CN115206832A - 用于半导体制造设备的排气线路的气闸 - Google Patents

Abstract

提供了一种用于半导体制造设备的排气线路的气闸。所述气闸包括：气闸主体，在第一方向上插入排气线路的排气管道中的固定孔中，气闸主体具有与固定孔的直径基本相同的直径；以及多个推扣。所述多个推扣沿着气闸主体的外周表面设置在气闸主体的远端上并且在气闸主体的圆周周围彼此间隔开，所述多个推扣是弹性的并且能够沿着与第一方向垂直的第二方向相对于外周表面运动。当所述多个推扣已经在第一方向上穿过固定孔时，所述多个推扣防止在与第一方向相反的方向上通过固定孔的返回移动。

Description

用于半导体制造设备的排气线路的气闸

本申请要求于2021年4月8日在韩国知识产权局(KIPO)提交的第10-2021-0045683号韩国专利申请的优先权，该韩国专利申请的内容通过引用全部包含于此。

技术领域

示例实施例涉及一种用于半导体制造设备的排气线路的气闸(damper)，更具体地，涉及一种布置在从半导体制造设备产生的废气可以通过其排出的排气线路上的用于控制废气的体积的气闸。

背景技术

通常，半导体制造设备可以使用多种反应气体来制造半导体装置。在完成半导体制造工艺之后，作为副产物的废气可以通过排气管道(exhaust duct)排出。然而，由于排气管道的结构构造，烟雾会从排气管道泄漏。

发明内容

一方面提供了一种用于半导体制造设备的排气线路的气闸，所述气闸可以能够通过与排气管道的简单组合来防止烟雾的泄漏。

根据一个或更多个示例实施例的一方面，可以提供一种用于半导体制造设备的排气线路的排气管道的气闸，所述气闸包括：气闸主体，被构造为在第一方向上插入排气管道中的固定孔中，气闸主体具有与固定孔的直径基本相同的直径；以及多个推扣，沿着气闸主体的外周表面设置在气闸主体的远端上并且在气闸主体的圆周周围彼此间隔开，所述多个推扣是弹性的并且能够沿着与第一方向垂直的第二方向相对于外周表面运动，其中，当所述多个推扣已经在第一方向上穿过固定孔时，所述多个推扣防止在与第一方向相反的方向上通过固定孔的返回移动。

根据一个或更多个示例实施例的另一方面，可以提供一种用于半导体制造设备的排气线路的排气管道的气闸，所述气闸包括：气闸主体，被构造为在第一方向上插入排气管道中的固定孔中，气闸主体具有与固定孔的直径基本相同的直径；多个推扣，沿着气闸主体的外周表面设置在气闸主体的远端上，所述多个推扣是弹性的并且能够沿着与第一方向垂直的第二方向相对于外周表面运动，并且当所述多个推扣已经在第一方向上穿过固定孔时，所述多个推扣防止在与第一方向相反的方向上通过固定孔的返回移动；引导环，位于气闸主体的外周表面上，引导环包括被构造为将所述多个推扣引导到固定孔中的引导槽；螺母，螺纹连接在气闸主体的外周表面的螺纹部分上，以朝向排气管道挤压引导环；以及垫圈，在引导环与螺母之间位于气闸主体的外周表面上，以防止流过排气管道的气体泄漏。

根据一个或更多个示例实施例的又一方面，可以提供一种用于半导体制造设备的排气管道的气闸，所述气闸包括：气闸主体，被构造为在第一方向上插入排气管道中的固定孔中，气闸主体具有与固定孔的直径基本相同的直径，并且包括多个推扣和螺纹部分，所述多个推扣位于气闸主体的远端上并沿着气闸主体的外表面的圆周布置；垫圈，与气闸主体同轴地布置在气闸主体的外表面周围，以在气闸主体处于插入状态时覆盖气闸主体与固定孔之间的缝；以及螺母，螺纹连接在气闸主体的螺纹部分上，以在气闸主体处于插入状态时将垫圈压靠在排气管道上，其中，在插入状态下，所述多个推扣已经在第一方向上穿过固定孔，并且所述多个推扣防止在与第一方向相反的方向上通过固定孔的返回移动。

附图说明

通过以下结合附图进行的详细描述，将更清楚地理解示例实施例，在附图中：

图1是示出根据示例实施例的用于半导体制造设备的排气线路的气闸的分解透视图；

图2是示出根据示例实施例的与排气管道组合的图1中的气闸的局部剖切透视图；

图3是示出根据示例实施例的与排气管道组合的图1中的气闸的外部结构的透视图；

图4是示出根据示例实施例的与排气管道组合的图1中的气闸的内部结构的透视图；

图5是示出根据示例实施例的与排气管道组合的图1中的气闸的剖视图；

图6是图5中的气闸的部分“A”的放大剖视图；

图7是示出根据示例实施例的用于半导体制造设备的排气线路的气闸的分解透视图；

图8是示出根据示例实施例的图7中的气闸的引导环的透视图；

图9是示出根据示例实施例的与排气管道组合的图7中的气闸的局部剖切透视图；

图10是示出根据示例实施例的与排气管道组合的图7中的气闸的剖视图；并且

图11是图10中的气闸的部分“B”的放大剖视图。

具体实施方式

被构造为控制废气的体积的气闸可以安装在排气管道上。然而，根据现有技术，可以通过焊接将气闸安装在排气管道上。在这种情况下，烟雾会由于焊接故障而在气闸与排气管道之间泄漏。此外，因为可以使用诸如螺栓、螺母等的固定构件将气闸与排气管道组合，所以可能需要多个组装工艺。

根据示例实施例，可以将气闸主体插入排气管道的固定孔中，使得弹性推扣可以通过恢复力由排气管道的后表面保持。此外，螺母可以与气闸主体螺纹连接，以使垫圈与排气管道的前表面紧密接触。因此，通过将气闸主体插入固定孔中并通过拧紧螺母，气闸可以容易地与排气管组合，并且可以防止废气的泄漏。

在下文中，将参照附图详细解释示例实施例。

图1是示出根据示例实施例的用于半导体制造设备的排气线路的气闸的分解透视图，图2是示出与排气管道组合的图1中的气闸的局部剖切透视图，图3是示出与排气管道组合的图1中的气闸的外部结构的透视图，图4是示出与排气管道组合的图1中的气闸的内部结构的透视图，图5是示出与排气管道组合的图1中的气闸的剖视图，并且图6是图5中的部分“A”的放大剖视图。

在使用半导体制造设备的工艺中可能产生的废气可以通过诸如排气管道D的排气线路从半导体制造设备排出。被构造为控制通过排气管道D的废气的体积的气闸可以连接到排气管道D。排气管道D可以包括固定孔H，气闸可以连接到固定孔H。在示例实施例中，排气管道D可以具有如图1中所示的四边形形状。然而，示例实施例不限于此，并且排气管道的形状不被具体限制。

参照图1至图6，各种示例实施例的气闸100可以包括气闸主体110、多个推扣150、垫圈120、螺母130和垫圈盖140。

气闸主体110可以在第一方向H1上插入排气管道D的固定孔H中。排气管道D可以具有朝向气闸主体110定向的前表面D1和与前表面D1相对的后表面D2。也就是说，第一方向H1可以是从排气管道D的前表面D1到后表面D2的方向。第二方向H2可以与第一方向H1基本上垂直。也就是说，第二方向H2可以是气闸主体110的半径方向。因此，气闸主体110也可以具有朝向固定孔H定向的后表面RS和与后表面相对的(即，远离固定孔H定向的)前表面FS。具体地，当气闸主体110放置在固定孔H中时，气闸主体110的后表面RS可以通过固定孔H从排气管道D的后表面D2相对于固定孔H突出。气闸主体110的前表面FS可以与气闸主体110的后表面RS相对。

在示例实施例中，气闸主体110可以具有圆柱形形状。然而，示例实施例不限于此，并且在其他示例实施例中，形状可以不同。在圆柱形形状的情况下，气闸主体110可以具有与固定孔H的直径基本相同的直径。如在本说明书中所使用的，术语“基本上(基本)”表示相同但允许例如制造公差等。气闸主体110可以包括诸如塑料(例如，PVC)的弹性材料。

推扣150可以被构造为将气闸主体110固定到排气管道D。推扣150可以在气闸主体110的外周周围彼此间隔开。例如，在一些示例实施例中，气闸主体110可以具有如图1中所示的在气闸主体110的外周周围以约90度分开的四个推扣150。然而，这仅是示例，并且在其他示例实施例中，推扣150的数量可以少于或多于四个。推扣150可以具有均匀的间隔，例如，推扣150可以以气闸主体110的中心为中心以均匀的间隙彼此间隔开。推扣150可以沿着第二方向H2相对于气闸主体110的外周表面弹性运动。具体地，推扣150可以沿着气闸主体110的半径方向从气闸主体110的外周表面径向突出。因此，当气闸主体110沿着第一方向H1通过排气管道D的前表面D1插入固定孔H中时，推扣150可以被固定孔H的内周表面挤压。相反，当气闸主体110的后表面RS已经穿过固定孔H时，推扣150可以通过恢复力恢复到初始形状。因此，推扣150可以由排气管道D的后表面保持在固定孔H周围。换言之，一旦气闸主体110的后表面RS已经充分穿过固定孔H以使推扣150恢复到初始形状，推扣150便可以防止气闸主体110在从排气管道D的后表面D2到前表面D1的方向上轻易移动。

在示例实施例中，每个推扣150可以包括扣主体152和扣154。扣主体152可以通过部分地切割气闸主体110而形成。也就是说，扣主体152可以是气闸主体110的一部分。

具体地，可以从气闸主体110的外周表面的后端形成两排切割槽156。切割槽156可以形成在气闸主体110的外周表面的沿着气闸主体110的轴向方向(即，沿着第一方向H1)插入固定孔H中的后部处。切割槽156的内端可以不彼此连接。因此，可以在切割槽156中的相邻的切割槽156之间形成扣主体152。因为切割槽156的内端可以不彼此连接，所以扣主体152可以连接到气闸主体110。如上所述，因为气闸主体110可以包括弹性材料，所以作为气闸主体110的一部分的扣主体152也可以包括弹性材料。也就是说，扣主体152可以具有弹性。

扣154可以形成在扣主体152的外周表面上。在一些示例实施例中，扣154可以与扣主体152一体地形成。可选地，在其他示例实施例中，扣154可以形成为单独的构件并且附着到扣主体152的外周表面。因为扣154可以形成在扣主体152的外周表面上，所以扣154可以在气闸主体110的半径方向上从扣主体152径向突出。具体地，扣154可以布置在扣主体152的朝向排气管道D定向的后表面处。也就是说，扣主体152可以通过可以沿着第一方向H1从气闸主体110的外周表面的后端形成的两个切割槽156形成，使得扣主体152也可以定位在气闸主体110的后表面处。换言之，扣主体152可以形成在气闸主体110的被构造为插入固定孔H中的远端中。

因此，当气闸主体110在第一方向H1上插入排气管道D的固定孔H中时，扣154可以穿过固定孔H。扣154随后可以由排气管道D的后表面D2保持(即，可以防止气闸主体110在从排气管道D的后表面D2到前表面D1的方向上轻易滑动)。如上所述，因为扣主体152可以沿着气闸主体110的半径方向径向地弹性运动，所以扣主体152上的扣154也可以沿着作为气闸主体110的半径方向的第二方向H2径向地弹性运动。因此，扣154可以被固定孔H的内表面沿着气闸主体110的半径方向朝向气闸主体110的中心径向挤压。扣154可以通过扣154的弹性运动而穿过固定孔H。当扣154已经穿过固定孔H使得扣154已经在第一方向H1上移动超过排气管道D的后表面D2时，固定孔H的内表面可以不再挤压扣154。因此，扣154可以通过扣主体152的弹性返回到扣154的初始位置。结果，扣154可以由排气管道D的后表面D2保持在固定孔H周围，从而不容易滑回到固定孔H之外。

为了使扣154容易地穿过固定孔H，扣154可以具有倾斜表面155(见例如图4至图5)。具体地，倾斜表面155可以具有沿着第一方向H1逐渐减小的直径。也就是说，倾斜表面155的朝向固定孔H定向的前部的直径可以小于倾斜表面155的远离固定孔H定向的后部的直径。因此，扣154可以由于倾斜表面155而容易地穿过固定孔H。在扣154在第一方向H1上完全穿过固定孔H之后，扣154可以由排气管道D的后表面D2保持，并且扣154可以在不向扣154施加外力的情况下不通过固定孔H返回。

垫圈120可以安装在气闸主体110的外周表面上。具体地，垫圈120可以定位为靠近扣154。因此，当气闸主体110插入排气管道D的固定孔H中时，垫圈120可以定位为与排气管道D的前表面D1相邻。结果，排气管道D可以定位在垫圈120与扣154之间。

垫圈120可以防止流过排气管道D的废气通过固定孔H与气闸主体110之间的缝泄漏。因此，垫圈120可以与排气管道D的前表面D1紧密接触。垫圈120可以具有环形形状，该环形形状具有比固定孔H的直径大的直径。

螺母130可以与气闸主体110的外周表面螺纹结合。通过将螺母130与气闸主体110的外周表面螺纹结合，可以将垫圈120挤压到排气管道D的前表面D1。换言之，螺母130可以螺纹连接到气闸主体110的外周表面上，以将垫圈120压靠在排气管道D的前表面D1上。也就是说，与气闸主体110的外周表面螺纹连接的螺母130的紧固力可以传递到垫圈120，使得垫圈120可以与排气管道D的前表面D1紧密接触并且压靠排气管道D的前表面D1，以防止气体通过固定孔H与气闸主体110之间的间隙泄漏。因此，气闸主体110可以包括螺母130可以与其螺纹结合的螺纹部分112。也就是说，螺母130可以螺纹连接到气闸主体110的螺纹部分112上。注意的是，在图中示意性地示出了螺纹部分112的位置和尺寸/数量，重点在于清楚地示出部件的相互作用。在示例实施例中，螺纹部分112设置在这样的位置且具有这样的尺寸/数量，该位置和尺寸/数量允许螺母130螺纹连接到螺纹部分112上以将垫圈120压靠在排气管道D的前表面D1上从而防止气体通过固定孔H与气闸主体110之间的间隙泄漏。

为了有效地将螺母130的紧固力传递到垫圈120，垫圈盖140可以置于螺母130与垫圈120之间。垫圈盖140可以用于将螺母130的紧固力传递到垫圈120。具体地，为了通过垫圈盖140更有效地将螺母130的紧固力传递到垫圈120，垫圈120可以具有倾斜的外周表面122(见例如图5)。因此，垫圈盖140也可以具有与垫圈120的倾斜的外周表面122对应的倾斜的内周表面142。也就是说，垫圈盖140的倾斜的内周表面142可以与垫圈120的倾斜的外周表面122紧密接触，以通过垫圈盖140将螺母130的紧固力有效地传递到垫圈120。

垫圈120和垫圈盖140中的倾斜的表面122和142的倾斜方向可以是用于沿着第一方向H1逐渐加宽垫圈120和垫圈盖140的直径的方向。因此，垫圈盖140可以包括插置在螺母130与垫圈120之间的部分P(见例如图6)。螺母130的紧固力可以通过垫圈盖140的倾斜的内周表面142传递到垫圈120的倾斜的外周表面122，并且通过垫圈盖140的插置在螺母130与垫圈120之间的部分P传递到垫圈120。

在下文中，可以详细说明用于将气闸与排气管道组合的操作。

可以将垫圈120和垫圈盖140安装在气闸主体110的外周表面上。可以将气闸主体110沿着第一方向H1插入排气管道D的固定孔H中。因为扣主体152可以弹性地连接到气闸主体110，所以当气闸主体110插入固定孔H中时，扣154可以被固定孔H的内表面向下挤压。由于扣154的倾斜表面155，扣154可以容易地穿过固定孔H。

在扣154已经穿过固定孔H之后，扣154可以由排气管道D的后表面D2保持，并且由排气管道D的后表面D2防止在相反的方向上滑动。具体地，扣154的后端可以与排气管道D的后表面D2紧密接触。因此，可以通过简单地将气闸主体110插入固定孔H中来使气闸主体110与排气管道D组合。

可以将螺母130与气闸主体110的螺纹部分112螺纹结合。螺母130的紧固力可以通过垫圈盖140的插置在螺母130与垫圈120之间的部分P传递到垫圈120。螺母130的紧固力也可以通过垫圈盖140的倾斜的内周表面142传递到垫圈120的倾斜的外周表面122。因此，垫圈120可以与排气管道D的前表面D1紧密接触和挤压。结果，包括烟雾的废气不会通过固定孔H与气闸主体110之间的间隙泄漏。

图7是示出根据示例实施例的用于半导体制造设备的排气线路的气闸的分解透视图，图8是示出图7中的气闸的引导环的透视图，图9是示出与排气管道组合的图7中的气闸的局部剖切透视图，图10是示出与排气管道组合的图7中的气闸的剖视图，并且图11是图10中的部分“B”的放大剖视图。

参照图7至图11，示例实施例的气闸200可以包括气闸主体210、多个推扣250、垫圈220、螺母230、引导环260和O形环270。

气闸主体210可以在第一方向H1上插入排气管道D的固定孔H中。排气管道D可以具有朝向气闸主体210定向的前表面D1和与前表面D1相对的后表面D2。第二方向H2可以与第一方向H1基本上垂直。也就是说，第二方向H2可以是气闸主体210的半径方向。因此，气闸主体210也可以具有朝向固定孔H定向的后表面RS和与后表面相对的前表面FS。具体地，当气闸主体210放置在固定孔H中时，气闸主体210的后表面RS可以通过固定孔H从排气管道D的后表面D2相对于固定孔H突出。气闸主体210的前表面FS可以与气闸主体210的后表面RS相对。

在示例实施例中，气闸主体210可以具有圆柱形形状。然而，示例实施例不限于此，并且在一些示例实施例中，形状可以不同。在圆柱形的情况下，气闸主体210可以具有与固定孔H的直径基本相同的直径。气闸主体210可以包括诸如塑料(例如，PVC)的弹性材料。

推扣250可以被构造为将气闸主体210固定到排气管道D。推扣250可以在气闸主体210的外周周围并排形成。换言之，在图7至图11的示例实施例中，如图7中所示，在相邻的推扣250之间可以不存在空间。推扣250可以均匀地设置在气闸主体210的外周周围。推扣250可以沿着第二方向H2相对于气闸主体210的外周表面弹性运动。具体地，推扣250可以沿着气闸主体210的半径方向从气闸主体210的外周表面径向突出。此外，推扣250可以具有朝向气闸主体210的径向中心逐渐向内弯曲的形状。也就是说，推扣250可以具有其中推扣250的直径随着距气闸主体210的后表面RS的距离减小而逐渐减小的锥形形状。因此，当气闸主体210沿着第一方向H1朝向排气管道D的前表面D1插入固定孔H中时，推扣250可以被固定孔H的内周表面挤压。相反，当气闸主体210的后表面RS已经穿过固定孔H时，推扣250可以通过恢复力恢复到初始形状。因此，推扣250可以由排气管道D的后表面D2保持在固定孔H周围。换言之，一旦气闸主体210的后表面RS已经充分穿过固定孔H以使推扣250恢复到初始形状，推扣250便可以防止气闸主体210在从排气管道D的后表面D2到前表面D1的方向上轻易移动。

在示例实施例中，每个推扣250可以包括扣主体252和扣254。扣主体252可以通过部分地切割气闸主体210而形成。也就是说，扣主体252可以是气闸主体210的一部分。

具体地，切割槽256可以从气闸主体210的外周表面的后端在围绕气闸主体210的圆周方向上按部分地形成。这些部分可以被稍后将更详细地描述的引导环260的连接件266分开。在一些示例实施例中，气闸主体210可以包括各自由连接件266分开的四个部分的切割槽256。然而，示例实施例不限于此，并且在一些实施例中，部分的数量可以多于或少于四个。切割槽256可以形成在气闸主体210的外周表面的沿着气闸主体210的轴向方向(即，沿着第一方向H1)插入固定孔H中的后部处。切割槽256的内端可以不彼此连接。因此，扣主体252可以形成在切割槽256中的相邻的切割槽256之间。因为切割槽256的内端可以不彼此连接，所以扣主体252可以连接到气闸主体210。如上所述，因为气闸主体210可以包括弹性材料，所以作为气闸主体210的一部分的扣主体252也可以包括弹性材料。也就是说，扣主体252可以具有弹性。

扣254可以形成在扣主体252的外周表面上。在一些实施例中，扣254可以与扣主体252一体地形成。可选地，在其他示例实施例中，扣254可以形成为单独的构件并且附着到扣主体252的外周表面。因为扣254可以形成在扣主体252的外周表面上，所以扣254可以在气闸主体210的半径方向上从扣主体252径向突出。具体地，扣254可以布置在扣主体252的朝向排气管道D定向的后表面处。也就是说，扣主体252可以通过可以沿着第一方向H1从气闸主体210的外周表面的后端形成的每两个相邻的切割槽256形成，使得扣主体252也可以定位在气闸主体210的后表面RS处。换言之，扣主体252可以形成在气闸主体210的被构造为插入固定孔H中的远端中。

因此，当气闸主体210在第一方向H1上插入排气管道D的固定孔H中时，扣254随后可以由排气管道D的后表面D2保持(即，可以防止气闸主体210在从排气管道D的后表面D2到前表面D1的方向上轻易滑动)。如上所述，因为扣主体252可以沿气闸主体210的半径方向径向弹性运动，所以扣主体252上的扣254也可以沿着作为气闸主体210的半径方向的第二方向H2径向弹性运动。因此，扣254可以被固定孔H的内表面沿着气闸主体210的半径方向朝向气闸主体210的中心径向挤压。扣254可以通过扣254的弹性运动而穿过固定孔H。当扣254已经穿过固定孔H使得扣254已经在第一方向H1上移动超过排气管道D的后表面D2时，固定孔H的内表面可以不再挤压扣254。因此，扣254可以通过扣主体252的弹性返回到初始位置。结果，扣254可以由排气管道D的后表面保持在固定孔H周围，从而不容易滑回到固定孔H之外。

为了使扣254容易地穿过固定孔H，扣254可以具有倾斜表面255。具体地，倾斜表面255可以具有沿着第一方向H1逐渐减小的直径。也就是说，倾斜表面255的朝向固定孔H定向的前部的直径可以小于倾斜表面255的远离固定孔H定向的后部的直径。因此，扣254可以由于倾斜表面255而容易地穿过固定孔H。在扣254在第一方向H1上完全穿过固定孔H之后，扣254可以由排气管道D的后表面D2保持，并且扣254可以在不向扣254施加外力的情况下不通过固定孔H返回。

垫圈220可以安装在气闸主体210的外周表面上。垫圈220可以防止流过排气管道D的废气通过固定孔H与气闸主体210之间的缝泄漏。垫圈220可以具有环形形状，该环形形状具有比固定孔H的直径大的直径。

螺母230可以与气闸主体210的外周表面螺纹结合。因此，气闸主体210可以包括螺母230可以与其螺纹连接的螺纹部分212。螺母230可以具有与垫圈220的内径基本相同的内径。相反，螺母230可以具有比垫圈220的外径大的外径。

引导环260可以安装在气闸主体210的外周表面上。引导环260可以定位在螺母230与排气管道D之间。因此，垫圈220可以定位在螺母230与引导环260之间。引导环260可以包括被构造为与排气管道D的前表面D1紧密接触的后表面。

O形环270可以置于引导环260与排气管道D之间，以进一步防止气体泄漏。

引导环260可以具有分别与螺母230的内径和外径基本相同的内径和外径。也就是说，引导环260的外径可以大于垫圈220的外径。

引导环260可以包括被构造为接收垫圈220的一部分的接收槽(receivinggroove，或称为容纳槽)269。接收槽269可以沿着引导环260的圆周方向形成在引导环260的前表面处。接收槽269中的垫圈220的外周表面可以与接收槽269的内表面紧密接触。

引导环260的前表面可以与螺母230紧密接触。也就是说，引导环260的前表面和接收槽269中的垫圈220的前表面可以与螺母230的后表面紧密接触。因此，螺母230的紧固力可以直接传递到引导环260。此外，螺母230的紧固力可以通过垫圈220传递到引导环260，使得垫圈220被压靠在引导环260上。

引导环260可以包括引导主体262、轮圈(rim，或称为轮缘)264和多个连接件266(见例如图8)。引导主体262可以具有环形形状。引导主体262可以具有分别与螺母230的内径和外径基本相同的内径和外径。接收槽269可以沿着引导环260的圆周方向与引导主体262的前表面相邻地形成在引导主体262的内周表面上(见例如图7)。

轮圈264可以布置在引导主体262中。因此，轮圈264可以具有小于引导主体262的内径的直径。

连接件266可以将轮圈264和引导主体262连接。具体地，连接件266可以从引导主体262的内周表面朝向引导主体262的中心延伸到轮圈264。因此，用于允许推扣250穿过的引导槽268可以形成在引导主体262与轮圈264之间。

当扣254穿过引导槽268时，扣主体252可以定位在引导主体262与轮圈264之间。如上所述，因为推扣250具有锥形形状，并且因此气闸主体210具有朝向排气管道D逐渐减小的直径，所以已经穿过引导槽268的每个推扣250的扣主体252可以恢复到初始形状。也就是说，扣主体252可以朝向引导主体262的半径方向打开。因此，扣254可以由排气管道D的后表面D2保持。

根据各种示例实施例，当气闸主体插入排气管道的固定孔中并且气闸主体的后表面穿过固定孔时，弹性的推扣可以通过推扣的恢复力由排气管道的后表面保持。此外，螺母可以与气闸主体螺纹结合，以使垫圈与排气管道的前表面紧密接触并按压垫圈。因此，可以通过将气闸主体插入固定孔中并通过拧紧螺母来使气闸与排气管道容易地组合，以防止废气的泄漏。

前述内容是示例实施例的说明，而不将被解释为示例实施例的限制。尽管已经描述了几个示例实施例，但是本领域技术人员将容易理解的是，在实质上不脱离本发明的新颖教导和优点的情况下，在示例实施例中可以进行许多修改。因此，所有这些修改旨在包括在根据权利要求中限定的本发明的范围内。在权利要求中，装置加功能的条款，在使用这些条款的程度上，旨在覆盖在执行所述功能时这里描述的结构，并且不仅覆盖结构等同物，而且覆盖等同结构。因此，将理解的是，前述内容是各种示例实施例的说明，并且不将被解释为限于所公开的具体示例实施例，并且对所公开的示例实施例的修改以及其他示例实施例旨在包括在所附权利要求的范围内。

Claims (20)

1.一种用于半导体制造设备的排气线路的气闸，所述气闸包括：

气闸主体，被构造为在第一方向上插入排气线路的排气管道中的固定孔中，气闸主体具有与固定孔的直径基本相同的直径；以及

多个推扣，沿着气闸主体的外周表面设置在气闸主体的远端上并且在气闸主体的圆周周围彼此间隔开，所述多个推扣是弹性的并且能够沿着与第一方向垂直的第二方向相对于外周表面运动，

其中，当所述多个推扣已经在第一方向上穿过固定孔时，所述多个推扣防止在与第一方向相反的方向上通过固定孔的返回移动。

2.根据权利要求1所述的气闸，其中，气闸主体包括弹性材料，

其中，当气闸主体的远端插入固定孔中时，所述多个推扣朝向气闸主体的内部偏转以允许气闸主体的远端穿过固定孔，并且当所述多个推扣已经穿过固定孔时，所述多个推扣弹性地返回到初始位置以防止通过固定孔的返回移动，并且

其中，所述多个推扣中的每个包括：

扣主体，通过远离气闸主体的外周表面的远端延伸的两个相邻的切割槽形成；以及

扣，形成在扣主体的外周表面上，扣防止在与第一方向相反的方向上通过固定孔的返回移动。

3.根据权利要求2所述的气闸，其中，扣具有沿着第一方向的倾斜表面。

4.根据权利要求1所述的气闸，所述气闸还包括垫圈，垫圈位于气闸主体的外周表面上以防止流过排气管道的气体泄漏。

5.根据权利要求4所述的气闸，所述气闸还包括螺母，螺母位于气闸主体的外周表面上以将垫圈压靠在排气管道上。

6.根据权利要求5所述的气闸，其中，气闸主体包括形成在气闸主体的外周表面上的螺纹部分，并且螺母螺纹连接到螺纹部分上。

7.根据权利要求5所述的气闸，所述气闸还包括垫圈盖，垫圈盖布置在垫圈与螺母之间以将螺母的紧固力传递到垫圈。

8.一种用于半导体制造设备的排气线路的气闸，所述气闸包括：

气闸主体，被构造为在第一方向上插入排气线路的排气管道中的固定孔中，气闸主体具有与固定孔的直径基本相同的直径；

多个推扣，沿着气闸主体的外周表面设置在气闸主体的远端上，所述多个推扣是弹性的并且能够沿着与第一方向垂直的第二方向相对于外周表面运动，并且当所述多个推扣已经在第一方向上穿过固定孔时，所述多个推扣防止在与第一方向相反的方向上通过固定孔的返回移动；

引导环，位于气闸主体的外周表面上，引导环包括被构造为将所述多个推扣引导到固定孔中的引导槽；

螺母，螺纹连接在气闸主体的外周表面的螺纹部分上，以朝向排气管道挤压引导环；以及

垫圈，在引导环与螺母之间位于气闸主体的外周表面上，以防止流过排气管道的气体泄漏。

9.根据权利要求8所述的气闸，其中，所述多个推扣具有锥形形状，所述锥形形状具有随着距气闸主体的远端的距离减小而逐渐减小的直径。

10.根据权利要求8所述的气闸，其中，引导环包括：

引导主体，位于气闸主体的外周表面上；

轮圈，布置在引导主体中，以在引导主体与轮圈之间形成引导槽；以及

至少一个连接件，将轮圈和引导主体连接。

11.根据权利要求10所述的气闸，其中，引导主体包括在引导主体的近端上的被构造为接收垫圈的接收槽。

12.根据权利要求8所述的气闸，所述气闸还包括置于引导环与排气管道之间的O形环。

13.一种用于半导体制造设备的排气线路的气闸，所述气闸包括：

气闸主体，被构造为在第一方向上插入排气线路的排气管道中的固定孔中，气闸主体具有与固定孔的直径基本相同的直径，并且包括多个推扣和螺纹部分，所述多个推扣位于气闸主体的远端上并沿着气闸主体的外表面的圆周布置；

垫圈，与气闸主体同轴地布置在气闸主体的外表面周围，以在气闸主体处于插入状态时覆盖气闸主体与固定孔之间的缝；以及

螺母，螺纹连接在气闸主体的螺纹部分上，以在气闸主体处于插入状态时将垫圈压靠在排气管道上，

其中，在插入状态下，所述多个推扣已经在第一方向上穿过固定孔，并且所述多个推扣防止在与第一方向相反的方向上通过固定孔的返回移动。

14.根据权利要求13所述的气闸，其中，所述多个推扣在气闸主体的圆周周围彼此间隔开。

15.根据权利要求14所述的气闸，其中，所述多个推扣中的每个包括：

扣主体，通过从气闸主体的远端朝向气闸主体的近端延伸的相邻的切割槽形成；以及

扣，设置在扣主体的远端处并且从扣主体的外表面径向突出。

16.根据权利要求13所述的气闸，所述气闸还包括垫圈盖，垫圈盖与气闸主体同轴地布置在气闸主体的外表面周围，以在气闸主体处于插入状态时覆盖垫圈，

其中，垫圈盖的位于螺母与垫圈之间的部分在螺母与垫圈之间接触气闸主体。

17.根据权利要求13所述的气闸，其中，所述多个推扣在气闸主体的圆周周围彼此相邻，且所述多个推扣之间没有空间。

18.根据权利要求17所述的气闸，其中，所述多个推扣中的每个包括：

扣主体，通过从气闸主体的远端朝向气闸主体的近端延伸的相邻的切割槽形成；以及

扣，设置在扣主体的远端处并且从扣主体的外表面径向突出，

其中，所述多个推扣中的相邻推扣共享所述相邻推扣之间的切割槽。

19.根据权利要求17所述的气闸，其中，所述多个推扣具有锥形形状，所述锥形形状具有随着距气闸主体的远端的距离减小而逐渐减小的直径。

20.根据权利要求17所述的气闸，所述气闸还包括：

引导环，与垫圈同轴地布置在垫圈的远端，以将所述多个推扣引导到固定孔中，

其中，引导环包括：

引导主体，包括位于引导主体的近端上的接收槽，接收槽被构造为接收垫圈；

轮圈，在引导主体的远端上布置在引导主体中，以在引导主体与轮圈之间形成引导槽，从而将所述多个推扣引导到固定孔中；以及

至少一个连接件，将轮圈和引导主体连接。

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