CN115872734A - 一种ito废靶重制ito粉、高密度靶材及其制备方法 - Google Patents
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Abstract
本发明属于ITO靶材生产技术领域,公开了一种ITO废靶重制ITO粉、高密度靶材及其制备方法。将ITO废靶经破碎处理,600~700℃保温煅烧,过筛,将所得粉体与分散剂PVP和水加入到分散罐中,在剪切搅拌条件及超声条件下处理4~6h分散均匀,得到浆料;将所得浆料与粘结剂PVA和分散剂PEG混合均匀后球磨处理3~5h,得到球磨浆料;将球磨浆料通过干燥、筛分,得到水分为0.2~3%,平均粒径为50~130μm的重制ITO粉末。将ITO粉末经过等压和冷等静压处理后烧结,得到高密度ITO靶材。本发明ITO粉体制备过程中球磨时间短,分散性好,所得ITO靶材纯度和相对密度高。
Description
技术领域
本发明属于ITO靶材生产技术领域,具体涉及一种ITO废靶重制ITO粉、高密度靶材及其制备方法。
背景技术
ITO靶材是一种铟锡复合氧化物陶瓷材料,基于该靶材制备的半导体薄膜具有高电子迁移率、高透光率和低生长温度的优异特性,因此被广泛使用,年用量已超过1000吨;但由于技术限制,目前ITO旋转靶和平面靶利用率分别为75%和35%,大量的残靶和废靶无法正常使用;由于铟是一种宝贵的稀缺资源,必须做好铟的循环利用工作。
目前,针对废靶的回收方法主要有三种。第一种是通过湿法回收,将铟锡分离,得到粗铟后再重新制备ITO靶材,由于工序流程多,设备容易腐蚀,会产生废水,导致回收成本高;第二种是在超高温度条件下,将ITO废靶直接气化,冷凝后得到细颗粒的ITO粉末,CN102367519A利用等离子设备产生高温电弧,在3000~6000℃的高温作用下,得到平均粒径<100nm的ITO粉末;CN113387682A将靶材置于4000~5000℃的高温条件下气化,得到纯度4N,比表面6-8cm2/g的ITO粉;这种方法由于耗能大,设备昂贵以及生产时间长等原因,不利于大规模生产。第三种是通过挤压、球磨、气流破碎等物理破碎方式,将ITO靶材直接粉碎后重新制备ITO靶材,专利CN112079627A公开了一种由ITO废靶经过三级粉碎制粉并生产ITO靶材的制备方法,得到粒径小于200目的废靶材粉末,经过成型烧结后,得到的靶材相对密度大于99.7%。专利CN113149611A公开了一种ITO废靶坯回收制备的ITO粉末、靶材及其制备方法,将粉碎后的废靶坯热处理后,再进行球磨制浆,球磨30~60h后,得到颗粒粒径D50=50~200nm的ITO浆料,烧结得到的靶材相对密度可达99.79%。CN111632730A通过18~24h的振动球磨,将粒径小于10um的ITO粉末处理成100~500nm的ITO粉末;这种方法虽然简单,但得到的ITO粉末颗粒大小不均匀,破碎时间长,即使通过气流破碎,仍然无法直接用于高密度靶材的制备,且气流破碎产能低,不利于大规模废靶处理。因此,有必要提供一种新的方案,解决ITO靶材直接破碎时间过长和相对密度有待进一步提高的问题。
发明内容
针对以上现有技术存在的缺点和不足之处,本发明的首要目的在于提供一种ITO废靶重制ITO粉的制备方法。
本发明的另一目的在于提供一种采用上述重制ITO粉制备高密度靶材的方法。
本发明目的通过以下技术方案实现:
一种ITO废靶重制ITO粉的制备方法,包括如下制备步骤:
(1)将ITO废靶经破碎处理得到粉末,然后在600~700℃条件下保温煅烧,过筛,得到去除有机物后的粉体;
(2)将步骤(1)所得粉体与分散剂聚乙烯吡咯烷酮(PVP)和水加入到分散罐中,在剪切搅拌条件及超声条件下处理4~6h分散均匀,得到浆料;
(3)将步骤(2)所得浆料与粘结剂聚乙烯醇(PVA)和分散剂聚乙二醇(PEG)混合均匀后球磨处理3~5h,得到球磨浆料;
(4)将步骤(3)所得球磨浆料通过干燥、筛分,得到水分为0.2~3%,平均粒径为50~130μm的重制ITO粉末。
进一步地,步骤(1)中所述ITO废靶在使用前先清理表面异物,再依次经有机溶剂浸泡30~45min和纯水超声清洗,以及干燥预处理。
进一步地,步骤(1)中所述破碎处理是指依次经过颚式破碎机(粗破碎)和对辊式破碎机(细破碎)。
进一步地,步骤(1)中所述保温煅烧的时间为10~15h;所述过筛是指过120目筛网;所述去除有机物后的粉体碳含量<50ppm,粉末平均粒径60~90μm。
进一步地,步骤(2)中所述粉体与分散剂聚乙烯吡咯烷酮(PVP)和水的质量比为100:0.5~2:60~100。
进一步地,步骤(2)中所述分散罐装配高速剪切乳化机和双层盘式分散搅拌机,分别置于分散壁两端;分散罐底部外接循环管道,循环管道内置环状中空钕铁硼磁铁片,浆料从底部出料后,通过泵循环,重新打回至分散罐中;在分散罐中央部位插入超声波发生器。通过高速剪切分散、双层盘式分散搅拌机和超声波的共同分散下,极大加强了ITO破碎粉末的分散效果;同时,通过增加浆料外循环的方式,解决了ITO粉末在未完全分散前极易沉底的问题;在ITO浆料分散过程中,增加了强力钕铁硼除铁,提高了靶材纯度。
进一步地,步骤(2)中所述剪切搅拌条件是指经1500~3000r/min高速剪切乳化机乳化和300~800r/min搅拌机搅拌;所述超声频率20KHz,功率750~2400Kw。
进一步地,步骤(2)中所得浆料粒度分布为D50<0.25μm,D90<0.8μm,浆料的固含量为45~70%。合理的控制浆料的固含量在45~70%,过低的固含量,导致球磨时间过长;过高的固含量,会导致浆料分散效果差,ITO粉末在未完全分散前就已经沉降。
进一步地,步骤(3)中所述浆料与粘结剂聚乙烯醇(PVA)和分散剂聚乙二醇(PEG)混合的质量比为100:5~10:0.1~0.4。
进一步地,步骤(3)中所得球磨浆料的pH=8~10,pH过低会导致添加剂离解程度降低,颗粒团聚甚至沉降;pH过高导致分散剂的吸附形态发生改变,导致分散效果变差。
进一步地,步骤(3)中所得球磨浆料的粒度分布为D50<0.20μm,D90<0.5μm。
进一步地,步骤(3)中所得球磨浆料加入到内径25cm的比色管中,用塑料薄膜密封,在重力作用下沉降,以沉降高度与浆料总高度的比值(RSH)表征浆料分散稳定性,48小时内RSH<5%。
一种采用上述重制ITO粉制备高密度靶材的方法,包括如下制备步骤:
将所得重制ITO粉末经过等压和冷等静压处理,得到ITO靶坯;将所得ITO靶坯放置在烧结炉中,在炉内通入氧化气氛,以0.05~0.1℃/min的速度升温至100℃,除去靶材中的水分;再以0.5~2℃的速率升温至400~500℃,保温3~5h,除去靶材中的有机物;继续以2~4℃的速率升温至1400~1550℃,保温10~20h,保温结束后随炉冷却至室温,得到高密度ITO靶材。
进一步地,所述等压处理的液压压力为20~40Mpa,用时1~3min;冷等静压处理的压力为200~400Mpa,用时1~30min。
进一步地,所述氧化气氛的氧分压为50%~80%。
进一步地,所述高密度ITO靶材的相对密度为99.85%以上。
与现有技术相比,本发明的有益效果是:
(1)目前通过气化或者机械破碎等方式得到的ITO粉由于颗粒大小不均匀,并不能直接用于靶材的制备,通常需要再进行球磨制浆和喷雾造粒的过程,由于ITO粉末是一种硬度较高的复合氧化物,因此在球磨制浆的过程中需要18~60h;本发明创新的将高速剪切分散(1500~3000r/min高速剪切乳化机乳化)和超声分散(超声频率20KHz,功率750~2400Kw)的作用和普通的搅拌分散(300~800r/min搅拌机搅拌)结合在一起,通过优选最佳的超声频率和乳化转速,有效的缩短了ITO粉末的破碎分散时间。通过机械破碎后的ITO粉末,仅通过4~6h超声乳化和3~5h的球磨,即可完成ITO浆料的制备,相比现有技术所需的球磨时间30~60h,生产周期大大缩短。
(2)本发明通过在ITO浆料分散过程中,增加了强力钕铁硼除铁,提高了靶材纯度,产品纯度最高可达到4.5N。
(3)通过控制浆料固含量为45~70%和pH=8~10,增加了浆料分散稳定性,提升了浆料研磨效率。
(4)制备靶材过程中采用缓慢的升温速率(0.05~0.1℃/min),从室温升至100℃,除去ITO粉末中的水分,防止水分在蒸发过程中使得靶材开裂。靶材稳定性好,不易裂靶。
附图说明
图1为本发明实施例1所得ITO浆料的PSD图;
图2为本发明实施例1所得ITO粉末的微观形貌图;
图3为本发明实施例1所得ITO靶材的SEM图。
具体实施方式
下面结合实施例及附图对本发明作进一步详细的描述,但本发明的实施方式不限于此。
实施例1
(1)取清理完表面异物的100kg ITO靶材,用有机溶剂浸泡35min,随后在纯水中超声清洗,再在烘箱80℃中干燥,得到预处理废靶。
(2)将预处理废靶依次经过颚式破碎机(粗破碎)和对辊式破碎机(细破碎),得到粉末A;将粉末A在650℃条件下保温煅烧12h,再过120目筛网后,得到粉末B,所述粉末B的碳含量36ppm,粉末平均粒径80μm。
(3)按照质量比粉末B:分散剂聚乙烯吡咯烷酮(PVP):水=100:1.0:80准备物料;预先向分散罐中依次加入水、PVP;所述分散罐装配高速剪切乳化机和双层盘式分散搅拌机,分别置于分散壁两端;分散罐配有直流挡板,用于加强浆料竖直方向上的搅动;分散罐底部外接循环管道,部分管道内置环状中空钕铁硼磁铁片(牌号:N52),浆料从底部出料后,通过泵循环,重新打回至分散罐中。
(4)在分散罐中央部位插入超声波发生器,频率20KHz,功率1200Kw。
(5)打开底部出料阀,通过真空泵控制浆料循环速度为10L/min;开启高速剪切乳化机和分散搅拌机,转速分别为2000r/min和500r/min。
(6)分散0.25h后,将粉末B以1kg/min加入到分散罐中(靠近分散搅拌机一侧);粉末加完后继续超声乳化5h,得到浆料D;所述浆料粒度分布D50=0.21μm,D90<0.69μm,浆料的固含量为52%。所得ITO浆料的PSD图如图1所示。
(7)将浆料D过筛200筛网,得到浆料E,将浆料E、粘结剂聚乙烯醇(PVA)和分散剂聚乙二醇(PEG)混合均匀后加入球磨机中球磨4h,所述浆料E、PVA和PEG的质量比为100:6:0.2;球磨后得到浆料F,所述浆料pH=9.2;粒度分布D50=0.17μm,D90=0.46μm;取样测试ITO浆料48h沉降速度,RSH=4.3%。
(8)将浆料F打入并流式喷雾干燥塔中进行造粒,再进行混料、筛分,得到水分为0.6%,平均粒径87.5μm的ITO粉末。所得ITO粉末的微观形貌图如图2所示。
(9)将所得ITO粉末经过等压和冷等静压处理,得到ITO靶坯;其中,等压液压压力为25Mpa,用时1min;冷等静压压力为300Mpa,用时25min。
(10)将所得ITO靶坯放置在烧结炉中,在炉内通入氧化气氛(氧分压在75%),以0.05℃/min的速度升温至100℃,除去靶材中的水分;再以1.5℃的速率升温至450℃,保温3h,除去靶材中的有机物;继续以3℃的速率升温至1520℃,保温15h,保温结束后随炉冷却至室温,得到靶材纯度99.995%,靶材相对密度99.87%。所得ITO靶材的SEM图如图3所示。
实施例2
(1)取清理完表面异物的100kg ITO靶材,用有机溶剂浸泡45min,随后在纯水中超声清洗,再在烘箱80℃中干燥,得到预处理废靶。
(2)将预处理废靶依次经过颚式破碎机(粗破碎)和对辊式破碎机(细破碎),得到粉末A;将粉末A在600℃条件下保温煅烧15h,再过120目筛网后,得到粉末B,所述粉末B的碳含量39ppm,粉末平均粒径65μm。
(3)按照质量比粉末B:分散剂聚乙烯吡咯烷酮(PVP):水=100:0.5:60准备物料;预先向分散罐中依次加入水、PVP;所述分散罐装配高速剪切乳化机和双层盘式分散搅拌机,分别置于分散壁两端;分散罐配有直流挡板,用于加强浆料竖直方向上的搅动;分散罐底部外接循环管道,部分管道内置环状中空钕铁硼磁铁片(牌号:N52),浆料从底部出料后,通过泵循环,重新打回至分散罐中。
(4)在分散罐中央部位插入超声波发生器,频率20KHz,功率800Kw。
(5)打开底部出料阀,通过真空泵控制浆料循环速度为10L/min;开启高速剪切乳化机和分散搅拌机,转速分别为1500r/min和800r/min。
(6)分散0.25h后,将粉末B以1kg/min加入到分散罐中(靠近分散搅拌机一侧);粉末加完后继续超声乳化4h,得到浆料D;所述浆料粒度分布D50=0.24μm,D90<0.71μm,浆料的固含量为62%。
(7)将浆料D过筛200筛网,得到浆料E,将浆料E、粘结剂聚乙烯醇(PVA)和分散剂聚乙二醇(PEG)混合均匀后加入球磨机中球磨5h,所述浆料E、PVA和PEG的质量比为100:5:0.4;球磨后得到浆料F,所述浆料pH=8.7;粒度分布D50=0.18μm,D90=0.48μm;取样测试ITO浆料48h沉降速度,RSH=4.5%。
(8)将浆料F打入并流式喷雾干燥塔中进行造粒,再进行混料、筛分,得到水分为0.5%,平均粒径88.7μm的ITO粉末。
(9)将所得ITO粉末经过等压和冷等静压处理,得到ITO靶坯;其中,等压液压压力为20Mpa,用时3min;冷等静压压力为200Mpa,用时30min。
(10)将所得ITO靶坯放置在烧结炉中,在炉内通入氧化气氛(氧分压在50%),以0.1℃/min的速度升温至100℃,除去靶材中的水分;再以0.5℃的速率升温至400℃,保温5h,除去靶材中的有机物;继续以2℃的速率升温至1400℃,保温20h,保温结束后随炉冷却至室温,得到靶材纯度99.995%,靶材相对密度99.90%。
实施例3
(1)取清理完表面异物的100kg ITO靶材,用有机溶剂浸泡30min,随后在纯水中超声清洗,再在烘箱80℃中干燥,得到预处理废靶。
(2)将预处理废靶依次经过颚式破碎机(粗破碎)和对辊式破碎机(细破碎),得到粉末A;将粉末A在700℃条件下保温煅烧10h,再过120目筛网后,得到粉末B,所述粉末B的碳含量34ppm,粉末平均粒径85μm。
(3)按照质量比粉末B:分散剂聚乙烯吡咯烷酮(PVP):水=100:2:100准备物料;预先向分散罐中依次加入水、PVP;所述分散罐装配高速剪切乳化机和双层盘式分散搅拌机,分别置于分散壁两端;分散罐配有直流挡板,用于加强浆料竖直方向上的搅动;分散罐底部外接循环管道,部分管道内置环状中空钕铁硼磁铁片(牌号:N52),浆料从底部出料后,通过泵循环,重新打回至分散罐中。
(4)在分散罐中央部位插入超声波发生器,频率20KHz,功率2400Kw。
(5)打开底部出料阀,通过真空泵控制浆料循环速度为10L/min;开启高速剪切乳化机和分散搅拌机,转速分别为3000r/min和300r/min。
(6)分散0.25h后,将粉末B以1kg/min加入到分散罐中(靠近分散搅拌机一侧);粉末加完后继续超声乳化6h,得到浆料D;所述浆料粒度分布D50=0.20μm,D90<0.62μm,浆料的固含量为49%。
(7)将浆料D过筛200筛网,得到浆料E,将浆料E、粘结剂聚乙烯醇(PVA)和分散剂聚乙二醇(PEG)混合均匀后加入球磨机中球磨3h,所述浆料E、PVA和PEG的质量比为100:10:0.1;球磨后得到浆料F,所述浆料pH=9.0;粒度分布D50=0.16μm,D90=0.44μm;取样测试ITO浆料48h沉降速度,RSH=4.2%。
(8)将浆料F打入并流式喷雾干燥塔中进行造粒,再进行混料、筛分,得到水分为0.4%,平均粒径85.2μm的ITO粉末。
(9)将所得ITO粉末经过等压和冷等静压处理,得到ITO靶坯;其中,等压液压压力为40Mpa,用时1min;冷等静压压力为400Mpa,用时10min。
(10)将所得ITO靶坯放置在烧结炉中,在炉内通入氧化气氛(氧分压在80%),以0.1℃/min的速度升温至100℃,除去靶材中的水分;再以2℃的速率升温至500℃,保温3h,除去靶材中的有机物;继续以4℃的速率升温至1550℃,保温10h,保温结束后随炉冷却至室温,得到靶材纯度99.995%,靶材相对密度99.87%。
上述实施例为本发明较佳的实施方式,但本发明的实施方式并不受上述实施例的限制,其它的任何未背离本发明的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化,均应为等效的置换方式,都包含在本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种ITO废靶重制ITO粉的制备方法,其特征在于,包括如下制备步骤:
(1)将ITO废靶经破碎处理得到粉末,然后在600~700℃条件下保温煅烧,过筛,得到去除有机物后的粉体;
(2)将步骤(1)所得粉体与分散剂PVP和水加入到分散罐中,在剪切搅拌条件及超声条件下处理4~6h分散均匀,得到浆料;
(3)将步骤(2)所得浆料与粘结剂PVA和分散剂PEG混合均匀后球磨处理3~5h,得到球磨浆料;
(4)将步骤(3)所得球磨浆料通过干燥、筛分,得到水分为0.2~3%,平均粒径为50~130μm的重制ITO粉末。
2.根据权利要求1所述的一种ITO废靶重制ITO粉的制备方法,其特征在于,步骤(1)中所述ITO废靶在使用前先清理表面异物,再依次经有机溶剂浸泡30~45min和纯水超声清洗,以及干燥预处理;所述破碎处理是指依次经过颚式破碎机和对辊式破碎机处理;所述保温煅烧的时间为10~15h;所述过筛是指过120目筛网;所述去除有机物后的粉体碳含量<50ppm,粉末平均粒径60~90μm。
3.根据权利要求1所述的一种ITO废靶重制ITO粉的制备方法,其特征在于,步骤(2)中所述粉体与分散剂PVP和水的质量比为100:0.5~2:60~100。
4.根据权利要求1所述的一种ITO废靶重制ITO粉的制备方法,其特征在于,步骤(2)中所述分散罐装配高速剪切乳化机和双层盘式分散搅拌机,分别置于分散壁两端;分散罐底部外接循环管道,循环管道内置环状中空钕铁硼磁铁片,浆料从底部出料后,通过泵循环,重新打回至分散罐中;在分散罐中央部位插入超声波发生器。
5.根据权利要求4所述的一种ITO废靶重制ITO粉的制备方法,其特征在于,步骤(2)中所述剪切搅拌条件是指经1500~3000r/min高速剪切乳化机乳化和300~800r/min搅拌机搅拌;所述超声频率20KHz,功率750~2400Kw。
6.根据权利要求1所述的一种ITO废靶重制ITO粉的制备方法,其特征在于,步骤(2)中所得浆料粒度分布为D50<0.25μm,D90<0.8μm,浆料的固含量为45~70%。
7.根据权利要求1所述的一种ITO废靶重制ITO粉的制备方法,其特征在于,步骤(3)中所述浆料与粘结剂PVA和分散剂PEG混合的质量比为100:5~10:0.1~0.4;所得球磨浆料的pH=8~10;粒度分布为D50<0.20μm,D90<0.5μm;分散稳定性测试48小时内RSH<5%。
8.一种采用权利要求1~7任一项所述的重制ITO粉制备高密度靶材的方法,其特征在于,包括如下制备步骤:
将所得重制ITO粉末经过等压和冷等静压处理,得到ITO靶坯;将所得ITO靶坯放置在烧结炉中,在炉内通入氧化气氛,以0.05~0.1℃/min的速度升温至100℃,除去靶材中的水分;再以0.5~2℃的速率升温至400~500℃,保温3~5h,除去靶材中的有机物;继续以2~4℃的速率升温至1400~1550℃,保温10~20h,保温结束后随炉冷却至室温,得到高密度ITO靶材。
9.根据权利要求8所述的一种采用重制ITO粉制备高密度靶材的方法,其特征在于,所述等压处理的液压压力为20~40Mpa,用时1~3min;冷等静压处理的压力为200~400Mpa,用时1~30min;所述氧化气氛的氧分压为50%~80%。
10.根据权利要求8所述的一种采用重制ITO粉制备高密度靶材的方法,其特征在于,所述高密度ITO靶材的相对密度为99.85%以上。
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