CN115891445A - 使用喷墨装置的涂布方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及向在涂布对象物上沿排列方向以规定的元件间距(CP)配置的多个元件(81)涂布规定数量的液滴的涂布方法。本涂布方法包括：观测工序，观测从各喷嘴(N)喷出的液滴相对于对各喷嘴(N)预先设定的目标滴落位置的滴落位置偏移；生成工序，基于各个喷嘴(N)的设计位置的数据和关于各个喷嘴的滴落位置偏移的数据，从多个喷嘴(N)中选定驱动喷嘴，生成置换排列数据；以及涂布工序，使用置换排列数据，对头单元(2)进行控制而向多个元件(81)分别喷出规定数量的液滴。

Description

使用喷墨装置的涂布方法

技术领域

本发明涉及使用喷墨装置的涂布方法。

背景技术

近年来，使用喷墨装置来制造器件的方法受到关注。

在专利文献1中，公开了通过使喷墨头相对于基板相对地扫描的同时喷出墨而制造在基板上形成有多个滤光器元件的滤色器的方法。其中，使喷出R、G、B的墨的多个着色头在相对移动方向上移动，并且在规定的时机从各个着色头的喷出口喷出墨。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2001-108820号公报

发明内容

本发明的一方案涉及一种涂布方法，使用形成有沿与印刷的扫描方向正交的排列方向排列的多个喷嘴的头单元，向在涂布对象物上沿所述排列方向以规定的元件间距配置的多个元件分别涂布规定数量的液滴，其中，所述涂布方法包括：观测工序，观测从各所述喷嘴喷出的液滴相对于对各所述喷嘴预先设定的目标滴落位置在所述排列方向上的滴落位置偏移；生成工序，基于各个喷嘴的设计位置的数据和关于各个喷嘴的所述滴落位置偏移的数据，从所述多个喷嘴中选定成为驱动对象的驱动喷嘴，生成作为驱动喷嘴的排列数据的置换排列数据；以及涂布工序，使用所述置换排列数据，对所述头单元进行控制而向所述多个元件分别喷出所述规定数量的液滴。

附图说明

图1是示出喷墨装置的结构例的示意图。

图2是示出头单元的设计状态下的喷嘴位置的一例的图。

图3是示出制造后的头单元的喷嘴位置的一例的图。

图4是用于对因喷嘴的喷出角度特点引起的位置偏移进行说明的图。

图5是示出本实施方式的涂布方法的处理流程的流程图。

图6是示出第一位置修正处理的处理流程的流程图。

图7是示出本实施方式的涂布方法的数据处理的流程的图。

图8是示出各表格的数据处理方法的一例的图。

图9是示出比较例的头单元的喷嘴位置的一例的图。

图10是示出按照设计值在工件印刷时分配给元件的喷嘴的图。

图11是示出在图10中存在位置偏移以及无法使用的喷嘴的情况下的例子的图。

图12是对于变形例而言相当于图2的图。

图13是对于变形例而言相当于图3的图。

图14是示出头单元的设计状态下的喷嘴位置的另一例的图。

图15是示出头单元的设计状态下的喷嘴位置的又一例的图。

图16是示出变形例的涂布方法的处理流程的流程图。

附图标记说明

2：头单元

7：工作台

8：面板(涂布对象物)

81：元件

N：喷嘴。

具体实施方式

通常，在与印刷的扫描方向正交的方向上加长喷墨头的情况下，将多个喷墨头组合而构成喷墨头单元。然而，若喷墨头单元变长，则伴随于此容易产生伸缩、变形，因此有时产生从理想的喷嘴位置的物理性的位置偏移。

并且，理想的是，喷墨头的喷嘴朝向喷嘴正下方喷出液滴。然而，有时因喷嘴的特点而导致从喷嘴喷出的液滴的飞翔角度产生偏移。

喷嘴的位置偏移以及液滴的飞翔角度偏移产生液滴的滴落位置偏移(实际的滴落位置从目标滴落位置的偏移)。因此，在现有技术中，在对显示器面板的元件(cell)涂布墨的情况下，难以使规定数量的液滴滴落于各个元件。近年来，伴随于显示器的高画质化，元件的窄间距化不断发展，该问题表现得更为显著。

本发明的一方案的目的在于，提供能够使规定数量的液滴滴落于涂布目标物的涂布方法。

以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。需要说明的是，以下说明的实施方式均示出本发明的优选的一个具体例。因此，以下的实施方式所示出的数值、形状、材料、构成要素、构成要素的配置位置以及连接方式等是一例，并不旨在对本发明进行限定。因而，在以下的实施方式的构成要素中，对于表示本发明的最上位概念的独立技术方案中未记载的构成要素，作为任意的构成要素来进行说明。

<喷墨装置>

首先，使用图1以及图2对本实施方式的喷墨装置的结构进行说明。

喷墨装置1具备：头单元2，其具备多个喷墨头3(参照图2)；以及工作台7，其用于载置面板8。

喷墨装置1构成为能够使工作台7上的面板8与头单元2在扫描方向上相对移动。喷墨装置1在该相对移动中，从形成于喷墨头3的喷嘴N向面板8上的元件81涂布墨。例如，喷墨装置1用于将包含有机功能材料的墨的液滴涂布于元件而形成有机功能层。

在本实施方式中，多个元件81沿排列方向排列而形成第一元件列82，另外的多个元件81沿排列方向排列而形成第二元件列83，并且另外的多个元件81沿排列方向排列而形成第三元件列84。第二元件列83在扫描方向上与第一元件列82相邻。第三元件列84在扫描方向上与第二元件列83相邻。在该例子中，第二元件列83以及第三元件列84在排列方向上相对于第一元件列82不具有偏置。但是，第二元件列83以及第三元件列84也可以在排列方向上相对于第一元件列82具有偏置。

在本实施方式中，各元件81具有长圆的形状。但是，各元件81也可以具有圆形、四边形、六边形、其他形状。

喷墨装置1可以在第一元件列82、第二元件列83以及第三元件列84上以RGB条纹排列涂布墨，也可以在第一元件列82、第二元件列83以及第三元件列84上以Pentile排列涂布墨。

需要说明的是，在本实施方式中，包括RGB用的三个种类的元件(被喷出不同的墨的三种元件)，第一元件列82、第二元件列83以及第三元件列84分别对应于RGB。但是，并不限定于此，面板8也可以仅包括一种元件，也可以包括多种元件。另外，以下，将与RGB分别对应的元件称为红色元件、绿色元件、蓝色元件。

在面板8上，在排列方向上以规定的间距(参照图2的CP)形成有元件(显色区域)。在本发明中，将排列方向上的元件的间距称为“元件间距CP”。

-工作台-

工作台7构成为能够载置作为墨的涂布对象的面板8。工作台7具有使载置的面板8在扫描方向以及与扫描方向正交的排列方向上移动的移动机构(省略图示)。工作台7的移动机构例如基于从后述的驱动控制部输出的控制信号进行动作。关于工作台7的移动机构，能够采用以往通常已知的结构。

-喷墨单元-

在图2的上部，示出理想状态、即设计时的头单元2的结构的一例。头单元2具备相互平行地配置的多个喷墨头3。

喷墨头3为长条状，以相对于扫描方向分别倾斜规定的角度的状态配置。在各个喷墨头3，沿着长边方向等间距地形成有多个喷嘴N。另外，多个喷墨头3以喷嘴N彼此的间隔相对于排列方向成为等间距的方式配置。排列方向上的喷嘴间间距NP例如为20μm左右。像这样，通过倾斜地配置喷墨头3，能够实现窄间距的头单元2。

在本发明中，如图2所示，将以喷嘴间间距NP成为等间距的方式以理想状态配置的喷嘴N的位置称为“喷嘴N的设计位置”。理想的是，从喷嘴N喷出的液滴滴落于正下方。即，在理想状态下，在排列方向以及扫描方向上，喷嘴N的设计位置与液滴的滴落位置相等。

需要说明的是，在以下的说明中，为了便于说明，在区分各个喷嘴N进行说明的情况下，有时从附图左侧起依次标注N1、N2、N3、……的附图标记进行说明。此时，有时使用与喷嘴相同的附图标记对各喷嘴的位置进行说明。此外，将从N1、N2、N3、……中除去N后的数字部分称为各喷嘴N的逻辑喷嘴编号。在图2以外的图中也是同样的。

图3的上部示出制造后的头单元2的结构(实际的状态)的一例。

如前所述，喷嘴N在理想状态下以在排列方向上成为等间距的方式配置。但是，实际上，如图3上部所示，存在由于头单元2的伸缩、变形等而在“喷嘴N的设计位置”与实际的喷嘴位置之间产生位置偏移的情况。该位置偏移例如由于以下原因而产生：(1)各个喷墨头3的伸缩，(2)向固定多台喷墨头3的板(头单元2)安装时的安装误差，(3)与由固定多台喷墨头3的板的热量引起的材料伸缩相伴的喷墨头3的固定位置的伸缩、变形。由此，实际组装的喷嘴位置的精度包含安装喷墨头的板和头的绝对精度误差、以及组合时的组装精度误差等误差。

并且，存在从喷嘴N喷出的液滴的飞翔角度产生偏移而滴落位置相对于喷嘴正下方产生偏移的情况。实际上，喷墨头3在喷出来自喷嘴N的墨时，具有每个喷嘴的喷出角度特点。因此，根据喷墨头3与涂布对象的面板8的间隙G来决定喷出位置。

图4的(a)是从上方观察基于喷墨头3的喷嘴位置因喷出角度特点而发生了位置偏移的面板8上的滴落位置的图，图4的(b)是从横向观察与图4的(a)相同的滴落位置的图。需要说明的是，在图4的(a)中，N1～N5表示各喷嘴的设计位置。即，在图4中，各喷嘴N1～N5配置于设计位置。如图4的(a)、(b)所示，由于喷出角度特点，相对于各个喷嘴的设计位置N1～N5，对应的液滴的滴落位置P1～P5发生位置偏移。本发明的技术的特征在于，即使在因这样的喷嘴N的物理性的位置偏移以及喷嘴N的喷出角度偏移而产生液滴的滴落位置偏移的情况下，也能够使规定数量的液滴滴落于涂布目标物。详细内容在后述的“使用喷墨装置的涂布方法”中进行说明。

-运算处理部-

运算处理部4执行用于控制喷墨装置1的处理。运算处理部4包括滴落位置运算部41以及执行后述的第一位置修正处理和第二位置修正处理的修正处理部42。运算处理部4例如由一个或多个芯片结构的微型计算机或CPU(处理器)实现。

(滴落位置运算部)

滴落位置运算部41基于对从各喷嘴N喷出的液滴的滴落位置P进行拍摄而得到的拍摄结果，算出各个滴落位置P从目标滴落位置的位置偏移。目标滴落位置是从各喷嘴N的设计位置向正下方喷出液滴的情况下的各液滴的滴落位置。

-存储部-

存储部5具有存储用于使CPU(微型计算机)动作的程序、CPU(微型计算机)中的处理结果等信息的功能。另外，存储部5具有第一区域51、第二区域52以及第三区域53。

如图7所示，在第一区域51保存后述的滴落位置偏移数据T2。在第二区域52保存喷嘴排列数据T1以及后述的喷嘴修正表格T3。在第三区域53保存印刷数据T4以及目标坐标数据T5。

喷嘴排列数据T1是将逻辑喷嘴信息与物理喷嘴信息建立关联而保存的数据。

逻辑喷嘴信息是关于喷嘴的设计位置的数据，是将逻辑喷嘴编号和与各个逻辑喷嘴编号对应的喷嘴的位置信息建立了关联的数据。在图8左上示出喷嘴排列数据T1的一例。在图8的例子中，将逻辑喷嘴编号为“1”的喷嘴N1的位置设为原点(零点)。图8示出喷嘴N在排列方向上以100μm间距配置的例子。

物理喷嘴信息包括表示头单元2中的喷墨头3的位置的头编号以及表示各喷墨头3中的喷嘴N的位置的物理喷嘴编号。例如，在图8中，作为图2的头编号，从附图左侧的喷墨头3起依次标注1、2、3、……的编号。另外，在各个喷墨头3中，从附图左侧的喷嘴N起依次标注1、2、3、4的喷嘴编号。例如，对图2左端的喷墨头3的最左侧的喷嘴标注图8中头编号1的物理喷嘴编号1，其与逻辑喷嘴编号1(喷嘴N1)相关联。

将基于物理喷嘴信息的喷嘴的排列设为物理喷嘴排列35，将基于逻辑喷嘴信息的喷嘴排列设为逻辑喷嘴排列36。

印刷数据T4是，在头单元2的扫描中的多个时机中的各个时机，示出多个喷嘴各自的驱动方式的数据。例如，多个时机包括喷嘴位于红色的元件之上的第一时机、喷嘴位于绿色的元件之上的第二时机、位于蓝色的元件之上的第三时机。驱动方式包括喷出墨的第一驱动以及阻止墨的喷出的第二驱动。例如，多个喷嘴包括在头单元2的扫描中依次通过红色、绿色以及蓝色的元件之上的能够喷出红色墨的红色喷嘴。关于这样的红色喷嘴，印刷数据T4在第一时机示出第一驱动，在第二时机示出第二驱动，在第三时机示出第二驱动。

另外，多个喷嘴包括在头单元2的扫描中在排列方向上通过元件与元件之间而不通过任一元件之上的喷嘴。关于这样的喷嘴，印刷数据T4在第一时机、第二时机以及第三时机中的任一时机都示出第二驱动。

需要说明的是，阻止墨的喷出的第二驱动是指，以不从喷嘴喷出墨的程度向压电元件施加电压。

目标坐标数据T5定义元件配置的开始坐标、元件尺寸、元件间间距。需要说明的是，也可以准备多组目标坐标数据T5。如此一来，对于多个目标元件位置，能够进行针对全部元件的分配喷嘴数的检查。

需要说明的是，存储部5(存储器)可以设置在与运算处理部4相同的芯片内，也可以设置为与运算处理部4分开的芯片。另外，也可以通过HDD(Hard Disk Drive)、SSD(SolidState Drive)那样的存储介质来实现存储部5。

-驱动控制部-

驱动控制部6具有如下功能：在使喷墨头3相对于面板8相对地扫描的同时喷出墨的一系列动作中，使载置有面板8的工作台移动，或者控制喷嘴N的驱动。驱动控制部6例如由一个或多个芯片结构的微型计算机或CPU(处理器)实现。

具体而言，驱动控制部6从存储部5读出印刷数据T4，基于印刷数据T4，将从驱动波形信号产生器(省略图示)接收到的驱动波形向喷墨头3的各喷嘴N输出。例如，在印刷数据T4关于某个喷嘴而在某一时机示出第一驱动的情况下，驱动控制部6在该时机向该喷嘴供给用于喷出墨的驱动波形。在印刷数据T4关于该喷嘴而在另一时机示出第二驱动的情况下，驱动控制部6在该时机向该喷嘴供给用于阻止墨的喷出的驱动波形。

另外，驱动控制部6具有基于后述的第一头移动量、第二头移动量使面板8或头单元2在排列方向上移动的功能。

需要说明的是，关于驱动控制部6，也可以分为进行轴(工作台等)系统的驱动控制的模块和进行头的喷出驱动控制的模块而构成。

<使用喷墨装置的涂布方法>

以下，参照图3、图5、图6以及图7对使用喷墨装置1的涂布方法具体地进行说明。在此说明的是使用喷嘴N对设置在面板8上的前述的元件81分别涂布规定数量的液滴的涂布方法。喷嘴N被设计成以喷嘴间间距NP配置，但实际上具有位置偏移。本涂布方法包括观测工序、生成工序、印刷数据生成工序以及涂布工序。本涂布方法可以整体或部分地通过具备处理器和保存该处理器所执行的程序的存储器的计算机来实施。处理器例如也可以如上所述那样包含于运算处理部4以及驱动控制部6。存储器例如也可以是存储部5。

-观测工序-

在观测工序中，对从各喷嘴喷出的液滴的滴落位置偏移进行观测。

具体而言，在图5的步骤F1中，生成印刷数据(图7的F10)，印刷滴落位置检测用图案(以下，称为滴落图案)(图7的F11)。在印刷滴落图案时，从各喷嘴N喷出1滴以上的液滴。

在接下来的步骤F2中，使用滴落观测用的相机(省略图示)对在步骤F1中印刷的滴落图案进行观测(图7的F21)。滴落位置运算部41基于相机的拍摄结果算出滴落图案从目标滴落位置的位置偏移(图7的F22)。

此时，如图4的(a)所示，观测扫描方向与排列方向的位置偏移。在本实施方式中，至少算出排列方向上的滴落位置偏移的信息(以下，简称为“滴落位置偏移数据T2”)，并使用该滴落位置偏移数据T2。即，以下，在简称为“滴落位置偏移数据T2”的情况下，是指排列方向上的滴落位置偏移的信息。在图8左下示出滴落位置偏移数据T2的一例。

需要说明的是，扫描方向上的滴落位置偏移例如能够通过调整墨从各喷嘴N的喷出时机来消除。取得的滴落位置偏移数据T2存储于存储部5的第一区域51。

-生成工序-

在生成工序中，基于喷嘴排列数据T1和滴落位置偏移数据T2，选定作为驱动对象的驱动喷嘴，生成作为该驱动喷嘴的排列数据的置换排列数据(更新排列数据)。

以下，参照图5、图6对具体的生成工序的处理流程进行说明。

首先，在图5的步骤F3中，基于前述的喷嘴排列数据T1和在步骤F2中算出的滴落位置偏移数据T2，执行使喷嘴排列数据最佳化的位置修正处理(以下，称为第一位置修正处理)。

(第一位置修正处理)

图6是示出第一位置修正处理(相当于第一搜索工序)的详细情况的流程图。

首先，在步骤F31中，基于喷嘴排列数据T1和滴落位置偏移数据T2，执行按照各喷嘴N的排列方向上的精度保证距离的喷嘴N的重新排列处理。在该重新排列中，需要按照针对印刷对象的必要精度来设定精度保证距离。在图8的喷嘴修正表格T3中，示出将精度保证距离设为0.045mm而实施了上述的重新排列的结果。

作为具体的处理，针对各喷嘴N的设计位置，选择滴落位置处于精度保证距离范围的喷嘴N并重新建立关联，由此生成喷嘴修正表格T3。更具体而言，搜索喷出相对于与喷嘴N的设计位置对应的目标滴落位置滴落在精度保证距离的范围内的液滴的喷嘴。在能够搜索到这样的喷嘴的情况下，将搜索到的喷嘴选定为与喷嘴N的设计位置对应的驱动喷嘴。在无法搜索到喷嘴的情况下，不选定任何喷嘴作为与喷嘴N的设计位置对应的驱动喷嘴。关于一个喷嘴N的设计位置，在其精度保证距离范围内存在两个以上的物理喷嘴的情况下，选择最接近喷嘴N的设计位置的物理喷嘴并建立关联。另外，未被选择的物理喷嘴设定为不喷出液滴的喷嘴即“不喷出喷嘴”。

例如，在图8的滴落位置偏移数据T2的例子中，喷嘴N4以及喷嘴N7相对于喷嘴的设计位置的滴落位置偏移超过精度保证距离即0.045mm。因此，无法将喷嘴N4以及喷嘴N7分配为各自的设计位置处的驱动喷嘴。接着，关于喷嘴N5的设计位置，在对喷嘴N4的滴落位置P4和喷嘴N5的滴落位置P5进行比较的情况下，喷嘴N4的滴落位置P4较接近喷嘴N5的设计位置。因此，在喷嘴修正表格T3中，将逻辑喷嘴编号“4”的喷嘴N设定为喷嘴N5的设计位置处的驱动喷嘴。并且，没有作为驱动喷嘴的分配目标的逻辑喷嘴编号“5”以及“7”的喷嘴N被设定为不喷出喷嘴。

在下一步骤F32中，生成更新喷嘴信息Z6。更新喷嘴信息Z6包含以喷嘴排列数据T1为基础的更新排列数据T6以及以滴落位置偏移数据T2为基础的更新位置偏移数据T7。

具体而言，更新排列数据T6是以与上述的喷嘴修正表格T3所示的更新后的新的喷嘴位置相对应的方式对喷嘴排列数据T1的逻辑喷嘴与物理喷嘴的关联进行更新而得到的数据。更新位置偏移数据T7是以与喷嘴修正表格T3所示的更新后的新的喷嘴位置相对应的方式对滴落位置偏移数据T2进行更新而得到的数据。

在下一步骤F33中，算出第一头移动量。第一头移动量是作为头单元2整体的排列方向上的偏置移动量。该偏置移动量以在前述的步骤F31的喷嘴N的重新排列处理中，未建立关联的喷嘴数、即不喷出喷嘴最少的方式设定。具体而言，执行在任意的指定范围、指定间距中搜索最佳的偏置移动量的处理。

例如，若以图8的例子进行说明，则作为第一头移动量，优选设定为一0.02mm。这样一来，喷嘴N1的滴落位置偏移从+0.03mm更新为+0.01mm。同样地，喷嘴N2～N7的滴落位置偏移分别更新为-0.04mm、-0.01mm、+0.045mm、+0.02mm、+0.07mm。由此，喷嘴N4的滴落位置偏移从+0.065mm成为+0.045mm。这样一来，满足前述的精度保证距离，因此能够将喷嘴N4分配给逻辑喷嘴编号“4”的设计位置。并且，喷嘴N5能够分配给逻辑喷嘴编号“5”的设计位置。另一方面，对于逻辑喷嘴编号“7”，继续不分配任何喷嘴作为驱动喷嘴。像这样，在图8的例子中，通过设定-0.02mm作为第一头移动量，与第一头移动量的设定前相比，能够增加一个驱动喷嘴。这样一来，算出不喷出喷嘴最少的第一头移动量。

当至此为止的处理结束时，返回图5，流程进入下一步骤F4。

在步骤F4中，对于喷嘴修正表格T3，更新为考虑了在步骤F33中算出的第一头移动量而得到的数据。并且，与喷嘴修正表格T3的更新相应地，对更新排列数据T6以及更新位置偏移数据T7进行再更新。

在下一步骤F5中，判定最佳化处理的有效/无效。是否需要最佳化处理(是否有效)的判断例如也可以基于是否能够对各元件喷出规定数量的液滴来判断。

在步骤F5的喷嘴最佳化处理无效的情况下，对喷墨装置1设定前述的第一头移动量作为头移动量(步骤F6)。然后，当步骤F6的处理结束时，流程进入下一步骤F9(印刷数据生成工序)。关于印刷数据生成工序将在后面进行说明。

另一方面，在步骤F5的喷嘴最佳化处理有效的情况下，从对各单元81确保更多的液滴数的观点出发，执行对头单元2整体加上排列方向上的偏置移动量而进行最佳化的位置修正处理(以下，称为第二位置修正处理)。在第二位置修正处理中，执行在任意的指定范围、指定间距中搜索能够对各元件81确保更多的液滴数的最佳的偏置移动量的处理。

(第二位置修正处理)

使用图10以及图11对第二位置修正处理(相当于第二搜索工序)的具体例进行说明。

图10是示出按照设计值对面板8进行印刷时分配给元件的喷嘴N的图，示出以理想状态配置的设计上的喷嘴的位置。在图10中，如阴影线所示，在理想状态下，最大能够使3滴液滴滴落于各元件81。

与此相对，在图11中，示出存在喷嘴N的位置偏移以及不喷出喷嘴的情况下的例子。不喷出喷嘴是指由于喷嘴的位置偏移、其他理由而在某一印刷数据上不被使用的喷嘴(一次都不喷出R、G、B中的任一墨的喷嘴)。在图11中，以虚线示出不喷出喷嘴，喷嘴N5、N13、N20、N25、N31、N38成为不喷出喷嘴。需要说明的是，在图11中，不存在由喷嘴N的喷出角度特点引起的滴落位置偏移。

在图11的上部，示出未进行第二位置修正处理的例子。在该例子中，在从附图左起第六个元件81中，由于不喷出喷嘴和位置偏移的影响，滴落在元件81内的液滴成为2滴。在此，从实现元件内的R、G、B的均匀化的膜厚的观点出发，液滴优选均匀地涂布。因此，与在所有元件中液滴数最少的元件对应地设定液滴数。这样一来，在图11中，能够在一次动作中对所有元件喷出的液滴数为2滴，无法确保充分的液滴数。

因此，作为第二位置修正处理，执行在规定的搜索范围以及规定的搜索间距中搜索能够对各元件81确保更多的液滴数的最佳的偏置移动量的处理。在此，将算出的偏置量称为“第二头移动量”。在本实施方式中，与基于第一头移动量的不喷出喷嘴的最小化相比，优先进行基于第二头移动量的向各元件81的液滴数的确保。

具体而言，例如，将“搜索范围”设定为-15μm～15μm，将“搜索间距”设定为5μm。

这样一来，除了在步骤F33中算出的第一头移动量以外，还使头单元2整体移动-15μm、-10μm、-5μm、0μm、5μm、10μm、15μm，算出液滴数相对于各位置处的各元件81的分配状态。例如，在将第二头移动量设定为-10μm的情况下，成为图11的下部所示的状态。这样一来，通过应用算出的第二头移动量(-10μm)，能够使在一次涂布动作中能够向各元件内均匀地喷出的液滴数最大为3滴。并且，在其他所有元件81中没有能够实现3滴以上的滴落数的偏置移动量的情况下，设定-10μm作为第二头移动量。

需要说明的是，在此，示出了出于增加能够向各元件内喷出的液滴数的最大值的目的而进行第二位置修正处理的例子，但并不限定于此。例如，作为第二位置修正处理，也可以以来自各喷嘴的液滴成为更接近元件的中心的位置的方式求出偏置移动量。在该情况下，也能够通过进行与上述相同的动作来应对。在想要进一步提高位置对准的精度的情况下，缩小搜索间距即可。由此，能够更可靠地防止产生因液滴从元件81飞出而引起的不良品。

需要说明的是，在上述的说明中，也可以考虑不喷出喷嘴率，而将最大可喷出数从3滴减少到2滴。另外，在即使搜索了所有搜索范围但分配给元件的液滴数仍小于规定数量的情况下，也可以判定为无法印刷，对外部装置(省略图示)进行错误通知。

当第二头移动量的算出结束时，在下一步骤F8中，对喷墨装置1设定“第一头移动量+第二头移动量”作为头移动量。然后，当步骤F8的处理结束时，流程进入下一步骤F9(印刷数据生成工序)。

-印刷数据生成工序-

在步骤F9的印刷数据生成工序中，使用作为驱动喷嘴的排列数据的置换排列数据来生成印刷数据。关于具体的印刷数据的生成方法，能够应用以往已知的一般的方法，因此在此省略其详细说明。当印刷数据生成工序结束时，进入下一步骤F10(涂布工序)。印刷数据是在头单元2在排列方向上移动了算出的头移动量的状态下生成的。例如，在头移动量仅为第一头移动量的情况下，印刷数据在头单元2在排列方向上移动了第一头移动量的状态下生成。在头移动量为第一头移动量与第二头移动量的合计的情况下，印刷数据在头单元2在排列方向上移动了第一头移动量与第二头移动量的合计的状态下生成。

-涂布工序-

在步骤F10的涂布工序中，使用在印刷数据生成工序中生成的印刷数据对头单元2进行控制而向各元件81喷出规定数量的液滴。具体而言，例如，驱动控制部6从存储部5读出基于置换排列数据的印刷数据，并基于印刷数据，向喷墨头3的各喷嘴N输出从驱动波形信号产生器(省略图示)接收到的驱动波形。

如上所述，通过使用本实施方式的涂布方法，能够对成为涂布对象的元件81形成最佳的喷嘴分配状态。具体而言，如图9所示，在未修正喷嘴的分配状态的情况下(比较例)，在附图中央的元件仅能够确保1滴液滴数。与此相对，通过使用本实施方式的涂布方法，如图3所示，能够在元件的中央附近各涂布2滴液滴。

并且，根据本实施方式，通过使用第一头移动量使头单元移动，能够对成为印刷对象的元件形成最佳的喷嘴分配状态。并且，除了第一头移动量之外，还使用第二头移动量使头单元移动，由此能够增加能够涂布在元件内的液滴数，或者进行墨的滴落位置的位置对准。需要说明的是，也可以不进行基于第一头移动量的移动，而作为头移动量仅基于第二头移动量使头单元移动。

<其他实施方式>

需要说明的是，本发明并不限定于上述实施方式的说明，在不脱离其主旨的范围内能够进行各种变形。

例如，在上述的实施方式中，喷墨头3以相对于扫描方向分别倾斜规定的角度的状态配置，但并不限定于此。例如，如图12所示，也可以将沿排列方向延伸的喷墨头3沿扫描方向排列配置。在该情况下，一边使各喷墨头3的排列方向上的位置每次错开喷嘴间间距NP一边进行配置。由此，能够使喷嘴间间距NP成为更窄的间距。

需要说明的是，在图13中示出相当于图3的图，在该情况下，通过执行与前述的“使用喷墨装置的涂布方法”相同的处理，也能够得到相同的效果。

另外，如图14所示，也可以根据图12的结构，将喷墨头3以相对于扫描方向分别倾斜规定的角度的状态配置。另外，如图15所示，也可以将图14的结构作为一个单元，使其在扫描方向和排列方向上高度不同地排列。在图14以及图15中，通过执行与前述的“使用喷墨装置的涂布方法”相同的处理，也能够得到相同的效果。

在上述的实施方式中，执行按照各喷嘴N的排列方向上的精度保证距离的喷嘴N的重新排列处理(图6的F31)。但是，本发明并不限定于此，也可以不执行喷嘴N的重新排列处理。

这样的涂布方法例如如图16所示，包括印刷滴落位置检测用图案的工序(步骤F51)以及检测从设计位置的滴落位置偏移的工序(步骤F52)。步骤F51和F52分别与步骤F1和F2(参照图5)相同，因此省略详细的说明。

本变形例的涂布方法还包括基于各喷嘴的从设计位置的滴落位置偏移而算出头单元2在排列方向上的头移动量的工序(步骤F53)。头移动量例如可以以不喷出喷嘴成为最少的方式算出，也可以以对各元件喷出所希望的液滴数的方式算出。

本变形例的涂布方法还包括在头单元2移动了算出的头移动量的状态下生成印刷数据的工序(步骤F54)。步骤F54与步骤F9(参照图5)相同，因此省略详细的说明。

本变形例的涂布方法还包括调整头单元2在排列方向上的位置的工序(步骤F55)。具体而言，头单元2相对于工作台7在排列方向上相对地移动头移动量。步骤F55可以在步骤F54之前实施，也可以在步骤F54之后实施。

本变形例的涂布方法还包括涂布工序(步骤F56)。步骤F56与步骤F10相同，因此省略详细的说明。

如上所述，上述变形例的涂布方法使用形成有沿与印刷的扫描方向正交的排列方向排列的多个喷嘴的头单元，向在涂布对象物上沿所述排列方向以规定的元件间距配置的多个元件分别涂布规定数量的液滴，其中，所述涂布方法包括如下处理：(a)观测从各所述喷嘴喷出的液滴相对于对各所述喷嘴预先设定的目标滴落位置在所述排列方向上的滴落位置偏移；(b)基于从各所述喷嘴喷出的液滴在所述排列方向上的滴落位置偏移，搜索向各所述元件涂布的液滴数成为规定的液滴数的所述头单元在所述排列方向上的偏置移动量即第二头移动量；(c)使所述头单元在所述配置方向上移动所述第二头移动量；(d)对所述头单元进行控制而向所述多个元件分别喷出所述规定数量的液滴。

或者，上述变形例的涂布方法使用形成有沿与印刷的扫描方向正交的排列方向排列的多个喷嘴的头单元，向在涂布对象物上沿所述排列方向以规定的元件间距配置的多个元件分别涂布规定数量的液滴，其中，所述涂布方法包括如下处理：(a)观测从各所述喷嘴喷出的液滴相对于对各所述喷嘴预先设定的目标滴落位置在所述排列方向上的滴落位置偏移；(b)将所述多个喷嘴分类为通过所述多个元件之上的使用喷嘴和不通过所述多个元件之上的不使用喷嘴；(c)基于从各所述喷嘴喷出的液滴在所述排列方向上的滴落位置偏移，搜索所述不喷出喷嘴的数量成为最少的所述头单元在所述排列方向上的偏置移动量即第一头移动量；(d)使所述头单元在所述配置方向上移动所述第一头移动量；(e)对所述头单元进行控制而向所述多个元件分别喷出所述规定数量的液滴。

根据本发明的一方案的涂布方法，能够使规定数量的液滴滴落于涂布目标物。

工业实用性

如以上说明的那样，根据本发明的涂布方法，在无法变更喷墨头内的喷嘴位置的情况中，对高清晰地向恒定间距的印刷对象物涂布墨等是有效。特别是，能够应用于有机EL的发光体、空穴传输层、电子传输层的印刷、滤色器的印刷、或者用于形成均匀的膜的印刷等中的喷墨印刷装置，工业实用性较高。

Claims (8)

1.一种涂布方法，使用形成有沿与印刷的扫描方向正交的排列方向排列的多个喷嘴的头单元，向在涂布对象物上沿所述排列方向以规定的元件间距配置的多个元件分别涂布规定数量的液滴，其中，

所述涂布方法包括：

观测工序，观测从各所述喷嘴喷出的液滴相对于对各所述喷嘴预先设定的目标滴落位置在所述排列方向上的滴落位置偏移；

生成工序，基于各个喷嘴的设计位置的数据和关于各个喷嘴的所述滴落位置偏移的数据，从所述多个喷嘴中选定成为驱动对象的驱动喷嘴，生成作为驱动喷嘴的排列数据的置换排列数据；以及

涂布工序，使用所述置换排列数据，对所述头单元进行控制而向所述多个元件分别喷出所述规定数量的液滴。

2.根据权利要求1所述的涂布方法，其中，

所述涂布方法还包括使用所述置换排列数据来生成印刷数据的印刷数据生成工序，

所述涂布工序使用所述印刷数据对所述头单元进行控制而向所述多个元件分别喷出所述规定数量的液滴。

3.根据权利要求2所述的涂布方法，其中，

所述涂布方法还具备第二搜索工序，在所述第二搜索工序中，使用所述置换排列数据搜索第二头移动量，所述第二头移动量是向各所述元件涂布的液滴数成为最大的所述头单元在所述排列方向上的偏置移动量，

在所述印刷数据生成工序中，在使所述头单元在所述排列方向上移动了所述第二头移动量的状态下生成所述印刷数据。

4.根据权利要求3所述的涂布方法，其中，

所述涂布方法还具备第一搜索工序，在所述第一搜索工序中，使用所述置换排列数据搜索第一头移动量，所述第一头移动量是在所述多个喷嘴中未被选定为驱动喷嘴的不喷出喷嘴的数量成为最少的所述头单元在所述排列方向上的偏置移动量，

在所述印刷数据生成工序中，在使所述头单元在所述排列方向上移动了所述第一头移动量与所述第二头移动量的合计的状态下生成所述印刷数据。

5.根据权利要求4所述的涂布方法，其中，

所述第二头移动量通过使载置有所述涂布对象物的工作台移动而实现。

6.根据权利要求1所述的涂布方法，其中，

在所述观测工序中对所述滴落位置偏移进行观测的结果是相对于一个所述喷嘴的设计位置存在多个符合精度保证距离的所述喷嘴的情况下，在所述生成工序中，将最接近所述喷嘴的设计位置的喷嘴选定为所述驱动喷嘴。

7.根据权利要求2所述的涂布方法，其中，

所述涂布方法还具备第一搜索工序，在所述第一搜索工序中，使用所述置换排列数据搜索第一头移动量，所述第一头移动量是在所述多个喷嘴中未被选定为驱动喷嘴的不喷出喷嘴的数量成为最少的所述头单元在所述排列方向上的偏置移动量，

在所述印刷数据生成工序中，在使所述头单元在所述排列方向上移动了所述第一头移动量的状态下生成所述印刷数据。

8.根据权利要求1所述的涂布方法，其中，

所述生成工序包括如下处理：

搜索喷出相对于与所述喷嘴的设计位置对应的目标滴落位置滴落在精度保证距离的范围内的液滴的喷嘴；

在能够搜索到所述喷嘴的情况下，将搜索到的所述喷嘴选定为与所述喷嘴的设计位置对应的驱动喷嘴；

在无法搜索到所述喷嘴的情况下，不选定任何喷嘴作为与所述喷嘴的设计位置对应的驱动喷嘴。

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