KR20230017542A - 약액 토출 장치 및 약액 토출 방법 - Google Patents

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이홍주
이무형
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세메스 주식회사
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Abstract

약액 토출 장치는 적어도 3개의 열들 각각을 따라 다수개의 노즐들이 일렬 배치되되, 상기 열들 각각은 서로 다른 간격을 갖도록 구비되는 잉크젯 헤드, 상기 약액의 토출시 상기 열들과 수직한 방향을 따라 기판이 교차할 수 있게 상기 기판 또는/및 상기 잉크젯 헤드를 이송시키도록 구비되는 이송부, 및 상기 약액의 토출시 상기 열들 각각이 서로 다른 간격을 가짐으로써 발생하는 상기 약액의 타점 오차를 상대적으로 줄일 수 있게 상기 노즐들로부터 토출되는 약액의 토출 간격을 소수점 이하의 ㎛ 단위까지로 제어하도록 구비되는 제어부를 포함할 수 있다.

Description

약액 토출 장치 및 약액 토출 방법{APPARATUS FOR DROPPING DROPLET AND METHOD FOR DROPPING DROPLET}
본 발명은 약액 토출 장치 및 약액 토출 방법에 관한 것이다. 보다 구체적으로 본 발명은 적어도 3개의 열들 각각이 서로 다른 간격을 가짐과 아울러 열들 각각에 다수개의 노즐들이 일렬 배치되는 잉크젯 헤드를 포함하는 약액 토출 장치 및 약액 토출 방법에 관한 것이다.
OLED, QLED 등과 같은 디스플레이 소자의 제조에서는 기판에 형성하는 픽셀들 각각에 약액을 토출하거나 또는 회로 패턴을 봉지하는 봉지막의 형성을 위한 약액을 토출하는 약액 토출 공정을 수행할 수 있다.
그리고 약액 토출 공정은 다수개의 노즐들이 배치되는 잉크젯 헤드를 포함하는 약액 토출 장치를 사용함에 의해 이루어질 수 있다.
특히, 잉크젯 헤드에는 적어도 3개의 열들 각각을 따라 다수개의 노즐들이 일렬 배치될 수 있게 구비될 수 있고, 열들 각각은 서로 다른 간격을 갖도록 구비될 수 있다.
다시 말해, 잉크젯 헤드에는 서로 다른 간격을 갖는 다수개의 열들 각각에 다수개의 노즐들이 배치되는 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것이다.
그러나 서로 다른 간격을 갖는 열들에 다수개의 노즐들이 배치되는 잉크젯 헤드를 사용하는 약액의 토출시 약액의 토출 간격을 10㎛, 15㎛, 20㎛ 등과 같이 특정 배수로 제어할 경우 기판에 토출되는 약액의 타점 오차가 발생할 수 있다.
본 발명의 일 과제는 서로 다른 간격을 갖는 열들에 다수개의 노즐들이 배치되는 잉크젯 헤드를 사용함에도 불구하고 기판에 토출되는 약액의 타점 오차를 최소화시킬 수 있는 약액 토출 장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 과제는 서로 다른 간격을 갖는 열들에 다수개의 노즐들이 배치되는 잉크젯 헤드를 사용함에도 불구하고 기판에 토출되는 약액의 타점 오차를 최소화시킬 수 있는 약액 토출 방법을 제공하는데 있다.
본 발명의 일 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치는 적어도 3개의 열들 각각을 따라 다수개의 노즐들이 일렬 배치되되, 상기 열들 각각은 서로 다른 간격을 갖도록 구비되는 잉크젯 헤드, 상기 약액의 토출시 상기 열들과 수직한 방향을 따라 기판이 교차할 수 있게 상기 기판 또는/및 상기 잉크젯 헤드를 이송시키도록 구비되는 이송부, 및 상기 약액의 토출시 상기 열들 각각이 서로 다른 간격을 가짐으로써 발생하는 상기 약액의 타점 오차를 상대적으로 줄일 수 있게 상기 노즐들로부터 토출되는 약액의 토출 간격을 소수점 이하의 ㎛ 단위까지로 제어하도록 구비되는 제어부를 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 잉크젯 헤드는 한 개가 구비되되, 상기 한 개의 잉크젯 헤드에 상기 노즐들이 배치되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 잉크젯 헤드는 상기 열들과 동일한 개수로 구비되되, 상기 동일한 개수의 잉크젯 헤드 각각에 하나의 열들 각각이 배치되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제어부는 상기 열들 사이의 배치 간격에 근거하여 상기 열들 사이에서의 상기 약액의 토출 횟수가 정수가 될 수 있게 상기 약액의 토출 간격을 소수점 이하의 ㎛ 단위로 제어하도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 약액의 토출 간격 마다 상기 약액을 토출하는 횟수는 2회일 수 있다.
본 발명의 다른 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 방법은 적어도 3개의 열들 각각을 따라 다수개의 노즐들이 일렬 배치되되, 상기 열들 각각은 서로 다른 간격을 갖는 잉크젯 헤드를 마련하고, 상기 약액의 토출시 상기 열들과 수직한 방향을 따라 기판이 교차할 수 있게 상기 기판 또는/및 상기 잉크젯 헤드를 이송시키고, 그리고 상기 약액의 토출시 상기 열들 각각이 서로 다른 간격을 가짐으로써 발생하는 상기 약액의 타점 오차를 상대적으로 줄일 수 있게 상기 노즐들로부터 토출되는 약액의 토출 간격을 소수점 이하의 ㎛ 단위까지로 제어할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 열들 사이의 배치 간격에 근거하여 상기 열들 사이에서의 상기 약액의 토출 횟수가 정수가 될 수 있게 상기 약액의 토출 간격을 소수점 이하의 ㎛ 단위로 제어할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 약액의 토출 간격 마다 상기 약액을 토출하는 횟수는 2회일 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치 및 약액 토출 장치는 노즐들로부터 토출되는 약액의 토출 간격을 소수점 이하의 ㎛ 단위까지로 제어하도록 함으로써 서로 다른 간격을 갖는 열들에 다수개의 노즐들이 배치되는 잉크젯 헤드를 사용함에도 불구하고 기판에 토출되는 약액의 타점 오차를 최소화시킬 수 있다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치 및 약액 토출 장치는 기판에 토출되는 약액의 타점 오차를 최소화할 수 있기 때문에 디스플레이 소자의 제조에 따른 공정 신뢰도의 향상을 기대할 수 있을 것이다.
다만, 본 발명의 효과는 상기 언급한 효과에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치를 나타내는 개략적인 도면이다.
도 2는 도 1의 약액 토출 장치에서의 잉크젯 헤드에 구비되는 노즐들을 구체적으로 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고 동일한 구성 요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치를 나타내는 개략적인 도면이고, 도 2는 도 1의 약액 토출 장치에서의 잉크젯 헤드에 구비되는 노즐들을 구체적으로 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 OLED, QLED 등과 같은 디스플레이 소자의 제조시 기판(10)에 약액을 토출하는 약액 토출 공정을 수행하도록 이루어지는 것으로써, 특히 기판(10)에 형성하는 픽셀들 각각에 약액을 토출하거나 또는 회로 패턴을 봉지하는 봉지막의 형성시 약액을 토출하는 약액 토출 공정을 수행하도록 이루어질 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 약액을 토출하기 위한 잉크젯 헤드(11), 약액의 토출시 기판(10) 또는/및 잉크젯 헤드(11)를 이송시키기 위한 이송부(23), 약액의 토출시 약액의 토출 간격을 제어하기 위한 제어부(25) 등을 구비하도록 이루어질 수 있다.
먼저, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)에서의 잉크젯 헤드(11)는 약액의 토출 경로를 제공하도록 이루어지는 노즐들(13)이 배치되는 구조를 갖도록 구비될 수 있는데, 노즐들(13)은 다수개가 일렬 배치되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
특히, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)에서의 잉크젯 헤드(11)는 적어도 3개의 열들 각각을 따라 다수개의 노즐들(13)이 일렬 배치되는 구조를 갖도록 구비될 수 있는데, 언급한 적어도 3개의 열들 각각은 서로 다른 간격을 갖도록 구비될 수 있다.
일예로, 도 2에서와 같이 잉크젯 헤드(11)는 X 방향인 제1 열(15)을 따라 다수개의 노즐들(13)이 일렬 배치되고, 제2 열(17)을 따라 다수개의 노즐들(13)이 일렬 배치되고, 제3 열(19)을 따라 다수개의 노즐들(13)이 일렬 배치되고, 제4 열(21)을 따라 다수개의 노즐들(13)이 일렬 배치되는 구조를 갖도록 구비될 수 있고, 그리고 제1 열(15)과 제2 열(17) 사이에의 제1 간격(d1)과 제2 열(17)과 제3 열(19) 사이에서의 제2 간격(d2)과 제3 열(19)과 제4 열(21) 사이에서의 제3 간격(d3)이 서로 다른 간격을 갖도록 구비될 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)의 잉크젯 헤드(11)에서의 노즐들(13) 각각에는 노즐들(13) 각각에 대응하는 수만큼의 압전 소자들이 구비될 수 있고, 이에 압전 소자들 각각의 동작에 의해 노즐들(13) 각각을 통하여 약액을 토출시키도록 구비될 수 있다.
그리고 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)의 잉크젯 헤드(11)는 한 개가 구비되거나 또는 다수개가 구비될 수 있다.
잉크젯 헤드(11)가 한 개가 구비될 경우에는 한 개의 잉크젯 헤드(11)에 적어도 3개의 열들 각각이 서로 다른 간격을 가지면서 적어도 3개의 열들 각각을 따라 다수개의 노즐들(13)이 일렬 배치되는 구조를 갖도록 이루어질 수 있다.
잉크젯 헤드(11)가 다수개가 구비될 경우에는 노즐들(13)이 배치되는 열들과 동일한 개수로 구비될 수 있고, 동일한 개수의 잉크젯 헤드(11) 각각이 서로 다른 간격을 가지면서 동일한 개수의 잉크젯 헤드(11) 각각에 하나의 열들 각각의 노즐들(13)이 배치되는 구조를 갖도록 이루어질 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)에서의 이송부(23)는 약액의 토출시 노즐들(13)이 배치되는 열들과 수직한 방향을 따라 기판(10)이 교차할 수 있게 기판(10) 또는/및 잉크젯 헤드(11)를 이송시키도록 구비될 수 있다.
즉, 도 2에서와 같이 이송부(23)는 약액의 토출시 노즐들(13)이 배치되는 열들인 X 방향과 수직한 Y 방향을 따라 기판(10) 또는/및 잉크젯 헤드(11)를 이송시키도록 구비될 수 있는 것이다.
여기서, 이송부(23)가 잉크젯 헤드(11)를 이송시키도록 구비될 경우에는 이송부(23)는 갠트리(gantry)로 이루어질 수 있을 것이고, 이송부(23)가 기판(10)을 이송시키도록 구비될 경우에는 이송부(23)는 기판(10)을 부상시킨 상태에서 기판(10)의 측면을 파지하여 이송시키는 구조를 갖도록 이루어질 수 있을 것이다.
언급한 바와 같이, 서로 다른 간격을 갖는 열들 각각에 다수개의 노즐들(13)이 배치되는 잉크젯 헤드(11)를 사용하는 약액의 토출에서는 기판(10)에 토출되는 약액의 타점 오차가 빈번하게 발생할 수 있다.
즉, 노즐들(13)이 배치되는 열들 사이에서의 간격에 차이가 있기 때문에 약액의 토출 간격을 적절하게 제어하지 못할 경우에는 원하는 지점에 정확하게 약액을 토출시키지 못하는 상황이 발생할 수 있는 것이다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)에서의 제어부(25)는 약액의 토출시 열들 각각이 서로 다른 간격을 가짐으로써 발생하는 약액의 타점 오차를 상대적으로 줄일 수 있게 노즐들(13)로부터 토출되는 약액의 토출 간격을 소수점 이하의 ㎛ 단위까지로 제어하도록 구비될 수 있다.
즉, 서로 다른 간격을 갖는 열들 각각에 다수개의 노즐들(13)이 배치되는 잉크젯 헤드(11)를 사용함에도 불구하고 종래에는 장치적 운용의 편의성을 도모하기 위하여 약액의 토출 간격을 정수 단위로만 제어하기 때문에 약액의 타점 오차가 상대적으로 크게 발생하지만, 본 발명에서는 언급한 같이 약액의 토출 간격을 소수점 이하의 ㎛ 단위까지로 제어하기 때문에 약액의 타점 오차가 거의 발생하지 않는다.
여기서, 다수개의 노즐들(13) 각각이 배치되는 열들에 대한 간격은 잉크젯 헤드(11)를 제공하는 제조사 마다 서로 달리하기 때문에 약액의 토출 간격을 종래와 같이 특정 배수 등으로 확정할 경우 타점 오차가 발생할 것이 자명하고, 이에 따라 본 발명에서는 약액의 토출 간격을 소수점 이하의 ㎛ 단위까지로 제어하도록 구비함으로써 다수개의 노즐들(13) 각각이 배치되는 열들에 대한 간격을 제조사 마다 달리하여도 능동적으로 대응할 수 있는 것이다.
다시 말해, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)의 잉크젯 헤드(11)를 사용하는 약액 토출 공정에서는 약액의 토출 간격을 특정 배수로 확정하는 것이 아니라 열들에 대한 간격에 근거하여 약액의 토출 간격을 확정할 수 있다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)에서의 제어부(25)는 열들 사이의 배치 간격에 근거하여 열들 사이에서의 약액의 토출 횟수가 정수가 될 수 있게 제어하도록 구비될 수 있고, 이를 위하여 제어부(25)는 약액의 토출 간격을 소수점 이하의 ㎛ 단위로 제어하도록 구비될 수 있는 것이다.
언급한 약액의 토출 간격을 소수점 이하의 ㎛ 단위로의 제어는 엔코더 소스를 0.1㎛ 단위로 제어하도록 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)를 구축함에 의해 이루어질 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 약액의 토출 간격 마다 약액을 토출하는 횟수를 2회가 되도록 구비할 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치(100)는 노즐들(13)로부터 토출되는 약액의 토출 간격을 소수점 이하의 ㎛ 단위까지로 제어하도록 함으로써 서로 다른 간격을 갖는 열들에 다수개의 노즐들(13)이 배치되는 잉크젯 헤드(11)를 사용함에도 불구하고 기판(10)에 토출되는 약액의 타점 오차를 최소화시킬 수 있다.
이하, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 방법에 대하여 설명하기로 한다.
먼저, 언급한 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 잉크젯 헤드(11)를 구비하는 약액 토출 장치(100)를 마련한다.
즉, 3개의 열들 각각을 따라 다수개의 노즐들(13)이 일렬 배치되되, 열들 각각은 서로 다른 간격을 갖는 잉크젯 헤드(11)를 마련하는 것이다.
그리고 약액의 토출시 열들과 수직한 방향을 따라 기판(10)이 교차할 수 있게 기판(10) 또는/및 잉크젯 헤드(11)를 이송시킴과 아울러 잉크젯 헤드(11)에서의 노즐들(13)이 배치되는 열들 각각이 서로 다른 간격을 가짐으로써 발생하는 약액의 타점 오차를 상대적으로 줄일 수 있게 노즐들(13)로부터 토출되는 약액의 토출 간격을 소수점 이하의 ㎛ 단위까지로 제어한다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 방법의 경우에도 노즐들(13)로부터 토출되는 약액의 토출 간격을 소수점 이하의 ㎛ 단위까지로 제어하도록 함으로써 서로 다른 간격을 갖는 열들에 다수개의 노즐들(13)이 배치되는 잉크젯 헤드(11)를 사용함에도 불구하고 기판(10)에 토출되는 약액의 타점 오차를 최소화시킬 수 있는 것이다.
이하, 본 발명의 예시적인 실시예에 따른 약액 분석 장치를 사용하여 약액 토출 공정을 수행할 때 발생하는 약액의 타점 오차 및 종래의 약액 분석 장치를 사용하여 약액 토출 공정을 수행할 때 발생하는 약액의 타점 오차를 비교한 결과에 대하여 설명하기로 한다.
먼저, 도 2에서와 같이 제1 열 내지 제4 열(15, 17, 19, 21)로 노즐들(13)이 배치되고, 제1 열(15)과 제2 열(17) 사이에의 제1 간격(d1)은 846㎛이고, 제2 열(17)과 제3 열(19) 사이에서의 제2 간격(d2)은 1,128㎛이고, 제3 열(19)과 제4 열(21) 사이에서의 제3 간격(d3)은 846㎛인 잉크젯 헤드(11)를 구비하는 약액 토출 장치(100)를 마련하였다.
즉, 제1 열(15)로부터 제2 열(17)까지의 거리는 846㎛이고, 제1 열(15)로부터 제3 열(19)까지의 거리는 1,974㎛이고, 제1 열(15)로부터 제4 열(21)까지의 거리는 2,820㎛인 잉크젯 헤드(11)를 구비하는 약액 토출 장치(100)를 마련하였다.
그리고 인쇄 속도, 즉 기판(10) 또는/및 이송부(23)가 이송되는 속도를 분당 330㎛, 450㎛, 540㎛가 되도록 조정하였다.
실험예
먼저, 본 발명에서와 같이 약액의 토출 간격을 인쇄 속도가 330㎛일 때에는 14.1㎛가 되도록 조정하였고, 인쇄 속도가 450㎛일 때에는 18.8㎛가 되도록 조정하였고, 인쇄 속도가 540㎛일 때에는 23.5㎛가 되도록 조정하였다.
즉, 약액의 토출 간격을 소수점 이하의 ㎛ 단위인 14.1㎛, 18.8㎛, 및 23.5㎛가 되도록 조정하였다.
그리고 약액을 토출하기 위한 토출 주파수 각각은 14.1㎛일 때에는 약 23.4Hz임을 확인할 수 있고, 18.8㎛일 때에는 약 23.9Hz임을 확인할 수 있고, 23.5㎛일 때에는 약 23.0Hz임을 확인할 수 있다.
여기서, 제1 열 내지 제4 열 사이 각각에 대한 거리를 약액의 토출 간격으로 나눈 값으로부터 약액의 토출 횟수를 결정할 수 있는 것으로써, 언급한 바와 같이 약액의 토출 간격 마다 약액을 토출하는 횟수가 2회이기 때문에 제1 열 내지 제4 열 사이 각각에 대한 거리를 약액의 토출 간격으로 나눈 값에 2를 곱함에 의해 결정할 수 있다.
언급한 바와 같이, 약액의 토출 간격이 14.1㎛일 때에는 제1 열(15)과 제2 열(17) 사이에서의 약액의 토출 횟수가 120회이고, 제2 열(17)과 제3 열(19) 사이에서의 약액의 토출 횟수가 160회이고, 제3 열(19)과 제4 열(21) 사이에서의 약액의 토출 횟수가 120회로써, 전체적으로 400회임을 알 수 있다.
그리고 약액의 토출 간격이 18.8㎛일 때에는 제1 열(15)과 제2 열(17) 사이에서의 약액의 토출 횟수가 90회이고, 제2 열(17)과 제3 열(19) 사이에서의 약액의 토출 횟수가 210회이고, 제3 열(19)과 제4 열(21) 사이에서의 약액의 토출 횟수가 90회로써, 전체적으로 300회임을 알 수 있다.
또한, 약액의 토출 간격이 23.5㎛일 때에는 제1 열(15)과 제2 열(17) 사이에서의 약액의 토출 횟수가 72회이고, 제2 열(17)과 제3 열(19) 사이에서의 약액의 토출 횟수가 168회이고, 제3 열(19)과 제4 열(21) 사이에서의 약액의 토출 횟수가 72회로써, 전체적으로 240회임을 알 수 있다.
이에, 본 발명에서는 제1 열 내지 제4 열(15, 17, 19, 21) 사이 각각에서의 약액의 토출 횟수가 정수가 될 수 있게 약액의 토출 간격을 소수점 이하의 ㎛ 단위로 제어함으로써 약액의 타점 오차가 0임을 확인할 수 있었다.
비교예
종래의 공정 조건을 갖는 비교예의 경우에도 인쇄 속도를 330㎛, 450㎛, 및 540㎛가 되도록 조정하였다.
다만, 약액의 토출 간격을 인쇄 속도가 330㎛일 때에는 15㎛가 되도록 조정하였고, 인쇄 속도가 450㎛일 때에는 20㎛가 되도록 조정하였고, 인쇄 속도가 540㎛일 때에는 24㎛가 되도록 조정하였다.
즉, 약액의 토출 간격을 장치적 편의를 도모하기 위하여 특정 배수가 되도록 조정하였다.
이에, 약액의 토출 간격이 15㎛일 때에는 제1 열(15)과 제2 열(17) 사이에서의 약액의 토출 횟수가 112.8회이고, 제2 열(17)과 제3 열(19) 사이에서의 약액의 토출 횟수가 150.4회이고, 제3 열(19)과 제4 열(21) 사이에서의 약액의 토출 횟수가 112.8회로써, 제1 열 내지 제4 열(15, 17, 19, 21) 사이에서의 토출 횟수가 소수점 이하로 나타나기 때문에 약액의 타점 오차가 전체적으로 약 3㎛가 발생함을 확인할 수 있었다.
그리고 약액의 토출 간격이 18.8㎛일 때에는 제1 열(15)과 제2 열(17) 사이에서의 약액의 토출 횟수가 84.6회이고, 제2 열(17)과 제3 열(19) 사이에서의 약액의 토출 횟수가 112.8회이고, 제3 열(19)과 제4 열(21) 사이에서의 약액의 토출 횟수가 84.6회로써, 제1 열 내지 제4 열(15, 17, 19, 21) 사이에서의 토출 횟수가 소수점 이하로 나타나기 때문에 약액의 타점 오차가 전체적으로 약 8㎛가 발생함을 확인할 수 있었다.
또한, 약액의 토출 간격이 23.5㎛일 때에는 제1 열(15)과 제2 열(17) 사이에서의 약액의 토출 횟수가 70.5회이고, 제2 열(17)과 제3 열(19) 사이에서의 약액의 토출 횟수가 94회이고, 제3 열(19)과 제4 열(21) 사이에서의 약액의 토출 횟수가 70.5회로써, 제1 열 내지 제4 열(15, 17, 19, 21) 사이에서의 토출 횟수가 소수점 이하로 나타나기 때문에 약액의 타점 오차가 전체적으로 약 10㎛가 발생함을 확인할 수 있었다.
따라서 본 발명에서와 같이 제1 열 내지 제4 열(15, 17, 19, 21) 사이 각각에서의 약액의 토출 횟수가 정수가 될 수 있게 약액의 토출 간격을 소수점 이하의 ㎛ 단위로 제어할 경우 약액의 타점 오차를 상대적으로 크게 감소시킬 수 있음을 확인할 수 있는 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 장치는 픽셀들에 약액을 토출하거나 또는 봉지막의 형성을 위한 약액을 토출하는 공정에 적용할 수 있기 때문에 OLED, QLED 등과 같은 디스플레이 소자의 제조에 보다 적극적으로 적용할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 기판 11 : 잉크젯 헤드
13 : 노즐들 23 : 이송부
25 : 제어부 100 : 약액 토출 장치

Claims (8)

  1. 적어도 3개의 열들 각각을 따라 다수개의 노즐들이 일렬 배치되되, 상기 열들 각각은 서로 다른 간격을 갖도록 구비되는 잉크젯 헤드;
    상기 약액의 토출시 상기 열들과 수직한 방향을 따라 기판이 교차할 수 있게 상기 기판 또는/및 상기 잉크젯 헤드를 이송시키도록 구비되는 이송부; 및
    상기 약액의 토출시 상기 열들 각각이 서로 다른 간격을 가짐으로써 발생하는 상기 약액의 타점 오차를 상대적으로 줄일 수 있게 상기 노즐들로부터 토출되는 약액의 토출 간격을 소수점 이하의 ㎛ 단위까지로 제어하도록 구비되는 제어부를 포함하는 약액 토출 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 잉크젯 헤드는 한 개가 구비되되, 상기 한 개의 잉크젯 헤드에 상기 노즐들이 배치되는 구조를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 잉크젯 헤드는 상기 열들과 동일한 개수로 구비되되, 상기 동일한 개수의 잉크젯 헤드 각각에 하나의 열들 각각이 배치되는 구조를 갖도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 열들 사이의 배치 간격에 근거하여 상기 열들 사이에서의 상기 약액의 토출 횟수가 정수가 될 수 있게 상기 약액의 토출 간격을 소수점 이하의 ㎛ 단위로 제어하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 약액의 토출 간격 마다 상기 약액을 토출하는 횟수는 2회인 것을 특징으로 하는 약액 토출 장치.
  6. 적어도 3개의 열들 각각을 따라 다수개의 노즐들이 일렬 배치되되, 상기 열들 각각은 서로 다른 간격을 갖는 잉크젯 헤드를 마련하고,
    상기 약액의 토출시 상기 열들과 수직한 방향을 따라 기판이 교차할 수 있게 상기 기판 또는/및 상기 잉크젯 헤드를 이송시키고, 그리고
    상기 약액의 토출시 상기 열들 각각이 서로 다른 간격을 가짐으로써 발생하는 상기 약액의 타점 오차를 상대적으로 줄일 수 있게 상기 노즐들로부터 토출되는 약액의 토출 간격을 소수점 이하의 ㎛ 단위까지로 제어하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 방법.
  7. 제6 항에 있어서,
    상기 열들 사이의 배치 간격에 근거하여 상기 열들 사이에서의 상기 약액의 토출 횟수가 정수가 될 수 있게 상기 약액의 토출 간격을 소수점 이하의 ㎛ 단위로 제어하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 방법.
  8. 제6 항에 있어서,
    상기 약액의 토출 간격 마다 상기 약액을 토출하는 횟수는 2회인 것을 특징으로 하는 약액 토출 방법.
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