间三联苯三基、二氟-间三联苯三基、三氟-间三联苯三基、四氟-间三联苯三基、五氟-间三联苯三基、六氟-间三联苯三基、七氟-间三联苯三基、八氟-间三联苯三基、九氟-间三联苯三基、十氟-间三联苯三基、全氟-间三联苯三基、对三联苯三基、单氟-对三联苯三基、二氟-对三联苯三基、三氟-对三联苯三基、四氟-对三联苯三基、五氟-对三联苯三基、六氟-对三联苯三基、七氟-对三联苯三基、八氟-对三联苯三基、九氟-对三联苯三基、十氟-对三联苯三基、全氟-对三联苯三基、萘-1,2,8-三基、单氟-萘-1,2,8-三基、二氟-萘-1,2,8-三基、三氟-萘-1,2,8-三基、四氟-萘-1,2,8-三基、五氟-萘-1,2,8-三基、萘-1,3,8-三基、单氟-萘-1,3,8-三基、二氟-萘-1,3,8-三基、三氟-萘-1,3,8-三基、四氟-萘-1,3,8-三基、五氟-萘-1,3,8-三基、萘-1,4,8-三基、单氟-萘-1,4,8-三基、二氟-萘-1,4,8-三基、三氟-萘-1,4,8-三基、四氟-萘-1,4,8-三基、五氟-萘-1,4,8-三基、萘-1,2,3-三基、单氟-萘-1,2,3-三基、二氟-萘-1,2,3-三基、三氟-萘-1,2,3-三基、四氟-萘-1,2,3-三基、五氟-萘-1,2,3-三基、萘-1,2,4-三基、单氟-萘-1,2,4-三基、二氟-萘-1,2,4-三基、三氟-萘-1,2,4-三基、四氟-萘-1,2,4-三基、五氟-萘-1,2,4-三基、萘-1,2,5-三基、单氟-萘-1,2,5-三基、二氟-萘-1,2,5-三基、三氟-萘-1,2,5-三基、四氟-萘-1,2,5-三基、五氟-萘-1,2,5-三基、萘-1,2,6-三基、单氟-萘-1,2,6-三基、二氟-萘-1,2,6-三基、三氟-萘-1,2,6-三基、四氟-萘-1,2,6-三基、五氟-萘-1,2,6-三基、萘-1,2,7-三基、单氟-萘-1,2,7-三基、二氟-萘-1,2,7-三基、三氟-萘-1,2,7-三基、四氟-萘-1,2,7-三基、五氟-萘-1,2,7-三基、萘-2,3,6-三基、单氟-萘-2,3,6-三基、二氟-萘-2,3,6-三基、三氟-萘-2,3,6-三基、四氟-萘-2,3,6-三基、五氟-萘-2,3,6-三基、萘-2,3,5-三基、单氟-萘-2,3,5-三基、二氟-萘-2,3,5-三基、三氟-萘-2,3,5-三基、四氟-萘-2,3,5-三基、五氟-萘-2,3,5-三基、萘-1,3,5-三基、单氟-萘-1,3,5-三基、二氟-萘-1,3,5-三基、三氟-萘-1,3,5-三基、四氟-萘-1,3,5-三基、五氟-萘-1,3,5-三基、萘-1,3,6-三基、单氟-萘-1,3,6-三基、二氟-萘-1,3,6-三基、三氟-萘-1,3,6-三基、四氟-萘-1,3,6-三基、五氟-萘-1,3,6-三基、萘-1,4,6-三基、单氟-萘-1,4,6-三基、二氟-萘-1,4,6-三基、三氟-萘-1,4,6-三基、四氟-萘-1,4,6-三基、五氟-萘-1,4,6-三基、9,9-二甲基-芴-三基、9,9-二(三氟甲基)-芴-三基、9,9-二(五氟乙基)-芴-三基、9,9-二(七氟丙基)-芴-三基、9,9-二(九氟丁基)-芴-三基、9,9-二(全氟戊基)-芴-三基、9,9-二(全氟己基)-芴-三基、9,9-二(全氟庚基)-芴-三基、9,9-二(全氟辛基)-芴-三基、9,9-二苯基-芴-三基、9,9-二(五氟苯基)-芴-三基、螺二芴-三基、全氟螺二芴-三基、螺二芴-三基、菲-三基、单氟-菲-三基、二氟-菲-三基、三氟-苯基亚甲苯-三基、四氟-菲-三基、五氟-菲-三基、六氟-菲-三基、三亚苯-三基、蒽-三基、全氟蒽-三基、9,10-二苯基蒽-三基、吡啶-2,3,4-三基、单氟吡啶-2,3,4-三基、二氟吡啶-2,3,4-三基、吡啶-2,3,5-三基、单氟吡啶-2,3,5-三基、二氟吡啶-2,3,5-三基、吡啶-2,3,6-三基、单氟吡啶-2,3,6-三基、二氟吡啶-2,3,6-三基、吡啶-3,4,5-三基、单氟吡啶-3,4,5-三基、二氟吡啶-3,4,5-三基、二苯并呋喃-三基、二苯并噻吩-三基、9-苯基咔唑-三基、嘧啶-2,4,6-三基、嘧啶-4,5,6-三基、嘧啶-2,4,5-三基、三嗪-2,4,6-三基、金刚烷-1,3,5-三基、甲烷三基、(甲)硅烷三基、环己烷-1,3,5-三基等。
作为4价的X的具体例,没有特别限定,能够示例出苯基-1,2,3,4-四基、单氟-苯基-1,2,3,4-四基、二氟-苯基-1,2,3,4-四基、苯基-1,2,3,5-四基、单氟-苯基-1,2,3,5-四基、二氟-苯基-1,2,3,5-四基、苯基-1,2,4,5-四基、单氟-苯基-1,2,4,5-四基、二氟-苯基-1,2,4,5-四基、5-三氟甲基-苯基-1,2,3,4-四基、5-三氟甲基-6-氟-苯基-1,2,3,4-四基、5,6-二三氟甲基-苯基-1,2,3,4-四基、4-三氟甲基-苯基-1,2,3,5-四基、4-三氟甲基-6-氟-苯基-1,2,3,5-四基、4,6-二三氟甲基-苯基-1,2,3,5-四基、3-三氟甲基-苯基-1,2,4,5-四基、3-三氟甲基-6-氟-苯基-1,2,4,5-四基、3,6-二三氟甲基-苯基-1,2,4,5-四基、联苯-2,3,4,3'-四基、单氟-联苯-2,3,4,3'-四基、二氟-联苯-2,3,4,3'-四基、三氟-联苯-2,3,4,3'-四基、四氟-联苯-2,3,4,3'-四基、五氟-联苯-2,3,4,3'-四基、六氟-联苯-2,3,4,3'-四基、联苯-2,3,5,3'-四基、单氟-联苯-2,3,5,3'-四基、二氟-联苯-2,3,5,3'-四基、三氟-联苯-2,3,5,3'-四基、四氟-联苯-2,3,5,3'-四基、五氟-联苯-2,3,5,3'-四基、六氟-联苯-2,3,5,3'-四基、联苯-2,4,5,3'-四基、单氟-联苯-2,4,5,3'-四基、二氟-联苯-2,4,5,3'-四基、三氟-联苯-2,4,5,3'-四基、四氟-联苯-2,4,5,3'-四基、五氟-联苯-2,4,5,3'-四基、六氟-联苯-2,4,5,3'-四基、联苯-3,4,5,3'-四基、单氟-联苯-3,4,5,3'-四基、二氟-联苯-3,4,5,3'-四基、三氟-联苯-3,4,5,3'-四基、四氟-联苯-3,4,5,3'-四基、五氟-联苯-3,4,5,3'-四基、六氟-联苯-3,4,5,3'-四基、联苯-2,3,4,5-四基、单氟-联苯-2,3,4,5-四基、二氟-联苯-2,3,4,5-四基、三氟-联苯-2,3,4,5-四基、四氟-联苯-2,3,4,5-四基、五氟-联苯-2,3,4,5-四基、六氟-联苯-2,3,4,5-四基、联苯-2,3,6,3'-四基、单氟-联苯-2,3,6,3'-四基、二氟-联苯-2,3,6,3'-四基、三氟-联苯-2,3,6,3'-四基、四氟-联苯-2,3,6,3'-四基、五氟-联苯-2,3,6,3'-四基、六氟-联苯-2,3,6,3'-四基、联苯-2,4,6,3'-四基、单氟-联苯-2,4,6,3'-四基、二氟-联苯-2,4,6,3'-四基、三氟-联苯-2,4,6,3'-四基、四氟-联苯-2,4,6,3'-四基、五氟-联苯-2,4,6,3'-四基、六氟-联苯-2,4,6,3'-四基、联苯-2,3,4,6-四基、单氟-联苯-2,3,4,6-四基、二氟-联苯-2,3,4,6-四基、三氟-联苯-2,3,4,6-四基、四氟-联苯-2,3,4,6-四基、五氟-联苯-2,3,4,6-四基、六氟-联苯-2,3,4,6-四基、联苯-2,3,5,6-四基、单氟-联苯-2,3,5,6-四基、二氟-联苯-2,3,5,6-四基、三氟-联苯-2,3,5,6-四基、四氟-联苯-2,3,5,6-四基、五氟-联苯-2,3,5,6-四基、六氟-联苯-2,3,5,6-四基、联苯-2,5,2',3'-四基、单氟-联苯-2,5,2',3'-四基、二氟-联苯-2,5,2',3'-四基、三氟-联苯-2,5,2',3'-四基、四氟-联苯-2,5,2',3'-四基、五氟-联苯-2,5,2',3'-四基、六氟-联苯-2,5,2',3'-四基、联苯-2,4,2',5'-四基、单氟-联苯-2,4,2',5'-四基、二氟-联苯-2,4,2',5'-四基、三氟-联苯-2,4,2',5'-四基、四氟-联苯-2,4,2',5'-四基、五氟-联苯-2,4,2',5'-四基、六氟-联苯-2,4,2',5'-四基、联苯-2,5,3',4'-四基、单氟-联苯-2,5,3',4'-四基、二氟-联苯-2,5,3',4'-四基、三氟-联苯-2,5,3',4'-四基、四氟-联苯-2,5,3',4'-四基、五氟-联苯-2,5,3',4'-四基、六氟-联苯-2,5,3',4'-四基、联苯-2,3,4,2'-四基、单氟-联苯-2,3,4,2'-四基、二氟-联苯-2,3,4,2'-四基、三氟-联苯-2,3,4,2'-四基、四氟-联苯-2,3,4,2'-四基、五氟-联苯-2,3,4,2'-四基、六氟-联苯-2,3,4,2'-四基、联苯-2,5,2',5'-四基、单氟-联苯-2,5,2',5'-四基、二氟-联苯-2,5,2',5'-四基、三氟-联苯-2,5,2',5'-四基、四氟-联苯-2,5,2',5'-四基、五氟-联苯-2,5,2',5'-四基、六氟-联苯-2,5,2',5'-四基、联苯-2,5,3',5'-四基、单氟-联苯-2,5,3',5'-四基、二氟-联苯-2,5,3',5'-四基、三氟-联苯-2,5,3',5'-四基、四氟-联苯-2,5,3',5'-四基、五氟-联苯-2,5,3',5'-四基、六氟-联苯-2,5,3',5'-四基、联苯-2,3,5,2'-四基、单氟-联苯-2,3,5,2'-四基、二氟-联苯-2,3,5,2'-四基、三氟-联苯-2,3,5,2'-四基、四氟-联苯-2,3,5,2'-四基、五氟-联苯-2,3,5,2'-四基、六氟-联苯-2,3,5,2'-四基、联苯-2,4,5,2'-四基、单氟-联苯-2,4,5,2'-四基、二氟-联苯-2,4,5,2'-四基、三氟-联苯-2,4,5,2'-四基、四氟-联苯-2,4,5,2'-四基、五氟-联苯-2,4,5,2'-四基、六氟-联苯-2,4,5,2'-四基、联苯-3,4,5,2'-四基、单氟-联苯-3,4,5,2'-四基、二氟-联苯-3,4,5,2'-四基、三氟-联苯-3,4,5,2'-四基、四氟-联苯-3,4,5,2'-四基、五氟-联苯-3,4,5,2'-四基、六氟-联苯-3,4,5,2'-四基、联苯-2,5,2',6'-四基、单氟-联苯-2,5,2',6'-四基、二氟-联苯-2,5,2',6'-四基、三氟-联苯-2,5,2',6'-四基、四氟-联苯-2,5,2',6'-四基、五氟-联苯-2,5,2',6'-四基、六氟-联苯-2,5,2',6'-四基、联苯-2,3,6,2'-四基、单氟-联苯-2,3,6,2'-四基、二氟-联苯-2,3,6,2'-四基、三氟-联苯-2,3,6,2'-四基、四氟-联苯-2,3,6,2'-四基、五氟-联苯-2,3,6,2'-四基、六氟-联苯-2,3,6,2'-四基、联苯-2,4,6,2'-四基、单氟-联苯-2,4,6,2'-四基、二氟-联苯-2,4,6,2'-四基、三氟-联苯-2,4,6,2'-四基、四氟-联苯-2,4,6,2'-四基、五氟-联苯-2,4,6,2'-四基、六氟-联苯-2,4,6,2'-四基、联苯-2,3,3',4'-四基、单氟-联苯-2,3,3',4'-四基、二氟-联苯-2,3,3',4'-四基、三氟-联苯-2,3,3',4'-四基、四氟-联苯-2,3,3',4'-四基、五氟-联苯-2,3,3',4'-四基、六氟-联苯-2,3,3',4'-四基、联苯-2,4,3',4'-四基、单氟-联苯-2,4,3',4'-四基、二氟-联苯-2,4,3',4'-四基、三氟-联苯-2,4,3',4'-四基、四氟-联苯-2,4,3',4'-四基、五氟-联苯-2,4,3',4'-四基、六氟-联苯-2,4,3',4'-四基、联苯-3,4,3',4'-四基、单氟-联苯-3,4,3',4'-四基、二氟-联苯-3,4,3',4'-四基、三氟-联苯-3,4,3',4'-四基、四氟-联苯-3,4,3',4'-四基、五氟-联苯-3,4,3',4'-四基、六氟-联苯-3,4,3',4'-四基、联苯-2,3,4,4'-四基、单氟-联苯-2,3,4,4'-四基、二氟-联苯-2,3,4,4'-四基、三氟-联苯-2,3,4,4'-四基、四氟-联苯-2,3,4,4'-四基、五氟-联苯-2,3,4,4'-四基、六氟-联苯-2,3,4,4'-四基、联苯-3,4,3',5'-四基、单氟-联苯-3,4,3',5'-四基、二氟-联苯-3,4,3',5'-四基、三氟-联苯-3,4,3',5'-四基、四氟-联苯-3,4,3',5'-四基、五氟-联苯-3,4,3',5'-四基、六氟-联苯-3,4,3',5'-四基、联苯-2,3,5,4'-四基、单氟-联苯-2,3,5,4'-四基、二氟-联苯-2,3,5,4'-四基、三氟-联苯-2,3,5,4'-四基、四氟-联苯-2,3,5,4'-四基、五氟-联苯-2,3,5,4'-四基、六氟-联苯-2,3,5,4'-四基、联苯-2,4,5,4'-四基、单氟-联苯-2,4,5,4'-四基、二氟-联苯-2,4,5,4'-四基、三氟-联苯-2,4,5,4'-四基、四氟-联苯-2,4,5,4'-四基、五氟-联苯-2,4,5,4'-四基、六氟-联苯-2,4,5,4'-四基、联苯-3,4,5,4'-四基、单氟-联苯-3,4,5,4'-四基、二氟-联苯-3,4,5,4'-四基、三氟-联苯-3,4,5,4'-四基、四氟-联苯-3,4,5,4'-四基、五氟-联苯-3,4,5,4'-四基、六氟-联苯-3,4,5,4'-四基、联苯-2,6,3',4'-四基、单氟-联苯-2,6,3',4'-四基、二氟-联苯-2,6,3',4'-四基、三氟-联苯-2,6,3',4'-四基、四氟-联苯-2,6,3',4'-四基、五氟-联苯-2,6,3',4'-四基、六氟-联苯-2,6,3',4'-四基、联苯-2,3,6,4'-四基、单氟-联苯-2,3,6,4-四基、二氟-联苯-2,3,6,4-四基、三氟-联苯-2,3,6,4-四基、四氟-联苯-2,3,6,4-四基、五氟-联苯-2,3,6,4-四基、六氟-联苯-2,3,6,4-四基、联苯-2,4,6,4'-四基、单氟-联苯-2,4,6,4-四基、二氟-联苯-2,4,6,4-四基、三氟-联苯-2,4,6,4-四基、四氟-联苯-2,4,6,4-四基、五氟-联苯-2,4,6,4-四基、六氟-联苯-2,4,6,4-四基、联苯-2,3,2',4'-四基、单氟-联苯-2,3,2',4'-四基、二氟-联苯-2,3,2',4'-四基、三氟-联苯-2,3,2',4'-四基、四氟-联苯-2,3,2',4'-四基、五氟-联苯-2,3,2',4'-四基、六氟-联苯-2,3,2',4'-四基、联苯-2,4,2',4'-四基、单氟-联苯-2,4,2',4'-四基、二氟-联苯-2,4,2',4'-四基、三氟-联苯-2,4,2',4'-四基、四氟-联苯-2,4,2',4'-四基、五氟-联苯-2,4,2',4'-四基、六氟-联苯-2,4,2',4'-四基、联苯-3,5,2',4'-四基、单氟-联苯-3,5,2',4'-四基、二氟-联苯-3,5,2',4'-四基、三氟-联苯-3,5,2',4'-四基、四氟-联苯-3,5,2',4'-四基、五氟-联苯-3,5,2',4'-四基、六氟-联苯-3,5,2',4'-四基、联苯-2,4,2',6'-四基、单氟-联苯-2,4,2',6-四基、二氟-联苯-2,4,2',6-四基、三氟-联苯-2,4,2',6-四基、四氟-联苯-2,4,2',6-四基、五氟-联苯-2,4,2',6-四基、六氟-联苯-2,4,2',6-四基、联苯-2,3,2',3'-四基、单氟-联苯-2,3,2',3'-四基、二氟-联苯-2,3,2',3'-四基、三氟-联苯-2,3,2',3'-四基、四氟-联苯-2,3,2',3'-四基、五氟-联苯-2,3,2',3'-四基、六氟-联苯-2,3,2',3'-四基、联苯-2,3,3',5'-四基、单氟-联苯-2,3,3',5'-四基、二氟-联苯-2,3,3',5'-四基、三氟-联苯-2,3,3',5'-四基、四氟-联苯-2,3,3',5'-四基、五氟-联苯-2,3,3',5'-四基、六氟-联苯-2,3,3',5'-四基、联苯-2,3,2',6'-四基、单氟-联苯-2,3,2',6'-四基、二氟-联苯-2,3,2',6'-四基、三氟-联苯-2,3,2',6'-四基、四氟-联苯-2,3,2',6'-四基、五氟-联苯-2,3,2',6'-四基、六氟-联苯-2,3,2',6'-四基、联苯-3,5,2',6'-四基、单氟-联苯-3,5,2',6'-四基、二氟-联苯-3,5,2',6'-四基、三氟-联苯-3,5,2',6'-四基、四氟-联苯-3,5,2',6'-四基、五氟-联苯-3,5,2',6'-四基、六氟-联苯-3,5,2',6'-四基、联苯-2,6,2',6'-四基、单氟-联苯-2,6,2',6'-四基、二氟-联苯-2,6,2',6'-四基、三氟-联苯-2,6,2',6'-四基、四氟-联苯-2,6,2',6'-四基、五氟-联苯-2,6,2',6'-四基、六氟-联苯-2,6,2',6'-四基、联苯-3,5,3',5'-四基、单氟-联苯-3,5,3',5'-四基、二氟-联苯-3,5,3',5'-四基、三氟-联苯-3,5,3',5'-四基、四氟-联苯-3,5,3',5'-四基、五氟-联苯-3,5,3',5'-四基、六氟-联苯-3,5,3',5'-四基、邻三联苯四基、单氟-邻三联苯四基、二氟-邻三联苯四基、三氟-邻三联苯四基、四氟-邻三联苯四基、五氟-邻三联苯四基、六氟-邻三联苯四基、七氟-邻三联苯四基、八氟-邻三联苯四基、九氟-邻三联苯四基、十氟-邻三联苯四基、间三联苯四基、单氟-间三联苯四基、二氟-间三联苯四基、三氟-间三联苯四基、四氟-间三联苯四基、五氟-间三联苯四基、六氟-间三联苯四基、七氟-间三联苯四基、八氟-间三联苯四基、九氟-间三联苯四基、十氟-间三联苯四基、全氟-间三联苯四基、对三联苯四基、单氟-对三联苯四基、二氟-对三联苯四基、三氟-对三联苯四基、四氟-对三联苯四基、五氟-对三联苯四基、六氟-对三联苯四基、七氟-对三联苯四基、八氟-对三联苯四基、九氟-对三联苯四基、十氟-对三联苯四基、全氟-对三联苯四基、萘-1,4,5,8-四基、单氟-萘-1,4,5,8-四基、二氟-萘-1,4,5,8-四基、三氟-萘-1,4,5,8-四基、四氟-1,4,5,8-萘-四基、萘-2,3,6,7-四基、单氟-萘-2,3,6,7-四基、二氟-萘-2,3,6,7-四基、三氟-萘-2,3,6,7-四基、四氟-2,3,6,7-萘-四基、9,9-二甲基-芴-四基、9,9-二(三氟甲基)-芴-四基、9,9-二(五氟乙基)-芴-四基、9,9-二(七氟丙基)-芴-四基、9,9-二(九氟丁基)-芴-四基、9,9-二(全氟戊基)-芴-四基、9,9-二(全氟己基)-芴-四基、9,9-二(全氟庚基)-芴-四基、9,9-二(全氟辛基)-芴-四基、9,9-二苯基-芴-四基、9,9-二(五氟苯基)-芴-四基、螺二芴-四基、全氟螺二芴-四基、螺二芴-四基、菲-四基、单氟-菲-四基、二氟-菲-四基、三氟-菲-四基、四氟-菲-四基、五氟-菲-四基、三亚苯-四基、蒽-四基、全氟蒽-四基、9,10-二苯基蒽-四基、吡啶-2,3,4,5-四基、单氟吡啶-2,3,4,5-四基、吡啶-2,3,4,6四基、单氟吡啶-2,3,4,6四基、吡啶-2,3,5,6四基、单氟吡啶-2,3,5,6四基、嘧啶-2,4,5,6-三基、二苯并呋喃-四基、二苯并噻吩-四基、9-苯基咔唑-四基、金刚烷-1,3,5,7-四基、甲烷四基、(甲)硅烷四基、环己烷-1,1,4,4-四基等。
在式(1)~(3)中,X的玻璃化转变温度高,能够抑制膜表面的金属膜的形成,因此优选为(vi)亚苯基、亚联苯基、亚三联苯基、亚萘基、亚芴基、亚螺二芴基、亚苯并芴基、亚菲基、亚荧蒽基、亚三亚苯基、蒽二基、亚吡啶基、嘧啶二基、三嗪二基、咔唑二基、苯并呋喃二基、苯并噻吩二基、二苯并呋喃二基、金刚烷二基、亚甲基、甲硅烷二基、亚环己基、苯三基、联苯三基、三联苯三基、萘三基、芴三基、螺二芴三基、苯并芴三基、菲三基、荧蒽三基、三亚苯三基、蒽三基、芘三基、吡啶三基、嘧啶三基、三嗪三基、咔唑三基、苯并呋喃三基、苯并噻吩三基、二苯并呋喃三基、金刚烷三基、甲烷三基、甲硅烷三基、环己烷三基、苯四基、联苯四基、三联苯四基、萘四基、芴四基、螺二芴四基、苯并芴四基、菲四基、荧蒽四基、三亚苯四基、蒽四基、芘四基、吡啶四基、嘧啶四基、咔唑四基、苯并呋喃四基、苯并噻吩四基、二苯并呋喃四基、金刚烷四基、甲烷四基、甲硅烷四基、或环己烷四基、或者为(vii),上述(vi)所示的基团被选自由甲基、乙基、甲氧基、乙氧基、三氟甲基、三氟甲氧基、碳原子数为2~10的全氟烷基、碳原子数为2~10的全氟烷氧基、氰基、氘原子、氟原子、任选被氟原子取代的苯基、任选被氟原子取代的联苯基、任选被氟原子取代的萘基、任选被氟原子取代的菲基、任选被氟原子取代的吡啶基、任选被氟原子取代的咔唑基、任选被氟原子取代的二苯并噻吩基、以及任选被氟原子取代的二苯并呋喃基组成的组中的1个以上的基团取代的基团。
X的玻璃化转变温度高,能够抑制膜表面的金属膜的形成,因此更优选为以下的取代基。
需要说明的是,F表示氟原子,v表示0至5的整数,w表示0至4的整数,x表示0至3的整数,y表示0至2的整数,z表示0至1的整数。
[表27]
[表28]
[表29]
[表30]
[表31]
[表32]
[表33]
[表34]
[表35]
[表36]
[表37]
[表38]
[表39]
[表40]
[表41]
[表42]
X的玻璃化转变温度高,能够抑制膜表面的金属膜的形成,因此进一步更优选为(vi')亚苯基、亚联苯基、亚三联苯基、亚萘基、亚芴基、亚螺二芴基、亚苯并芴基、亚菲基、亚荧蒽基、亚三亚苯基、蒽二基、亚吡啶基、嘧啶二基、三嗪二基、咔唑二基、苯并呋喃二基、苯并噻吩二基、二苯并呋喃二基、金刚烷二基、亚甲基、甲硅烷二基、亚环己基、苯三基、联苯三基、三联苯三基、萘三基、芴三基、螺二芴三基、苯并芴三基、菲三基、荧蒽三基、三亚苯三基、蒽三基、芘三基、吡啶三基、嘧啶三基、三嗪三基、咔唑三基、苯并呋喃三基、苯并噻吩三基、二苯并呋喃三基、金刚烷三基、甲烷三基、甲硅烷三基、环己烷三基、苯四基、联苯四基、三联苯四基、萘四基、芴四基、螺二芴四基、苯并芴四基、菲四基、荧蒽四基、三亚苯四基、蒽四基、芘四基、吡啶四基、嘧啶四基、咔唑四基、苯并呋喃四基、苯并噻吩四基、二苯并呋喃四基、金刚烷四基、甲烷四基、甲硅烷四基、或环己烷四基、或者为(vii'),上述(vi')所示基团被选自由甲基、三氟甲基、碳原子数为2~10的全氟烷基、氟原子、任选被氟原子取代的苯基组成的组中的1种以上的基团取代的基团。
X的玻璃化转变温度高,能够抑制膜表面的金属膜的形成,因此特别优选为亚苯基、具有至少1个氟原子的亚苯基、具有至少1个三氟甲基的亚苯基、亚联苯基、具有至少1个氟原子的亚联苯基、具有至少1个三氟甲基的亚联苯基、亚三联苯基、具有至少1个氟原子的亚三联苯基、具有至少1个三氟甲基的亚三联苯基、亚萘基、亚芴基、亚螺二芴基、亚苯并芴基、亚菲基、亚荧蒽基、亚三亚苯基、蒽二基、亚吡啶基、嘧啶二基、三嗪二基、咔唑二基、苯并呋喃二基、苯并噻吩二基、二苯并呋喃二基、金刚烷二基、亚甲基、甲硅烷二基、亚环己基、苯三基、具有至少1个氟原子的苯三基、具有至少1个三氟甲基的苯三基、联苯三基、具有至少1个氟原子的联苯三基、具有至少1个三氟甲基的联苯三基、三联苯三基、具有至少1个氟原子的三联苯三基、具有至少1个三氟甲基的三联苯三基、萘三基、芴三基、螺二芴三基、苯并芴三基、菲三基、荧蒽三基、三亚苯三基、蒽三基、芘三基、吡啶三基、嘧啶三基、三嗪三基、咔唑三基、苯并呋喃三基、苯并噻吩三基、二苯并呋喃三基、金刚烷三基、甲烷三基、甲硅烷三基、环己烷三基、苯四基、具有至少1个氟原子的苯四基、具有至少1个三氟甲基的苯四基、联苯四基、具有至少1个氟原子的联苯四基、具有至少1个三氟甲基的联苯四基、三联苯四基、具有至少1个氟原子的三联苯四基、具有至少1个三氟甲基的三联苯四基、萘四基、芴四基、螺二芴四基、苯并芴四基、菲四基、荧蒽四基、三亚苯四基、蒽四基、芘四基、吡啶四基、嘧啶四基、咔唑四基、苯并呋喃四基、苯并噻吩四基、二苯并呋喃四基、金刚烷四基、甲烷四基、甲硅烷四基、或者环己烷四基。
金属图案化用材料能够抑制在膜表面形成金属膜,因此优选在分子内具有选自由全氟苯基、全氟甲苯基、全氟二甲基苯基以及全氟联苯基组成的组中的1种以上的基团。
金属图案化用材料能够抑制在膜表面形成金属膜,因此该金属图案化用材料的分子结构中的氟原子与碳原子的数量之比优选为氟原子比1∶4多,更优选为氟原子比1∶3多,进一步优选为氟原子比1∶2多。
从玻璃化转变温度和升华温度的观点出发,该比依次进一步更优选为1:2至2:1、1:2至1.9:1、1:2至1.8:1、1:2至1.7:1、1:2至1.6:1、1:2至1.5:1。
另外,金属图案化用材料优选为式(4)、(5)或(6)表示的化合物。
[化8]
[化9]
[化10]
式中,a1、a2以及a3各自独立地表示1~3的整数;a4以及a5各自独立地表示1或者2的整数;
a6表示0或者1的整数;
A1~A14各自独立地表示任选被取代的碳原子数为6~25的单环、联环、或稠环的芳族烃基、任选被取代的碳原子数为3~25的单环、联环、或稠环的杂芳族基团、或者任选被取代的碳原子数为3~25的环状烷基;
其中,A1~A3中的至少1个各自独立地为任选被取代的碳原子数为3~25的环状烷基,A4~A7中的至少1个各自独立地为任选被取代的碳原子数为3~25的环状烷基;
a6为0时,A8~A11中的至少1个各自独立地为任选被取代的碳原子数为3~25的环状烷基;
a6为1时,A8~A14中的至少1个各自独立地为任选被取代的碳原子数为3~25的环状烷基;
L101~L118各自独立地表示任选被取代的碳原子数为6~25的单环、联环、或稠环的2价芳族烃基、任选被取代的碳原子数为3~25的单环、联环、或稠环的2价杂环基、或者单键;
B表示任选被取代的碳原子数为6~25的单环、联环、或稠环的2价至4价芳族烃基、任选被取代的碳原子数为3~25的单环、联环、或稠环的2价至4价杂芳族基团、任选被取代的碳原子数为1~10的直链、支链、或环状的2价至4价烷基、或者任选被取代的2价至4价的硅原子。
A1~A14优选为取代的芳族烃基、取代的杂芳族基团、或者取代的环状烷基时,这些基团各自独立地被选自由任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链或环状烷基、任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状烷氧基、任选被氟原子取代的碳原子数为6~20的芳族烃基、任选被氟原子取代的碳原子数为3~20的杂芳族基团、氰基、氟原子、以及氘原子组成的组中的1个以上的基团取代;
L101~L118优选为取代的2价芳族烃基、或者取代的2价杂芳族基团时,这些基团各自独立地被选自由任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状烷基、任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状烷氧基、任选被氟原子取代的碳原子数为6~20的芳族烃基、任选被氟原子取代的碳原子数为3~20的杂芳族基团、氰基、氟原子、以及氘原子组成的组中的1个以上的基团取代;
B优选为取代的2价至4价芳族烃基、取代的2价至4价杂芳族基团、取代的2价至4价烷基、或者取代的2价至4价的硅原子的情况下,这些基团各自独立地被选自由任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状烷基、任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状烷氧基、任选被氟原子取代的碳原子数为6~20的芳族烃基、任选被氟原子取代的碳原子数为3~20的杂芳族基团、氰基、氟原子以及氘原子组成的组中的1个以上的基团取代。
作为上述碳原子数为3~25的稠环的环状烷基,可举出例如环丁基、环戊基、环己基、环庚基、环辛基、金刚烷基、降金刚烷基(noradamantyl group)、降冰片基(norbornanegroup)、双金刚烷基、十氢萘基等。
需要说明的是,如上所述,碳原子数为3~25的稠环的环状烷基可以具有取代基。它们具有取代基时,优选被选自由任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状烷基、任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状烷氧基、任选被氟原子取代的碳原子数为6~20的芳族烃基、任选被氟原子取代的碳原子数为3~20的杂芳族基团、氰基、氟原子、氘原子组成的组中的1个以上的基团取代。此时,对于取代基的数量没有特别限定。
式(4)、(5)或者(6)中的碳原子数为6~25的单环、联环、或稠环的芳族烃基;碳原子数为3~25的单环、联环或稠环的杂芳族基团;碳原子数为6~25的单环、联环、或稠环的2价芳族烃基;碳原子数为3~25的单环、联环或稠环的2价杂芳族基团;碳原子数为6~25的单环、联环、或稠环的2价至4价芳族烃基;碳原子数为3~25的单环、联环、或稠环的2价至4价杂芳族基团;碳原子数为1~10的直链、分支、或环状的2价至4价烷基;任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状烷基;任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状烷氧基;任选被氟原子取代的碳原子数为6~20的芳族烃基;任选被氟原子取代的碳原子数为3~20的杂芳族基团;与上述式(1)~(3)所示的碳原子数为6~25的单环、联环、或稠环的芳族烃基;碳原子数为3~25的单环、联环、或稠环的杂芳族基团;碳原子数为6~25的单环、联环、或稠环的2价芳族烃基;碳原子数为3~25的单环、联环、或稠环的2价杂芳族基团;碳原子数为6~25的单环、联环、或稠环的2价至4价芳族烃基;碳原子数为3~25的单环、联环、或稠环的2价至4价杂芳族基团;碳原子数为1~10的直链、支链、或环状的2价至4价烷基;任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状烷基;任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状烷氧基;任选被氟原子取代的碳原子数为6~20的芳族烃基;任选被氟原子取代的碳原子数为3~20的杂芳族基团同义。
由于能够抑制在膜表面形成金属膜,因此式(4)~(6)中的稠环的芳族烃基的碳原子数优选为6以上且15以下。具体而言,优选为6至15,更优选为6至14,进一步优选为6至13。
式(4)~(6)中,A1~A14的玻璃化转变温度高,能够抑制膜表面的金属膜的形成,因此各自独立地优选为(viii)苯基、联苯基、三联苯基、萘基、芴基、螺二芴基、苯并芴基、菲基、荧蒽基、三亚苯基、蒽基、芘基、吡啶基、咔唑基、苯并呋喃基、苯并噻吩基、二苯并呋喃基、二苯并噻吩基、环戊基、环己基、双金刚烷基、金刚烷基、降金刚烷基、降冰片基或十氢萘基、或者为(ix),上述(viii)所示的基团被选自由甲基、乙基、甲氧基、乙氧基、三氟甲基、三氟甲氧基、碳原子数为2~10的全氟烷基、碳原子数为2~10的全氟烷氧基、氰基、氘原子、氟原子、任选被氟原子取代的苯基、任选被氟原子取代的联苯基、任选被氟原子取代的萘基、任选被氟原子取代的菲基、任选被氟原子取代的吡啶基、任选被氟原子取代的咔唑基、任选被氟原子取代的二苯并噻吩基、以及任选被氟原子取代的二苯并呋喃基组成的组中的1个以上的基团取代的基团。
在式(4)~(6)中,A1~A14的玻璃化转变温度高,能够抑制膜表面的金属膜的形成,因此各自独立地进一步优选为(viii')苯基、联苯基、三联苯基、萘基、芴基、螺二芴基、菲基、荧蒽基、三亚苯基、蒽基、芘基、吡啶基、咔唑基、二苯并呋喃基、二苯并噻吩基、环戊基、环己基、双金刚烷基、金刚烷基、降金刚烷基、降冰片基或十氢萘基、或者为(ix'),上述(viii')所示的基团被选自由甲基、三氟甲基、碳原子数为2~10的全氟烷基、氟原子、以及任选被氟原子取代的苯基组成的组中的1个以上的基团取代的基团。
A1~A14的玻璃化转变温度高,能够抑制膜表面的金属膜的形成,因此各自独立地更优选为苯基、具有至少1个氟原子的苯基、具有至少1个三氟甲基的苯基、联苯基、具有至少1个氟原子的联苯基、具有至少1个三氟甲基的联苯基、三联苯基、具有至少1个氟原子的三联苯基、具有至少1个三氟甲基的三联苯基、萘基、9,9-二甲基芴基、9,9-二苯基芴基、螺二芴基、菲基、咔唑-9-基、9-苯基咔唑基、二苯并呋喃基、二苯并噻吩基、环己基、具有至少1个氟原子的环己基、具有至少1个三氟甲基的环己基、金刚烷基、具有至少1个氟原子的金刚烷基、或者具有至少1个三氟甲基的金刚烷基。
式(4)~(6)中,L101~L118的玻璃化转变温度高,能够抑制膜表面的金属膜的形成,因此各自独立地优选为(x)亚苯基、亚联苯基、亚三联苯基、亚萘基、亚吡啶基、或亚芴基、为(xi),上述(x)所示的基团为甲基、乙基、甲氧基、乙氧基、三氟甲基、三氟甲氧基、碳原子数为2~10的全氟烷基、碳原子数为2~10的全氟烷氧基、氰基、氘原子、氟原子、任选被氟原子取代的苯基、任选被氟原子取代的联苯基、任选被氟原子取代的萘基、任选被氟原子取代的菲基、任选被氟原子取代的吡啶基、任选被氟原子取代的咔唑基、任选被氟原子取代的二苯并噻吩基、以及任选被氟原子取代的二苯并呋喃基、或者为(xii)单键。
L101~L118的玻璃化转变温度高,能够抑制膜表面的金属膜的形成,因此各自独立地进一步优选为(x')亚苯基、亚联苯基、亚三联苯基、亚萘基、亚吡啶基、或亚芴基、为(xi'),上述(x')所示的基团被选自由甲基、三氟甲基、氟原子、以及任选被氟原子取代的苯基组成的组中的1个以上的基团取代的基团、或者为(xii')单键。
L101~L118的玻璃化转变温度高,能够抑制膜表面的金属膜的形成,因此各自独立地更优选为亚苯基、具有至少1个氟原子的亚苯基、具有至少1个三氟甲基的亚苯基、亚联苯基、具有至少1个氟原子的亚联苯基、具有至少1个三氟甲基的亚联苯基、亚三联苯基、具有至少1个氟原子的亚三联苯基、具有至少1个三氟甲基的亚三联苯基、亚萘基或者为单键。
式(4)~(6)中,B的玻璃化转变温度高,能够抑制膜表面的金属膜的形成,因此优选为(xiii)亚苯基、亚联苯基、亚三联苯基、亚萘基、亚芴基、亚螺二芴基、亚苯并芴基、亚菲基、亚荧蒽基、亚三亚苯基、蒽二基、亚吡啶基、嘧啶二基、三嗪二基、咔唑二基、苯并呋喃二基、苯并噻吩二基、二苯并呋喃二基、金刚烷二基、亚甲基、甲硅烷二基、亚环己基、苯三基、联苯三基、三联苯三基、萘三基、芴三基、螺二芴三基、苯并芴三基、菲三基、荧蒽三基、三亚苯三基、蒽三基、芘三基、吡啶三基、嘧啶三基、三嗪三基、咔唑三基、苯并呋喃三基、苯并噻吩三基、二苯并呋喃三基、金刚烷三基、甲烷三基、甲硅烷三基、环己烷三基、苯四基、联苯四基、三联苯四基、萘四基、芴四基、螺二芴四基、苯并芴四基、菲四基、荧蒽四基、三亚苯四基、蒽四基、芘四基、吡啶四基、嘧啶四基、咔唑四基、苯并呋喃四基、苯并噻吩四基、二苯并呋喃四基、金刚烷四基、甲烷四基、甲硅烷四基、或环己烷四基、或者为(xiv),所述(xiii)所示的基团被选自由甲基、乙基、甲氧基、乙氧基、三氟甲基、三氟甲氧基、碳原子数为2~10的全氟烷基、碳原子数为2~10的全氟烷氧基、氰基、氘原子、氟原子、任选被氟原子取代的苯基、任选被氟原子取代的联苯基、任选被氟原子取代的萘基、任选被氟原子取代的菲基、任选被氟原子取代的吡啶基、任选被氟原子取代的咔唑基、任选被氟原子取代的二苯并噻吩基、以及任选被氟原子取代的二苯并呋喃基组成的组中的1个以上的基团取代的基团。
B的玻璃化转变温度高,能够抑制膜表面的金属膜的形成,因此进一步优选为(xiii')亚苯基、亚联苯基、亚三联苯基、亚萘基、亚芴基、亚螺二芴基、亚苯并芴基、亚菲基、亚荧蒽基、亚三亚苯基、蒽二基、亚吡啶基、嘧啶二基、三嗪二基、咔唑二基、苯并呋喃二基、苯并噻吩二基、二苯并呋喃二基、金刚烷二基、亚甲基、甲硅烷二基、亚环己基、苯三基、联苯三基、三联苯三基、萘三基、芴三基、螺二芴三基、苯并芴三基、菲三基、荧蒽三基、三亚苯三基、蒽三基、芘三基、吡啶三基、嘧啶三基、三嗪三基、咔唑三基、苯并呋喃三基、苯并噻吩三基、二苯并呋喃三基、金刚烷三基、甲烷三基、甲硅烷三基、环己烷三基、苯四基、联苯四基、三联苯四基、萘四基、芴四基、螺二芴四基、苯并芴四基、菲四基、荧蒽四基、三亚苯四基、蒽四基、芘四基、吡啶四基、嘧啶四基、咔唑四基、苯并呋喃四基、苯并噻吩四基、二苯并呋喃四基、金刚烷四基、甲烷四基、甲硅烷四基、或环己烷四基、或者为(xiv'),上述(xiii')所示的基团被选自由甲基、三氟甲基、碳原子数为2~10的全氟烷基、氟原子、以及任选被氟原子取代的苯基组成的组中的1种以上的基团取代的基团。
B的玻璃化转变温度高,能够抑制膜表面的金属膜的形成,因此更进一步优选为亚苯基、具有至少1个氟原子的亚苯基、具有至少1个三氟甲基的亚苯基、亚联苯基、具有至少1个氟原子的亚联苯基、具有至少1个三氟甲基的亚联苯基、亚三联苯基、具有至少1个氟原子的亚三联苯基、具有至少1个三氟甲基的亚三联苯基、亚萘基、亚芴基、亚螺二芴基、亚苯并芴基、亚菲基、亚荧蒽基、亚三亚苯基、蒽二基、亚吡啶基、嘧啶二基、三嗪二基、咔唑二基、苯并呋喃二基、苯并噻吩二基、二苯并呋喃二基、金刚烷二基、亚甲基、甲硅烷二基、亚环己基、苯三基、具有至少1个氟原子的苯三基、具有至少1个三氟甲基的苯三基、联苯三基、具有至少1个氟原子的联苯三基、具有至少1个三氟甲基的联苯三基、三联苯三基、具有至少1个氟原子的三联苯三基、具有至少1个三氟甲基的三联苯三基、萘三基、芴三基、螺二芴三基、苯并芴三基、菲三基、荧蒽三基、三亚苯三基、蒽三基、芘三基、吡啶三基、嘧啶三基、三嗪三基、咔唑三基、苯并呋喃三基、苯并噻吩三基、二苯并呋喃三基、金刚烷三基、甲烷三基、甲硅烷三基、环己烷三基、苯四基、具有至少1个氟原子的苯四基、具有至少1个三氟甲基的苯四基、联苯四基、具有至少1个氟原子的联苯四基、具有至少1个三氟甲基的联苯四基、三联苯四基、具有至少1个氟原子的三联苯四基、具有至少1个三氟甲基的三联苯四基、萘四基、芴四基、螺二芴四基、苯并芴四基、菲四基、荧蒽四基、三亚苯四基、蒽四基、芘四基、吡啶四基、嘧啶四基、咔唑四基、苯并呋喃四基、苯并噻吩四基、二苯并呋喃四基、金刚烷四基、甲烷四基、甲硅烷四基、或者环己烷四基。
金属图案化用材料能够抑制在膜表面形成金属膜,因此优选在分子内具有选自由全氟苯基、全氟甲苯基、全氟二甲基苯基以及全氟联苯基组成的组中的1种以上的基团。
金属图案化用材料能够抑制在膜表面形成金属膜,因此该金属图案化用材料的分子结构中的氟原子与碳原子的数量之比优选为氟原子比1∶4多,更优选为氟原子比1∶3多,进一步优选为氟原子比1∶2多。
从玻璃化转变温度和升华温度的观点出发,该比依次进一步更优选为1:2至2:1、1:2至1.9:1、1:2至1.8:1、1:2至1.7:1、1:2至1.6:1、1:2至1.5:1。
[胺化合物]
本公开的一个方式的胺化合物由式(7)或(8)表示:
[化11]
[化12]
式中,Ar15~Ar20各自独立地表示任选被取代的碳原子数为6~25的单环、联环或稠环的芳族烃基、或者任选被取代的碳原子数为3~25的单环、联环或稠环的杂芳族基团;
L19~L28各自独立地表示任选被取代的碳原子数为6~25的单环、联环、或稠环的2价芳族烃基、任选被取代的碳原子数为3~25的单环、联环、或稠环的2价杂环基、或者单键;
Y表示任选被取代的碳原子数为6~25的单环、联环、或稠环的2价至4价芳族烃基、任选被取代的碳原子数为3~25的单环、联环、或稠环的2价至4价杂芳族基团、任选被取代的碳原子数为1~10的直链、支链、或环状的2价至4价烷基、任选被取代的2价至4价的硅原子;
n表示1~18的整数;
g以及h各自独立地表示1或者2的整数;
i表示0或者1的整数。
Ar15~Ar20为取代的芳族烃基,或者取代的杂芳族基团时,这些基团各自独立地优选被选自由任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状烷基、任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状烷氧基、任选被氟原子取代的碳原子数为6~20的芳族烃基、任选被氟原子取代的碳原子数为3~20的杂芳族基团、氰基、氟原子、氘原子组成的组中的1个以上的基团取代;
L19~L28为取代的2价芳族烃基、或者取代的2价杂芳族基团时,这些基团各自独立地优选被选自由任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状烷基、任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状烷氧基、任选被氟原子取代的碳原子数为6~20的芳族烃基、任选被氟原子取代的碳原子数为3~20的杂芳族基团、氰基、氟原子、氘原子组成的组中的1个以上的基团取代;
Y为取代的2价至4价芳族烃基、取代的2价至4价杂芳族基团、取代的2价至4价烷基、或者取代的2价至4价的硅原子的情况下,这些基团各自独立地优选被选自由任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状烷基、任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状烷氧基、任选被氟原子取代的碳原子数为6~20的芳族烃基、任选被氟原子取代的碳原子数为3~20的杂芳族基团、氰基、氟原子、氘原子组成的组中的1个以上的基团取代。
式(7)及(8)中的碳原子数为6~25的单环、联环、或稠环的芳族烃基;碳原子数为3~25的单环、联环或稠环的杂芳族基团;碳原子数为6~25的单环、联环、或稠环的2价至4价芳族烃基;碳原子数为3~25的单环、联环、或稠环的2价至4价杂芳族基团;碳原子数为1~10的直链、支链、或环状的2价至4价烷基;任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状烷基;任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状烷氧基;任选被氟原子取代的碳原子数为6~20的芳族烃基;任选被氟原子取代的碳原子数为3~20的杂芳族基团;与上述式(1)~(3)所示的碳原子数为6~25的单环、联环或稠环的芳族烃基;碳原子数为3~25的单环、联环、或稠环的杂芳族基团;碳原子数为6~25的单环、联环、或稠环的2价至4价芳族烃基;碳原子数为3~25的单环、联环、或稠环的2价至4价杂芳族基团;碳原子数为1~10的直链、支链、或环状的2价至4价烷基;任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状烷基;任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状烷氧基;任选被氟原子取代的碳原子数为6~20的芳族烃基;任选被氟原子取代的碳原子数为3~20的杂芳族基团同义。
由于能够抑制在膜表面形成金属膜,因此式(7)以及(8)中的稠环的芳族烃基的碳原子数优选为6以上且15以下。具体而言,优选为6至15,更优选为6至14,进一步优选为6至13。
式(7)以及式(8)中,杂芳族基团(碳原子数为3~25的单环、联环或稠环的杂芳族基团;碳原子数为3~25的单环、联环或稠环的2价至4价杂芳族基团;任选被氟原子取代的碳原子数为3~20的杂芳族基团)中包含的氮原子的数目优选为3个以下。
式(7)以及(8)中,Ar15~Ar20的玻璃化转变温度高,能够抑制膜表面的金属膜的形成,因此各自独立地优选为(xv)苯基、联苯基、三联苯基、萘基、芴基、螺二芴基、苯并芴基、菲基、荧蒽基、三亚苯基、蒽基、芘基、吡啶基、咔唑基、苯并呋喃基、苯并噻吩基、二苯并呋喃基、或二苯并噻吩基、或者为(xvi),上述(xv)所示的基团被选自由甲基、乙基、甲氧基、乙氧基、三氟甲基、三氟甲氧基、碳原子数为2~10的全氟烷基、碳原子数为2~10的全氟烷氧基、氰基、氘原子、氟原子、任选被氟原子取代的苯基、任选被氟原子取代的联苯基、任选被氟原子取代的萘基、任选被氟原子取代的菲基、任选被氟原子取代的吡啶基、任选被氟原子取代的咔唑基、任选被氟原子取代的二苯并噻吩基、以及任选被氟原子取代的二苯并呋喃基组成的组中的1个以上的基团取代的基团。
Ar15~Ar20的玻璃化转变温度高,能够抑制膜表面的金属膜的形成,因此各自独立地更优选为(xv')苯基、联苯基、三联苯基、萘基、芴基、螺二芴基、菲基、荧蒽基、三亚苯基、蒽基、芘基、吡啶基、咔唑基、二苯并呋喃基、或二苯并噻吩基、或者为(xvi'),上述(xv')所示的基团被选自由甲基、三氟甲基、碳原子数为2~10的全氟烷基、氟原子、任选被氟原子取代的苯基组成的组中的1个以上的基团取代的基团。
Ar15~Ar20的玻璃化转变温度高,能够抑制膜表面的金属膜的形成,因此各自独立地进一步优选为苯基、具有至少1个氟原子的苯基、具有至少1个三氟甲基的苯基、联苯基、具有至少1个氟原子的联苯基、具有至少1个三氟甲基的联苯基、三联苯基、具有至少1个氟原子的三联苯基、具有至少1个三氟甲基的三联苯基、萘基、9,9-二甲基芴基、9,9-二苯基芴基、螺二芴基、菲基、咔唑-9-基、9-苯基咔唑基、二苯并呋喃基、或者二苯并噻吩基。
式(7)和(8)中,L19~L28的玻璃化转变温度高,能够抑制膜表面的金属膜的形成,因此各自独立地优选为(xvii)亚苯基、亚联苯基、亚三联苯基、亚萘基、亚吡啶基、或亚芴基,为(xviii),上述(xvii)所示的基团被选自由甲基、乙基、甲氧基、乙氧基、三氟甲基、三氟甲氧基、碳原子数为2~10的全氟烷基、碳原子数为2~10的全氟烷氧基、氰基、氘原子、氟原子、任选被氟原子取代的苯基、任选被氟原子取代的联苯基、任选被氟原子取代的萘基、任选被氟原子取代的菲基、任选被氟原子取代的吡啶基、任选被氟原子取代的咔唑基、任选被氟原子取代的二苯并噻吩基、以及任选被氟原子取代的二苯并呋喃基组成的组中的1个以上的基团取代的基团、或者为(xix)单键。
L19~L28的玻璃化转变温度高,能够抑制膜表面的金属膜的形成,因此各自独立地更优选为(xvii')亚苯基、亚联苯基、亚三联苯基、亚萘基、亚吡啶基、或亚芴基、为(xviii'),上述(xvii')所示的基团被选自由甲基、三氟甲基、氟原子、任选被氟原子取代的苯基组成的组中的1个以上的基团取代的基团、或者为(xix')单键。
L19~L28的玻璃化转变温度高,能够抑制膜表面的金属膜的形成,因此各自独立地进一步优选为亚苯基、具有至少1个氟原子的亚苯基、具有至少1个三氟甲基的亚苯基、亚联苯基、具有至少1个氟原子的亚联苯基、具有至少1个三氟甲基的亚联苯基、亚三联苯基、具有至少1个氟原子的亚三联苯基、具有至少1个三氟甲基的亚三联苯基、亚萘基或者为单键。
在式(7)中,Y的玻璃化转变温度高,能够抑制膜表面的金属膜的形成,因此优选为(xx)亚苯基、亚联苯基、亚三联苯基、亚萘基、亚芴基、亚螺二芴基、亚并亚芴基、亚菲基、亚荧蒽基、亚三亚苯基、蒽二基、亚吡啶基、嘧啶二基、三嗪二基、咔唑二基、苯并呋喃二基、苯并噻吩二基、二苯并呋喃二基、金刚烷二基、亚甲基、(甲)硅烷二基、亚环己基、苯三基、联苯三基、三联苯三基、萘三基、芴三基、螺二芴三基、苯并芴三基、菲三基、荧蒽三基、三亚苯三基、蒽三基、芘三基、吡啶三基、嘧啶三基、三嗪三基、咔唑三基、苯并呋喃三基、苯并噻吩三基、二苯并呋喃三基、金刚烷三基、甲烷三基、(甲)硅烷三基、环己烷三基、苯四基、联苯四基、三联苯四基、萘四基、芴四基、螺二芴四基、苯并芴四基、菲四基、荧蒽四基、三亚苯四基、蒽四基、芘四基、吡啶四基、嘧啶四基、咔唑四基、苯并呋喃四基、苯并噻吩四基、二苯并呋喃四基、金刚烷四基、甲烷四基、(甲)硅烷四基、或环己烷四基、或者为(xxi),上述(xx)所示的基团被选自由甲基、乙基、甲氧基、乙氧基、三氟甲基、三氟甲氧基、碳原子数为2~10的全氟烷基、碳原子数为2~10的全氟烷氧基、氰基、氘原子、氟原子、任选被氟原子取代的苯基、任选被氟原子取代的联苯基、任选被氟原子取代的萘基、任选被氟原子取代的菲基、任选被氟原子取代的吡啶基、任选被氟原子取代的咔唑基、任选被氟原子取代的二苯并噻吩基、以及任选被氟原子取代的二苯并呋喃基组成的组中的1个以上的基团取代的基团。
Y的玻璃化转变温度高,能够抑制膜表面的金属膜的形成,因此更优选为(xx')亚苯基、亚联苯基、亚三联苯基、亚萘基、亚芴基、亚螺二芴基、亚苯并芴基、亚菲基、亚荧蒽基、亚三亚苯基、蒽二基、亚吡啶基、嘧啶二基、三嗪二基、咔唑二基、苯并呋喃二基、苯并噻吩二基、二苯并呋喃二基、金刚烷二基、亚甲基、(甲)硅烷二基、亚环己基、苯三基、联苯三基、三联苯三基、萘三基、芴三基、螺二芴三基、苯并芴三基、菲三基、荧蒽三基、三亚苯三基、蒽三基、芘三基、吡啶三基、嘧啶三基、三嗪三基、咔唑三基、苯并呋喃三基、苯并噻吩三基、二苯并呋喃三基、金刚烷三基、甲烷三基、(甲)硅烷三基、环己烷三基、苯四基、联苯四基、三联苯四基、萘四基、芴四基、螺二芴四基、苯并芴四基、菲四基、荧蒽四基、三亚苯四基、蒽四基、芘四基、吡啶四基、嘧啶四基、咔唑四基、苯并呋喃四基、苯并噻吩四基、二苯并呋喃四基、金刚烷四基、甲烷四基、(甲)硅烷四基、或者环己烷四基、或者为(xxi'),上述(xx')所示的基团被选自由甲基、三氟甲基、碳原子数为2~10的全氟烷基、氟原子、任选被氟原子取代的苯基组成的组中的1种以上的基团取代的基团。
Y的玻璃化转变温度高,能够抑制膜表面的金属膜的形成,因此进一步优选为亚苯基、具有至少1个氟原子的亚苯基、具有至少1个三氟甲基的亚苯基、亚联苯基、具有至少1个氟原子的亚联苯基、具有至少1个三氟甲基的亚联苯基、亚三联苯基、具有至少1个氟原子的亚三联苯基、具有至少1个三氟甲基的亚三联苯基、亚萘基、亚芴基、亚螺二芴基、亚苯并芴基、亚菲基、亚荧蒽基、亚三亚苯基、蒽二基、亚吡啶基、嘧啶二基、三嗪二基、咔唑二基、苯并呋喃二基、苯并噻吩二基、二苯并呋喃二基、金刚烷二基、亚甲基、(甲)硅烷二基、亚环己基、苯三基、具有至少1个氟原子的苯三基、具有至少1个三氟甲基的苯三基、联苯三基、具有至少1个氟原子的联苯三基、具有至少1个三氟甲基的联苯三基、三联苯三基、具有至少1个氟原子的三联苯三基、具有至少1个三氟甲基的三联苯三基、萘三基、芴三基、螺二芴三基、苯并芴三基、菲三基、荧蒽三基、三亚苯三基、蒽三基、芘三基、吡啶三基、嘧啶三基、三嗪三基、咔唑三基、苯并呋喃三基、苯并噻吩三基、二苯并呋喃三基、金刚烷三基、甲烷三基、(甲)硅烷三基、环己烷三基、苯四基、具有至少1个氟原子的苯四基、具有至少1个三氟甲基的苯四基、联苯四基、具有至少1个氟原子的联苯四基、具有至少1个三氟甲基的联苯四基、三联苯四基、具有至少1个氟原子的三联苯四基、具有至少1个三氟甲基的三联苯四基、萘四基、芴四基、螺二芴四基、苯并芴四基、菲四基、荧蒽四基、三亚苯四基、蒽四基、芘四基、吡啶四基、嘧啶四基、咔唑四基、苯并呋喃四基、苯并噻吩四基、二苯并呋喃四基、金刚烷四基、甲烷四基、(甲)硅烷四基、或者环己烷四基。
式(7)以及(8)中,n表示1~18的整数。从玻璃化温度高、原料获得容易的方面考虑,n优选为1~8的整数,更优选为1~4的整数,进一步优选为1。
另外,本公开的一个方式的胺化合物由式(9)或(10)表示:
[化13]
[化14]
式中,a7表示1或者2的整数;
a8表示0~2的整数;
a9表示0或者1的整数;
Alk表示任选被取代的碳原子数为3~25的环状烷基。
A15~A19各自独立地表示任选被取代的碳原子数为6~25的单环、联环、或稠环的芳族烃基、任选被取代的碳原子数为3~25的单环、联环、或稠环的杂芳族基团、或者任选被取代的碳原子数为3~25的环状烷基;
其中,在a9为0时,A16~A18中的至少1个各自独立地为任选被取代的碳原子数为3~25的环状烷基,在a9为1时,A16~A19中的至少1个各自独立地为任选被取代的碳原子数为3~25的环状烷基;
L119~L128各自独立地表示任选被取代的碳原子数为6~25的单环、联环、或稠环的2价芳族烃基、任选被取代的碳原子数为3~25的单环、联环、或稠环的2价杂芳族基团、或者单键;
D表示任选被取代的碳原子数为6~25的单环、联环、或稠环的1价至4价芳族烃基、任选被取代的碳原子数为3~25的单环、联环、或稠环的1价至4价杂芳族基团、任选被取代的碳原子数为1~10的直链、支链、或环状的1价至4价烷基、或者任选被取代的1价至4价的硅原子;
E1~E5各自独立地表示氟原子或者任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链或环状烷基。
Alk为取代的环状烷基时,优选被选自由任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状烷基、氟原子、氘原子组成的组中的1个以上的基团取代;
A15~A19为取代的芳族烃基、取代的杂芳族基团或者取代的环状烷基时,这些基团各自独立地优选被选自由任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状烷基、任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状烷氧基、任选被氟原子取代的碳原子数为6~20的芳族烃基、任选被氟原子取代的碳原子数为3~20的杂芳族基团、氰基、氟原子、以及氘原子组成的组中的1个以上的基团取代;
L119~L128为取代的2价芳族烃基,或者取代的2价杂芳族基团时,这些基团各自独立地优选被选自由任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状烷基、任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状烷氧基、任选被氟原子取代的碳原子数为6~20的芳族烃基、任选被氟原子取代的碳原子数为3~20的杂芳族基团、氰基、氟原子、以及氘原子组成的组中的1个以上的基团取代;
D为取代的1价至4价芳族烃基、取代的1价杂芳族基团、取代的1价至4价烷基、或者取代的1价至4价的硅原子的情况下,这些基团各自独立地优选被选自由任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状烷基、任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状烷氧基、任选被氟原子取代的碳原子数为6~20的芳族烃基、任选被氟原子取代的碳原子数为3~20的杂芳族基团、氰基、氟原子以及氘原子组成的组中的1个以上的基团取代。
作为上述碳原子数为1~10的直链、支链或环状的1价烷基,可举出例如环丁基、环戊基、环己基、环庚基、环辛基、金刚烷基、降金刚烷基、降冰片基、十氢萘基等。
需要说明的是,如上所述,碳原子数为3~25的稠环的环状烷基可以具有取代基。它们具有取代基时,优选任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状烷基、任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状烷氧基、任选被氟原子取代的碳原子数为6~20的芳族烃基、任选被氟原子取代的碳原子数为3~20的杂芳族基团、氰基、氟原子、氘原子组成的组中的1个以上的基团取代。此时,对于取代基的数量没有特别限定。
式(9)及(10)中的碳原子数为6~25的单环、联环、或稠环的芳族烃基;碳原子数为3~25的单环、联环或稠环的杂芳族基团;碳原子数为6~25的单环、联环、或稠环的2价至4价芳族烃基;碳原子数为3~25的单环、联环或稠环的2价至4价杂芳族基团;碳原子数为1~10的直链、支链、或环状的2价至4价烷基;任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状烷基;任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状烷氧基;任选被氟原子取代的碳原子数为6~20的芳族烃基;任选被氟原子取代的碳原子数为3~20的杂芳族基团;与上述式(1)~(3)所示的碳原子数为6~25的单环、联环、或稠环的芳族烃基;碳原子数为3~25的单环、联环、或稠环的杂芳族基团;碳原子数为6~25的单环、联环、或稠环的2价至4价芳族烃基;碳原子数为3~25的单环、联环、或稠环的2价至4价杂芳族基团;碳原子数为1~10的直链、支链、或环状的2价至4价烷基;任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状烷基;任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状烷氧基;任选被氟原子取代的碳原子数为6~20的芳族烃基;任选被氟原子取代的碳原子数为3~20的杂芳族基团同义。
由于能够抑制在膜表面形成金属膜,因此式(9)以及(10)中的稠环的芳族烃基的碳原子数优选为6以上且15以下。具体而言,优选为6至15,更优选为6至14,进一步优选为6至13。
式(9)以及(10)中的碳原子数为6~25的单环、联环或稠环的1价芳族烃基;碳原子数为3~25的单环、联环或稠环的1价杂芳族基团;与上述式(1)~(3)所示的碳原子数为6~25的单环、联环或稠环的芳族烃基;碳原子数为3~25的单环、联环、或稠环的杂芳族基团同义。
式(9)以及(10)中的碳原子数为3~25的稠环的环状烷基,与上述式(4)~(6)所示的碳原子数为3~25的稠环的环状烷基同义。
在式(9)以及(10)中,Alk的玻璃化转变温度高,能够抑制膜表面上的金属膜的形成,因此优选为(xxii)环戊基、环己基、双金刚烷基、金刚烷基、降金刚烷基、降冰片基或十氢萘基、或者为(xxiii),上述(xxii)所示的基团被选自由甲基、三氟甲基、碳原子数为2~10的全氟烷基、氟原子、任选被氟原子取代的苯基组成的组中的1个以上的基团取代的基团。
Alk的玻璃化转变温度高,可以抑制膜表面的金属膜的形成,因此,进一步优选为(xxii')环己基、金刚烷基、降冰片基或十氢萘基、或者为(xxiii'),上述(xxii')所示的基团被选自由甲基、三氟甲基、碳原子数为2~10的全氟烷基、氟原子以及任选被氟原子取代的苯基组成的组中的1个以上的基团取代的基团。
Alk的玻璃化转变温度高,能够抑制在膜表面形成金属膜,因此进一步更优选为环己基、具有至少1个氟原子的环己基、具有至少1个三氟甲基的环己基、具有至少1个三氟甲基的环己基、金刚烷基、具有至少1个氟原子的金刚烷基、或者具有至少1个三氟甲基的金刚烷基。
在式(9)以及(10)中,A15~A19的玻璃化转变温度高,能够抑制在膜表面形成金属膜,因此各自独立地优选为(xxiv)苯基、联苯基、三联苯基、萘基、芴基、螺二芴基、苯并芴基、菲基、荧蒽基、三亚苯基、蒽基、芘基、吡啶基、咔唑基、苯并呋喃基、苯并噻吩基、二苯并呋喃基、二苯并噻吩基、环戊基、环己基、双金刚烷基、金刚烷基、降金刚烷基、降冰片基、或十氢萘基、或者为(xxv),上述(xxiv)所示的基团被选自由甲基、乙基、甲氧基、乙氧基、三氟甲基、三氟甲氧基、碳原子数为2~10的全氟烷基、碳原子数为2~10的全氟烷氧基、氰基、氘原子、氟原子、任选被氟原子取代的苯基、任选被氟原子取代的联苯基、任选被氟原子取代的萘基、任选被氟原子取代的菲基、任选被氟原子取代的吡啶基、任选被氟原子取代的咔唑基、任选被氟原子取代的二苯并噻吩基、以及任选被氟原子取代的二苯并呋喃基组成的组中的1种以上的基团取代的基团。
A15~A19的玻璃化转变温度高,能够抑制膜表面的金属膜的形成,因此,各自独立地更优选为(xxiv')苯基、联苯基、三联苯基、萘基、芴基、螺二芴基、菲基、荧蒽基、三亚苯基、蒽基、芘基、吡啶基、咔唑基、二苯并呋喃基、二苯并噻吩基、环戊基、环己基、双金刚烷基、金刚烷基、降金刚烷基、降冰片基、或十氢萘基、或者为(xxv'),上述(xxiv')所示的基团被选自由甲基、三氟甲基、碳原子数为2~10的全氟烷基、氟原子、以及任选被氟原子取代的苯基组成的组中的1种以上的基团取代的基团。
A15~A19的玻璃化转变温度高,能够抑制膜表面的金属膜的形成,因此各自独立地进一步更优选为苯基、具有至少1个氟原子的苯基、具有至少1个三氟甲基的苯基、联苯基、具有至少1个氟原子的联苯基、具有至少1个三氟甲基的联苯基、三联苯基、具有至少1个氟原子的三联苯基、具有至少1个三氟甲基的三联苯基、萘基、9,9-二甲基芴基、9,9-二苯基芴基、螺二芴基、菲基、咔唑-9-基、9-苯基咔唑基、二苯并呋喃基、二苯并噻吩基、环己基、具有至少1个氟原子的环己基、具有至少1个三氟甲基的环己基、金刚烷基、具有至少1个氟原子的金刚烷基、或者具有至少1个三氟甲基的金刚烷基。
式(9)和(10)中,L119~L128的玻璃化转变温度高,能够抑制膜表面的金属膜的形成,因此各自独立地优选为(xxvi)亚苯基、亚联苯基、亚三联苯基、亚萘基、亚吡啶基、或亚芴基、为(xxvii),上述(xxvi)所示的基团被选自由甲基、乙基、甲氧基、乙氧基、三氟甲基、三氟甲氧基、碳原子数为2~10的全氟烷基、碳原子数为2~10的全氟烷氧基、氰基、氘原子、氟原子、任选被氟原子取代的苯基、任选被氟原子取代的联苯基、任选被氟原子取代的萘基、任选被氟原子取代的菲基、任选被氟原子取代的吡啶基、任选被氟原子取代的咔唑基、任选被氟原子取代的二苯并噻吩基、以及任选被氟原子取代的二苯并呋喃基组成的组中的1种以上基团取代的基团、或者为(xxviii)单键。
L119~L128的玻璃化转变温度高,能够抑制膜表面的金属膜的形成,因此各自独立地更优选为(xxvi')亚苯基、亚联苯基、亚三联苯基、亚萘基、亚吡啶基、或亚芴基、为(xxvii'),上述(xxvi')所示的基团被选自由甲基、三氟甲基、氟原子、以及任选被氟原子取代的苯基组成的组中的1种以上的基团取代的基团、或者为(xxviii')单键。
L119~L128的玻璃化转变温度高,能够抑制膜表面的金属膜的形成,因此各自独立地进一步更优选为亚苯基、具有至少1个氟原子的亚苯基、具有至少1个三氟甲基的亚苯基、亚联苯基、具有至少1个氟原子的亚联苯基、具有至少1个三氟甲基的亚联苯基、亚三联苯基、具有至少1个氟原子的亚三联苯基、具有至少1个三氟甲基的亚三联苯基、亚萘基或者单键。
在式(9)中,D的玻璃化转变温度高,能够抑制膜表面的金属膜的形成,因此优选为(xxix)苯基、联苯基、三联苯基、萘基、芴基、螺二芴基、苯并芴基、菲基、荧蒽基、三亚苯基、蒽基、吡啶基、嘧啶基、三嗪基、咔唑基、苯并呋喃基、苯并噻吩基、二苯并呋喃基、金刚烷基、甲基、甲硅烷基、环己基、亚苯基、亚联苯基、亚三联苯基、亚萘基、亚芴基、亚螺二芴基、亚苯并芴基、菲基、荧蒽基、亚三亚苯基、蒽二基、亚吡啶基、嘧啶二基、三嗪二基、咔唑二基、苯并呋喃二基、苯并噻吩二基、二苯并呋喃二基、金刚烷二基、亚甲基、(甲)硅烷二基、亚环己基、苯三基、联苯三基、三联苯三基、萘三基、芴三基、螺二芴三基、苯并芴三基、菲三基、荧蒽三基、三亚苯三基、蒽三基、芘三基、吡啶三基、嘧啶三基、三嗪三基、咔唑三基、苯并呋喃三基、苯并噻吩三基、二苯并呋喃三基、金刚烷三基、甲烷三基、(甲)硅烷三基、环己烷三基、苯四基、联苯四基、三联苯四基、萘四基、芴四基、螺二芴四基、苯并芴四基、菲四基、荧蒽四基、三亚苯四基、蒽四基、芘四基、吡啶四基、嘧啶四基、咔唑四基、苯并呋喃四基、苯并噻吩四基、二苯并呋喃四基、金刚烷四基、甲烷四基、(甲)硅烷四基、或环己烷四基、或者为(xxx),上述(xxix)所示的基团被选自由甲基、乙基、甲氧基、乙氧基、三氟甲基、三氟甲氧基、碳原子数为2~10的全氟烷基、碳原子数为2~10的全氟烷氧基、氰基、氘原子、氟原子、任选被氟原子取代的苯基、任选被氟原子取代的联苯基、任选被氟原子取代的萘基、任选被氟原子取代的菲基、任选被氟原子取代的吡啶基、任选被氟原子取代的咔唑基、任选被氟原子取代的二苯并噻吩基、以及任选被氟原子取代的二苯并呋喃基组成的组中的1种以上的基团取代的基团。
D的玻璃化转变温度高,能够抑制膜表面金属膜的形成,更优选为(xxix')苯基、联苯基、三联苯基、萘基、芴基、螺二芴基、苯并芴基、菲基、荧蒽基、三亚苯基、蒽基、吡啶基、嘧啶基、三嗪基、咔唑基、苯并呋喃基、苯并噻吩基、二苯并呋喃基、金刚烷基、甲基、甲硅烷基、环己基、亚苯基、亚联苯基、亚三联苯基、亚萘基、亚芴基、亚螺二芴基、亚苯并芴基、亚菲基、亚荧蒽基、亚三亚苯基、蒽二基、亚吡啶基、嘧啶二基、三嗪二基、咔唑二基、苯并呋喃二基、苯并噻吩二基、二苯并呋喃二基、金刚烷二基、亚甲基、(甲)硅烷二基、亚环己基、苯三基、联苯三基、三联苯三基、萘三基、芴三基、螺二芴三基、苯并芴三基、菲三基、荧蒽三基、三亚苯三基、蒽三基、芘三基、吡啶三基、嘧啶三基、三嗪三基、咔唑三基、苯并呋喃三基、苯并噻吩三基、二苯并呋喃三基、金刚烷三基、甲烷三基、(甲)硅烷三基、环己烷三基、苯四基、联苯四基、三联苯四基、萘四基、芴四基、螺二芴四基、苯并芴四基、菲四基、荧蒽四基、三亚苯四基、蒽四基、芘四基、吡啶四基、嘧啶四基、咔唑四基、苯并呋喃四基、苯并噻吩四基、二苯并呋喃四基、金刚烷四基、甲烷四基、(甲)硅烷四基、或环己烷四基、或者为(xxx'),上述(xxix')所示的基团被选自由甲基、三氟甲基、碳原子数为2~10的全氟烷基、氟原子、任选被氟原子取代的苯基组成的组中的1种以上的基团取代的基团。
D的玻璃化转变温度高,能够抑制膜表面的金属膜的形成,因此进一步优选为苯基、具有至少1个氟原子的苯基、具有至少1个三氟甲基的苯基、联苯基、具有至少1个氟原子的联苯基、具有至少1个三氟甲基的联苯基、三联苯基、具有至少1个氟原子的三联苯基、具有至少1个三氟甲基的三联苯基、萘基、芴基、螺二芴基、苯并芴基、菲基、荧蒽基、三亚苯基、蒽基、吡啶基、嘧啶基、三嗪基、咔唑基、苯并呋喃基、苯并噻吩基、二苯并呋喃基、金刚烷基、甲基、甲硅烷基、环己基、亚苯基、具有至少1个氟原子的亚苯基、具有至少1个三氟甲基的亚苯基、亚联苯基、具有至少1个氟原子的亚联苯基、具有至少1个三氟甲基的亚联苯基、亚三联苯基、具有至少1个氟原子的亚三联苯基、具有至少1个三氟甲基的亚三联苯基、亚萘基、亚芴基、亚螺二芴基、亚苯并芴基、亚菲基、亚荧蒽基、亚三亚苯基、蒽二基、亚吡啶基、嘧啶二基、三嗪二基、咔唑二基、苯并呋喃二基、苯并噻吩二基、二苯并呋喃二基、金刚烷二基、亚甲基、(甲)硅烷二基、亚环己基、苯三基、具有至少1个氟原子的苯三基、具有至少1个三氟甲基的苯三基、联苯三基、具有至少1个氟原子的联苯三基、具有至少1个三氟甲基的联苯三基、三联苯三基、具有至少1个氟原子的三联苯三基、具有至少1个三氟甲基的三联苯三基、萘三基、芴三基、螺二芴三基、苯并芴三基、菲三基、荧蒽三基、三亚苯三基、蒽三基、芘三基、吡啶三基、嘧啶三基、三嗪三基、咔唑三基、苯并呋喃三基、苯并噻吩三基、二苯并呋喃三基、金刚烷三基、甲烷三基、(甲)硅烷三基、环己烷三基、苯四基、具有至少1个氟原子的苯四基、具有至少1个三氟甲基的苯四基、联苯四基、具有至少1个氟原子的联苯四基、具有至少1个三氟甲基的联苯四基、三联苯四基、具有至少1个氟原子的三联苯四基、具有至少1个三氟甲基的三苯四基、萘四基、芴四基、螺二芴四基、苯并芴四基、菲四基、荧蒽四基、三亚苯四基、蒽四基、芘四基、吡啶四基、嘧啶四基、咔唑四基、苯并呋喃四基、苯并噻吩四基、二苯并呋喃四基、金刚烷四基、甲烷四基、(甲)硅烷四基、或者环己烷四基。
以上说明的本公开的一个方式的胺化合物能够用作金属图案化材料、金属图案化用材料。
[金属图案化用材料、胺化合物的具体例]
关于本公开的一个方式的金属图案化用材料、以及本公开的一个方式的胺化合物,示例为以下(A1)至(A769)的化合物,但本公开并不限定于这些化合物。
[化15]
[化16]
[化17]
[化18]
[化19]
[化20]
[化21]
[化22]
[化23]
[化24]
[化25]
[化26]
[化27]
[化28]
[化29]
[化30]
[化31]
[化32]
[化33]
[化34]
[化35]
[化36]
[化37]
[化38]
[化39]
[化40]
[化41]
[化42]
[化43]
[化44]
[化45]
[化46]
[化47]
[化48]
[化49]
[化50]
[化51]
[化52]
[化53]
[化54]
[化55]
[化56]
[化57]
[化58]
[化59]
[化60]
[化61]
[化62]
[化63]
[化64]
[化65]
[化66]
[化67]
[第二方式:未持有胺取代基的金属图案化材料]
本公开的一个方式的金属图案化用材料包含在分子内具有芳环和/或杂芳环、氟原子,形成芳环的碳原子数、以及形成杂芳环的碳原子数中与氟原子直接结合的碳原子数的比例为10%以上、分子中的氟原子数相对于碳原子数的比例为50%以上、分子量为500以上且3000以下、玻璃化转变温度为60℃以上的化合物。
金属图案化用材料在分子内不具有形成胺的氮原子。
即,上述化合物能够用作金属图案化用材料。
(芳环)
芳环优选为碳原子数为6~25的单芳环、联芳环、或稠芳环。
金属图案化用材料具有源自上述芳环的芳族基团。
作为源自芳环的上述芳族基团,可举出例如苯基、联苯基、三联苯基、萘基、芴基、螺二芴基、苯并芴基、二苯并芴基、菲基、荧蒽基、三亚苯基、芘基、蒽基、并四苯基、基、苝基、及并五苯基、以及在这些基团上稠合选自由苯、萘及菲组成的组中的1种以上而成的基团等。
(杂芳环)
作为杂芳环,优选碳原子数为3~25的单环杂芳环、联环杂芳环、或稠环的杂芳环。
金属图案化用材料具有源自上述杂芳环的杂芳族基团。
作为源自杂芳环的上述杂芳族基团,可举出例如吡咯基、噻吩基、呋喃基、咪唑基、噻唑基、异噻唑基、恶唑基、异恶唑基、吡啶基、吡嗪基、吲哚基、苯并噻吩基、苯并呋喃基、苯并咪唑基、吲唑基、苯并噻唑基、苯并异噻唑基、2,1,3-苯并噻二唑基、苯并恶唑基、苯并异恶唑基、2,1,3-苯并恶二唑基、喹啉基、异喹啉基、咔唑基、二苯并噻吩基、二苯并呋喃基、吩恶嗪基、吩噻嗪基、吩嗪基、及噻蒽基、以及在这些基团上稠合选自由苯、萘及菲组成的组中的1种以上而成的基团等。
(氟原子的含量(其1))
金属图案化用材料能够抑制膜表面金属膜的形成,因此形成芳环的碳原子数、以及形成杂芳环的碳原子数中与氟原子直接结合的碳原子数的比例为10%以上。该比例依次更优选为15%以上、20%以上、25%以上、30%以上、35%以上、40%以上。
(氟原子的含量(其2))
金属图案化用材料能够抑制膜表面金属膜的形成,因此分子中的氟原子数相对于碳原子数的比例为50%以上。该比例依次更优选为55%以上、60%以上、65%以上、70%以上、75%以上、80%以上。
(玻璃化转变温度)
金属图案化用材料即使在高温条件下也能够维持稳定的薄膜,因此玻璃化转变温度为60℃以上。玻璃化转变温度更优选为65℃以上、70℃以上、75℃以上、80℃以上、85℃以上、90℃以上、95℃以上、100℃以上。
(分子量)
金属图案化材料在形成该薄膜的气相沉积工艺中,能够降低气相沉积时的加热温度,能够抑制材料的热分解,因此分子量为3000以下。分子量更优选为2800以下、2500以下、2300以下、2100以下、2000以下、1900以下、1800以下、1700以下。另外,金属图案化用材料的分子量为500以上。作为分子量,优选为500以上且2000以下。
金属图案化用材料优选为式(11)表示的化合物。
[化68]
式(11)中,Ar21、Ar22以及Ar23各自独立地表示任选被取代的碳原子数为6~25的单环、联环或稠环的芳族烃基、或者任选被取代的碳原子数为3~25的单环、联环或稠环的杂芳族基团;
L29、L30以及L31各自独立地表示任选被取代的碳原子数为6~25的单环、联环、或稠环的2价芳族烃基、任选被取代的碳原子数为3~25的单环、联环、或稠环的2价杂芳族基团、任选被取代的碳原子数为1~10的直链、支链、或环状的2价烷基、或者单键;
j、k以及l各自独立地表示0~6的整数;
(j+k+l)为2以上且6以下;
Z表示任选被取代的碳原子数为6~25的单环、联环、或稠环的2价至6价的芳族烃基、任选被取代的碳原子数为3~25的单环、联环、或稠环的2价至6价的杂芳族基团、任选被取代的碳原子数为1~10的直链、支链、或环状的2价至6价的烷基、2价至4价的硅原子。
Ar21~Ar23为取代的芳族烃基、或者取代的杂芳族基团时,这些基团各自独立地优选被选自由任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状烷基、任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状烷氧基、任选被氟原子取代的碳原子数为6~20的芳族烃基、任选被氟原子取代的碳原子数为3~20的杂芳族基团、氰基、氟原子、氘原子组成的组中的1种以上的基团取代;
L29~L31为取代的2价芳族烃基、或者取代的2价杂芳族基团时,这些基团各自独立地优选被选自由任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状烷基、任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状烷氧基、任选被氟原子取代的碳原子数为6~20的芳族烃基、任选被氟原子取代的碳原子数为3~20的杂芳族基团、氰基、氟原子、氘原子组成的组中的1种以上的基团取代;
Z为取代的2价至6价的芳族烃基、取代的2价至6价的杂芳族基团、取代的2价至6价的烷基、或者2价至4价的硅原子的情况下,这些基团各自独立地优选被选自由任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状烷基、任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状烷氧基、任选被氟原子取代的碳原子数为6~20的芳族烃基、任选被氟原子取代的碳原子数为3~20的杂芳族基团、氰基、氟原子、氘原子组成的组中的1种以上的基团取代。
作为上述碳原子数为6~25的单环、联环或稠环的5价芳族烃基,可举出例如苯五基、联苯五基、三联苯五基、萘五基、芴五基、螺二芴五基、苯并芴五基、二苯并芴五基、菲五基、荧蒽五基、三亚苯五基、芘五基、蒽五基、并四苯五基、五基、苝五基、及并五苯五基、以及在这些基团上稠合选自由苯、萘及菲组成的组中的1种以上而成的基团等。
作为上述碳原子数为3~25的单环、联环或稠环的5价杂环基,可举出例如吡啶五基、吲哚五基、苯并噻吩五基、苯并呋喃五基、苯并吲唑五基、吲唑五基、苯并噻唑五基、苯并异噻唑五基、苯并恶唑五基、苯并异恶唑五基、喹啉五基、异喹啉五基、咔唑五基、二苯并噻吩五基、二苯并呋喃五基、吩恶嗪五基、吩噻嗪五基、吩嗪五基、及噻蒽五基,以及在这些基团上稠合选自由苯、萘及菲组成的组中的1种以上而成的基团等。
作为上述碳原子数为1~10的直链、支链或环状的5价烷基,可举出例如乙基五基、丙烷五基、丁烷五基、戊烷五基、己烷五基、环己烷五基、金刚烷五基等。
作为上述碳原子数为6~25的单环、联环或稠环的6价芳族烃基,可举出例如苯六基、联苯六基、三联苯六基、萘六基、芴六基、螺二芴六基、苯并芴六基、二苯并芴六基、菲六基、荧蒽六基、三亚苯六基、芘六基、蒽六基、并四苯六基、六基、苝六基、及并五苯六基、以及在这些基团上稠合选自由苯、萘及菲组成的组中的1种以上而成的基团等。
作为上述碳原子数为3~25的单环、联环或稠环的6价杂芳族基团,可举出例如吡啶六基、吲哚六基、苯并噻吩六基、苯并呋喃六基、苯并吲唑六基、吲唑六基、苯并异噻唑六基、苯并恶唑六基、苯并异恶唑六基、喹啉六基、异喹啉六基、咔唑六基、二苯并噻吩六基、二苯并呋喃六基、吩恶嗪六基、吩噻嗪六基、吩嗪六基、及噻蒽六基、以及在这些基团上稠合选自由苯、萘及菲组成的组中的1种以上而成的基团等。
作为上述碳原子数为1~10的直链、支链或环状的6价烷基,可举出例如乙基六基、丙烷六基、丁烷六基、戊烷六基、己烷六基、环己烷六基、金刚烷六基等。
需要说明的是,如上所述,碳原子数为6~25的单环、联环或稠环的5价至6价芳族烃基;碳原子数为3~25的单环、联环或稠环的5价至6价杂芳族基团;碳原子数为1~10的直链、支链、或环状的5价至6价烷基可以具有取代基。它们具有取代基时,优选各自独立地任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状烷基、任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状烷氧基、任选被氟原子取代的碳原子数为6~20的芳族烃基、任选被氟原子取代的碳原子数为3~20的杂芳族基团、氰基、氟原子、氘原子组成的组中的1种以上基团取代。此时,对于取代基的数量没有特别限定。
式(11)中的碳原子数为6~25的单环、联环、或稠环的芳族烃基;碳原子数为3~25的单环、联环、或稠环的杂芳族基团;碳原子数为6~25的单环、联环、或稠环的2价芳族烃基;碳原子数为3~25的单环、联环或稠环的2价杂芳族基团;碳原子数为1~10的直链、支链、或环状的2价烷基;碳原子数为6~25的单环、联环、或稠环的3价芳族烃基;碳原子数为3~25的单环、联环或稠环的3价杂芳族基团;碳原子数为1~10的直链、支链、或环状的3价烷基;碳原子数为6~25的单环、联环、或稠环的4价芳族烃基;碳原子数为3~25的单环、联环或稠环的4价杂芳族基团;碳原子数为1~10的直链、支链、或环状的4价烷基;任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状烷基;任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状烷氧基;任选被氟原子取代的碳原子数为6~20的芳族烃基;任选被氟原子取代的碳原子数为3~20的杂芳族基团;与上述式(1)~(3)所示的碳原子数为6~25的单环、联环、或稠环的芳族烃基;碳原子数为3~25的单环、联环、或稠环的杂芳族基团;碳原子数为6~25的单环、联环、或稠环的2价芳族烃基;碳原子数为3~25的单环、联环、或稠环的2价杂芳族基团;碳原子数为1~10的直链、支链、或环状的2价烷基;碳原子数为6~25的单环、联环、或稠环的3价芳族烃基;碳原子数为3~25的单环、联环、或稠环的3价杂芳族基团;碳原子数为1~10的直链、支链、或环状的3价烷基;碳原子数为6~25的单环、联环、或稠环的4价芳族烃基;碳原子数为3~25的单环、联环、或稠环的4价杂芳族基团;碳原子数为1~10的直链、支链、或环状的4价烷基;任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状烷基;任选被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状烷氧基;任选被氟原子取代的碳原子数为6~20的芳族烃基;任选被氟原子取代的碳原子数为3~20的杂芳族基团同义。
需要说明的是,由于能够抑制膜表面的金属膜的形成,因此式(11)中的稠环的芳族烃基的碳原子数优选为6以上且15以下。具体而言,优选为6至15,更优选为6至14,进一步优选为6至13。
式(11)中,Ar21~Ar23的玻璃化转变温度高,能够抑制膜表面的金属膜的形成,因此各自独立地优选为(xxxi)苯基、联苯基、三联苯基、萘基、芴基、螺二芴基、苯并芴基、菲基、荧蒽基、三亚苯基、蒽基、芘基、吡啶基、咔唑基、苯并呋喃基、苯并噻吩基、二苯并呋喃基、或二苯并噻吩基、或者为(xxxii),上述(xxxi)所示的基团被选自由甲基、乙基、甲氧基、乙氧基、三氟甲基、三氟甲氧基、金刚烷基、环己基、碳原子数为2~10的全氟烷基、碳原子数为2~10的全氟烷氧基、氰基、氘原子、氟原子、任选被氟原子取代的苯基、任选被氟原子取代的联苯基、任选被氟原子取代的萘基、任选被氟原子取代的菲基、任选被氟原子取代的吡啶基、任选被氟原子取代的咔唑基、任选被氟原子取代的二苯并噻吩基、以及任选被氟原子取代的二苯并呋喃基组成的组中的1种以上的基团取代的基团。
Ar21~Ar23的玻璃化转变温度高,能够抑制膜表面的金属膜的形成,因此各自独立地更优选为(xxxi')苯基、联苯基、三联苯基、萘基、芴基、螺二芴基、菲基、荧蒽基、三亚苯基、蒽基、芘基、吡啶基、咔唑基、二苯并呋喃基、或二苯并噻吩基、或者为(xxxii'),上述(xxxi')所示的基团被选自由甲基、三氟甲基、碳原子数为2~10的全氟烷基、氟原子、任选被氟原子取代的苯基组成的组中的1种以上的基团取代的基团。
Ar21~Ar23的玻璃化转变温度高,能够抑制膜表面的金属膜的形成,因此各自独立地进一步优选为苯基、具有至少1个氟原子的苯基、具有至少1个三氟甲基的苯基、联苯基、具有至少1个氟原子的联苯基、具有至少1个三氟甲基的联苯基、三联苯基、具有至少1个氟原子的三联苯基、具有至少1个三氟甲基的三联苯基、萘基、9,9-二甲基芴基、9,9-二苯基芴基、螺二芴基、菲基、咔唑-9-基、9-苯基咔唑基、二苯并呋喃基、或者二苯并噻吩基。
式(11)中,L29~L31的玻璃化转变温度高,能够抑制膜表面的金属膜的形成,因此各自独立地优选为(xxxiii)亚苯基、亚联苯基、亚三联苯基、亚萘基、亚吡啶基、或亚芴基、或者为(xxxix),上述(xxxiii)所示的基团被选自由甲基、乙基、甲氧基、乙氧基、三氟甲基、三氟甲氧基、碳原子数为2~10的全氟烷基、碳原子数为2~10的全氟烷氧基、氰基、氘原子、氟原子、任选被氟原子取代的苯基、任选被氟原子取代的联苯基、任选被氟原子取代的萘基、任选被氟原子取代的菲基、任选被氟原子取代的吡啶基、任选被氟原子取代的咔唑基、任选被氟原子取代的二苯并噻吩基、以及任选被氟原子取代的二苯并呋喃基组成的组中的1种以上的基团取代的基团、或者为(xxxv)单键。
式(11)中,L29~L31的玻璃化转变温度高,能够抑制膜表面的金属膜的形成,因此各自独立地更优选为(xxxiii')亚苯基、亚联苯基、亚三联苯基、亚萘基、亚吡啶基、或亚芴基、为(xxxiv'),上述(xxxiii')所示的基团被选自由甲基、三氟甲基、氟原子、任选被氟原子取代的苯基组成的组中的1种以上的基团取代的基团、或者为(xxxv')单键。
式(11)中,L29~L31的玻璃化转变温度高,能够抑制膜表面的金属膜的形成,因此各自独立地进一步优选为亚苯基、具有至少1个氟原子的亚苯基、具有至少1个三氟甲基的亚苯基、亚联苯基、具有至少1个氟原子的亚联苯基、具有至少1个三氟甲基的亚联苯基、亚三联苯基、具有至少1个氟原子的亚三联苯基、具有至少1个三氟甲基的亚三联苯基、亚萘基或者单键。
在式(11)中,Z的玻璃化转变温度高,能够抑制膜表面的金属膜的形成,因此优选为(xxxvi)1价的苯基、联苯基、三联苯基、萘基、芴基、螺二芴基、苯并芴基、菲基、荧蒽基、三亚苯基、蒽基、芘基、吡啶基、咔唑基、苯并呋喃基、苯并噻吩基、二苯并呋喃基、二苯并噻吩基、环己基、金刚烷基、甲基、甲硅烷基、为(xxxvii)2价的亚苯基、亚联苯基、亚三联苯基、亚萘基、亚芴基、联亚芴基、亚苯并芴基、亚菲基、亚荧蒽基、亚三亚苯基、亚蒽基、亚芘基、亚吡啶基、亚咔唑基、亚苯并呋喃基、亚苯并噻吩基、亚二苯并呋喃基、亚二苯并噻吩基、亚环己基、亚金刚烷基、亚甲基、(甲)硅烷二基、为(xxxviii)3价的苯三基、联苯三基、三联苯三基、萘三基、芴三基、螺二芴三基、苯并芴三基、菲三基、荧蒽三基、三亚苯三基、蒽三基、芘三基、吡啶三基、咔唑三基、苯并呋喃三基、苯并噻吩三基、二苯并呋喃三基、二苯并噻吩三基、环己烷三基、金刚烷三基、甲烷三基、(甲)硅烷三基、为(xxxiv)4价的苯四基、联苯四基、三联苯四基、萘四基、芴四基、螺二芴四基、苯并芴四基、菲四基、荧蒽四基、三亚苯四基、蒽四基、芘四基、吡啶四基、咔唑四基、苯并呋喃四基、苯并噻吩四基、二苯并呋喃四基、二苯并噻吩四基、环己烷四基、金刚烷四基、甲烷四基、(甲)硅烷四基、或者为(xxxx)5价的苯五基、联苯五基、三联苯五基、萘五基、芴五基、螺二芴五基、苯并芴五基、菲五基、荧蒽五基、三亚苯五基、蒽五基、芘五基、吡啶五基、咔唑五基、苯并呋喃五基、苯并噻吩五基、二苯并呋喃五基、二苯并噻吩五基、环己烷五基、金刚烷五基、或者为(xxxxi)6价的苯六基、联苯六基、三联苯六基、萘六基、芴六基、螺二芴六基、苯并芴六基、菲六基、荧蒽六基、三亚苯六基、蒽六基、芘六基、吡啶六基、咔唑六基、苯并呋喃六基、苯并噻吩六基、二苯并呋喃六基、二苯并噻吩六基、环己烷六基、金刚烷六基、或者为(xxxxii),上述(xxxvi)~(xxxxi)所示的基团被选自由甲基、乙基、甲氧基、乙氧基、三氟甲基、三氟甲氧基、金刚烷基、环己基、碳原子数为2~10的全氟烷基、碳原子数为2~10的全氟烷氧基、氰基、氘原子、氟原子、任选被氟原子取代的苯基、任选被氟原子取代的联苯基、任选被氟原子取代的萘基、任选被氟原子取代的菲基、任选被氟原子取代的吡啶基、任选被氟原子取代的咔唑基、任选被氟原子取代的二苯并噻吩基、以及任选被氟原子取代的二苯并呋喃基组成的组中的1种以上的基团取代的基团。
(xxxvi')1价的苯基、联苯基、三联苯基、萘基、芴基、吡啶基、环己基、金刚烷基、甲基、甲硅烷基、(xxxvii')2价的亚苯基、亚联苯基、亚三联苯基、亚萘基、亚芴基、亚吡啶基、亚环己基、亚金刚烷基、亚甲基、(甲)硅烷二基、(xxxviii')3价的苯三基、联苯三基、三联苯三基、萘三基、芴三基、吡啶三基、环己烷三基、金刚烷三基、甲烷三基、(甲)硅烷三基、(xxxix')4价的苯四基、联苯四基、三联苯四基、萘四基、芴四基、吡啶四基、环己烷四基、金刚烷四基、甲烷四基、(甲)硅烷四基、或者(xxxx')5价的苯五基、联苯五基、三联苯五基、萘五基、芴五基、吡啶五基、环己烷五基、金刚烷五基、或者(xxxxi')6价的苯六基、联苯六基、三联苯六基、萘六基、芴六基、环己烷六基、金刚烷六基、或者(xxxxii'),上述(xxxvi')~(xxxxii')所示的基团为选自由甲基、三氟甲基、碳原子数为2~10的全氟烷基、氟原子、任选被氟原子取代的苯基组成的组中的1种以上的基团取代的基团。
式(11)中,Z的玻璃化转变温度高,能够抑制膜表面的金属膜的形成,因此进一步优选为亚苯基、具有至少1个氟原子的亚苯基、具有至少1个三氟甲基的亚苯基、苯三基、具有至少1个氟原子的苯三基、具有至少1个三氟甲基的苯三基、苯四基、具有至少1个氟原子的苯四基、具有至少1个三氟甲基的苯四基、苯五基、具有至少1个氟原子的苯五基、具有至少1个三氟甲基的苯五基、苯六基、具有至少1个氟原子的苯六基、具有至少1个三氟甲基的苯六基、亚联苯基、具有至少1个氟原子的亚联苯基、具有至少1个三氟甲基的亚联苯基、联苯三基、具有至少1个氟原子的联苯三基、具有至少1个三氟甲基的联苯三基、具有至少1个甲基的联苯三基、联苯四基、具有至少1个氟原子的联苯四基、具有至少1个三氟甲基的联苯四基、具有至少1个甲基的联苯四基、联苯五基、具有至少1个氟原子的联苯五基、具有至少1个三氟甲基的联苯五基、具有至少1个甲基的联苯五基、联苯六基、具有至少1个氟原子的联苯六基、具有至少1个三氟甲基的联苯六基、具有至少1个甲基的联苯六基、亚三联苯基、具有至少1个氟原子的亚三联苯基、具有至少1个三氟甲基的亚三联苯基、三联苯三基、具有至少1个氟原子的三联苯三基、具有至少1个三氟甲基的三联苯三基、三联苯四基、具有至少1个氟原子的三联苯四基、具有至少1个三氟甲基的三联苯四基、三联苯五基、具有至少1个氟原子的三联苯五基、具有至少1个三氟甲基的三联苯五基、三联苯六基、具有至少1个氟原子的三联苯六基、具有至少1个三氟甲基的三联苯六基、亚萘基、萘三基、萘四基、萘五基、萘六基、亚吡啶基、具有至少1个氟原子的亚吡啶基、具有至少1个三氟甲基的亚吡啶基、吡啶三基、具有至少1个氟原子的吡啶三基、具有至少1个三氟甲基的吡啶三基、吡啶四基、具有至少1个氟原子的吡啶四基、具有至少1个三氟甲基的吡啶四基、吡啶五基、具有至少1个氟原子的吡啶五基、具有至少1个三氟甲基的吡啶五基、吡啶六基、具有至少1个氟原子的吡啶六基、具有至少1个三氟甲基的吡啶六基、芴-9,9-二基、环己烷-1,1-二基、金刚烷基、金刚烷-2,2-二基、金刚烷-1,3-二基、金刚烷-1,3,5-三基、金刚烷-1,3,5,7-四基。
金属图案化用材料能够抑制膜表面的金属膜的形成,因此优选在分子内具有选自由全氟苯基、全氟甲苯基、全氟二甲基苯基以及全氟联苯基组成的组中的1种以上的基团。
金属图案化用材料能够抑制膜表面的金属膜的形成,因此该金属图案化用材料的分子结构中的氟原子与碳原子的数量之比优选为氟原子比1∶4多,更优选为氟原子比1∶3多,进一步优选为氟原子比1∶2多。
从玻璃化转变温度和升华温度的观点出发,该比依次更进一步优选为1:2至2:1、1:2至1.9:1、1:2至1.8:1、1:2至1.7:1、1:2至1.6:1、1:2至1.5:1。
[金属图案化材料的具体例]
关于本公开的一个方式的金属图案化用材料,示例为以下(B1)至(B114)的化合物,但本公开并不限定于这些化合物。
[化69]
[化70]
[化71]
[化72]
[化73]
[化74]
[化75]
[金属图案的形成方法]
本公开的一个方式所涉及的金属图案的形成方法包括:形成包含上述的金属图案化用材料、或者上述的胺化合物的有机材料图案;对上述有机材料图案的形成区域以及上述有机材料图案的未形成区域赋予金属材料,在该未形成区域形成金属图案。
金属图案化用材料(胺化合物)在想要抑制金属附着的部位成膜而使用。在此,想要抑制金属材料附着的部位相当于有机材料图案的形成区域。想要抑制金属材料附着的部位以外的部位相当于有机材料图案的非形成区域。有机材料图案的非形成区域是促进金属材料的附着的区域,是想要形成金属图案的部位。
作为有机材料图案的形成方法(成膜方法),没有特别限制,能够应用真空气相沉积法、旋涂法、浇铸法、浸涂法、模涂法、棒涂法、胶版法、喷涂法、喷墨法、丝网法、胶版法、柔版法、凹版法、微接触法等公知的方法。另外,也可以在成膜后比室温高的温度环境下对膜进行退火。对于有机材料图案的膜厚也没有特别限制。
另外,在金属图案化用材料中,也可以在能够抑制膜表面形成金属膜的范围内任意添加其他有机分子材料、聚合物等。
形成有机材料图案的基础可以是金属,也可以是非金属,可举出例如有机膜、金属膜、氧化物膜、无机膜等,没有特别限制。另外,基板的材质也没有特别限制,能够使用玻璃、塑料、金属、陶瓷、其他所有材料。
作为使用金属图案化用材料形成金属图案时的金属材料的种类,没有特别限定,优选为碱金属、碱土金属、过渡金属或者周期表第13族金属等,可举出锂、钠、钾、铷、铯、铍、镁、钙、锶、钡、铝、钪、钒、锌、钇、铟、铈、钐、铕、铽、镱、金、银、铂、铜、铁、钯、钼、锰、钛、钴、镍、钨、锡、及铬、以及包含这些金属中的1种以上的合金。作为合金的实例,可举出例如,镁-银合金、镁-铟合金、镁-铝合金、铟-银合金、锂-铝合金、锂-镁合金、锂-铟合金、钙-铝合金等。
作为金属图案的形成方法,没有特别限制,可举出真空气相沉积法、溅射法等干法工艺;使用金属纳米油墨的喷墨法等。另外,对于金属图案的膜厚也没有特别限制。
通过对有机材料图案的形成区域以及有机材料图案的未形成区域赋予金属材料,从而瞬间在双方的区域形成包含金属材料的膜,但由于有机材料图案的形成区域抑制了金属的附着,因此仅在有机材料图案的未形成区域形成金属图案。
作为金属图案的形成方法的更具体的方法,可举出例如以下的1)~2)所示的方法。
1)使用金属掩模等将上述的金属图案化用材料气相沉积成膜为期望的图案。
2)其后,通过气相沉积金属,仅在未成膜的金属图案化用材料的部分形成电极。即,相对于金属图案化用材料的成膜图案形成负型的金属电极。
需要说明的是,图案化后的金属电极的面积、线宽能够以金属图案化用材料的图案化形状任意调整。
根据本公开的一个方式的金属图案化用材料、胺化合物以及金属图案的形成方法,能够形成太阳能电池、光传感器、图像传感器、有机电致发光(EL)元件、有机太阳能电池、有机传感器、有机晶体管等金属电极的图案化、电路基板上的金属配线。
本公开的一个方式的金属图案化用材料能够形成玻璃化转变温度高且耐热性优异的膜,也能够应用于气相沉积工艺。另一方面,非专利文献1所涉及的FTS是涂布工艺用的材料,由于在真空气相沉积工艺中无法成膜等,对可应用的工艺有限制。
另外,本公开的一个方式的金属图案化用材料通过在分子内具有标准以上的氟原子,能够抑制膜表面金属薄膜的形成。
进而,本公开的一个方式所涉及的金属图案化用材料能够在对金属薄膜进行图案化时不对包含金属图案化用材料的膜进行加热,而高度抑制金属的附着。另一方面,在使用专利文献1所涉及的1,2-二芳族基团乙烯衍生物的方法的情况下,为了抑制金属的附着,有时将膜加热至玻璃化转变温度以上。
因此,根据本公开,能够提供一种耐热性优异、并且能够以简便的工艺对金属电极进行图案化的金属图案化用材料。
[电子设备]
本公开的一个方式所涉及的电子设备包含上述的金属图案化用材料、或者上述的胺化合物。如上所述,在形成金属图案时,由于形成包含金属图案化用材料或者胺化合物的有机材料图案,因此与金属图案一起形成有机材料图案。因此,本公开的一个方式所涉及的电子设备具备与金属图案一起包含金属图案化用材料、或者胺化合物的有机材料图案。
作为电子设备,可举出例如太阳能电池、光传感器、图像传感器、有机EL元件、有机太阳能电池、有机传感器、有机晶体管等。这些电子设备具备金属电极的图案化、或者电路基板上的金属配线等。换言之,如果是金属电极的图案化或者具备电路基板上的金属配线的电子设备,则能够使用上述的金属图案的形成方法,得到本方式的电子设备。该电子设备具有高精度的金属图案。
实施例
以下,基于实施例对本发明进行更详细的说明,但本发明不受这些实施例的任何限定地解释。
需要说明的是,本实施例中使用的分析设备如下列记。
[NMR测定]
测定装置:JEOL社制、JNM-ECZ400S
[玻璃化转变温度的测定]
测定装置:日立高新技术社制、DSC7020
测定方法:将5mg的样品放入铝制的样品盘中,在10℃/分钟的升温条件下进行测定。
[透射率测定]
测定装置:日本分光社制、V-750
测定范围:550~800nm
实施例1化合物(A177)的合成
[化76]
在氮气氛下,使4,4'-二氨基八氟联苯(1.64g,5.0mmol)、全氟甲苯(14ml,100mmol)及碳酸钾(3.46g,25mmol)悬浮于二甲基亚砜(50mL)中,在100℃下搅拌12小时。冷却至室温后,向反应液中加入水(100ml)、甲苯(20ml)和甲醇(30ml),在室温下搅拌30分钟。通过滤取析出的固体,得到作为目标物的白色固体的化合物(A177)(产量5.12g,收率86%)。化合物(A177)的玻璃化转变温度为102℃。
19F-NMR(376.4MHz,CDCl3)δ(ppm):-57.3(t,J=17.3Hz,12F),-136.6(s,4F),-139.5(s,8F),-148.1(d,J=17.3Hz,8F),-148.5(s,4F)。
实施例1'(化合物(A177)的金属附着性评价)
利用异丙醇对玻璃基板进行沸腾清洗,进一步进行紫外线臭氧清洗后,设置于真空气相沉积装置,利用真空泵排气至1.0×10-4Pa以下。在配置有开口部为20mm×10mm的金属掩模的玻璃基板上,以0.2nm/秒的气相沉积速度使化合物(A177)形成100nm的膜。然后,去除金属掩模,以0.2nm/秒的气相沉积速度将银气相沉积成20nm。气相沉积化合物(A177)部分的银不成膜,形成20mm×10mm的透明区域。
实施例2化合物(A206)的合成
[化77]
在氮气氛下,使4,4'-二氨基-2,2'-二甲基联苯(1.06g,5.0mmol)、全氟甲苯(14ml,100mmol)及碳酸钾(3.46g,25mmol)悬浮于二甲基亚砜(50mL)中,在100℃下搅拌12小时。冷却至室温后,向反应液中加入水(100ml)、甲苯(20ml)和甲醇(30ml),在室温下搅拌30分钟。通过滤取析出的固体,得到作为目标物的白色固体的化合物(A206)(产量4.16g,收率77%)。
1H-NMR(400MHz,CDCl3);2.02(s,6H),6.80~6.83(m,4H),7.09(d,J=8.0,2H)
19F-NMR(376.4MHz,CDCl3)δ(ppm):-57.2(t,J=22.6Hz,12F),-140.7~-140.7(m,8F),-145.9~-146.0(m,8F)
实施例2'(化合物(A206)的金属附着性评价)
利用异丙醇对玻璃基板进行沸腾清洗,进一步进行紫外线臭氧清洗后,设置于真空气相沉积装置,利用真空泵排气至1.0×10-4Pa以下。在配置有开口部为20mm×10mm的金属掩模的玻璃基板上,以0.2nm/秒的气相沉积速度使化合物(A206)形成100nm的膜。然后,去除金属掩模,以0.2nm/秒的气相沉积速度将镁气相沉积成30nm。气相沉积化合物(A206)部分的镁不成膜,形成20mm×10mm的透明区域。
实施例3化合物(A236)的合成
[化78]
在氮气氛下,使4,4'-二氨基-2,2'-二(三氟甲基)联苯(0.96g,3.0mmol)、全氟甲苯(14.2g,60mmol)、碳酸钾(3.18g,15mmol)悬浮于二甲基亚砜(30mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,使用纯水和氯仿进行分液,进而用饱和氯化钠水溶液清洗有机层。有机层用无水硫酸镁干燥后,用少量的硅胶进行柱色谱,除去高极性成分。接着,在减压下蒸馏除去溶剂。向得到的固体中加入甲醇(40ml)和己烷(10ml),在室温下搅拌30分钟。通过滤取析出的固体,得到作为目标物的白色固体的化合物(A236)(产量3.11g,收率89%)。
1H-NMR(400MHz,THF-d8);7.32(d,J=4.0,2H),7.62(dd,J=4.0,2.0,2H),7.92(d,J=2.0,2H)
19F-NMR(376.4MHz,THF-d8)δ(ppm):-57.2(t,J=22.6Hz,12F),-64.0(s,6F),-140.4~-140.5(m,8F),-147.2~-147.3(m,8F)。
实施例3'(化合物(A236)的金属附着性评价)
利用异丙醇对玻璃基板进行沸腾清洗,进一步进行紫外线臭氧清洗后,设置于真空气相沉积装置,利用真空泵排气至1.0×10-4Pa以下。在配置有开口部为20mm×10mm的金属掩模的玻璃基板上,以0.2nm/秒的气相沉积速度使化合物(A236)形成100nm的膜。然后,去除金属掩模,以0.2nm/秒得气相沉积速度将银气相沉积成10nm。气相沉积化合物(A236)部分的银不成膜,形成20mm×10mm的透明区域。
实施例4化合物(A1)的合成
[化79]
在氮气氛下,加入三(4-溴苯基)胺(1.69g,3.5mmol)、五氟苯基硼酸(2.67,12.6mmol)、氟化铯(3.19g,21.0mmol)、氧化银(I)(2.92g,12.6mmol)及N,N-二甲基甲酰胺(35ml),在60下搅拌。在得到的浆料状的混合液中添加三(二亚苄基丙酮)钯(0)(160.2mg、0.18mmol)、三(叔丁基)膦(85mg、0.42mmol),接着在100℃下搅拌6小时。冷却至室温后,用过滤器除去氧化银(I),浓缩滤液。在残渣中加入己烷,用硅胶柱色谱法(己烷)进行精制,由此得到作为目标物的白色固体的化合物(A1)(产量1.21g,收率47%)。
FDMS:743
1H-NMR(400MHz,CDCl3);7.39~7.37(m,6H),7.31~7.28(m,6H)
19F-NMR(376.4MHz,CDCl3)δ(ppm):-144.62(dd,J=30.1,7.5,6F),-157.0(t,J=22.6,3F),-163.4~163.5(m,6F)。
实施例4'(化合物(A1)的金属附着性评价)
利用异丙醇对玻璃基板进行沸腾清洗,进一步进行紫外线臭氧清洗后,设置于真空气相沉积装置,利用真空泵排气至1.0×10-4Pa以下。在配置有开口部为20mm×10mm的金属掩模的玻璃基板上,以0.2nm/秒的气相沉积速度使化合物(A1)形成100nm的膜。然后,去除金属掩模,以0.2nm/秒的气相沉积速度将镁气相沉积成10nm。气相沉积化合物(A1)部分的镁不成膜,形成20mm×10mm的透明区域。
实施例5化合物(A512)的合成
[化80]
在氮气氛下,使1,3-二氨基金刚烷(1.30g,7.8mmol)、全氟甲苯(14.8g,62.5mmol)、18-冠-6-醚(103mg,0.40mmol)、磷酸三钾(16.6g,78.2mmol)悬浮于二甲基亚砜(40ml)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,向反应液中加入水(50ml)和甲醇(50ml),在室温下搅拌30分钟。通过滤取析出的固体,由此得到作为目标物的白色固体的化合物(A512)(产量6.90g,收率86%)。化合物(A512)的玻璃化转变温度为70℃。
1H-NMR(400MHz,CDCl3);2.34(s,2H),2.01(s,2H),1.91(d,J=12.0,4H),1.72(d,J=12.0,4H),1.58(s,2H)
19F-NMR(376.4MHz,CDCl3)δ(ppm):-57.5~-57.7(m,12F),-138.1(s,8F),-141.3(d,J=23.7Hz,8F)。
实施例5'(化合物(A512)的金属附着性评价)
利用异丙醇对玻璃基板进行沸腾清洗,进一步进行紫外线臭氧清洗后,设置于真空气相沉积装置,利用真空泵排气至1.0×10-4Pa以下。在配置有开口部为20mm×10mm的金属掩模的玻璃基板上,以0.1nm/秒的气相沉积速度将化合物(A512)形成20nm的膜。然后,去除金属掩模,以0.1nm/秒气相沉积速度将金气相沉积成12nm。气相沉积化合物(A512)部分的金不成膜,形成20mm×10mm的透明区域。
实施例6化合物(A553)的合成
[化81]
在氮气氛下,使2,2'-二氨基-4,4'-联噻唑(0.59g,3.0mmol)、全氟甲苯(14g,60mmol)、磷酸三钾(3.2g,15mmol)悬浮于二甲基亚砜(30mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,向反应液中加入水(30ml)和甲醇(30ml),在室温下搅拌30分钟。通过滤取析出的固体,得到作为目标物的白色固体的化合物(A553)(产量2.26g,收率71%)。
1H-NMR(400MHz,CDCl3);7.22(s,2H),
19F-NMR(376.4MHz,CDCl3)δ(ppm):-57.4(t,J=22.6Hz,12F),-139.5~-139.7(m,8F),-143.1~-143.2(m,8F)。
实施例6'(化合物(A553)的金属附着性评价)
利用异丙醇对玻璃基板进行沸腾清洗,进一步进行紫外线臭氧清洗后,设置于真空气相沉积装置,利用真空泵排气至1.0×10-4Pa以下。在配置有开口部为20mm×10mm的金属掩模的玻璃基板上,以0.2nm/秒的气相沉积速度使化合物(A553)形成50nm的膜。然后,去除金属掩模,以0.1nm/秒的气相沉积速度将镁气相沉积成12nm。气相沉积化合物(A553)部分的镁不成膜,形成20mm×10mm的透明区域。
实施例7化合物(A559)的合成
[化82]
在氮气氛下,使2,4,6-三氨基-1,3,5-三嗪(0.25g,2.0mmol)、全氟甲苯(14g,59mmol)、18-冠-6-醚(26mg,0.1mmol)、磷酸三钾(6.3g,30mmol)悬浮于二甲基亚砜(30mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,向反应液中加入水(30ml)和甲醇(30ml),在室温下搅拌30分钟。通过滤取析出的固体,得到作为目标物的白色固体的化合物(A559)(产量2.26g,收率80%)。
19F-NMR(376.4MHz,THF-d8)δ(ppm):-55.9(t,J=22.6Hz,18F),-139.8~-140.0(m,24F)。
实施例7'(化合物(A559)的金属附着性评价)
利用异丙醇对玻璃基板进行沸腾清洗,进一步进行紫外线臭氧清洗后,设置于真空气相沉积装置,利用真空泵排气至1.0×10-4Pa以下。在配置有开口部为20mm×10mm的金属掩模的玻璃基板上,以0.2nm/秒的气相沉积速度使化合物(A59)形成20nm的膜。然后,去除金属掩模,以0.1nm/秒的气相沉积速度将银和镁(9/1)气相沉积成20nm。气相沉积化合物(A559)部分的银与镁的合金不成膜,形成20mm×10mm的透明区域。
实施例8化合物(A173)的合成
[化83]
在氮气氛下,使4,4'-二氨基八氟联苯(0.66g,2.0mmol)、全氟联苯(6.72g,20.1mmol)、磷酸三钾(2.13g,10.1mmol)悬浮于二甲基亚砜(15mL)、环戊基甲醚(15mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,使用纯水和氯仿进行分液,进而用饱和氯化钠水溶液清洗有机层。有机层用无水硫酸镁干燥后,用少量的硅胶进行柱色谱,除去高极性成分。接着,在减压下蒸馏除去溶剂。向得到的固体中加入甲醇(40ml)和己烷(10ml),在室温下搅拌30分钟。通过滤取析出的固体,得到作为目标物的白色固体的化合物(A173)(产量2.41g,收率77%)。
19F-NMR(376.4MHz,THF-d8)δ(ppm):-137.0(m,4F),-137.3(m,8F),-138.0(m,8F),-147.4(m,12F),-150.5(m,4F),-161.1(m,8F)。
实施例8'(化合物(A173)的金属附着性评价)
利用异丙醇对玻璃基板进行沸腾清洗,进一步进行紫外线臭氧清洗后,设置于真空气相沉积装置,利用真空泵排气至1.0×10-4Pa以下。在配置有开口部为20mm×10mm的金属掩模的玻璃基板上,以0.2nm/秒的气相沉积速度使化合物(A173)形成30nm的膜。然后,去除金属掩模,以0.1nm/秒的气相沉积速度将铝气相沉积成10nm。气相沉积化合物(A173)部分的铝不成膜,形成20mm×10mm的透明区域。
实施例9化合物(A433)的合成
[化84]
在氮气氛下,使四(4-氨苯基)甲烷(1.90g,4.99mmol)、全氟甲苯(47.1g,200mmol)、磷酸三钾(10.6g,49.9mmol)悬浮在二甲基亚砜(50mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,向反应液中加入水(60ml)和甲醇(60ml),在室温下搅拌30分钟后,滤取析出的固体,由此得到作为目标物的白色固体的化合物(A433)(产量9.76g,收率93%)。
1H-NMR(400MHz,THF-d8);7.03~7.10(m,16H)
19F-NMR(376.4MHz,THF-d8)δ(ppm):-55.5(t,J=22.6Hz,24F),-140.3~140.4(m,16F),-144.4~-144.5(m,16F)。
实施例9'(化合物(A433)的金属附着性评价)
利用异丙醇对玻璃基板进行沸腾清洗,进一步进行紫外线臭氧清洗后,设置于真空气相沉积装置,利用真空泵排气至1.0×10-4Pa以下。在配置有开口部为20mm×10mm的金属掩模的玻璃基板上,以0.2nm/秒的气相沉积速度使化合物(A433)形成50nm的膜。然后,去除金属掩模,以0.2nm/秒的气相沉积速度将镁气相沉积成12nm。气相沉积化合物(A433)部分的镁不成膜,形成20mm×10mm的透明区域。
实施例10化合物(A569)的合成
[化85]
在氮气氛下,使2,4,6-三氨基嘧啶(0.50mg,4.00mmol)、全氟甲苯(28.3g,120mmol)、18-冠-6-醚(52.9mg,0.20mmol)、磷酸三钾(12.7g,60.0mmol)悬浮在二甲基亚砜(40mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,向反应液中加入水(60ml)和甲醇(60ml),在室温下搅拌30分钟。通过滤取析出的固体,由此得到作为目标物的白色固体的化合物(A569)(产量5.69g,收率82%)。
1H-NMR(400MHz,THF-d8);5.96(s,1H)
19F-NMR(376.4MHz,THF-d8)δ(ppm):-55.7~-55.9(m,18F),-140.3~-141.1(m,24F)。
实施例10'(化合物(A569)的金属附着性评价)
利用异丙醇对玻璃基板进行沸腾清洗,进一步进行紫外线臭氧清洗后,设置于真空气相沉积装置,利用真空泵排气至1.0×10-4Pa以下。在配置有开口部为20mm×10mm的金属掩模的玻璃基板上,以0.2nm/秒的气相沉积速度使化合物(A569)形成100nm的膜。然后,去除金属掩模,以0.1nm/秒的气相沉积速度将银气相沉积成20nm。气相沉积化合物(A569)部分的银不成膜,形成20mm×10mm的透明区域。
实施例11化合物(A305)的合成
[化86]
在氮气氛下,使1,3,5-三氨基苯(1.73g,14mmol)、全氟甲苯(40g,170mmol)和磷酸三钾(74g,340mol)、18-冠-6-醚(103mg,0.40mmol)悬浮在二甲基亚砜(200mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,将反应液加入水(200ml)、甲醇(200ml)的混合溶液中,在室温下搅拌30分钟。通过滤取析出的固体,得到作为目标物的白色固体的化合物(A305)(产量2.54g,收率13%)。
19F-NMR(376.4MHz,THF-d8)δ(ppm):-55.6(t,J=22.6Hz,12F),-139.9~-140.0(m,12F),-144.0~-144.1(m,12F)。
实施例11'(化合物(A305)的金属附着性评价)
利用异丙醇对玻璃基板进行沸腾清洗,进一步进行紫外线臭氧清洗后,设置于真空气相沉积装置,利用真空泵排气至1.0×10-4Pa以下。在配置有开口部为20mm×10mm的金属掩模的玻璃基板上,以0.2nm/秒的气相沉积速度使化合物(A305)形成20nm的膜。然后,去除金属掩模,以0.01nm/秒的气相沉积速度将镱气相沉积成1nm,然后,以0.1nm/秒的气相沉积速度将银气相沉积成12nm。气相沉积化合物(A305)部分的银不成膜,形成20mm×10mm的透明区域。
实施例12中间体(AA1)的合成
[化87]
在氮气氛下,使4,4'-二氨基八氟联苯(3.28g,10.0mmol)、全氟苯(18.6g,100.0mmol),悬浮于四氢呋喃(100mL)中,在100℃下搅拌,每隔1小时添加1g叔丁醇钠(9.61g,100.0mmol)。添加结束后,在100℃下搅拌6小时。冷却至室温后,使用纯水和氯仿进行分液,进而用饱和氯化钠水溶液清洗有机层。有机层用无水硫酸镁干燥后,通过硅胶柱色谱法进行精制,由此得到作为目标物的白色固体的中间体(AA1)(产量4.56g,收率69%)。
化合物的鉴定通过FDMS测定来进行。
FDMS:660
实施例13化合物(A176)的合成
[化88]
在氮气氛下,使AA1(2.64g,4.0mmol)、全氟甲苯(9.44g,40.0mmol)、磷酸三钾(2.12g,10.0mmol)悬浮于二甲基亚砜(40mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,向反应液中加入水(40ml)和甲醇(40ml),在室温下搅拌30分钟。通过滤取析出的固体,得到作为目标物的白色固体的化合物(A176)(产量3.57g,收率82%)。化合物(A176)的玻璃化转变温度为87℃。
19F-NMR(376.4MHz,THF-d8)δ(ppm):-55.6(t,J=22.6Hz,6F),-136.9~-137.0(m,4F),-139.7~-139.9(m,4F),-147.6~-147.7(m,12F),-154.6~-154.7(m,2F),-161.5~-161.6(m,4F)。
实施例13'(化合物(A176)的金属附着性评价)
利用异丙醇对玻璃基板进行沸腾清洗,进一步进行紫外线臭氧清洗后,设置于真空气相沉积装置,利用真空泵排气至1.0×10-4Pa以下。在配置有开口部为20mm×10mm的金属掩模的玻璃基板上,以0.1nm/秒的气相沉积速度使化合物(A176)形成20nm的膜。然后,去除金属掩模,以0.1nm/秒的气相沉积速度将银气相沉积成30nm。气相沉积化合物(A176)部分的银不成膜,形成20mm×10mm的透明区域。
实施例14化合物(A574)的合成
[化89]
在氮气氛下,使5-三氟甲基-1,3-苯二胺(1.0g,5.7mmol)、全氟甲苯(10.7g,45mmol)以及磷酸三钾(12.3g,58mmol)、18-冠-6-醚(103mg,0.40mmol)悬浮于二甲基亚砜(60mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,向反应液中加入水(100ml)、甲醇(50ml),在室温下搅拌30分钟。通过滤取析出的固体,由此得到作为目标物的白色固体的化合物(A574)(产量3.21g,收率54%)。
1H-NMR(400MHz,THF-d8);7.26(d,J=4.00,2H),7.02(s,1H)
19F-NMR(376.4MHz,CDCl3)δ(ppm):-55.6(t,J=22.6Hz,12F),-62.2(s,3F),-139.7~-139.9(m,8F),-143.7~-143.8(m,8F),-142.2~-142.4(m,4F)。
实施例14'(化合物(A574)的金属附着性评价)
利用异丙醇对玻璃基板进行沸腾清洗,进一步进行紫外线臭氧清洗后,设置于真空气相沉积装置,利用真空泵排气至1.0×10-4Pa以下。在配置有开口部为20mm×10mm的金属掩模的玻璃基板上,以0.1nm/秒的气相沉积速度使化合物(A574)形成50nm的膜。然后,去除金属掩模,以0.1nm/秒的气相沉积速度将铟气相沉积成15nm。气相沉积化合物(A574)部分的铟不成膜,形成20mm×10mm的透明区域。
实施例15化合物(A580)的合成
[化90]
在氮气氛下,使1,3-二氨基-2,4,5,6-四氟苯(1.80g,10.0mmol)、全氟甲苯(19.2g,81mmol)和磷酸三钾(21.2g,100.0mmol)悬浮于二甲基亚砜(50mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,向反应液中加入水(60ml)和甲醇(60ml),在室温下搅拌30分钟。通过滤取析出的固体,得到作为目标物的白色固体的化合物(A580)(产量3.94g,收率38%)。化合物(A580)的玻璃化转变温度为66℃。
19F-NMR(376.4MHz,THF-d8)δ(ppm):-55.6(t,J=22.6Hz,6F),-132.6(s,1F),-138.7~-138.8(m,2F),-139.4~-139.6(m,8F),-147.6~-147.7(m,8F),-159.7~-159.8(m,1F)。
实施例15'(化合物(A580)的金属附着性评价)
利用异丙醇对玻璃基板进行沸腾清洗,进一步进行紫外线臭氧清洗后,设置于真空气相沉积装置,利用真空泵排气至1.0×10-4Pa以下。在配置有开口部为20mm×10mm的金属掩模的玻璃基板上,以0.1nm/秒的气相沉积速度使化合物(A580)形成30nm的膜。然后,去除金属掩模,以0.01nm/秒的气相沉积速度将镱气相沉积成2nm,然后,以0.1nm/秒的气相沉积速度将银和镁(9/1)气相沉积成15nm。气相沉积化合物(A580)部分的银不成膜,形成20mm×10mm的透明区域。
实施例16中间体(AA2)的合成
[化91]
在氮气氛下,使五氟苯胺(5.10g,27.8mmol)、全氟甲苯(26.3ml,111.3mmol)和磷酸三钾(29.77g,140mmol)悬浮于二甲基亚砜(80mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,使用纯水和氯仿进行分液,进而用饱和氯化钠水溶液清洗有机层。有机层用无水硫酸镁干燥后,通过硅胶柱色谱法进行精制,由此得到作为目标物的白色固体的中间体(AA2)(产量14.82g,收率87%)。
19F-NMR(376.4MHz,CDCl3)δ(ppm):-57.3(t,J=22.6Hz,6F),-139.8~-139.9(m,4F),-148.6~-148.7(m,6F),-153.6~-153.8(m,1F),-160.9~-161.0(m,2F)。
实施例17中间体(AA3)的合成
[化92]
在氮气氛下,使1,3-二胺金刚烷(0.66g,4.0mmol)、AA2(5.01g,8.1mmol)和磷酸三钾(2.11g,10.0mmol)悬浮在二甲基亚砜(40mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,使用纯水和氯仿进行分液,进而用饱和氯化钠水溶液清洗有机层。有机层用无水硫酸镁干燥后,通过硅胶柱色谱法进行精制,由此得到作为目标物的白色固体的中间体(AA3)(产量4.21g,收率78%)。
1H-NMR(400MHz,CDCl3);3.48(s,2H),2.34(s,2H),1.90(s,2H),1.78(s,8H),1.59(s,2H)
19F-NMR(376.4MHz,CDCl3)δ(ppm):-57.3(t,J=22.6Hz,12F),-140.5~-140.6(m,8F),-149.0~-149.1(m,8F),-150.8~-150.9(m,4F),-151.2~-151.3(m,4F)。
实施例18化合物(A581)的合成
[化93]
在氮气氛下,使AA3(4.07g,3.0mmol)、全氟苯(2.12g,9.0mmol)、18-冠-6-醚(39.6mg,0.15mmol)、磷酸三钾(3.18g,15.0mmol)悬浮在二甲基亚砜(40mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,向反应液中加入水(40ml)和甲醇(40ml),在室温下搅拌30分钟。通过滤取析出的固体,得到作为目标物的白色固体的化合物(A581)(产量3.85g,收率72%)。化合物(A581)的玻璃化转变温度为127℃。
1H-NMR(400MHz,THF-d8);2.21(s,2H),1.93(s,2H),1.81~1.68(m,8H),1.45(s,2H)
19F-NMR(376.4MHz,THF-d8)δ(ppm):-55.6~-55.9(m,18F),-136.8~-137.0(m,4F),-137.4~-137.6(m,4F),-139.3~-139.6(m,8F),-141.2~-141.4(m,4F),-146.9~-147.0(m,8F),-148.8~-149.0(m,4F)。
实施例18'(化合物(A581)的金属附着性评价)
利用异丙醇对玻璃基板进行沸腾清洗,进一步进行紫外线臭氧清洗后,设置于真空气相沉积装置,利用真空泵排气至1.0×10-4Pa以下。在配置有开口部为20mm×10mm的金属掩模的玻璃基板上,以0.2nm/秒的气相沉积速度使化合物(A581)形成10nm的膜。然后,去除金属掩模,以0.2nm/秒的气相沉积速度将银气相沉积成20nm。气相沉积化合物(A581)部分的银不成膜,形成20mm×10mm的透明区域。
实施例19中间体(AA4)的合成
[化94]
在氮气氛下,使1-氨基金刚烷(1.51g,10.0mmol)、AA2(6.15g,10.0mmol)、磷酸三钾(2.23g,10.5mmol)悬浮于二甲基亚砜(50mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,使用纯水和氯仿进行分液,进而用饱和氯化钠水溶液清洗有机层。有机层用无水硫酸镁干燥后,用硅胶柱色谱法(己烷)进行精制,由此得到作为目标物的白色固体的中间体(AA4)(产量5.86g,收率79%)。
化合物的鉴定通过FDMS测定来进行。
FDMS:746
实施例20化合物(A582)的合成
[化95]
在氮气氛下,将AA4(2.99g,4.0mmol)、全氟甲苯(2.83g,12.0mmol)、18冠6醚(52.9mg,0.2mmol)、磷酸三钾(4.25g,20.0mmol)悬浮在二甲基亚砜(40mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,向反应液中加入水(40ml)和甲醇(40ml),在室温下搅拌30分钟。通过滤取析出的固体,得到白色固体的作为目标物的化合物(A582)(产量2.51g,收率65%)。
1H-NMR(400MHz,CDCl3);2.16(s,3H),1.88(s,6H),1.70~1.61(m,6H)
19F-NMR(376.4MHz,CDCl3)δ(ppm):-57.3~-57.5(m,9F),-138.0~-138.2(m,4F),-139.7~-140.0(m,4F),-142.1~-142.3(m,2F),-148.2~-148.3(m,4F),-150.3~-150.4(m,2F)。
实施例20'(化合物(A582)的金属附着性评价)
利用异丙醇对玻璃基板进行沸腾清洗,进一步进行紫外线臭氧清洗后,设置于真空气相沉积装置,利用真空泵排气至1.0×10-4Pa以下。在配置有开口部为20mm×10mm的金属掩模的玻璃基板上,以0.1nm/秒的气相沉积速度使化合物(A582)形成50nm的膜。然后,去除金属掩模,以0.01nm/秒的气相沉积速度将镱气相沉积成5nm,然后,以0.1nm/秒的气相沉积速度将银气相沉积成12nm。气相沉积化合物(A582)部分的镱和银不成膜,形成20mm×10mm的透明区域。
实施例21化合物(A584)的合成
[化96]
在氮气氛下,使2,2-二(4-氨基苯基)、六氟丙烷(2.00g,6.0mmol)、全氟甲苯(11.4g,48.0mmol)以及磷酸三钾(12.8g,60.0mmol)、18-冠-6-醚(103mg,0.40mmol)悬浮于二甲基亚砜(60mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,向反应液中加入水(120ml)、甲醇(50ml),在室温下搅拌30分钟。通过滤取析出的固体,得到作为目标物的白色固体的化合物(A584)(产量4.06g,收率57%)。化合物(A584)的玻璃化转变温度为88℃。
1H-NMR(400MHz,CDCl3);7.36(d,J=4.00,4H),6.92(d,J=4.00,4H)
19F-NMR(376.4MHz,CDCl3)δ(ppm):-57.3(t,J=22.6Hz,12F),-65.2(s,6F),-139.9~-140.1(m,8F),-144.9~-145.0(m,8F)。
实施例21'(化合物(A584)的金属附着性评价)
利用异丙醇对玻璃基板进行沸腾清洗,进一步进行紫外线臭氧清洗后,设置于真空气相沉积装置,利用真空泵排气至1.0×10-4Pa以下。在配置有开口部为20mm×10mm的金属掩模的玻璃基板上,以0.2nm/秒的气相沉积速度使化合物(A584)形成100nm的膜。然后,去除金属掩模,以0.2nm/秒的气相沉积速度将银气相沉积成30nm。气相沉积化合物(A584)部分的银不成膜,形成20mm×10mm的透明区域。
实施例22中间体(AA5)的合成
[化97]
在氮气氛下,使全氟联苯(3.34g,10.0mmol)、1-氨基金刚烷(3.03g,20.0mmol)、磷酸三钾(5.31g,25.0mmol)悬浮于二甲基亚砜(40mL)、环戊基甲醚(10mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,向反应液中加入水(60ml)和甲醇(40ml),在室温下搅拌30分钟。通过滤取析出的固体,得到作为目标物的白色固体的中间体(AA5)(产量5.08g,收率85%)。
1H-NMR(400MHz,CDCl3);3.48(s,2H),2.14(s,6H),1.87(s,12H),1.72~1.64(m,12H)
19F-NMR(376.4MHz,CDCl3)δ(ppm):-142.0~-142.1(m,4F),-151.8~-151.9(m,4F)。
实施例23化合物(A526)的合成
[化98]
在氮气氛下,使AA5(2.98g,5.0mmol)、全氟甲苯(5.90g,25.0mmol)、18-冠-6-醚(66.1mg,0.25mmol)、磷酸三钾(5.31g,25.0mmol)悬浮于二甲基亚砜(50mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,向反应液中加入水(60ml)和甲醇(18ml),在室温下搅拌30分钟。通过滤取析出的固体,得到作为目标物的白色固体的化合物(A526)(产量4.08g,收率79%)。化合物(A526)的玻璃化转变温度为130℃。
1H-NMR(400MHz,CDCl3);2.18(s,6H),1.94(s,12H),1.71~1.63(m,12H)
19F-NMR(376.4MHz,CDCl3)δ(ppm):-57.4(t,J=22.6Hz,6F),-137.8~-137.93(m,4F),-138.9~-139.0(m,4F),-139.5~-139.5(m,4F),-142.2~-142.4(m,4F)。
实施例23'(化合物(A526)的金属附着性评价)
利用异丙醇对玻璃基板进行沸腾清洗,进一步进行紫外线臭氧清洗后,设置于真空气相沉积装置,利用真空泵排气至1.0×10-4Pa以下。在配置有开口部为20mm×10mm的金属掩模的玻璃基板上,以0.2nm/秒的气相沉积速度使化合物(A526)形成50nm的膜。然后,去除金属掩模,以0.1nm/秒的气相沉积速度将铋气相沉积成20nm。气相沉积化合物(A526)部分的铋不成膜,形成20mm×10mm的透明区域。
实施例24中间体(AA6)的合成
[化11]
在氮气氛下,使1,3-二胺金刚烷(665mg,4.0mmol)、全氟联苯(2.74g,8.2mmol)、磷酸三钾(4.25g,20.0mmol)悬浮于二甲基亚砜(40mL)、环戊基甲醚(10mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,使用纯水和氯仿进行分液,进而用饱和氯化钠水溶液清洗有机层。有机层用无水硫酸镁干燥后,用硅胶柱色谱法(己烷)进行精制,由此得到作为目标物的白色固体的中间体(AA6)(产量2.36g,收率74%)。
化合物的鉴定通过FDMS测定来进行。
FDMS:794
实施例25化合物(A591)的合成
[化100]
在氮气氛下,使AA6(2.38g,3.0mmol)、全氟甲苯(2.12g,9.0mmol)、18冠6醚(793mg,3.0mmol)、磷酸三钾(3.18g,15.0mmol)悬浮在二甲基亚砜(30mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,向反应液中加入水(30ml)和甲醇(30ml),在室温下搅拌30分钟。通过滤取析出的固体,得到作为目标物的白色固体的化合物(A591)(产量3.02g,收率82%)。化合物(A591)的玻璃化转变温度为93℃。
1H-NMR(400MHz,THF-d8);2.36(s,2H),2.18(s,2H),2.01~1.86(m,8H),1.62(s,2H)
19F-NMR(376.4MHz,THF-d8)δ(ppm):-57.8(t,J=22.6Hz,6F),-136.6~-136.7(m,4F),-137.3~-137.5(m,4F),-138.0~-138.1(m,4F),-138.6~-138.7(m,4F),-141.3~-141.5(m,4F),-150.8~-150.9(m,2F),-161.2~-161.3(m,4F)。
实施例25'(化合物(A591)的金属附着性评价)
利用异丙醇对玻璃基板进行沸腾清洗,进一步进行紫外线臭氧清洗后,设置于真空气相沉积装置,利用真空泵排气至1.0×10-4Pa以下。在配置有开口部为20mm×10mm的金属掩模的玻璃基板上,以0.1nm/秒的气相沉积速度使化合物(A591)形成50nm的膜。然后,去除金属掩模,以0.2nm/秒的气相沉积速度将铅气相沉积成20nm。气相沉积化合物(A591)部分的铅不成膜,形成20mm×10mm的透明区域。
实施例26中间体(AA7)的合成
[化101]
在氮气氛下,使二(五氟苯基)胺(6.98g,20.0mmol)、全氟甲苯(11.8g,50.0mmol)、18-冠-6-醚(5.29g,20.0mmol)、磷酸三钾(8.49g,40.0mmol)悬浮于二甲基亚砜(80mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,使用纯水和氯仿进行分液,进而用饱和氯化钠水溶液清洗有机层。有机层用无水硫酸镁干燥后,通过硅胶柱色谱法进行精制,由此得到作为目标物的白色固体的化合物(AA7)(产量8.65g,收率70%)。
化合物的鉴定通过FDMS测定来进行。
FDMS:565
实施例27中间体(AA8)的合成
[化102]
在氮气氛下,使1-氨基金刚烷(1.24g,8.2mmol)、AA7(2.26g,4.0mmol)、磷酸三钾(2.55g,12.0mmol)悬浮于二甲基亚砜(40mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,使用纯水和氯仿进行分液,进而用饱和氯化钠水溶液清洗有机层。有机层用无水硫酸镁干燥后,通过硅胶柱色谱法进行精制,由此得到作为目标物的白色固体的中间体(AA8)(产量2.89g,收率87%)。
化合物的鉴定通过FDMS测定来进行。
FDMS:827
实施例28化合物(A589)的合成
[化103]
在氮气氛下,使AA8(2.07g,2.5mmol)、全氟甲苯(1.77g,7.5mmol)、18-冠-6-醚(33.0mg,0.13mmol)、磷酸三钾(2.65g,12.5mmol)悬浮于二甲基亚砜(50mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,向反应液中加入水(50ml)和甲醇(50ml),在室温下搅拌30分钟。通过滤取析出的固体,得到作为目标物的白色固体的化合物(A589)(产量2.46g,收率78%)。化合物(A526)的玻璃化转变温度为138℃。
1H-NMR(400MHz,CDCl3);2.15(s,6H),1.87(s,12H),1.69~1.60(m,12H)
19F-NMR(376.4MHz,CDCl3)δ(ppm):-57.2~-57.5(m,9F),-138.0~-138.2(m,4F),-138.7~-138.8(m,4F),-140.3~-140.4(m,2F),-142.1~-142.4(m,4F),-148.5~-148.6(m,2F),-150.6~-150.7(m,4F)。
实施例28'(化合物(A589)的金属附着性评价)
利用异丙醇对玻璃基板进行沸腾清洗,进一步进行紫外线臭氧清洗后,设置于真空气相沉积装置,利用真空泵排气至1.0×10-4Pa以下。在配置有开口部为20mm×10mm的金属掩模的玻璃基板上,以0.2nm/秒的气相沉积速度使化合物(A589)形成50nm的膜。然后,去除金属掩模,以0.1nm/秒的气相沉积速度将镱气相沉积成20nm。气相沉积化合物(A589)部分的银不成膜,形成20mm×10mm的透明区域。
实施例29'(化合物(B51)的金属附着性评价)
[化104]
利用异丙醇对玻璃基板进行沸腾清洗,进一步进行紫外线臭氧清洗后,设置于真空气相沉积装置,利用真空泵排气至1.0×10-4Pa以下。在配置有开口部为20mm×10mm的金属掩模的玻璃基板上,以0.1nm/秒的气相沉积速度使化合物(B51)形成20nm的膜。然后,去除金属掩模,以0.1nm/秒的气相沉积速度将银气相沉积成20nm。气相沉积化合物(B51)部分的银不成膜,形成20mm×10mm的透明区域。
实施例30化合物(A565)的合成
[化105]
在氮气氛下,使1,3,5-三氨基金刚烷(0.91g,5.0mmol)、全氟甲苯(14.2g,60mmol)、18-冠-6-醚(66.1mg,0.25mmol)、磷酸三钾(15.9g,75mmol)悬浮于二甲基亚砜(50mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,向反应液中加入水(50ml)和甲醇(50ml),在室温下搅拌30分钟。通过滤取析出的固体,得到作为目标物的白色固体的化合物(A565)(产量5.68g,收率77%)。
化合物的鉴定通过FDMS测定来进行。
FDMS:1477
实施例30'(化合物(A565)的金属附着性评价)
利用异丙醇对玻璃基板进行沸腾清洗,进一步进行紫外线臭氧清洗后,设置于真空气相沉积装置,利用真空泵排气至1.0×10-4Pa以下。在配置有开口部为20mm×10mm的金属掩模的玻璃基板上,以0.2nm/秒的气相沉积速度使化合物(A565)形成30nm的膜。然后,去除金属掩模,以0.1nm/秒的气相沉积速度将铜气相沉积成30nm。气相沉积化合物(A565)部分的银不成膜,形成20mm×10mm的透明区域。
实施例31化合物(A568)的合成
[化106]
在氮气氛下,使1,3,5,7-四氨基金刚烷(0.98g,5.0mmol)、全氟甲苯(18.9g,80mmol)、18-冠-6-醚(66.1mg,0.25mmol)、磷酸三钾(21.2g,100mmol)悬浮于二甲基亚砜(50mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,向反应液中加入水(50ml)和甲醇(50ml),在室温下搅拌30分钟。通过滤取析出的固体,得到作为目标物的白色固体的化合物(A568)(产量6.58g,收率68%)。
化合物的鉴定通过FDMS测定来进行。
FDMS:1924
实施例31'(化合物(A568)的金属附着性评价)
利用异丙醇对玻璃基板进行沸腾清洗,进一步进行紫外线臭氧清洗后,设置于真空气相沉积装置,利用真空泵排气至1.0×10-4Pa以下。在配置有开口部为20mm×10mm的金属掩模的玻璃基板上,以0.2nm/秒的气相沉积速度使化合物(A568)形成30nm的膜。然后,去除金属掩模,以0.1nm/秒的气相沉积速度将银气相沉积成30nm。气相沉积化合物(A568)部分的银不成膜,形成20mm×10mm的透明区域。
实施例32化合物(A390)的合成
[化107]
在氮气氛下,使1,5-二氨基萘(0.791g,5.0mmol)、全氟甲苯(9.44g,40mmol)、磷酸三钾(10.6g,50mmol)悬浮于二甲基亚砜(50mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,向反应液中加入水(50ml)和甲醇(50ml),在室温下搅拌30分钟。通过滤取析出的固体,得到作为目标物的白色固体的化合物(A390)(产量4.09g,收率80%)。
化合物的鉴定通过FDMS测定来进行。
FDMS:1022
实施例32'(化合物(A390)的金属附着性评价)
利用异丙醇对玻璃基板进行沸腾清洗,进一步进行紫外线臭氧清洗后,设置于真空气相沉积装置,利用真空泵排气至1.0×10-4Pa以下。在配置有开口部为20mm×10mm的金属掩模的玻璃基板上,以0.2nm/秒的气相沉积速度使化合物(A390)形成50nm的膜。然后,去除金属掩模,以0.1nm/秒的气相沉积速度将镁气相沉积成30nm。气相沉积化合物(A390)部分的镁不成膜,形成20mm×10mm的透明区域。
实施例33中间体(AA9)的合成
[化108]
在氮气氛下,使2-氨基二苯并呋喃(1.47g,10.0mmol)、AA2(6.15g,10.0mmol)、磷酸三钾(2.23g,10.5mmol)悬浮于二甲基亚砜(50mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,使用纯水和氯仿进行分液,进而用饱和氯化钠水溶液清洗有机层。有机层用无水硫酸镁干燥后,用硅胶柱色谱法(己烷)进行精制,由此得到作为目标物的白色固体的中间体(AA9)(产量5.16g,收率66%)。
化合物的鉴定通过FDMS测定来进行。
FDMS:778
实施例34化合物(A600)的合成
[化109]
在氮气氛下,使AA9(3.11g,4.0mmol)、全氟甲苯(2.83g,12mmol)、磷酸三钾(4.25g,20mmol)悬浮于二甲基亚砜(50mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,向反应液中加入水(50ml)和甲醇(50ml),在室温下搅拌30分钟。通过滤取析出的固体,得到作为目标物的白色固体的化合物(A600)(产量2.57g,收率65%)。
化合物的鉴定通过FDMS测定来进行。
FDMS:994
实施例34'(化合物(A600)的金属附着性评价)
利用异丙醇对玻璃基板进行沸腾清洗,进一步进行紫外线臭氧清洗后,设置于真空气相沉积装置,利用真空泵排气至1.0×10-4Pa以下。在配置有开口部为20mm×10mm的金属掩模的玻璃基板上,以0.2nm/秒的气相沉积速度使化合物(A600)形成50nm的膜。然后,去除金属掩模,以0.01nm/秒的气相沉积速度将镱气相沉积成2nm,然后,以0.1nm/秒的气相沉积速度将镁气相沉积成12nm。气相沉积化合物(A600)部分的镱和镁不成膜,形成20mm×10mm的透明区域。
实施例35中间体(AA10)的合成
[化110]
在氮气氛下,使2-氨基-9,9-二甲基芴(2.09g,10.0mmol)、AA2(6.15g,10.0mmol)、磷酸三钾(2.23g,10.5mmol)悬浮于二甲基亚砜(50mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,使用纯水和氯仿进行分液,进而用饱和氯化钠水溶液清洗有机层。有机层用无水硫酸镁干燥后,用硅胶柱色谱法(己烷)进行精制,由此得到作为目标物的白色固体的中间体(AA10)(产量6.21g,收率77%)。
化合物的鉴定通过FDMS测定来进行。
FDMS:804
实施例36化合物(A601)的合成
[化111]
在氮气氛下,使AA10(3.22g,4.0mmol)、全氟甲苯(2.83g,12mmol)、磷酸三钾(4.25g,20mmol)悬浮于二甲基亚砜(50mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,向反应液中加入水(50ml)和甲醇(50ml),在室温下搅拌30分钟。通过滤取析出的固体,得到作为目标物的白色固体的化合物(A601)(产量2.89g,收率71%)。
化合物的鉴定通过FDMS测定来进行。
FDMS:1020
实施例36'(化合物(A601)的金属附着性评价)
利用异丙醇对玻璃基板进行沸腾清洗,进一步进行紫外线臭氧清洗后,设置于真空气相沉积装置,利用真空泵排气至1.0×10-4Pa以下。在配置有开口部为20mm×10mm的金属掩模的玻璃基板上,以0.2nm/秒的气相沉积速度使化合物(A601)形成50nm的膜。然后,去除金属掩模,以0.1nm/秒的气相沉积速度将镁气相沉积成20nm。气相沉积化合物(A601)部分的镁不成膜,形成20mm×10mm的透明区域。
实施例37中间体(AA11)的合成
[化112]
在氮气流下,在300mL的三口烧瓶中添加3,5-二(三氟甲基)溴苯(14.7g,50.0mmol)、苯胺(1.86g,20.0mmol)、叔丁醇钠(5.77g,60.0mmol)、邻二甲苯(100mL)、225mg醋酸钯(1.0mmol)以及三(叔丁基)膦的25重量%甲苯溶液(1.62g,2.0mmol),在140℃下搅拌3小时。冷却至室温后,使用纯水和甲苯进行分液,进而用饱和氯化钠水溶液清洗有机层。有机层用无水硫酸镁干燥后,通过硅胶柱色谱法进行精制,由此得到作为目标物的白色固体的中间体(AA11)(产量7.66g,收率74%)。
化合物的鉴定通过FDMS测定来进行。
FDMS:517
实施例38中间体(AA12)的合成
[化113]
在300mL的三口烧瓶中,添加AA11(7.55g,14.6mmol)、四氢呋喃(75mL),在60℃下搅拌10分钟。进而,分4次每10分钟添加(总添加量:5.72g,32.3mmol)N-溴代琥珀酰亚胺。冷却至室温后,使用硫代硫酸钠水溶液和甲苯进行分液,进而用饱和氯化钠水溶液清洗有机层。有机层用无水硫酸镁干燥后,通过硅胶柱色谱法进行精制,由此得到作为目标物的白色固体的中间体(AA12)(产量6.23g,收率72%)。
化合物的鉴定通过FDMS测定来进行。
FDMS:595
实施例39中间体(AA13)的合成
[化114]
在氮气流下,在100mL的三口烧瓶中添加AA12(2.98g,5.0mmol)、苯胺(0.61g,6.5mmol)、叔丁醇钠(0.72g,7.5mmol)、邻二甲苯(25mL)、醋酸钯(0.112mg,0.05mmol)以及4,5-二(二苯基膦)-9,9-二甲基氧杂蒽(86.8mg,0.15mmol),在140℃下搅拌5小时。冷却至室温后,使用纯水和甲苯进行分液,进而用饱和氯化钠水溶液清洗有机层。有机层用无水硫酸镁干燥后,通过硅胶柱色谱法进行精制,由此得到作为目标物的白色固体的中间体(AA13)(产量2.42g,收率80%)。
化合物的鉴定通过FDMS测定来进行。
FDMS:608
实施例40化合物(A608)的合成
[化115]
在氮气氛下,使AA13(2.13g,3.5mmol)、全氟甲苯(3.30g,14mmol)、磷酸三钾(3.71g,18mmol)悬浮于二甲基亚砜(50mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,使用纯水和氯仿进行分液,进而用饱和氯化钠水溶液清洗有机层。有机层用无水硫酸镁干燥后,通过硅胶柱色谱法进行精制,由此得到作为目标物的白色固体的化合物(A608)(产量2.20g,收率85%)。
化合物的鉴定通过FDMS测定来进行。
FDMS:824
实施例40'(化合物(A608)的金属附着性评价)
利用异丙醇对玻璃基板进行沸腾清洗,进一步进行紫外线臭氧清洗后,设置于真空气相沉积装置,利用真空泵排气至1.0×10-4Pa以下。在配置有开口部为20mm×10mm的金属掩模的玻璃基板上,以0.2nm/秒的气相沉积速度使化合物(A608)形成50nm的膜。然后,去除金属掩模,以0.1nm/秒气相沉积速度将银气相沉积成10nm。气相沉积化合物(A608)部分的银不成膜,形成20mm×10mm的透明区域。
实施例41'(化合物(B11)的金属附着性评价)
[化116]
利用异丙醇对玻璃基板进行沸腾清洗,进一步进行紫外线臭氧清洗后,设置于真空气相沉积装置,利用真空泵排气至1.0×10-4Pa以下。在配置有开口部为20mm×10mm的金属掩模的玻璃基板上,以0.1nm/秒的气相沉积速度使化合物(B11)形成20nm的膜。然后,去除金属掩模,以0.1nm/秒的气相沉积速度将银气相沉积成10nm。气相沉积化合物(B11)部分的银不成膜,形成20mm×10mm的透明区域。
实施例42'(化合物(B78)的金属附着性评价)
[化117]
利用异丙醇对玻璃基板进行沸腾清洗,进一步进行紫外线臭氧清洗后,设置于真空气相沉积装置,利用真空泵排气至1.0×10-4Pa以下。在配置有开口部为20mm×10mm的金属掩模的玻璃基板上,以0.1nm/秒的气相沉积速度使化合物(B78)形成20nm的膜。然后,去除金属掩模,以0.1nm/秒的气相沉积速度将镁气相沉积成10nm。气相沉积化合物(B78)部分的镁不成膜,形成20mm×10mm的透明区域。
实施例43'(化合物(B70)的金属附着性评价)
[化118]
利用异丙醇对玻璃基板进行沸腾清洗,进一步进行紫外线臭氧清洗后,设置于真空气相沉积装置,利用真空泵排气至1.0×10-4Pa以下。在配置有开口部为20mm×10mm的金属掩模的玻璃基板上,以0.1nm/秒的气相沉积速度使化合物(B70)形成20nm的膜。然后,去除金属掩模,以0.1nm/秒的气相沉积速度将银气相沉积成10nm。气相沉积化合物(B70)部分的不银成膜,形成20mm×10mm的透明区域。
实施例44'(化合物(B26)的金属附着性评价)
[化119]
利用异丙醇对玻璃基板进行沸腾清洗,进一步进行紫外线臭氧清洗后,设置于真空气相沉积装置,利用真空泵排气至1.0×10-4Pa以下。在配置有开口部为20mm×10mm的金属掩模的玻璃基板上,以0.1nm/秒的气相沉积速度使化合物(B26)形成20nm的膜。然后,去除金属掩模,以0.1nm/秒的气相沉积速度将银气相沉积成10nm。气相沉积化合物(B26)部分的银不成膜,形成20mm×10mm的透明区域。
实施例45'(化合物(B104)的金属附着性评价)
[化120]
利用异丙醇对玻璃基板进行沸腾清洗,进一步进行紫外线臭氧清洗后,设置于真空气相沉积装置,利用真空泵排气至1.0×10-4Pa以下。在配置有开口部为20mm×10mm的金属掩模的玻璃基板上,以0.1nm/秒的气相沉积速度使化合物(B104)形成20nm的膜。然后,去除金属掩模,以0.1nm/秒的气相沉积速度将银气相沉积成10nm。气相沉积化合物(B104)部分的银不成膜,形成20mm×10mm的透明区域。
实施例46'(化合物(B111)的金属附着性评价)
[化121]
利用异丙醇对玻璃基板进行沸腾清洗,进一步进行紫外线臭氧清洗后,设置于真空气相沉积装置,利用真空泵排气至1.0×10-4Pa以下。在配置有开口部为20mm×10mm的金属掩模的玻璃基板上,以0.1nm/秒的气相沉积速度使化合物(B111)形成20nm的膜。然后,去除金属掩模,以0.1nm/秒的气相沉积速度将银气相沉积成10nm。气相沉积化合物(B111)部分的银不成膜,形成20mm×10mm的透明区域。
实施例47化合物(A597)的合成
[化122]
在氮气氛下,使1,6-二氨基芘(1.16g,5.0mmol)、全氟甲苯(9.44g,40mmol)、磷酸三钾(10.6g,50mmol)悬浮于二甲基亚砜(50mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,向反应液中加入水(50ml)和甲醇(50ml),在室温下搅拌30分钟。通过滤取析出的固体,得到作为目标物的白色固体的化合物(A597)(产量4.39g,收率80%)。
化合物的鉴定通过FDMS测定来进行。
FDMS:1096
实施例47'(化合物(A597)的金属附着性评价)
利用异丙醇对玻璃基板进行沸腾清洗,进一步进行紫外线臭氧清洗后,设置于真空气相沉积装置,利用真空泵排气至1.0×10-4Pa以下。在配置有开口部为20mm×10mm的金属掩模的玻璃基板上,以0.1nm/秒的气相沉积速度使化合物(A597)形成50nm的膜。然后,去除金属掩模,以0.1nm/秒的气相沉积速度将银气相沉积成5nm。气相沉积化合物(A597)部分的银不成膜,形成20mm×10mm的透明区域。
实施例48中间体(AA14)的合成
[化123]
在氮气氛下,使苯胺(0.76g,8.2mmol)、AA7(2.26g,4.0mmol)、磷酸三钾(2.55g,12.0mmol)悬浮于二甲基亚砜(40mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,使用纯水和氯仿进行分液,进而用饱和氯化钠水溶液清洗有机层。有机层用无水硫酸镁干燥后,通过硅胶柱色谱法进行精制,由此得到作为目标物的白色固体的中间体(AA14)(产量2.28g,收率80%)。
化合物的鉴定通过FDMS测定来进行。
FDMS:711
实施例49化合物(A657)的合成
[化124]
在氮气氛下,使AA14(1.78g,2.5mmol)、全氟甲苯(1.77g,7.5mmol)、18-冠-6-醚(33.0mg,0.13mmol)、磷酸三钾(2.65g,12.5mmol)悬浮于二甲基亚砜(50mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,向反应液中加入水(50ml)和甲醇(50ml),在室温下搅拌30分钟。通过滤取析出的固体,得到作为目标物的白色固体的化合物(A657)(产量2.29g,收率80%)。
化合物的鉴定通过FDMS测定来进行。
FDMS:1143
实施例49'(化合物(A657)的金属附着性评价)
利用异丙醇对玻璃基板进行沸腾清洗,进一步进行紫外线臭氧清洗后,设置于真空气相沉积装置,利用真空泵排气至1.0×10-4Pa以下。在配置有开口部为20mm×10mm的金属掩模的玻璃基板上,以0.2nm/秒的气相沉积速度使化合物(A657)形成50nm的膜。然后,去除金属掩模,以0.1nm/秒的气相沉积速度将银气相沉积成10nm。气相沉积化合物(A657)部分的银不成膜,形成20mm×10mm的透明区域。
实施例50中间体(AA15)的合成
[化125]
在氮气氛下,使1-萘胺(1.43g,10.0mmol)、AA2(6.15g,10.0mmol)、磷酸三钾(2.23g,10.5mmol)悬浮于二甲基亚砜(50mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,使用纯水和氯仿进行分液,进而用饱和氯化钠水溶液清洗有机层。有机层用无水硫酸镁干燥后,通过硅胶柱色谱法进行精制,由此得到作为目标物的白色固体的中间体(AA15)(产量5.71g,收率73%)。
化合物的鉴定通过FDMS测定来进行。
FDMS:738
实施例51化合物(A663)的合成
[化126]
在氮气氛下,使AA15(2.95g,4.0mmol)、全氟甲苯(2.83g,12mmol)、磷酸三钾(4.25g,20mmol)悬浮于二甲基亚砜(50mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,使用纯水和氯仿进行分液,进而用饱和氯化钠水溶液清洗有机层。有机层用无水硫酸镁干燥后,通过硅胶柱色谱法进行精制,由此得到作为目标物的白色固体的化合物(A663)(产量3.25g,收率85%)。
化合物的鉴定通过FDMS测定来进行。
FDMS:954
实施例51'(化合物(A663)的金属附着性评价)
利用异丙醇对玻璃基板进行沸腾清洗,进一步进行紫外线臭氧清洗后,设置于真空气相沉积装置,利用真空泵排气至1.0×10-4Pa以下。在配置有开口部为20mm×10mm的金属掩模的玻璃基板上,以0.2nm/秒的气相沉积速度使化合物(A663)形成50nm的膜。然后,去除金属掩模,以0.01nm/秒的气相沉积速度将镱气相沉积成1nm,然后,以0.1nm/秒的气相沉积速度将银和镁(1/9)气相沉积成15nm。气相沉积化合物(A663)部分的镱以及银与镁的合金不成膜,形成20mm×10mm的透明区域。
实施例52中间体(AA16)的合成
[化127]
在氮气氛下,使9-氨基菲(1.93g,10.0mmol)、AA2(6.15g,10.0mmol)、磷酸三钾(2.23g,10.5mmol)悬浮于二甲基亚砜(50mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,使用纯水和氯仿进行分液,进而用饱和氯化钠水溶液清洗有机层。有机层用无水硫酸镁干燥后,通过硅胶柱色谱法进行精制,由此得到作为目标物的白色固体的中间体(AA16)(产量6.43g,收率82%)。
化合物的鉴定通过FDMS测定来进行。
FDMS:788
实施例53化合物(A665)的合成
[化128]
在氮气氛下,使AA16(3.15g,4.0mmol)、全氟甲苯(2.83g,12mmol)、磷酸三钾(4.25g,20mmol)悬浮于二甲基亚砜(50mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,使用纯水和氯仿进行分液,进而用饱和氯化钠水溶液清洗有机层。有机层用无水硫酸镁干燥后,通过硅胶柱色谱法进行精制,由此得到作为目标物的白色固体的化合物(A665)(产量3.18g,收率79%)。
化合物的鉴定通过FDMS测定来进行。
FDMS:1004
实施例53'(化合物(A665)的金属附着性评价)
利用异丙醇对玻璃基板进行沸腾清洗,进一步进行紫外线臭氧清洗后,设置于真空气相沉积装置,利用真空泵排气至1.0×10-4Pa以下。在配置有开口部为20mm×10mm的金属掩模的玻璃基板上,以0.2nm/秒的气相沉积速度使化合物(A665)形成50nm的膜。然后,去除金属掩模,以0.01nm/秒的气相沉积速度将镱气相沉积成1nm,然后,以0.1nm/秒的气相沉积速度将铋气相沉积成10nm。气相沉积化合物(A665)部分的镱和铋不成膜,形成20mm×10mm的透明区域。
实施例54中间体(AA17)的合成
[化129]
在氮气氛下,使3-氨基荧蒽(2.17g,10.0mmol)、AA2(6.15g,10.0mmol)、磷酸三钾(2.23g,10.5mmol)悬浮于二甲基亚砜(50mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,使用纯水和氯仿进行分液,进而用饱和氯化钠水溶液清洗有机层。有机层用无水硫酸镁干燥后,通过硅胶柱色谱法进行精制,由此得到作为目标物的白色固体的中间体(AA17)(产量6.13g,收率76%)。
化合物的鉴定通过FDMS测定来进行。
FDMS:812
实施例55化合物(A668)的合成
[化130]
在氮气氛下,使AA17(3.25g,4.0mmol)、全氟甲苯(2.83g,12mmol)、磷酸三钾(4.25g,20mmol)悬浮于二甲基亚砜(50mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,使用纯水和氯仿进行分液,进而用饱和氯化钠水溶液清洗有机层。有机层用无水硫酸镁干燥后,通过硅胶柱色谱法进行精制,由此得到作为目标物的白色固体的化合物(A668)(产量2.98g,收率73%)。
化合物的鉴定通过FDMS测定来进行。
FDMS:1028
实施例55'(化合物(A668)的金属附着性评价)
利用异丙醇对玻璃基板进行沸腾清洗,进一步进行紫外线臭氧清洗后,设置于真空气相沉积装置,利用真空泵排气至1.0×10-4Pa以下。在配置有开口部为20mm×10mm的金属掩模的玻璃基板上,以0.2nm/秒的气相沉积速度使化合物(A668)形成50nm的膜。然后,去除金属掩模,以0.1nm/秒的气相沉积速度将镁气相沉积成15nm。气相沉积化合物(A668)部分的镁不成膜,形成20mm×10mm的透明区域。
实施例56中间体(AA18)的合成
[化131]
在氮气氛下,使2-氨基三亚苯(2.43g,10.0mmol)、AA2(6.15g,10.0mmol)、磷酸三钾(2.23g,10.5mmol)悬浮于二甲基亚砜(50mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,使用纯水和氯仿进行分液,进而用饱和氯化钠水溶液清洗有机层。有机层用无水硫酸镁干燥后,通过硅胶柱色谱法进行精制,由此得到作为目标物的白色固体的中间体(AA18)(产量7.15g,收率85%)。
化合物的鉴定通过FDMS测定来进行。
FDMS:838
实施例57化合物(A669)的合成
[化132]
在氮气氛下,使AA18(3.35g,4.0mmol)、全氟甲苯(2.83g,12mmol)、磷酸三钾(4.25g,20mmol)悬浮于二甲基亚砜(50mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,使用纯水和氯仿进行分液,进而用饱和氯化钠水溶液清洗有机层。有机层用无水硫酸镁干燥后,通过硅胶柱色谱法进行精制,由此得到作为目标物的白色固体的化合物(A669)(产量2.75g,收率65%)。
化合物的鉴定通过FDMS测定来进行。
FDMS:1054
实施例57'(化合物(A669)的金属附着性评价)
利用异丙醇对玻璃基板进行沸腾清洗,进一步进行紫外线臭氧清洗后,设置于真空气相沉积装置,利用真空泵排气至1.0×10-4Pa以下。在配置有开口部为20mm×10mm的金属掩模的玻璃基板上,以0.2nm/秒的气相沉积速度使化合物(A669)形成50nm的膜。然后,去除金属掩模,以0.1nm/秒的气相沉积速度将镁气相沉积成15nm。气相沉积化合物(A669)部分的镁不成膜,形成20mm×10mm的透明区域。
实施例58中间体(AA19)的合成
[化133]
在氮气氛下,使9-氨基-10-苯基蒽(2.69g,10.0mmol)、AA2(6.15g,10.0mmol)、磷酸三钾(2.23g,10.5mmol)悬浮于二甲基亚砜(50mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,使用纯水和氯仿进行分液,进而用饱和氯化钠水溶液清洗有机层。有机层用无水硫酸镁干燥后,通过硅胶柱色谱法进行精制,由此得到作为目标物的白色固体的中间体(AA19)(产量6.13g,收率71%)。
化合物的鉴定通过FDMS测定来进行。
FDMS:864
实施例59化合物(A670)的合成
[化134]
在氮气氛下,使AA19(3.46g,4.0mmol)、全氟甲苯(2.83g,12mmol)、磷酸三钾(4.25g,20mmol)悬浮于二甲基亚砜(50mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,使用纯水和氯仿进行分液,进而用饱和氯化钠水溶液清洗有机层。有机层用无水硫酸镁干燥后,通过硅胶柱色谱法进行精制,由此得到作为目标物的白色固体的化合物(A670)(产量2.64g,收率61%)。
化合物的鉴定通过FDMS测定来进行。
FDMS:1080
实施例59'(化合物(A670)的金属附着性评价)
利用异丙醇对玻璃基板进行沸腾清洗,进一步进行紫外线臭氧清洗后,设置于真空气相沉积装置,利用真空泵排气至1.0×10-4Pa以下。在配置有开口部为20mm×10mm的金属掩模的玻璃基板上,以0.2nm/秒的气相沉积速度使化合物(A670)形成50nm的膜。然后,去除金属掩模,以0.1nm/秒的气相沉积速度将镱气相沉积成15nm。气相沉积化合物(A670)部分的镱不成膜,形成20mm×10mm的透明区域。
实施例60中间体(AA20)的合成
[化135]
在氮气氛下,使1-氨基芘(2.19g,10.0mmol)、AA2(6.15g,10.0mmol)、磷酸三钾(2.23g,10.5mmol)悬浮于二甲基亚砜(50mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,使用纯水和氯仿进行分液,进而用饱和氯化钠水溶液清洗有机层。有机层用无水硫酸镁干燥后,通过硅胶柱色谱法进行精制,由此得到作为目标物的白色固体的中间体(AA20)(产量5.92g,收率73%)。
化合物的鉴定通过FDMS测定来进行。
FDMS:812
实施例61化合物(A671)的合成
[化136]
在氮气氛下,使AA20(3.25g,4.0mmol)、全氟甲苯(2.83g,12mmol)、磷酸三钾(4.25g,20mmol)悬浮于二甲基亚砜(50mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,使用纯水和氯仿进行分液,进而用饱和氯化钠水溶液清洗有机层。有机层用无水硫酸镁干燥后,通过硅胶柱色谱法进行精制,由此得到作为目标物的白色固体的化合物(A671)(产量3.12g,收率76%)。
化合物的鉴定通过FDMS测定来进行。
FDMS:1028
实施例61'(化合物(A671)的金属附着性评价)
利用异丙醇对玻璃基板进行沸腾清洗,进一步进行紫外线臭氧清洗后,设置于真空气相沉积装置,利用真空泵排气至1.0×10-4Pa以下。在配置有开口部为20mm×10mm的金属掩模的玻璃基板上,以0.2nm/秒的气相沉积速度使化合物(A671)形成50nm的膜。然后,去除金属掩模,以0.1nm/秒的气相沉积速度将镁气相沉积成15nm。气相沉积化合物(A671)部分的镁不成膜,形成20mm×10mm的透明区域。
实施例62中间体(AA21)的合成
[化137]
在氮气氛下,使4-氨基-2,6-二甲基吡啶(1.22g,10.0mmol)、AA2(6.15g,10.0mmol)、磷酸三钾(2.23g,10.5mmol)悬浮于二甲基亚砜(50mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,使用纯水和氯仿进行分液,进而用饱和氯化钠水溶液清洗有机层。有机层用无水硫酸镁干燥后,通过硅胶柱色谱法进行精制,由此得到作为目标物的白色固体的中间体(AA21)(产量3.29g,收率46%)。
化合物的鉴定通过FDMS测定来进行。
FDMS:717
实施例63化合物(A674)的合成
[化138]
在氮气氛下,使AA21(2.87g,4.0mmol)、全氟甲苯(2.83g,12mmol)、磷酸三钾(4.25g,20mmol)悬浮于二甲基亚砜(50mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,使用纯水和氯仿进行分液,进而用饱和氯化钠水溶液清洗有机层。有机层用无水硫酸镁干燥后,通过硅胶柱色谱法进行精制,由此得到作为目标物的白色固体的化合物(A674)(产量2.17g,收率58%)。
化合物的鉴定通过FDMS测定来进行。
FDMS:933
实施例63'(化合物(A674)的金属附着性评价)
利用异丙醇对玻璃基板进行沸腾清洗,进一步进行紫外线臭氧清洗后,设置于真空气相沉积装置,利用真空泵排气至1.0×10-4Pa以下。在配置有开口部为20mm×10mm的金属掩模的玻璃基板上,以0.2nm/秒的气相沉积速度使化合物(A674)形成50nm的膜。然后,去除金属掩模,以0.1nm/秒的气相沉积速度将银气相沉积成8nm。气相沉积化合物(A674)部分的银不成膜,形成20mm×10mm的透明区域。
实施例64中间体(AA22)的合成
[化139]
在氮气氛下,使4-氨基-对三联苯(2.54g,10.0mmol)、AA2(6.15g,10.0mmol)、磷酸三钾(2.23g,10.5mmol)悬浮于二甲基亚砜(50mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,使用纯水和氯仿进行分液,进而用饱和氯化钠水溶液清洗有机层。有机层用无水硫酸镁干燥后,通过硅胶柱色谱法进行精制,由此得到作为目标物的白色固体的中间体(AA22)(产量6.60g,收率79%)。
化合物的鉴定通过FDMS测定来进行。
FDMS:840
实施例65化合物(A679)的合成
[化140]
在氮气氛下,使AA22(3.36g,4.0mmol)、全氟甲苯(2.83g,12mmol)、磷酸三钾(4.25g,20mmol)悬浮于二甲基亚砜(50mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,使用纯水和氯仿进行分液,进而用饱和氯化钠水溶液清洗有机层。有机层用无水硫酸镁干燥后,通过硅胶柱色谱法进行精制,由此得到作为目标物的白色固体的化合物(A679)(产量3.09g,收率73%)。
化合物的鉴定通过FDMS测定来进行。
FDMS:1056
实施例65'(化合物(A679)的金属附着性评价)
利用异丙醇对玻璃基板进行沸腾清洗,进一步进行紫外线臭氧清洗后,设置于真空气相沉积装置,利用真空泵排气至1.0×10-4Pa以下。在配置有开口部为20mm×10mm的金属掩模的玻璃基板上,以0.2nm/秒的气相沉积速度使化合物(A679)形成50nm的膜。然后,去除金属掩模,以0.1nm/秒的气相沉积速度将镁气相沉积成15nm。气相沉积化合物(A679)部分的镁不成膜,形成20mm×10mm的透明区域。
实施例66中间体(AA23)的合成
[化141]
在氮气氛下,使3-氨基-9-苯基咔唑(2.58g,10.0mmol)、AA2(6.15g,10.0mmol)、磷酸三钾(2.23g,10.5mmol)悬浮于二甲基亚砜(50mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,使用纯水和氯仿进行分液,进而用饱和氯化钠水溶液清洗有机层。有机层用无水硫酸镁干燥后,通过硅胶柱色谱法进行精制,由此得到作为目标物的白色固体的中间体(AA23)(产量6.34g,收率74%)。
化合物的鉴定通过FDMS测定来进行。
FDMS:853
实施例67化合物(A689)的合成
[化142]
在氮气氛下,使AA23(3.41g,4.0mmol)、全氟甲苯(2.83g,12mmol)、磷酸三钾(4.25g,20mmol)悬浮于二甲基亚砜(50mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,使用纯水和氯仿进行分液,进而用饱和氯化钠水溶液清洗有机层。有机层用无水硫酸镁干燥后,通过硅胶柱色谱法进行精制,由此得到作为目标物的白色固体的化合物(A689)(产量3.27g,收率77%)。
化合物的鉴定通过FDMS测定来进行。
FDMS:1069
实施例67'(化合物(A689)的金属附着性评价)
利用异丙醇对玻璃基板进行沸腾清洗,进一步进行紫外线臭氧清洗后,设置于真空气相沉积装置,利用真空泵排气至1.0×10-4Pa以下。在配置有开口部为20mm×10mm的金属掩模的玻璃基板上,以0.2nm/秒的气相沉积速度使化合物(A689)形成50nm的膜。然后,去除金属掩模,以0.01nm/秒的气相沉积速度将镱气相沉积成1nm,然后,以0.1nm/秒的气相沉积速度将镁气相沉积成10nm。气相沉积化合物(A665)部分的镱和镁不成膜,形成20mm×10mm的透明区域。
实施例68中间体(AA24)的合成
[化143]
在氮气氛下,使2-氨基苯并噻吩(1.99g,10.0mmol)、AA2(6.15g,10.0mmol)、磷酸三钾(2.23g,10.5mmol)悬浮于二甲基亚砜(50mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,使用纯水和氯仿进行分液,进而用饱和氯化钠水溶液清洗有机层。有机层用无水硫酸镁干燥后,通过硅胶柱色谱法进行精制,由此得到作为目标物的白色固体的中间体(AA24)(产量5.44g,收率69%)。
化合物的鉴定通过FDMS测定来进行。
FDMS:794
实施例69化合物(A602)的合成
[化144]
在氮气氛下,使AA24(3.18g,4.0mmol)、全氟甲苯(2.83g,12mmol)、磷酸三钾(4.25g,20mmol)悬浮于二甲基亚砜(50mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,使用纯水和氯仿进行分液,进而用饱和氯化钠水溶液清洗有机层。有机层用无水硫酸镁干燥后,通过硅胶柱色谱法进行精制,由此得到作为目标物的白色固体的化合物(A602)(产量2.69g,收率67%)。
化合物的鉴定通过FDMS测定来进行。
FDMS:1010
实施例69'(化合物(A602)的金属附着性评价)
利用异丙醇对玻璃基板进行沸腾清洗,进一步进行紫外线臭氧清洗后,设置于真空气相沉积装置,利用真空泵排气至1.0×10-4Pa以下。在配置有开口部为20mm×10mm的金属掩模的玻璃基板上,以0.2nm/秒的气相沉积速度使化合物(A602)形成50nm的膜。然后,去除金属掩模,以0.1nm/秒的气相沉积速度将镁气相沉积成15nm。气相沉积化合物(A602)部分的镁不成膜,形成20mm×10mm的透明区域。
实施例70中间体(AA25)的合成
[化145]
在氮气氛下,使4-氨基九氟联苯(3.31g,10.0mmol)、1-五氟苯基金刚烷(3.02g,10.0mmol)、磷酸三钾(2.33g,11.0mmol)悬浮于二甲基亚砜(50mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,使用纯水和氯仿进行分液,进而用饱和氯化钠水溶液清洗有机层。有机层用无水硫酸镁干燥后,通过硅胶柱色谱法进行精制,由此得到作为目标物的白色固体的中间体(AA25)(产量4.45g,收率73%)。
化合物的鉴定通过FDMS测定来进行。
FDMS:613
实施例71化合物(A699)的合成
[化146]
在氮气氛下,使AA25(2.45g,4.0mmol)、全氟甲苯(2.83g,12mmol)、磷酸三钾(4.25g,20mmol)悬浮于二甲基亚砜(50mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,使用纯水和氯仿进行分液,进而用饱和氯化钠水溶液清洗有机层。有机层用无水硫酸镁干燥后,通过硅胶柱色谱法进行精制,由此得到作为目标物的白色固体的化合物(A699)(产量2.51g,收率76%)。
化合物的鉴定通过FDMS测定来进行。
FDMS:829
实施例71'(化合物(A699)的金属附着性评价)
利用异丙醇对玻璃基板进行沸腾清洗,进一步进行紫外线臭氧清洗后,设置于真空气相沉积装置,利用真空泵排气至1.0×10-4Pa以下。在配置有开口部为20mm×10mm的金属掩模的玻璃基板上,以0.2nm/秒的气相沉积速度使化合物(A699)形成50nm的膜。然后,去除金属掩模,以0.1nm/秒的气相沉积速度将银气相沉积成15nm。气相沉积化合物(A699)部分的银不成膜,形成20mm×10mm的透明区域。
实施例72化合物(A420)的合成
[化147]
在氮气氛下,使2,7-二氨基-9,9-二甲基芴(0.977g,5.0mmol)、全氟甲苯(9.44g,40mmol)、磷酸三钾(10.6g,50mmol)悬浮于二甲基亚砜(50mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,向反应液中加入水(50ml)和甲醇(50ml),在室温下搅拌30分钟。通过滤取析出的固体,得到作为目标物的白色固体的化合物(A420)(产量3.95g,收率73%)。
化合物的鉴定通过FDMS测定来进行。
FDMS:1088
实施例72'(化合物(A420)的金属附着性评价)
利用异丙醇对玻璃基板进行沸腾清洗,进一步进行紫外线臭氧清洗后,设置于真空气相沉积装置,利用真空泵排气至1.0×10-4Pa以下。在配置有开口部为20mm×10mm的金属掩模的玻璃基板上,以0.2nm/秒的气相沉积速度使化合物(A420)形成50nm的膜。然后,去除金属掩模,以0.1nm/秒的气相沉积速度蒸将银和镁(1/9)镀成15nm。气相沉积化合物(A420)部分的银与镁的合金不成膜,形成20mm×10mm的透明区域。
实施例73化合物(A721)的合成
[化148]
在氮气氛下,使9,9-二(4-氨基苯基)-9H-芴-2,7-二胺(1.89g,5.0mmol)、全氟甲苯(18.8g,80mmol)、磷酸三钾(12.7g,60mmol)悬浮于二甲基亚砜(50mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,向反应液中加入水(50ml)和甲醇(50ml),在室温下搅拌30分钟。通过滤取析出的固体,得到作为目标物的白色固体的化合物(A721)(产量6.73g,收率63%)。
化合物的鉴定通过FDMS测定来进行。
FDMS:2138
实施例73'(化合物(A721)的金属附着性评价)
利用异丙醇对玻璃基板进行沸腾清洗,进一步进行紫外线臭氧清洗后,设置于真空气相沉积装置,利用真空泵排气至1.0×10-4Pa以下。在配置有开口部为20mm×10mm的金属掩模的玻璃基板上,以0.2nm/秒的气相沉积速度使化合物(A721)形成50nm的膜。然后,去除金属掩模,以0.01nm/秒的气相沉积速度将镱气相沉积成1nm,然后,以0.1nm/秒的气相沉积速度将银和镁(1/1)气相沉积成15nm。气相沉积化合物(A721)部分的镱以及银与镁的合金不成膜,形成20mm×10mm的透明区域。
实施例74化合物(A703)的合成
[化149]
在氮气氛下,使2,7-二氨基菲(1.04g,5.0mmol)、全氟甲苯(9.44g,40mmol)、磷酸三钾(10.6g,50mmol)悬浮于二甲基亚砜(50mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,向反应液中加入水(50ml)和甲醇(50ml),在室温下搅拌30分钟。通过滤取析出的固体,得到作为目标物的白色固体的化合物(A703)(产量3.97g,收率74%)。
化合物的鉴定通过FDMS测定来进行。
FDMS:1072
实施例74'(化合物(A703)的金属附着性评价)
利用异丙醇对玻璃基板进行沸腾清洗,进一步进行紫外线臭氧清洗后,设置于真空气相沉积装置,利用真空泵排气至1.0×10-4Pa以下。在配置有开口部为20mm×10mm的金属掩模的玻璃基板上,以0.2nm/秒的气相沉积速度使化合物(A703)形成50nm的膜。然后,去除金属掩模,以0.1nm/秒的气相沉积速度将镁气相沉积成15nm。气相沉积化合物(A703)部分的镁不成膜,形成20mm×10mm的透明区域。
实施例75化合物(A710)的合成
[化150]
在氮气氛下,使2,8-二氨基二苯并呋喃(0.991g,5.0mmol)、全氟甲苯(9.44g,40mmol)、磷酸三钾(10.6g,50mmol)悬浮于二甲基亚砜(50mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,向反应液中加入水(50ml)和甲醇(50ml),在室温下搅拌30分钟。通过滤取析出的固体,得到作为目标物的白色固体的化合物(A710)(产量4.15g,收率78%)。
化合物的鉴定通过FDMS测定来进行。
FDMS:1062
实施例75'(化合物(A710)的金属附着性评价)
利用异丙醇对玻璃基板进行沸腾清洗,进一步进行紫外线臭氧清洗后,设置于真空气相沉积装置,利用真空泵排气至1.0×10-4Pa以下。在配置有开口部为20mm×10mm的金属掩模的玻璃基板上,以0.2nm/秒的气相沉积速度使化合物(A710)形成50nm的膜。然后,去除金属掩模,以0.1nm/秒的气相沉积速度将银和镁(1/9)气相沉积成12nm。气相沉积化合物(A710)部分的银与镁的合金不成膜,形成20mm×10mm的透明区域。
实施例76化合物(A716)的合成
[化151]
在氮气氛下,使2,8-二氨基二苯并噻吩(1.07g,5.0mmol)、全氟甲苯(9.44g,40mmol)、磷酸三钾(10.6g,50mmol)悬浮于二甲基亚砜(50mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,向反应液中加入水(50ml)和甲醇(50ml),在室温下搅拌30分钟。通过滤取析出的固体,得到作为目标物的白色固体的化合物(A716)(产量4.06g,收率75%)。
化合物的鉴定通过FDMS测定来进行。
FDMS:1078
实施例76'(化合物(A716)的金属附着性评价)
利用异丙醇对玻璃基板进行沸腾清洗,进一步进行紫外线臭氧清洗后,设置于真空气相沉积装置,利用真空泵排气至1.0×10-4Pa以下。在配置有开口部为20mm×10mm的金属掩模的玻璃基板上,以0.2nm/秒的气相沉积速度使化合物(A716)形成50nm的膜。然后,去除金属掩模,以0.1nm/秒的气相沉积速度将银和镁(1/9)气相沉积成12nm。气相沉积化合物(A716)部分的银与镁的合金不成膜,形成20mm×10mm的透明区域。
实施例77化合物(A426)的合成
[化152]
在氮气氛下,使1,1-二(4-氨基苯基)环己烷(1.33g,5.0mmol)、全氟甲苯(9.44g,40mmol)、磷酸三钾(10.6g,50mmol)悬浮于二甲基亚砜(50mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,使用纯水和甲苯进行分液,进而用饱和氯化钠水溶液清洗有机层。有机层用无水硫酸镁干燥后,通过硅胶柱色谱法进行精制,由此得到作为目标物的白色固体的化合物(A426)(产量3.70g,收率65%)。
化合物的鉴定通过FDMS测定来进行。
FDMS:1078
实施例77'(化合物(A426)的金属附着性评价)
利用异丙醇对玻璃基板进行沸腾清洗,进一步进行紫外线臭氧清洗后,设置于真空气相沉积装置,利用真空泵排气至1.0×10-4Pa以下。在配置有开口部为20mm×10mm的金属掩模的玻璃基板上,以0.2nm/秒的气相沉积速度使化合物(A426)形成50nm的膜。然后,去除金属掩模,以0.1nm/秒的气相沉积速度将镁气相沉积成15nm。气相沉积化合物(A426)部分的镁不成膜,形成20mm×10mm的透明区域。
实施例78中间体(BB1)的合成
[化153]
添加2-[3,5-二(3',5'-二(三氟甲基)苯-2-基)]-4,4,5,5-四甲基-1,3,2-二氧杂硼杂环戊烷(6.28g,10.0mmol)、1,3,5-三溴苯(9.44g,30.0mmol)、醋酸钯(22.5mg,0.1mmol)、三(邻甲苯基)膦(121.7mg,0.3mmol)、100mL甲苯、以及2M-碳酸钾水溶液,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,使用纯水和甲苯进行分液,进而用饱和氯化钠水溶液清洗有机层。有机层用无水硫酸镁干燥后,通过硅胶柱色谱法进行精制,由此得到作为目标物的白色固体的化合物(BB1)(产量5.23g,收率71%)。
化合物的鉴定通过FDMS测定来进行。
FDMS:734
实施例79化合物(B90)的合成
[化154]
在氮气氛下,加入BB1(2.58g,3.5mmol)、五氟苯基硼酸(1.78,8.4mmol)、氟化铯(2.13g,14.0mmol)、氧化银(I)(1.95g,8.4mmol)以及N,N-二甲基甲酰胺(35ml),在60下进行搅拌。在得到的浆料状的混合液中添加三(二亚苄基丙酮)钯(0)(160.2mg、0.18mmol)、三(叔丁基)膦(85mg、0.42mmol),接着在100℃下搅拌6小时。冷却至室温后,用过滤器除去氧化银(I),浓缩滤液。在残渣中加入己烷,利用硅胶柱色谱法进行精制,由此得到作为目标物的白色固体的化合物(B90)(产量1.37g,收率43%)。
化合物的鉴定通过FDMS测定来进行。
FDMS:910
实施例79'(化合物(B90)的金属附着性评价)
利用异丙醇对玻璃基板进行沸腾清洗,进一步进行紫外线臭氧清洗后,设置于真空气相沉积装置,利用真空泵排气至1.0×10-4Pa以下。在配置有开口部为20mm×10mm的金属掩模的玻璃基板上,以0.2nm/秒的气相沉积速度使化合物(B90)形成50nm的膜。然后,去除金属掩模,以0.1nm/秒的气相沉积速度将银气相沉积成10nm。气相沉积化合物(B90)部分的银不成膜,形成20mm×10mm的透明区域。
实施例80化合物(A504)的合成
[化155]
在氮气氛下,使4,4'-二氨基-2,2'-二(三氟甲基)联苯(0.96g,3.0mmol)、全氟辛基苯(14.1g,24mmol)、18-冠-6-醚(103mg,0.40mmol)、磷酸三钾(10.2g,48mmol)悬浮于二甲基亚砜(60ml)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,向反应液中加入水(50ml)和甲醇(50ml),在室温下搅拌30分钟。滤取析出的固体,由此得到作为目标物的白色固体的化合物(A504)(产量4.2g,收率54%)。
化合物的鉴定通过FDMS测定来进行。
FDMS:2592
实施例80'(化合物(A504)的金属附着性评价)
利用异丙醇对玻璃基板进行沸腾清洗,进一步进行紫外线臭氧清洗后,设置于真空气相沉积装置,利用真空泵排气至1.0×10-4Pa以下。在配置有开口部为20mm×10mm的金属掩模的玻璃基板上,以0.1nm/秒的气相沉积速度使化合物(A504)形成20nm的膜。然后,去除金属掩模,以0.1nm/秒的气相沉积速度将银气相沉积成30nm。气相沉积化合物(A504)部分的银不成膜,形成20mm×10mm的透明区域。
比较例1'(化合物(X1)的金属附着性评价)
[化156]
通过与实施例1'同样的方法,对化合物(X1)的金属的附着性进行评价。在化合物(X1)的膜上的银也成膜,未形成透明的区域。
比较例2'(4,4'-二[N-(1-萘基)-N-苯基]联苯(化合物(X2))的金属附着性评价)
通过与实施例1'同样的方法,对化合物(X2)的金属的附着性进行评价。在4,4'-二[N-(1-萘基)-N-苯基]联苯(化合物(X2))的膜上的银也成膜,未形成透明的区域。
比较例3中间体(XX1)的合成
[化157]
在氮气流下,在100mL的三口烧瓶中添加AA12(2.98g,5.0mmol)、4-氨基-对三联苯(1.60g,6.5mmol)、叔丁醇钠(0.72g,7.5mmol)、邻二甲苯(25mL)、醋酸钯(11.2mg,0.05mmol)以及4,5-二(二苯基膦)-9,9-二甲基氧杂蒽(86.8mg,0.15mmol),在140℃下搅拌5小时。冷却至室温后,使用纯水和甲苯进行分液,进而用饱和氯化钠水溶液清洗有机层。有机层用无水硫酸镁干燥后,通过硅胶柱色谱法进行精制,由此得到作为目标物的白色固体的中间体(XX1)(产量3.35g,收率88%)。
化合物的鉴定通过FDMS测定来进行。
FDMS:760
比较例4化合物(X3)的合成
[化158]
在氮气氛下,使XX1(2.66g,3.5mmol)、全氟甲苯(3.30g,14mmol)、磷酸三钾(3.71g,18mmol)悬浮于二甲基亚砜(50mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,向反应液中加入水(50ml)和甲醇(50ml),在室温下搅拌30分钟。通过滤取析出的固体,得到作为目标物的白色固体的化合物(X3)(产量2.85g,收率83%)。
化合物的鉴定通过FDMS测定来进行。
FDMS:976
比较例4'(化合物(X3)的金属附着性评价)
通过与实施例1'同样的方法,对化合物(X3)的金属的附着性进行评价。在化合物(X3)的膜上的银也成膜,未形成透明的区域。
比较例5化合物(X4)的合成
[化159]
在氮气氛下,使[1,1'-联苯基]-4,4'-二胺,N4'-[1,1'-联苯]-4-基-N4,N4-联苯(2.20g,4.5mmol)、全氟甲苯(2.67g,11mmol)、磷酸三钾(2.40g,11mmol)悬浮于二甲基亚砜(45mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,向反应液中加入水(50ml)和甲醇(50ml),在室温下搅拌30分钟。通过滤取析出的固体,得到作为目标物的白色固体的化合物(X4)(产量2.43g,收率76.3%)。
化合物的鉴定通过FDMS测定来进行。
FDMS:704
比较例5'(比较例(X4)的金属附着性评价)
通过与实施例1'同样的方法,对化合物(X4)的金属的附着性进行评价。在比较例(X4)的膜上的银也成膜,未形成透明的区域。
比较例6化合物(XX2)的合成
[化160]
在氮气流下,在100mL的三口烧瓶中,添加1-溴苯(2.82g,10mmol)、4-氨基-对三联苯(3.20g,13mmol)、叔丁醇钠(1.44g,15mmol)、邻二甲苯(50mL)、醋酸钯(22.4mg,0.05mmol)以及4,5-二(二苯基膦)-9,9-二甲基氧杂蒽(173mg,0.3mmol),在140℃下搅拌12小时。冷却至室温后,使用纯水和甲苯进行分液,进而用饱和氯化钠水溶液清洗有机层。有机层用无水硫酸镁干燥后,通过硅胶柱色谱法进行精制,由此得到作为目标物的白色固体的中间体(XX2)(产量3.26g,收率73%)。
化合物的鉴定通过FDMS测定来进行。
FDMS:445
比较例7化合物(XX5)的合成
[化161]
在氮气氛下,使XX2(2.22g,5.0mmol)、全氟甲苯(4.7g,20mmol)、磷酸三钾(5.15g,25mmol)悬浮于二甲基亚砜(50mL)中,在100℃下搅拌24小时。冷却至室温后,向反应液中加入水(50ml)和甲醇(50ml),在室温下搅拌30分钟。通过滤取析出的固体,得到作为目标物的白色固体的化合物(X5)(产量2.74g,收率83%)。
化合物的鉴定通过FDMS测定来进行。
FDMS:661
比较例7'(化合物(X5)的金属附着性评价)
通过与实施例1'同样的方法,对化合物(X5)的金属的附着性进行评价。在化合物(X5)的膜上的银也成膜,未形成透明的区域。
比较例8'(化合物(X6)的金属附着性评价)
[化162]
通过与实施例1'同样的方法,对化合物(X6)的金属的附着性进行评价。在化合物(X6)的膜上也形成银,未形成透明的区域。
比较例9'(化合物(X7)的金属附着性评价)
[化163]
通过与实施例1'同样的方法,对化合物(X7)的金属的附着性进行评价。在化合物(X7)的膜上的银也成膜,未形成透明的区域。
比较例10'(化合物(Y1)的金属附着性评价)
[化164]
通过与实施例29'同样的方法,对化合物(Y1)的金属的附着性进行评价。在化合物(Y1)的膜上的银也成膜,未形成透明的区域。
比较例11'(化合物(Y2)的金属附着性评价)
[化165]
通过与实施例29'同样的方法,对化合物(Y2)的金属的附着性进行评价。在化合物(Y2)的膜上的银也成膜,未形成透明的区域。
比较例12'(化合物(Y3)的金属附着性评价)
[化166]
通过与实施例29'同样的方法,对化合物(Y3)的金属的附着性进行评价。在化合物(Y3)的膜上的银也成膜,未形成透明的区域。
《透射率测定》
金属附着性可通过透射率测定进行评价,若附着金属,则透射率降低。另外,若附着量变多,则与之相关地透射率也降低。
1.具有胺取代基的金属图案化用材料(属于第一方式的例子)
实施例1”化合物(A177)的透射率测定
利用异丙醇对玻璃基板进行沸腾清洗,进一步进行紫外线臭氧清洗后,设置于真空气相沉积装置,利用真空泵排气至1.0×10-4Pa以下。在玻璃基板上以0.1nm/秒的气相沉积速度使作为金属图案化材料的化合物A177形成20nm的膜。将透射率测定的结果示于图1A。进而,在A177的薄膜上,以0.1nm/秒的气相沉积速度将银气相沉积成10nm。将透射率测定的结果示于图1B。在图1B中,金属气相沉积后的550nm~800nm的透射率为“≥80%”,抑制了金属膜的形成。
实施例9”化合物(A433)的透射率测定
以与实施例1”相同的方法测定化合物(A433)的透射率。将金属气相沉积前和金属气相沉积后的透射率测定的结果分别示于图2A和图2B。
在图2B中,金属气相沉积后的550nm~800nm的透射率为“≥50%”,抑制了金属膜的形成。
比较例1”化合物(X1)的透射率测定
以与实施例1”相同的方法测定化合物(X1)的透射率。将金属气相沉积前和金属气相沉积后的透射率测定的结果分别示于图3A和图3B。
在图3B中,金属气相沉积后的550nm~800nm的透射率为“≥30%”,无法抑制金属膜的形成。
比较例5”化合物(X4)的透射率测定
以与实施例1”相同的方法测定化合物(X4)的透射率。将金属气相沉积前和金属气相沉积后的透射率测定的结果分别示于图4A和图4B。
在图4B中,金属气相沉积后的550nm~800nm的透射率为“≥40%”,无法抑制金属膜的形成。
通过与实施例1”同样的方法,实施了化合物A206、A236、A512、A559、A173、A569、A305、A176、A574、A580、A581、A582、A584、A526、A591、A390、A608、A663、A597、X3、X5的透射率测定。其结果示于表1。
将形成芳环的碳原子数、以及形成杂芳环的碳原子数中,与氟原子直接结合的碳原子数的比例(简称为CAr-F)示于表43。
[表43]
化合物序号 | CAr-F | 金属气相沉积后的透射率 | |
实施例1” | A177 | 66.7% | ≥80% |
实施例2” | A206 | 44.4% | ≥50% |
实施例3” | A236 | 444% | ≥60% |
实施例5” | A512 | 66.7% | ≥80% |
实施例7” | A559 | 61.5% | ≥80% |
实施例8” | A173 | 73.3% | ≥80% |
实施例9” | A433 | 44.4% | ≥50% |
实施例10” | A569 | 60.0% | ≥80% |
实施例11” | A305 | 57.1% | ≥80% |
实施例13” | A176 | 72.2% | ≥80% |
实施例14” | A574 | 53.3% | ≥80% |
实施例15” | A580 | 66.7% | ≥80% |
实施例18” | A581 | 66.7% | ≥80% |
实施例20” | A582 | 66.7% | ≥80% |
实施例21” | A584 | 44.4% | ≥80% |
实施例23” | A526 | 66.7% | ≥60% |
实施例25” | A591 | 72.2% | ≥80% |
实施例32” | A390 | 47.1% | ≥80% |
实施例40” | A608 | 13.3% | ≥50% |
实施例51” | A663 | 47.1% | ≥60% |
参考例47” | A597 | 40.0% | ≥40% |
比较例1” | X1 | 0.0% | ≥30% |
比较例4” | X3 | 9.5% | ≥40% |
比较例5” | X4 | 9.5% | ≥40% |
比较例7” | X5 | 10.0% | ≥30% |
2.不具有胺取代基的金属图案化用材料(属于第二方式的例子)
通过与实施例1”同样的方法,实施了化合物B51、B26、B104、B90、Y1、Y2、Y3的透射率测定。其结果示于表44。
将形成芳环的碳原子数、以及形成杂芳环的碳原子数中,与氟原子直接结合的碳原子数的比例(简称为CAr-F)记载于表44。
将分子中的氟原子数相对于碳原子数的比例(简称为CAll-F)记载于表44。
[表44]
化合物序号 | CAr-F | CAll-F | 金属气相沉积后的透射率 | |
实施例29” | B51 | 70.0% | 70.0% | ≥80% |
实施例44” | B26 | 50.0% | 50.0% | ≥80% |
实施例45” | B104 | 66.7% | 78.9% | ≥60% |
实施例79” | B90 | 27.8% | 55.0% | ≥50% |
比较例10” | Y1 | 10.0% | 10.0% | ≥30% |
比较例11” | Y2 | 0.0% | 13.0% | ≥30% |
比较例12” | Y3 | 22.2% | 22.2% | ≥40% |
尽管已经参照特定的实施方式详细描述了本发明,但是对于本领域技术人员来说显而易见的是,在不脱离本发明的精神和范围的情况下,可以进行各种改变和修改。
需要说明的是,在2020年8月12日申请的日本专利申请2020-136094号、2021年2月15日申请的日本专利申请2021-021921号、以及在2021年7月6日申请的日本专利申请2021-112394号的说明书、权利要求书、附图以及说明书摘要的全部内容在此引用,作为本发明的说明书的公开而引入。
Claims (19)
1.一种金属图案化用材料,其特征在于,包含化合物,所述化合物在分子内具有芳环和/或杂芳环、氟原子与至少1个叔胺,
所述芳环为选自单芳环、联芳环和碳原子数为6~15的稠芳环中的至少1种,
所述化合物不具有碳原子数为16以上的稠芳环,
在形成所述芳环的碳原子数、以及形成所述杂芳环的碳原子数中,与所述氟原子直接键合的碳原子数的比例为10%以上,
分子量为500以上且3000以下,
玻璃化转变温度为60℃以上。
2.根据权利要求1所述的金属图案化用材料,其中,所述叔胺为芳族叔胺,
分子量为500以上且2000以下。
3.根据权利要求1或2所述的金属图案化用材料,其中,所述金属图案化用材料由式(1)、式(2)或式(3)表示:
在上式中,
Ar1~Ar14各自独立地表示
被取代或未被取代的碳原子数为6~25的单环、联环或稠环的芳族烃基、或者
被取代或未被取代的的碳原子数为3~25的单环、联环或稠环的杂芳族基团;
L1~L18各自独立地表示
被取代或未被取代的的碳原子数为6~25的单环、联环、或稠环的2价芳族烃基、
被取代或未被取代的碳原子数为3~25的单环、联环、或稠环的2价杂芳族基团、或者
单键;
X表示
被取代或未被取代的碳原子数为6~25的单环、联环、或稠环的2至4价芳族烃基、
被取代或未被取代的碳原子数为3~25的单环、联环、或稠环的2至4价杂芳族基团、
被取代或未被取代的碳原子数为1~10的直链、支链、或环状的2至4价烷基、或者
被取代或未被取代的2至4价的硅原子;
a、b和c各自独立地表示1~3的整数;
d和e各自独立地表示1或2的整数;
f表示0或1的整数。
4.根据权利要求3所述的金属图案化用材料,其中,
当Ar1~Ar14为取代的芳族烃基、或取代的杂芳族基团时,这些基团各自独立地被选自以下的1个以上的基团取代:
被或未被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状的烷基、
被或未被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状的烷氧基、
被或未被氟原子取代的碳原子数为6~20的芳族烃基、
被或未被氟原子取代的碳原子数为3~20的杂芳族基团、
氰基、
氟原子、以及
氘原子;
当L1~L18为取代的2价芳族烃基、或取代的2价杂芳族基团时,这些基团各自独立地被选自以下的1个以上的基团取代:
被或未被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状的烷基、
被或未被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状的烷氧基、
被或未被氟原子取代的碳原子数为6~20的芳族烃基、
被或未被氟原子取代的碳原子数为3~20的杂芳族基团、
氰基、
氟原子、以及
氘原子;
当X为取代的2至4价芳族烃基、取代的2至4价杂芳族基团、取代的2至4价烷基、或取代的2至4价的硅原子时,这些基团各自独立地被选自以下的1个以上的基团取代:
被或未被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状的烷基、
被或未被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状的烷氧基、
被或未被氟原子取代的碳原子数为6~20的芳族烃基、
被或未被氟原子取代的碳原子数为3~20的杂芳族基团、
氰基、
氟原子、以及
氘原子。
5.根据权利要求1或2所述的金属图案化用材料,其中,所述金属图案化材料由式(4)、式(5)或式(6)表示:
在上式中,
a1、a2及a3各自独立地表示1~3的整数;
a4和a5各自独立地表示1或2的整数;
a6表示0或1的整数;
A1~A14各自独立地表示:
被取代或未被取代的碳原子数为6~25的单环、联环、或稠环的芳族烃基、
被取代或未被取代的碳原子数为3~25的单环、联环、或稠环的杂芳族基团、或者
被取代或未被取代的碳原子数为3~25的环状烷基;
其中,
A1~A3中的至少1个各自独立地为被取代或未被取代的碳原子数为3~25的环状烷基,
A4~A7中的至少1个各自独立地为被取代或未被取代的碳原子数为3~25的环状烷基;
当a6为0时,A8~A11中的至少1个各自独立地为被取代或未被取代的碳原子数为3~25的环状烷基;
当a6为1时,A8~A14中的至少1个各自独立地为被取代或未被取代的碳原子数为3~25的环状烷基;
L101~L118各自独立地表示:
被取代或未被取代的碳原子数为6~25的单环、联环、或稠环的2价芳族烃基、
被取代或未被取代的碳原子数为3~25的单环、联环、或稠环的2价杂芳族基团、或者
单键;
B表示:
被取代或未被取代的碳原子数为6~25的单环、联环、或稠环的2至4价芳族烃基、
被取代或未被取代的碳原子数为3~25的单环、联环、或稠环的2至4价杂芳族基团、
被取代或未被取代的碳原子数为1~10的直链、支链、或环状的2至4价烷基、或者
被取代或未被取代的2至4价的硅原子。
6.一种胺化合物,其由式(7)或(8)表示:
在上式中,
Ar15~Ar20各自独立地表示:
被取代或未被取代的碳原子数为6~25的单环、联环或稠环的芳族烃基、或者
被取代或未被取代的碳原子数为3~25的单环、联环或稠环的杂芳族基团;
L19~L28各自独立地表示:
被取代或未被取代的碳原子数为6~25的单环、联环、或稠环的2价芳族烃基、
被取代或未被取代的碳原子数为3~25的单环、联环、或稠环的2价杂芳族基团、或者
单键;
Y表示:
被取代或未被取代的碳原子数为6~25的单环、联环、或稠环的2至4价芳族烃基、
被取代或未被取代的碳原子数为3~25的单环、联环、或稠环的2至4价杂芳族基团、
被取代或未被取代的碳原子数为1~10的直链、支链、或环状的2至4价烷基、或者
被取代或未被取代的2至4价的硅原子;
n表示1~18的整数;
g和h各自独立地表示1或2的整数;
i表示0或1的整数。
7.根据权利要求6所述的胺化合物,其中,
当Ar15~Ar20为取代的芳族烃基、或取代的杂芳族基团时,这些基团各自独立地被选自以下的1个以上的基团取代:
被或未被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状的烷基、
被或未被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状的烷氧基、
被或未被氟原子取代的碳原子数为6~20的芳族烃基、
被或未被氟原子取代的碳原子数为3~20的杂芳族基团、
氰基、
氟原子、以及
氘原子;
当L19~L28为取代的2价芳族烃基、或取代的2价杂芳族基团时,这些基团各自独立地被选自以下的1个以上的基团取代:
被或未被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状的烷基、
被或未被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状的烷氧基、
被或未被氟原子取代的碳原子数为6~20的芳族烃基、
被或未被氟原子取代的碳原子数为3~20的杂芳族基团、
氰基、
氟原子、以及
氘原子;
当Y为取代的2至4价芳族烃基、取代的2至4价杂芳族基团、取代的2至4价烷基、或取代的2至4价的硅原子时,这些基团各自独立地被选自以下的1个以上的基团取代:
被或未被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状的烷基、
被或未被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状的烷氧基、
被或未被氟原子取代的碳原子数为6~20的芳族烃基、
被或未被氟原子取代的碳原子数为3~20的杂芳族基团、
氰基、
氟原子、以及
氘原子。
8.根据权利要求6或7所述的胺化合物,其中,
Y为:
(xx)亚苯基、亚联苯基、亚三联苯基、亚萘基、亚芴基、亚螺二芴基、亚苯并芴基、亚菲基、亚荧蒽基、亚三亚苯基、蒽二基、亚吡啶基、芘二基、嘧啶二基、三嗪二基、咔唑二基、苯并呋喃二基、苯并噻吩二基、二苯并呋喃二基、二苯并噻吩二基、金刚烷二基、亚甲基、(甲)硅烷二基、亚环己基、
苯三基、联苯三基、三联苯三基、萘三基、芴三基、螺二芴三基、苯并芴三基、菲三基、荧蒽三基、三亚苯三基、蒽三基、芘三基、吡啶三基、嘧啶三基、三嗪三基、咔唑三基、苯并呋喃三基、苯并噻吩三基、二苯并呋喃三基、二苯并噻吩三基、金刚烷三基、甲烷三基、(甲)硅烷三基、环己烷三基、
苯四基、联苯四基、三联苯四基、萘四基、芴四基、螺二芴四基、苯并芴四基、菲四基、荧蒽四基、三亚苯四基、蒽四基、芘四基、吡啶四基、嘧啶四基、咔唑四基、苯并呋喃四基、苯并噻吩四基、二苯并呋喃四基、二苯并噻吩四基、金刚烷四基、甲烷四基、(甲)硅烷四基、或环己烷四基;
或者,Y为:
(xxi)上述(xx)所示的基团被选自以下的1个以上的基团取代而成的基团:
甲基、乙基、甲氧基、乙氧基、三氟甲基、三氟甲氧基、碳原子数为2~10的全氟烷基、碳原子数为2~10的全氟烷氧基、氰基、氘原子、氟原子、被或未被氟原子取代的苯基、被或未被氟原子取代的联苯基、被或未被氟原子取代的萘基、被或未被氟原子取代的菲基、被或未被氟原子取代的吡啶基、被或未被氟原子取代的咔唑基、被或未被氟原子取代的二苯并噻吩基、以及被或未被氟原子取代的二苯并呋喃基。
9.根据权利要求6至8中任一项所述的胺化合物,其中,n为1。
10.一种胺化合物,由式(9)或(10)所示:
上式中,
a7表示1或2的整数;
a8表示0~2的整数;
a9表示0或1的整数;
Alk表示被取代或未被取代的碳原子数为3~25的环状烷基;
A15~A19各自独立地表示:
被取代或未被取代的碳原子数为6~25的单环、联环、或稠环的芳族烃基、
被取代或未被取代的碳原子数为3~25的单环、联环、或稠环的杂芳族基团、或者
被取代或未被取代的碳原子数为3~25的环状烷基;
其中,
当a9为0时,A16~A18中的至少1个各自独立地为被取代或未被取代的碳原子数为3~25的环状烷基,
当a9为1时,A16~A19中的至少1个各自独立地为被取代或未被取代的碳原子数为3~25的环状烷基;
L119~L128各自独立地表示:
被取代或未被取代的碳原子数为6~25的单环、联环、或稠环的2价芳族烃基、
被取代或未被取代的碳原子数为3~25的单环、联环、或稠环的2价杂芳族基团、或者
单键;
D表示:
被取代或未被取代的碳原子数为6~25的单环、联环、或稠环的1至4价芳族烃基、
被取代或未被取代的碳原子数为3~25的单环、联环、或稠环的1至4价杂芳族基团、
被取代或未被取代的碳原子数为1~10的直链、支链、或环状的1至4价烷基、或者
被取代或未被取代的1至4价的硅原子;
E1~E5各自独立地表示:
氟原子、或者
被或未被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链或环状的烷基。
11.一种金属图案化用材料,其包含化合物,所述化合物在分子内具有芳环和/或杂芳环与氟原子,
在形成所述芳环的碳原子数、以及形成所述杂芳环的碳原子数中,与所述氟原子直接键合的碳原子数的比例为10%以上,
分子中的氟原子数相对于碳原子数的比例为50%以上,
分子量为500以上且3000以下,
玻璃化转变温度为60℃以上。
12.根据权利要求11所述的金属图案化用材料,其中,所述金属图案化用材料由式(11)表示:
式(11)中,
Ar21、Ar22以及Ar23各自独立地表示:
被或未被取代的碳原子数为6~25的单环、联环或稠环的芳族烃基、或者
被或未被取代的碳原子数为3~25的单环、联环或稠环的杂芳族基团;
L29、L30以及L31各自独立地表示:
被或未被取代的碳原子数为6~25的单环、联环或稠环的2价芳族烃基、
被或未被取代的碳原子数为3~25的单环、联环或稠环的2价杂芳族基团、或者
单键;
j、k以及l各自独立地表示0~6的整数;
(j+k+l)为2以上且6以下;
Z表示:
被或未被取代的碳原子数为6~25的单环、联环、或稠环的2至6价的芳族烃基、
被或未被取代的碳原子数为3~25的单环、联环、或稠环的2至6价的杂芳族基团、
被或未被取代的碳原子数为1~10的直链、支链、或环状的2至6价的烷基、或者
2至4价的硅原子。
13.根据权利要求12所述的金属图案化用材料,其中,
当Ar21~Ar23为取代的芳族烃基、或取代的杂芳族基团时,这些基团各自独立地被选自以下的1个以上的基团取代:
被或未被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状的烷基、
被或未被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状的烷氧基、
被或未被氟原子取代的碳原子数为6~20的芳族烃基、
被或未被氟原子取代的碳原子数为3~20的杂芳族基团、
氰基、
氟原子、以及
氘原子;
当L29~L31为取代的2价芳族烃基、或取代的2价杂芳族基团时,这些基团各自独立地被选自以下的1个以上的基团取代:
被或未被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状的烷基、
被或未被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状的烷氧基、
被或未被氟原子取代的碳原子数为6~20的芳族烃基、
被或未被氟原子取代的碳原子数为3~20的杂芳族基团、
氰基、
氟原子、以及
氘原子;
当Z为取代的2至6价的芳族烃基、取代的2至6价的杂芳族基团、取代的2至6价的烷基、或2至4价的硅原子时,这些基团各自独立地被选自以下的1个以上的基团取代:
被或未被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状的烷基、
被或未被氟原子取代的碳原子数为1~18的直链、支链、或环状的烷氧基、
被或未被氟原子取代的碳原子数为6~20的芳族烃基、
被或未被氟原子取代的碳原子数为3~20的杂芳族基团、
氰基、
氟原子、以及
氘原子。
14.根据权利要求12或13所述的金属图案化用材料,其中,
Ar21、Ar22、以及Ar23各自独立地为:
(xxxi)苯基、联苯基、三联苯基、萘基、芴基、螺二芴基、苯并芴基、菲基、荧蒽基、三亚苯基、蒽基、芘基、吡啶基、咔唑基、苯并呋喃基、苯并噻吩基、二苯并呋喃基、或二苯并噻吩基;
或者,
(xxxii)上述(xxxi)所示的基团被选自以下的1种以上的基团取代而成的基团:
甲基、乙基、甲氧基、乙氧基、三氟甲基、三氟甲氧基、金刚烷基、环己基、碳原子数为2~10的全氟烷基、碳原子数为2~10的全氟烷氧基、氰基、氘原子、氟原子、被或未被氟原子取代的苯基、被或未被氟原子取代的联苯基、被或未被氟原子取代的萘基、被或未被氟原子取代的菲基、被或未被氟原子取代的吡啶基、被或未被氟原子取代的咔唑基、被或未被氟原子取代的二苯并噻吩基、以及被或未被氟原子取代的二苯并呋喃基。
15.根据权利要求12至14中任一项所述的金属图案化用材料,其中,
L29、L30、以及L31各自独立地为:
(xxxiii)亚苯基、亚联苯基、亚三联苯基、亚萘基、亚吡啶基、或亚芴基;
(xxxiv)上述(xxxiii)所示的基团被选自以下的1种以上的基团取代而成的基团:
甲基、乙基、甲氧基、乙氧基、三氟甲基、三氟甲氧基、碳原子数为2~10的全氟烷基、碳原子数为2~10的全氟烷氧基、氰基、
氘原子、氟原子、被或未被氟原子取代的苯基、被或未被氟原子取代的联苯基、被或未被氟原子取代的萘基、被或未被氟原子取代的菲基、被或未被氟原子取代的吡啶基、被或未被氟原子取代的咔唑基、被或未被氟原子取代的二苯并噻吩基、以及被或未被氟原子取代的二苯并呋喃基;
或者,
(xxxv)单键。
16.根据权利要求12至15中任一项所述的金属图案化用材料,其中,
Z为:
(xxxvi)1价的苯基、联苯基、三联苯基、萘基、芴基、螺二芴基、苯并芴基、菲基、荧蒽基、三亚苯基、蒽基、芘基、吡啶基、咔唑基、苯并呋喃基、苯并噻吩基、二苯并呋喃基、二苯并噻吩基、环己基、金刚烷基、甲基、甲硅烷基;
(xxxvii)2价的亚苯基、亚联苯基、亚三联苯基、亚萘基、亚芴基、亚螺二芴基、亚苯并芴基、亚菲基、亚荧蒽基、亚三亚苯基、亚蒽基、亚芘基、亚吡啶基、亚咔唑基、亚苯并呋喃基、亚苯并噻吩基、亚二苯并呋喃基、亚二苯并噻吩基、亚环己基、亚金刚烷基、亚甲基、(甲)硅烷二基;
(xxxviii)3价的苯三基、联苯三基、三联苯三基、萘三基、芴三基、螺二芴三基、苯并芴三基、菲三基、荧蒽三基、三亚苯三基、蒽三基、芘三基、吡啶三基、咔唑三基、苯并呋喃三基、苯并噻吩三基、二苯并呋喃三基、二苯并噻吩三基、环己烷三基、金刚烷三基、甲烷三基、(甲)硅烷三基;
(xxxix)4价的苯四基、联苯四基、三联苯四基、萘四基、芴四基、螺二芴四基、苯并芴四基、菲四基、荧蒽四基、三亚苯四基、蒽四基、芘四基、吡啶四基、咔唑四基、苯并呋喃四基、苯并噻吩四基、二苯并呋喃四基、二苯并噻吩四基、环己烷四基、金刚烷四基、甲烷四基、(甲)硅烷四基;
(xxxx)5价的苯五基、联苯五基、三联苯五基、萘五基、芴五基、螺二芴五基、苯并芴五基、菲五基、荧蒽五基、三亚苯五基、蒽五基、芘五基、吡啶五基、咔唑五基、苯并呋喃五基、苯并噻吩五基、二苯并呋喃五基、二苯并噻吩五基、环己烷五基、金刚烷五基;
(xxxxi)6价的苯六基、联苯六基、三联苯六基、萘基六基、芴六基、螺二芴六基、苯并芴六基、菲六基、荧蒽六基、三亚苯六基、蒽六基、芘六基、吡啶六基、咔唑六基、苯并呋喃六基、苯并噻吩六基、二苯并呋喃六基、二苯并噻吩六基、环己烷六基、金刚烷六基;
或者,
(xxxxii)上述(xxxvi)~(xxxxi)所示基团被选自以下的1种以上的基团取代而成的基团:
甲基、乙基、甲氧基、乙氧基、三氟甲基、三氟甲氧基、金刚烷基、环己基、碳原子数为2~10的全氟烷基、碳数2~10的全氟烷氧基、氰基、氘原子、氟原子、被或未被氟原子取代的苯基、被或未被氟原子取代的联苯基、被或未被氟原子取代的萘基、被或未被氟原子取代的菲基、被或未被氟原子取代的吡啶基、被或未被氟原子取代的咔唑基、被或未被氟原子取代的二苯并噻吩基、以及被或未被氟原子取代的二苯并呋喃基。
17.根据权利要求12至16中任一项所述的金属图案化用材料,其中,分子内具有至少1个全氟苯基、全氟甲苯基、全氟二甲基苯基、或全氟联苯基。
18.一种金属图案的形成方法,其特征在于,包含:
形成有机材料图案,所述有机材料图案包含权利要求1至5以及权利要求11至17中任一项所述的金属图案化用材料、或者权利要求6至10中任一项所述的胺化合物;
对所述有机材料图案的形成区域以及所述有机材料图案的未形成区域赋予金属材料,在该未形成区域形成金属图案。
19.一种电子设备,其特征在于,包含权利要求1至5以及权利要求11至17中任一项所述的金属图案化用材料、或者权利要求6至10中任一项所述的胺化合物。
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