CN114829963A - 检查装置 - Google Patents

Abstract

本发明的检查装置包括：上部机构，包括设置有检查对象的载置面的台；下部机构，以能够旋转的方式支撑所述上部机构；及升降动作部，以能够升降的方式由所述上部机构支撑；且所述下部机构包括：旋转驱动部，使所述上部机构旋转；及推升力输出部，升降驱动所述升降动作部；在所述升降动作部的下端部设置有所述推升力输出部的前端可接触或分离的传导构件。

Description

检查装置

技术领域

本发明涉及一种对基板等检查对象进行检查的检查装置。

背景技术

之前已知有一种印刷电路板，在同一平面内配线图案彼此以点对称的方式形成。为了检查此种印刷电路板，例如如日本公开公报特开2015-36625号公报所公开那样，已知有一种印刷电路板检查装置，在通过上检查夹具与下检查夹具夹住载置于平板状托架的印刷电路板的状态下，使设置于上检查夹具的检查针与形成于印刷电路板的上表面的配线接触，而对检查针与配线之间的导通或绝缘进行检查。

在所述印刷电路板检查装置设置有基板反转单元，使载置于所述托架上的印刷电路板的方向反转。此外，以如下方式构成：对形成于印刷电路板的一定方向的配线图案进行检查后，将例如载置托架的台旋转180度而改变印刷电路板的方向，通过与顺向相同的程序，对载置于托架的印刷电路板的反向的配线图案进行配线的检查。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本公开公报特开2015-36625号公报

发明内容

发明所要解决的问题

然而，在以上述方式使台旋转的情形时，若台的重量重，则使台旋转的旋转驱动部的负荷变大。另一方面，若欲谋求台的高功能化，则为了实现功能，而有重量增加之虞。

本发明的目的在于提供一种检查装置，谋求由旋转驱动部驱动的驱动对象的高功能化，并且容易降低重量增加导致旋转驱动部的负荷增大的担忧。

解决问题的技术手段

本发明的一例的检查装置包括：上部机构，包括设置有检查对象的载置面的台；下部机构，以能够旋转的方式支撑所述上部机构；及升降动作部，以能够升降的方式由所述上部机构支撑。所述下部机构包括：旋转驱动部，使所述上部机构旋转；及推升力输出部，其位置以与所述升降动作部相向的方式对准，对所述升降动作部进行升降驱动。所述升降动作部配置于所述上部机构相对于所述下部机构的旋转角度为预先设定的设定角度时与所述推升力输出部相向的位置。在所述升降动作部的下端部设置有所述推升力输出部的前端可接触或分离的传导构件。

又，本发明的一例的检查装置进而包括：搬送机构，搬送所述检查对象；控制部，控制所述推升力输出部及所述搬送机构；及检查部，对载置于所述载置面的所述检查对象进行检查。所述搬送机构包括检查对象保持部，保持所述检查对象。所述控制部以执行以下的控制所构成：运行所述推升力输出部而使所述突出杆的上端部向所述推升位置突出；运行所述搬送机构而使所述检查对象由所述检查对象保持部保持、搬送至所述载置面的上方并载置于所述突出杆的上端部上、及使所述检查对象保持部自所述检查对象的下方退避；以及停止所述推升力输出部的运行，使所述多根突出杆下降至所述退避位置，由此将所述检查对象载置于所述载置面。

发明的效果

此种结构的检查装置可谋求由旋转驱动部驱动的驱动对象的高功能化，并且容易降低重量增加导致旋转驱动部的负荷增大的担忧。

附图说明

图1是表示本发明的一例的检查装置的结构的说明图。

图2是表示检查装置的载置台的结构的立体图。

图3是图2的III-III线截面图。

图4是图2的IV-IV线截面图。

图5是表示自不同于图2的角度观察载置台的状态的立体图。

图6是图4的VI-VI线截面图。

图7是表示按压构件的下降状态的截面图。

图8是图7的VIII-VIII线截面图。

图9是表示下部机构的具体结构的立体图。

图10是表示检查对象的具体结构的平面图。

图11是表示控制部的控制动作的步骤图。

图12是表示配设于检查对象的单元基板的变形例的平面图。

图13是表示配设于检查对象的单元基板的其他变形例的平面图。

具体实施方式

以下，基于附图对本发明的实施方式进行说明。再者，各图中标注同一符号的结构表示为同一结构，而将其说明省略。

图1所示的检查装置1大致包括检查对象100的载置台2、搬送机构4、检查部5、控制部6、及支撑这些的支撑框架7。各图中，视需要为了明确方向关系，而适当示出XYZ正交坐标轴。Z方向对应于载置台2的高度方向。又，X方向对应于与图1的纸面正交的载置台2的深度方向。Y方向对应于沿着图1的左右方向延伸的载置台2的宽度方向。

检查部5包括检查夹具72，所述检查夹具72包括具有导电性的棒状探针Pr、及支撑多根探针Pr的支撑构件71。

搬送机构4包括基台部8、及由其支撑的具有现有周知的机械臂等的搬送驱动部9。在所述搬送驱动部9的前端部设置有检查对象保持部10，所述检查对象保持部10包括大致叉架形状或平板形状的保持板或夹钳等。

搬送驱动部9具有使检查对象保持部10水平移动、及上下移动的功能等。此外，在对检查对象100进行检查时，通过搬送机构4将检查对象100自供给盒(未图示)内取出并搬送至载置台2上。又，检查对象100的检查结束后，通过搬送机构4将检查对象100自载置台2上取出并搬出至收纳盒(未图示)的设置部。

在载置台2的下方设置有第一移动机构13，包括将所述载置台2沿Z方向升降驱动的升降驱动机构等。又，在第一移动机构13的下方设置有第二移动机构14，包括使载置台2及第一移动机构13沿X方向移动的螺旋送料机构等。进而，在第二移动机构14的下方设置有第三移动机构15，包括包括使载置台2、第一移动机构13及第二移动机构14沿Y方向移动的螺旋送料机构等。

载置台2包括：上部机构34，包括载置检查对象100的台33；及下部机构35，配置于所述上部机构34的下方。又，在载置台2的上方配设有对位相机37及激光位移计38。所述对位相机37及激光位移计38具有对载置于台33上的检查对象100的载置位置及载置角度等进行检测的功能。

控制部6具有根据对位相机37及激光位移计38的检测信号判别载置于台33上的检查对象100的载置位置及载置角度是否适当的功能。在控制部6执行如下控制：根据所述判别结果，将检查对象100的载置位置等进行微调。

如图2所示，上部机构34包括：上部本体42，由设置于下部机构35的旋转驱动部40旋转驱动；以及第一升降动作部43a、第一升降动作部43b及第二升降动作部44a、第二升降动作部44b，以能够升降的方式由所述上部本体42支撑。再者，在图2及图3中，以符号43a表示位于载置台2的一侧的第一升降动作部，并且以符号43b表示位于载置台2的另一侧的第一升降动作部。又，以符号44a表示位于载置台2的一侧的第二升降动作部，并且以符号44b表示位于载置台2的另一侧的第二升降动作部。

上部本体42包括：台33，具有检查对象100的载置面36；支撑板45，对台33进行支撑；中间板46，固定于支撑板45的下表面；及旋转体47，固定于中间板46的下表面(参照图3)。并且，旋转体47由旋转驱动部40旋转驱动。由此，以台33在俯视时旋转例如180度的方式构成。

在支撑板45安装有抽吸管49的上端部，抽吸设置于所述支撑板45与台33之间的间隙48内的空气。在所述抽吸管49的下端部设置有旋转接头50。在所述旋转接头50连接有与图外的真空装置连通的配管19。又，在台33形成有抽吸用细孔(未图示)，用来根据真空装置的抽吸力使检查对象100吸附于载置面36上。

如图5及图6所示，第一升降动作部43包括设置于中间板46的导套51、及以能够升降的方式由所述导套51支撑的一对升降杆52。在升降杆52的上端部固定有按压构件53。在升降杆52的下端部固定有下部板54。又，在下部板54与上部本体42的支撑板45之间配设有包括压缩盘簧等的施力构件55。所述施力构件55朝将下部板54向下方按压，将按压构件53向图8所示的按压位置S1压下的方向施力。

如图3及图7所示，在第一升降动作部43的下端部配置有设置于下部机构35的推升力输出部59的前端可接触或分离的传导构件57。所述传导构件57由比通常由软钢形成的上部机构34的下表面、具体而言图6所示的下部板54的下表面54a更硬的原材料所形成。例如，由包括经特定温度淬火的高碳铬轴承钢钢材等的辊构件形成传导构件57。又，包括辊构件的传导构件57以绕与第一升降动作部43的升降方向正交的轴58旋转自如的方式受到支撑。所述轴58由比上部机构34的下表面更硬的原材料、例如由将包含S45C的机械构造用碳钢在特定温度下淬火而成的原材料等所形成。再者，图7是不同于图6的位置处的截面图，表示推升力输出部59的前端自传导构件57分离的状态。

推升力输出部59输出用来使第一升降动作部43上升的按压力。在本实施方式中，例如由沿图7的Z方向设置的气缸56的活塞杆构成推升力输出部59。并且，推升力输出部59根据自图外的气体源向气缸56供给的驱动用气体而上升，成为自气缸56突出的状态。其结果为，推升力输出部59的前端与传导构件57的下表面接触。如图7所示，推升力输出部59的前端形成于沿着与第一升降动作部43的升降方向正交的方向延伸的平面60。再者，推升力输出部59并不限定于由气缸56升降驱动的活塞杆。例如，也可由通过推挽电磁铁、或推挽马达来升降驱动的推杆构成推升力输出部59。

此外，在推升力输出部59的前端接触于传导构件57时，对传导构件57赋予经由所述传导构件57推升下部板54及升降杆52的推升力。其结果为，如图6所示，按压构件53成为被推升至比载置于台33的载置面36的检查对象100更靠上方的上升位置U1的状态。

另一方面，若停止对气缸56供给驱动用气体，则推升力输出部59的前端自传导构件57的下表面分离。然后，通过施力构件55的施加力将按压构件53压下至下方的按压位置S1(参照图8)。其结果为，如图8所示，成为经由按压构件53将载置于台33的载置面36上的检查对象100的端部压抵于载置面36上的状态。由此，在检查对象100发生翘曲的情形时，所述翘曲得以修正。

即，存在根据检查对象100的材质而检查对象100容易发生翘曲的情形。所述检查对象100的翘曲可通过自设置于台33的抽吸用细孔抽吸空气使检查对象100密接于载置面36而一定程度上加以修正。然而，在例如以检查对象100的较中央部而言端部处自载置面36分离的方式产生翘曲的情形时，仅通过上述抽吸力难以修正翘曲。在此种情形时，可通过利用按压构件53的按压力有效地修正检查对象100的翘曲。

如图8所示，第二升降动作部44包括：升降板62，以可沿着升降杆61升降的方式被支撑；多根突出杆63，自升降板62的前端部朝向上方突设；及施力构件64，包括向下方对升降板62施力的压缩盘簧。

在第二升降动作部44的下端部配置有设置于下部机构35的推升力输出部68的前端可接触或分离的传导构件67。具体而言，在与推升力输出部68相向的位置设置有与第二升降动作部44的升降方向正交的轴66。此外，由以绕所述轴66旋转自如的方式受到支撑的辊轴承等辊构件构成传导构件67。与第一升降动作部43的传导构件57及轴58同样，所述传导构件67及轴66由比上部机构34的下表面、具体而言图7所示的升降板62的下表面62a更硬的原材料所形成。再者，图7表示推升力输出部68的前端自传导构件67分离的状态。

推升力输出部68输出用来使第二升降动作部44上升的按压力。在本实施方式中，由例如沿图7的Z方向设置的气缸65的活塞杆构成推升力输出部68。并且，根据自图外的气体源向气缸65供给的驱动用气体，推升力输出部68成为自气缸65突出的状态。其结果为，推升力输出部68的前端与传导构件67的下表面接触。再者，如图7所示，推升力输出部68的前端形成于沿着与第二升降动作部44的升降方向正交的方向延伸的平面69。

此外，在推升力输出部68的前端接触于传导构件67时，对传导构件67赋予经由所述传导构件67推升升降板62及突出杆63的按压力。其结果为，如图3所示，突出杆63的上端部贯通台33及支撑板45，成为向比载置面36更靠上方的推升位置U2突出的状态。

另一方面，若停止对气缸56供给驱动用气体，则推升力输出部68的前端自传导构件67的下表面分离。然后，根据施力构件64的施加力，突出杆63的上端部被压下至下方的退避位置S2(参照图8)。其结果为，如图8所示，成为突出杆63的上端部向比台33的载置面36更靠下方退避的状态。再者，推升力输出部68并不限定于由气缸65升降驱动的活塞杆。例如，也可由通过推挽电磁铁、或推挽马达来升降驱动的推杆构成推升力输出部68。

如图3及图4等所示，下部机构35包括使上部机构34旋转的旋转驱动部40。又，如图2及图3所示，在下部机构35中，在特定的位置设置有升降驱动第一升降动作部43a、第一升降动作部43b的推升力输出部59及升降驱动第二升降动作部44a、第二升降动作部44b的推升力输出部68。旋转驱动部40包括直接驱动马达等，所述直接驱动马达包括使上部机构34的旋转体47旋转的驱动板41。再者，在旋转驱动部40的中心部形成有供抽吸管49插入的开口部。

推升力输出部59、推升力输出部68配置于与分别配设于图6及图8的X方向两侧部的一对第一升降动作部43及第二升降动作部44相向的位置。此外，在上部机构34由旋转驱动部40进行180度旋转驱动的情形时，也以成为推升力输出部59与第一升降动作部43的传导构件(辊构件)57相向并且推升力输出部68与第二升降动作部44的传导构件(辊构件)67相向的状态的方式配置。又，在升降驱动推升力输出部59、推升力输出部68的气缸56、气缸65分别连接有空气管16、空气管17(参照图5)。

检查对象100例如可为玻璃环氧基板、柔性基板、陶瓷多层配线基板、液晶显示器或等离子体显示器用的电极板、触摸屏用等的透明导电板、及半导体封装用的封装基板或膜载体等各种基板。

又，如图10所示，在检查对象100相向配设有配线方向顺向排列的多块第一单元基板101与配线方向反向排列的多块第二单元基板102。所述第一单元基板101与第二单元基板102在检查对象100的俯视时形成为以点O为中心的点对称的图形。

基于图11所示的步骤图对通过具有上述结构的检查装置1对检查对象100进行检查时的控制动作进行说明。首先，控制部6执行如下控制：在搬入步骤K1中，运行搬送机构4等，将检查对象100自供给盒内取出并搬送至载置台2上，而载置于台33的载置面36上。

具体而言，如图3及图6所示，控制部6执行将第一升降动作部43a、第一升降动作部43b的按压构件53推升至上升位置U1的控制。又，控制部6执行将第二升降动作部44a、第二升降动作部44b的突出杆63的上端部推升至推升位置U2的控制。其次，控制部6执行运行搬送机构4而将检查对象100向突出杆63的上方搬送的控制。其后，控制部6以使搬送机构4的检查对象保持部10下降而将检查对象100自检查对象保持部10向突出杆63的上端部上传送的方式进行控制。进而，控制部6以使检查对象保持部10下降到比突出杆63的上端部更靠退避位置后使其自检查对象100的下方退避的方式进行控制。

然后，控制部6执行将按压构件53向按压位置S1压下的控制。由此，如图8所示，载置于台33的载置面36上的检查对象100的端部成为被按压构件53按压至载置面36的状态。又，控制部6对突出杆63执行将上端部向下方的退避位置S2压下的控制。由此，如图8所示，突出杆63的上端部成为向比台33的载置面36更靠下方退避的状态。继而，控制部6执行如下控制：通过运行图外的真空装置，而经由抽吸用细孔抽吸空气，使检查对象100吸附于载置面36。

继而，在判别步骤K2中，控制部6执行如下控制：基于对位相机37及激光位移计38的检测信号等，判别载置于载置台2的载置面36上的检查对象100的载置位置是否适当。基于所述判别结果，在调整步骤K3中，控制部6运行第一移动机构13、第二移动机构14及第三移动机构15。又，控制部6视需要运行旋转驱动部40。由此，对检查对象100的载置位置及载置角度等进行微调。

继而，在移动步骤K4中，控制部6执行如下控制：对第二移动机构14输出运行指令信号，使载置台2向检查部5移动。其后，在第一检查步骤K5中，控制部6使探针Pr与检查对象100的被检查部接触，对检查对象100进行检查。

在第一单元基板101的检查全部结束的时点，在反转步骤K6中，运行下部机构35的旋转驱动部40而使上部机构34旋转180度。由此，载置于台33的检查对象100的方向在俯视时成为被反转的状态。其后，在第二检查步骤K7中，控制部6使探针Pr与检查对象100的被检查部接触，对检查对象100进行检查。

如上所述，在检查对象100的检查全部结束的时点，在搬出步骤K8中，控制部6执行自载置台2上取出检查对象100并将其搬出至收纳盒的设置部中的控制。具体而言，控制部6输出运行第二移动机构14的控制信号，使载置台2自检查部5向图1所示的原来的位置移动。又，如图3所示，控制部6执行使第一升降动作部43的按压构件53及第二升降动作部44的突出杆63上升的控制。由此，通过突出杆63将检查对象100向载置面36的上方推升。

继而，控制部6执行使检查对象保持部10进入载置面36与检查对象100之间后使检查对象保持部10上升的控制。由此，将检查对象100自突出杆63的上端部上向检查对象保持部10上传送。然后，控制部6执行如下控制：运行搬送机构4，将检查对象100自载置台2上向收纳盒的设置部搬出，而将其收容至收纳盒内。

上述的检查装置1包括载置台2，所述载置台2被分离为：上部机构34，包括设置有检查对象100的载置面36的台33；及下部机构35，以能够旋转的方式支撑上部机构34。并且，在上部机构34以能够升降的方式支撑有第一升降动作部43、第二升降动作部44。另一方面，在下部机构35设置有：旋转驱动部40，使上部机构34旋转；及推升力输出部56、推升力输出部65，升降驱动第一升降动作部43、第二升降动作部44。

根据上述结构，在对检查对象100进行检查时，不会对旋转驱动部40施加大的负荷，而可使由上部机构34支撑的检查对象100在对其俯视时旋转。因此，例如如图10所示，在设置于检查对象100的多块第一单元基板101与多块第二单元基板102形成为点对称的图形的情形时，也可容易且适当地进行这些检查。

即，将具有大重量的包括直接驱动马达等的旋转驱动部40或升降驱动推升力输出部59、推升力输出部68的气缸56、气缸65设置于下部机构35。因此，可将上部机构34轻量化，而可以轻的力容易地使上部机构34旋转。因此，可容易且适当地进行第一单元基板101及第二单元基板102的检查。

又，设置于下部机构35的推升力输出部59、推升力输出部68的前端以相对于设置于第一升降动作部43、第二升降动作部44的下端部的传导构件57、传导构件67可接触或分离的方式设置。并且，通过使推升力输出部59、推升力输出部68的前端与传导构件57、传导构件67接触，而可升降驱动第一升降动作部43、第二升降动作部44。又，在使上部机构34旋转时，可设为使推升力输出部59、推升力输出部68的前端自传导构件57、传导构件67分离的状态。因此，可以更小的力使上部机构34旋转。

由此，可在作为旋转驱动部40的驱动对象的上部机构34设置第一升降动作部43、第二升降动作部44而谋求上部机构34的高功能化。进而，由于将驱动第一升降动作部43、第二升降动作部44的气缸56、气缸65设置于下部机构35而非上部机构34，故而可减少上部机构34的重量增加。因此，可谋求由旋转驱动部40驱动的上部机构34的高功能化，并且容易降低重量增加导致旋转驱动部40的负荷增大的担忧。

再者，在上述实施方式中，以在抽吸管49的下端部设置旋转接头50，而经由连接于所述旋转接头50的配管19使图外的真空装置的抽吸力发挥作用的方式构成。因此，可通过旋转接头50吸收使安装有抽吸管49的上端部的上部机构34的支撑板45旋转时的旋转力。

在上述实施方式中，在上部机构34相对于下部机构35的旋转角度为预先设定的设定角度时，第一升降动作部43、第二升降动作部44配置于与推升力输出部59、推升力输出部68相向的位置。并且以如下方式构成：通过推升力输出部59、推升力输出部68的前端接触于包括由比上部机构34的下表面更硬的原材料形成的辊构件等的传导构件57、传导构件67，而使第一升降动作部43、第二升降动作部44分别动作。因此，在将上部机构34旋转驱动为特定的设定角度的情形时，第一升降动作部43、第二升降动作部44分别适当地动作。又，在使推升力输出部59、推升力输出部68的前端与传导构件57、传导构件67接触时，可防止传导构件57、传导构件67变形。再者，在使推升力输出部59、推升力输出部68的前端与包括辊构件等的传导构件57、传导构件67接触而使传导构件57、传导构件67上升时，存在所述传导构件57、传导构件67旋转的可能性。因此，在使传导构件57、传导构件67上升时，优选为设为设置有限制机构的结构，所述限制机构以电磁力对传导构件57、传导构件67的旋转进行限制。

在使上部机构34在俯视时旋转180度的情形时，位于图3的左侧的第一升降动作部43a及第二升降动作部44a成为位于图3的右侧的状态。与此同时，位于图3的右侧的第一升降动作部43b、第二升降动作部44b成为位于图3的左侧的状态。由此，设置于上部机构34的传导构件57、传导构件67与设置于下部机构35的推升力输出部59、推升力输出部68成为分别相向的状态。因此，在上述实施方式中，在使上部机构34旋转180度的情形时，可使第一升降动作部43a、第一升降动作部43b及第二升降动作部44a、第二升降动作部44b分别动作，而升降驱动按压构件53及突出杆63。

再者，也可设为将四个第一升降动作部43、第二升降动作部44分别配设于在上部机构34的俯视时相向的四个部位的结构。根据所述结构，如图12所示，在将第一单元基板101a与第二单元基板102a以点O为中心而以90度的旋转角度配置的情形时，可容易且适当地进行这些检查。又，如图13所示，在将第一单元基板101b与第二单元基板102b以点O为中心而以270度的旋转角度配置的情形时，也可容易且适当地进行这些检查。

又，在上述实施方式中，由以绕设置于第一升降动作部43、第二升降动作部44的下端部的轴58、轴66旋转自如的方式受到支撑的辊构件构成传导构件57、传导构件67。又，与传导构件57、传导构件67相向的推升力输出部59、推升力输出部68的前端形成于沿着与第一升降动作部43、第二升降动作部44的升降方向正交的方向延伸的平面60、平面69。因此有如下优点：即便在通过第一升降动作部43的按压构件53将检查对象100压抵于载置面的状态下也容易使上部机构34的台33旋转。

即，在根据对位相机37及激光位移计38的检测信号确认到俯视时的检查对象100的载置角度θ有少许偏差的情形时，为了修正所述偏差，需要通过旋转驱动部40使上部机构34仅旋转较小角度。在所述情形时，通过使传导构件57、传导构件68旋转，而不会产生大的摩擦力，可使上部机构34顺利地旋转。

在上述实施方式中，在推升力输出部59的前端接触于传导构件57时，将被推升至比台33的载置面36更靠上方的上升位置U1的按压构件53设置于第一升降动作部43。又，在推升力输出部59的前端自传导构件57分离时，将使按压构件53向下方的按压位置S1压下的施力构件55设置于第一升降动作部43。因此，在对检查对象100进行检查时，可根据施力构件55的施加力使按压构件53向按压位置S1迅速且顺利地下降。因此，即便在检查对象100端部产生翘曲的情形时，也可通过经由按压构件53将所述检查对象100的端部按压至载置面36而适当地修正检查对象100的翘曲。

即，根据检查对象100的材质，存在检查对象100容易产生翘曲的情形，存在以检查对象100的较中央部而言端部处自载置面36分离的方式产生翘曲的情况。在此种情形时，在对检查对象100进行检查时，通过将按压构件53向下方的按压位置K1压下，而可利用按压构件53的按压力有效地修正检查对象100的翘曲。并且，在检查对象100的检查结束后，通过使按压构件53向比检查对象100的载置面36更靠上方的上升位置U1上升，而可容易地进行检查对象100的搬出作业。

此外，在上述实施方式中，以如下方式构成：在通过搬送机构4将检查对象100搬送至载置面36上并载置时，使第二升降动作部44的突出杆63的上端部向比载置面36更靠上方突出。由此，可容易地进行将检查对象100自检查对象保持部10向突出杆63上传送的作业。又，在检查对象100的搬送作业结束后，通过使突出杆63的上端部向比载置面36更靠下方退避，而可将检查对象100载置于载置面36上。

又，上述实施方式的检查装置1包括：载置台2，具有上述结构；搬送机构4，对检查对象100进行搬送；控制部6，对推升力输出部59、推升力输出部68及搬送机构4进行控制；以及检查部5，对载置于载置面36的检查对象100进行检查。又，在搬送机构4设置有保持检查对象100的检查对象保持部10。此外，控制部6以执行如下控制的方式构成：运行推升力输出部68而使突出杆63的上端部向推升位置U2突出的控制；运行搬送机构4而使检查对象100由检查对象保持部10保持的控制、搬送至载置面36的上方并载置于突出杆63的上端部上的控制、及使检查对象保持部10自检查对象100的下方退避的控制；以及停止推升力输出部68的运行，使多根突出杆63的上端部下降至退避位置S2，由此将检查对象100载置于载置面的控制。

根据所述结构，在对检查对象100进行检查时，可容易地进行如下作业：将通过搬送机构4将检查对象100搬送至载置面36上的检查对象100自检查对象保持部10向突出杆63上传送的作业；将检查对象100载置于载置面36上的作业；及使检查对象保持部10自检查对象100的下方退避的作业。

如上所述，本发明的一例的检查装置包括：上部机构，包括设置有检查对象的载置面的台；下部机构，以能够旋转的方式支撑所述上部机构；及升降动作部，以能够升降的方式由所述上部机构支撑。此外，所述下部机构包括：旋转驱动部，使所述上部机构旋转；及推升力输出部，其位置以与所述升降动作部相向的方式对准，对所述升降动作部进行升降驱动；且所述升降动作部配置于所述上部机构相对于所述下部机构的旋转角度为预先设定的设定角度时与所述推升力输出部相向的位置，在所述升降动作部的下端部设置有所述推升力输出部的前端可接触或分离的传导构件。

根据所述结构，上部机构被旋转驱动部旋转驱动。又，由推升力输出部升降驱动的升降动作部设置于上部机构。即，可谋求作为旋转驱动部的驱动对象的上部机构的高功能化。另一方面，通过将升降驱动升降动作部的推升力输出部设置于下部机构，可将上部机构进行轻量化。其结果为，可谋求由旋转驱动部驱动的驱动对象的高功能化，并且容易降低重量增加导致旋转驱动部的负荷增大的担忧。又，通过在以与升降动作部相向的方式使推升力输出部的位置对准的状态下使所述推升力输出部的前端与传导构件接触，而可升降驱动升降动作部。因此，可以轻的力容易地使设置有升降动作部的上部机构旋转，而可容易地改变载置于载置面上的检查对象的方向。

又，较理想为所述推升力输出部的前端可与所述上部机构的下表面相向，所述传导构件由比所述上部机构的下表面更硬的原材料所形成，所述推升力输出部通过其前端与所述传导构件接触而升降驱动所述升降动作部。

根据所述结构，由于传导构件由比上部机构的下表面更硬的原材料所形成，故而与以使推升力输出部的前端抵接于所述上部机构的下表面的方式构成的情形相比，有不易发生变形的优点。

又，较理想为所述传导构件包括辊构件，所述辊构件以绕与所述升降动作部的升降方向正交的轴旋转自如的方式受到支撑，所述推升力输出部的前端形成于沿着与所述升降动作部的升降方向正交的方向延伸的平面。

根据所述结构，通过在使推升力输出部的前端与包括辊构件的传导构件接触的状态下使上部机构旋转，而可容易地进行对载置于载置面上的检查对象的载置角度进行微调的作业等。

又，较理想为所述升降动作部包括：按压构件，在所述推升力输出部的前端与所述升降动作部接触时被所述推升力输出部推升至比所述载置面更靠上方的上升位置；及施力构件，在所述推升力输出部的前端自所述升降动作部分离时将所述按压构件向比所述上升位置更靠下方的按压位置压下。

根据所述结构，通过在将检查对象载置于载置面上的状态下根据施力构件的施加力将按压构件向按压位置压下，而将检查对象的端部朝向载置面按压。其结果为，可在将检查对象稳定地载置于载置面上的状态下对检查对象进行检查。

又，所述升降动作部也可包括：突出杆，在所述推升力输出部的前端与所述升降动作部接触时，将上端部推升至比所述载置面更靠上方的推升位置；及施力构件，在所述推升力输出部的前端自所述升降动作部分离时，将所述突出杆的上端部向比所述载置面更靠下方的退避位置压下。

根据所述结构，在将检查对象载置于载置面上时，通过使突出杆的上端部向比载置面更靠上方突出，而可容易地进行将检查对象向突出杆的上端部上传送的作业。并且，通过使突出杆的上端部向比载置面更靠下方退避，而可将检查对象载置于载置面上。

又，进而包括：搬送机构，搬送所述检查对象；控制部，控制所述推升力输出部及所述搬送机构；及检查部，对载置于所述载置面的所述检查对象进行检查；且所述搬送机构包括检查对象保持部，保持所述检查对象。并且，所述控制部以执行如下控制的方式构成：运行所述推升力输出部而使所述突出杆的上端部向所述推升位置突出的控制；运行所述搬送机构而使所述检查对象由所述检查对象保持部保持的控制、搬送至所述载置面的上方并载置于所述突出杆的上端部上的控制、及使所述检查对象保持部自所述检查对象的下方退避的控制；以及停止所述驱推升力输出部的运行，使所述多根突出杆下降至所述退避位置，由此将所述检查对象载置于所述载置面的控制。

根据所述结构，可容易地进行如下作业：通过根据自控制部输出的控制信号运行推升力输出部及搬送机构，而在对检查对象进行检查时，将经由搬送机构搬送至载置面上的检查对象自检查对象保持部向突出杆上传送的作业；将检查对象载置于载置面上的作业；及使检查对象保持部自检查对象的下方退避的作业等。

符号的说明

1：检查装置

2：载置台

4：搬送机构

5：检查部

6：控制部

10：检查对象保持部

33：台

34：上部机构

35：下部机构

36：载置面

40：旋转驱动部

43：第一升降动作部

44：第二升降动作部

53：按压构件

55、64：施力构件

56：气缸

57、67：传导构件(辊构件)

58、66：轴

59、68：推升力输出部

60、69：平面

61：升降杆

62：升降板

63：突出杆

65：气缸

71：支撑构件

72：检查夹具

100：检查对象

101：第一单元基板

102：第二单元基板

Claims (6)

1.一种检查装置，其特征在于，包括：

上部机构，包括设置有检查对象的载置面的台；

下部机构，以能够旋转的方式支撑所述上部机构；及

升降动作部，以能够升降的方式由所述上部机构支撑；

所述下部机构包括：

旋转驱动部，使所述上部机构旋转；及

推升力输出部，其位置以与所述升降动作部相向的方式对准，对所述升降动作部进行升降驱动；

所述升降动作部配置于所述上部机构相对于所述下部机构的旋转角度为预先设定的设定角度时与所述推升力输出部相向的位置，

在所述升降动作部的下端部设置有所述推升力输出部的前端能够接触或分离的传导构件。

2.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

所述推升力输出部的前端能够与所述上部机构的下表面相向，

所述传导构件由比所述上部机构的下表面更硬的原材料所形成，

所述推升力输出部通过其前端与所述传导构件接触而升降驱动所述升降动作部。

3.根据权利要求2所述的检查装置，其特征在于，

所述传导构件包括辊构件，所述辊构件以绕与所述升降动作部的升降方向正交的轴旋转自如的方式受到支撑，

所述推升力输出部的前端形成于沿着与所述升降动作部的升降方向正交的方向延伸的平面。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的检查装置，其特征在于，

所述升降动作部包括：

按压构件，在所述推升力输出部的前端与所述升降动作部接触时，被所述推升力输出部推升至比所述载置面更靠上方的上升位置；及

施力构件，在所述推升力输出部的前端自所述升降动作部分离时，将所述按压构件向比所述上升位置更靠下方的按压位置压下。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的检查装置，其特征在于，

所述升降动作部包括：

突出杆，在所述推升力输出部的前端与所述升降动作部接触时，将上端部推升至比所述载置面更靠上方的推升位置；及

施力构件，在所述推升力输出部的前端自所述升降动作部分离时，将所述突出杆的上端部向比所述载置面更靠下方的退避位置压下。

6.根据权利要求5所述的检查装置，其特征在于，还包括：

搬送机构，搬送所述检查对象；

控制部，控制所述推升力输出部及所述搬送机构；及

检查部，对载置于所述载置面的所述检查对象进行检查；

所述搬送机构包括检查对象保持部，保持所述检查对象，

所述控制部执行如下的控制：

运行所述推升力输出部而使所述突出杆的上端部向所述推升位置突出；

运行所述搬送机构而使所述检查对象由所述检查对象保持部保持、搬送至所述载置面的上方并载置于所述突出杆的上端部上、及使所述检查对象保持部自所述检查对象的下方退避；以及

停止所述推升力输出部的运行，使多根所述突出杆下降至所述退避位置，由此将所述检查对象载置于所述载置面。

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