KR102584354B1 - 반도체 제조 장치의 배기 라인용 댐퍼 - Google Patents

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Abstract

반도체 제조 장치의 배기 라인용 댐퍼는 댐퍼 몸체 및 복수개의 푸시 버클들을 포함할 수 있다. 상기 댐퍼 몸체는 반도체 제조 장치의 배기 덕트에 형성된 체결공에 상기 배기 덕트의 전면으로부터 후면을 향하는 제 1 방향을 따라 삽입될 수 있다. 상기 댐퍼 몸체는 상기 체결공의 직경과 동일한 직경을 가질 수 있다. 상기 푸시 버클들은 상기 댐퍼 몸체의 외주면에 상기 제 1 방향과 직교하는 상기 댐퍼 몸체의 반지름 방향인 제 2 방향을 따라 탄성적으로 이동되도록 연결되어 상기 체결공을 통과해서 상기 배기 덕트의 후면에 걸려 지지될 수 있다. 상기 푸시 버클들은 상기 댐퍼 몸체의 중심을 기준으로 동일한 간격을 두고 배열될 수 있다. 따라서, 댐퍼 몸체를 체결공에 삽입한 후 너트를 조이는 간단한 동작만으로, 배기 가스의 누설을 방지하면서 댐퍼를 배기 덕트에 조립할 수가 있게 된다.

Description

반도체 제조 장치의 배기 라인용 댐퍼{DAMPER FOR AN EXHAUST LINE OF A SEMICONDUCTOR FABRICATION APPARATUS}
본 발명은 반도체 제조 장치의 배기 라인용 댐퍼에 관한 것이다. 보다 구체적으로, 본 발명은 반도체 제조 장치에서 발생된 배기 가스가 배출되는 배기 라인에 설치되어 풍량을 조절하는 댐퍼에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 제조 장치는 복수개의 반응 가스들을 이용해서 반도체 장치를 제조할 수 있다. 반도체 공정이 완료되면, 반응 부산물인 배기 가스는 배기 덕트를 통해 배출될 수 있다. 배기 가스의 풍량을 조절하기 위한 덕트가 배기 덕트에 설치될 수 있다.
관련 기술들에 따르면, 댐퍼는 용접에 의해서 배기 덕트에 설치될 수 있다. 그러나, 용접 불량으로 인해서 댐퍼와 배기 덕트 사이를 통해서 퓸(fume)이 누설될 수 있다. 또한, 볼트와 너트 등과 같은 체결 부재를 이용한 방식은 많은 조립 공수가 요구될 수 있다.
본 발명은 간단한 방식으로 조립이 가능하면서 퓸의 누설도 방지할 수 있는 반도체 제조 장치의 배기 라인용 댐퍼를 제공한다.
본 발명의 일 견지에 따른 반도체 제조 장치의 배기 라인용 댐퍼는 댐퍼 몸체 및 복수개의 푸시 버클들을 포함할 수 있다. 상기 댐퍼 몸체는 반도체 제조 장치의 배기 덕트에 형성된 체결공에 상기 배기 덕트의 전면으로부터 후면을 향하는 제 1 방향을 따라 삽입될 수 있다. 상기 댐퍼 몸체는 상기 체결공의 직경과 동일한 직경을 가질 수 있다. 상기 푸시 버클들은 상기 댐퍼 몸체의 외주면에 상기 제 1 방향과 직교하는 상기 댐퍼 몸체의 반지름 방향인 제 2 방향을 따라 탄성적으로 이동되도록 연결되어 상기 체결공을 통과해서 상기 배기 덕트의 후면에 걸려 지지될 수 있다. 상기 푸시 버클들은 상기 댐퍼 몸체의 중심을 기준으로 동일한 간격을 두고 배열될 수 있다.
본 발명의 또 다른 견지에 따른 반도체 제조 장치의 배기 라인용 댐퍼는 댐퍼 몸체, 복수개의 푸시 버클들, 가이드 링, 너트 및 개스킷을 포함할 수 있다. 상기 댐퍼 몸체는 반도체 제조 장치의 배기 덕트에 형성된 체결공에 상기 배기 덕트의 전면으로부터 후면을 향하는 제 1 방향을 따라 삽입될 수 있다. 상기 댐퍼 몸체는 상기 체결공의 직경과 동일한 직경을 가질 수 있다. 상기 푸시 버클들은 상기 댐퍼 몸체의 외주면에 상기 제 1 방향과 직교하는 상기 댐퍼 몸체의 반지름 방향인 제 2 방향을 따라 탄성적으로 이동되도록 연결되어 상기 체결공을 통과해서 상기 배기 덕트의 후면에 걸려 지지될 수 있다. 상기 푸시 버클들은 상기 댐퍼 몸체의 중심을 기준으로 동일한 간격을 두고 배열될 수 있다. 상기 가이드 링은 상기 댐퍼 몸체의 외주면에 결합되어 상기 배기 덕트의 전면에 밀착될 수 있다. 상기 가이드 링은 상기 푸시 버클들을 상기 체결공으로 안내하는 가이드 홈을 가질 수 있다. 상기 너트는 상기 댐퍼 몸체의 외주면에 결합되어 상기 가이드 링을 상기 배기 덕트의 전면을 향해 압착할 수 있다. 상기 개스킷은 상기 가이드 링과 상기 너트 사이의 상기 댐퍼 몸체의 외주면에 설치되어 상기 배기 덕트를 통해 흐르는 가스의 누설을 방지할 수 있다.
상기된 본 발명에 따르면, 댐퍼 몸체를 배기 덕트의 체결공에 삽입하면, 탄성 재질의 푸시 버클이 복원력에 의해 배기 덕트의 후면에 걸려 지지될 수 있다. 또한, 너트를 댐퍼 몸체에 나사 결합시키는 것에 의해서 개스킷이 체결공의 외주면에 압착될 수 있다. 따라서, 댐퍼 몸체를 체결공에 삽입한 후 너트를 조이는 간단한 동작만으로, 배기 가스의 누설을 방지하면서 댐퍼를 배기 덕트에 조립할 수가 있게 된다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 제조 장치의 배기 라인용 댐퍼를 나타낸 분해 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 댐퍼가 배기 덕트에 설치된 상태를 나타낸 부분 절개 사시도이다.
도 3은 배기 덕트에 설치된 도 1의 댐퍼의 외측 부위를 나타낸 사시도이다.
도 4는 배기 덕트에 설치된 도 1의 댐퍼의 내측 부위를 나타낸 사시도이다.
도 5는 도 1에 도시된 댐퍼가 배기 덕트에 설치된 상태를 나타낸 단면도이다.
도 6은 도 5의 A 부위를 확대해서 나타낸 단면도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 제조 장치의 배기 라인용 댐퍼를 나타낸 분해 사시도이다.
도 8은 도 7에 도시된 댐퍼의 가이드 링을 나타낸 사시도이다.
도 9는 도 7에 도시된 댐퍼가 배기 덕트에 설치된 상태를 나타낸 부분 절개 사시도이다.
도 10은 도 7에 도시된 댐퍼가 배기 덕트에 설치된 상태를 나타낸 단면도이다.
도 11은 도 10의 B 부위를 확대해서 나타낸 단면도이다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 제조 장치의 배기 라인용 댐퍼를 나타낸 분해 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 댐퍼가 배기 덕트에 설치된 상태를 나타낸 부분 절개 사시도이며, 도 3은 배기 덕트에 설치된 도 1의 댐퍼의 외측 부위를 나타낸 사시도이고, 도 4는 배기 덕트에 설치된 도 1의 댐퍼의 내측 부위를 나타낸 사시도이며, 도 5는 도 1에 도시된 댐퍼가 배기 덕트에 설치된 상태를 나타낸 단면도이고, 도 6은 도 5의 A 부위를 확대해서 나타낸 단면도이다.
반도체 제조 장치를 이용한 공정 중에 발생되는 배기 가스는 배기 덕트(exhaust duct)(D)와 같은 배기 라인을 통해서 반도체 제조 장치로부터 배출될 수 있다. 배기 덕트(D)를 통한 배기 가스의 풍량을 조절하기 위한 댐퍼(damper)가 배기 덕트(D)에 연결될 수 있다. 배기 덕트(D)는 댐퍼가 연결되는 체결공(H)을 가질 수 있다. 본 실시예에서, 배기 덕트(D)는 대략 사각 형상을 가질 수 있으나, 특정 형상으로 국한되지 않을 수 있다.
도 1 내지 도 6을 참조하면, 본 실시예의 댐퍼(100)는 댐퍼 몸체(110), 복수개의 푸시 버클(push buckle)(150)들, 개스킷(gasket)(120), 너트(nut)(130) 및 개스킷 커버(gasket cover)(140)를 포함할 수 있다.
댐퍼 몸체(110)는 배기 덕트(D)의 체결공(H)에 제 1 방향을 따라 삽입될 수 있다. 이에 따라, 배기 덕트(D)는 댐퍼 몸체(110)를 향하는 전면(D1), 및 전면(D1)의 반대측인 후면(D2)을 가질 수 있다. 즉, 제 1 방향은 배기 덕트(D)의 전면(D1)으로부터 후면(D2)을 향하는 방향일 수 있다. 제 2 방향은 제 1 방향과 실질적으로 직교하는 방향일 수 있다. 즉, 제 2 방향은 댐퍼 몸체(110)의 반경 방향일 수 있다. 따라서, 댐퍼 몸체(110)는 체결공(H)을 향하는 후면, 및 체결공(H)의 반대측인 전면을 가질 수 있다. 구체적으로, 댐퍼 몸체(110)는 제 2 방향을 기준으로 체결공(H)을 통해서 배기 덕트(D)의 후면으로 돌출된 면인 후면, 및 이 후면의 반대면인 전면을 가질 수 있다.
본 실시예에서, 댐퍼 몸체(110)는 대략 실린더(cylinder) 형상을 가질 수 있다. 실린더 형상의 댐퍼 몸체(110)는 배기 덕트(D)의 체결공(H)의 직경과 실질적으로 동일한 직경을 가질 수 있다. 댐퍼 몸체(110)는 탄성을 갖는 물질, 예를 들면 PVC와 같은 플라스틱(plastic)을 포함할 수 있다.
푸시 버클(150)들은 댐퍼 몸체(110)를 배기 덕트(D)에 고정시킬 수 있다. 푸시 버클(150)들은 댐퍼 몸체(110)의 중심을 기준으로 동일한 간격을 두고 배치될 수 있다. 푸시 버클(150)들은 댐퍼 몸체(110)의 외주면에서 제 2 방향을 따라 탄성적으로 이동될 수 있다. 특히, 푸시 버클(150)들은 댐퍼 몸체(110)의 외주면을 따라 반경 방향으로 돌출되어 있을 수 있다. 따라서, 댐퍼 몸체(110)를 배기 덕트(D)의 전면을 향해 제 1 방향을 따라 체결공(H)에 삽입하면, 푸시 버클(150)들은 체결공(H)의 내주면에 의해 압축될 수 있다. 댐퍼 몸체(110)의 후면이 체결공(H)을 빠져 나오면, 푸시 버클(150)들이 탄성력에 의해 원래의 형상으로 복원될 수 있다. 그러므로, 푸시 버클(150)들이 체결공(H)의 주위에 있는 배기 덕트(D)의 후면(D2)에 걸려 지지될 수 있다.
본 실시예에서, 푸시 버클(150)들 각각은 버클 몸체(152) 및 버클(154)을 포함할 수 있다. 버클 몸체(152)는 댐퍼 몸체(110)를 부분적으로 절단하는 것에 의해 형성될 수 있다. 즉, 버클 몸체(152)는 댐퍼 몸체(110)의 일부분일 수 있다.
구체적으로, 댐퍼 몸체(110)의 외주면 후면으로부터 2줄의 절단홈(156)들이 형성될 수 있다. 절단홈(156)들은 댐퍼 몸체(110)의 축 방향, 즉 제 1 방향을 따라 체결공(H)에 삽입되는 댐퍼 몸체(110) 후면의 외주면에 형성될 수 있다. 반면에, 절단홈(156)들의 내측 단부들은 서로 연결되지 않을 수 있다. 이에 따라, 2줄의 절단홈(156)들 사이에 버클 몸체(152)가 형성될 수 있다. 절단홈(156)들의 내측 단부들은 서로 연결되어 있지 않으므로, 버클 몸체(152)는 댐퍼 몸체(110)에 연결될 수 있다. 전술한 바와 같이, 댐퍼 몸체(110)는 탄성 물질을 포함하고 있으므로, 댐퍼 몸체(110)의 일부분인 버클 몸체(152)도 탄성 물질을 포함할 수 있다. 즉, 버클 몸체(152)는 탄성을 가질 수 있다.
버클(154)은 버클 몸체(152)의 외주면에 형성될 수 있다. 버클(154)은 버클 몸체(152)와 일체로 되어 있거나 또는 버클 몸체(152)의 외주면에 별도로 부착된 부재일 수도 있다. 버클(154)은 버클 몸체(152)의 외주면에 형성되어 있으므로, 버클(154)은 버클 몸체(152)로부터 반경 방향을 따라 돌출되어 있을 수 있다. 특히, 버클(154)은 배기 덕트(D)를 향하는 버클 몸체(152)의 후면에 배치될 수 있다. 즉, 버클 몸체(152)는 댐퍼 몸체(110)의 외주면 후면으로부터 제 1 방향을 따라 형성된 2줄의 절단홈(156)들에 의해 형성되므로, 버클 몸체(152)도 댐퍼 몸체(110)의 후면에 배치될 수 있다.
따라서, 댐퍼 몸체(110)를 배기 덕트(D)의 체결공(H)에 제 1 방향을 따라 삽입하면, 버클(154)은 체결공(H)을 통과해서 배기 덕트(D)의 후면(D2)에 걸릴 수 있다. 전술한 바와 같이, 버클 몸체(152)는 댐퍼 몸체(110)의 반경 방향을 따라 탄성적으로 이동될 수 있으므로, 버클 몸체(152) 상에 배치된 버클(154)도 댐퍼 몸체(110)의 반경 방향인 제 2 방향을 따라 탄성적으로 이동될 수 있다. 따라서, 버클(154)은 체결공(H)의 내측면에 의해 댐퍼 몸체(110)의 중심을 향해서 반경 방향을 따라 눌려질 수 있다. 이러한 버클(154)의 탄성 동작에 의해서 버클(154)은 체결공(H)을 통과할 수가 있을 수 있다. 버클(154)이 체결공(H)을 통과하면, 체결공(H)의 내측면이 버클(154)을 더 이상 누르지 않게 되므로, 버클(154)은 탄성력에 의해서 원래의 위치로 복귀될 수 있다. 이에 따라, 버클(154)은 체결공(H)의 주위에 있는 배기 덕트(D)의 후면(D2)에 걸릴 수 있다.
버클(154)이 체결공(H)을 용이하게 통과될 수 있도록 하기 위해서, 버클(154)은 경사진 면(155)을 가질 수 있다. 구체적으로, 경사면(155)은 제 1 방향을 따라 점진적으로 좁아지는 직경을 가질 수 있다. 즉, 체결공(H)을 향하는 경사면(155) 앞부분의 직경은 경사면(155) 뒤부분의 직경보다 짧을 수 있다. 이러한 경사면(155)에 의해서 버클(154)은 체결공(H)을 쉽게 통과할 수가 있게 된다. 버클(154)이 배기 덕트(D)의 후면(D2) 부위에 걸려 지지된 이후, 버클(154)에 인위적인 외력을 인가하지 않는 이상, 버클(154)이 체결공(H)을 통해서 이탈되지 않을 수 있다.
개스킷(120)은 댐퍼 몸체(110)의 외주면에 설치될 수 있다. 특히, 개스킷(120)은 버클(154)보다 안쪽에 배치될 수 있다. 즉, 댐퍼 몸체(110)를 배기 덕트(D)의 체결공(H)에 삽입시키면, 개스킷(120)은 배기 덕트(D)의 전면(D1)에 근접하게 배치될 수 있다. 즉, 개스킷(120)과 버클(154) 사이에 배기 덕트(D)가 배치될 수 있다.
개스킷(120)은 배기 덕트(D)를 통해 흐르는 배기 가스가 체결공(H)을 통해 누설되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 개스킷(120)은 배기 덕트(D)의 전면(D1)에 밀착될 수 있다. 즉, 개스킷(120)은 체결공(H)의 직경보다 긴 직경을 갖는 링 형상을 가질 수 있다.
너트(130)는 댐퍼 몸체(110)의 외주면에 나사 결합될 수 있다. 너트(130)가 댐퍼 몸체(110)의 외주면에 나사 결합하는 것에 의해서, 개스킷(120)이 배기 덕트(D)의 전면(D1)에 압착될 수 있다. 즉, 너트(130)가 댐퍼 몸체(110)의 외주면에 나사 결합되는 조임력이 개스킷(120)으로 전달되어, 개스킷(120)이 배기 덕트(D)의 전면(D1)에 밀착됨으로써, 배기 가스가 체결공(H)과 댐퍼 몸체(110) 사이를 통해서 누설되는 것이 방지될 수 있다. 따라서, 댐퍼 몸체(110)는 너트(130)가 나사 결합되는 나사부(112)를 가질 수 있다.
너트(130)의 조임력이 개스킷(120)으로 효과적으로 전달되도록 하기 위해서, 개스킷 커버(140)가 너트(130)와 개스킷(120) 사이에 개재될 수 있다. 개스킷 커버(140)는 너트(130)의 조임력을 개스킷(120)으로 전달할 수 있다. 특히, 개스킷 커버(140)가 너트(130)의 조임력을 개스킷(120)으로 보다 효과적으로 전달하기 위해서, 개스킷(120)은 경사진 외주면(122)을 가질 수 있다. 이에 따라, 개스킷 커버(140)도 개스킷(120)의 경사진 외주면(122)과 대응하는 경사진 내주면(142)을 가질 수 있다. 즉, 개스킷 커버(140)의 경사진 내주면(142)이 개스킷(120)의 경사진 외주면(122)에 밀착되어, 너트(130)의 조임력은 개스킷 커버(140)를 통해서 개스킷(120)으로 효과적으로 전달될 수 있다.
개스킷(120)과 개스킷 커버(140)의 경사진 면(122, 142)들의 경사 방향은 제 1 방향을 따라 점진적으로 넓어지는 직경을 갖도록 하는 방향일 수 있다. 이에 따라, 개스킷 커버(140)는 너트(130)와 개스킷(120) 사이로 삽입된 부분을 포함할 수가 있게 된다. 즉, 너트(130)의 조임력은 너트(130)와 개스킷(120) 사이로 삽입된 개스킷 커버(140) 부분을 통해서 개스킷(120)으로 전달됨과 아울러 개스킷 커버(140)의 경사진 내주면(142)을 통해서 개스킷(120)의 경사진 외주면(122)을 전달될 수 있다.
이하, 본 실시예에 따른 댐퍼를 배기 덕트에 조립하는 동작을 상세히 설명한다.
개스킷(120)과 개스킷 커버(140)는 댐퍼 몸체(110)의 외주면에 미리 설치될 수 있다. 댐퍼 몸체(110)를 배기 덕트(D)의 체결공(H)에 제 1 방향을 따라 진입시킬 수 있다. 버클 몸체(152)가 댐퍼 몸체(110)에 탄성적으로 연결되어 있으므로, 버클(154)이 체결공(H)의 외주면에 의해 아래로 눌러질 수 있다. 이때, 버클(154)의 경사면(155)에 의해서 버클(154)은 체결공(H)을 용이하게 통과할 수가 있다.
체결공(H)을 통과한 버클(154)은 배기 덕트(D)의 후면(D2)에 걸려 지지될 수 있다. 구체적으로, 버클(154)의 경사면(155) 후단이 배기 덕트(D)의 후면(D2)에 밀착될 수 있다. 이에 따라, 댐퍼 몸체(110)를 체결공(H)에 삽입시키는 간단한 동작만으로 댐퍼 몸체(110)를 배기 덕트(D)에 조립시킬 수가 있다.
너트(130)를 댐퍼 몸체(110)의 나사부(112)에 체결하면, 너트(130)의 조임력은 개스킷 커버(140)를 통해서 개스킷(120)으로 전달될 수 있다. 특히, 너트(130)의 조임력은 개스킷 커버(140)의 내주면에 형성된 경사면(142)을 통해서 개스킷(120)의 외주면에 형성된 경사면(122)으로 전달될 수 있다. 이에 따라, 개스킷(120)은 배기 덕트(D)의 전면(D1)에 압착될 수 있게 되어, 퓸과 같은 배기 가스가 체결공(H)과 댐퍼 몸체(110) 사이를 통해서 누설되는 것이 방지될 수 있다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 제조 장치의 배기 라인용 댐퍼를 나타낸 분해 사시도이고, 도 8은 도 7에 도시된 댐퍼의 가이드 링을 나타낸 사시도이며, 도 9는 도 7에 도시된 댐퍼가 배기 덕트에 설치된 상태를 나타낸 부분 절개 사시도이고, 도 10은 도 7에 도시된 댐퍼가 배기 덕트에 설치된 상태를 나타낸 단면도이며, 도 11은 도 10의 B 부위를 확대해서 나타낸 단면도이다.
도 7 내지 도 11을 참조하면, 본 실시예의 댐퍼(200)는 댐퍼 몸체(210), 복수개의 푸시 버클(250)들, 개스킷(220), 너트(230) 및 가이드 링(guide ring)(260)을 포함할 수 있다.
댐퍼 몸체(210)는 배기 덕트(D)의 체결공(H)에 제 1 방향을 따라 삽입될 수 있다. 이에 따라, 배기 덕트(D)는 댐퍼 몸체(210)를 향하는 전면(D1), 및 전면(D1)의 반대측인 후면(D2)을 가질 수 있다. 제 2 방향은 제 1 방향과 실질적으로 직교하는 방향일 수 있다. 즉, 제 2 방향은 댐퍼 몸체(210)의 반경 방향일 수 있다. 따라서, 댐퍼 몸체(210)는 체결공(H)을 향하는 후면, 및 체결공(H)의 반대측인 전면을 가질 수 있다. 구체적으로, 댐퍼 몸체(210)는 제 2 방향을 기준으로 체결공(H)을 통해서 배기 덕트(D)의 후면으로 돌출된 면인 후면, 및 이 후면의 반대면인 전면을 가질 수 있다.
본 실시예에서, 댐퍼 몸체(210)는 대략 실린더(cylinder) 형상을 가질 수 있다. 실린더 형상의 댐퍼 몸체(210)는 배기 덕트(D)의 체결공(H)의 직경과 실질적으로 동일한 직경을 가질 수 있다. 댐퍼 몸체(210)는 탄성을 갖는 물질, 예를 들면 PVC와 같은 플라스틱(plastic)을 포함할 수 있다.
푸시 버클(250)들은 댐퍼 몸체(210)를 배기 덕트(D)에 고정시킬 수 있다. 푸시 버클(250)들은 댐퍼 몸체(210)의 중심을 기준으로 동일한 간격을 두고 배치될 수 있다. 푸시 버클(250)들은 댐퍼 몸체(210)의 외주면에 댐퍼 몸체(210)의 반경 방향인 제 2 방향을 따라 탄성적으로 이동될 수 있다. 특히, 푸시 버클(250)들은 댐퍼 몸체(210)의 외주면으로부터 반경 방향을 따라 돌출되어 있을 수 있다. 또한, 푸시 버클(250)들은 댐퍼 몸체(210)의 중심을 향해서 점진적으로 수렴되는 형상을 가질 수 있다. 즉, 푸시 버클(250)들은 배기 덕트(D)를 향할수록 점진적으로 줄어드는 직경을 갖는 구배진 형상을 가질 수 있다. 따라서, 댐퍼 몸체(210)를 배기 덕트(D)의 전면(D1)을 통해서 제 1 방향을 따라 체결공(H)에 삽입하면, 푸시 버클(250)들은 체결공(H)의 내주면에 의해 압축될 수 있다. 댐퍼 몸체(210)의 후면이 체결공(H)을 빠져 나오면, 푸시 버클(250)들이 탄성력에 의해 원래의 형상으로 복원될 수 있다. 그러므로, 푸시 버클(250)들이 배기 덕트(D)의 후면(D2)에 걸려 지지될 수 있다.
본 실시예에서, 푸시 버클(250)들 각각은 버클 몸체(252) 및 버클(254)을 포함할 수 있다. 버클 몸체(252)는 댐퍼 몸체(210)를 부분적으로 절단하는 것에 의해 형성될 수 있다. 즉, 버클 몸체(252)는 댐퍼 몸체(210)의 일부분일 수 있다.
구체적으로, 댐퍼 몸체(210)의 외주면 후면으로부터 2줄의 절단홈(256)들이 형성될 수 있다. 절단홈(256)들은 댐퍼 몸체(210)의 축 방향, 즉 제 1 방향을 따라 체결공(H)에 삽입되는 댐퍼 몸체(210) 후면의 외주면에 형성될 수 있다. 반면에, 절단홈(256)들의 내측 단부들은 서로 연결되지 않을 수 있다. 이에 따라, 2줄의 절단홈(256)들 사이에 버클 몸체(252)가 형성될 수 있다. 절단홈(256)들의 내측 단부들은 서로 연결되어 있지 않으므로, 버클 몸체(252)는 댐퍼 몸체(210)에 연결될 수 있다. 전술한 바와 같이, 댐퍼 몸체(210)는 탄성 물질을 포함하고 있으므로, 댐퍼 몸체(210)의 일부분인 버클 몸체(252)도 탄성 물질을 포함할 수 있다. 즉, 버클 몸체(252)는 탄성을 가질 수 있다.
버클(254)은 버클 몸체(252)의 외주면에 형성될 수 있다. 버클(254)은 버클 몸체(252)와 일체로 되어 있거나 또는 버클 몸체(252)의 외주면에 별도로 부착된 부재일 수도 있다. 버클(254)은 버클 몸체(252)의 외주면에 형성되어 있으므로, 버클(254)은 버클 몸체(252)로부터 반경 방향을 따라 돌출되어 있을 수 있다. 특히, 버클(254)은 배기 덕트(D)를 향하는 버클 몸체(252)의 후면에 배치될 수 있다. 즉, 버클 몸체(252)는 댐퍼 몸체(210)의 외주면 후면으로부터 제 1 방향을 따라 형성된 2줄의 절단홈(256)들에 의해 형성되므로, 버클 몸체(252)도 댐퍼 몸체(210)의 후면에 배치될 수 있다.
따라서, 댐퍼 몸체(210)를 배기 덕트(D)의 체결공(H)에 제 1 방향을 따라 삽입하면, 버클(254)은 체결공(H) 주위의 배기 덕트(D)의 후면(D2)에 걸릴 수 있다. 전술한 바와 같이, 버클 몸체(252)는 댐퍼 몸체(210)의 반경 방향을 따라 탄성적으로 이동될 수 있으므로, 버클 몸체(252) 상에 배치된 버클(254)도 댐퍼 몸체(210)의 반경 방향을 따라 탄성적으로 이동될 수 있다. 따라서, 버클(254)은 체결공(H)의 내측면에 의해 댐퍼 몸체(210)의 중심을 향해서 반경 방향을 따라 눌려질 수 있다. 이러한 버클(254)의 탄성 동작에 의해서 버클(254)은 체결공(H)을 통과할 수가 있을 수 있다. 버클(254)이 체결공(H)을 통과하면, 체결공(H)의 내측면이 버클(254)을 더 이상 누르지 않게 되므로, 버클(254)은 탄성력에 의해서 원래의 위치로 복귀될 수 있다. 이에 따라, 버클(254)은 체결공(H)의 주위에 있는 배기 덕트(D)의 후면(D2)에 걸릴 수 있다.
버클(254)이 체결공(H)을 용이하게 통과될 수 있도록 하기 위해서, 버클(254)은 경사진 면(255)을 가질 수 있다. 구체적으로, 경사면(255)은 제 1 방향을 따라 점진적으로 좁아지는 직경을 가질 수 있다. 즉, 체결공(H)을 향하는 경사면(255) 앞부분의 직경은 경사면(255) 뒤부분의 직경보다 짧을 수 있다. 이러한 경사면(255)에 의해서 버클(254)은 체결공(H)을 쉽게 통과할 수가 있게 된다. 버클(254)이 배기 덕트(D)의 후면(D2) 부위에 걸려 지지된 이후, 버클(254)에 인위적인 외력을 인가하지 않는 이상, 버클(254)이 체결공(H)을 통해서 이탈되지 않을 수 있다.
개스킷(220)은 댐퍼 몸체(210)의 외주면에 설치될 수 있다. 개스킷(220)은 배기 덕트(D)를 통해 흐르는 배기 가스가 체결공(H)을 통해 누설되는 것을 방지할 수 있다. 개스킷(220)은 체결공(H)의 직경보다 긴 직경을 갖는 링 형상을 가질 수 있다.
너트(230)는 댐퍼 몸체(210)의 외주면에 나사 결합될 수 있다. 따라서, 댐퍼 몸체(210)는 너트(230)가 나사 결합되는 나사부(212)를 가질 수 있다. 너트(230)는 개스킷(220)의 내경과 실질적으로 동일한 내경을 가질 수 있다. 반면에, 너트(230)는 개스킷(220)의 외경보다 긴 외경을 가질 수 있다.
가이드 링(260)은 댐퍼 몸체(210)의 외주면에 설치될 수 있다. 가이드 링(260)은 너트(230)와 배기 덕트(D) 사이에 배치될 수 있다. 따라서, 개스킷(220)은 너트(230)와 가이드 링(260) 사이에 배치될 수 있다. 가이드 링(260)의 후면은 배기 덕트(D)의 전면(D1)에 밀착될 수 있다. 오-링(270)이 가이드 링(260)과 배기 덕트(D) 사이에 개재되어, 가스의 누설을 방지할 수 있다.
가이드 링(260)은 너트(230)의 내경 및 외경과 실질적으로 동일한 내경 및 외경을 가질 수 있다. 즉, 가이드 링(260)의 외경은 개스킷(220)의 외경보다 길 수 있다.
가이드 링(260)은 개스킷(220)을 수용하는 수용홈(269)을 가질 수 있다. 수용홈(269)은 가이드 링(260)의 전면에 가이드 링(260)의 원주선 방향을 따라 형성될 수 있다. 수용홈(269) 내에 수용된 개스킷(220)의 외주면이 수용홈(269)의 내측면에 밀착될 수 있다.
가이드 링(260)의 전면은 너트(230)에 밀착될 수 있다. 즉, 가이드 링(260)과 수용홈(269) 내에 수용된 개스킷(220)의 전면들이 너트(230)에 밀착될 수 있다. 따라서, 너트(230)의 조임력은 가이드 링(260)으로 직접 전달되고 또한 개스킷(220)을 통해서 가이드 링(260)으로 전달될 수 있다.
가이드 링(260)은 가이드 몸체(262), 림(rim)(264) 및 복수개의 연결부(266)들을 포함할 수 있다. 가이드 몸체(262)는 링 형상을 가질 수 있다. 가이드 몸체(262)의 내경 및 외경이 너트(230)의 내경 및 외경과 실질적으로 동일할 수 있다. 수용홈(269)이 가이드 몸체(262)의 전면 내주면에 원주선 방향을 따라 형성될 수 있다.
림(264)은 가이드 몸체(262)의 내부에 배치될 수 있다. 따라서, 림(264)은 가이드 몸체(262)의 내경보다 짧은 직경을 가질 수 있다.
연결부(266)들은 림(264)과 가이드 몸체(262)를 연결시킬 수 있다. 구체적으로, 연결부(266)들은 가이드 몸체(262)의 내주면으로부터 가이드 몸체(262)의 중심을 향해서 연장되어 림(264)에 연결될 수 있다. 따라서, 가이드 몸체(262)와 림(264) 사이에 푸시 버클(250)들이 통과하는 가이드 홈(268)이 형성될 수 있다.
버클(254)이 가이드 홈(268)을 통해서 지나가면, 버클 몸체(252)가 가이드 몸체(262)와 림(264) 사이에 위치할 수가 있다. 전술한 바와 같이, 푸시 버클(250)들은 배기 덕트(D)를 향할수록 점진적으로 줄어드는 직경을 갖는 구배진 형상을 갖고 있으므로, 가이드 홈(268)을 통과한 푸시 버클(250)들의 버클 몸체(252)는 다시 원래의 형상으로 복귀될 수 있다. 즉, 버클 몸체(252)는 가이드 몸체(262)의 반지름 방향을 향해서 벌어질 수 있다. 따라서, 버클(254)이 배기 덕트(D)의 후면(D2)에 걸려 지지될 수 있다.
상기된 본 실시예들에 따르면, 댐퍼 몸체를 배기 덕트의 체결공에 삽입하면, 탄성 재질의 푸시 버클이 복원력에 의해 체결공 주위의 배기 덕트의 후면에 걸려 지지될 수 있다. 또한, 너트를 댐퍼 몸체에 나사 결합시키는 것에 의해서 개스킷이 체결공의 외주면에 압착될 수 있다. 따라서, 댐퍼 몸체를 체결공에 삽입한 후 너트를 조이는 간단한 동작만으로, 배기 가스의 누설을 방지하면서 댐퍼를 배기 덕트에 조립할 수가 있게 된다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만 해당 기술 분야의 숙련된 당업자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 챔버로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
110 ; 댐퍼 몸체 120 ; 개스킷
122 ; 경사진 외주면 130 ; 너트
140 ; 개스킷 커버 142 ; 경사진 내주면
150 ; 푸시 버클 152 ; 버클 몸체
154 ; 버클 155 ; 경사면
156 ; 절단홈 210 ; 댐퍼 몸체
220 ; 개스킷 230 ; 너트
250 ; 푸시 버클 252 ; 버클 몸체
254 ; 버클 255 ; 경사면
256 ; 절단홈 260 ; 가이드 링
262 ; 가이드 몸체 264 ; 림
266 ; 연결부 268 ; 가이드 홈
269 ; 수용홈 270 ; 오-링

Claims (12)

  1. 삭제
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  7. 삭제
  8. 반도체 제조 장치의 배기 덕트에 형성된 체결공에 상기 배기 덕트의 전면으로부터 후면을 향하는 제 1 방향을 따라 삽입되고, 상기 체결공의 직경과 동일한 직경을 갖는 댐퍼 몸체;
    상기 댐퍼 몸체의 외주면에 상기 제 1 방향과 직교하는 상기 댐퍼 몸체의 반지름 방향인 제 2 방향을 따라 탄성적으로 이동되도록 연결되어 상기 체결공을 통과해서 상기 배기 덕트의 후면에 걸려 지지되고, 상기 댐퍼 몸체의 중심을 기준으로 동일한 간격을 두고 배열된 복수개의 푸시 버클(push buckle)들;
    상기 댐퍼 몸체의 외주면에 결합되어 상기 배기 덕트의 전면에 밀착되고, 상기 푸시 버클들을 상기 체결공으로 안내하는 가이드 홈을 갖는 가이드 링;
    상기 댐퍼 몸체의 외주면에 결합되어 상기 가이드 링을 상기 배기 덕트의 전면을 향해 압착하는 너트; 및
    상기 가이드 링과 상기 너트 사이의 상기 댐퍼 몸체의 외주면에 설치되어 상기 배기 덕트를 통해 흐르는 가스의 누설을 방지하는 개스킷을 포함하는 반도제 제조 장치의 배기 라인용 댐퍼.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 푸시 버클들은 상기 배기 덕트를 향할수록 점진적으로 줄어드는 직경을 갖는 구배진 형상을 갖는 반도체 제조 장치의 배기 라인용 댐퍼.
  10. 제 8 항에 있어서, 상기 가이드 링은
    상기 댐퍼 몸체의 외주면에 결합된 가이드 몸체;
    상기 가이드 몸체의 내부에 배치되어, 상기 가이드 몸체와의 사이에 상기 가이드 홈을 형성하는 림; 및
    상기 림을 상기 가이드 몸체에 연결하는 적어도 하나의 연결부를 포함하는 반도체 제조 장치의 배기 라인용 댐퍼.
  11. 제 10 항에 있어서, 상기 가이드 몸체는 상기 개스킷을 수용하는 수용홈을 갖는 반도체 제조 장치의 배기 라인용 댐퍼.
  12. 삭제
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