CN115516039A - 树脂组合物、膜、滤光器、固体摄像元件及图像显示装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种树脂组合物、使用所述树脂组合物而获得的膜、具有所述膜的滤光器、固体摄像元件及图像显示装置,所述树脂组合物包含:颜料;在1个分子中包含3个以上碱基、胺值为2.7mmol/g以上、分子量为100以上的化合物A;及具有酸基的树脂,在树脂组合物的总固体成分中包含40质量%以上的颜料。
Description
技术领域
本发明涉及一种包含颜料的树脂组合物。并且,本发明涉及一种使用树脂组合物的膜、滤光器、固体摄像元件及图像显示装置。
背景技术
近年来,随着数位相机、附相机的移动电话等的普及,电荷耦合器件(CCD)影像传感器等固体摄像元件的需求大幅增加。作为显示器或光学元件的核心装置使用滤色器。
滤色器使用包含色料的树脂组合物来制造。并且,通常,作为色料使用颜料时,利用颜料衍生物或分散剂等使颜料分散于树脂组合物中。
专利文献1中记载有一种与滤色器用着色组合物有关的发明,该滤色器用着色组合物包含呫吨类色素、有机颜料、聚乙烯亚胺及粘合剂树脂。
专利文献2中记载有一种与滤色器用着色组合物有关的发明,该滤色器用着色组合物包含颜料、分散剂、光聚合性单体及光聚合引发剂,分散剂为直链状分散剂及梳状分散剂,光聚合性单体包括具有3个以下聚合性官能团的光聚合性单体、及具有超过3个聚合性官能团的光聚合性单体。
以往技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2013-041145号公报
专利文献2:日本特开2019-184763号公报
发明内容
发明要解决的技术课题
近年来,在固体摄像元件中,强烈要求小型化和薄膜化。因此,关于使用于固体摄像元件的滤色器等包含颜料的膜,近年来,期望更薄膜化。为了维持所期望的光谱性能的同时实现薄膜化,需要提高在膜形成中所使用的树脂组合物中的颜料浓度。
当使用树脂组合物来形成膜时,有时使用在低温下保管的树脂组合物来形成膜。
然而,随着在树脂组合物的总固体成分中的颜料浓度变高,在保管树脂组合物的过程中,树脂组合物中的颜料凝聚等,从而树脂组合物的粘度趋于容易增加。尤其,在低温环境下保管颜料浓度高的树脂组合物时,树脂组合物的粘度趋于容易上升。
因此,本发明的目的在于提供一种在低温下的保存稳定性优异的树脂组合物。并且,提供一种使用树脂组合物的膜、滤光器、固体摄像元件及图像显示装置。
用于解决技术课题的手段
根据本发明人的研究,发现能够通过设为如下结构来达成上述目的,从而完成了本发明。因此,本发明提供如下内容。
<1>一种树脂组合物,其包含:
颜料;
在1个分子中包含3个以上碱基、胺值为2.7mmol/g以上、分子量为100以上的化合物A;及
具有酸基的树脂,
在上述树脂组合物的总固体成分中包含40质量%以上的上述颜料。
<2>如<1>所述的树脂组合物,其中,
化合物A所具有的碱基为氨基。
<3>如<1>或<2>所述的树脂组合物,其中,
上述化合物A的胺值为15mmol/g以上。
<4>如<1>至<3>中任一项所述的树脂组合物,其中,
上述化合物A为聚亚烷基亚胺。
<5>如<1>至<3>中任一项所述的树脂组合物,其中,
上述化合物A为聚乙烯亚胺。
<6>如<1>至<5>中任一项所述的树脂组合物,其中,
上述化合物A的分子量为2000以下。
<7>如<1>至<6>中任一项所述的树脂组合物,其中,
上述颜料包含彩色颜料。
<8>如<1>至<7>中任一项所述的树脂组合物,其中,
上述颜料包含含有金属原子的颜料。
<9>如<1>至<8>中任一项所述的树脂组合物,其中,
上述颜料包含卤化锌酞菁颜料。
<10>如<1>至<9>中任一项所述的树脂组合物,其中,
在上述树脂组合物的总固体成分中包含60质量%以上的上述颜料。
<11>如<1>至<10>中任一项所述的树脂组合物,其还包含颜料衍生物。
<12>一种膜,其是使用<1>至<11>中任一项所述的树脂组合物获得的。
<13>一种滤光器,其具有<12>所述的膜。
<14>一种固体摄像元件,其具有<12>所述的膜。
<15>一种图像显示装置,其具有<12>所述的膜。
发明效果
根据本发明,能够提供一种在低温下的保存稳定性优异的树脂组合物。并且,能够提供一种使用树脂组合物的膜、滤光器、固体摄像元件及图像显示装置。
具体实施方式
以下,对本发明的内容进行详细说明。
在本说明书中,“~”是以将记载于其前后的数值作为下限值及上限值而包含的含义来使用。
关于本说明书中的基团(原子团)的标记,未标注经取代及未经取代的标记同时包含不具有取代基的基团(原子团)和具有取代基的基团(原子团)。例如,“烷基”不仅包含不具有取代基的烷基(未经取代的烷基),还包含具有取代基的烷基(经取代的烷基)。
本说明书中,“曝光”只要没有特别指定,不仅包含使用光的曝光,而且使用电子束、离子束等粒子束的描画也包含于曝光中。并且,作为使用于曝光的光,可举出以汞灯的明线光谱、准分子激光为代表的远紫外线、极紫外线(EUV光)、X射线、电子束等活化光线或放射线。
本说明书中,“(甲基)丙烯酸酯”表示丙烯酸酯及甲基丙烯酸酯两者或任一者,“(甲基)丙烯酸”表示丙烯酸及甲基丙烯酸两者或任一者,“(甲基)丙烯酰基”表示丙烯酰基及甲基丙烯酰基两者或任一者。
本说明书中,结构式中的Me表示甲基,Et表示乙基,Bu表示丁基,Pr表示丙基,Ph表示苯基。
本说明书中,重均分子量及数均分子量为通过GPC(凝胶渗透色谱)法测定出的聚苯乙烯换算值。
本说明书中,近红外线是指波长700~2500nm的光。
本说明书中,总固体成分是指从组合物的所有成分中去除溶剂的成分的总质量。
本说明书中,颜料是指难以溶解于溶剂的色料。例如,优选颜料相对于23℃下的水100g及23℃下的丙二醇单甲醚乙酸酯100g的溶解度均为0.1g以下,更优选为0.01g以下。
本说明书中,染料是指容易溶解于溶剂的色料。
本说明书中,“工序”这一用语不仅是独立的工序,而且即使在无法与其他工序明确地进行区分的情况下,只要可发挥该工序的所期待的作用,则也包含于本用语中。
<树脂组合物>
本发明的树脂组合物的特征在于,包含:颜料;化合物A,在1个分子中包含3个以上碱基,胺值为2.7mmol/g以上,且分子量为100以上;及树脂,具有酸基,且在树脂组合物的总固体成分中包含40质量%以上的颜料。
本发明的树脂组合物即使在总固体成分中的颜料的含量为40质量%以上,也具有优异的保存稳定性,即使在低温下长时间保存树脂组合物的情况下,也能够抑制粘度的增加。作为获得这种效果的理由,可推测为如下。推测为由于本发明的树脂组合物分别包含颜料、上述化合物A及具有酸基的树脂,因此在树脂组合物中化合物A的碱基的一部分配位于颜料的表面,化合物A的3个以上碱基中未配位于颜料的碱基与具有上述酸基的树脂的酸基相互发挥作用,在树脂组合物中,形成颜料-化合物A-具有酸基的树脂的网络结构。推测为通过在树脂组合物中形成这种网络结构,能够有效地抑制在树脂组合物中包含的颜料彼此凝聚,从而获得优异的保存稳定性。
尤其,包含卤化锌酞菁颜料等金属原子的颜料趋于容易凝聚,且在保管时树脂组合物的粘度容易上升,但是作为颜料使用包含卤化锌酞菁颜料等金属原子的颜料的情况下,也能够作为保存稳定性优异的树脂组合物。因此,使用包含卤化锌酞菁颜料等金属原子的颜料的情况下,显著地获得本发明的效果。推测为获得这种效果的理由的原因为化合物A的碱基容易配位于颜料的金属原子,且容易形成上述网络结构。
并且,通过使用本发明的树脂组合物,能够形成抑制异物的产生的膜。推测为在膜中也形成上述网络结构来抑制颜料在膜中的移动,其结果,能够抑制异物的产生。
并且,由于能够抑制颜料在膜中的凝聚,因此也能够抑制光谱特性的变动等。
本发明的树脂组合物可优选地用作滤光器用树脂组合物。作为滤光器,可举出滤色器、近红外线透射滤波器、近红外线截止滤波器等,优选为滤色器。并且,本发明的树脂组合物优选地用作固体摄像元件。更详细而言,优选地用作使用于固体摄像元件滤光器用的树脂组合物,更优选地用作使用于固体摄像元件的滤色器的着色像素形成用树脂组合物。
作为滤色器,可举出具有使特定波长的光透射的着色像素的滤波器。作为着色像素,可举出红色像素、绿色像素、蓝色像素、品红色像素、青色像素、黄色像素等,优选为绿色像素或青色像素,更优选为绿色像素。滤色器的着色像素能够使用包含彩色颜料的树脂组合物来形成。
优选近红外线截止滤波器的极大吸收波长存在于波长700~1800nm的范围,更优选存在于波长700~1300nm的范围,进一步优选存在于波长700~1000nm的范围。并且,近红外线截止滤波器的在波长400~650nm的所有范围内的透射率优选为70%以上,更优选为80%以上,进一步优选为90%以上。并且,波长700~1800nm的范围内的至少1点上的透射率优选为20%以下。并且,近红外线截止滤波器的极大吸收波长下的吸光度Amax与波长550nm下的吸光度A550的比(吸光度Amax/吸光度A550)优选为20~500,更优选为50~500,进一步优选为70~450,特别优选为100~400。近红外线截止滤波器能够使用包含近红外线吸收颜料的树脂组合物来形成。
近红外线透射滤波器为透射近红外线中的至少一部分的滤波器。近红外线透射滤波器可以是透射可见光和近红外线中的任一种的滤波器(透明膜),也可以是遮蔽可见光的至少一部分而透射近红外线的至少一部分的滤波器。作为近红外线透射滤波器,可优选地举出满足波长400~640nm的范围内的透射率的最大值为20%以下(优选为15%以下,更优选为10%以下)且波长1100~1300nm的范围内的透射率的最小值为70%以上(优选为75%以上,更优选为80%以上)的光谱特性的滤波器等。近红外线透射滤波器优选为满足以下(1)~(5)的任一个光谱特性的滤波器。
(1):波长400~640nm的范围内的透射率的最大值为20%以下(优选为15%以下,更优选为10%以下)且波长800~1500nm的范围内的透射率的最小值为70%以上(优选为75%以上,更优选为80%以上)的滤波器。
(2):波长400~750nm的范围内的透射率的最大值为20%以下(优选为15%以下,更优选为10%以下)且波长900~1500nm的范围内的透射率的最小值为70%以上(优选为75%以上,更优选为80%以上)的滤波器。
(3):波长400~830nm的范围内的透射率的最大值为20%以下(优选为15%以下,更优选为10%以下)且波长1000~1500nm的范围内的透射率的最小值为70%以上(优选为75%以上,更优选为80%以上)的滤波器。
(4):波长400~950nm的范围内的透射率的最大值为20%以下(优选为15%以下,更优选为10%以下)且波长1100~1500nm的范围内的透射率的最小值为70%以上(优选为75%以上,更优选为80%以上)的滤波器。
(5):波长400~1050nm的范围内的透射率的最大值为20%以下(优选为15%以下,更优选为10%以下)且波长1200~1500nm的范围内的透射率的最小值为70%以上(优选为75%以上,更优选为80%以上)的滤波器。
本发明的树脂组合物也能够使用于遮光膜等。
本发明的树脂组合物的固体成分浓度优选为5~30质量%。下限优选为7.5质量%以上,更优选为10质量%以上。上限优选为25质量%以下,更优选为20质量%以下,进一步优选为15质量%以下。
以下,对本发明的树脂组合物中所使用的各成分进行说明。
《颜料》
本发明的树脂组合物包含颜料。作为颜料,可举出白色颜料、黑色颜料、彩色颜料、近红外线吸收颜料。另外,在本说明书中,白色颜料不仅包含纯白色,而且还包含接近白色的浅灰色(例如灰白色、薄灰色等)的颜料等。
将树脂组合物用作滤色器时,作为颜料使用彩色颜料。彩色颜料可以仅为1种,也可以包含2种以上。并且,将树脂组合物用于形成近红外线截止滤波器时,作为颜料使用近红外线吸收颜料。近红外线吸收颜料可以仅为1种,也可以包含2种以上。并且,由树脂组合物形成近红外线透射滤波器用像素时,作为颜料,组合2种以上彩色颜料来使用,或者使用黑色颜料。
颜料的平均一次粒径优选为1~200nm。下限优选为5nm以上,更优选为10nm以上。上限优选为180nm以下,更优选为150nm以下,进一步优选为100nm以下。若颜料的平均一次粒径在上述范围内,则树脂组合物中的颜料的分散稳定性良好。另外,在本发明中,颜料的一次粒径能够通过透射型电子显微镜观察颜料的一次粒子,并根据所获得的照片来求出。具体而言,求出颜料的一次粒子的投影面积,并计算与其相对应的圆当量直径作为颜料的一次粒径。并且,本发明中的平均一次粒径设为关于400个颜料的一次粒子的一次粒径的算数平均值。并且,颜料的一次粒子是指未凝聚的独立粒子。
从更显著地发挥本发明的效果的理由考虑,在本发明中使用的颜料优选为具有金属原子的颜料,更优选为具有金属原子的有机颜料。作为具有金属原子的有机颜料,可举出偶氮甲碱金属络合物颜料、偶氮金属络合物颜料及金属酞菁颜料等,优选为偶氮甲碱金属络合物颜料及金属酞菁颜料,更优选为金属酞菁颜料。并且,具有金属原子的颜料优选为彩色颜料。根据该实施方式,由于能够进一步抑制颜料在膜中的凝聚,因此也能够抑制光谱特性的变动等。
作为偶氮甲碱金属络合物颜料,可举出比色指数(C.I.).Pigment Yellow117、129等。
作为偶氮金属络合物颜料,可举出C.I.Pigment Yellow150等。并且,作为偶氮金属络合物颜料,也能够使用下述结构的偶氮巴比土酸镍络合物颜料。
[化学式1]
作为金属酞菁颜料,可举出铜酞菁颜料、锌酞菁颜料及铝酞菁颜料等,优选为卤化铜酞菁颜料、卤化锌酞菁颜料及卤化铝酞菁颜料,更优选为卤化锌酞菁颜料。卤化锌酞菁颜料在树脂组合物中趋于容易凝聚,包含卤化锌酞菁颜料的树脂组合物的保存稳定性趋于较低,但是根据本发明的树脂组合物,即使使用卤化锌酞菁颜料的情况下,也具有优异的保存稳定性。因此,在使用卤化锌酞菁颜料的情况下,尤其显著发挥本发明的效果。
在此,铜酞菁颜料为作为中心金属具有铜原子的酞菁颜料。并且,卤化铜酞菁颜料为作为中心金属具有铜原子的卤化酞菁颜料。并且,卤化酞菁颜料为作为取代基具有卤原子的酞菁颜料。
并且,锌酞菁颜料为作为中心金属具有锌原子的酞菁颜料。并且,卤化锌酞菁颜料为作为中心金属具有锌原子的卤化酞菁颜料。
并且,铝酞菁颜料为作为中心金属具有铝原子的酞菁颜料。并且,卤化铝酞菁颜料为作为中心金属具有铝原子的卤化酞菁颜料。
作为金属酞菁颜料的具体例,可举出C.I.Pigment Green7,36,58,59,62,63等绿色颜料、C.I.Pigment Blue15,15:1,15:2,15:3,15:4,15:6等蓝色颜料。
以下,进一步对在本发明中使用的颜料进行详细说明。
(彩色颜料)
作为彩色颜料,并无特别限定,能够使用公知的彩色颜料。作为彩色颜料,可举出在波长400~700nm的范围内具有极大吸收波长的颜料。例如,可举出黄色颜料、橙色颜料、红色颜料、绿色颜料、紫色颜料、蓝色颜料等。作为这些的具体例,例如可举出如下。
C.I.Pigment Yellow 1、2、3、4、5、6、10、11、12、13、14、15、16、17、18、20、24、31、32、34、35、35:1、36、36:1、37、37:1、40、42、43、53、55、60、61、62、63、65、73、74、77、81、83、86、93、94、95、97、98、100、101、104、106、108、109、110、113、114、115、116、117、118、119、120、123、125、126、127、128、129、137、138、139、147、148、150、151、152、153、154、155、156、161、162、164、166、167、168、169、170、171、172、173、174、175、176、177、179、180、181、182、185、187、188、193、194、199、213、214、215、228、231、232(次甲基系)、233(喹啉系)、234(氨基酮系)、235(氨基酮系)、236(氨基酮系)等(以上为黄色颜料)、
C.I.Pigment Orange 2、5、13、16、17:1、31、34、36、38、43、46、48、49、51、52、55、59、60、61、62、64、71、73等(以上为橙色颜料)、
C.I.Pigment Red 1、2、3、4、5、6、7、9、10、14、17、22、23、31、38、41、48:1、48:2、48:3、48:4、49、49:1、49:2、52:1、52:2、53:1、57:1、60:1、63:1、66、67、81:1、81:2、81:3、83、88、90、105、112、119、122、123、144、146、149、150、155、166、168、169、170、171、172、175、176、177、178、179、184、185、187、188、190、200、202、206、207、208、209、210、216、220、224、226、242、246、254、255、264、269、270、272、279、291、294(呫吨类、Organo Ultramarine、BluishRed)、295(单偶氮系)、296(二偶氮系)、297(氨基酮系)等(以上为红色颜料)、
C.I.Pigment Green 7、10、36、37、58、59、62、63、64(酞菁系)、65(酞菁系)、66(酞菁系)等(以上为绿色颜料)、
C.I.Pigment Violet 1、19、23、27、32、37、42、60(三芳基甲烷系)、61(呫吨类)等(以上为紫色颜料)、
C.I.Pigment Blue 1、2、15、15:1、15:2、15:3、15:4、15:6、16、22、29、60、64、66、79、80、87(单偶氮系)、88(次甲基系)等(以上为蓝色颜料)。
并且,作为绿色颜料,也能够使用1个分子中的卤原子的平均个数为10~14个,且溴原子的平均个数为8~12个,氯原子的平均个数为2~5个的卤化锌酞菁颜料。作为具体例,可举出国际公开第2015/118720号中所记载的酞菁颜料。并且,作为绿色颜料,也能够使用中国专利申请第106909027号说明书中所记载的化合物、国际公开第2012/102395号中所记载的具有磷酸酯作为配位体的酞菁化合物、日本特开2019-008014号公报中所记载的酞菁化合物、日本特开2018-180023号公报中所记载的酞菁化合物、日本特开2019-038958号公报中所记载的化合物等。
并且,作为蓝色颜料,也能够使用具有磷原子的铝酞菁颜料。作为具体例,可举出日本特开2012-247591号公报的0022~0030段、日本特开2011-157478号公报的0047段中所记载的化合物。
并且,作为黄色颜料,也能够使用上述结构的偶氮巴比土酸镍络合物颜料。并且,作为黄色颜料,也能够使用日本特开2017-201003号公报中所记载的化合物、日本特开2017-197719号公报中所记载的化合物、日本特开2017-171912号公报的0011~0062、0137~0276段中所记载的化合物、日本特开2017-171913号公报的0010~0062、0138~0295段中所记载的化合物、日本特开2017-171914号公报的0011~0062、0139~0190段中所记载的化合物、日本特开2017-171915号公报的0010~0065、0142~0222段中所记载的化合物、日本特开2013-054339号公报的0011~0034段中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2014-026228号公报的0013~0058段中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2018-062644号公报中所记载的异吲哚啉化合物、日本特开2018-203798号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2018-062578号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本专利第6432076号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2018-155881号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2018-111757号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2018-040835号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2017-197640号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2016-145282号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2014-085565号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2014-021139号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2013-209614号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2013-209435号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2013-181015号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2013-061622号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2013-032486号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2012-226110号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2008-074987号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2008-081565号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2008-074986号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2008-074985号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2008-050420号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2008-031281号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特公昭48-032765号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本特开2019-008014号公报中所记载的喹酞酮化合物、日本专利第6607427号公报中所记载的喹酞酮化合物、由下述式(QP1)表示的化合物、由下述式(QP2)表示的化合物、韩国公开专利第10-2014-0034963号公报中所记载的化合物、日本特开2017-095706号公报中所记载的化合物、中国台湾地区专利申请公开第201920495号公报中所记载的化合物、日本专利第6607427号公报中所记载的化合物、日本特开2020-033525号公报中所记载的化合物、日本特开2020-033524号公报中所记载的化合物、日本特开2020-033523号公报中所记载的化合物、日本特开2020-033522号公报中所记载的化合物、日本特开2020-033521号公报中所记载的化合物、国际公开第2020/045200号中所记载的化合物、国际公开第2020/045199号中所记载的化合物、国际公开第2020/045197号中所记载的化合物。并且,从提高色值的观点考虑,也可优选地使用对这些化合物进行多聚体化而得的化合物。
[化学式2]
式(QP1)中,X1~X16各自独立地表示氢原子或卤原子,Z1表示碳原子数1~3的亚烷基。作为由式(QP1)表示的化合物的具体例,可举出日本专利第6443711号公报的0016段中所记载的化合物。
[化学式3]
式(QP2)中,Y1~Y3分别独立地表示卤原子。n、m表示0~6的整数,p表示0~5的整数。(n+m)为1以上。作为由式(QP2)表示的化合物的具体例,可举出日本专利6432077号公报的0047~0048段中所记载的化合物。
作为红色颜料,也能够使用日本特开2017-201384号公报中所记载的在结构中至少1个溴原子被取代的二酮吡咯并吡咯化合物、日本专利第6248838号的0016~0022段中所记载的二酮吡咯并吡咯化合物、国际公开第2012/102399号中所记载的二酮吡咯并吡咯化合物、国际公开第2012/117965号中所记载的二酮吡咯并吡咯化合物、日本特开2012-229344号公报中所记载的萘酚偶氮化合物、日本专利第6516119号公报中所记载的红色颜料、日本专利第6525101号公报中所记载的红色颜料等。并且,作为红色颜料,也能够使用具有引入有氧原子、硫原子或氮原子键合于芳环而得的基团的芳环基键合于二酮吡咯并吡咯骨架而成的结构的化合物。
关于各种颜料所具有的优选的衍射角,能够参考日本专利第6561862号公报、日本专利第6413872号公报、日本专利第6281345号公报、日本特开2020-026503号公报、日本特开2020-033526号公报的记载,这些内容被编入本说明书中。
彩色颜料也可以组合2种以上来使用。例如,将本发明的树脂组合物用于形成滤色器的绿色像素时,优选同时使用绿色颜料和黄色颜料。作为绿色颜料,优选为C.I.PigmentGreen7、36、58、59、63,更优选为C.I.Pigment Green58。作为黄色颜料,优选为C.I.PigmentYellow129、150,更优选为C.I.Pigment Yellow150。
并且,在组合2种以上彩色颜料来使用的情况下,也可以以2种以上的彩色颜料的组合形成黑色。作为这些组合,例如可举出以下(1)~(7)的实施方式。在树脂组合物中包含2种以上彩色颜料并且以2种以上的彩色颜料的组合呈现黑色的情况下,本发明的树脂组合物能够优选地用作近红外线透射滤波器形成用的树脂组合物。
(1)含有红色颜料及蓝色颜料的实施方式。
(2)含有红色颜料、蓝色颜料及黄色颜料的实施方式。
(3)含有红色颜料、蓝色颜料、黄色颜料及紫色颜料的实施方式。
(4)含有红色颜料、蓝色颜料、黄色颜料、紫色颜料及绿色颜料的实施方式。
(5)含有红色颜料、蓝色颜料、黄色颜料及绿色颜料的实施方式。
(6)含有红色颜料、蓝色颜料及绿色颜料的实施方式。
(7)含有黄色颜料及紫色颜料的实施方式。
(白色颜料)
作为白色颜料,可举出氧化钛、钛酸锶、钛酸钡、氧化锌、氧化镁、氧化锆、氧化铝、硫酸钡、二氧化硅、滑石、云母、氢氧化铝、硅酸钙、硅酸铝、中空树脂粒子、硫化锌等。白色颜料优选为具有钛原子的粒子,更优选为氧化钛。并且,白色颜料优选为相对于波长589nm的光的折射率为2.10以上的粒子。所述折射率优选为2.10~3.00,更优选为2.50~2.75。
并且,白色颜料也能够使用“氧化钛物性与应用技术清野学著13~45页1991年6月25日发行、技报堂出版发行”中所记载的氧化钛。
白色颜料不限于包括单一无机物的白色颜料,也可以使用与其他原材料复合而成的粒子。优选例如使用在内部具有空孔或其他原材料的粒子、在芯粒子中随着多个无机粒子的粒子、由包括聚合物粒子的芯粒子及包括无机纳米微粒子的壳体层构成的芯及核复合粒子。作为由包括上述聚合物粒子的芯粒子及包括无机纳米微粒子的壳质层构成的芯及核复合粒子,例如能够参考日本特开2015-047520号公报的0012~0042段的记载,该内容被编入本说明书中。
白色颜料也能够使用中空无机粒子。中空无机粒子是指在内部具有空腔的结构的无机粒子,并且是指具有被外壳包围的空腔的无机粒子。作为中空无机粒子,可举出日本特开2011-075786号公报、国际公开第2013/061621号、日本特开2015-164881号公报等中所记载的中空无机粒子,这些内容被编入本说明书中。
(黑色颜料)
作为黑色颜料,并无特别限定,能够使用公知的黑色颜料。例如,可举出碳黑、钛黑、石墨等,优选为碳黑、钛黑,更优选为钛黑。钛黑是指含有钛原子的黑色粒子,优选为低价氧化钛或氮氧化钛。以提高分散性、抑制凝聚性等目的,能够根据需要对钛黑的表面进行修饰。例如能够通过氧化硅、氧化钛、氧化锗、氧化铝、氧化镁或氧化锆来包复钛黑的表面。并且,也能够进行通过如日本特开2007-302836号公报中所示的拨水性物质进行的处理。作为黑色颜料,可举出C.I.Pigment Black 1、7等。关于钛黑,优选每个粒子的一次粒径及平均一次粒径均较小。具体而言,平均一次粒径优选为10~45nm。钛黑也能够用作分散物。例如可举出含有钛黑粒子及二氧化硅粒子并且分散物中的Si原子与Ti原子的含有比调节在0.20~0.50的范围内的分散物等。关于上述分散物,也能够参考日本特开2012-169556号公报的0020~0105段的记载,该内容被编入本说明书中。作为钛黑的市售品的例,可举出钛黑10S、12S、13R、13M、13M-C、13R-N、13M-T(产品名称:Mitsubishi Materials Corporation制造)、Tilack D(产品名称:Ako Kasei Co.,Ltd.制造)等。
(近红外线吸收颜料)
近红外线吸收颜料优选为有机颜料。并且,优选近红外线吸收颜料为在波长超过700nm且1400nm以下的范围内具有极大吸收波长。并且,近红外线吸收颜料的极大吸收波长优选为1200nm以下,更优选为1000nm以下,进一步优选为950nm以下。并且,近红外线吸收颜料为波长550nm下的吸光度A550与极大吸收波长下的吸光度Amax的比即A550/Amax优选为0.1以下,更优选为0.05以下,进一步优选为0.03以下,特别优选为0.02以下。下限并无特别限定,例如能够设为0.0001以上,也能够设为0.0005以上。若上述吸光度的比为上述范围,则能够制成可见透明性及近红外线屏蔽性优异的近红外线吸收颜料。另外,本发明中,近红外线吸收颜料的极大吸收波长及各波长下的吸光度的值为从使用包含近红外线吸收颜料的树脂组合物来形成的膜的吸收光谱求出的值。
作为近红外线吸收颜料,并无特别限定,可举出吡咯并吡咯化合物、芮化合物、氧杂菁化合物、方酸化合物、花青化合物、克酮鎓化合物、酞菁化合物、萘酞菁化合物、吡喃鎓化合物、薁鎓化合物、靛蓝化合物及吡咯亚甲基化合物,优选为选自吡咯并吡咯化合物、方酸化合物、花青化合物、酞菁化合物及萘酞菁化合物中的至少一种,进一步优选为吡咯并吡咯化合物或方酸化合物,特别优选为吡咯并吡咯化合物。作为近红外线吸收颜料的具体例,可举出后述的实施例中所记载的化合物等。
树脂组合物的总固体成分中的颜料的含量为40质量%以上,优选为45质量%以上,更优选为50质量%以上,进一步优选为55质量%以上,更进一步优选为60质量%以上。上限优选为80质量%以下,更优选为75质量%以下,进一步优选为70质量%以下。
并且,颜料中的含有金属原子的颜料的含量优选为30质量%以上,更优选为40质量%以上,进一步优选为50质量%以上。上限电能够设为100质量%以下,也能够设为90质量%以下,还能够设为80质量%以下。
并且,颜料中的彩色颜料的含量优选为30~100质量%,更优选为40~100质量%,进一步优选为50~100质量%。
并且,颜料中的卤化锌酞菁颜料的含量优选为30质量%以上,更优选为40质量%以上,进一步优选为50质量%。上限也能够设为100质量%以下,也能够设为90质量%以下,还能够设为80质量%以下。
《染料》
本发明的树脂组合物可以包含染料。作为染料并没有特别限制,能够使用公知的染料。作为染料,可举出彩色染料、黑色染料、近红外线吸收染料等。作为染料,能够使用公知的染料。并且,也能够使用日本特开2019-073695号公报中所记载的次甲基染料、日本特开2019-073696号公报中所记载的次甲基染料、日本特开2019-073697号公报中所记载的次甲基染料、日本特开2019-073698号公报中所记载的次甲基染料等。并且,作为染料,也能够使用色素多聚体。色素多聚体为在一分子中具有2个以上色素结构的色素多聚体,优选具有3个以上色素结构。上限并无特别限定,但也能够设在100以下。在一分子中具有的多个色素结构可以为相同的色素结构,也可以为不同的色素结构。色素多聚体的重均分子量(Mw)优选为2000~50000。下限更优选为3000以上,进一步优选为6000以上。上限更优选为30000以下,进一步优选为20000以下。色素多聚体也能够使用日本特开2011-213925号公报、日本特开2013-041097号公报、日本特开2015-028144号公报、日本特开2015-030742号公报、日本特开2016-102191号公报、国际公开第2016/031442号等中所记载的化合物。
并且,树脂组合物的总固体成分中的染料的含量优选为50质量%以下,更优选为40质量%以下,进一步优选为30质量%以下。并且,树脂组合物中的染料的含量相对于颜料100质量份优选为100质量份以下,更优选为80质量份以下,进一步优选为60质量份以下。
也优选本发明的树脂组合物实质上不含有染料。根据该实施方式,能够增加树脂组合物中的颜料的比例,更显著地获得抑制颜料的凝聚的效果。另外,在本说明书中,实质上不含有染料的情况是指树脂组合物的总固体成分中的染料的含量为0.1质量%以下,优选为0.01质量%以下,更优选不含有染料。
《树脂》
本发明的树脂组合物含有树脂。树脂例如以在树脂组合物分散颜料的用途或粘合剂的用途配合。另外,将主要用于分散颜料的树脂也称为分散剂。然而,树脂的这种用途为一例,也能够以除了这种用途之外的目的使用。
树脂的重均分子量(Mw)优选为3000~2000000。上限更优选为1000000以下,特别优选为500000以下。下限更优选为4000以上,特别优选为5000以上。
作为树脂,可以举出(甲基)丙烯酸树脂、烯-硫醇树脂、聚碳酸酯树脂、聚醚树脂、聚芳酯树脂、聚砜树脂、聚醚砜树脂、聚苯撑树脂、聚芳醚膦氧化物树脂、聚酰亚胺树脂、聚酰胺酰亚胺树脂、聚烯烃树脂、环状烯烃树脂、聚酯树脂、苯乙烯树脂等。可以从这些树脂中单独使用一种,也可以混合使用两种以上。并且,也能够使用日本特开2017-206689号公报的0041~0060段中所记载的树脂、日本特开2018-010856号公报的0022~007段中所记载的树脂、日本特开2017-057265号公报中所记载的树脂、日本特开2017-032685号公报中所记载的树脂、日本特开2017-075248号公报中所记载的树脂、日本特开2017-066240号公报中所记载的树脂。
(具有酸基的树脂)
在本发明的树脂组合物中,作为树脂使用具有酸基的树脂。优选本发明的树脂组合物包含具有酸基的树脂作为分散剂。根据该实施方式,容易在颜料、化合物A及具有酸基的树脂之间形成上述网络结构,能够更有效地提高树脂组合物的保存稳定性。另外,具有酸基的树脂可以作为粘合剂而含有。具有酸基的树脂例如能够用作碱可溶性树脂。
关于具有酸基的树脂,能够参考日本特开2012-208494号公报的0558~0571段(对应的美国专利申请公开第2012/0235099号说明书的0685~0700段)的记载、日本特开2012-198408号公报的0076~0099段的记载,这些内容被编入本说明书中。并且,具有酸基的树脂也能够使用市售品。并且,作为酸基向树脂的引入方法,并无特别限定,但是例如可举出日本专利第6349629号公报中所记载的方法。此外,作为酸基向树脂的引入方法,也可举出使酸酐与在环氧基的开环反应中产生的羟基反应而引入酸基的方法。
作为具有酸基的树脂所具有的酸基的种类,可举出羧基、磷酸基、磺基、酚性羟基等,优选为羧基。
具有酸基的树脂优选包含在侧链具有酸基的重复单元,更优选在树脂的总重复单元中包含5~70摩尔%的在侧链具有酸基的重复单元。在侧链上具有酸基的重复单元的含量的上限优选为50摩尔%以下,更优选为30摩尔%以下。在侧链上具有酸基的重复单元的含量的下限优选为10摩尔%以上,更优选为20摩尔%以上。
具有酸基的树脂的酸值优选为30~500mgKOH/g。下限更优选为40mgKOH/g以上,特别优选为50mgKOH/g以上。上限更优选为400mgKOH/g以下,进一步优选为300mgKOH/g以下,特别优选为200mgKOH/g以下。具有酸基的树脂的重均分子量(Mw)优选为5000~100000,更优选为5000~50000。并且,具有酸基的树脂的数均分子量(Mn)优选为1000~20000。
也优选具有酸基的树脂包含来自于包含由下述式(ED1)表示的化合物及/或由下述式(ED2)表示的化合物(以下,有时将这些化合物也称为“醚二聚物”。)的单体成分的重复单元。
[化学式4]
式(ED1)中,R1及R2分别独立地表示氢原子或可以具有取代基的碳原子数1~25的烃基。
[化学式5]
式(ED2)中,R表示氢原子或碳原子数1~30的有机基团。关于式(ED2)的详细内容,能够参考日本特开2010-168539号公报的记载,该内容被编入本说明书中。
作为醚二聚物的具体例,例如能够参考日本特开2013-029760号公报的0317段中的记载,该内容被编入本说明书中。
也优选具有酸基的树脂包含来自于由下述式(X)表示的化合物的重复单元。
[化学式6]
式(X)中,R1表示氢原子或甲基,R2表示碳原子数2~10的亚烷基,R3表示氢原子或可以包含苯环的碳原子数1~20的烷基。n表示1~15的整数。
也优选具有酸基的树脂包含具有聚合性基团的重复单元。作为聚合性基团,可举出含有烯属不饱和键的基团及环状醚基,优选为含有烯属不饱和键的基团。作为含有烯属不饱和键的基团,可举出乙烯基、(甲基)烯丙基、(甲基)丙烯酰基等。作为环状醚基,可举出环氧基、氧杂环丁基等。
具有酸基的树脂也优选为具有酸基的接枝树脂(以下,也称为酸性接枝树脂)。根据该实施方式,能够更加提高颜料的分散性,并更加提高树脂组合物的保存稳定性。酸性接枝树脂能够优选地用作分散剂。在此,接枝树脂是指包含具有接枝链的重复单元的树脂。并且,接枝链是指从重复单元的主链分支并延伸的聚合物链。在接枝链中,除了氢原子的原子数优选为40~10000,除了氢原子的原子数更优选为50~2000,除了氢原子的原子数进一步优选为60~500。
优选接枝链包含选自聚酯链、聚醚链、聚(甲基)丙烯酸链、聚胺酯链、聚脲链及聚酰胺链的至少一种结构,更优选包含选自聚酯链、聚醚链及聚(甲基)丙烯酸链的至少一种结构。
作为接枝链的末端结构,并无特别限定。可以为氢原子,也可以为取代基。作为取代基,可举出烷基、芳基、杂芳基、烷氧基、芳氧基、杂芳氧基、烷基硫醚基、芳基硫醚基、杂芳硫基醚基、羟基、氨基等。其中,从提高颜料等的分散性的观点考虑,优选为具有空间排斥效果的基团,优选为碳原子数5~24的烷基或烷氧基。烷基及烷氧基可以为直链、支链及环状中的任一种,优选为直链或支链。
接枝链的重均分子量优选为500~10000。上限优选为8000以下,更优选为6000以下。下限优选为1000以上,更优选为1500以上。另外,在本说明书中,接枝链的重均分子量为由原料单体的重均分子量计算出的值,该原料单体用于聚合具有接枝链的重复单元。例如,具有接枝链的重复单元能够通过聚合大分子单体来形成。在此,大分子单体是指在聚合物末端引入聚合性基团的高分子化合物。并且,原料单体的重均分子量的值为通过GPC(凝胶渗透色谱)法测定的聚苯乙烯换算值。
作为酸性接枝树脂所具有的酸基,可举出羧基、磺基、磷酸基,从颜料的分散性的观点考虑,优选为羧基。酸性接枝树脂的酸值优选为20~150mgKOH/g。上限优选为130mgKOH/g以下,更优选为110mgKOH/g以下。下限优选为30mgKOH/g以上,更优选为40mgKOH/g以上。
酸性接枝树脂的重均分子量优选为5000~100000,更优选为10000~50000,进一步优选为10000~30000。酸性接枝树脂的数均分子量(Mn)优选为2500~50000,更优选为5000~30000,进一步优选为5000~15000。
酸性接枝树脂优选为包含具有接枝链的重复单元及具有酸基的重复单元的树脂。并且,优选酸性接枝树脂在酸性接枝树脂的总重复单元中包含1摩尔%以上具有接枝链的重复单元,更优选含有2摩尔%以上,进一步优选含有3摩尔%以上。上限也能够设为90摩尔%,也能够设为80摩尔%以下,也能够设为70摩尔%以下,也能够设为60摩尔%以下,也能够设为50摩尔%以下。并且,优选酸性接枝树脂在酸性接枝树脂的总重复单元中包含1摩尔%以上具有酸基的重复单元,更优选含有2摩尔%以上,进一步优选含有3摩尔%以上。上限也能够设为90摩尔%,也能够设为80摩尔%以下,也能够设为70摩尔%以下,也能够设为60摩尔%以下,也能够设为50摩尔%以下。
酸性接枝树脂可以进一步包含除上述以外的其他重复单元。作为其他重复单元,可举出具有聚合性基团的重复单元等。作为聚合性基团,可举出含有烯属不饱和键的基团、环状醚基等。
作为酸性接枝树脂的具体例,可举出日本特开2012-255128号公报的0025~0094段中所记载的树脂或后述的实施例中所记载的结构的树脂。
也优选本发明的树脂组合物中,作为具有酸基的树脂,包含具有芳香族羧基的树脂(以下也称为树脂Ac)。在树脂Ac中,芳香族羧基可以包含在重复单元的主链上,也可以包含在重复单元的侧链上。芳香族羧基优选包含在重复单元的主链上。另外,在本说明书中,芳香族羧基为在芳环上键合有1个以上羧基的结构的基团。在芳香族羧基中,键合于芳环的羧基的个数优选为1~4个,更优选为1~2个。
树脂Ac优选为包含选自由式(Ac-1)表示的重复单元及由式(Ac-2)表示的重复单元的至少一种重复单元的树脂。
[化学式7]
在式(Ac-1)中,Ar1表示包含芳香族羧基的基团,L1表示-COO-或-CONH-,L2表示2价的连结基团。
在式(Ac-2)中,Ar10表示包含芳香族羧基的基团,L11表示-COO-或-CONH-,L12表示3价的连结基团,P10表示聚合物链。
在式(Ac-1)中,作为包含Ar1所表示的芳香族羧基的基团,可举出来自于芳香族三羧酸酐的结构、来自于芳香族四羧酸酐的结构等。作为芳香族三羧酸酐及芳香族四羧酸酐,可举出下述结构的化合物。
[化学式8]
在上述式中,Q1表示单键、-O-、-CO-、-COOCH2CH2OCO-、-SO2-、-C(CF3)2-、由下述式(Q-1)表示的基团或由下述式(Q-2)表示的基团。
[化学式9]
包含Ar1所表示的芳香族羧基的基团可以具有聚合性基团。作为聚合性基团,可举出含有烯属不饱和键的基团及环状醚基,优选为含有烯属不饱和键的基团。作为包含Ar1所表示的芳香族羧基的基团的具体例,可举出由式(Ar-11)表示的基团、由式(Ar-12)表示的基团、由式(Ar-13)表示的基团等。
[化学式10]
在式(Ar-11)中,n1表示1~4的整数,优选为1或2,更优选为2。
在式(Ar-12)中,n2表示1~8的整数,优选为1~4的整数,更优选为1或2,进一步优选为2。
在式(Ar-13)中,n3及n4分别独立地表示0~4的整数,优选为0~2的整数,更优选为1或2,进一步优选为1。但是,n3及n4中的至少一个为1以上的整数。
在式(Ar-13)中,Q1表示单键、-O-、-CO-、-COOCH2CH2OCO-、-SO2-、-C(CF3)2-、由上述式(Q-1)表示的基团或由上述式(Q-2)表示的基团。
在式(Ar-11)~(Ar-13)中,*1表示与L1的键合位置。
在式(Ac-1)中,L1表示-COO-或-CONH-,优选表示-COO-。
在式(Ac-1)中,作为L2所表示的2价的连结基团,可举出亚烷基、亚芳基、-O-、-CO-、-COO-、-OCO-、-NH-、-S-及组合这些中的2种以上的基团。烷基的碳原子数优选为1~30,更优选为1~20,进一步优选为1~15。亚烷基可以为直链、支链、环状中的任一个。芳基的碳原子数优选为6~30,更优选为6~20,进一步优选为6~10。亚烷基及亚芳基可以具有取代基。作为取代基,可举出羟基等。L2所表示的2价的连结基团优选为由式-L2a-O-表示的基团。L2a可举出亚烷基;亚芳基;组合亚烷基和亚芳基的基团;组合选自亚烷基及亚芳基的至少一种和选自-O-、-CO-、-COO-、-OCO-、-NH-及-S-的至少一种的基团等,优选为亚烷基。烷基的碳原子数优选为1~30,更优选为1~20,进一步优选为1~15。亚烷基可以为直链、支链、环状中的任一个。亚烷基及亚芳基可以具有取代基。作为取代基,可举出羟基等。
在式(Ac-2)中,作为Ar10所表示的包含芳香族羧基的基团,含义与式(Ac-1)的Ar1相同,优选的范围也相同。
在式(Ac-2)中,L11表示-COO-或-CONH-,优选表示-COO-。
在式(Ac-2)中,作为L12所表示的3价的连结基团,可举出烃基、-O-、-CO-、-COO-、-OCO-、-NH-、-S-及组合这些中的2种以上的基团。烃基可举出脂肪族烃基、芳香烃。脂肪族烃基的碳原子数优选为1~30,更优选为1~20,进一步优选为1~15。脂肪族烃基可以为直链、支链、环状中的任一个。芳香烃的碳原子数优选为6~30,更优选为6~20,进一步优选为6~10。烃基可以具有取代基。作为取代基,可举出羟基等。L12所表示的3价的连结基团优选为由式(L12-1)表示的基团,更优选为由式(L12-2)表示的基团。
[化学式11]
在式(L12-1)中,L12b表示3价的连结基团,X1表示S,*1表示与式(Ac-2)的L11的键合位置,*2表示与式(Ac-2)的P10的键合位置。作为L12b所表示的3价的连结基团,可举出烃基;组合烃基和选自-O-、-CO-、-COO-、-OCO-、-NH-及-S-的至少一种的基团等,优选为烃基或组合烃基和-O-的基团。
在式(L12-2)中,L12c表示3价的连结基团,X1表示S,*1表示与式(Ac-2)的L11的键合位置,*2表示与式(Ac-2)的P10的键合位置。作为L12c所表示的3价的连结基团,可举出烃基;组合烃基和选自-O-、-CO-、-COO-、-OCO-、-NH-及-S-的至少一种的基团等,优选为烃基。
在式(Ac-2)中,P10表示聚合物链。优选P10所表示的聚合物链具有选自聚(甲基)丙烯酸重复单元、聚醚重复单元、聚酯重复单元及多元醇重复单元的至少一种重复单元。聚合物链P10的重均分子量优选为500~20000。下限优选为1000以上。上限优选为10000以下,更优选为5000以下,进一步优选为3000以下。若P10的重均分子量在上述范围内,则组合物中的颜料的分散性良好。具有芳香族羧基的树脂为具有由式(Ac-2)表示的重复单元的树脂时,该树脂优选地用作分散剂。
P10所表示的聚合物链可以包含聚合性基团。作为聚合性基团,可举出含有烯属不饱和键的基团及环状醚基,优选为含有烯属不饱和键的基团。
在式(Ac-2)中,P10所表示的聚合物链优选为包含由下述式(P-1)~(P-5)表示的重复单元的聚合物链,更优选为包含由(P-5)表示的重复单元的聚合物链。
[化学式12]
在上述式中,RP1及RP2分别表示亚烷基。作为由RP1及RP2表示的亚烷基,优选为碳原子数1~20的直链状或支链状亚烷基,更优选为碳原子数2~16的直链状或支链状亚烷基,进一步优选为碳原子数3~12的直链状或支链状亚烷基。
在上述式中,RP3表示氢原子或甲基。
在上述式中,LP1表示单键或亚芳基,LP2表示单键或2价的连结基团。LP1优选为单键。作为LP2所表示的2价的连结基团,可举出亚烷基(优选为碳原子数1~12的亚烷基)、亚芳基(优选为碳原子数6~20的亚芳基)、-NH-、-SO-、-SO2-、-CO-、-O-、-COO-、OCO-、-S-、-NHCO-、-CONH-及组合这些中的2个以上而成的基团。
RP4表示氢原子或取代基。作为取代基,可举出羟基、羧基、烷基、芳基、杂芳基、烷氧基、芳氧基、杂芳氧基、烷基硫醚基、芳基硫醚基、杂芳硫基醚基、(甲基)丙烯酰基、氧杂环丁基、封端异氰酸酯基等。另外,本说明书中的封端异氰酸酯基为能够通过热生成异氰酸酯基的基团,例如能够优选地例示使封端剂与异氰酸酯基反应来保护异氰酸酯基的基团。作为封端剂,能够举出肟化合物、内酰胺化合物、酚化合物、醇化合物、胺化合物、活性亚甲基化合物、吡唑化合物、硫醇化合物、咪唑系化合物、酰亚胺系化合物等。关于封端剂,可举出日本特开2017-067930号公报的0115~0117段中所记载的化合物,该内容被编入本说明书中。并且,封端异氰酸酯基优选为能够通过90℃~260℃的热生成异氰酸酯基的基团。
P10所表示的聚合物链优选具有选自(甲基)丙烯酰基、氧杂环丁基、封端异氰酸酯基及叔丁基中的至少一种基团(以下也称为“官能团A”。)。官能团A更优选为选自(甲基)丙烯酰基、氧杂环丁基及封端异氰酸酯基中的至少一种。聚合物链包含官能团A时,容易形成耐溶剂性优异的膜。尤其,包含选自(甲基)丙烯酰基、氧杂环丁基及封端异氰酸酯基的至少一种基团时,上述效果显著。并且,官能团A具有叔丁基时,优选在树脂组合物中包含具有环氧基或氧杂环丁基的化合物。官能团A具有封端异氰酸酯基时,优选在树脂组合物中包含具有羟基的化合物。
并且,P10所表示的聚合物链更优选为具有在侧链包含上述官能团A的重复单元的聚合物链。并且,构成P10的总重复单元中的在侧链包含上述官能团A的重复单元的比例优选为5质量%以上,更优选为10质量%以上,进一步优选为20质量%以上。上限能够设为100质量%,优选为90质量%以下,更优选为60质量%以下。
并且,也优选P10所表示的聚合物链具有包含酸基的重复单元。作为酸基,可举出羧基、磷酸基、磺酸基、酚性羟基等。构成P10的总重复单元中的包含酸基的重复单元的比例优选为1~30质量%,更优选为2质量%~20质量%,进一步优选为3~10质量%。
本发明的树脂组合物中,作为具有酸基的树脂,也能够使用在主链及侧链中的至少一处包含氮原子的聚亚胺系分散剂。作为聚亚胺系分散剂,优选为具有主链及侧链且在主链及侧链中的至少一处具有碱性氮原子的树脂,该主链包含具有pKa14以下的官能团的部分结构,该侧链的原子数为40~10000。碱性氮原子只要为呈碱性的氮原子,则并没有特别限制。关于聚亚胺系分散剂,能够参考日本特开2012-255128号公报的0102~0166段的记载,该内容被编入本说明书中。
本发明的树脂组合物中,作为具有酸基的树脂,也能够使用在核部键合有多个聚合物链的结构的树脂。作为这些树脂,例如可举出树状聚合物(包含星型聚合物)。并且,作为树枝状聚合物的具体例,可举出日本特开2013-043962号公报的0196~0209段中所记载的高分子化合物C-1~C-31等。
本发明的树脂组合物中,作为具有酸基的树脂,也能够使用市售品的酸性分散剂。作为这种具体例,可举出BYK Chemie GmbH制造的DISPERBYK系列(例如DISPERBYK-111等)、Lubrizol Japan Ltd.制造的SOLSPERSE系列等。并且,也能够使用日本特开2014-130338号公报的0041~0130段中所记载的颜料分散剂,且该内容被编入本说明书中。
(不包含酸基的树脂)
本发明的树脂组合物能够进一步含有不包含酸基的树脂。作为这种树脂,并无特别限定,可以举出(甲基)丙烯酸树脂、环氧树脂、烯-硫醇树脂、聚碳酸酯树脂、聚醚树脂、聚芳酯树脂、聚砜树脂、聚醚砜树脂、聚苯撑树脂、聚芳醚膦氧化物树脂、聚酰亚胺树脂、聚酰胺酰亚胺树脂、聚烯烃树脂、环状烯烃树脂、聚酯树脂、苯乙烯树脂等。
并且,作为不包含酸基的树脂,也能够使用具有碱基的树脂。具有碱基的树脂优选为包含在侧链具有碱基的重复单元的树脂,更优选为具有在侧链具有碱基的重复单元和不包含碱基的重复单元的共聚物,进一步优选为具有在侧链具有碱基的重复单元和不包含碱基的重复单元的嵌段共聚物。具有碱基的树脂也能够用作分散剂。具有碱基的树脂的胺值优选为5~300mgKOH/g。下限优选为10mgKOH/g以上,更优选为20mgKOH/g以上。上限优选为200mgKOH/g以下,更优选为100mgKOH/g以下。作为具有碱基的树脂,可举出日本特开2014-219665号公报的0063~0112段中所记载的嵌段共聚物(B)、日本特开2018-156021号公报的0046~0076段中所记载的嵌段共聚物A1。
树脂组合物的总固体成分中的树脂的含量优选为5~40质量%。下限优选为10质量%以上。上限优选为30质量%以下,更优选为25质量%以下。
树脂组合物的总固体成分中的具有酸基的树脂的含量优选为5~40质量%。下限优选为10质量%以上。上限优选为30质量%以下,更优选为25质量%以下。
并且,具有酸基的树脂的含量相对于颜料100质量份优选为20~120质量份。下限优选为25质量份以上,更优选为30质量份以上。上限优选为110质量份以下,更优选为100质量份以下。
并且,作为分散剂的具有酸基的树脂的含量相对于颜料100质量份优选为10~60质量份。下限优选为15质量份以上,更优选为20质量份以上。上限优选为50质量份以下,更优选为40质量份以下。
《化合物A》
本发明的树脂组合物包含化合物A,该化合物A在1个分子中包含3个以上碱基,胺值为2.7mmol/g以上,且分子量为100以上。
化合物A的分子量为100以上,优选为200以上,更优选为250以上。上限优选为100000以下,更优选为50000以下,进一步优选为10000以下,特别优选为2000以下。另外,关于化合物A的分子量的值,在能够由结构式计算分子量时,化合物A的分子量为由结构式计算出的值。另一方面,当化合物A的分子量无法由结构式计算或者难以计算时,使用由沸点上升法所测定的数均分子量的值。并且,即使由沸点上升法也无法测定或者难以测定时,使用由粘度法所测定的数均分子量的值。并且,即使由粘度法也无法测定或者难以在粘度法下测定时,使用通过GPC(凝胶渗透色谱)法所测定的聚苯乙烯换算值中的数均分子量的值。
化合物A的胺值为2.7mmol/g以上,优选为5mmol/g以上,更优选为10mmol/g以上,进一步优选为15mmol/g以上。另外,化合物A的胺值通过后述的实施例中所记载的方法计算。
化合物A中包含的碱基的个数为3个以上,优选为4个以上,更优选为6个以上,进一步优选为10个以上。
化合物A所具有的碱性基优选为氨基。并且,化合物A优选为具有伯氨基的化合物,更优选为分别包含伯氨基及叔氨基的化合物,进一步优选为分别包含伯氨基、仲氨基及叔氨基的化合物。
并且,化合物A所具有的氨基可以为环状氨基。环状氨基可以为如哌啶基等脂肪族环状氨基,也可以为如吡啶基等芳环状氨基。环状氨基优选为具有5员环或6员环结构的环状氨基,更优选为具有6员环结构的环状氨基,进一步优选为具有6员环结构的脂肪族环状氨基。环状氨基优选具有受阻胺结构,特别优选具有6员环受阻胺结构。作为受阻胺结构,优选在与环状氨基的氮原子相邻的环结构中的2个碳原子上具有烷基等取代基。作为具有受阻胺结构的环状氨基,例如可举出1,2,2,6,6-五甲基哌啶基、2,2,6,6-四甲基哌啶基、1,2,6,6-三甲基哌啶基、2,6-二甲基哌啶基、1-甲基-2,6-二(叔丁基)哌啶基、2,6-二(叔丁基)哌啶基、1,2,2,5,5-五甲基吡咯烷基、2,2,5,5-四甲基吡咯烷基等。其中,优选为1,2,2,6,6-五甲基哌啶基或2,2,6,6-四甲基哌啶基,更优选为1,2,2,6,6-五甲基哌啶基。
作为化合物A,从能够更加提高树脂组合物的保存稳定性之类的理由考虑,优选为化合物A为聚亚烷基亚胺。聚亚烷基亚胺为将丙烯基亚胺开环聚合而获得的聚合物。聚亚烷基亚胺优选为具有分别包含伯氨基、仲氨基及叔氨基的支链结构的聚合物。亚烷基亚胺的碳原子数优选为2~6,更优选为2~4,进一步优选为2或3,特别优选为2。作为亚烷基亚胺的具体例,可举出乙烯亚胺、丙烯亚胺、1,2-丁烯亚胺、2,3-丁烯亚胺等,优选为乙烯亚胺或丙烯亚胺,更优选为乙烯亚胺。聚亚烷基亚胺特别优选为聚乙烯亚胺。并且,聚乙烯亚胺中,相对于伯氨基、仲氨基及叔氨基的合计,优选包含10摩尔%以上的伯氨基,更优选包含20摩尔%以上的伯氨基,进一步优选包含30摩尔%以上的伯氨基。作为聚乙烯亚胺的市售品,可举出EPOMIN SP-003、SP-006、SP-012、SP-018、SP-200、P-1000(以上,Nippon ShokubaiCo.,Ltd.制造)等。
并且,作为化合物A,也能够使用具有环状氨基的化合物。作为这种化合物,可举出以下所述的结构的化合物等。并且,作为市售品,可举出ADECASTAB LA-52、LA-57、LA-63P、LA-68(以上为ADEKA CORPORATI0N制造)等。
[化学式13]
并且,作为化合物A,能够使用在侧链具有氨基的树脂。并且,作为化合物A,也能够使用以下所示的结构的化合物。
[化学式14]
树脂组合物的总固体成分中的化合物A的含量优选为0.1~5质量%。下限优选为0.2质量%以上,更优选为0.5质量%以上,进一步优选为1质量%以上。上限优选为4.5质量%以下,更优选为4质量%以下,进一步优选为3质量%以下。
并且,化合物A的含量相对于颜料100质量份优选为0.5~10质量份。下限优选为0.6质量份以上,更优选为1质量份以上,进一步优选为2质量份以上。上限优选为8质量份以下,更优选为7质量%以下,进一步优选为5质量份以下。
并且,化合物A的含量相对于具有酸基的树脂100质量份优选为0.5~50质量份。下限优选为0.6质量份以上,更优选为1质量份以上,进一步优选为3质量份以上。上限优选为45质量份以下,更优选为40质量%以下,进一步优选为30质量份以下。
并且,化合物A的含量相对于作为分散剂的具有酸基的树脂100质量份优选为1~70质量份。下限优选为2质量份以上,更优选为3质量份以上,进一步优选为5质量份以上。上限优选为65质量份以下,更优选为60质量%以下,进一步优选为50质量份以下。
《颜料衍生物》
本发明的树脂组合物能够含有颜料衍生物。根据该实施方式,能够更加提高树脂组合物的保存稳定性。作为颜料衍生物,可举出具有在色素骨架上键合有酸基或碱基的结构的化合物。作为构成颜料衍生物的色素骨架,可举出喹啉色素骨架、苯并咪唑酮色素骨架、苯并异吲哚色素骨架、苯并噻唑色素骨架、亚胺色素骨架、方酸色素骨架、克酮鎓色素骨架、氧杂菁色素骨架、吡咯并吡咯色素骨架、二酮吡咯并吡咯色素骨架、偶氮色素骨架、次甲基偶氮色素骨架、酞菁色素骨架、萘酞菁色素骨架、蒽醌色素骨架、喹吖啶酮色素骨架、二噁嗪色素骨架、紫环酮色素骨架、苝色素骨架、硫靛蓝色素骨架、异吲哚啉色素骨架、异吲哚啉酮色素骨架、亚胺色素骨架、二硫醇色素骨架、三芳基甲烷色素骨架、吡咯亚甲基色素骨架等。作为酸基,可举出磺基、羧基、磷酸基及这些的盐。作为构成盐的原子或原子团,可举出碱金属离子(Li+、Na+、K+等)、碱土类金属离子(Ca2+、Mg2+等)、铵离子、咪唑鎓离子、吡啶鎓离子、鏻离子等。作为碱基,可举出氨基、吡啶基及其盐、铵基的盐以及酞酰亚胺甲基。作为构成盐的原子或原子团,可举出氢氧化物离子、卤离子、羧酸离子、磺酸离子、苯氧化物离子等。
颜料衍生物也能够使用可见透明性优异的颜料衍生物(以下,也称为透明颜料衍生物)。透明颜料衍生物在400~700nm的波长区域内的摩尔吸光系数的最大值(εmax)优选为3000L·mol-1·cm-1以下,更优选为1000L·mol-1·cm-1以下,进一步优选为100L·mol-1·cm-1以下。εmax的下限例如为1L·mol-1·cm-1以上,也可以为10L·mol-1·cm-1以上。
作为颜料衍生物的具体例,可举出后述的实施例中所记载的化合物、日本特开昭56-118462号公报、日本特开昭63-264674号公报、日本特开平01-217077号公报、日本特开平03-009961号公报、日本特开平03-026767号公报、日本特开平03-153780号公报、日本特开平03-045662号公报、日本特开平04-285669号公报、日本特开平06-145546号公报、日本特开平06-212088号公报、日本特开平06-240158号公报、日本特开平10-030063号公报、日本特开平10-195326号公报、国际公开第2011/024896号的0086~0098段、国际公开第2012/102399号的0063~0094段、国际公开第2017/038252号的0082段、日本特开2015-151530号公报的0171段、日本特开2011-252065号公报的0162~0183段、日本特开2003-081972号公报、日本专利第5299151号公报、日本特开2015-172732号公报、日本特开2014-199308号公报、日本特开2014-085562号公报、日本特开2014-035351号公报、日本特开2008-081565号公报中所记载的化合物。
颜料衍生物的含量相对于颜料100质量份优选为1~30质量份,更优选为3~20质量份。颜料衍生物可以仅使用1种,也可以同时使用2种以上。当同时使用2种以上时,优选这些的合计量在上述范围内。
并且,颜料衍生物的含量相对于100质量份化合物A优选为300质量份以下,更优选为200质量份以下,进一步优选为100质量份以下。
并且,颜料衍生物与化合物A的合计含量相对于颜料100质量份优选为0.5~30质量份,更优选为1~20质量份。
《聚合性化合物》
本发明的树脂组合物优选含有聚合性化合物。作为聚合性化合物,例如能够使用通过自由基、酸或热量能够交联的公知的化合物。在本发明中,优选聚合性化合物例如为具有含有烯属不饱和键的基团的化合物。作为含有烯属不饱和键的基团,可举出乙烯基、(甲基)烯丙基、(甲基)丙烯酰基等。本发明中所使用的聚合性化合物优选为自由基聚合性化合物。
作为聚合性化合物,可以是单体、预聚物、低聚物等化学方式中的任一种,优选为单体。聚合性化合物的分子量优选为100~3000。上限更优选为2000以下,进一步优选为1500以下。下限更优选为150以上,进一步优选为250以上。
聚合性化合物优选为包含3个以上含有烯属不饱和键的基团的化合物,更优选为包含3~15个含有烯属不饱和键的基团的化合物,进一步优选为包含3~6个含有烯属不饱和键的基团的化合物。并且,聚合性化合物优选为3~15官能的(甲基)丙烯酸酯化合物,更优选为3~6官能的(甲基)丙烯酸酯化合物。作为聚合性化合物的具体例,可举出日本特开2009-288705号公报的0095~0108段、日本特开2013-029760号公报的0227段、日本特开2008-292970号公报的0254~0257段、日本特开2013-253224号公报的0034~0038段、日本特开2012-208494号公报的0477段、日本特开2017-048367号公报、日本专利第6057891号公报、日本专利第6031807号公报中所记载的化合物,且这些内容被编入本说明书中。
作为聚合性化合物,优选为二季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯(作为市售品为KAYARADD-330;Nippon Kayaku Co.,Ltd.制造)、二季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯(作为市售品为KAYARAD D-320;Nippon Kayaku Co.,Ltd.制造)、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯(作为市售品为KAYARAD D-310;Nippon Kayaku Co.,Ltd.制造)、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯(作为市售品为KAYARAD DPHA;Nippon Kayaku Co.,Ltd.制造、NK ESTER A-DPH-12E;Shin-Nakamura Chemical Co.,Ltd.制造)及经由乙二醇和/或丙二醇残基而键合有这些(甲基)丙烯酰基的结构的化合物(例如,由SARTOMER Company,Inc.市售的SR454、SR499)等。并且,作为聚合性化合物,也能够使用二甘油EO(环氧乙烷)改性(甲基)丙烯酸酯(作为市售品,M-460;TOAGOSEI CO.,LTD.制造)、季戊四醇四丙烯酸酯(Shin Nakamura Chemical Co.,Ltd.制造,NK Ester A-TMMT)、1,6-己二醇二丙烯酸酯(Nippon Kayaku Co.,Ltd.制造,KAYARADHDDA)、RP-1040(Nippon Kayaku Co.,Ltd.制造)、ARONIX TO-2349(TOAGOSEI CO.,LTD.制造)、NK Oligo UA-7200(Shin Nakamura Chemical Co.,Ltd.制造)、DPHA-40H(NipponKayaku Co.,Ltd.制造)、UA-306H、UA-306T、UA-306I、AH-600、T-600、AI-600、LINC-202UA(KYOEISHA CHEMICAL Co.,LTD制造)、8UH-1006、8UH-1012(以上为Taisei Pine ChemicalCo.,Ltd.制造)、LIGHT ACRYLATE POB-A0(KYOEISHA CHEMICAL Co.,LTD.制造)等。
并且,聚合性化合物也能够使用三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷环氧丙烷改性三(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷环氧乙烷改性三(甲基)丙烯酸酯、异三聚氰酸环氧乙烷改性三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯等3官能的(甲基)丙烯酸酯化合物。作为3官能的(甲基)丙烯酸酯化合物的市售品,可举出ARONIX M-309、M-310、M-321、M-350、M-360、M-313、M-315、M-306、M-305、M-303、M-452、M-450(TOAGOSEI CO.,LTD.制造)、NK ESTER A9300、A-GLY-9E、A-GLY-20E、A-TMM-3、A-TMM-3L、A-TMM-3LM-N、A-TMPT、TMPT(Shin-Nakamura Chemical Co.,Ltd.制造)、KAYARAD GPO-303、TMPTA、THE-330、TPA-330、PET-30(Nippon Kayaku Co.,Ltd.制造)等。
并且,聚合性化合物也能够使用具有酸基的化合物。通过使用具有酸基的聚合性化合物,容易去除显影时未曝光部的聚合性化合物,进而能够抑制显影残渣的产生。作为酸基,可举出羧基、磺酸基、磷酸基等,优选为羧基。作为具有酸基的聚合性化合物,可举出琥珀酸改性二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯等。作为具有酸基的聚合性化合物的市售品,可举出ARONIX M-510、M-520、ARONIX TO-2349(TOAGOSEI CO.,LTD.制造)等。作为具有酸基的聚合性化合物的优选的酸值为0.1~40mgKOH/g,更优选为5~30mgKOH/g。若聚合性化合物的酸值为0.1mgKOH/g以上,则在显影液中的溶解性良好,若为40mgKOH/g以下,则在制造或处理上有利。
并且,聚合性化合物也能够使用具有己内酯结构的化合物。作为具有己内酯结构的聚合性化合物的市售品,可举出KAYARAD DPCA-20、DPCA-30、DPCA-60、DPCA-120(以上为Nippon Kayaku Co.,Ltd.制造)等。
并且,聚合性化合物也能够使用具有亚烷氧基的聚合性化合物。具有亚烷氧基的聚合性化合物优选为具有亚乙氧基及/或亚丙氧基的聚合性化合物,更优选为具有亚乙氧基的聚合性化合物,进一步优选为具有4~20个亚乙氧基的3~6官能(甲基)丙烯酸酯化合物。作为具有亚烷氧基的聚合性化合物的市售品,例如可举出Sartomer Company,Inc制造的作为具有4个亚乙氧基的4官能(甲基)丙烯酸酯的SR-494、作为具有3个氧亚异丁基的3官能(甲基)丙烯酸酯的KAYARAD TPA-330等。
并且,聚合性化合物也能够使用具有茀骨架的聚合性化合物。作为具有茀骨架的聚合性化合物的市售品,可举出OGSOL FA-0200、FA-0300(Osaka Gas Chemicals Co.,Ltd.制造、具有茀骨架的(甲基)丙烯酸酯单体)等。
作为聚合性化合物,也优选使用实质上不包含甲苯等环境限制物质的化合物。作为这些化合物的市售品,可举出KAYARAD DPHA LT、KAYARAD DPEA-12LT(Nippon KayakuCo.,Ltd.制造)等。
树脂组合物的总固体成分中的聚合性化合物的含量优选为0.1~50质量%。下限优选为0.5质量%以上,更优选为1质量%以上,进一步优选为3质量%以上。上限优选为40质量%以下,更优选为30质量%以下,进一步优选为25质量%以下。聚合性化合物可以单独使用1种,也可以同时使用2种以上。当同时使用2种以上时,优选这些的合计成为上述范围。
《光聚合引发剂》
本发明的树脂组合物优选包含光聚合引发剂。作为光聚合引发剂,并无特别限制,能够从公知的光聚合引发剂中适当地进行选择。例如,优选为对紫外线区域至可见区域的光线具有感光性的化合物。光聚合引发剂优选为光自由基聚合引发剂。
作为光聚合引发剂,可举出卤化烃衍生物(例如,具有三嗪骨架的化合物、具有噁二唑骨架的化合物等)、酰基膦化合物、六芳基联咪唑、肟化合物、有机过氧化物、硫代化合物、酮化合物、芳香族鎓盐、α-羟基酮化合物、α-氨基酮化合物等。从曝光灵敏度的观点考虑,光聚合引发剂优选为三卤甲基三嗪化合物、苄基二甲基缩酮化合物、α-羟基酮化合物、α-氨基酮化合物、酰基膦化合物、氧化膦化合物、茂金属化合物、肟化合物、三芳基咪唑二聚物、鎓化合物、苯并噻唑化合物、二苯甲酮化合物、苯乙酮化合物、环戊二烯-苯-铁络合物、卤代甲基噁二唑化合物及3-芳基取代香豆素化合物,更优选为选自肟化合物、α-羟基酮化合物、α-氨基酮化合物及酰基膦化合物中的化合物,进一步优选为肟化合物。并且,作为光聚合引发剂,可举出日本特开2014-130173号公报的0065~0111段中所记载的化合物、日本专利第6301489号公报中所记载的化合物、MATERIAL STAGE 37~60p,vol.19,No.3,2019中所记载的过氧化物系光聚合引发剂、国际公开第2018/221177号中所记载的光聚合引发剂、国际公开第2018/110179号中所记载的光聚合引发剂、日本特开2019-043864号公报中所记载的光聚合引发剂、日本特开2019-044030号公报中所记载的光聚合引发剂、日本特开2019-167313号公报中所记载的过氧化物系引发剂,这些内容被编入本说明书中。
作为α-羟基酮化合物的市售品,可举出Omnirad 184、Omnirad 1173、Omnirad2959、Omnirad 127(以上为IGM Resins B.V.公司制造)、Irgacure 184、Irgacure 1173、Irgacure 2959、Irgacure 127(以上为BASF公司制造)等。作为α-氨基酮化合物的市售品,可举出Omnirad 907、Omnirad 369、Omnirad 369E、Omnirad 379EG(以上为IGM ResinsB.V.公司制造)、Irgacure 907、Irgacure 369、Irgacure 369E、Irgacure 379EG(以上为BASF公司制造)等。作为酰基膦化合物的市售品,可举出Omnirad 819、Omnirad TPO(以上为[GM Resins B.V.公司制造)、Irgacure 819、Irgacure TPO(以上为BASF公司制造)等。
作为肟化合物,可举出日本特开2001-233842号公报中所记载的化合物、日本特开2000-080068号公报中所记载的化合物、日本特开2006-342166号公报中所记载的化合物、J.C.S.Perkin II(1979年、pp.1653-1660)中所记载的化合物、J.C.S.Perkin II(1979年、pp.156-162)中所记载的化合物、Journal of Photopolymer Science and Technology(1995年、pp.202-232)中所记载的化合物、日本特开2000-066385号公报中所记载的化合物、日本特表2004-534797号公报中所记载的化合物、日本特开2006-342166号公报中所记载的化合物、日本特开2017-019766号公报中所记载的化合物、日本专利第6065596号公报中所记载的化合物、国际公开第2015/152153号中所记载的化合物、国际公开第2017/051680号中所记载的化合物、日本特开2017-198865号公报中所记载的化合物、国际公开第2017/164127号的0025~0038段中所记载的化合物、国际公开第2013/167515号中所记载的化合物等。作为肟化合物的具体例,可举出3-苯甲酰氧基亚氨基丁烷-2-酮、3-乙酰氧基亚氨基丁烷-2-酮、3-丙酰氧基亚氨基丁烷-2-酮、2-乙酰氧基亚氨基戊烷-3-酮、2-乙酰氧基亚氨基-1-苯基丙烷-1-酮、2-苯甲酰氧基亚氨基-1-苯基丙烷-1-酮、3-(4-甲苯磺酰氧基)亚氨基丁烷-2-酮及2-乙氧基羰氧基亚氨基-1-苯基丙烷-1-酮等。作为市售品,可举出Irgacure OXE01、Irgacure OXE02、Irgacure OXE03、Irgacure OXE04(以上为BASF公司制造)、TR-PBG-304(Changzhou Tronly New Electronic Materials CO.,LTD.制造)、AdekaOptomer N-1919(ADEKA CORPORATION制造,日本特开2012-014052号公报中所记载的光聚合引发剂2)。并且,作为肟化合物,也优选使用无着色性的化合物或透明性高且不易变色的化合物。作为市售品,可举出ADEKA ARKLS NCI-730、NCI-831、NCI-930(以上为ADEKACORPORATION制造)等。
作为光聚合引发剂,也能够使用具有芴环的肟化合物。作为具有芴环的肟化合物的具体例,可举出日本特开2014-137466号公报、日本专利06636081号公报中所记载的化合物。
作为光聚合引发剂,也能够使用具有咔唑环的至少1个苯环成为萘环的骨架的肟化合物。作为这种肟化合物的具体例,可举出国际公开第2013/083505号中所记载的化合物。
作为光聚合引发剂,也能够使用具有氟原子的肟化合物。作为具有氟原子的肟化合物的具体例,可举出日本特开2010-262028号公报中所记载的化合物、日本特表2014-500852号公报中所记载的化合物24、36~40、日本特开2013-164471号公报中所记载的化合物(C-3)等。
作为光聚合引发剂,能够使用具有硝基的肟化合物。也优选将具有硝基的肟化合物设为二聚体。作为具有硝基的肟化合物的具体例,可举出日本特开2013-114249号公报的0031~0047段、日本特开2014-137466号公报的0008~0012、0070~0079段中所记载的化合物、日本专利4223071号公报的0007~0025段中所记载的化合物、ADEKA ARKLS NCI-831(ADEKA CORPORATION制造)。
作为光聚合引发剂,也能够使用具有苯并呋喃骨架的肟化合物。作为具体例,可举出国际公开第2015/036910号中所记载的OE-01~OE-75。
作为光聚合引发剂,也能够使用在咔唑骨架键合有具有羟基的取代基的肟化合物。作为这些光聚合引发剂,可举出国际公开第2019/088055号中所记载的化合物等。
作为光聚合引发剂,也能够使用具有在芳环上引入了吸电子基团的芳环基ArOX1的肟化合物(以下也称为肟化合物OX)。作为上述芳环基ArOX1所具有的吸电子基团,可举出酰基、硝基、三氟甲基、烷基亚磺酰基、芳基亚磺酰基、烷基磺酰基、芳基磺酰基、氰基,优选为酰基及硝基,从容易形成耐光性优异的膜之类的理由考虑,更优选为酰基,进一步优选为苯甲酰基。苯甲酰基可以具有取代基。作为取代基,优选为卤原子、氰基、硝基、羟基、烷基、烷氧基、芳基、芳氧基、杂环基、杂环氧基、烯基、烷基硫基、芳基硫基、酰基或氨基,更优选为烷基、烷氧基、芳基、芳氧基、杂环氧基、烷基硫基、芳基硫基或氨基,进一步优选为烷氧基、烷基硫基或氨基。
肟化合物OX优选为选自由式(OX1)表示的化合物及由式(OX2)表示的化合物的至少一种,更优选为由式(OX2)表示的化合物。
[化学式15]
式中,RX1表示烷基、烯基、烷氧基、芳基、芳氧基、杂环基、杂环氧基、烷基硫基、芳基硫基、烷基亚磺酰基、芳基亚磺酰基、烷基磺酰基、芳基磺酰基、酰基、酰氧基、氨基、磷酰基、胺甲酰基或胺磺酰基,
RX2表示烷基、烯基、烷氧基、芳基、芳氧基、杂环基、杂环氧基、烷基硫基、芳基硫基、烷基亚磺酰基、芳基亚磺酰基、烷基磺酰基、芳基磺酰基、酰氧基或氨基,RX3~RX14分别独立地表示氢原子或取代基,但是,RX10~RX14中的至少一个为吸电子基团。
作为吸电子基团,可举出酰基、硝基、三氟甲基、烷基亚磺酰基、芳基亚磺酰基、烷基磺酰基、芳基磺酰基、氰基,优选为酰基及硝基,从容易形成耐光性优异的膜之类的理由考虑,更优选为酰基,进一步优选为苯甲酰基。
在上述式中,优选RX12为吸电子基团,RX10、RX11、RX13、RX14为氢原子。
作为肟化合物OX的具体例,可举出日本专利第4600600号公报的0083~0105段中所记载的化合物。
以下示出本发明中优选地使用的肟化合物的具体例,但本发明并不限定于这些。
[化学式16]
[化学式17]
肟化合物优选为在波长350~500nm的范围内具有极大吸收波长的化合物,更优选为在波长360~480nm的范围内具有极大吸收波长的化合物。并且,从灵敏度的观点考虑,肟化合物在波长365nm或波长405nm下的摩尔吸光系数优选高,更优选为1000~300000,进一步优选为2000~300000,特别优选为5000~200000。化合物的摩尔吸光系数能够利用公知的方法来进行测定。例如,优选通过光谱光度计(Varian公司制造的Cary-5光谱光度计(spectrophotometer)),使用乙酸乙酯溶剂以0.01g/L的浓度测定。
作为光聚合引发剂,可以使用2官能或3官能以上的光自由基聚合引发剂。通过使用这些光自由基聚合引发剂,由光自由基聚合引发剂的一分子产生2个以上的自由基,因此可获得良好的灵敏度。并且,在使用非对称结构的化合物的情况下,结晶性下降而在溶剂等中的溶解性得到提高,随时间而变得难以析出,从而能够提高树脂组合物的经时稳定性。作为2官能或3官能以上的光自由基聚合引发剂的具体例,可举出日本特表2010-527339号公报、日本特表2011-524436号公报、国际公开第2015/004565号、日本特表2016-532675号公报的0407~0412段、国际公开第2017/033680号的0039~0055段中所记载的肟化合物的二聚体、日本特表2013-522445号公报中所记载的化合物(E)及化合物(G)、国际公开第2016/034963号中所记载的Cmpd1~7、日本特表2017-523465号公报的0007段中所记载的肟酯类光引发剂、日本特开2017-167399号公报的0020~0033段中所记载的光引发剂、日本特开2017-151342号公报的0017~0026段中所记载的光聚合引发剂(A)、日本专利第6469669号公报中所记载的肟酯光引发剂等。
树脂组合物的总固体成分中的光聚合引发剂的含量优选为0.1~20质量%。下限优选为0.5质量%以上,更优选为1质量%以上。上限优选为10质量%以下,更优选为8质量%以下,进一步优选为6质量%以下。光聚合引发剂可以单独使用1种,也可以同时使用2种以上。当同时使用2种以上时,优选这些的合计在上述范围内。
《具有环状醚基的化合物》
本发明的树脂组合物能够含有具有环状醚基的化合物。作为环状醚基,可举出环氧基、氧杂环丁基等。具有环状醚基的化合物优选为具有环氧基的化合物(以下也称作环氧化合物)。作为环氧化合物,可举出在1个分子内具有1个以上环氧基的化合物,优选为具有2个以上环氧基的化合物。环氧化合物为在1个分子内具有1~100个环氧基的化合物。环氧化合物中包含的环氧基的上限例如能够设为10个以下,也能够设为5个以下。环氧化合物中包含的环氧基的下限优选为2个以上。作为环氧化合物,也能够使用日本特开2013-011869号公报的0034~0036段、日本特开2014-043556号公报的0147~0156段、日本特开2014-089408号公报的0085~0092段中所记载的化合物、日本特开2017-179172号公报中所记载的化合物。这些内容被编入本说明书中。
环氧化合物可以为低分子化合物(例如,分子量小于2000,进而分子量小于1000),也可以为高分子化合物(macromolecule)(例如,分子量为1000以上,在聚合物的情况下,重均分子量为1000以上)。具有环氧基的化合物的重均分子量优选为200~100000,更优选为500~50000。重均分子量的上限进一步优选为10000以下,特别优选为5000以下,更优选为3000以下。
作为环氧化合物,能够优选地使用环氧树脂。作为环氧树脂,例如可举出作为酚化合物的环氧丙基醚化物的环氧树脂、作为各种酚醛清漆树脂的环氧丙基醚化物的环氧树脂、脂环式环氧树脂、脂肪族系环氧树脂、杂环式环氧树脂、缩水甘油酯系环氧树脂、环氧丙基胺系环氧树脂、对卤化酚类进行环氧丙基化的环氧树脂、具有环氧基的硅化合物与其以外的硅化合物的缩合物、具有环氧基的聚合性不饱和化合物与其以外的其他聚合性不饱和化合物的共聚物等。环氧树脂的环氧当量优选为310~3300g/eq,更优选为310~1700g/eq,进一步优选为310~1000g/eq。
作为具有环状醚基的化合物的市售品,例如可举出EHPE3150(DaicelCorporation.制造)、EPICLON N-695(DIC Corporation制造)、Marproof G-0150M、G-0105SA、G-0130SP、G-0250SP、G-1005S、G-1005SA、G-1010S、G-2050M、G-01100、G-01758(以上为NOF CORPORATION制造、含有环氧基的聚合物)等。
在树脂组合物的总固体成分中的具有环状醚基的化合物的含量优选为0.1~20质量%。下限例如更优选为0.5质量%以上,进一步优选为1质量%以上。上限例如更优选为15质量%以下,进一步优选为10质量%以下。具有环状醚基的化合物可以仅使用1种,也可以使用2种以上。当使用2种以上时,优选这些的合计量成为上述范围。
《固化促进剂》
本发明的树脂组合物可以包含固化促进剂。作为固化促进剂,可举出硫醇化合物、羟甲基化合物、胺化合物、鏻盐化合物、脒盐化合物、酰胺化合物、碱产生剂、异氰酸酯化合物、烷氧基硅烷化合物、鎓盐化合物等。作为固化促进剂的具体例,可举出国际公开第2018/056189号的0094~0097段中所记载的化合物、日本特开2015-034963号公报的0246~0253段中所记载的化合物、日本特开2013-041165号公报的0186~0251段中所记载的化合物、日本特开2014-055114号公报中所记载的离子性化合物、日本特开2012-150180号公报的0071~0080段中所记载的化合物、日本特开2011-253054号公报中所记载的烷氧基硅烷化合物、日本专利第5765059号公报的0085~0092段中所记载的化合物、日本特开2017-036379号公报中所记载的含羧基环氧固化剂等。树脂组合物的总固体成分中的固化促进剂的含量优选为0.3~8.9质量%,更优选0.8~6.4质量%。
《表面活性剂》
本发明的树脂组合物能够含有表面活性剂。作为表面活性剂,能够使用氟系表面活性剂、非离子系表面活性剂、阳离子系表面活性剂、阴离子系表面活性剂、硅酮系表面活性剂等各种表面活性剂。关于表面活性剂,可举出国际公开第2015/166779号的0238~0245段中所记载的表面活性剂,且该内容被编入本说明书中。
表面活性剂优选为氟系表面活性剂。通过在树脂组合物中含有氟系表面活性剂,液特性(尤其是流动性)得到进一步提高,能够进一步改善省液性。并且,也能够形成厚度不均小的膜。
氟系表面活性剂中的含氟率优选为3~40质量%,更优选为5~30质量%,特别优选为7~25质量%。含氟率在该范围内的氟系表面活性剂在涂布膜的厚度均匀性和省液性的观点上有效,在树脂组合物中的溶解性也良好。
作为氟系表面活性剂,可举出日本特开2014-041318号公报的0060~0064段(对应的国际公开第2014/017669号的0060~0064段)等中所记载的表面活性剂、日本特开2011-132503号公报的0117~0132段中所记载的表面活性剂、日本特开2020-008634号公报中所记载的表面活性剂,且这些内容被编入本说明书中。作为氟系表面活性剂的市售品,例如可举出MEGAFACE F-171、F-172、F-173、F-176、F-177、F-141、F-142、F-143、F-144、F-437、F-475、F-477、F-479、F-482、F-554、F-555-A、F-556、F-557、F-558、F-559、F-560、F-561、F-565、F-563、F-568、F-575、F-780、EXP、MFS-330、R-41、R-41-LM、R-01、R-40、R-40-LM、RS-43、TF-1956、RS-90、R-94、RS-72-K、DS-21(以上为DIC CORPORATION制造)、FLUORAD FC430、FC431、FC171(以上为Sumitomo 3M Limited制造)、SURFLON S-382、SC-101、SC-103、SC-104、SC-105、SC一 1068、SC-381、SC-383、S-393、KH-40(以上为AGC INC.制造)、PolyFoxPF636、PF656、PF6320、PF6520、PF7002(以上为OMNOVA SOLUTIONS INC.制造)、Futurgent710FM、610FM、601AD、601ADH2、602A、215M、245F(以上为NEOS制造)等。
并且,氟系表面活性剂也能够优选地使用丙烯酸系化合物,该丙烯酸系化合物具备具有含有氟原子的官能团的分子结构且施加热时含有氟原子的官能团部分被切断而氟原子挥发。作为这种氟系表面活性剂,可举出DIC Corporation制造的MEGAFACE DS系列(化学工业日报(2016年2月22日)日经产业新闻(2016年2月23日)),例如MEGAFACE DS-21。
并且,也优选氟系表面活性剂使用具有氟化烷基或氟化亚烷基醚基的含氟原子的乙烯醚化合物与亲水性乙烯醚化合物的聚合物。这种氟系表面活性剂能够参考日本特开2016-216602号公报中所记载的氟系表面活性剂,该内容被编入本说明书中。
氟系表面活性剂也能够使用嵌段聚合物。氟系表面活性剂也能够优选地使用含氟高分子化合物,该含氟高分子化合物包含:来自于具有氟原子的(甲基)丙烯酸酯化合物的重复单元;及来自于具有2个以上(优选为5个以上)的亚烷氧基(优选为亚乙氧基、亚丙氧基)的(甲基)丙烯酸酯化合物的重复单元。并且,日本特开2010-032698号公报的0016~0037段中所记载的含氟表面活性剂或下述化合物也作为在本发明中使用的氟系表面活性剂来例示。
[化学式18]
上述化合物的重均分子量优选为3000~50000,例如为14000。上述化合物中,表示重复单元的比例的%为摩尔%。
并且,氟系表面活性剂也能够使用在侧链上具有含有烯属不饱和键的基团的含氟聚合物。作为具体例,可举出日本特开2010-164965号公报的0050~0090段及0289~0295段中所记载的化合物、DIC CORPORATION CO.,LTD.制造的MEGAFACE RS-101、RS-102、RS-718K、RS-72-K等。并且,氟系表面活性剂也能够使用日本特开2015-117327号公报的0015~0158段中所记载的化合物。
作为非离子系表面活性剂,可举出丙三醇(glycerol)、三羟甲基丙烷、三羟甲基乙烷及这些的乙氧基化物及丙氧基化物(例如,丙三醇丙氧基化物、丙三醇乙氧基化物等)、聚氧乙烯月桂基醚、聚氧乙烯硬脂基醚、聚氧乙烯油基醚、聚氧乙烯辛基苯基醚、聚氧乙烯壬基苯基醚、聚乙二醇二月桂酸酯、聚乙二醇二硬脂酸酯、脱水山梨糖醇脂肪酸酯、PluronicL10、L31、L61、L62、10R5、17R2、25R2(BASF公司制造)、Tetronic 304、701、704、901、904、150R1(BASF公司制造)、Solsperse 20000(Japan Lubrizol Corporation制造)、NCW-101、NCW-1001、NCW-1002(FUJIFILM Wako Pure Chemical Corporation制造)、PIONIN D-6112、D-6112-W、D-6315(Takemoto Oil&Fat Co.,Ltd.制造)、OLFIN E1010、Surfynol 104、400、440(Nissin Chemical Co.,Ltd.制造)等。
作为硅酮系表面活性剂,例如可举出Toray Silicone DC3PA、Toray SiliconeSH7PA、Toray Silicone DC11PA、Toray Silicone SH21PA、Toray Silicone SH28PA、ToraySilicone SH29PA、Toray Silicone SH30PA、Toray Silicone SH8400(以上为BYK-ChemieGmbH制造)、TSF-4440、TSF-4300、TSF-4445、TSF-4460、TSF-4452(以上为MomentivePerformance Materials Inc.制造)、KP-341、KF-6001、KF-6002(以上为Shin-EtsuChemical Co.,Ltd.制造)、BYK307、BYK323、BYK330(以上为BYK Chemie公司制造)等。
在树脂组合物的总固体成分中,表面活性剂的含量优选为0.001质量%~5.0质量%,更优选为0.005~3.0质量%。表面活性剂可以仅使用1种,也可以使用2种以上。当使用2种以上时,优选这些的合计量成为上述范围。
《溶剂》
本发明的树脂组合物能够含有溶剂。溶剂的种类只要满足各成分的溶解性或组合物的涂布性,则基本上并无特别限制。溶剂优选为有机溶剂。作为有机溶剂,可举出酯系溶剂、酮系溶剂、醇系溶剂、酰胺系溶剂、醚系溶剂、烃系溶剂等。关于这些的详细内容,能够参考国际公开第2015/166779号的0223段,且该内容被编入本说明书中。并且,也能够优选地使用环状烷基经取代的酯系溶剂、环状烷基经取代的酮系溶剂。作为有机溶剂的具体例,可举出聚乙二醇单甲基醚、二氯甲烷、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙基赛路苏乙酸酯、乳酸乙酯、二乙二醇二甲醚、乙酸丁酯、3-甲氧基丙酸甲酯、2-庚酮、环己酮、乙酸环己酯、环戊酮、乙基卡必醇乙酸酯、丁基卡必醇乙酸酯、丙二醇单甲醚、丙二醇单甲醚乙酸酯、3-甲氧基-N,N-二甲基丙酰胺、3-丁氧基-N,N-二甲基丙酰胺、丙二醇二乙酸酯、3-甲氧基丁醇等。但是,有时出于环境方面等理由,优选减少作为有机溶剂的芳香族烃类(苯、甲苯、二甲苯、乙苯等)(例如,相对于有机溶剂总量,能够设为50质量ppm(百万分率(parts permillion))以下,也能够设为10质量ppm以下,也能够设为1质量ppm以下)。
本发明中,优选使用金属含量少的有机溶剂,有机溶剂的金属含量例如优选为10质量ppb(十亿分率(parts per billion))以下。根据需要,可以使用质量ppt(兆分率(parts per trillion))级别的有机溶剂,这种有机溶剂,例如由Toyo Gosei Co.,Ltd.提供(化学工业日报、2015年11月13日)。
作为从有机溶剂中去除金属等杂质的方法,例如,能够举出蒸馏(分子蒸馏或薄膜蒸馏等)或使用过滤器进行的过滤。作为过滤中使用的过滤器的过滤器孔径,优选为10μm以下,更优选为5μm以下,进一步优选为3μm以下。过滤器的材质优选为聚四氟乙烯、聚乙烯或尼龙。
有机溶剂可以包含异构体(虽然原子数相同,但是结构不同的化合物)。并且,异构体可以仅包含1种,也可以包含多种。
有机溶剂中的过氧化物的含有率优选为0.8mmol/L以下,更优选为实质上不包含过氧化物。
树脂组合物中的溶剂含量优选为10~95质量%。上限优选为92.5质量%以下,更优选为90质量%以下。从涂布性的观点考虑,下限优选为20质量%以上,更优选为50质量%以上,进一步优选为70质量%以上,更进一步优选为75质量%以上,更进一步优选为80质量%以上。
并且,从环境限制的观点考虑,优选本发明的树脂组合物实质上不含有环境限制物质。另外,在本发明中,实质上不含有环境限制物质是指树脂组合物中的环境限制物质的含量为50质量ppm以下,优选为30质量ppm以下,进一步优选为10质量ppm以下,特别优选为1质量ppm以下。环境限制物质例如可举出苯;甲苯、二甲苯等烷基苯类;氯苯等卤化苯类等。这些在REACH(Registration Evaluation Authorization and Restriction ofCHemicals)规则、PRTR(Pollutant Release and Transfer Register)法、VOC(VolatileOrganic Compounds)限制等的基础下,作为环境限制物质登录,来严格限制使用量或操作方法。这些化合物在制造使用于树脂组合物的各成分等时有时用作溶剂,有时作为残留溶剂混入于树脂组合物中。从对人类的安全性、且顾及环境的观点考虑,优选尽可能降低这些物质。作为降低环境限制物质的方法,可举出加热或减压系统内部,设为环境限制物质的沸点以上而从系统内部蒸馏去除环境限制物质的方法。并且,当蒸馏去除少量的环境限制物质时,为了提高效率,和与该溶剂具有相同沸点的溶剂共沸也有用。并且,当含有具有自由基聚合性的化合物时,为了抑制自由基聚合反应在减压且蒸馏去除的过程中进行而在分子之间交联,可以添加阻聚剂等来进行减压且蒸馏去除。这种蒸馏去除方法在原料阶段、使原料反应的产物(例如聚合之后的树脂溶液或多官能单体溶液)阶段或混合这些化合物来制作的树脂组合物阶段等任一阶段均能够进行。
《硅烷偶联剂》
本发明的树脂组合物能够含有硅烷偶联剂。本说明书中,硅烷偶联剂是指具有水解性基团和除其以外的官能团的硅烷化合物。并且,水解性基团是指与硅原子直接键合,并通过水解反应及缩合反应中的至少一种而可产生硅氧烷键的取代基。作为水解性基团,例如可举出卤原子、烷氧基、酰氧基等,优选为烷氧基。即,硅烷偶联剂优选为具有烷氧基硅基的化合物。并且,作为除了水解性基团以外的官能团,例如可举出乙烯基、(甲基)烯丙基、(甲基)丙烯酰基、巯基、环氧基、氧杂环丁基、氨基、脲基、硫醚基、异氰酸酯基、苯基等,优选为氨基、(甲基)丙烯酰基及环氧基。作为硅烷偶联剂的具体例,为N-β-氨基乙基-γ-胺丙基甲基二甲氧基硅烷(Shin-Etsu Chemical Co.,Ltd.制造、产品名称KBM-602)、N-β-氨基乙基-γ-氨基丙基三甲氧基硅烷(Shin-Etsu Chemical Co.,Ltd.制造、产品名称KBM-603)、N-β-氨基乙基-γ-氨基丙基三乙氧基硅烷(Shin-Etsu Chemical Co.,Ltd.制造、产品名称KBE-602)、γ-氨基丙基三甲氧基硅烷(Shin-Etsu Chemical Co.,Ltd.制造、产品名称KBM-903)、γ-氨基丙基三乙氧基硅烷(Shin-Etsu Chemical Co.,Ltd.制造、产品名称KBE-903)、3-甲基丙烯酰氧基丙基甲基二甲氧基硅烷(Shin-Etsu Chemical Co.,Ltd.制造、产品名称KBM-502)、3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷(Shin-Etsu Chemical Co.,Ltd.制造、产品名称KBM-503)等。并且,关于硅烷偶联剂的具体例,可举出日本特开2009-288703号公报的0018~0036段中记载的化合物、日本特开2009-242604号公报的0056~0066段中记载的化合物,且这些内容被编入本说明书中。
在树脂组合物的总固体成分中的硅烷偶联剂的含量优选为0.1~5质量%。上限更优选为3质量%以下,进一步优选为2质量%以下。下限更优选为0.5质量%以上,进一步优选为1质量%以上。硅烷偶联剂可以仅使用1种,也可以使用2种以上。当使用2种以上时,优选这些的合计量成为上述范围。
《紫外线吸收剂》
本发明的树脂组合物能够包含紫外线吸收剂。紫外线吸收剂能够使用共轭二烯化合物、氨基二烯化合物、水杨酸酯化合物、二苯甲酮化合物、苯并三唑化合物、丙烯腈化合物、羟苯基三嗪化合物、吲哚化合物、三嗪化合物等。作为这种化合物,可举出日本特开2009-217221号公报的0038~0052段、日本特开2012-208374号公报的0052~0072段、日本特开2013-068814号的0317~0334段、日本特开2016-162946号的0061~0080段中所记载的化合物,且该内容被编入本说明书中。作为紫外线吸收剂的市售品,例如可举出UV-503(DAITO CHEMICAL CO.,LTD.制造)等。并且,作为苯并三唑化合物,可举出MIYOSHI OIL&FATCO.,LTD.制造的MYUA系列(化学工业日报、2016年2月1日)。并且,紫外线吸收剂也能够使用日本专利第6268967号公报的0049~0059段中所记载的化合物。在树脂组合物的总固体成分中,紫外线吸收剂的含量优选为0.01~10质量%,更优选为0.01~5质量%。紫外线吸收剂可以仅使用1种,也可以使用2种以上。当使用2种以上时,优选这些的合计量成为上述范围。
《抗氧化剂》
本发明的树脂组合物能够含有抗氧化剂。作为抗氧化剂,可举出酚化合物、亚磷酸酯化合物、硫醚化合物等。作为酚化合物,能够使用被称作酚系抗氧化剂的任意的酚化合物。作为优选的酚化合物,可举出受阻酚化合物。优选为在与酚性羟基相邻的部位(邻位)具有取代基的化合物。作为所述取代基,优选为碳原子数1~22的经取代或未经取代的烷基。并且,抗氧化剂也优选为在同一分子内具有酚基和亚磷酸酯基的化合物。并且,抗氧化剂也能够优选地使用磷系抗氧化剂。并且,抗氧化剂也能够使用韩国公开专利第10-2019-0059371号公报中所记载的化合物。树脂组合物的总固体成分中的抗氧化剂的含量优选为0.01~20质量%,更优选为0.3~15质量%。抗氧化剂可以仅使用1种,也可以使用2种以上。当使用2种以上时,优选总量成为上述范围。
《阻聚剂》
本发明的树脂组合物能够含有阻聚剂。作为阻聚剂,可举出氢醌、对甲氧基苯酚、二叔丁基-对甲酚、五倍子酚、叔丁基儿茶酚、苯醌、4,4’-硫代双(3-甲基-6-叔丁基苯酚)、2,2’-亚甲基双(4-甲基-6-叔丁基苯酚)、N-亚硝基苯基羟胺盐(铵盐、亚铈盐等)。其中,优选为对甲氧基苯酚。在树脂组合物的总固体成分中,阻聚剂的含量优选为0.0001~5质量%。阻聚剂可以仅为1种,也可以为2种以上。2种以上的情况下,优选合计量在上述范围内。
《其他成分》
在本发明中,树脂组合物可以根据需要含有增敏剂、固化促进剂、填充剂、热固化促进剂、增塑剂及其他助剂类(例如,导电性粒子、填充剂、消泡剂、阻燃剂、流平剂、剥离促进剂、香料、表面张力调整剂、链转移剂等)。能够通过适当地含有这些成分来调节膜物理性质等性质。关于这些成分,例如,能够参考日本特开2012-003225号公报的0183段以后(所对应的美国专利申请公开第2013/0034812号说明书的0237段)的记载、日本特开2008-250074号公报的0101~0104、0107~0109段等的记载,且这些内容被编入本说明书中。并且,本发明的树脂组合物可根据需要含有潜在抗氧化剂。作为潜在抗氧化剂,可举出作为抗氧化剂发挥功能的部位被保护基保护的化合物,且保护基通过在100~250℃下进行加热或在酸/碱催化剂存在下在80~200℃下进行加热而脱离并作为抗氧化剂发挥功能的化合物。作为潜在抗氧化剂,可举出国际公开第2014/021023号、国际公开第2017/030005号、日本特开2017-008219号公报中所记载的化合物。作为潜在抗氧化剂市售品,可举出ADEKA ARKLSGPA-5001(ADEKA CORPORATION制造)等。
本发明的树脂组合物可以包含耐光性改良剂。作为耐光性改良剂,可举出日本特开2017-198787号公报的0036~0037段中所记载的化合物、日本特开2017-146350号公报的0029~0034段中所记载的化合物、日本特开2017-129774号公报的0036~0037、0049~0052段中所记载的化合物、日本特开2017-129674号公报的0031~0034、0058~0059段中所记载的化合物、日本特开2017-122803号公报的0036~0037、0051~0054段中所记载的化合物、国际公开第2017/164127号的0025~0039段中所记载的化合物、日本特开2017-186546号公报的0034~0047段中所记载的化合物、日本特开2015-025116号公报的0019~0041段中所记载的化合物、日本特开2012-145604号公报的0101~0125段中所记载的化合物、日本特开2012-103475号公报的0018~0021段中所记载的化合物、日本特开2011-257591号公报的0015~0018段中所记载的化合物、日本特开2011-191483号公报的0017~0021段中所记载的化合物、日本特开2011-145668号公报的0108~0116段中所记载的化合物、日本特开2011-253174号公报的0103~0153段中所记载的化合物等。
本发明的树脂组合物中,没有与颜料等键合或配位的游离的金属的含量优选为100ppm以下,更优选为50ppm以下,进一步优选为10ppm以下,特别优选实质上不包含。根据该实施方式,能够期待颜料分散性的稳定化(聚集抑制)、伴随分散性的改善的光谱特性的提高、固化性成分的稳定化、伴随金属原子·金属离子的溶出的导电性变动的抑制、显示特性的提高等效果。并且,也可得到日本特开2012-153796号公报、日本特开2000-345085号公报、日本特开2005-200560号公报、日本特开平08-043620号公报、日本特开2004-145078号公报、日本特开2014-119487号公报、日本特开2010-083997号公报、日本特开2017-090930号公报、日本特开2018-025612号公报、日本特开2018-025797号公报、日本特开2017-155228号公报、日本特开2018-036521号公报等中所记载的效果。作为上述游离的金属的种类,可举出Na、K、Ca、Sc、Ti、Mn、Cu、Zn、Fe、Cr、Co、Mg、Al、Sn、Zr、Ga、Ge、Ag、Au、Pt、Cs、Ni、Cd、Pb、Bi等。并且,本发明的树脂组合物中,没有与颜料等键合或配位的游离的卤素的含量优选为100ppm以下,更优选为50ppm以下,进一步优选为10ppm以下,特别优选实质上不包含。作为卤素,可举出F、Cl、Br、I及这些阴离子。作为树脂组合物中的游离的金属或卤素的降低方法,可举出基于离子交换水的清洗、过滤、超滤、基于离子交换树脂的纯化等方法。
也优选本发明的树脂组合物实质上不包含对苯二甲酸酯。其中,“实质上不包含”是指在树脂组合物的总量中对苯二甲酸酯的含量为1000质量ppb以下,更优选为100质量ppb以下,特别优选为零。
从环境限制的观点考虑,限制使用全氟烷基磺酸及其盐、以及全氟烷基羧酸及其盐。在本发明的树脂组合物中,降低上述化合物的含有率时,全氟烷基磺酸(尤其全氟烷基的碳原子数为6~8的全氟烷基磺酸)及其盐、以及全氟烷基羧酸(尤其全氟烷基的碳原子数为6~8的全氟烷基羧酸)及其盐的含有率优选相对于树脂组合物的总固体成分在0.01ppb~1,000ppb的范围内,更优选在0.05ppb~500ppb的范围内,进一步优选在0.1ppb~300ppb的范围内。本发明的树脂组合物可以实质上不包含全氟烷基磺酸及其盐、以及全氟烷基羧酸及其盐。例如,通过使用能够替换全氟烷基磺酸及其盐的化合物、以及能够替换全氟烷基羧酸及其盐的化合物,可以选择实质上不包含全氟烷基磺酸及其盐、以及全氟烷基羧酸及其盐的树脂组合物。作为能够替换限制化合物的化合物,例如可举出全氟烷基的碳原子数的相异而从限制对象被排除的化合物。但是,上述内容并不妨碍使用全氟烷基磺酸及其盐、以及全氟烷基羧酸及其盐。本发明的树脂组合物可以在所允许的最大范围内,不包含全氟烷基磺酸及其盐、以及全氟烷基羧酸及其盐。
《收容容器》
作为树脂组合物的收容容器,并无特别限制,能够使用公知的收容容器。并且,也优选作为收容容器,以抑制杂质混入原材料或树脂组合物中为目的,使用由6种6层的树脂构成容器内壁的多层瓶或将6种树脂设为7层结构的瓶。作为这种容器,例如可举出日本特开2015-123351号公报中所记载的容器。并且,也优选以防止金属从容器内壁溶出、提高树脂组合物的保存稳定性或抑制成分变质等目的,容器内壁制成玻璃制或不锈钢制等。
<树脂组合物的制备方法>
本发明的树脂组合物能够通过混合所述成分而制备。制备树脂组合物时,可以将所有成分同时溶解和/或分散于溶剂中而制备树脂组合物,也可以根据需要,将各成分适当地作为2个以上的溶液或分散液,并在使用时(涂布时)将这些进行混合而制备树脂组合物。
并且,制备树脂组合物时,优选包含使颜料分散的步骤。在使颜料分散的步骤中,作为用于颜料的分散的机械力,可举出压缩、压榨、冲击、剪切、气蚀等。作为这些步骤的具体例,可举出珠磨、砂磨、辊磨、球磨、涂料搅拌、微射流、高速叶轮、混砂、喷射流混合、高压湿式微粒化、超声波分散等。并且,优选在砂磨(珠磨)下的颜料的粉碎中,以如下条件进行处理,该条件为通过使用直径小的微珠,且提高微珠的填充率等而提高粉碎效率。并且,优选在粉碎处理后通过过滤、离心分离等而去除粗粒子。并且,关于使颜料分散的步骤及分散机,能够优选地使用“分散技术大全集、JOHOKIKO CO.,LTD.发行,2005年7月15日”或“以悬浮液(固体/液体分散体系)为中心的分散技术与工业上的实际应用综合数据集,经营开发中心出版部发行,1978年10月10日”、日本特开2015-157893号公报的0022段中所记载的步骤及分散机。并且,在使颜料分散的工序中,可以通过盐磨工序进行粒子的微细化处理。在盐磨工序中所使用的原材料、设备、处理条件等例如能够参考日本特开2015-194521号公报、日本特开2012-046629号公报的记载。
制备树脂组合物时,为了去除杂质或降低缺陷等,优选用过滤器过滤树脂组合物。作为过滤器,只要是一直以来用于过滤用途等的过滤器,则能够无特别限制地使用。例如可举出使用聚四氟乙烯(PTFE)、聚偏二氟乙烯(PVDF)等氟树脂、尼龙(例如尼龙-6、尼龙-6,6)等聚酰胺系树脂、聚乙烯、聚丙烯(PP)等聚烯烃树脂(包含高密度、超高分子量的聚烯烃树脂)等原材料的过滤器。这些原材料中,优选为聚丙烯(包含高密度聚丙烯)及尼龙。
过滤器的孔径优选为0.01~7.0μm,更优选为0.01~3.0μm,进一步优选为0.05~0.5μm。只要过滤器的孔径在上述范围,则能够更可靠地去除微细的杂质。关于过滤器的孔径值,能够参考过滤器厂商的标称值。关于过滤器,能够使用由NIHON PALL Corporation(DFA4201NXEY、DFA4201NAEY、DFA4201J006P等)、Advantec Toyo Kaisha,Ltd.、NihonEntegris K.K.(Formerly Nippon Mykrolis Corporation)及KITZ MICROFILTERCorporation等提供的各种过滤器。
并且,作为过滤器,也优选使用纤维状的过滤材料。作为纤维状的过滤材料,例如可举出聚丙烯纤维、尼龙纤维、玻璃纤维等。作为市售品,可举出ROKI TECHNO CO.,LTD.制造的SBP类型系列(SBP008等)、TPR类型系列(TPR002、TPR005等)、SHPX类型系列(SHPX003等)。
在使用过滤器时,可以组合不同的过滤器(例如,第1过滤器和第2过滤器等)。此时,用各过滤器的过滤可以仅进行1次,也可以进行2次以上。并且,可以在上述范围内组合不同孔径的过滤器。并且,也可以将利用第1过滤器的过滤仅对分散液进行,在混合其他成分之后,用第2过滤器进行过滤。
<膜>
本发明的膜为由上述本发明的树脂组合物获得的膜。本发明的膜的膜厚能够根据目的而适当地进行调节。例如,膜厚优选为20μm以下,更优选为10μm以下,进一步优选为5μm以下。膜厚的下限优选为0.1μm以上,更优选为0.2μm以上,进一步优选为0.3μm以上。
本发明的膜能够用于滤色器、近红外线透射滤波器、近红外线截止滤波器、黑矩阵、遮光膜等。本发明的膜能够优选地用作滤色器的着色像素。作为着色像素,可举出红色像素、绿色像素、蓝色像素、品红色像素、青色像素、黄色像素等,优选为绿色像素或青色像素,更优选为绿色像素。
将本发明的膜用作滤色器的绿色像素时,本发明的膜的透光率成为50%的波长优选存在于470~520nm的波长范围内,更优选存在于475~520nm的波长范围内,进一步优选存在于480~520nm的波长范围内。其中,优选透光率成为50%的波长分别存在于470~520nm的波长范围与575~625nm的波长范围。在该实施方式中,透光率成为50%的短波长侧的波长优选存在于475~520nm的波长范围内,更优选存在于480~520nm的波长范围。并且,透光率成为50%的长波长侧的波长优选存在于580~620nm的波长范围内,更优选存在于585~615nm的波长范围。具有这种光谱特性的膜优选地用作绿色像素。
在将本发明的膜用作近红外线截止滤波器的情况下,本发明的膜的极大吸收波长优选存在于波长700~1800nm的范围,更优选存在于波长700~1300nm的范围,进一步优选存在于波长700~1100nm的范围。并且,膜在波长400~650nm的所有范围内的透射率优选为70%以上,更优选为80%以上,进一步优选为90%以上。并且,膜在波长700~1800nm的范围的至少1点的透射率优选为20%以下。并且,极大吸收波长中的吸光度Amax与波长550nm下的吸光度A550的比(吸光度Amax/吸光度A550)优选为20~500,更优选为50~500,进一步优选为70~450,特别优选为100~400。
在将本发明的膜用作近红外线透射滤波器的情况下,优选本发明的膜具有以下的(i1)~(i5)中的任一个光谱特性。
(i1):波长400~640nm的范围内的透射率的最大值为20%以下(优选为15%以下,更优选为10%以下)且波长800~1500nm的范围内的透射率的最小值为70%以上(优选为75%以上,更优选为80%以上)的膜。具有这种光谱特性的膜能够遮蔽波长400~640nm的范围的光而使超过波长750nm的光透射。
(i2):波长400~750nm的范围内的透射率的最大值为20%以下(优选为15%以下,更优选为10%以下)且波长900~1500nm的范围内的透射率的最小值为70%以上(优选为75%以上,更优选为80%以上)的膜。具有这种光谱特性的膜能够遮蔽波长400~750nm的范围的光而使超过波长850nm的光透射。
(i3):波长400~830nm的范围内的透射率的最大值为20%以下(优选为15%以下,更优选为10%以下)且波长1000~1500nm的范围内的透射率的最小值为70%以上(优选为75%以上,更优选为80%以上)的膜。具有这种光谱特性的膜能够遮蔽波长400~830nm的范围的光而使超过波长950nm的光透射。
(i4):波长400~950nm的范围内的透射率的最大值为20%以下(优选为15%以下,更优选为10%以下)且波长1100~1500nm的范围内的透射率的最小值为70%以上(优选为75%以上,更优选为80%以上)的膜。具有这种光谱特性的膜能够遮蔽波长400~950nm的范围的光而使超过波长1050nm的光透射。
(i5):波长400~1050nm的范围内的透射率的最大值为20%以下(优选为15%以下,更优选为10%以下)且波长1200~1500nm的范围内的透射率的最小值为70%以上(优选为75%以上,更优选为80%以上)的膜。具有这种光谱特性的膜能够遮蔽波长400~1050nm的范围的光而使超过波长1150nm的光透射。
<膜的制造方法>
接着,对本发明的膜的制造方法进行说明。能够经过涂布本发明的树脂组合物的工序来制造本发明的膜。膜的制造方法中,优选还包括形成图案(像素)的工序。作为图案(像素)的形成方法,可举出光刻法及干式蚀刻法,优选为光刻法。
基于光刻法的图案形成优选包括如下工序:使用本发明的树脂组合物在支承体上形成树脂组合物层的工序;将树脂组合物层曝光成图案状的工序;及将树脂组合物层的未曝光部进行显影去除而形成图案(像素)的工序。根据需要,还可以设置对树脂组合物层进行烘烤的工序(预烘烤工序)及对经显影的图案(像素)进行烘烤的工序(后烘烤工序)。
形成本发明的树脂组合物层的工序中,使用树脂组合物在支承体上形成树脂组合物层。作为支承体,并无特别限制,能够根据用途而适当选择。例如,可举出玻璃基板、硅基板等,优选为硅基板。并且,在硅基板上可以形成有电荷耦合器件(CCD)、互补金属氧化膜半导体(CMOS)、透明导电膜等。并且,有时在硅基板上形成有将各像素隔离的黑矩阵(blackmatrix)。并且,为了改善与上部层的粘附性、防止物质的扩散或者基板表面的平坦化,可以在硅基板上设置基底层。用二碘甲烷测定时基底层的表面接触角优选为20~70°。并且,用水测定时优选为30~80°。若基底层的表面接触角在上述范围内,则树脂组合物的润湿性良好。基底层的表面接触角的调节例如能够通过表面活性剂的添加等方法来进行。
作为树脂组合物的涂布方法,能够使用公知的方法。例如,可举出滴加法(液滴涂布);狭缝涂布法;喷雾法;辊涂法;旋转涂布法(旋涂);流延涂布法;狭缝旋涂法;预湿法(例如,日本特开2009-145395号公报中所记载的方法);喷墨(例如按需方式、压电方式、热方式)、喷嘴喷射等喷出系印刷、柔版印刷、丝网印刷、凹版印刷、逆转偏移印刷、金属掩膜印刷法等各种印刷法;使用模具等的转印法;纳米压印法等。作为喷墨中的应用方法并没有特别限定,例如可举出“可推广、使用的喷墨-专利中出现的无限可能性-,2005年2月发行,Sumitbe Techon Research Co.,Ltd.”所示的方法(尤其第115页~第133页)或日本特开2003-262716号公报、日本特开2003-185831号公报、日本特开2003-261827号公报、日本特开2012-126830号公报、日本特开2006-169325号公报等中所记载的方法。并且,关于树脂组合物的涂布方法,能够参考国际公开第2017/030174号、国际公开第2017/018419号的记载,这些内容被编入本说明书中。
形成于支承体上的树脂组合物层可以进行干燥(预烘烤)。在通过低温步骤制造膜的情况下,可以不进行预烘烤。当进行预烘烤时,预烘烤温度优选为150℃以下,更优选为120℃以下,进一步优选为110℃以下。下限例如能够设为50℃以上,也能够设为80℃以上。预烘烤时间优选为10~300秒钟,更优选为40~250秒钟,进一步优选为80~220秒钟。预烘烤能够用加热板、烘箱等来进行。
接着,将树脂组合物层曝光成图案状(曝光工序)。例如,使用步进曝光机、扫描曝光机等,隔着具有规定的掩膜图案的掩膜,对树脂组合物层进行曝光,由此能够曝光成图案状。由此,能够使曝光部分固化。
作为能够在曝光时使用的放射线(光),可举出g射线、i射线等。并且,也能够使用波长300nm以下的光(优选为波长180~300nm的光)。作为波长300nm以下的光,可举出KrF射线(波长248nm)、ArF射线(波长193nm)等,优选为KrF射线(波长248nm)。并且,也能够利用300nm以上的长波长的光源。
并且,在曝光时,可以连续照射光而进行曝光,也可以脉冲照射而进行曝光(脉冲曝光)。另外,脉冲曝光是指在短时间(例如毫秒等级以下)的周期内反复光的照射与暂停来进行曝光的方式的曝光方法。
照射量(曝光量)例如优选为0.03~2.5J/cm2,更优选为0.05~1.0J/cm2。关于曝光时的氧浓度,能够适当选择,除在大气下进行以外,例如可以在氧浓度为19体积%以下的低氧环境下(例如,15体积%、5体积%或实质上无氧)下进行曝光,也可以在氧浓度超过21体积%的高氧环境下(例如,22体积%、30体积%或50体积%)下进行曝光。并且,曝光照度能够适当设定,通常能够从1000W/m2~100000W/m2(例如,5000W/m2、15000W/m2或35000W/m2)的范围选择。氧浓度和曝光照度可以适当组合条件,例如能够设为氧浓度10体积%且照度10000W/m2、氧浓度35体积%且照度20000W/m2等。
接着,显影去除树脂组合物层的未曝光部分而形成图案(像素)。树脂组合物层的未曝光部分的显影去除能够使用显影液来进行。由此,曝光工序中的未曝光部分的树脂组合物层溶出于显影液中,仅残留经光固化的部分。显影液的温度例如优选为20~30℃。显影时间优选为20~180秒钟。并且,为了提高残渣去除性,可以反复进行多次每隔60秒钟甩掉显影液进而供给新的显影液的工序。
显影液可举出有机溶剂、碱性显影液等,可优选地使用碱性显影液。作为碱性显影液,优选用纯水稀释碱性剂的碱性水溶液(碱性显影液)。作为碱剂,例如可举出氨、乙胺、二乙胺、二甲基乙醇胺、二甘醇胺(diglycolamine)、二乙醇胺、羟胺、乙二胺、四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、四丙基氢氧化铵、四丁基氢氧化铵、氢氧化乙基三甲基铵、苄基三甲基氢氧化铵、二甲基双(2-羟基乙基)氢氧化铵、胆碱、吡咯、哌啶、1,8-二氮杂双环-[5.4.0]-7-十一碳烯等有机碱性化合物、或氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸钠、碳酸氢钠、硅酸钠、偏硅酸钠等无机碱性化合物。碱剂在环境方面及安全方面而言,优选为分子量较大的化合物。碱性水溶液的碱剂的浓度优选为0.001~10质量%,更优选为0.01~1质量%。并且,显影液可进一步含有表面活性剂。从方便运输或保管等观点考虑,显影液可以暂时制造成浓缩液,使用时稀释成所需浓度。稀释倍率并无特别限定,例如能够设定于1.5~100倍的范围。并且,也优选显影之后用纯水进行清洗(冲洗)。并且,优选通过旋转已形成有显影后的树脂组合物层的支承体,并且向显影后的树脂组合物层供给冲洗液来进行冲洗。并且,也优选通过使吐出冲洗液的喷嘴从支承体的中心部向支承体的周缘部移动来进行。此时,在从喷嘴的支承体中心部向周缘部移动时,可以在逐渐降低喷嘴的移动速度的同时使其移动。通过以这种方式进行冲洗,能够抑制冲洗的面内偏差。并且,通过使喷嘴从支承体中心部向周缘部移动的同时逐渐降低支承体的转速也可获得相同的效果。
优选显影之后,实施干燥之后进行追加曝光处理、加热处理(后烘烤)。追加曝光处理、后烘烤为用于制成完全固化的物质的显影后的固化处理。后烘烤中的加热温度例如优选为100~240℃,更优选为200~240℃。能够以成为上述条件的方式,使用加热板或对流烘箱(热风循环式干燥机)、高频加热机等加热机构,以连续式或间歇式对显影后的膜进行后烘烤。在进行追加曝光处理的情况下,优选用于曝光的光为波长400nm以下的光。并且,追加曝光处理可以通过韩国公开专利第10-2017-0122130号公报中所记载的方法进行。
基于干式蚀刻法的图案形成优选包括如下工序:使用本发明的树脂组合物在支承体上形成树脂组合物层,并使该整个树脂组合物层固化而形成固化物层的工序;在该固化物层上形成光阻剂层的工序;将光阻剂层曝光成图案状之后,进行显影而形成阻剂图案的工序;及将该阻剂图案作为掩膜并使用蚀刻气体对固化物层进行干式蚀刻的工序。在形成光阻剂层时,优选进一步实施预烘烤处理。尤其,作为光阻剂层的形成步骤,优选为实施曝光后的加热处理、显影后的加热处理(后烘烤处理)的方式。关于利用干式蚀刻法的图案形成,能够参考日本特开2013-064993号公报的0010~0067段的记载,且该内容被编入本说明书中。
<滤光器>
本发明的滤光器具有上述的本发明的膜。作为滤光器的种类,可举出滤色器、近红外线截止滤波器及近红外线透射滤波器等,优选为滤色器。滤色器优选作为其像素具有本发明的膜,更优选作为着色像素具有本发明的膜,进一步优选作为绿色像素具有本发明的膜。
滤光器中,本发明的膜的膜厚根据目的而能够适当调节。例如,膜厚优选为20μm以下,更优选为10μm以下,进一步优选为5μm以下。膜厚的下限优选为0.1μm以上,更优选为0.2μm以上,进一步优选为0.3μm以上。
滤光器中所包含的像素的宽度优选为0.4~10.0μm。下限优选为0.4μm以上,更优选为0.5μm以上,进一步优选为0.6μm以上。上限优选为5.0μm以下,更优选为2.0μm以下,进一步优选为1.0μm以下,更进一步优选为0.8μm以下。并且,像素的杨氏模量优选为0.5~20GPa,更优选为2.5~15GPa。
优选滤光器中所包含的各像素具有高平坦性。具体而言,像素的表面粗糙度Ra优选为100nm以下,更优选为40nm以下,进一步优选为15nm以下。下限并无规定,但例如优选为0.1nm以上。关于像素的表面粗糙度,例如能够使用Veeco公司制造的AFM(原子力显微镜)Dimension3100来进行测定。并且,像素上的水接触角能够适当设定为优选的值,典型地为50~110°的范围。接触角例如能够使用接触角仪CV-DT·A型(Kyowa Interface ScienceCo.,LTD.制造)来进行测量。并且,像素的体积电阻值优选为高。具体而言,像素的体积电阻值优选为109Ω·cm以上,更优选为1011Ω·cm以上。上限并无规定,例如优选为1014Ω·cm以下。像素的体积电阻值能够使用超高电阻计5410(Advantest Corporation制造)来进行测定。
滤光器中,也可以在本发明的膜的表面设置保护层。通过设置保护层,能够赋予阻氧化、低反射化、亲疏水化、既定波长的光(紫外线、近红外线等)的遮蔽等各种作用。作为保护层的厚度,优选为0.01~10μm,更优选为0.1~5μm。作为保护层的形成方法,可举出涂布保护层形成用树脂组合物而形成的方法、化学气相沉积法、用粘附材料贴付所成型的树脂的方法等。作为构成保护层的成分,可举出(甲基)丙烯酸树脂、烯-硫醇树脂、聚碳酸酯树脂、聚醚树脂、聚芳酯树脂、聚砜树脂、聚醚砜树脂、聚苯撑树脂、聚亚芳基醚氧化膦树脂、聚酰亚胺树脂、聚酰胺酰亚胺树脂、聚烯烃树脂、环状烯烃树脂、聚酯树脂、苯乙烯树脂、多元醇树脂、聚偏二氯乙烯树脂、三聚氰胺树脂、聚胺酯树脂、芳族聚酰胺树脂、聚酰胺树脂、醇酸树脂、环氧树脂、改性硅酮树脂、氟树脂、聚碳酸酯树脂、聚丙烯腈树脂、纤维素树脂、Si、C、W、Al2O3、Mo、SiO2、Si2N4等,可以含有两种以上的这些成分。例如,在用于阻氧化的保护层的情况下,优选保护层包含多元醇树脂、SiO2及Si2N4。并且,在用于低反射化的保护层的情况下,优选保护层包含(甲基)丙烯酸树脂和氟树脂。
根据需要,保护层还可以含有有机-无机微粒子、既定波长的光(例如,紫外线、近红外线等)的吸收剂、折射率调节剂、抗氧化剂、密合剂、表面活性剂等添加剂。作为有机-无机微粒的例子,例如,可举出高分子微粒(例如,硅酮树脂微粒、聚苯乙烯微粒、三聚氰胺树脂微粒)、氧化钛、氧化锌、氧化锆、氧化铟、氧化铝、氮化钛、氧氮化钛、氟化镁、中空二氧化硅、二氧化硅、碳酸钙、硫酸钡等。既定波长的光的吸收剂能够使用公知的吸收剂。这些添加剂的含量能够适当地进行调节,但是相对于保护层的总质量优选为0.1~70质量%,进一步优选为1~60质量%。
并且,作为保护层,也能够使用日本特开2017-151176号公报的0073~0092段中所记载的保护层。
滤光器也可以具有如下结构:在通过隔壁例如以格子状隔开的空间嵌入有各像素。
<固体摄像元件>
本发明的固体摄像元件具有上述本发明的膜。作为本发明的固体摄像元件的结构,只要是具备本发明的膜,且作为固体摄像元件而发挥功能的结构,则并无特别限定,例如可举出如下结构。
固体摄像元件的结构如下:在基板上具有由构成固体摄像元件(CCD(电荷耦合器件)影像传感器、CMOS(互补型金属氧化膜半导体)影像传感器等)的受光区域的多个光电二极体及多晶硅等构成的转移电极,在光电二极体及传输送电极上具有只有光电二极体的光接收部开口的遮光膜,在遮光膜上具有以复盖遮光膜整个表面及光电二极体光接收部的方式形成的由氮化硅等构成的设备保护膜,在设备保护膜上具有滤色器。而且,可以为在设备保护膜上且在滤色器的下侧(靠近基板的侧)具有聚光机构(例如,微透镜等。以下相同)的结构或在滤色器上具有聚光机构的结构等。并且,滤色器可具有如下结构:在通过隔壁例如以方格状隔开的空间嵌入有各像素的结构。优选此时的隔壁相对于各像素为低屈折率。作为具有这种结构的摄像装置的例,可举出日本特开2012-227478号公报、日本特开2014-179577号公报、国际公开第2018/043654号中所记载的装置。并且,如日本特开2019-211559号公报中所示那样在固体摄像元件的结构内设置紫外线吸收层也可以改良耐光性。具备本发明的固体摄像元件的摄像装置除了能够用作数位相机或具有摄像功能的电子设备(移动电话等)以外,也能够用作车载摄像机或监视摄像机。
<图像显示装置>
本发明的图像显示装置具有上述的本发明的膜。作为图像显示装置,可举出液晶显示装置或有机电致发光显示装置等。关于图像显示装置的定义或各图像显示装置的详细内容,例如记载于“电子显示器设备(佐佐木昭夫著,Kogyo Chosakai Publishing Co.,Ltd.,1990年发行)”、“显示器设备(伊吹顺章著,Sangyo Tosho Publishing Co.,Ltd.,1989年发行)”等。并且,关于液晶显示装置,例如记载于“下一代液晶显示器技术(内田龙男编辑,Kogyo Chosakai Publishing Co.,Ltd.,1994年发行)”。对能够应用本发明的液晶显示装置并没有特别限制,例如能够应用于上述的“下一代液晶显示器技术”中所记载的各种方式的液晶显示装置。
实施例
以下列举实施例来对本发明进一步进行具体说明。以下实施例中示出的材料、使用量、比例、处理内容、处理步骤等只要不脱离本发明的宗旨,则能够适当进行变更。因此,本发明的范围并不限定于以下所示的具体例。
<在凝胶渗透色谱法下的重均分子量及数均分子量的测定条件>
管柱的种类:连结TOSOH TSKgel Super HZM-H、TOSOH TSKgel Super HZ4000与TOSOH TSKgel Super HZ2000的管柱
展开溶剂:四氢呋喃
管柱温度:40℃
流量(样品注入量):1.0μL(样品浓度:0.1质量%)
装置名:TOSOH Corporation制造HLC-8220GPC
检测器:RI(折射率)检测器
校准曲线基础树脂:聚苯乙烯树脂
<胺值的测定方法>
胺值由以下方法计算出。
将测定样品溶解于乙酸,并使用电位滴定装置(产品名称:AT-510、KYOTOELECTRONICS MANUFACTURING CO.,LTD.制造),对所获得的溶液用0.1mol/L过氯酸/乙酸溶液进行了中和滴定。将滴定pH曲线的弯曲点设为滴定终点,并通过以下式计算出胺值。
B=Vs×0.1×f/w
B:胺值(mmol/g)
Vs:滴定时所需的0.1mol/L过氯酸/乙酸溶液的使用量(mL)
f:0.1M过氯酸/乙酸溶液的滴定量
w:测定样品的重量(g)(固体成分换算)
<分散液的制造>
(分散液配方1)
将14质量份的颜料、以固体成分换算合计为3.5质量份的特定化合物、颜料衍生物及树脂、及82.5质量份的溶剂的混合液,使用珠磨机(二氧化锆微珠直径0.1mm)混合及分散3小时来制备了分散液。之后,利用带减压机构的高压分散机NANO-3000-10(Nippon BEECo.,Ltd.制造)且在压力2000kg/cm2及流量500g/min的条件下,进行了分散处理。反复进行至合计10次该分散处理而获得了各分散液。另外,颜料、颜料衍生物、树脂、特定化合物及溶剂分别使用了下述表所示的材料。并且,下述表中的颜料衍生物、树脂、特定化合物的混合比率为固体成分换算下的值。
(分散液配方2)
将14质量份的颜料、以固体成分换算合计为4.9质量份的特定化合物、颜料衍生物及树脂、及81.1质量份的溶剂的混合液,使用珠磨机(二氧化锆微珠直径0.1mm)混合及分散3小时来制备了分散液。之后,利用带减压机构的高压分散机NANO-3000-10(Nippon BEECo.,Ltd.制造)且在压力2000kg/cm2及流量500g/min的条件下,进行了分散处理。反复进行至合计10次该分散处理而获得了各分散液。另外,颜料、颜料衍生物、树脂、特定化合物及溶剂分别使用了下述表所示的材料。并且,下述表中的颜料衍生物、树脂、特定化合物的混合比率为固体成分换算下的值。
由表示上述分散液的配方的表中的缩写表示的材料的详细如下。
(颜料)
P-1:C.I.Pigment Green7(卤化铜酞菁颜料、绿色颜料)
P-2:C.I.Pigment Green36(卤化铜酞菁颜料、绿色颜料)
P-3:C.I.Pigment Green58(卤化锌酞菁颜料、绿色颜料)
P-4:C.I.Pigment Green59(卤化锌酞菁颜料、绿色颜料)
P-5:C.I.Pigment Green63(卤化铝酞菁颜料、绿色颜料)
P-6:C.I.Pigment Yellow129(偶氮甲碱铜络合物颜料、黄色颜料)
P-7:C.I.Pigment Yellow138(黄色颜料)
P-8:C.I.Pigment Yellow139(黄色颜料)
P-9:C.I.Pigment Yellow150(偶氮镍金属络合物颜料、黄色颜料)
P-10:C.I.Pigment Yellow185(黄色颜料)
P-11:C.I.Pigment Yellow215(黄色颜料)
P-12:C.I.Pigment Yellow231(黄色颜料)
P-13:C.I.Pigment Yellow233(黄色颜料)
P-14:C.I.Pigment Red122(红色颜料)
P-15:C.I.Pigment Red177(红色颜料)
P-16:C.I.Pigment Red254(红色颜料)
P-17:C.I.Pigment Red264(红色颜料)
P-18:C.I.Pigment Red269(红色颜料)
P-19:C.I.Pigment Red272(红色颜料)
P-20:C.I.Pigment Blue15:4(铜酞菁颜料、蓝色颜料)
P-21:C.I.Pigment Blue15:6(铜酞菁颜料、蓝色颜料)
P-22:C.I.Pigment Blue16(蓝色颜料)
P-23:C.I.Pigment Violet23(紫色颜料)
P-24:TiO2(包含钛原子的颜料、白色颜料)
P-25:TiON(包含钛原子的颜料、黑色颜料)
P-26:下述结构的化合物(近红外线吸收颜料)
[化学式19]
P-27:下述结构的化合物(近红外线吸收颜料)
[化学式20]
(特定化合物)
A-1:聚乙烯亚胺(EPOMIN SP-003、Nippon Shokubai Co.,Ltd.制造)
A-2:聚乙烯亚胺(EPOMIN SP-006、Nippon Shokubai Co.,Ltd.制造)
A-3:聚乙烯亚胺(EPOMIN SP-012、Nippon Shokubai Co.,Ltd.制造)
A-4:聚乙烯亚胺(EPOMIN SP-018、Nippon Shokubai Co.,Ltd.制造)
A-5:聚乙烯亚胺(EPOMIN SP-200、Nippon Shokubai Co.,Ltd.制造)
A-6:聚乙烯亚胺(EPOMIN P-1000、Nippon Shokubai Co.,Ltd.制造)
A-7:下述结构的化合物(受阻胺化合物、ADECASTAB LA-52、ADEKA CORPORATION制造)
A-8:下述结构的化合物(受阻胺化合物、ADECASTAB LA-57、ADEKA CORPORATION制造)
A-9:下述结构的化合物(受阻胺化合物、ADECASTAB LA-63P、ADEKA CORPORATION制造)
A-10:下述结构的化合物(受阻胺化合物、ADECASTAB LA-68、ADEKA CORPORATION制造)
A-11:下述结构的化合物
A-12:下述结构的化合物
A-13:下述结构的化合物
A-14:下述结构的化合物
AN-1:下述结构的化合物
AN-2:下述结构的化合物
AN-3:下述结构的树脂(标记于主链的数值为摩尔比)
[化学式21]
[化学式22]
[化学式23]
在以下表中标注特定化合物A-1~A-14、AN-1~AN-3的物性值。另外,特定化合物A-1~A-6的各物性值为目录值。其中,特定化合物A-1~A-5的分子量的值为利用沸点上升法测定的数均分子量的值(目录值)。并且,特定化合物A-6的分子量的值为利用粘度法测定的数均分子量的值(目录值)。并且,特定化合物A-9、A-10、A-14、AN-3的分子量的值为利用GPC法测定的数均分子量的值。特定化合物A-7、A-8、A-11、A-12、A-13、AN-1、AN-2的分子量的值为来自结构式的计算值。
[表7]
(颜料衍生物)
Syn-1:下述结构的化合物(胺值2.2mmol/g、具有2个氨基的化合物)
[化学式24]
Syn-2:下述结构的化合物(胺值2.9mmol/g、具有2个氨基的化合物)
[化学式25]
Syn-3:下述结构的化合物(胺值2.6mmol/g、具有2个氨基的化合物)
[化学式26]
(树脂)
B-1:由以下方法合成的树脂B-1的30质量%PGMEA溶液。
将50质量份的甲基丙烯酸甲酯、30质量份的甲基丙烯酸正丁酯、20质量份的甲基丙烯酸酯叔丁酯、45.4质量份的丙二醇单甲醚乙酸酯(PGMEA)装入反应容器中,并用氮气替换了环境气体。将反应容器内部加热到70℃,添加6质量份的3-巯基-1,2-丙二醇,进一步加入0.12质量份的AIBN(偶氮双异丁腈),并进行了12小时反应。通过固体成分测定确认到反应了95%。接着,追加9.7质量份的均苯四甲酸酐、70.3质量份的PGMEA、0.20质量份的作为催化剂的DBU(1,8-二氮杂双环-[5.4.0]-7-十一碳烯),并在120℃下进行了7小时反应。利用酸值的测定确认到98%以上的酸酐进行了半酯化而结束反应,获得了酸值43mgKOH/g、重均分子量9000的下述结构的树脂B-1(具有酸基的树脂)。
[化学式27]
B-2:由以下方法合成的树脂B-2的30质量%PGMEA溶液。
将6.0质量份的3-巯基-1,2-丙二醇、9.5质量份的均苯四甲酸酐、62质量份的PGMEA、0.2质量份的1,8-二氮杂双环-[5.4.0]-7-十一碳烯装入反应容器,并用氮气替换了环境气体。将反应容器内部加热到100℃,并进行了7小时反应。利用酸值的测定确认到98%以上的酸酐进行了半酯化后,将系统内部的温度冷却至70℃,并添加甲基丙烯酸甲酯65质量份、丙烯酸乙酯5.0质量份、丙烯酸酯叔丁酯15质量份、甲基丙烯酸5.0质量份、甲基丙烯酸羟乙酯10质量份、溶解了2,2’-偶氮双异丁腈0.1质量份的PGMEA溶液53.5质量份,进行了10小时反应。通过固体成分测定确认聚合进行了95%而结束反应,获得了酸值70.5mgKOH/g、重均分子量10000的下述结构的树脂B-2(具有酸基的树脂)。
[化学式28]
B-3:由以下方法合成的树脂B-3的30质量%PGMEA溶液。
在树脂B-1的合成中,除了将甲基丙烯酸酯叔丁酯20质量份变更为(3-氧杂环丁烷乙酯-3-基)甲基丙烯酸甲酯20质量份以外,同样地获得了酸值43mgKOH/g、重均分子量9000的下述结构的树脂B-3(具有酸基的树脂)。
[化学式29]
B-4:由以下方法合成的树脂B-4的30质量%PGMEA溶液。
将108质量份的1-硫甘油、174质量份的均苯四甲酸酐、650质量份的甲氧基丙基乙酸酯、0.2质量份的作为催化剂的单丁基氧化锡装入反应容器内,并用氮气替换了环境气体之后,在120℃下进行了5小时反应(第1工序)。利用酸值的测定确认到95%以上的酸酐进行了半酯化。接着,将以固体成分换算计160质量份的第1工序中获得的化合物、200质量份的甲基丙烯酸2-羟基丙酯、200质量份的丙烯酸乙酯、150质量份的丙烯酸酯叔丁酯、200质量份的甲氧基丙烯酸乙酯、200质量份的甲基丙烯酸酯、50质量份的甲基丙烯酸、663质量份的PGMEA装入反应容器内,将反应容器内部加热到80℃,添加1.2质量份的2,2’-偶氮双(2,4-二甲基戊腈),并进行了12小时反应(第2工序)。通过固体成分测定确认到反应了95%。最后,将500质量份的在第1工序中获得的化合物的50质量%的PGMEA溶液、27.0质量份的2-甲基丙烯酰氧基乙基异氰酸酯(MOI)、0.1质量份的氢醌装入反应容器内,直到确认到基于异氰酸酯基的2270cm-1的峰消失为止进行了反应(第3工序)。确认峰消失后,冷却反应溶液,获得了酸值68mgKOH/g、烯属不饱和键基值0.62mmol/g、重均分子量13000的下述结构的树脂B-4(具有酸基的树脂)。
[化学式30]
B-5:下述结构的树脂(主链上所标记的数值为摩尔比,侧链上所标记的数值为重复单元的个数。具有酸基的树脂、重均分子量16000、酸值67mgKOH/g)的30质量%PGMEA溶液
[化学式31]
B-6:下述结构的树脂(主链上所标记的数值为摩尔比,侧链上所标记的数值为重复单元的个数。具有酸基的树脂、重均分子量24000、酸值52.5mgKOH/g)的30质量%PGMEA溶液
[化学式32]
B-7:下述结构的树脂(主链上所标记的数值为摩尔比,侧链上所标记的数值为重复单元的个数。具有酸基的树脂、重均分子量18000、酸值82.1mgKOH/g)的30质量%PGMEA溶液
[化学式33]
B-8:向DISPERBYK-111(BYK Chemie公司制造、具有酸基的树脂)加入PGMEA,将不挥发成分(固体成分浓度)调节为30质量%的溶液
(溶剂)
S-1:丙二醇单甲醚乙酸酯(PGMEA)
S-2:丙二醇单甲醚(PGME)
S-3:环己酮
S-4:环戊酮
S-5:2-庚酮
S-6:γ-丁内酯
<树脂组合物的制造>
将各材料按以下所示的配方1~5的比例混合,并用孔径0.45μm的尼龙制过滤器(Nihon Pall Ltd.制造)过滤来制造了各树脂组合物。在下述表中,将颜料在树脂组合物的总固体成分中的含量的值记载于“颜料浓度”栏中。
(配方1)
下述表中所记载的分散液……51.4质量份
下述表中所记载的聚合性单体……3.6质量份
下述表中所记载的树脂……12.5质量份(30质量%PGMEA溶液中的配合量)
下述表中所记载的光聚合引发剂……0.9质量份
下述表中所记载的表面活性剂……0.02质量份
下述表中所记载的阻聚剂……0.0002质量份
下述表中所记载的溶剂……31.5质量份
(配方2)
下述表中所记载的分散液……64.3质量份
下述表中所记载的聚合性单体……2.7质量份
下述表中所记载的树脂……7.4质量份(30质量%PGMEA溶液中的配合量)
下述表中所记载的光聚合引发剂……0.9质量份
下述表中所记载的表面活性剂……0.02质量份
下述表中所记载的阻聚剂……0.0002质量份
下述表中所记载的溶剂……24.7质量份
(配方3)
下述表中所记载的分散液……77.1质量份
下述表中所记载的聚合性单体……0.9质量份
下述表中所记载的树脂……6.5质量份(30质量%PGMEA溶液中的配合量)
下述表中所记载的光聚合引发剂……0.5质量份
下述表中所记载的表面活性剂……0.02质量份
下述表中所记载的阻聚剂……0.0002质量份
下述表中所记载的溶剂……14.9质量份
(配方4)
下述表中所记载的分散液……83.6质量份
下述表中所记载的聚合性单体……0.9质量份
下述表中所记载的树脂……5.2质量份(30质量%PGMEA溶液中的配合量)
下述表中所记载的光聚合引发剂……0.5质量份
下述表中所记载的表面活性剂……0.02质量份
下述表中所记载的阻聚剂……0.0002质量份
下述表中所记载的溶剂……9.8质量份
(配方5)
下述表中所记载的分散液……77.1质量份
下述表中所记载的聚合性单体……0.9质量份
下述表中所记载的树脂……5.3质量份(30质量%PGMEA溶液中的配合量)
下述表中所记载的光聚合引发剂……0.5质量份
下述表中所记载的特定化合物的30质量%环戊酮溶液……1.2质量份
下述表中所记载的表面活性剂……0.02质量份
下述表中所记载的阻聚剂……0.0002质量份
下述表中所记载的溶剂……14.9质量份
[表8]
[表9]
[表10]
[表14]
[表15]
由表示上述树脂组合物的配方的表中的缩写表示的材料中,除分散液以外的详细如下。分散液使用了上述分散液。
(聚合性单体)
M-1:下述结构的化合物
[化学式34]
M-2:下述结构的化合物
[化学式35]
M-3:KAYARAD DPHA(NIPPON KAYAKU Co.,Ltd.制造)
M-4:下述结构的化合物
[化学式36]
(光聚合引发剂)
I-1:Irgacure OXE01(BASF公司制造、肟化合物)
I-2:Irgacure OXE02(BASF公司制造、肟化合物)
I-3、I-4:下述结构的化合物
[化学式37]
I-5:Omnirad379(IGM Resins B.V.制造、α-胺酮化合物)
(树脂)
B-1~B-8:上述树脂B-1~B-8(30质量%PGMEA溶液)
B-9:下述结构的树脂(附注于主链的数值为摩尔比。具有酸基的树脂、重均分子量11000、酸值69.2mgKOH/g)的30质量%PGMEA溶液
[化学式38]
B-10:下述结构的树脂(附注于主链的数值为摩尔比。具有酸基的树脂、重均分子量21000)的30质量%PGMEA溶液
[化学式39]
B-11:下述结构的树脂(附注于主链的数值为摩尔比。具有酸基的树脂、重均分子量30000、酸值112.8mgKOH/g)的30质量%PGMEA溶液
[化学式40]
B-12:下述结构的树脂(附注于主链的数值为摩尔比。具有酸基的树脂、重均分子量14000、酸值79.3mgKOH/g)的30质量%PGMEA溶液
[化学式41]
(特定化合物)
A-2:上述特定化合物A-2
(表面活性剂)
W-1:下述结构的化合物(重均分子量14000)。下述式中,表示重复单元的比例的%为摩尔%。
[化学式42]
(阻聚剂)
In-1:对甲氧基苯酚
(溶剂)
S-1:丙二醇单甲醚乙酸酯(PGMEA)
<保存稳定性的评价>
利用Toki Sangyo Co.,Ltd制造“RE-85L”测定了刚制造后的树脂组合物的初始粘度(V0)。测定初始粘度(V0)之后,将树脂组合物在4℃温度下静置6个月之后,测定了静置后的粘度(V1)。由下述式计算静置后的树脂组合物的粘度变动率(%),并按照以下基准对保存稳定性进行了评价。在将温度调节为25℃的状态下,测定了树脂组合物的粘度。
粘度变动率(%)=((静置后的粘度(V1)-初始粘度(V0))/初始粘度(V0))×100
5:粘度变动率小于5%
4:粘度变动率为5%以上且小于10%
3:粘度变动率为10%以上且小于30%
2:粘度变动率为30%以上且小于100%
1:粘度变动率为100%以上
<异物的评价>
在直径8英寸(20.32cm)的硅晶片上,利用旋涂法涂布基底层用组合物,然后使用加热板,在100℃下加热2分钟,接下来,使用加热板在230℃下加热2分钟而形成了膜厚10nm的基底层。关于基底层用组合物进行后述。
接着,在形成了基底层的硅晶片上,以制膜后的膜厚成为0.4μm的方式利用旋涂法涂布实施例1~128、比较例1~3的树脂组合物,接下来,使用加热板在100℃下加热了2分钟。接下来,使用i线步进机曝光装置FPA-3000i5+(Canon Inc.制造),经由具有1.0μm岛形图案的掩膜,以150mJ/cm2的曝光量进行了曝光。接下来,在温度23℃、湿度50%的环境下,保管30分钟后,使用四甲基氢氧化铵(TMAH)0.3质量%水溶液,在23℃下进行了60秒的旋复浸没显影。之后,利用旋转喷淋进行冲洗,进一步利用纯水进行水洗之后,使用加热板在220℃下加热5分钟而形成了岛形图案的像素。
关于形成了岛形图案的硅晶片,实施了恒温试验(温度150℃的环境下保持2000小时)之后,使用光学显微镜观察硅晶片面内的30个点,确认了在膜中有无异物的产生。将评价结果示于下述表。
5:恒温试验后观察到异物的部位为0处
4:恒温试验后观察到异物的部位为1~3处
3:恒温试验后观察到异物的部位为4~10处
2:恒温试验后观察到异物的部位为11~20处
1:恒温试验后观察到异物的部位为21~30处
<光谱的评价>
在直径8英寸(20.32cm)的玻璃晶片上,利用旋涂法涂布基底层用组合物,接下来,使用加热板,在100℃下加热2分钟,接下来,使用加热板在230℃下加热2分钟而形成了膜厚10nm的基底层。关于基底层用组合物进行后述。
接着,在形成了基底层的玻璃晶片上,以制膜后的膜厚成为0.4μm的方式利用旋涂法涂布实施例1~23、28~85、88~128、比较例1~3的树脂组合物,接下来,使用加热板在100℃下加热了2分钟。接下来,使用i线步进机曝光装置FPA-3000i5+(Canon Inc.制造),经由具有2cm岛形图案的掩膜,以150mJ/cm2的曝光量进行了曝光。接下来,将玻璃晶片在温度23℃、湿度50%的环境下保管30分钟后,使用四甲基氢氧化铵(TMAH)0.3质量%水溶液,在23℃下进行了60秒的旋复浸没显影。之后,利用旋转喷淋进行冲洗,进一步利用纯水进行水洗之后,使用加热板在220℃下加热5分钟而形成了光谱评价用图案。
关于形成有光谱测定用图案的玻璃晶片,求出了在实施了恒温试验(温度150℃的环境下保持2000小时)前后的波长400~700nm的透光率的变动率。
透射率的变动率(%)=(T2-T1/T1)×100
T1为恒温试验前的波长400~700nm的透光率的积分值,T2为恒温试验后的波长400~700nm的透光率的积分值。
5:透射率的变动率小于3%
4:透射率的变动率为3%以上且小于5%
3:透射率的变动率为5%以上且小于10%
2:透射率的变动率为10%以上且小于20%
1:透射率的变动率为20%以上
(基底层用组合物)
混合下述原料以制造了基底层用组合物。
树脂A……0.7质量份
表面活性剂A……0.8质量份
丙二醇单甲基醚乙酸酯(PGMEA)……98.5质量份
原料的详细如下述。
·树脂A:CYCLOMER P(ACA)230AA(Daicel Corporation制造、酸值=30mgKOH/g、Mw=15000、54质量%PGME溶液)
·表面活性剂A:下述结构的化合物(Mw=14000、表示重复单元的比例的%的数值为摩尔%的氟系表面活性剂)的0.2质量%PGMEA溶液
[化学式43]
[表16]
[表17]
[表18]
保存稳定性 | 异物 | 光谱 | |
比较例1 | 1 | 1 | 1 |
比较例2 | 1 | 1 | 1 |
比较例3 | 1 | 1 | 1 |
如上述表,实施例的树脂组合物的保存稳定性良好。进一步,能够形成抑制异物产生的膜。并且,关于实施例1~23、28~85、88~128,能够形成抑制光谱特性的变动的膜。
(实施例1001)
在硅晶片上,利用旋涂法涂布基底层用组合物,接下来,使用加热板,在100℃下加热2分钟,接下来,使用加热板在230℃下加热2分钟而形成了膜厚10nm的基底层。关于基底层用组合物,与用于评价异物的基底层用组合物相同。
接着,在形成了基底层的硅晶片上,以制膜后的膜厚成为1.0μm的方式利用旋涂法涂布了绿色树脂组合物。接下来,使用加热板在100℃下加热了2分钟。接下来,使用i线步进机曝光装置FPA-3000i5+(Canon Inc.制造),以1000mJ/cm2的曝光量经由2μm见方的点图案的掩膜进行了曝光。接下来,使用四甲基氢氧化氨(TMAH)0.3质量%水溶液,在23℃下进行了60秒的旋复浸没显影。之后,利用旋转喷淋进行冲洗,进一步利用纯水进行水洗。接下来,通过使用加热板,在200℃下加热5分钟,对绿色树脂组合物进行图案化而形成了绿色像素。同样地,将红色树脂组合物、蓝色树脂组合物以相同的步骤进行图案化,依次形成红色像素、蓝色像素,形成了具有绿色像素、红色像素及蓝色像素的滤色器。在该滤色器中,以拜耳图案形成绿色像素,在其相邻的区域中,以岛形图案形成红色像素、蓝色像素。根据公知的方法,将所获得的滤色器结合到固体摄像元件。该固体摄像元件具有适宜的图像识别能力。另外,绿色树脂组合物使用了实施例99的树脂组合物。红色树脂组合物使用了实施例79的树脂组合物。蓝色树脂组合物使用了实施例84的树脂组合物。
Claims (15)
1.一种树脂组合物,其包含:
颜料;
在1个分子中包含3个以上碱基、胺值为2.7mmol/g以上、分子量为100以上的化合物A;及
具有酸基的树脂,
在所述树脂组合物的总固体成分中包含40质量%以上的所述颜料。
2.根据权利要求1所述的树脂组合物,其中,
化合物A所具有的碱基为氨基。
3.根据权利要求1或2所述的树脂组合物,其中,
所述化合物A的胺值为15mmol/g以上。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的树脂组合物,其中,
所述化合物A为聚亚烷基亚胺。
5.根据权利要求1至3中任一项所述的树脂组合物,其中,
所述化合物A为聚乙烯亚胺。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的树脂组合物,其中,
所述化合物A的分子量为2000以下。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的树脂组合物,其中,
所述颜料包含彩色颜料。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的树脂组合物,其中,
所述颜料包含含有金属原子的颜料。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的树脂组合物,其中,
所述颜料包含卤化锌酞菁颜料。
10.根据权利要求1至9中任一项所述的树脂组合物,其中,
在所述树脂组合物的总固体成分中包含60质量%以上的所述颜料。
11.根据权利要求1至10中任一项所述的树脂组合物,其还包含颜料衍生物。
12.一种膜,其是使用权利要求1至11中任一项所述的树脂组合物获得的。
13.一种滤光器,其具有权利要求12所述的膜。
14.一种固体摄像元件,其具有权利要求12所述的膜。
15.一种图像显示装置,其具有权利要求12所述的膜。
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