CN115667741A - 引导装置以及引导结构 - Google Patents

Abstract

引导装置具备：轨道构件；移动构件，其具有和轨道构件的滚动面形成负载滚行路的第一滚动面；以及衰减部，其设置于与轨道构件对置的移动构件的表面中的除了第一滚动面以外的至少一部分的第一区域。衰减部具有：板构件，其以覆盖第一区域的方式配置；以及收容空间，其为形成于该板构件的一方的表面与第一区域之间并收容衰减介质的空间，且该收容空间使该板构件能够相对于该第一区域位移。并且，衰减部以使板构件的另一方的表面在与移动构件对置的轨道构件的表面中的至少一部分的表面上滑动的方式设置于移动构件。

Description

引导装置以及引导结构

技术领域

本发明涉及对移动构件能够相对于轨道构件相对移动进行引导的技术。

背景技术

机床等的工作台引导机构通常构成为移动构件被引导为能够相对于导轨等轨道构件相对移动。该移动构件与工作台连结，从而在由机床进行的加工时能够进行配置于工作台上的工件的进给。在这样的加工时若从切削工具等对工件施加力则产生振动，其结果是存在加工精度降低的情况。于是，例如在专利文献1所记载的技术中，公开了在作为移动构件的滑动件设置利用供给到封闭空间的工作油调整相对于轨道构件接触的方向的吸振板的结构。在该结构中，在滑动件的移动中控制液压以使吸振板以比较小的摩擦力接触，并在停止时控制液压以产生相应的制动力。另外，在对滑动件施加了滚转、俯仰方向的外力的情况下，也能够利用工作油的粘性阻力等实现由外力引起的振动的衰减。

另外，在专利文献2公开了用于通过利用润滑油充满缓冲构件与轨道构件之间的间隙从而将振动衰减的技术。该缓冲构件配置于被在轨道构件配置的引导托架(移动构件)夹着的位置，且形成为能够与该引导托架同样地相对于轨道构件相对移动的滑动件。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本实公平06-20899号公报

专利文献2：日本特公平06-102288号公报

专利文献3：日本特公平03-31933号公报

发明内容

发明要解决的课题

已知有为了使轨道构件与移动构件之间的振动衰减而利用挤压油膜阻尼器(squeeze film damper)效果的技术。挤压油膜阻尼器效果能够通过在接近配置的两个平面间的间隙夹设流体而得到。详细而言，当在外力的作用下平面欲接近时，平面间的流体从间隙向外动作从而利用流体的粘性阻力产生速度差，因而，该速度差成为对外力的阻力，实现振动的抑制。

因此，为了利用挤压油膜阻尼器效果抑制振动，需要在平面间始终夹设流体。然而，在以往技术中，虽然在轨道构件与缓冲构件的间隙夹设润滑油，但是缓冲构件与引导托架一起相对于轨道构件滑动，因此润滑油难以稳定地留在间隙内，有时会由于润滑油不足而难以得到充分的振动衰减效果。

另外，在对被包括沿着长度方向延伸的轨道构件以及构成为能够相对于该轨道构件相对移动的至少两个移动构件的引导单元引导的工作台、配置于该工作台上的工件等作用有外力的情况下，容易产生以该工作台重心附近为中心的振动。这样产生的振动有可能会对针对工件的加工、其他作业精度带来不好的影响，应该适当除去。

本发明是鉴于上述的问题而完成的，其目的在于提供使轨道构件与移动构件之间的振动适当衰减的技术、或使在被包括轨道构件以及至少两个移动构件的引导单元引导的工作台产生的振动适当衰减的技术。

用于解决课题的方案

在本发明的第一方式的引导装置中，代替在移动构件与轨道构件之间直接配置用于振动衰减的衰减油等介质的结构，采用了如下结构：在移动构件的表面的一部分以保持衰减介质的方式配置板构件，且该板构件的其他部分相对于轨道构件滑动，从而实现振动的抑制。通过这样的结构，能够稳定地保持衰减介质并且维持移动构件与轨道构件的相对移动，因而能够实现适当的振动的抑制。

详细而言，本发明的第一方式的引导装置具备：轨道构件，其沿着长度方向延伸；移动构件，其具有和所述轨道构件的滚动面形成负载滚行路的第一滚动面，且能够借助配置于该负载滚行路的多个滚动体而沿着该轨道构件的长度方向相对于该轨道构件相对移动；以及衰减部，其设置于与所述轨道构件对置的所述移动构件的表面中的除了所述第一滚动面以外的至少一部分的第一区域。并且，所述衰减部具有：板构件，其以覆盖所述第一区域的方式配置；以及收容空间，其为形成于该板构件的一方的表面与所述第一区域之间并收容衰减介质的空间，且所述收容空间使该板构件能够相对于该第一区域位移，所述衰减部以使所述板构件的另一方的表面在与所述移动构件对置的所述轨道构件的表面中的至少一部分的表面上滑动的方式设置于所述移动构件。

另外，在本发明的第二方式的引导装置中，采用了在与工作台连结的移动构件中的位于最外侧的移动构件设置利用了衰减介质的衰减部的结构。通过这样的结构，在相对于工作台更远的位置配置衰减部，从而能够使在工作台产生的振动有效地衰减。

详细而言，本发明的第二方式的引导装置具有引导单元，所述引导单元包括沿着长度方向延伸的轨道构件以及构成为能够相对于该轨道构件相对移动的至少两个移动构件，且所述引导装置对与该至少两个移动构件连结的工作台沿该长度方向进行引导，其中，所述至少两个移动构件分别具有与所述轨道构件的滚动面一起形成负载滚行路的第一滚动面，且构成为能够借助配置于该负载滚行路的多个滚动体而沿着该轨道构件的长度方向相对移动。并且，在所述至少两个移动构件中的位于最外侧的两个外侧移动构件分别设置有衰减部，所述衰减部通过在该外侧移动构件的表面与所述轨道构件的表面对置的规定空间夹设衰减介质而构成。

发明效果

根据本发明的第一方式，能够使轨道构件与移动构件之间的振动适当衰减。另外，根据本发明的第二方式，能够使在被引导单元引导的工作台产生的振动适当衰减。

附图说明

图1是示出本发明的引导装置的外观的图。

图2是用于说明引导装置的滚动体的动作的图。

图3是示出与导轨延伸方向正交的面处的引导装置的截面的图。

图4是示出设置于引导装置的衰减部的结构的第一图。

图5是示出设置于引导装置的衰减部的结构的第二图。

图6是将引导装置的托架(移动构件)剖切而能够观察到与导轨对置的托架内侧的图。

图7是示出托架的主体的图。

图8是示出在托架的主体设置的衰减板的结构的图。

图9是示出托架的端板的图。

图10是示出在托架的端板设置的衰减板的结构的图。

图11示出沿着导轨延伸方向的面处的引导装置的截面。

图12是在一对导轨分别配置两台托架而构成的引导装置的俯视图。

图13是在一对导轨分别配置三台托架而构成的引导装置的俯视图。

具体实施方式

本发明的第一方式的引导装置构成为，具有轨道构件和移动构件，且轨道构件与移动构件能够沿着该轨道构件的长度方向相对移动。在轨道构件与移动构件之间形成有负载滚行路，在此配置有多个滚动体，从而一方的载荷被另一方支承并且实现轨道构件与移动构件的相对移动。并且，负载滚行路由滚动体与轨道构件接触的轨道构件的滚动面以及该滚动体与移动构件接触的移动构件的滚动面(第一滚动面)形成。即，第一滚动面是为了上述相对移动而支承负载所必需的移动构件的表面区域。

并且，该引导装置在与轨道构件对置的移动构件的表面中的除了第一滚动面以外的至少一部分的第一区域设置有衰减部。第一区域不是为了上述相对移动而支承负载所必需的移动构件的表面区域，衰减部利用该第一区域而配置。配置衰减部的第一区域能够设定于不影响负载支承的移动构件的表面的任意的部分。具体而言，在衰减部中，以覆盖第一区域的方式配置有板构件，并且在由板构件和第一区域划定的收容空间收容有衰减介质。作为该衰减介质，能够例示液体的油、润滑脂等。在此基础上，板构件构成为能够相对于第一区域位移，即，板构件与第一区域之间的分离距离在收容有衰减介质的状态下可变。需要说明的是，该分离距离是比较微小的距离，例如为20～30μm。

并且，衰减部以使板构件的表面中的未面向收容空间的另一方的表面在轨道构件的表面中的至少一部分的表面上滑动的方式配置于移动构件。即，在本发明的引导装置中，关于移动构件与轨道构件的相对移动，在两者滑动的边界面未配置衰减介质，而以内包于板构件与移动构件之间的形式配置衰减介质。因此，因相对移动引起的外力难以直接作用于衰减介质。

在这样构成的引导装置中，当对该引导装置作用外力并产生振动、且由于该振动而板构件与第一区域的分离距离缩小时，通过收容空间中的衰减介质的动作而得到挤压油膜阻尼器效果并产生针对振动的阻力。在该阻力的作用下振动衰减。另外，衰减介质收容于收容空间，在衰减部的板构件相对于第一区域位移时，也基本上维持衰减介质留在收容空间的状态，因此难以产生无益的衰减介质的漏出。因此，即使进行移动构件与轨道构件的相对移动也难以由于衰减介质的不足使挤压油膜阻尼器效果降低，能够稳定地维持振动的衰减效果。

本发明的第二方式的引导装置是利用相对于一个轨道构件包括至少两个移动构件的引导单元对工作台进行引导的装置。在引导单元中，一个轨道构件也可以包括3个以上的移动构件。该至少两个移动构件与工作台连结，从而工作台被支承为能够相对于轨道构件相对移动。具体而言，在轨道构件与各移动构件之间形成有负载滚行路，并在此配置有多个滚动体，从而一方的载荷被另一方支承并且实现轨道构件与各移动构件的相对移动。并且，负载滚行路由滚动体与轨道构件接触的轨道构件的滚动面以及该滚动体与移动构件接触的移动构件的滚动面(第一滚动面)形成。即，第一滚动面是为了上述相对移动而支承负载所必需的移动构件的表面区域。

并且，在该引导装置中，在至少两个移动构件中的位于最外侧的两个外侧移动构件设置有与该外侧移动构件成为一体而构成的衰减部。该衰减部通过在外侧移动构件的表面与轨道构件的表面对置的规定空间夹设衰减介质而构成。作为该衰减介质，能够例示液体的油、润滑脂等。通过该衰减部，衰减介质相对于在引导装置产生的振动产生阻力，实现该振动的衰减。例如，通过规定空间中的衰减介质的动作，在挤压油膜阻尼器效果的作用下，产生针对振动的阻力，因而实现振动的衰减。

另外，设置上述衰减部的外侧移动构件是至少两个移动构件中的位于最外侧的移动构件。这意味着将衰减部相对于与至少两个移动构件连结的工作台配置于尽可能远离工作台重心附近的位置。在此，在工作台刚性比较高的情况下，在对工作台、置于其上的工件等作用有外力时，存在产生以工作台重心附近为中心的旋转方向的振动的倾向。针对这样的振动，衰减部配置于尽可能远离工作台重心附近的位置，从而在衰减部的规定空间配置的衰减介质容易发挥作用，因此结果是在衰减介质的作用下该振动被有效地衰减。特别是，对于上述的挤压油膜阻尼器效果而言，作用于衰减介质的振动速度越大则对振动的阻力、压力越大，因此将衰减部远离工作台重心附近地配置是有助于挤压油膜阻尼器效果的提高的结构。

以下，基于附图对本发明的具体实施方式进行说明。本实施方式中记载的构成部件的尺寸、材质、形状、其相对配置等若无特殊记载，则并不旨在将发明的技术范围仅限定于此。

＜引导装置的结构＞

图1中示出引导装置1的外观。引导装置1具备导轨11(相当于本申请所说的“轨道构件”)以及能够沿着导轨11的长度方向相对移动地组装的托架12(相当于本申请所说的“移动构件”)。导轨11例如安装于机床等用户设备的基座，在托架12安装该用户设备的工作台25(参照图12)。包括工作台25的可动部的运动被引导装置1引导。需要说明的是，也能够将引导装置1上下反转，将托架12安装于用户设备的基座，并将导轨11安装于工作台25。另外，引导装置1也可以在导轨11的长度方向不水平而相对于水平面倾斜或正交的状态下使用。

需要说明的是，在本申请中，为了便于说明，将在水平面配置导轨11并从导轨11的长度方向观察时的方向、即图1所示的x轴设为前后方向、将y轴设为上下方向并将z轴设为左右方向来说明引导装置1的结构。当然，引导装置1的配置并不限于这样的配置。另外，图2表示引导装置1中的滚动体的动作，图3表示与导轨11的延伸方向正交的面(yz平面)处的引导装置的截面。

在导轨11的左右的导轨侧面11b分别设置有上下两条滚动面16b。另外，在导轨11的上方的导轨上表面11a沿着长度方向以适当的节距设置有通孔11c，通孔11c供用于将导轨11紧固于上述用户设备的基座的紧固构件通过。

托架12具有与导轨11的导轨上表面11a对置的中央部以及与导轨11的侧面对置的一对侧方部，且呈截面“コ”状。详细而言，托架12具备移动方向的中央的托架主体13(相当于本申请所说的“移动构件主体”)以及在托架主体13的移动方向的两端配置的一对端板14(相当于本申请所说的“端部构件”)。并且，托架主体13具有与导轨11的导轨上表面11a对置的中央部13a以及与导轨11的导轨侧面11b对置的一对侧方部13b，且呈截面“コ”状。并且，端板14也同样地具有与导轨11的导轨上表面11a对置的中央部14a(相当于本申请所说的“端部构件中央部”)以及与导轨11的导轨侧面11b对置的一对侧方部14b(相当于本申请所说的“端部构件侧方部”)，且呈截面“コ”状(参照图9)。各端板14被螺栓等紧固构件紧固于托架主体13。

并且，如图2以及图3所示那样，在托架主体13设置有与导轨11的四条滚动面16b对置的四条滚动面16a(相当于本申请所说的“第一滚动面”)。由该两滚动面16a、16b划定负载滚行路16。另外，在托架主体13中，与负载滚行路16平行地并且在托架主体13的内部设置有返回路17。另外，在各端板14设置有将负载滚行路16与返回路17相连的U状的方向转换路18。方向转换路18的内周侧由与托架主体13一体的截面半圆状的内周部19构成。由导轨11的滚动面16b与托架主体13的滚动面16a之间的负载滚行路16、一对方向转换路18、返回路17构成履带状的循环路。在循环路收容有多个滚子15(相当于本申请所说的“滚动体”)。当托架12相对于导轨11相对移动时，夹设于它们之间的滚子15在负载滚行路16中滚动。存在于负载滚行路16的滚子15承受托架12与导轨11之间的载荷。因此，对滚动面16a、16b施加该载荷。另外，滚动到负载滚行路16的一端的滚子15被导入到一方的方向转换路18，并经由返回路17、另一方的方向转换路18而返回负载滚行路16的另一端。对存在于返回路17以及方向转换路18的滚子15基本上不被施加上述载荷。

＜衰减部30的结构>

在此，在引导装置1中，在托架12设置有衰减部30。衰减部30是用于通过挤压油膜阻尼器效果使因对引导装置1作用的外力引起的振动衰减的机构。在图3中，衰减部30设置于与导轨11的导轨上表面11a对置的托架主体13的中央部13a的表面，但衰减部30的配置方式并不限定于此。关于托架12中的衰减部30的详细配置见后述，首先，基于图4对衰减部30的原理性的结构进行说明。需要说明的是，实际构成安装于托架12的衰减部30的具体部件(图7～图10所示的衰减板301～303等)的形状、尺寸与图4所示的方式并不同。衰减部30在相互对置的导轨11与托架12之间安装于构成托架12的托架主体13、端板14。需要说明的是，在图4中，为了便于说明，而记载了托架12以及导轨11相对于衰减部30的相对位置关系，未将安装衰减部30的场所限定于托架12的特定的场所。

衰减部30具有衰减板31(相当于本申请所说的“板构件”)、密封构件32(相当于本申请所说的“封闭构件”)以及由衰减板31及密封构件32在与托架主体13之间形成的收容空间33。衰减板31为树脂制的板状构件，一方的表面31a与托架12对置，且另一方的表面31b与导轨11对置。在此，以一方的表面31a覆盖与导轨11对置的托架12的表面中的除了形成负载滚行路16的滚动面16a以外的规定的区域(相当于本申请所说的“第一区域”)20的方式，由定位销35将衰减板31相对于托架12定位。即，衰减板31利用不对负载支承带来影响的托架12的表面而设置。

定位销35被埋入而固定于托架12侧，并且在衰减板31的表面31a侧设置有供定位销35插入的定位孔35a。衰减板31中的定位孔35a的深度设定为在衰减部30安装于托架12的状态下衰减板31能够相对于第一区域20位移。即，定位销35和定位孔35a构成为虽然限制衰减板31沿着包括第一区域20的托架表面的动作但是能够进行相对于该托架表面的接近、分离的动作。

并且，密封构件32以被夹在衰减板31与托架12的第一区域20之间的方式配置。密封构件32由能够发生弹性变形的树脂材料等形成。密封构件32嵌入在衰减板31的表面31a设置的槽38(也参照图8所示的槽381、图10所示的槽382)，而成为如图4所示那样被夹在衰减板31与托架12之间的状态。在此，在密封构件32仅是嵌入放置于槽38的状态下，密封构件32与槽38相比鼓出，该状态下的从衰减板31的表面31b到密封构件32的高度比图4所示的托架12与导轨11之间的分离距离大。因此，当如图4所示那样在将衰减板31相对于托架12定位的基础上将托架12组装于导轨11时，密封构件32被以一定的力按压而变形。

其结果是，衰减板31的表面31b成为由于来自密封构件32的弹力而以某一程度的力被按压于导轨11的表面的状态。并且，密封构件32在发生了变形的状态下被夹在衰减板31与托架12之间，从而在衰减板31的表面31a与托架12的第一区域20之间产生规定的分离距离。作为一例，规定的分离距离为20～30μm。其结果是，形成由衰减板31的表面31a、托架12的第一区域20以及密封构件32包围的收容空间33。在收容空间33收容有衰减油21。需要说明的是，衰减油21相当于本申请的衰减介质。作为其他方法，也可以将润滑脂作为衰减介质来使用。衰减油21在将衰减部30组装于托架12并将安装托架12组装于导轨11后，通过设置于托架12并与收容空间33连通的油供给路13c(参照图3)而被供给至收容空间33内。另外，在衰减板31与托架12的第一区域20之间无需一定夹有密封构件32。即，只要能够在衰减板31的表面31a与托架12的第一区域20之间的收容空间33保持衰减油21，并且能够在衰减板31的表面31a与托架12的第一区域20之间维持规定的分离距离，则也可以不设置密封构件32。

根据这样构成的衰减部30，在对托架12作用外力且产生了振动的情况下，随着密封构件32的微小的变形，衰减板31的表面31a与托架12的第一区域20的分离距离发生变动。其结果是，能够得到按照以下的式1的挤压油膜阻尼器效果。

[数学式1]

其中，p表示压力分布，h表示收容空间33的空隙(表面31a与第一区域20的分离距离)，μ表示衰减油21的粘性系数，r表示挤压面(包括第一区域20的面)的半径方向坐标(将中心设为第一区域20的中心)，ra表示挤压面的最大半径，V表示挤压面相对于表面31a接近速度。

即，在对托架12作用外力且产生了振动的情况下，该振动反映为式1中的接近速度V。其结果是，作为相对于该接近速度V的阻力而得到基于挤压油膜阻尼器效果的压力分布p，并以使该振动衰减的方式发挥作用。

在图4所示的衰减部30的结构中，收容空间33的空隙h作为一例设为20～30μm程度的微小距离。若按照式1，则该空隙h越小，能够通过挤压油膜阻尼器效果而得到越大的阻力，但在托架12产生了振动的情况下，优选设为托架12不与衰减板31干涉的程度的距离。另外，为了有效得到基于挤压油膜阻尼器效果的阻力，式1中的ra越大越好。若立足于该观点，则优选将设定于托架12侧的第一区域20设定得尽可能宽。

并且，在图4所示的衰减部30中，收容空间33形成于衰减板31的表面31a与作为托架12的表面的第一区域20之间，但另一方面，关于托架12与导轨11的相对移动，在衰减板31的表面31b与导轨11之间产生滑动。因此，托架12与导轨11的相对移动不会对收容于收容空间33的衰减油21直接带来影响，该衰减油21稳定地留在收容空间33，能够适当发挥基于挤压油膜阻尼器效果的振动的衰减效果。

在此，关于托架12与导轨11的相对移动，由于在衰减板31的表面31b与导轨11的表面之间产生滑动，因此优选在两表面间形成有润滑油的覆膜22。润滑油相当于本申请的润滑介质。通过该覆膜22，能够减轻滑动时的摩擦阻力，并且实现基于挤压油膜阻尼器效果的振动的更有效的衰减。即，本申请的发明人发现了，通过存在润滑油的覆膜22，从而在托架12的振动时更有效地产生基于挤压油膜阻尼器效果的阻力。需要说明的是，润滑油也可以利用基于以往技术的油。另外，润滑油可以为与衰减油相同的油，或者也可以为与衰减油不同的油。需要说明的是，润滑油的覆膜22优选以收容空间33的空隙h比覆膜22的厚度大的方式形成。由此，能够适当维持基于覆膜22的摩擦阻力的减小以及基于挤压油膜阻尼器效果的阻力的产生的均衡。

＜衰减部30的变形例>

在此，基于图5对衰减部30的变形例进行说明。图5是以与图4相同的方式概要性示出变形例的衰减部30的结构的剖视图。图5所示的衰减部30与图4所示的衰减部相比，在设置有从衰减板31的表面31a贯通到表面31b的贯通孔37这点不同。即，贯通孔37在收容空间33开口，并且在衰减板31的表面31b与导轨11的表面的滑动面也开口。另外，贯通孔37的直径设定为收容于收容空间33的衰减油作为润滑油被供给至上述滑动面侧且覆膜22的膜厚成为适当的状态的程度的尺寸。这并不意味着收容于收容空间33的衰减油的无序的排出。即，由于贯通孔37的直径极小，因此若收容空间33内的压力不比滑动面侧的压力高则衰减油事实上无法排出，收容空间33中的衰减油被恰当地保持。

具体而言，通过提高来自与收容空间33连通的油供给路13c的衰减油的供给压力，从而收容空间33内的衰减油被供给至衰减板31的表面31b与导轨11的表面的滑动面。因此，在图5所示的结构中，兼顾收容空间33中的衰减油的稳定的保持与向滑动面的适量的衰减油的供给，因此能够减轻滑动时的摩擦阻力，并且实现基于挤压油膜阻尼器效果的振动的更有效的衰减。

＜衰减部30的配置>

接着，基于图6～图10对托架12中的衰减部30的具体配置进行说明。在图6中，通过将托架12沿长度方向剖切，从而使与导轨11对置的托架12的内侧可视化。如上所述，托架12具有托架主体13和一对端板14。并且，托架主体13具有中央部13a和一对侧方部13b，各端板14具有中央部14a和一对侧方部14b。在图6所示的方式中，衰减部30设置于托架主体13的中央部13a、端板14的中央部14a以及侧方部14b，以下对其详细情况进行说明。

在托架主体13中，如图6所示那样，衰减部30设置于中央部13a的表面中的与导轨11的导轨上表面11a对置的表面(以下，称为“内侧上表面”)。在此，在图7中示出在上述内侧上表面设置有衰减部30的托架主体13，并且在图8中示出构成该衰减部30的衰减板301(功能上相当于图4以及图5所示的衰减板31)的结构。图8的上部(a)示出能够观察到衰减板301的表面中的与托架主体13的表面(功能上相当于图4以及图5所示的第一区域20的表面)对置的表面301a(功能上相当于图4以及图5所示的表面31a的表面)的配置状态。另一方面，图8的下部(b)示出能够观察到衰减板301的表面中的与导轨11的导轨上表面11a对置的表面301b(功能上相当于图4以及图5所示的表面31b的表面)的配置状态。

在衰减板301的表面301a形成有用于将功能上相当于图4以及图5所示的密封构件32的密封构件嵌入的槽381。因此，在位于槽381的内侧的表面301a与和该表面301a对置的托架主体13的内侧上表面(功能上相当于图4以及图5所示的第一区域20)之间形成收容衰减油21的空间(功能上相当于图4以及图5所示的收容空间33)。另外，在槽381的外侧的表面301a设置有用于将衰减板301定位于托架主体13的中央部13a的定位孔35a。

另外，衰减板301的表面301b是与导轨上表面11a滑动的面，但在该表面301b形成有多个凹部391。该凹部391是深度几十μm的凹坑，且成为覆膜22的润滑油容易积存的形状。并且，在衰减板301设置有功能上相当于图4以及图5所示的贯通孔37的贯通孔371。贯通孔371在被槽381包围的表面301a侧开口，并且在表面301b也开口。由此，如图5所示那样，能够将上述收容空间的衰减油作为润滑油而提供。因此，能够在滑动面适度保持润滑油(通过贯通孔371而提供的衰减油)，如上所述，能够减轻滑动时的摩擦阻力，并且实现基于挤压油膜阻尼器效果的振动的更有效的衰减。

需要说明的是，在托架主体13中，在侧方部13b未设置衰减部30。这是因为，根据图3可知，在侧方部13b的表面中的与导轨侧面11b对置的表面配置有形成负载滚行路16的滚动面，因此无法确保相当于上述的第一区域20的表面区域。然而，在托架主体13的侧方部13b中也能够确保相当于第一区域20的表面区域的情况下，也可以设置基于图4以及图5所公开的技术思想的衰减部30。

接着，在端板14中，如图6所示那样衰减部30设置于中央部14a的表面中的与导轨11的导轨上表面11a对置的表面(以下，称为“内侧上表面”)以及与导轨侧面11b对置的表面(以下，称为“内侧侧面”)。在此，在图9中示出在上述的内侧上表面和内侧侧面设置有衰减部30的端板14，并且在图10中示出构成设置于内侧侧面的衰减部30的衰减板303(功能上相当于图4以及图5所示的衰减板31)的结构。图10的上部(a)示出能够观察到衰减板303的表面中的与端板14的表面(功能上相当于图4以及图5所示的第一区域20的表面)对置的表面303a(功能上相当于图4以及图5所示的表面31a的表面)的配置状态。另一方面，图10的下部(b)示出能够观察到衰减板303的表面中的与导轨11的导轨侧面11b对置的表面303b(功能上相当于图4以及图5所示的表面31b的表面)的配置状态。

需要说明的是，关于构成在端板14的内侧上表面设置的衰减部30的衰减板302(功能上相当于图4以及图5所示的衰减板31)，构成为与图8所示的衰减板301同样地具有矩形形状、且具有实质上相同的功能。因此，关于衰减板302的具体结构，由于能够通过考虑与衰减板301相关的内容而理解，因此省略本申请中的具体内容。

接下来，对衰减板303进行说明。在此，如图9所示那样，端板14的侧方部14b在端板14安装于托架主体13时与托架主体13的侧方部13b相邻，但能够区分为侧方部14b中的靠近托架主体13的第一部分141和远离托架主体13的第二部分142。在第一部分141配置有形成图2所示的方向转换路18的构件(该构件在图9中未图示)。另一方面，在第二部分142未配置与作为滚动体的滚子15的循环路相关的结构。于是，利用第二部分142设置侧方部14b中的衰减部30。换言之，在端板14中，通过相对于第一部分141追加第二部分142，能够确保与导轨侧面11b对置的端板表面(相当于本申请所说的“第一区域”的表面)，因而，能够进行侧方部14b中的衰减部30的设置。

在此，衰减板303以仿照形成滚动面16b的导轨侧面11b的表面形状的形式如图10所示那样形成为折弯的形状。衰减板303的表面303b是与导轨侧面11b滑动的面。即，衰减板303具有表面303b，该表面303b包括与导轨侧面11b中的上侧的滚动面16b对应的表面303b1、与导轨侧面11b中的下侧的滚动面16b对应的表面303b2、以及与将导轨侧面11b中的两滚动面16b相连的表面对应且将表面303b1与表面303b2相连的表面303b3。在该表面303b形成有多个凹部392。该凹部392与凹部391同样地是深度几十μm的凹坑，且成为覆膜22的润滑油容易积存的形状。

另外，衰减板303的另一表面303a是与端板14的侧方部14b的第二部分142对置的表面，且具有与表面303b1～303b3对应的表面303a1～303a3。并且，在衰减板303的表面303a形成有用于将功能上相当于图4以及图5所示的密封构件32的密封构件嵌入的槽382。因此，在位于槽382的内侧的表面303a与和该表面303a对置的端板14的内侧侧面(功能上相当于图4以及图5所示的第一区域20)之间形成有收容衰减油21的空间(功能上相当于图4以及图5所示的收容空间33)。另外，在槽382的外侧的表面303a设置有用于将衰减板303定位于端板14的侧方部14b的定位孔35a。

并且，在衰减板303设置有功能上相当于图4以及图5所示的贯通孔37的贯通孔372。贯通孔372在被槽382包围的表面303a侧开口，并且在表面303b也开口。由此，如图5所示那样，能够将上述收容空间的衰减油作为润滑油而提供。因此，能够在滑动面适度保持润滑油(通过贯通孔372而提供的衰减油)，如上所述，能够减轻滑动时的摩擦阻力，并且能够实现基于挤压油膜阻尼器效果的振动的更有效的衰减。

通过这样将衰减板303形成为折弯的形状，能够将式1中的挤压面的最大面积确保得更大。这有助于挤压油膜阻尼器效果的最大化、振动衰减的高效化。

如上所述，在图6所公开的托架12中，衰减部30设置于托架主体13的中央部13a和端板14的中央部14a以及侧方部14b。在这样的衰减部30的配置方式中，能够在与导轨11的导轨上表面11a、导轨侧面11b对置的托架12的表面尽可能多地配置衰减部30。因此，能够有效地衰减在对相对于导轨11进行相对移动的托架12作用有外力时产生的径向方向(y轴方向)的振动、俯仰方向(z轴中心的旋转方向)的振动、横摆方向(y轴中心的旋转方向)的振动、滚转方向(x轴中心的旋转方向)的振动。

另外，作为其他方法，衰减部30也可以设置于托架主体13的中央部13a、端板14的中央部14a、侧方部14b中的至少一个。例如，也可以根据在对托架12作用有外力时产生的振动的方式，而在该振动被有效衰减的场所设置衰减部30。

另外，在图6、图9所示的方式中，在端板14组装有衰减部30，但也可以代替该方式，而在与端板分体的壳体组装衰减部30。即，也可以将仅具有形成滚子15的循环路的结构的端板设为端板14’(参照后述的图12)，且在该端板14’不设置衰减部30。在此基础上，也可以在相对于导轨11相对移动且与端板14同样地具有中央部和一对侧方部的壳体组装衰减部30，并将该壳体连结于端板14’的外侧。此时，能够在该壳体的中央部和一对侧方部中的至少一方组装衰减部30。

＜衰减板301的变形例>

基于图11对构成托架主体13的衰减部30的衰减板301的变形例进行说明。图11是将托架12沿导轨11的长度方向剖切时的衰减板301的端部附近的剖视图。如上所述，在将衰减板301安装于托架主体13并将托架12组装于导轨11时，需要在使密封构件32变形的同时进行该组装，因此存在组装并不容易的情况。于是，本变形例的衰减板301以使其厚度在导轨11的长度方向上越趋向端部(在图11中为右侧)则越薄的方式将衰减板301的表面301b形成为凸形状。其结果是，能够顺畅地进行托架12向导轨11的组装。

＜与组装有引导装置的工作台25相关的振动衰减效果>

基于以上公开的与振动衰减相关的技术思想，基于图12对与组装有本发明的引导装置的工作台25相关的振动衰减的效果进行说明。图12示意性示出组装于工作台25的本发明的引导装置的结构，导轨11的长度等具体的尺寸、形状能够适当调整。需要说明的是，在图12中，为了易于理解托架12的配置，由虚线表示与托架12连结的工作台25以及工作台25与各托架12连结的连结部26。

在此，在图12的引导装置中，相对于一对导轨11而分别组装有两台托架12。即，具有两组相对于一个导轨11组装有两台托架12的引导单元50，两个导轨11的延伸方向平行。并且，在图12所示的托架12中，相对于设置有图7所示的衰减部30的托架主体13，安装有设置有图9所示的衰减部30的端板14以及如上所述具有用于滚子15的循环路的结构但未设置衰减部30的端板14’。在此基础上，在配置于各导轨11的两个托架12中，端板14分别配置于外侧，且端板14’分别配置于内侧。需要说明的是，在图12、后述的图13中，在各引导单元50中，将存在相邻的托架的方向设为内侧的方向，将不存在相邻的托架的方向设为外侧的方向。

即，在图12所示的引导单元50中，分别在位于最外侧的托架12(相当于本申请所说的“外侧移动构件”)的托架主体13、端板14设置有衰减部30、换言之以与该托架12成为一体的方式设置有衰减部30。并且，在将工作台25与各托架12连结的连结部26设为基准时，端板14的衰减部30以位于紧邻的连结部26的外侧的方式设置。通过这样的结构，在与工作台25连结的引导装置中，4个托架12中的衰减部30配置于尽可能远离工作台25的重心附近的位置。这意味着，关于在对工作台25、置于其上的工件等作用有外力时产生的以工作台25的重心附近为中心的振动，在式1中的接近速度V比较大的部位配置衰减部30。因此，能够提高基于衰减部30的挤压油膜阻尼器效果，因而能够得到适当的振动衰减。

另一方面，在现有例的引导装置中，有时在相对于一对导轨11分别组装有两台托架的基础上，该托架通过在未设置图7所示的衰减部30的托架主体的两端安装未设置衰减部30的一对端板而构成。即，在现有例的引导装置中，未设置使因外力引起的振动衰减的机构。

并且，在本发明的引导装置和现有例的引导装置分别组装工作台25，并在其上载有重物的状态下，测定了分别施加有径向方向(y轴方向)的振动、俯仰方向(z轴中心的旋转方向)的振动、横摆方向(y轴中心的旋转方向)的振动、滚转方向(x轴中心的旋转方向)的振动时的摇晃容易度。需要说明的是，在径向方向的振动测定中，对重物上表面中央沿y轴方向以规定的力加振，并在其附近进行了摇晃容易度的测定。在俯仰方向的振动测定中，对工作台25的x轴方向的一方的中央端部沿y轴方向以规定的力加振，并在重物上表面的与x轴方向相同的一方的中央端部进行了摇晃容易度的测定。在横摆方向的振动测定中，对工作台25的x轴方向的一方的中央端部沿z轴方向以规定的力加振，并在重物上表面的与x轴方向相同的一方的中央端部进行了摇晃容易度的测定。在滚转方向的振动测定中，对工作台25的z轴方向的一方的中央端部沿y轴方向以规定的力加振，并在重物上表面的与z轴方向相同的一方的中央端部进行了摇晃容易度的测定。

该测定的结果是，图12的引导装置与现有例的引导装置相比，在径向方向达成约46％的振动衰减，在俯仰方向上达成约45％的振动衰减，在横摆方向上达成约83％的振动衰减，在滚转方向上达成约70％的振动衰减。特别是能够考察到横摆方向上的振动衰减较大是由在端板14的侧方部14b设置的衰减部30带来的。根据以上内容，能够理解在具有本发明的衰减部30的引导装置中振动衰减效果显著。

＜引导装置的变形例＞

基于图13对本发明的引导装置的变形例进行说明。在图13所示的引导装置中，一个引导单元50包括三个托架。其中位于最外侧的两个托架与图12所示的托架12同等。并且，在该两个托架12之间配置有现有例的托架12’。该托架12’通过在未设置图7所示的衰减部30的托架主体13’的两端安装未设置衰减部30的一对端板14’而构成。在这样构成的引导装置中，也与图12所示的方式同样地，在各引导单元50中，以与位于最外侧的托架12一体的方式设置有衰减部30。并且，在将工作台25与各托架12连结的连结部26设为基准时，端板14的衰减部30以位于紧邻的连结部26的外侧的方式设置。因此，6个托架12中的4角的托架12中的衰减部30配置于尽可能远离工作台25的重心附近的位置，因而，能够提高基于衰减部30的挤压油膜阻尼器效果而得到适当的振动衰减。

另外，作为其他方法，在各引导单元50中，位于最外侧的托架12也可以如图6所示那样构成为两端的端板包括具备衰减部30的端板14。并且作为其他方法，在各引导单元50中，也可以将位于在最外侧配置的托架12之间的托架如图6、图12等所示那样构成为设置有衰减部30的托架12。

另外，作为其他方法，衰减部30也可以代替具有图4、图5所示的结构的衰减部，而例如为具有按照以往技术来发挥挤压油膜阻尼器效果的结构的衰减部。例如，能够使用具有如上述的专利文献2(日本特公平06-102288号公报)那样在轨道构件与移动构件之间的滑动所产生的间隙(规定空间)直接夹设衰减油而得到挤压油膜阻尼器效果的方式的衰减部的托架，如图12、图13所示那样构成引导单元50。通过这样的结构，在各引导单元50中位于最外侧的托架中的衰减部也配置于尽可能远离工作台重心附近的位置，因而，也能够提高基于衰减部的挤压油膜阻尼器效果而得到适当的振动衰减。

附图标记说明

1引导装置，11导轨，11a导轨上表面，11b导轨侧面，12托架，13托架主体，13a中央部，13b侧方部，13c油供给路，14端板，14a中央部，14b侧方部，15滚子，16负载滚行路，16a滚动面，16b滚动面，20第一区域，21衰减油，22润滑油，25工作台，26连结部，30衰减部，31衰减板，31a表面，31b表面，32密封构件，33收容空间，35定位销，35a定位孔，37贯通孔，38槽，50引导单元，141第一部分，142第二部分，301衰减板，302衰减板，303衰减板，371贯通孔，381槽，372贯通孔，382槽。

Claims (20)

1.一种引导装置，其中，

所述引导装置具备：

轨道构件，其沿着长度方向延伸；

移动构件，其具有和所述轨道构件的滚动面形成负载滚行路的第一滚动面，且能够借助配置于该负载滚行路的多个滚动体沿着该轨道构件的长度方向相对于该轨道构件相对移动；以及

衰减部，其设置于与所述轨道构件对置的所述移动构件的表面中的除了所述第一滚动面以外的至少一部分的第一区域，

所述衰减部具有：

板构件，其以覆盖所述第一区域的方式配置；以及

收容空间，其为形成于该板构件的一方的表面与所述第一区域之间并收容衰减介质的空间，且所述收容空间使该板构件能够相对于该第一区域位移，

所述衰减部以使所述板构件的另一方的表面在与所述移动构件对置的所述轨道构件的表面中的至少一部分的表面上滑动的方式设置于所述移动构件。

2.根据权利要求1所述的引导装置，其中，

在所述板构件的所述另一方的表面与所述轨道构件的表面之间形成有基于润滑介质而形成的覆膜。

3.根据权利要求2所述的引导装置，其中，

所述衰减部还具有贯通孔，所述贯通孔从所述板构件的所述一方的表面侧贯通到所述另一方的表面侧，且能够将收容于所述收容空间的所述衰减介质的一部分作为所述润滑介质而提供。

4.根据权利要求2或3所述的引导装置，其中，

在所述板构件的所述另一方的表面形成有能够保持所述润滑介质的多个凹部。

5.根据权利要求2至4中任一项所述的引导装置，其中，

所述收容空间中的所述板构件的所述一方的表面与所述移动构件的表面之间的分离距离被设定为比所述润滑介质的覆膜厚度大。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的引导装置，其中，

所述衰减部还具有封闭构件，

所述板构件夹着所述封闭构件而安装于所述移动构件，从而在该板构件的一方的表面与所述第一区域之间形成所述收容空间。

7.根据权利要求6所述的引导装置，其中，

所述板构件的所述另一方的表面以所述板构件的厚度在所述轨道构件的长度方向上越趋向端部则越薄的方式形成为凸形状。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的引导装置，其中，

所述轨道构件是具有轨道上表面、以及包括该轨道构件的滚动面的轨道侧面的导轨构件，

所述移动构件具有移动构件主体，所述移动构件主体包括与所述轨道上表面对置且未形成有所述第一滚动面的中央部、以及与所述轨道侧面对置且形成有所述第一滚动面的一对侧方部，

所述衰减部设置于在与所述轨道上表面对置的所述中央部的表面上设定的所述第一区域。

9.根据权利要求8所述的引导装置，其中，

所述移动构件还具有与所述移动构件主体连结的端部构件，

所述端部构件具有：

端部构件中央部，其与所述中央部相邻，所述端部构件中央部与所述轨道上表面对置且未形成有所述第一滚动面；以及

一对端部构件侧方部，它们与所述一对侧方部分别相邻，所述一对端部构件侧方部与所述轨道侧面对置且未形成有所述第一滚动面，

所述衰减部设置于作为与所述轨道侧面对置的所述一对端部构件侧方部的表面的一部分的所述第一区域。

10.根据权利要求9所述的引导装置，其中，

所述衰减部还设置于作为与所述轨道上表面对置的所述端部构件中央部的表面的一部分的所述第一区域。

11.一种引导结构，轨道构件与移动构件能够沿着该轨道构件相对移动，该轨道构件沿着长度方向延伸，且所述引导结构在与该轨道构件对置的该移动构件的表面的一部分的第一区域设置有衰减部，其中，

所述衰减部具有：

板构件，其以覆盖所述第一区域的方式配置；以及

收容空间，其为形成于该板构件的一方的表面与所述第一区域之间并收容衰减介质的空间，且所述收容空间使该板构件能够相对于该第一区域位移，

所述板构件还以使所述板构件的另一方的表面在与所述移动构件对置的所述轨道构件的表面中的至少一部分的表面上滑动的方式配置。

12.一种引导装置，其具有引导单元，所述引导单元包括沿着长度方向延伸的轨道构件、以及构成为能够相对于该轨道构件相对移动的至少两个移动构件，且所述引导装置对与该至少两个移动构件连结的工作台沿该长度方向进行引导，其中，

所述至少两个移动构件分别具有与所述轨道构件的滚动面一起形成负载滚行路的第一滚动面，且构成为能够借助配置于该负载滚行路的多个滚动体沿着该轨道构件的长度方向相对移动，

在所述至少两个移动构件中的位于最外侧的两个外侧移动构件分别设置有衰减部，所述衰减部通过在该外侧移动构件的表面与所述轨道构件的表面对置的规定空间夹设衰减介质而构成。

13.根据权利要求12所述的引导装置，其中，

所述轨道构件是具有轨道上表面、以及包括该轨道构件的滚动面的轨道侧面的导轨构件，

所述外侧移动构件具有移动构件主体，所述移动构件主体包括与所述轨道上表面对置且未形成有所述第一滚动面的中央部、以及与所述轨道侧面对置且形成有所述第一滚动面的一对侧方部，

所述衰减部设置于所述轨道上表面和与该轨道上表面对置的所述中央部的表面之间。

14.根据权利要求12所述的引导装置，其中，

所述轨道构件是具有轨道上表面、以及包括该轨道构件的滚动面的轨道侧面的导轨构件，

所述外侧移动构件具有移动构件主体，所述移动构件主体包括与所述轨道上表面对置且未形成有所述第一滚动面的中央部、以及与所述轨道侧面对置且形成有所述第一滚动面的一对侧方部，

所述外侧移动构件具有端部构件，所述端部构件包括：端部构件中央部，其与所述中央部相邻，所述端部构件中央部与所述轨道上表面对置且未形成有所述第一滚动面；以及一对端部构件侧方部，它们与所述一对侧方部分别相邻，所述一对端部构件侧方部与所述轨道侧面对置且未形成有所述第一滚动面，

所述衰减部设置于所述轨道侧面和与该轨道侧面对置的所述一对端部构件侧方部中的至少一方的表面之间。

15.根据权利要求14所述的引导装置，其中，

所述衰减部设置于所述轨道侧面与所述一对端部构件侧方部中的位于最外侧的端部构件侧方部的表面之间。

16.根据权利要求12至15中任一项所述的引导装置，其中，

在所述两个外侧移动构件中，所述衰减部分别设置于比该外侧移动构件与所述工作台连结的连结部靠外侧的位置。

17.根据权利要求12至16中任一项所述的引导装置，其中，

所述衰减部设置于与所述轨道构件对置的所述外侧移动构件的表面中的除了所述第一滚动面以外的至少一部分的第一区域，

所述衰减部具有：

板构件，其以覆盖所述第一区域的方式配置；以及

所述规定空间，其是收容所述衰减介质的收容空间，

所述收容空间是通过所述板构件安装于所述外侧移动构件从而形成于该板构件的一方的表面与所述第一区域之间、且构成为使该板构件能够相对于该第一区域位移的空间，

所述衰减部以使所述板构件的另一方的表面在与所述外侧移动构件对置的所述轨道构件的表面中的至少一部分的表面上滑动的方式设置于该外侧移动构件。

18.根据权利要求17所述的引导装置，其中，

在所述板构件的所述另一方的表面与所述轨道构件的表面之间形成有基于润滑介质而形成的覆膜。

19.根据权利要求18所述的引导装置，其中，

所述衰减部还具有贯通孔，所述贯通孔从所述板构件的所述一方的表面侧贯通到所述另一方的表面侧，且能够将收容于所述规定空间的所述衰减介质的一部分作为所述润滑介质而提供。

20.根据权利要求12至19中任一项所述的引导装置，其中，

所述引导装置具有两组所述引导单元，

所述两组引导单元中的所述轨道构件各自的延伸方向相同，

所述两组引导单元中的所述两个外侧移动构件分别在该外侧移动构件的表面与对应的所述轨道构件的表面之间具有所述衰减部。

Images