KR20070003601A - 액적 토출 방법, 전기 광학 장치 및 전자 기기 - Google Patents

액적 토출 방법, 전기 광학 장치 및 전자 기기 Download PDF

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KR20070003601A
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세이코 엡슨 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 기능액의 토출 위치를 용이하게 조절할 수 있는 액적 토출 방법, 전기 광학 장치 및 전자 기기를 제공하는 것을 목적으로 한다.
피토출부(18)가 매트릭스 모양으로 배열되어 있는 경우에, 액체 재료(111)의 액적을 토출할 때에는, 이미 토출된 액체 재료(111)의 착탄(着彈)부(200) 중 매트릭스의 행 방향(예를 들면, 도 11에서 Y 방향) 및 열 방향(예를 들면, 도 11에서 X 방향)에 인접하는 착탄부(200) 사이의 영역을 피하도록, 새로 토출하는 액체 재료(111)의 액적을 착탄시키므로, 상기 착탄부(200) 사이를 메우도록 액체 재료를 착탄시킬 때에 미세한 조절도 필요 없고, 액체 재료(111)의 액적을 착탄하는 위치의 조정이 매우 용이해지고, 액체 재료(111)의 막(컬러 필터(16)의 각 층)이 불균일하게 형성되는 것을 방지할 수도 있다.
액적 토출 방법, 컬러 필터, 피토출부, 기능액

Description

액적 토출 방법, 전기 광학 장치 및 전자 기기{DROPLET DISCHARGE METHOD, ELECTRO-OPTICAL DEVICE, AND ELECTRONIC DEVICE}
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 액정 장치의 구성을 나타내는 사시도.
도 2는 본 실시예에 따른 컬러 필터 기판의 구성을 나타내는 평면도.
도 3은 본 실시예에 따른 액적 토출 장치의 전체 구성을 나타내는 사시도.
도 4는 본 실시예에 따른 액적 토출 장치의 캐리지의 구성을 나타내는 평면도.
도 5는 본 실시예에 따른 액적 토출 장치의 헤드의 외부 구성을 나타내는 평면도.
도 6은 본 실시예에 따른 액적 토출 장치의 헤드의 내부 구성을 나타내는 도면.
도 7은 본 실시예에 따른 액적 토출 장치의 제어부의 구성을 나타내는 블록도.
도 8은 본 실시예에 따른 액적 토출 장치의 헤드 구동부의 구성을 나타내는 도면.
도 9는 본 실시예에 따른 액적 토출 장치의 헤드의 배치를 나타내는 도면.
도 10은 본 실시예에 따른 액적 토출 방법을 나타내는 제 1 도면.
도 11은 본 실시예에 따른 액적 토출 방법을 나타내는 제 2 도면.
도 12는 본 실시예에 따른 액적 토출 방법을 나타내는 제 3 도면.
도 13은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 액적 토출 방법을 나타내는 제 1 도면.
도 14는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 액적 토출 방법을 나타내는 제 2 도면.
도 15는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 액적 토출 방법을 나타내는 제 3 도면.
도 16은 본 발명에 따른 전자 기기의 구성을 나타내는 사시도.
도 17은 착탄부와 그 주위의 영역을 나타내는 도면.
도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
1 : 액정 장치 2 : 액티브 매트릭스 기판
3 : 컬러 필터 기판 10A : 기체(基體)
16 : 컬러 필터 18, 18R, 18G, 18B : 피토출부
100 : 액적 토출 장치(토출 장치) 103 : 캐리지
106 : 스테이지 111, 111R, 111G, 111B : 액체 재료
114, 114R, 114G, 114B : 헤드 114P : 헤드 그룹
118 : 노즐 300 : 휴대 전화
본 발명은 액적 토출 방법, 전기 광학 장치 및 전자 기기에 관한 것이다.
잉크젯 프린터의 액적 토출 헤드는 미소한 잉크 방울을 도트 모양으로 토출할 수 있어, 잉크 방울의 크기나 피치의 균일성 면에서 매우 정밀도가 높다. 이 기술은 각종 제품, 예를 들면 전기 광학 장치 등의 제조 분야에 응용이 되고 있다. 예를 들면, 액정 장치의 컬러 필터층이나 유기 EL 표시 장치의 발광부 등의 막을 형성하는 경우에 응용할 수 있다.
구체적으로는, 액적 토출 헤드에 특수한 잉크나 감광성의 수지액 등(기능액)을 포함시켜, 기판에 설치된 피토출부에 이 기능액의 액적을 토출하는 것이다(예를 들면, 특허문헌 1 참조). 최근의 전기 광학 장치에 이용되는 컬러 필터나 발광부에는 복수 종류의 색이 형성되는 것이 많으며, 복수 종류의 기능액을 1종류씩 다른 장치에 의해 기판에 토출하도록 되어 있다.
그러나, 특허문헌 1에 기재된 장치를 이용한 경우, 복수 종류의 기능액을 1종류씩 다른 장치에 의해 기판에 토출하도록 되어 있기 때문에 전체적인 토출 시간이 길어져버린다. 그래서, 토출 시간의 단축을 도모하기 위하여 1개의 장치로 전 종류의 기능액을 토출시키는 것이 고려되고 있다.
또한, 기판에 배치된 피토출부는 보통, 기능액의 액적에 비해서 용적이 크고, 1회의 주사로는 기능액을 충분히 채울 수 없기 때문에, 복수회 주사를 행하고 있다. 상기 복수회의 주사에서는, 예를 들면 피토출부에 착탄되어 있는 기능액의 액적 사이의 영역에 새로 액적을 착탄시켜, 피토출부의 저면(底面)을 메워가는 방 법이 알려져 있다.
[특허문헌 1] 일본국 공개 특허 공보 2004-267927호
그러나, 상술한 바와 같이 기능액의 액적 사이에 새로 액적을 정확하게 착탄시키기 위하여 착탄 위치를 조절하려면 미세한 제어가 필요하게 되고, 실제로는 매우 곤란하다. 또한, 상술한 방법을 행한 경우, 착탄 위치가 토출 영역 중 좁은 영역에 한정되고, 착탄된 액적이 충분히 퍼지지 않기 때문에, 액적이 치우쳐서 배치되게 된다. 이 경우, 형성되는 기능액의 막이 불균일하게 되기 때문에, 예를 들면 전기 광학 장치에서는 표시 불균일의 원인이 된다.
상기와 같은 사정을 감안하여, 본 발명의 목적은 기능액이 착탄하는 위치를 용이하게 조절할 수 있고, 기능액의 막이 불균일하게 형성되는 것을 방지할 수 있는 액적 토출 방법, 전기 광학 장치 및 전자 기기를 제공하는 것에 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 액적 토출 방법은 기판과 토출 헤드를 상대적으로 주사(走査)시키면서, 상기 기판 위의 복수의 피토출부에 기능액의 액적을 토출하는 액적 토출 방법으로서, 상기 피토출부가 상기 기판 위에 매트릭스 모양으로 배열되어 있고, 각 피토출부에 상기 기능액의 액적을 복수회의 주사에 의한 토출을 행할 때에는, 각 주사 모두, 이미 상기 각 피토출부에 토출된 액적의 착탄부(着彈部)로부터 상기 매트릭스의 행 방향 및 열 방향 각각에 직선적으로 연장되는 영역을 피하도록, 새로 토출하는 액적을 착탄시키는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 피토출부가 매트릭스 모양으로 배열되어 있는 경우에, 기능액의 액적을 각 피토출부에 복수회 토출할 때에는, 이미 상기 각 피토출부에 토출된 액적의 착탄부로부터 매트릭스의 행 방향 및 열 방향 각각에 직선적으로 연장되는 영역을 피하도록, 새로 토출하는 액적을 착탄시키므로, 상기 착탄부 사이를 메우도록 기능액의 액적을 착탄시킬 때의 미세한 제어도 필요 없고, 기능액의 액적을 착탄시키는 위치의 조절이 매우 용이해지며, 기능액의 막이 불균일하게 형성되는 것을 방지할 수도 있다.
여기에서, 예를 들면 도 17을 참조하여 「이미 토출된 액적의 착탄부로부터 매트릭스의 행 방향 및 열 방향 각각에 직선적으로 연장되는 영역」을 설명한다. 도 17에서 원 부분(170A)은 「이미 토출된 액적의 착탄부」를 나타내고, 사선부(170B)는 「착탄부로부터 매트릭스의 행 방향 및 열 방향 각각에 직선적으로 연장되는 영역」을 나타낸다. 도 17에 나타낸 바와 같이, 상기 영역은 착탄부 자체를 포함하지 않는 영역을 고려하는 것으로 한다.
또한, 상기 피토출부 중 상기 이미 토출된 액적의 착탄부에 평면적으로 겹치는 위치에, 상기 새로 토출하는 액적을 착탄시키는 것이 바람직하다.
본 발명에 의하면, 새로 토출하는 액적에 대하여 이미 토출된 액적의 착탄부에 평면적으로 겹치는 위치에 착탄함으로써 매회의 토출에서 같은 위치에 착탄시켜도 좋기 때문에, 액적의 착탄 위치의 조절이 용이해진다. 또한, 본 발명에서는 착탄 위치는 한정되지만, 이미 착탄된 액적이 새로 착탄된 액적의 충격을 이용하여 피토출부 내로 퍼지므로, 기능액의 막이 불균일하게 형성되는 것을 방지할 수도 있다.
또한, 상기 복수회의 주사에 의한 토출 각각에서, 상기 복수의 착탄부가 상기 매트릭스의 행 방향 및 열 방향 중 적어도 한 쪽에 배치되도록 상기 기능액의 액적을 토출하고, 상기 복수 착탄부의 중심부끼리를 연결하는 직선에 대하여 벗어난 위치에, 상기 새로 토출하는 액적을 착탄시키는 것이 바람직하다.
본 발명에 의하면, 복수회의 토출 각각에서, 착탄부가 매트릭스의 행 방향 및 열 방향 중 적어도 한 쪽에 인접하도록 기능액의 액적을 토출해 놓고, 이 착탄부의 중심부끼리를 연결하는 직선에 대하여 벗어난 위치에 액적을 새로 착탄시키므로, 액적을 피토출부의 전체에 걸쳐 착탄시킬 수 있게 된다. 이에 따라, 피토출부에 기능액을 평탄하게 형성할 수 있다.
본 발명의 다른 관점에 따른 전기 광학 장치는 상기 액적 토출 방법에 의하여 기능액이 토출된 기판을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 기능액이 착탄하는 위치를 용이하게 조절할 수 있고 기능액의 막이 불균일하게 형성되는 것을 방지할 수 있는 액적 토출 방법으로 기능액의 액적이 토출되어 있기 때문에, 표시 불균일이 없는 전기 광학 장치를 얻을 수 있다.
본 발명의 다른 관점에 따른 전자 기기는 상기 전기 광학 장치를 탑재한 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면 표시 불균일이 없는 전기 광학 장치를 탑재했으므로, 표시 성능이 우수한 전자 기기를 얻을 수 있다.
또한, 본 발명은 기판과 토출 헤드를 상대적으로 주사하면서, 상기 기판 위의 복수의 피토출부에 기능액의 액적을 토출하는 액적 토출 장치로서, 상기 기판 위에 매트릭스 모양으로 배열된 상기 피토출부에 대하여 상기 기능액의 액적의 토출을 제어하는 처리부를 갖고, 상기 처리부는 각 피토출부에 상기 기능액의 액적을 복수회의 주사에 의한 토출을 할 때에, 각 주사 모두, 이미 상기 각 피토출부에 토출된 액적의 착탄부로부터 상기 매트릭스의 행 방향 및 열 방향 각각에 직선적으로 연장되는 영역을 피하도록, 새로 착탄시키는 액적의 토출을 제어하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 매트릭스 모양으로 배열된 피토출부에 대하여, 기능액의 액적을 각 피토출부에 복수회 토출을 행할 때에는 이미 상기 각 피토출부에 토출된 액적의 착탄부로부터 매트릭스의 행 방향 및 열 방향 각각에 직선적으로 연장되는 영역을 피하도록, 새로 착탄시키는 액적의 토출을 제어하므로, 피토출부에서, 복수회의 주사에서, 위치를 바꾸어 매트릭스 모양으로 착탄되는 액적에 의해 발생하는 불균일 등을 경감시킬 수 있다.
<제 1 실시예>
이하, 본 발명의 제 1 실시예를 도면에 의거하여 설명한다. 이하의 도면에서는 각 부재를 인식 가능한 크기로 하기 위하여 축척을 적절하게 변경하고 있다.
(전기 광학 장치)
도 1은 본 실시예에 따른 액정 장치(1)의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 액정 장치(1)는 액정 패널(40)과 백 라이트(41)를 주체로 하여 구성되어 있다. 액정 패널(40)은 액티브 매트릭스 기판(2)과 컬러 필터 기판(3)이 밀봉 부재(sealing material)(26)를 통하여 부착되고, 상기 액티브 매트릭스 기판(2)과 컬러 필터 기판(3)과 밀봉 부재(26) 사이에 액정(6)이 삽입된 구성으로 되어 있다. 도면에서 파선으로 나타내진 표시 영역(2a)은 화상이나 동영상 등이 표시되는 영역이다.
또한, 본 실시예의 액정 장치(1)는 스위칭 소자로서 2 단자형 비선형 소자인 박막 다이오드(TFD) 소자를 이용한 액티브 매트릭스 방식의 액정 장치를 채용하고 있지만, 예를 들면 스위칭 소자로서 박막 트랜지스터(TFT) 소자를 이용한 액정 장치나, 패시브 매트릭스 방식의 액정 장치여도 물론 상관없다. 또한, 액정 패널(40)은 2장의 대형 머더 기판을 붙이고, 절단함으로써 형성된다(다수 개 취함). 2장의 머더 기판으로서는 컬러 필터 기판(3)을 생성하는 컬러 필터측 머더 기판과 액티브 매트릭스 기판(2)을 생성하는 액티브 매트릭스측 머더 기판이 있다.
도 2는 컬러 필터 기판(3)의 구성을 나타내는 평면도이다. 도 2의 (a)는 컬러 필터 기판(3)의 전체 구성을 나타내는 도면이고, 도 2의 (b)는 컬러 필터 기판(3)의 일부를 확대하여 나타내는 도면이다.
도 2의 (a)에 나타낸 바와 같이, 컬러 필터 기판(3)은, 예를 들면 글라스나 플라스틱 등의 투명한 재료로 형성된 사각형의 기판이다. 컬러 필터 기판(3) 위에는 차광층(13)이 설치되어 있고, 차광층(13)으로 둘러싸인 영역(화소 영역)에 대응하여 각 회소인 적색층(16R), 녹색층(16G), 청색층(16B)을 갖는 컬러 필터(16)가 매트릭스 모양으로 설치되어 있다. 또한, 본 실시예에서는 상기 컬러 필터(16)의 적색층(16R), 녹색층(16G) 및 청색층(16B)이 잉크젯 방식에 의해 형성되는 것으로, 후술하는 액적 토출 장치로부터 각 화소 영역에 액체 재료가 토출되기 때문에, 이하의 설명에서, 이 매트릭스 모양으로 설치된 화소 영역을 「피토출부」라 칭하기로 한다.
또한, 컬러 필터 기판(3)에는 차광층(13)으로 둘러싸인 영역에서 해당 컬러 필터(16)를 덮도록 오버 코트층(미도시)이 형성되고, 오버 코트층 위에는 배향막(미도시)이 형성되어 있다. 상기 배향막은, 예를 들면 폴리이미드 등으로 이루어지고, 표면이 러빙(rubbing) 처리된 수평 배향막이다.
또한, 도 2의 (b)에 나타낸 바와 같이, 1개의 적색층(16R)(또는, 녹색층(16G), 청색층(16B))에 대해서는, 짧은 변의 길이(S)가 예를 들면 170㎛ 정도, 긴 변의 길이(L)가 예를 들면 510㎛ 정도인 사각형에 설치되어 있다. 또한, 인접하는 컬러 필터(16) 상호 간의 간격에 대해서는, 행 방향의 간격(T1)은 약 20㎛로 되어 있고, 열 방향의 간격(T2)은 약 40㎛로 되어 있다.
(액적 토출 장치)
다음으로, 본 실시예에 따른 액적 토출 장치(이하, 「토출 장치 」라 호칭함 )(100)에 대하여 설명한다.
도 3에 나타낸 바와 같이, 토출 장치(100)는 액체 재료(111)를 유지하는 탱크(101)와, 튜브(110)를 통하여 탱크(101)로부터 액체 재료(111)가 공급되는 토출 주사부(102)를 주체로 하여 구성되어 있다.
액체 재료(111)에는, 예를 들면 상술한 액정 장치(1)의 컬러 필터(16)의 적 색층(16R)을 구성하는 재료(이하, 「적색의 액체 재료」라 함)(111R)와, 녹색층(16G)을 구성하는 재료(이하, 「녹색의 액체 재료」라 함)(111G)와, 청색층(16B)을 구성하는 재료(이하, 「청색의 액체 재료」라 함)(111B)의 3종류가 있다.
탱크(101)는 적색의 액체 재료(111R)를 유지하는 적색 재료 탱크(101R)와, 녹색의 액체 재료(111G)를 유지하는 녹색 재료 탱크(101G)와, 청색의 액체 재료(111B)를 유지하는 청색 재료 탱크(101B)를 갖고 있어, 상기 3종류의 액체 재료(111)(111R, 111G, 111B)를 개별적으로 유지하도록 되어 있다. 각 탱크(101)에는, 예를 들면 도시하지 않은 압력 펌프가 부착되어 있다. 상기 압력 펌프가 구동하여 탱크(101) 내부에 압력을 가함으로써 액체 재료(111)가 탱크(101) 내로부터 토출 주사부(102)에 공급되도록 되어 있다.
여기에서, 적색의 액체 재료(111R)로서는, 예를 들면 폴리우레탄 올리고머에 적색의 무기 안료(예를 들면, 적색 산화철(III)이나 카드뮴 빨강 등)를 분산시킨 후, 용제로서 부틸카르비톨 아세테이트를 가하고, 비이온(non-ionic)계 계면 활성제를 분산제로서 더욱 첨가하고, 점도를 소정의 범위로 조정한 용액이 이용되고 있다.
또한, 녹색의 액체 재료(111G)로서는, 예를 들면 폴리우레탄 올리고머에 녹색의 무기 안료(예를 들면, 산화크롬 초록이나 코발트 초록 등)를 분산시킨 후, 용제로서 시클로헥사논 및 아세트산 부틸을 가하고, 비이온계 계면 활성제를 분산제로서 첨가하고, 점도를 소정의 범위로 조정한 용액이 이용되고 있다.
또한, 청색의 액체 재료(111B)로서는, 예를 들면 폴리우레탄 올리고머에 청 색의 무기 안료(예를 들면, 군청이나 감청 등)를 분산시킨 후, 용제로서 부틸카르비톨 아세테이트를 가하고, 비이온계 계면 활성제를 분산제로서 첨가하고, 점도를 소정의 범위로 조정한 용액이 이용되고 있다.
토출 주사부(102)는 복수의 헤드(114)(도 4 참조)를 유지하는 캐리지(103)와 캐리지(103)의 위치를 제어하는 캐리지 위치 제어 장치(104)와, 컬러 필터측 머더 기판을 구성하는 기체(10A)를 유지하는 스테이지(106)와, 스테이지(106)의 위치를 제어하는 스테이지 위치 제어 장치(108)와, 제어부(112)를 갖고 있다. 또한, 실제로, 토출 장치(100)에는 복수(예를 들면, 10개)의 캐리지(103)가 설치되어 있다. 도 3에서는 간단한 설명을 위하여, 1개의 캐리지(103)를 도시하여 설명하기로 했다.
캐리지 위치 제어 장치(104)는 제어부(112)로부터의 신호에 따라, 캐리지(103)를 X축 방향 또는 Z축 방향을 따라 이동시키도록 되어 있다. 스테이지 위치 제어 장치(108)는 제어부(112)로부터의 신호에 따라, Y축 방향을 따라 스테이지(106)를 이동시키도록 되어 있다.
상술한 바와 같이, 캐리지(103)는 캐리지 위치 제어 장치(104)의 제어에 의해 X축 방향으로 이동하도록 되어 있다. 한편, 스테이지(106)는 스테이지 위치 제어 장치(108)의 제어에 의해 Y축 방향으로 이동하도록 되어 있다. 즉, 캐리지 위치 제어 장치(104) 및 스테이지 위치 제어 장치(108)에 의해 스테이지(106)에 대한 헤드(114)의 상대 위치가 변하도록 되어 있다.
즉, 캐리지(103) 및 스테이지(106) 중 양쪽 또는 어느 한쪽을 이동시킴으로 써 캐리지(103)가 스테이지(106)(또는, 스테이지(106)에 유지되는 기체(10A))를 주사할 수 있도록 되어 있다. 이하, 본 실시예에서는 캐리지(103)를 정지시키고, 스테이지(106)를 이동시킴으로써 주사를 행할 경우에 대하여 설명한다.
도 4는 1개의 캐리지(103)를 스테이지(106)측으로부터 관찰한 도면이며, 도 4에서 지면에 수직한 방향이 Z축 방향이다. 또한, 도 4에서 지면의 좌우 방향이 X축 방향이며, 지면의 상하 방향이 Y축 방향이다.
도 4에 나타낸 바와 같이, 캐리지(103)는 각각 거의 같은 구조를 갖는 복수의 헤드(114)를 유지하고 있다. 헤드(114)에는 액체 재료(111) 중 적색의 액체 재료(111R)를 토출하는 헤드(114R), 녹색의 액체 재료(111G)를 토출하는 헤드(114G), 청색의 액체 재료(111B)를 토출하는 헤드(114B)의 3종류가 있다.
캐리지(103)에는 헤드 그룹(114P)이 2곳에 설치되어 있다. 각 헤드 그룹(114P)에는 헤드 (114R), 헤드 (114G), 헤드 (114B)가 각각 2개씩, Y축 방향에 직선 모양으로 설치되어 있다. 따라서, 1개의 캐리지(103)에서는 헤드 (114R), 헤드 (114G), 헤드 (114B)가 각각 4개씩 설치되어 있어, 헤드(114)는 총 12개 설치되어 있게 된다.
도 5는 헤드(114)의 저면(114a)을 나타낸 도면이다. 저면(114a)의 형상은 대향하는 2개의 긴 변 및 대향하는 2개의 짧은 변을 갖는 사각형이다. 상기 저면(114a)은 스테이지(106)측(도면에서 Z축 방향)을 향하고 있다. 헤드(114)의 긴 변 방향과 도면에서 X축 방향, 또한 헤드(114)의 짧은 변 방향과 도면에서 Y축 방향에 대해서는, 각각 평행하게 되어 있다.
또한, 상기 저면(114a)에는 노즐(118)이 X축 방향에 예를 들면 90개씩, 2열(노즐 열 (116A)과 노즐 열 (116B))로 배치되어 있다. 또한, 각 노즐(118)의 노즐 지름(r)은 약 30㎛로 되어 있다. 노즐 열 (116A)측의 노즐(118) 및 노즐 열 (116B)측의 노즐(118)은 각각 각 열에서 소정의 노즐 피치 LNP(LNP: 약 140㎛)로 배치되어 있다.
또한, 노즐 열 (116B)의 각 노즐(118)의 위치가 노즐 열 (116A)의 각 노즐(118) 위치에 대하여, 노즐 피치 LNP의 반 정도의 길이(약 70㎛)만큼 X축 방향의 마이너스 방향(도 5에서 하방)으로 벗어나도록 배치되어 있다. 또한, 헤드(114)에 설치되는 노즐 열은 2열이 아니어도 좋다. 예를 들면, 3열, 4열, … M열(M은 자연수)로 열 수를 증가해도 좋고, 또는 1열이어도 상관없다.
노즐 열 (116A) 및 노즐 열 (116B)의 각각이 90개의 노즐로 이루어지기 때문에, 1개 헤드(114)에는 180개의 노즐이 설치되어 있다. 다만, 노즐 열 (116A)의 양단으로부터 5번째까지의 노즐은 액체 재료(111)가 토출되지 않도록 되어 있다(정지 노즐: 도 5에서 파선으로 둘러싸인 부분).
마찬가지로, 노즐 열 (116B)의 양단으로부터 5번째까지의 노즐도 액체 재료(111)가 토출되지 않는 정지 노즐로 되어 있다(도 5에서 파선으로 둘러싸인 부분). 이 때문에, 헤드(114)에서의 180개의 노즐(118) 중, 양단의 20개의 노즐을 제외한 160개의 노즐(118)이 액체 재료(111)를 토출하도록 되어 있다(토출 노즐).
본 명세서에서는 노즐 열 (116A)에 포함되는 90개의 노즐(118) 중, 도면에서 상단으로부터 6번째의 노즐(118)을 헤드(114)의 「기준 노즐(118R)」이라 표기한 다. 즉, 노즐 열 (116A)에서의 80개의 토출 노즐 중, 도면에서 최상부에 위치하는 토출 노즐이 헤드(114)의 「기준 노즐(118R)」이다. 또한, 모든 헤드(114)에 대하여, 「기준 노즐(118R)」의 지정의 방법이 같으면 좋으므로, 「기준 노즐(118R)」의 위치는 상기 위치가 아니어도 좋다.
다음으로, 헤드(114)의 내부 구성을 설명한다. 도 6의 (a) 및 도 6의 (b)에 나타낸 바와 같이, 각각의 헤드(114)는 잉크젯 헤드이다. 보다 구체적으로는, 각각의 헤드(114)는 진동판(126)과 노즐 플레이트(128)를 구비하고 있다. 진동판(126)과 노즐 플레이트(128) 사이에는 탱크(101)로부터 홀(hole)(131)을 통하여 공급되는 액체 재료(111)가 항상 충전되는 액 저장실(129)이 설치되어 있다.
또한, 진동판(126)과 노즐 플레이트(128) 사이에는 복수의 격벽(122)이 설치되어 있다. 그리고, 진동판(126)과 노즐 플레이트(128)와 1대의 격벽(122)으로 둘러싸인 부분이 캐비티(120)이다. 캐비티(120)는 노즐(118)마다 설치되어 있어, 캐비티(120)의 수와 노즐(118)의 수는 같다. 캐비티(120)에는 1대의 격벽(122) 사이에 설치된 공급구(130)를 통하여, 액 저장실(129)로부터 액체 재료(111)가 공급된다.
진동판(126) 위에는 각각의 캐비티(120)에 대응하여 진동자(124)가 위치한다. 진동자(124)는 피에조 소자(124C)와, 피에조 소자(124C)를 끼운 한 쌍의 전극(124A, 124B)을 갖고 있다. 이 한 쌍의 전극(124A, 124B) 사이에 구동 전압을 줌으로써, 대응하는 노즐(118)로부터 액체 재료(111)가 토출된다. 또한, 노즐(118)로부터 Z축 방향으로 액상의 재료가 토출되도록, 노즐(118)의 형상이 조정되어 있 다. 또한, 피에조 소자 대신에 전기열 변환 소자를 가져도 좋다. 즉, 전기열 변환 소자에 의한 재료의 열팽창을 이용해서 액체 재료(111)를 토출하는 구성을 갖고 있어도 좋다.
다음으로, 제어부(112)의 구성을 설명한다. 도 7은 제어부(112)의 구성을 나타내는 블록도이다.
제어부(112)는 액체 재료(111)를 토출하는 타이밍이나, 캐리지(103)의 고정 위치, 스테이지(106)의 이동(이동 속도, 이동 거리 등) 등, 토출 장치(100)의 동작에 관해서 통괄하여 제어하는 부위이다.
도 7에 나타낸 바와 같이, 제어부(112)는 입력 버퍼 메모리(201)와 기억 수단(202), 처리부(204), 주사 구동부(206), 헤드 구동부(208)를 구비하고 있고, 각 부분끼리 통신 가능하게 접속되어 있다.
입력 버퍼 메모리(201)는 외부에 접속되는 예를 들면 정보 처리 장치 등으로부터 액체 재료(111)의 액적 토출을 행하기 위한 토출 데이터를 받는다. 입력 버퍼 메모리(201)는 토출 데이터를 처리부(204)에 공급하고, 처리부(204)는 토출 데이터를 기억 수단(202)에 저장한다. 기억 수단(202)으로서는, 예를 들면 RAM 등이 이용되고 있다.
처리부(204)는 기억 수단(202) 내에 저장된 토출 데이터에 액세스하고, 상기 토출 데이터를 기초로 하여 주사 구동부(206) 및 헤드 구동부(208)에 필요한 구동 신호를 공급한다.
주사 구동부(206)는 이 구동 신호에 의거하여 캐리지 위치 제어 장치(104) 및 스테이지 위치 제어 장치(108)에 소정의 제어 신호를 공급한다. 또한, 헤드 구동부(208)는 구동 신호에 의거하여 각 헤드(114)에 액체 재료(111)를 토출하는 토출 신호를 공급한다.
헤드 구동부(208)는 도 8의 (a)에 나타낸 바와 같이, 1개 구동 신호 생성부(203)와 복수의 아날로그 스위치(AS)를 갖고 있다. 아날로그 스위치(AS)는 헤드(114) 내의 진동자(124)에 접속되어 있다(구체적으로는, 전극(124A)에 접속되어 있음. 다만, 전극(124A)은 도 8의 (a)에는 나타나 있지 않음.). 상기 아날로그 스위치(AS)는 노즐(118)에 각각 대응하도록 설치되어 있고, 노즐(118)의 개수와 같은 수가 설치되어 있다.
구동 신호 생성부(203)는 도 8의 (b)에 나타낸 바와 같은 구동 신호(DS)를 생성한다. 구동 신호(DS)는 아날로그 스위치(AS)의 각각의 입력 단자에 독립하여 공급된다. 구동 신호(DS)의 전위는 기준 전위(V)에 대하여 시간적으로 변화한다. 즉, 구동 신호(DS)는 복수의 토출 파형(P)이 토출 주기(EP)로 반복되는 신호이다. 토출 주기(EP)는, 예를 들면 처리부(204)에 의하여 원하는 값으로 조절되도록 되어 있다. 이 토출 주기(EP)를 적절하게 조절함으로써, 복수의 노즐(118)로부터 소정의 순서로 액체 재료(111)가 토출되도록 토출 신호를 생성할 수 있다. 이렇게, 토출 타이밍을 제어할 수 있도록 되어 있다.
또한, 제어부(112)는 노즐(118)로부터 토출되는 액체 재료(111)의 체적을 제어하는 것도 가능하다. 상기 액체 재료(111)의 체적의 제어는 각 노즐(118)에서 개별적으로 제어할 수 있도록 되어 있다. 각 노즐(118)로부터 토출되는 액체 재료 (111)의 체적에 대해서는, 0pl∼42pl(피코 리터) 사이에서 가변이다.
또한, 제어부(112)는 CPU, ROM, RAM을 포함한 컴퓨터여도 좋다. 이 경우에는, 제어부(112)의 상기 기능은 컴퓨터로 실행되는 소프트웨어 프로그램에 의해 실현시킨다. 물론, 제어부(112)는 전용의 회로(하드웨어)에 의해 실현시켜도 좋다.
(액정 장치의 제조 방법(액적 토출 방법))
다음으로, 이렇게 구성된 액정 장치(1)의 제조 공정에 대하여 설명한다.
본 실시예에서는 대면적의 머더 기판을 이용하여 복수의 액정 장치를 일괄해서 형성하고, 절단에 의해 개개의 액정 장치(1)로 분리하는 방법을 예로 들어 설명한다.
우선, 컬러 필터측 머더 기판의 형성 공정에 대해서 간단하게 설명한다.
토출 장치(100)의 스테이지(106)에 기체(基體)(10A)를 유지시킨다. 상기 기체(10A)에는 컬러 필터(16)의 각 층을 유지하는 피토출부(18)(18R, 18G, 18B: 도 9 등 참조)가 매트릭스 모양으로 형성되어 있다. 피토출부 (18R)에는 적색층(16R)이 유지되고, 피토출부 (18G)에는 녹색층(16G)이 유지되고, 피토출부 (18B)에는 청색층(16B)이 유지된다. 또한, 기체(10A)를 스테이지(106)에 유지하는 때에는, 기체(10A)의 짧은 변 방향이 X축 방향에 일치하고, 긴 변 방향이 Y축 방향에 일치하도록 위치를 조절한다.
이 상태에서, 도 9에 나타낸 바와 같이, 스테이지(106)를 도면의 좌측으로부터 우측으로 이동시킨다. 캐리지(103)는 이와는 반대 방향, 즉, 도면의 우측으로부터 좌측으로 기체(10A) 위를 주사한다. 이때, 캐리지(103)가 기체(10A) 위를 주 사하면서, 각 헤드(114)로부터는 액체 재료(111)의 액적이 각 피토출부(18)에 토출된다.
예를 들면, 상기 주사에서는, 도 9에 나타낸 바와 같이, 도면에서 맨 위의 행의 각 피토출부(18)에 적색의 액체 재료(111R1), 녹색의 액체 재료(111G1), 청색의 액체 재료(111B1)의 액적이 토출된다. 이때, 복수 행에 걸쳐 설치되어 있는 피토출부(18) 중 어느 행에 액체 재료(111)(111R1, 111G1, 111B1)의 액적을 토출할지는 적절하게 설정할 수 있다.
다음으로, 도 10에 나타낸 바와 같이, 스테이지(106)를 도면에서 우측으로부터 좌측으로 이동시킨다. 캐리지(103)는 도 9에 나타낸 주사와는 반대 방향, 즉, 도면에서 좌측으로부터 우측으로 기체(10A)의 영역(W)을 주사한다. 이때, 캐리지(103)가 기체(10A)를 주사하면서, 각 헤드(114)로부터 액체 재료(111)의 액적을 토출한다.
이 주사에서는 액체 재료(111)의 액적이 아직 토출되어 있지 않은 피토출부(18)에 액체 재료(111)를 토출한다. 예를 들면, 도 10에 나타낸 바와 같이, 도 9에 나타낸 주사를 할 때에 액체 재료(111)가 토출되지 않았던 도면에서 위에서 2행째의 각 피토출부(18)에 적색의 액체 재료(111R1), 녹색의 액체 재료(111G1), 청색의 액체 재료(111B1)의 액적을 토출한다. 복수 행에 걸쳐 설치되어 있는 피토출부(18) 중, 액체 재료(111)(111R1, 111G1, 111B1)가 토출되지 않은 피토출부(18)의 행 을 선택하면서 액체 재료(111)의 액적을 토출하고, 각 피토출부(18)에 액체 재료(111)가 총 1회씩 토출될 때까지 주사를 반복한다.
이상의 주사에서는, 각 피토출부(18)의 일부분에 액체 재료(111)를 토출한 것에 지나지 않고, 컬러 필터(16)의 적색층(16R), 녹색층(16G), 청색층(16B)을 형성하기에는 액체 재료(111)의 체적이 부족한 상태이다. 이 때문에, 이후의 주사에서는, 각 피토출부(18)에 대하여 충분한 액체 재료(111)를 추가 토출하는 주사를 행한다.
여기에서, 도 11을 참조하여 헤드(114)로부터 토출되는 액체 재료(111)가 착탄하는 피토출부(18) 위의 위치(착탄부)에 대하여 설명한다. 도 11은 액체 재료(111)의 착탄부를 나타내는 도면이다.
각 피토출부(18R, 18G, 18B)에는 착탄부(200R, 200G, 200B)가 예를 들면 각각 2열씩 3행으로 설정되어 있다. 헤드(114)로부터는 1개 피토출부(18)에 대해서, 1회째, 2회째, …, n회째의 구별에 상관없이, 항상 이 착탄부(200)의 위치에 액체 재료(111)가 착탄하도록 토출된다. 따라서 이후의 주사에서는, 1회째에 토출된 액체 재료(111) 위에, 새로운 액체 재료(111)가 더 토출된다.
이를 근거로 하여, 각 피토출부(18)(18R, 18G, 18B)에서의 2회째 이후의 토출 주사를 구체적으로 설명한다. 도 12에 나타낸 바와 같이, 스테이지(106)를 도면의 좌측으로부터 우측으로 이동시키고, 캐리지(103)는 도면의 우측으로부터 좌측으로 기체(10A) 위를 주사시키면서, 액체 재료(111)를 토출시킨다. 이 액체 재료(111)는 1회째의 토출과 같은 위치에 착탄한다. 즉, 도면에서 맨 윗줄의 각 피토 출부(18)에는 적색의 액체 재료(111R1)의 액적 위에 적색의 액체 재료(111R2)의 액적이, 녹색의 액체 재료(111G1)의 액적 위에 녹색의 액체 재료(111G2)의 액적이, 청색의 액체 재료(111B1)의 액적 위에 청색의 액체 재료(111B2)의 액적이 각각 착탄된다. 이하, 도면에서 위에서 2단째, 3단째, …의 주사에서, 같은 동작을 반복하고, 피토출부(18)에 충분한 액체 재료(111)가 토출될 때까지 상기 동작을 반복한다.
이 이후의 공정에 대해서는 간단하게 설명한다. 컬러 필터(16)가 형성된 기체(10A) 위에는 도시하지 않은 전극이나 배선 등을 형성하여 평탄화막을 형성한다. 또한, 기체(10A)의 표면에 갭(gap) 제어용의 도시하지 않은 스페이서 및 격벽을 형성한다. 이 기체(10A)에 형성된 배선이나 컬러 필터를 덮도록 배향막을 형성하고, 이 배향막에 대하여 러빙 처리를 실행한다. 배향막은 예를 들면 폴리이미드를 도포 또는 인쇄함으로써 형성할 수 있다. 또한, 에폭시 수지 등으로 이루어지는 밀봉 부재를 사각형 고리 모양으로 형성하고, 밀봉 부재로 둘러싸인 영역에 액정을 도포한다.
다음으로, 액티브 매트릭스측 머더 기판의 형성에 대해서는, 글라스나 플라스틱 등의 투광성 재료로 이루어지는 대형 기재(基材)에 배선, 전극 등을 형성하여 상기 배선, 전극 등이 형성된 영역에 평탄화막을 형성한다. 평탄화막을 형성한 후, 폴리이미드 등으로 이루어지는 배향막을 형성하고, 이 배향막에 대하여 러빙 처리를 실행한다.
다음으로, 컬러 필터측 머더 기판과 액티브 매트릭스측 머더 기판을 패널 모 양으로 접합시킨다. 양쪽 기판을 근접시켜 액티브 매트릭스측 머더 기판을 컬러 필터측 머더 기판 위의 밀봉 부재에 접착시키도록 한다. 그 후, 접착한 양쪽 머더 기판에 스크라이브 라인을 형성하고, 상기 스크라이브 라인을 따라 패널을 절단하고, 절단한 각 패널의 세정을 행하고, 각 패널에 구동 드라이브 등을 실장한다. 각 액정 패널의 외측 표면에 편광판을 점착하고, 백 라이트(41)를 부착하여 액정 장치(1)를 완성한다.
이렇게, 본 실시예에 의하면, 피토출부(18)가 매트릭스 모양으로 배열되어 있는 경우에, 액체 재료(111)의 액적을 토출하는 때에는 이미 토출된 액체 재료(111)의 착탄부(200) 중 매트릭스의 행 방향(예를 들면, 도 11에서 Y 방향) 및 열 방향(예를 들면, 도 11에서 X 방향)에 인접하는 착탄부(200) 사이의 영역을 피하도록 새로 토출하는 액체 재료(111)의 액적을 착탄시키므로, 상기 착탄부(200) 사이를 메우도록 액체 재료를 착탄시킬 때에 미세한 조절도 필요 없고, 액체 재료(111)의 액적을 착탄하는 위치의 조정이 매우 용이해지고, 액체 재료(111)의 막(컬러 필터(16)의 각 층)이 불균일하게 형성되는 것을 방지할 수도 있다.
또한, 본 실시예에서는 주사에 있어서, 새로 토출하는 액체 재료(111)에 대해서, 이미 토출된 액체 재료(111)의 액적의 착탄부(200)에 평면적으로 겹치는 위치에 착탄함으로써 매회의 토출에서 같은 위치에 토출해도 좋기 때문에, 액체 재료(111)의 토출 위치의 조절이 용이해진다.
<제 2 실시예>
다음으로, 본 발명의 제 2 실시예를 설명한다. 제 1 실시예와 마찬가지로, 이하의 도면에서는 각 부재를 인식 가능한 크기로 하기 위해서, 축척을 적절하게 변경하고 있다. 또한, 제 1 실시예와 동일한 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 붙이고 그 설명을 생략한다. 본 실시예에서는 액체 재료(111)의 액적을 토출하는 방법이 제 1 실시예와 다르기 때문에, 이러한 점을 중심으로 설명한다. 또한, 본 실시예에서는 제 1 실시예와 마찬가지로, 대면적의 머더 기판을 이용하여 복수의 액정 장치를 일괄해서 형성하고, 절단에 의해 개개의 액정 장치(1)로 분리하는 방법을 예로 들어서 설명한다.
제 1 실시예와 같은 공정에 의해, 토출 장치(100)의 스테이지(106)에 기체(10A)를 유지시켜, 기체(10A)의 짧은 변 방향이 X축 방향에 일치하고, 긴 변 방향이 Y축 방향에 일치하도록 위치를 조절한다. 이 상태에서, 제 1 실시예와 같은 방법으로 헤드(114)를 주사시켜, 도 13에 나타낸 바와 같이 각 피토출부(18)에 1회씩 액체 재료(111)(적색의 액체 재료(111R1), 녹색의 액체 재료(111G1), 청색의 액체 재료(111B1))를 토출시킨다.
여기에서, 도 14를 기초로 하여, 본 실시예에서 액체 재료(111)의 착탄 위치 에 대하여 설명한다. 도 14는 헤드(114)로부터 토출된 액체 재료(111)가 착탄되는 피토출부(18) 위의 위치를 나타내는 도면이다.
각 피토출부(18)에는, 예를 들면 착탄부(200)(착탄부(200A), 착탄부(200B), 착탄부(200C) 및 착탄부(200D))가 설정되어 있다. 각 착탄부(200)는 각각 2열씩 3행으로 설정되어 있고, 행 방향(Y 방향) 및 열 방향(X 방향)에 인접하고 있다. 헤 드(114)로부터는 1개의 피토출부(18)에 대해서 1회째 착탄할 때에는 착탄부(200A)에, 2회째 착탄하는 경우는 착탄부(200B)에, 3회째는 착탄부(200C)에, 4회째는 착탄부(200D)에 액체 재료(111)가 착탄되도록 토출된다.
각 착탄부(200)를 배치하는 때에는 착탄부(200A)의 중심끼리, 착탄부(200B)의 중심끼리, 착탄부(200C)의 중심끼리, 착탄부(200D)의 중심끼리를 각각 연결할 수 있는 X 방향 및 Y 방향의 가상선(도면에서 일점 쇄선으로 나타냄)을 상정하고, 다른 착탄부의 중심이 각 직선을 피하도록, 즉, 다른 착탄부의 중심이 각 직선과 겹치지 않도록, 묘사된 직선에 대하여 벗어나는 위치에 착탄부(200A)∼착탄부(200D)를 배치한다. 여기에서, 「다른 착탄부」란, 예를 들면 착탄부(200A)를 기준으로 하면, 착탄부(200A) 이외의 착탄부, 즉, 착탄부(200B), 착탄부(200C) 및 착탄부(200D)가 다른 착탄부이다. 착탄부(200B), 착탄부(200C), 착탄부(200D)에 대해서도 마찬가지이다.
도 14에서 구체적으로 설명하면, 착탄부(200B)는 착탄부(200A)의 중심끼리를 연결한 X 방향의 각 직선에 겹치지 않도록, 예를 들면 상기 직선보다도 도면에서 하측으로 벗어나서 배치되어 있는 동시에, Y 방향의 각 직선에도 겹치지 않도록 상기 직선에 대하여 도면에서 우측으로 벗어나 배치되어 있다.
착탄부(200C)는 착탄부(200A)의 중심끼리 및 착탄부(200B)의 중심끼리를 연결한 X 방향의 각 직선에 겹치지 않도록, 예를 들면 도면에서 착탄부(200A)의 직선의 하측에 있고, 도면에서 착탄부(200B)의 상측으로 벗어나서 배치되어 있고, 동시에 Y 방향의 각 직선에도 겹치지 않도록, 예를 들면 착탄부(200A) 및 착탄부(200B) 의 직선이 도면의 우측으로 벗어나서 배치되어 있다.
또한, 착탄부(200D)는 착탄부(200A), 착탄부(200B) 및 착탄부(200C)의 중심끼리를 연결한 Y 방향의 각 직선에 겹치지 않도록, 예를 들면 도면에서 착탄부(200A), 착탄부(200B) 및 착탄부(200C)의 직선의 좌측으로 벗어나서 배치되어 있는 동시에 Y 방향의 직선에도 겹치지 않도록, 예를 들면 도면에서 착탄부(200A), 착탄부(200B) 및 착탄부(200C)의 직선의 하측으로 벗어나서 배치되어 있다.
이렇게, 다른 종류의 착탄부(200)의 중심이, 동일한 종류의 착탄부(200)의 중심끼리를 연결한 직선에 대하여 벗어나도록 배치되어 있다. 또한, 착탄부(200D)에서는, 3행 중의 맨 아래의 행(도면에서 파선으로 나타냄)이 피토출부(18)의 경계 내에 들어가지 않는다. 이러한 경우, 착탄부(200D)의 맨 아래의 행에는 착탄시키지 않도록 한다.
이를 근거로 하면, 도 13에 나타내는 주사에서는, 액체 재료(111)의 액적이 각 피토출부(18)의 착탄부(200A)에 토출된 상태로 되어 있다. 이 상태로부터, 각 피토출부(18)에 대하여 2회째의 토출을 행하면, 도 15에 나타낸 바와 같이 액체 재료(111)(적색의 액체 재료(111R2), 녹색의 액체 재료(111G2), 청색의 액체 재료(111B2))의 액적이 각 피토출부(18)의 착탄부(200B)의 위치에 착탄되도록 토출된다.
또한, 도시를 생략하지만, 각 피토출부(18)에 대하여 3회째의 토출에서는 착탄부(200C)에, 4회째의 토출에서는 착탄부(200D)에 각각 액체 재료(111)의 액적이 착탄되도록 토출된다. 이후, 각 피토출부(18)에 충분한 액체 재료(111)가 토출될 때까지 이러한 주사를 반복한다. 이때, 상기 착탄부(200A)∼착탄부(200D)에 겹쳐서 토출해도 상관없다.
또한, 그 후의 컬러 필터측 머더 기판과 액티브 매트릭스측 머더 기판을 접합시켜서 액정 장치(1)를 구성할 때까지의 공정은 제 1 실시예와 같기 때문에 설명을 생략한다.
본 실시예에 의하면, 복수회의 토출 각각에서, 착탄부(200)가 예를 들면 도 14의 X 방향 및 Y 방향 중 적어도 한쪽에 인접하도록 액체 재료(111)의 액적을 착탄하고, 이 착탄부(200)의 중심부끼리를 연결하는 직선에 대하여 벗어난 위치에 액체 재료(111)의 액적을 새로 착탄시킴으로써, 액체 재료(111)의 액적을 피토출부(18) 전체에 걸쳐 착탄시키는 것이 가능해진다. 이에 따라, 피토출부(18)에 액체 재료(111)(적색의 액체 재료(111R), 녹색의 액체 재료(111G), 청색의 액체 재료(111B))를 평탄하게 형성할 수 있다.
(전자 기기)
다음으로, 본 발명에 따른 전자 기기에 대하여, 휴대 전화를 예로 들어서 설명한다.
도 16은 휴대 전화(300)의 전체 구성을 나타내는 사시도이다.
휴대 전화(300)는 케이스(301), 복수의 조작 버튼이 설치된 조작부(302), 화상이나 동영상, 문자 등을 표시하는 표시부(303)를 갖는다. 표시부(303)에는 본 발명에 따른 액정 장치(1)가 탑재된다.
이 액정 장치(1)는 전술한 바와 같이 액체 재료(111)의 액적이 착탄하는 위 치를 용이하게 조절할 수 있고, 액체 재료(111)의 막이 불균일하게 형성되는 것을 방지할 수 있는 액적 토출 방법에 의해 기능액의 액적이 토출되어서 형성되어 있기 때문에, 표시 불균일이 적고, 품질이 높다. 휴대 전화(300)는 이러한 액정 장치(1)를 탑재함으로써 표시 성능이 우수하게 되고 있다.
본 발명의 기술 범위는 상기 실시예에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에서 적절하게 변경을 가할 수 있다.
예를 들면, 본 발명을 액정 장치(1)의 컬러 필터 기판(3)에 컬러 필터(16)를 형성하는 경우의 예이지만, 이 예에 한정되는 것은 아니며, 예를 들면 본 발명을 유기 EL 장치용 기판에 유기층(발광층 등)을 형성하는 경우에도 적용할 수 있다.
본 발명에 의하면, 기능액이 착탄하는 위치를 용이하게 조절할 수 있고, 기능액의 막이 불균일하게 형성되는 것을 방지할 수 있는 액적 토출 방법, 전기 광학 장치 및 전자 기기를 제공할 수 있다.

Claims (6)

  1. 기판과 토출 헤드를 상대적으로 주사(走査)시키면서, 상기 기판 위의 복수의 피토출부에 기능액의 액적을 토출하는 액적 토출 방법으로서,
    상기 피토출부가 상기 기판 위에 매트릭스 모양으로 배열되어 있고,
    상기 각 피토출부에 상기 기능액의 액적을 복수회의 주사에 의한 토출을 행할 때에는, 각 주사 모두, 이미 상기 각 피토출부에 토출된 액적의 착탄부(着彈部)로부터 상기 매트릭스의 행 방향 및 열 방향 각각에 직선적으로 연장되는 영역을 피하도록, 새로 토출하는 액적을 착탄시키는 것을 특징으로 하는 액적 토출 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 피토출부 중 상기 이미 토출된 액적의 착탄부에 평면적으로 겹치는 위치에, 상기 새로 토출하는 액적을 착탄시키는 것을 특징으로 하는 액적 토출 방법.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 복수회의 주사에 의한 토출 각각에서, 상기 복수의 착탄부가 상기 매트릭스의 행 방향 및 열 방향 중 적어도 한 쪽에 배치되도록 상기 기능액의 액적을 토출하고,
    상기 복수의 착탄부의 중심부끼리를 연결하는 직선에 대하여 벗어난 위치에, 상기 새로 토출하는 액적을 착탄시키는 것을 특징으로 하는 액적 토출 방법.
  4. 제 1 항에 기재된 액적 토출 방법에 의해 상기 기능액이 토출된 기판을 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  5. 제 4 항에 기재된 전기 광학 장치를 탑재한 것을 특징으로 하는 전자 기기.
  6. 기판과 토출 헤드를 상대적으로 주사하면서, 상기 기판 위의 복수의 피토출부에 기능액의 액적을 토출하는 액적 토출 장치로서,
    상기 기판 위에 매트릭스 모양으로 배열된 상기 피토출부에 대하여 상기 기능액의 액적의 토출을 제어하는 처리부를 갖고,
    상기 처리부는 각 피토출부에 상기 기능액의 액적을 복수회의 주사에 의한 토출을 행할 때에는, 각 주사 모두, 이미 상기 각 피토출부에 토출된 액적의 착탄부로부터 상기 매트릭스의 행 방향 및 열 방향 각각에 직선적으로 연장되는 영역을 피하도록, 새로 착탄시키는 액적의 토출을 제어하는 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치.
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