CN115283334A - 一种微孔清洗装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种微孔清洗装置,属于精密冲洗设备技术领域,通过入水管连通高压水,气腔连通高压气,高压气经过气腔,并分别压缩气销内的密封头,使密封头移动,密封头将遮盖的气孔漏出,将气体打入流经的水流中,水流通过螺旋状的水通道依次经过若干气销,水流在螺旋状的水通道内旋转,使水流在水通道内旋转和扰动,使水流和气体混合更加均匀,螺旋状的水通道即缩短了气液混合的空间距离,也促进水流和气体的混合;此清洗装置,通过设置多段式气体填充以及旋转式气液的接触,保证气体充分混合进入高压水流中,使喷出的气液混合体更加均匀,对产品的微孔清洗更加均匀稳定,避免对产品的损坏;并且此混合结构紧密,不占用过大的设备空间。

Description

一种微孔清洗装置
技术领域
本发明属于精密冲洗设备技术领域,具体涉及一种微孔清洗装置。
背景技术
在CVD设备的再生过程中,设备会浸入多种化学药液中进行制备,因此每个制程完成后会对产品进行清洗以避免污染后一制程的化学药液,而针对带孔的CVD设备,仅进入纯水中浸泡是无法将孔内的残留药液带出,同时因部分带孔产品的特殊性,使用高速高压水流(P≥0.75Mpa)会破坏产品的表面状态,以CVD产品中的Liner为例,一些带孔产品的厚度仅为0.5mm,仅在0.6Mpa的高压水流下,产品变形弯曲。因此需要采用气液混合的方式喷射水流,来清洗产品孔内的残留药液;一般的气液混合的清洗头仅通过在水管输出头处增加一个入气管,使气液混合,由于水流速度很快,单个气液的混合效果并不好,导致气液喷出不均匀,产品表面的微孔清洗效果不均匀,如需沿水管增加更多的入气装置,会导致清洗头结构过长,占用过大的设备空间。
发明内容
有鉴于此,本发明的目的在于提供一种微孔清洗装置,结构紧密,能同时混合更多气体,并且混合效果更好。
为达到上述目的,本发明提供如下技术方案:
本发明包括柱形的混合胆,所述混合胆内部开设有螺旋状的水通道,所述水通道的两端分别连通入水管和出水头,从所述混合胆的一侧向内开设气腔,所述气腔位于所述水通道的环绕中部,所述气腔内设有一块挡板,从所述气腔侧面开设若干连通至所述水通道的通孔,所述通孔轴线垂直于所述挡板,所述通孔上固接有气销,所述气销伸入所述水通道,所述气销中空并连通至所述气腔,所述气销的侧面开设气孔,所述气孔背对水流在所述水通道的流通方向,所述挡板上设有若干单向密封阀,所述单向密封阀包括支撑杆、密封头、上限位板、下限位板以及密封弹簧,所述支撑杆垂直滑设在所述挡板上,所述密封头固接在所述支撑杆端部,所述密封头伸入所述气销,所述上限位板固定在所述支撑杆中部,所述下限位板固定在所述支撑末端,所述密封弹簧支撑在所述挡板和所述下限位板之间,所述密封弹簧支撑所述下限位板移动,所述上限位板抵在所述挡板上,使所述密封头正好挡在所述气孔处,所述气腔通气,气体推动所述密封头伸入所述气销内部底端,此时所述气孔漏处。
进一步,还包括若干调节螺柱,所述调节螺柱依次螺纹穿过所述混合胆外端和所述气销顶端并抵在所述密封头顶部,继续旋入所述调节螺柱,使所述调节螺柱抵住所述密封头移动并挡置在所述气孔位置。
进一步,还包括外壳,所述混合胆横向滑动设置在所述外壳内部,所述混合胆一端滑动密封设有入气管,所述入气管连通于所述气腔,所述入气管固定在所述外壳一侧,所述混合胆另一端与所述外壳内侧之间连接有归位弹簧,所述入水管和出水头分别垂直所述混合胆的侧面,所述入水管上设有转动阀门,所述转动阀门包括圆盘状的转动把手,所述转动把手的外侧啮合在所述外壳内侧,所述入气管充气,使所述混合胆横移,所述转动把手沿所述外壳内侧移动并转动,此时伸缩转动阀门打开。
进一步,所述出水头朝下设置,所述外壳下部固设有挡水头,所述挡水头挡置在所述混合胆收回时所述出水头的出水口处。
进一步,所述气腔外端开设横截面大于所述气腔的密封槽,所述入气管端部设有密封板,所述入气管滑设在所述气腔内,所述密封板滑设在所述密封槽内。
进一步,所述通孔相对于所述挡板对称分为两列。
本发明的有益效果在于:
1、本发明此微孔清洗装置,通过设置多段式气体填充以及旋转式气液的接触,保证气体充分混合进入高压水流中,使喷出的气液混合体更加均匀,对产品的微孔清洗更加均匀稳定,避免对产品的损坏;并且此混合结构紧密,不占用过大的设备空间。
2、本发明可通过单独控制入气管气流的通断实现出水头的出水,当入气管通气后,可同时打开入水管,可实现快速气液混合,入气管断气后,也可快速断水;此结构可提升设备的操作便利性,也保证了设备的气液混合同步性。
本发明的其他优点、目标和特征将在随后的说明书中进行阐述,并且在某种程度上对本领域技术人员而言是显而易见的,或者本领域技术人员可以从本发明的实践中得到教导。本发明的目标和其他优点可以通过下面的说明书来实现和获得。
附图说明
为了使本发明的目的、技术方案和有益效果更加清楚,本发明提供如下附图进行说明:
图1为本发明实施例微孔清洗装置整体示意图;
图2为本发明实施例混合胆的内部结构示意图;
图3为本发明实施例微孔清洗装置未通气状态剖视图;
图4为图3的A处放大示意图;
图5为本发明实施例微孔清洗装置通气状态剖视图;
图6为图5的B处放大示意图;
附图中标记如下:1、混合胆;11、水通道;12、气腔;13、挡板;14、气销;141、气孔;15、单向密封阀;151、支撑杆;152、密封头;153、上限位板;154、下限位板;155、密封弹簧;156、调节螺柱;16、密封槽;2、入水管;21、转动把手;3、出水头;4、外壳;41、挡水头;5、入气管;51、密封板;6、归位弹簧。
具体实施方式
如图1~6所示,本发明提出了一种微孔清洗装置,用于精密清洗CVD等设备的微孔;参考图2,包括柱形的混合胆1,所述混合胆1内部开设有螺旋状的水通道11,混合胆1可通过浇筑合页的方式制作,所述水通道11的两端分别连通入水管2和出水头3,入水管2和出水头3均垂直于混合胆1的侧面,且出水头3朝下,入水管2朝上,此设置便于后续的结构布置和管道连接。从所述混合胆1的一侧向内开设圆柱状的气腔12,所述气腔12位于所述水通道11的环绕中部,所述气腔12内设有一块挡板13,挡板13水平设置;从所述气腔12侧面开设若干连通至所述水通道11的通孔,所述通孔轴线垂直于所述挡板13,并且所述通孔相对于所述挡板13对称分为两列,此设置使通孔均匀分布在水通道11每个节段,所述通孔上固接有气销14,所述气销14伸入所述水通道11,所述气销14中空并连通至所述气腔12,所述气销14的侧面开设气孔141,所述气孔141背对水流在所述水通道11的流通方向;如图3和图4所示,所述挡板13上设有若干单向密封阀15,所述单向密封阀15包括支撑杆151、密封头152、上限位板153、下限位板154以及密封弹簧155,所述支撑杆151垂直滑设在所述挡板13上,所述密封头152固接在所述支撑杆151端部,所述密封头152伸入所述气销14,所述上限位板153固定在所述支撑杆151中部,所述下限位板154固定在所述支撑末端,所述密封弹簧155支撑在所述挡板13和所述下限位板154之间,所述密封弹簧155支撑所述下限位板154移动,所述上限位板153抵在所述挡板13上,使所述密封头152正好挡在所述气孔141处,参考图5和图6,所述气腔12通气,气体推动所述密封头152伸入所述气销14内部底端,此时所述气孔141漏处。
此微孔清洗装置,通过入水管2连通高压水,气腔12连通高压气,高压气经过气腔12,并分别压缩气销14内的密封头152,使密封头152移动,密封头152将遮盖的气孔141漏出,将气体打入流经的水流中,水流通过螺旋状的水通道11依次经过若干气销14,水流在螺旋状的水通道11内旋转,使水流在水通道11内旋转和扰动,使水流和气体混合更加均匀,螺旋状的水通道11即缩短了气液混合的空间距离,也促进水流和气体的混合,气孔141开设在气销14为背离水流的方向,避免水流流入气销14,上限位板153限制了密封头152的极限距离,堵塞气销14,也避免水流通过气销14进入气腔12,实现气体单向进入水流;此清洗装置,通过设置多段式气体填充以及旋转式气液的接触,保证气体充分混合进入高压水流中,使喷出的气液混合体更加均匀,对产品的微孔清洗更加均匀稳定,避免对产品的损坏;并且此混合结构紧密,不占用过大的设备空间。
更进一步的方案中,参考图2,还包括若干调节螺柱156,所述调节螺柱156依次螺纹穿过所述混合胆1外端和所述气销14顶端并抵在所述密封头152顶部,继续旋入所述调节螺柱156,使所述调节螺柱156抵住所述密封头152移动并挡置在所述气孔141位置,调节螺柱156始终与气腔12螺接,起到密封作用。
此结构,通过转动调节螺柱156抵住密封头152,使密封头152挡置气孔141,能通过调节任一调节螺柱156,来控制对应的气腔12的开合状态,以控制出水头3喷出的气液混合比例。
更进一步的方案中,参考图1、图3和图6,还包括外壳4,所述混合胆1横向滑动设置在所述外壳4内部,可在外壳4内部设置滑道,混合胆1侧面设置滑梁;所述混合胆1一端滑动密封设有入气管5,所述气腔12外端开设横截面大于所述气腔12的密封槽16,所述入气管5端部设有密封板51,所述入气管5滑设在所述气腔12内,所述密封板51滑设在所述密封槽16内,所述入气管5固定在所述外壳4一侧,所述混合胆1另一端与所述外壳4内侧之间连接有归位弹簧6,所述入水管2和出水头3分别垂直所述混合胆1的侧面,所述入水管2上设有转动阀门,所述转动阀门包括圆盘状的转动把手21,所述转动把手21的外侧啮合在所述外壳4内侧,所述入气管5充气,使所述混合胆1横移,所述转动把手21沿所述外壳4内侧移动并转动,此时伸缩转动阀门打开。
此结构可通过单独控制入气管5气流的通断实现出水头3的出水,当入气管5通气后,气压推动混合腔移动,转动把手21沿外壳4转动使转动阀门打开,入气管5和入水管2同时打开后,即可实现气液混合,入气管5断气后,混合胆1随归位弹簧6回收,转动阀门关闭;此结构可提升设备的操作便利性,也保证了设备的气液混合同步性。
更进一步的方案中,参考图1,所述出水头3朝下设置,所述外壳4下部固设有挡水头41,所述挡水头41挡置在所述混合胆1收回时所述出水头3的出水口处。
挡水头41能随入气管5断气后迅速封闭出水头3,使水流存于水通道11内,以保证下次水流的快速输出;也避免停止喷水后,水流继续下落。
最后说明的是,以上优选实施例仅用以说明本发明的技术方案而非限制,尽管通过上述优选实施例已经对本发明进行了详细的描述,但本领域技术人员应当理解,可以在形式上和细节上对其作出各种各样的改变,而不偏离本发明权利要求书所限定的范围。

Claims (6)

1.一种微孔清洗装置,其特征在于:包括柱形的混合胆(1),所述混合胆(1)内部开设有螺旋状的水通道(11),所述水通道(11)的两端分别连通入水管(2)和出水头(3),从所述混合胆(1)的一侧向内开设气腔(12),所述气腔(12)位于所述水通道(11)的环绕中部,所述气腔(12)内设有一块挡板(13),从所述气腔(12)侧面开设若干连通至所述水通道(11)的通孔,所述通孔轴线垂直于所述挡板(13),所述通孔上固接有气销(14),所述气销(14)伸入所述水通道(11),所述气销(14)中空并连通至所述气腔(12),所述气销(14)的侧面开设气孔(141),所述气孔(141)背对水流在所述水通道(11)的流通方向,所述挡板(13)上设有若干单向密封阀(15),所述单向密封阀(15)包括支撑杆(151)、密封头(152)、上限位板(153)、下限位板(154)以及密封弹簧(155),所述支撑杆(151)垂直滑设在所述挡板(13)上,所述密封头(152)固接在所述支撑杆(151)端部,所述密封头(152)伸入所述气销(14),所述上限位板(153)固定在所述支撑杆(151)中部,所述下限位板(154)固定在所述支撑末端,所述密封弹簧(155)支撑在所述挡板(13)和所述下限位板(154)之间,所述密封弹簧(155)支撑所述下限位板(154)移动,所述上限位板(153)抵在所述挡板(13)上,使所述密封头(152)正好挡在所述气孔(141)处,所述气腔(12)通气,气体推动所述密封头(152)伸入所述气销(14)内部底端,此时所述气孔(141)漏处。
2.根据权利要求1所述的微孔清洗装置,其特征在于:还包括若干调节螺柱(156),所述调节螺柱(156)依次螺纹穿过所述混合胆(1)外端和所述气销(14)顶端并抵在所述密封头(152)顶部,继续旋入所述调节螺柱(156),使所述调节螺柱(156)抵住所述密封头(152)移动并挡置在所述气孔(141)位置。
3.根据权利要求1所述的微孔清洗装置,其特征在于:还包括外壳(4),所述混合胆(1)横向滑动设置在所述外壳(4)内部,所述混合胆(1)一端滑动密封设有入气管(5),所述入气管(5)连通于所述气腔(12),所述入气管(5)固定在所述外壳(4)一侧,所述混合胆(1)另一端与所述外壳(4)内侧之间连接有归位弹簧(6),所述入水管(2)和出水头(3)分别垂直所述混合胆(1)的侧面,所述入水管(2)上设有转动阀门,所述转动阀门包括圆盘状的转动把手(21),所述转动把手(21)的外侧啮合在所述外壳(4)内侧,所述入气管(5)充气,使所述混合胆(1)横移,所述转动把手(21)沿所述外壳(4)内侧移动并转动,此时伸缩转动阀门打开。
4.根据权利要求3所述的微孔清洗装置,其特征在于:所述出水头(3)朝下设置,所述外壳(4)下部固设有挡水头(41),所述挡水头(41)挡置在所述混合胆(1)收回时所述出水头(3)的出水口处。
5.根据权利要求3所述的微孔清洗装置,其特征在于:所述气腔(12)外端开设横截面大于所述气腔(12)的密封槽(16),所述入气管(5)端部设有密封板(51),所述入气管(5)滑设在所述气腔(12)内,所述密封板(51)滑设在所述密封槽(16)内。
6.根据权利要求1所述的微孔清洗装置,其特征在于:所述通孔相对于所述挡板(13)对称分为两列。
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