CN115368142B - 一种低介电损耗氮化铝陶瓷材料及其制备方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及陶瓷材料领域,为解决现有技术下氮化铝陶瓷材料介电损耗较高的问题,公开了一种低介电损耗氮化铝陶瓷材料及其制备方法,该材料由100份抗水解改性氮化铝、0.4~1份烧结助剂、3~5份粘结剂、0.5~1.5份高温树脂、0.2~0.5份分散剂及0.2~0.5份消泡剂混合后干燥、模压成型、脱脂、烧结得到。该氮化铝陶瓷材料的介电损耗低,在13.56MHz的频率下tanδ小于10×10‑4,材料的致密度、强度以及热导率高;原料中无强腐蚀性物质、无毒性物质、无对环境造成污染物质产生,符合环保要求;制备过程简便,可工业化生产。

Description

一种低介电损耗氮化铝陶瓷材料及其制备方法
技术领域
本发明涉及陶瓷材料领域,尤其涉及一种低介电损耗氮化铝陶瓷材料及其制备方法。
背景技术
氮化铝是一种人工合成材料,具有与硅相近的线膨胀系数,与氧化铝相当的介电常数,其绝缘性也与氧化铝陶瓷相当,且氮化铝的热导率约为氧化铝的8倍,使其在微波及电子封装领域具有更为重要的应用意义。在微波绝缘散热材料中,理想的材料既要具有优异的导热性能,使得材料散热快,还要有较低的介电损耗。介电损耗是指电介质在交变电场中,由于消耗部分电能而使电介质本身发热的现象,介电损耗较高会导致材料在高频微波作用下产生的大量的电能损耗,并且使得材料温度上升。目前普遍使用的氮化铝陶瓷在保证热导率>180W/m·K的前提下,其介电损耗tanδ=1.0×10-3~9.0×10-3(13.56MHz),不能满足高频环境下的使用需求。
例如,在中国专利文献上公开的“一种高导热氮化铝陶瓷的制备方法”,其公告号为CN104973865A,该发明以氮化铝粉体为基本原料,采用稀土金属氟化物EuF3、LaF3、SmF3或其混合物为烧结助剂,烧结助剂稀土氟化物的加入量为氮化铝粉末质量的2%-8%,经湿磨混合、干燥、成形、脱脂、烧结形成氮化铝陶瓷。该高导热氮化铝陶瓷的热导率大于200W/m·K,但是并未关注氮化铝陶瓷材料的介电损耗。
发明内容
本发明为了克服现有技术下氮化铝陶瓷材料介电损耗较高的问题,提供一种低介电损耗氮化铝陶瓷材料及其制备方法,该材料介电损耗低,致密度、强度以及热导率高,可稳定批量生产。
为了实现上述目的,本发明采用以下技术方案:
一种低介电损耗氮化铝陶瓷材料,包括如下重量份的组分:100份抗水解改性氮化铝、0.4~1份烧结助剂、3~5份粘结剂、0.5~1.5份高温树脂、0.2~0.5份分散剂及0.2~0.5份消泡剂。
氮化铝是一种容易被氧化水解的粉料,在常温下可以被空气氧化水解生产氧化铝,并释放氨气,本发明以抗水解改性氮化铝为基体材料,降低氮化铝粉体的氧化水解。同时在喷雾造粒浆料中加入适量高温树脂,使其在脱脂时不产生分解,高温树脂在烧结时裂解成碳,适量碳可以抑制钇铝酸盐晶相的长大,同时可以使氧化铝还原为氮化铝,在保证致密度的前提下,尽量提高氮化铝的含量,从而得到低介电损耗高热导率的氮化铝陶瓷。
作为优选,所述抗水解改性氮化铝由如下步骤制备得到:
(1)将氮化铝置于无水乙醇中,搅拌且超声处理配成浆料;
(2)将磷酸二氢铝溶于磷酸中,加入无水乙醇配制成溶液;
(3)将步骤(2)所得溶液加入步骤(1)所得浆料中,并进行搅拌与超声分散,反应后过滤、干燥、过筛,得到抗水解改性氮化铝。
作为优选,所述步骤(1)的浆料中,氮化铝与无水乙醇的质量体积比为(20~30)g:100mL;所述步骤(2)的溶液中,磷酸二氢铝、磷酸与无水乙醇的质量体积比为(0.5~1)g:(1~2)g:100mL。
作为优选,所述步骤(3)为将步骤(2)所得溶液加入步骤(1)所得浆料中,步骤(1)所得浆料和步骤(2)所得溶液以2:1的体积比混合,并进行搅拌与超声分散反应1~2h,然后过滤、干燥、过筛,得到粒径小于1μm的抗水解改性氮化铝。
作为优选,所述烧结助剂为氟化镧和氟化钇中的一种或几种,粘结剂为固含量为8~10%的聚乙烯醇水溶液,分散剂为硬脂酸,消泡剂为氨基改性聚醚硅油。
本发明所用的添加剂均为水基系列,脱脂去除容易,同时不会对环境造成污染。
作为优选,所述高温树脂为液体酚醛树脂。
液体酚醛树脂易溶于无水乙醇,其在1000℃惰性气体中分解会有很高的残碳,残碳可为烧结过程中提供还原气氛,降低介电损耗的作用更为显著,因此选用液体酚醛树脂的效果优于其余可耐700℃的高温树脂。
一种低介电损耗氮化铝陶瓷材料的制备方法,包括如下步骤:
A、将烧结助剂与无水乙醇搅拌混合,再依次加入分散剂、高温树脂和抗水解改性氮化铝,混合搅拌后加入粘结剂,再进行球磨得到浆料;
B、将浆料过筛后与消泡剂混合搅拌,消泡后干燥得到造粒粉料;
C、将造粒粉料成型得到生胚,将生胚脱脂、烧结得到氮化铝陶瓷材料。
作为优选,所述步骤A为将烧结助剂加入无水乙醇中混合搅拌20~30min,依次加入分散剂、高温树脂和抗水解改性氮化铝继续搅拌20~30min,最后加入粘结剂,按球料比(2~3):1的比例球磨12~36h,得到混合均匀的固含量为60~65%的浆料。
作为优选,所述步骤B中干燥为喷雾干燥,干燥后造粒粉料的含水率小于0.2%。
喷雾干燥得到的造粒粉料为实心球体结构,颗粒大小级配均匀,造粒粉体含水率小于0.2%,造粒粉体流动性良好。
作为优选,所述步骤C中,造粒粉料通过冷等静压成型,成型压力120-150MPa。
作为优选,所述步骤C中,脱脂过程为将生胚以0.5~2℃/min的速率升温至700~750℃,保温2~4h;烧结过程为在氮气气氛中将脱脂后的生胚以2~5℃/min的速率升温至1850~1900℃,保温2~4h,自然降温至室温。
当烧结时选用还原气氛时,还原气氛仅能作用于生坯表面;而高温树脂在生坯中分布均匀,因此在烧结过程选用在惰性气氛进行,氮化铝可被充分还原。
因此,本发明有如下有益效果:(1)介电损耗低,在13.56MHz的频率下tanδ小于10×10-4;(2)通过加入高温树脂,减少材料中的氧含量,抑制钇铝酸盐晶相的长大,进而提高了材料的致密度、强度以及热导率;(3)原料中无强腐蚀性物质、无毒性物质、无对环境造成污染物质产生,符合环保要求;(4)制备过程简便,可工业化生产。
附图说明
图1为本发明对比例1得到的氮化铝陶瓷的SEM图。
图2为本发明实施例1得到的氮化铝陶瓷的SEM图。
具体实施方式
下面结合附图与具体实施方法对本发明做进一步的描述。
下述实施方法中,高纯氮化铝原粉、氟化镧和氟化钇的粉体粒度均小于1μm,聚乙烯醇水溶液的溶剂为pH值6~7、电导率≤10us/cm的纯水。
实施例1
一种低介电损耗氮化铝陶瓷材料,由如下步骤制备得到:
(1)将100g高纯氮化铝原粉置于400mL无水乙醇中,搅拌且超声处理配成浆料;再将2g磷酸二氢铝溶于4g磷酸中,加入200mL无水乙醇配制成溶液,将上述溶液加入浆料中,并进行搅拌与超声分散,反应1小时后,过滤、干燥、过筛,得到抗水解改性氮化铝粉末;
(2)将2g氟化镧、2g氟化钇加入40g无水乙醇中先混合搅拌30min,加入0.18g硬脂酸表面活性剂,加入0.3g的酚醛树脂,继续搅拌30min;
(3)向步骤(2)所得溶液中加入步骤(1)中抗水解改性氮化铝粉末60g,继续搅拌30min至粉料分散均匀,加入1.8g的固含量10%的聚乙烯醇水溶液,搅拌30min,得到固含量60%且流动性良好的浆料;
(4)在尼龙内衬的球磨罐中,加入120g高纯研磨锆球,再将步骤(3)搅拌均匀的浆料倒入球磨罐中,球磨36h,得到混合均匀的浆料;
(5)将步骤(4)所得浆料过筛,并置于搅拌桶中一边搅拌一边缓慢加入改性聚醚硅,至浆料泡沫完全消除;
(6)将步骤(5)所得浆料经供料泵硅胶软管匀速送入喷雾干燥塔,进行喷雾造粒,将得到的造粒粉料筛分后,得到含水率低于2%、粒径为0.05μm的造粒粉料;
(7)将步骤(6)所得的粉料通过冷等静压成型得到生坯,成型压力为120MPa;
(8)将步骤(7)所得生坯置于脱脂炉脱脂,升温速率为2℃/min,升温至750℃保温2h;
(9)将步骤(8)所得脱脂后的生胚置于真空炉中烧结,通氮气气氛,烧结温度为1850℃,升温速率为3℃/min,1850℃保温4h,自然降温至室温得到氮化铝陶瓷材料。
实施例2
一种低介电损耗氮化铝陶瓷材料,由如下步骤制备得到:
(1)将100g高纯氮化铝原粉置于400mL无水乙醇中,搅拌且超声处理配成浆料;再将2g磷酸二氢铝溶于4g磷酸中,加入200mL无水乙醇配制成溶液,将上述溶液加入浆料中,并进行搅拌与超声分散,反应1小时后,过滤、干燥、过筛,得到抗水解改性氮化铝粉末;
(2)将2g氟化镧、2g氟化钇加入40g无水乙醇中先混合搅拌30min,加入0.18g硬脂酸表面活性剂,加入0.3g的酚醛树脂,继续搅拌30min;
(3)向步骤(2)所得溶液中加入步骤(1)中抗水解改性氮化铝粉末60g,继续搅拌30min至粉料分散均匀,加入1.8g的固含量10%的聚乙烯醇水溶液,搅拌30min,得到固含量60%且流动性良好的浆料;
(4)在尼龙内衬的球磨罐中,加入120g高纯研磨锆球,再将步骤(3)搅拌均匀的浆料倒入球磨罐中,球磨36h,得到混合均匀的浆料;
(5)将步骤(4)所得浆料过筛,并置于搅拌桶中一边搅拌一边缓慢加入改性聚醚硅,至浆料泡沫完全消除;
(6)将步骤(5)所得浆料经供料泵硅胶软管匀速送入喷雾干燥塔,进行喷雾造粒,将得到的造粒粉料筛分后,得到含水率低于2%、粒径为0.05μm的造粒粉料;
(7)将步骤(6)所得的粉料通过冷等静压成型得到生坯,成型压力为120MPa;
(8)将步骤(7)所得生坯置于脱脂炉脱脂,升温速率为1℃/min,升温至750℃保温3h;
(9)将步骤(8)所得脱脂后的生胚置于真空炉中烧结,通氮气气氛,烧结温度为1850℃,升温速率为2℃/min,1850℃保温2h,自然降温至室温得到氮化铝陶瓷材料。
对比例1
一种低介电损耗氮化铝陶瓷材料,由如下步骤制备得到:
(1)将100g高纯氮化铝原粉置于400mL无水乙醇中,搅拌且超声处理配成浆料;再将2g磷酸二氢铝溶于4g磷酸中,加入200mL无水乙醇配制成溶液,将上述溶液加入浆料中,并进行搅拌与超声分散,反应1小时后,过滤、干燥、过筛,得到抗水解改性氮化铝粉末;
(2)将2g氟化镧、2g氟化钇加入40g无水乙醇中先混合搅拌30min,加入0.18g硬脂酸表面活性剂,继续搅拌30min;
(3)向步骤(2)所得溶液中加入步骤(1)中抗水解改性氮化铝粉末70g,继续搅拌30min至粉料分散均匀,加入1.8g的固含量10%的聚乙烯醇水溶液,搅拌30min,得到固含量60%且流动性良好的浆料;
(4)在尼龙内衬的球磨罐中,加入120g高纯研磨锆球,再将步骤(3)搅拌均匀的浆料倒入球磨罐中,球磨36h,得到混合均匀的浆料;
(5)将步骤(4)所得浆料过筛,并置于搅拌桶中一边搅拌一边缓慢加入改性聚醚硅,至浆料泡沫完全消除;
(6)将步骤(5)所得浆料经供料泵硅胶软管匀速送入喷雾干燥塔,进行喷雾造粒,将得到的造粒粉料筛分后,得到含水率低于2%、粒径为0.05μm的造粒粉料;
(7)将步骤(6)所得的粉料通过冷等静压成型得到生坯,成型压力为120MPa;
(8)将步骤(7)所得生坯置于脱脂炉脱脂,升温速率为2℃/min,升温至750℃保温2h;
(9)将步骤(8)所得脱脂后的生胚置于真空炉中烧结,通氮气气氛,烧结温度为1850℃,升温速率为3℃/min,1850℃保温4h,自然降温至室温得到氮化铝陶瓷材料。
对比例2
一种低介电损耗氮化铝陶瓷材料,由如下步骤制备得到:
(1)将100g高纯氮化铝原粉置于400mL无水乙醇中,搅拌且超声处理配成浆料;再将2g磷酸二氢铝溶于4g磷酸中,加入200mL无水乙醇配制成溶液,将上述溶液加入浆料中,并进行搅拌与超声分散,反应1小时后,过滤、干燥、过筛,得到抗水解改性氮化铝粉末;
(2)将2g氟化镧、2g氟化钇加入40g无水乙醇中先混合搅拌30min,加入0.18g硬脂酸表面活性剂,加入0.3g的聚酰亚胺树脂,继续搅拌30min;
(3)向步骤(2)所得溶液中加入步骤(1)中抗水解改性氮化铝粉末60g,继续搅拌30min至粉料分散均匀,加入1.8g的固含量10%的聚乙烯醇水溶液,搅拌30min,得到固含量60%且流动性良好的浆料;
(4)在尼龙内衬的球磨罐中,加入120g高纯研磨锆球,再将步骤(3)搅拌均匀的浆料倒入球磨罐中,球磨36h,得到混合均匀的浆料;
(5)将步骤(4)所得浆料过筛,并置于搅拌桶中一边搅拌一边缓慢加入改性聚醚硅,至浆料泡沫完全消除;
(6)将步骤(5)所得浆料经供料泵硅胶软管匀速送入喷雾干燥塔,进行喷雾造粒,将得到的造粒粉料筛分后,得到含水率低于2%、粒径为0.05μm的造粒粉料;
(7)将步骤(6)所得的粉料通过冷等静压成型得到生坯,成型压力为120MPa;
(8)将步骤(7)所得生坯置于脱脂炉脱脂,升温速率为2℃/min,升温至750℃保温2h;
(9)将步骤(8)所得脱脂后的生胚置于真空炉中烧结,通氮气气氛,烧结温度为1850℃,升温速率为3℃/min,1850℃保温4h,自然降温至室温得到氮化铝陶瓷材料。
对比例3
一种低介电损耗氮化铝陶瓷材料,由如下步骤制备得到:
(1)将2g氟化镧、2g氟化钇加入40g无水乙醇中先混合搅拌30min,加入0.18g硬脂酸表面活性剂,加入0.3g的酚醛树脂,继续搅拌30min;
(2)向步骤(1)所得溶液中加入高纯氮化铝原粉60g,继续搅拌30min至粉料分散均匀,加入1.8g的固含量10%的聚乙烯醇水溶液,搅拌30min,得到固含量60%且流动性良好的浆料;
(3)在尼龙内衬的球磨罐中,加入120g高纯研磨锆球,再将步骤(3)搅拌均匀的浆料倒入球磨罐中,球磨36h,得到混合均匀的浆料;
(4)将步骤(3)所得浆料过筛,并置于搅拌桶中一边搅拌一边缓慢加入改性聚醚硅,至浆料泡沫完全消除;
(5)将步骤(4)所得浆料经供料泵硅胶软管匀速送入喷雾干燥塔,进行喷雾造粒,将得到的造粒粉料筛分后,得到含水率低于2%、粒径为0.05μm的造粒粉料;
(6)将步骤(5)所得的粉料通过冷等静压成型得到生坯,成型压力为120MPa;
(7)将步骤(6)所得生坯置于脱脂炉脱脂,升温速率为2℃/min,升温至750℃保温2h;
(8)将步骤(7)所得脱脂后的生胚置于真空炉中烧结,通氮气气氛,烧结温度为1850℃,升温速率为3℃/min,1850℃保温4h,自然降温至室温得到氮化铝陶瓷材料。
检测上述实施例和对比例所得的氮化铝陶瓷材料的密度、热导率、抗弯强度以及介电损耗。热导率测试采用热扩散系数及比热与密度三者乘积的公式进行计算,其中热扩散系数使用超高温激光导热仪进行测量,比热使用差示扫描量热仪进行测量;密度测试采用精密密度天平,测试温度25℃;抗弯强度测试采用万能试验机,测试方法为三点抗弯强度测试法;介电损耗采用谐振法(Q表法)进行测量。测试结果如下表所示。
Figure BDA0003769777250000061
Figure BDA0003769777250000071
从上表数据看,实施例1和实施例2的氮化铝陶瓷材料密度为3.37-3.39g/cm3,有较高的热导率和抗弯强度,同时实施例1和实施例2的介电损耗均低于对比例1一个数量级,这表明本发明所述的氮化铝陶瓷的介电损耗低,致密性好,导热、散热效果好并且强度高,适用于高频环境。
对比例1没有添加酚醛树脂,其氮化铝陶瓷的SEM图如图1所示,第二相钇铝酸盐相呈较大颗粒的孤岛状,因此对比例1所得的氮化铝陶瓷介电损耗较高。实施例1添加了适量的酚醛树脂,其氮化铝陶瓷的SEM图如图2所示,第二相钇铝酸盐相部分细化,整体上使氮化铝相所占比例增加,并且钇铝酸盐相细化的氮化铝基体处晶界致密度得到提高,从而其介电损耗值也相应较低。对比例2使用聚酰亚胺树脂替换酚醛树脂,其烧结得到的残碳少于酚醛树脂,因此氮化铝氧化量高于实施例1,导致对比例2所得氮化铝陶瓷材料的介电损耗增加。
对比例3中没有使用改性氮化铝,其被氧化水解的氮化铝增多,使得氮化铝陶瓷材料的介电损耗增加。

Claims (7)

1.一种低介电损耗氮化铝陶瓷材料,其特征是,包括如下重量份的组分:100份抗水解改性氮化铝、0.4~1份烧结助剂、3~5份粘结剂、0.5~1.5份高温树脂、0.2~0.5份分散剂及0.2~0.5份消泡剂;
所述抗水解改性氮化铝由如下步骤制备得到:
(1)将氮化铝置于无水乙醇中,搅拌且超声处理配成浆料;
(2)将磷酸二氢铝溶于磷酸中,加入无水乙醇配制成溶液;
(3)将步骤(2)所得溶液与步骤(1)所得浆料中以1:2的体积比混合,并进行搅拌与超声分散,反应后过滤、干燥、过筛,得到粒径小于1μm的抗水解改性氮化铝;步骤(1)的浆料中,氮化铝与无水乙醇的质量体积比为(20~30)g:100mL;步骤(2)的溶液中,磷酸二氢铝、磷酸与无水乙醇的质量体积比为(0.5~1)g:(1~2)g:100mL;
所述高温树脂为液体酚醛树脂。
2.根据权利要求1所述的一种低介电损耗氮化铝陶瓷材料,其特征是,步骤(3)为将步骤(2)所得溶液加入步骤(1)所得浆料中,步骤(1)所得浆料和步骤(2)所得溶液以2:1的体积比混合,并进行搅拌与超声分散反应1~2h,然后过滤、干燥、过筛,得到粒径小于1μm的抗水解改性氮化铝。
3.根据权利要求1所述的一种低介电损耗氮化铝陶瓷材料,其特征是,所述烧结助剂为氟化镧和氟化钇中的一种或几种,粘结剂为固含量为8~10%的聚乙烯醇水溶液,分散剂为硬脂酸,消泡剂为氨基改性聚醚硅油。
4.一种如权利要求1-3任意一项所述的低介电损耗氮化铝陶瓷材料的制备方法,其特征是,包括如下步骤:
A、将烧结助剂与无水乙醇搅拌混合,再依次加入分散剂、高温树脂和抗水解改性氮化铝,混合搅拌后加入粘结剂,再进行球磨得到浆料;
B、将浆料过筛后与消泡剂混合搅拌,消泡后干燥得到造粒粉料;
C、将造粒粉料成型得到生胚,将生胚脱脂、烧结得到氮化铝陶瓷材料。
5.根据权利要求4所述的一种低介电损耗氮化铝陶瓷材料的制备方法,其特征是,步骤A为将烧结助剂加入无水乙醇中混合搅拌20~30min,依次加入分散剂、高温树脂和抗水解改性氮化铝继续搅拌20~30min,最后加入粘结剂,按球料比(2~3):1的比例球磨12~36h,得到混合均匀的固含量为60~65%的浆料。
6.根据权利要求4所述的一种低介电损耗氮化铝陶瓷材料的制备方法,其特征是,步骤B中干燥为喷雾干燥,干燥后造粒粉料的含水率小于0.2%。
7.根据权利要求4所述的一种低介电损耗氮化铝陶瓷材料的制备方法,其特征是,步骤C中,脱脂过程为将生胚以0.5~2℃/min的速率升温至700~750℃,保温2~4h;烧结过程为在氮气气氛中将脱脂后的生胚以2~5℃/min的速率升温至1850~1900℃,保温2~4h,自然降温至室温。
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005082460A (ja) * 2003-09-10 2005-03-31 Mitsui Chemicals Inc 窒化アルミニウム顆粒、その製造方法及び用途
CN107987471A (zh) * 2017-11-08 2018-05-04 淮北绿洲新材料有限责任公司 一种高频低介电性主链苯并噁嗪复合树脂、制备方法及其应用
CN112142474A (zh) * 2020-09-28 2020-12-29 西华大学 一种水基流延成型高导热氮化铝陶瓷基板的制备方法
CN214666062U (zh) * 2020-12-17 2021-11-09 杭州大和江东新材料科技有限公司 一种陶瓷高温烧结治具
CN113698182A (zh) * 2021-08-05 2021-11-26 杭州大和江东新材料科技有限公司 一种防静电氧化铝陶瓷材料及其制备方法

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0655446B2 (ja) * 1988-01-14 1994-07-27 アロン化成株式会社 バレル研磨用メディアの製造法
US5589714A (en) * 1992-06-08 1996-12-31 The Dow Chemical Company Epoxy polymer filled with aluminum nitride-containing polymer and semiconductor devices encapsulated with a thermosetting resin containing aluminum nitride particles
US20010035253A1 (en) * 1998-06-16 2001-11-01 Kouji Kawakita Ceramic sintered body and production method thereof
CN1220566C (zh) * 2003-08-16 2005-09-28 青岛双鹰耐火材料有限公司 低碳高铝质整体复合塞棒
CN100354232C (zh) * 2006-06-15 2007-12-12 南京工业大学 抗水化易分散的氮化铝粉末的制备方法
CN101270218A (zh) * 2008-04-30 2008-09-24 武汉科技大学 一种耐火材料用活化改性酚醛树脂及其制备方法
CN101508573B (zh) * 2009-03-27 2011-08-31 南京工业大学 抗水解AlN粉末的制备方法
JP5901190B2 (ja) * 2011-09-13 2016-04-06 株式会社トクヤマ 窒化アルミニウム焼結顆粒の製造方法
CN105461325A (zh) * 2014-08-21 2016-04-06 青岛炜烨锻压机械有限公司 一种高铝碳质耐火材料及其制备方法
CN104973865B (zh) * 2015-05-26 2017-05-17 北京科技大学 一种高导热氮化铝陶瓷的制备方法
CN108003564B (zh) * 2017-11-08 2021-04-13 淮北绿洲新材料有限责任公司 高频低介电性功能化石墨烯/主链苯并噁嗪复合树脂及其原位插层溶液制备方法
CN112759402A (zh) * 2021-03-16 2021-05-07 福建臻璟新材料科技有限公司 一种高强度黑色氮化铝陶瓷的制备工艺
CN114105615B (zh) * 2021-09-15 2023-03-28 杭州大和江东新材料科技有限公司 一种氧化铝多孔陶瓷的制备方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005082460A (ja) * 2003-09-10 2005-03-31 Mitsui Chemicals Inc 窒化アルミニウム顆粒、その製造方法及び用途
CN107987471A (zh) * 2017-11-08 2018-05-04 淮北绿洲新材料有限责任公司 一种高频低介电性主链苯并噁嗪复合树脂、制备方法及其应用
CN112142474A (zh) * 2020-09-28 2020-12-29 西华大学 一种水基流延成型高导热氮化铝陶瓷基板的制备方法
CN214666062U (zh) * 2020-12-17 2021-11-09 杭州大和江东新材料科技有限公司 一种陶瓷高温烧结治具
CN113698182A (zh) * 2021-08-05 2021-11-26 杭州大和江东新材料科技有限公司 一种防静电氧化铝陶瓷材料及其制备方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
氮化铝/聚合物复合导热塑料研究进展;王媛;万军;乔旭升;樊先平;;材料科学与工程学报(第06期);第166-172页 *

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