CN1146736C - 楔状肋形波导 - Google Patents

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Abstract

一种楔状肋形波导，从大的多模光波导向较小的单模光波导逐渐变窄，该楔状肋形波导包括由同种材料形成的两个部分(4，5)：从大波导向较小波导横向逐渐变窄的下部(4)，和形成在所述下部(4)上的上部(5)，该上部变窄为一点(或以其他形式终止)，两部分(4，5)的尺寸设置成基本上所有在大的多模波导中传播的基模耦合到较小的单模波导中。

Description

楔状肋形波导
技术领域
本发明涉及一种楔状肋形波导，用于提供从相对大截面的光波导到较小截面的光波导的过渡。
背景技术
集成光路使用光波导沿着光路传输光和连接到外部的光波导例如光纤上。集成光波导和/或光纤可能截面尺寸不同，所以需要一种提供从相对大截面的光波导向相对小截面光波导过渡的装置。已经提出了用于这一目的的各种装置，但是这些装置倾向于相对复杂和/或难以制造。
US-A-5078516公开了一种由低折射率基质和高折射率肋构成的单模楔状肋形波导。在肋的宽部分，光功率集中在肋上，而在窄部分，光功率更松散地限制在基质内。
发明内容
本发明的目的在于提供一种结构相对简单和相对容易制造的楔状肋形波导，该波导用于提供从大截面向较小截面的低损耗过渡。
应该注意这里使用的词语例如“上”、“下”、“横向”等等是相对含义，即相对于附图中所示的装置的方位而言的，而不是指任何相对于重力方向的取向。
根据本发明的第一方面，提供了一种楔状肋形波导，从大的多模光波导向小的单模光波导逐渐变窄，该楔状肋形波导包括至少两个由同种材料形成的部分：在从大波导向小波导方向上向内横向逐渐变窄的下部，和形成在所述下部上的上部，该上部在从大波导向小波导方向上向内变窄为一点，两部分的尺寸设置成所有在大的多模波导中传播的基模耦合到小的单模波导中，所述小的单模波导在尺寸上小于大的多模光波导。
附图说明
现在将参考附图进一步描述本发明，只是以举例方式。其中
图1示出了根据本发明的楔状肋形波导的最佳实施例的透视图；
图2A是根据本发明的楔状肋形波导的另一实施例的平面示意图，图2B是它的截面图；以及
图3A和3B、4A和4B以及5A和5B示出了根据本发明的楔状肋形波导的三个其他实施例的平面示意图和侧视图。
具体实施方式
附图示出了从大约10微米×10微米的大尺寸多模波导向大约4.3微米×4微米的较小单模波导逐渐变窄的楔状肋形波导。
所述波导是形成在硅层例如硅-绝缘体芯片的上表面上的肋的形式。硅-绝缘体芯片最好用普通晶片制造，例如用于超大规模集成(VLSI)电子电路的晶片。论文“Reduced defect density insilicon-on-insulator structures formed by oxygenimplantation in two steps”(作者J.Morgail et al，发表在《应用物理通讯》54卷，第526页，1989年)描述了适用晶片的制造。在硅-绝缘体芯片上制造肋形波导的方法在论文“Low loss singlemode optical waveguides with large cross-section insilicon-on-insulator”(作者J.Schmidtchen et al，发表在《电子通讯》第27卷，第1486页，1991年)中进行了描述。
附图示出了形成在这种芯片的硅层1上的肋形波导并示出了把硅层1与硅基质3分开的氧化层2。在肋上通常还设置二氧化硅包层(未示出)。
图中示出的楔状肋形波导包括两部分：下部4，在大约长度1000微米上从大约宽度10微米横向逐渐变窄为大约宽度4微米；和上部5，它形成在下部4上，在大约长度800微米上从大约宽度10微米逐渐变窄为一点。这样上部5变窄比下部4快，而且在示出的实施例中从上面看时具有三角形的楔形形状。然而两部分都设计成基本上绝热的楔形。
在另一结构中(未示出)，上部5和下部4以同一角度逐渐变窄，所以两部分的边彼此平行。在这种情况下，上部5的宽端比下部4的宽端窄。
上部5和下部4较好以小于1度最好小于0.5度的角度(相对波导的轴)逐渐变窄。这样渐变的楔形确保由于楔形引起的任何损失保持较小。上部5变窄为一点或者以其他形式终止。在图1所示的结构中，上部5的变窄部分形成在下部4的变窄部分之上。
两部分4和5，包括输入面6，可以通过常规的光刻法和干蚀法一起形成，因为它们由垂直面限定。它们由同种材料形成，因此折射率相同。两部分可以相同构造形成在芯片上。或者，可以单独形成上部5并安装在下部4上。
上部5和下部4的上表面基本上平行于芯片平面，即上部5和下部4每一个都有一个高于芯片表面的基本恒定高度(在所示的例子中分别为7.2微米和1.5微米)。
这样，图中所示的楔状肋形波导提供二维楔形，横向方向的楔形由波导实际变窄提供，垂直方向(即垂直于芯片平面方向)的楔形通过横向变窄的上部5提供。因此避免了与形成垂直楔状波导有关的问题，即如同一些现有技术中使用的由非垂直表面限定的垂直楔状波导。
楔状肋形波导的形状和尺寸是这样的，即如果大的多模波导只在基模下受激，随着波导的截面形状是从较大波导的截面形状逐渐变为较小波导的截面形状的，这一模式被迫向下进入较小的单模波导。上部5的有效折射率是随着它变窄逐渐减小的。这使得该模式进入波导的下部4。应该注意楔状肋形波导不需要两部分之间有折射率差，或者用于保持较大波导的单模操作。如上所述，10微米×10微米的较大波导是多模波导，但是如果仅是在它的轴上被基模激励，例如来自光纤，那么较高级模式的功率可以忽略。
硅波导与二氧化硅包层(未示出)之间的较大折射率差有助于确保上部5的有效折射率被足够抑制，以便在到达最窄的部分之前将光模基本上全部传导到下部4内。这样，如上所述，上部5不需要变窄为一点，以便可以避免在上部5的窄端制造非常窄的部分的困难。
根据肋形波导的常规要求和适合于把基本上所有在大尺寸多模波导中传播的基模耦合到较小单模波导的尺寸的要求，选择两部分4和5的尺寸。
具有如图所示尺寸的典型例子在两个波导之间提供低损耗耦合(通常0.1dB或更少)。
这里描述的楔状肋形波导可以用于提供不同尺寸波导之间的过渡，尤其是从光纤到较小集成波导的过渡。较大波导通常截面尺寸在宽7-12微米，厚7-12微米(这样与常规光纤相一致)的范围内，较小波导通常截面尺寸在宽2-5微米，厚4-5微米(这样与常规的集成光波导相一致)范围内。如图1所示，厚度是从氧化层2开始算起。
如上所述，输入面6可以通过干刻蚀形成，不需要锯切或抛光。面6可以垂直于波导轴或与之成角度。
还应该理解楔状肋形波导可以用于任何方向上，即从大波导到小波导或从小波导到大波导。
可以容易地把上述的楔状肋形波导与集成光路的其他元件集成。把光输入到面6的光纤(未示出)可以放置在设置于硅-绝缘芯片上的V形槽(未示出)内。V形槽与楔状肋形波导的定位可以通过共同的光刻步骤限定，所以它们自动彼此对齐。
申请人的共同专利申请PCT/GB96/01068(公开号WO97/45234)描述了集成光波导与光纤之间的连接，包括在这里以供参考。这一早期申请描述了形成在硅-绝缘体芯片上的肋形波导，肋形波导和二氧化硅基层伸出在形成于芯片上的V形槽端部之上，光纤放置在所述V形槽内，所以肋形波导的端部紧密靠近光纤的端部，该伸出量在V形槽端部不垂直于芯片的表面形成时是需要的。
这里描述的楔状肋形波导结构可以形成在这种伸出物上，以便在用于接收来自光纤的光的大尺寸多模波导与形成在芯片上的较小单模集成波导之间提供过渡。
所描述的实施例包括形成为直波导的楔状肋形波导。然而在一些情况下，可能希望在逐渐弯曲波导上形成类似结构。上部5和下部4的变窄边不需要是直的，但是也可能是弯曲的，它们也不需要是对称的。
如上所述，楔形应该是逐渐的。如果楔形变化过快，损失将较大。另一方面，如果楔形变化过缓，装置可能比希望的大。通常需要在这两个技术要求之间折衷。
除了变窄的下部4以外，硅板7的楔形部分也可能如图1中的虚线所示去掉。去掉邻近肋形波导的板7，增大了波导与它周围的折射率差，而且通过逐渐使板7变窄，逐渐减小了有效折射率差。
所述实施例示出了具有两层即上部5和下部4的楔状波导。然而，应该理解可以提供其他层，例如在上部5上的附加楔状部分，而且变窄可以出现在沿着波导不同部分上的两个或多个级上。
图2A和2B是描述多级楔状肋形波导例子的示意图。10微米厚肋10开始变窄为7微米厚的肋11，然后变窄为4微米厚的肋12。图2B示出了沿着图2A中的截面线a-a剖开的截面。通过这种方式，10×10微米波导可以通过两级变窄为2×4微米波导，例如用于与激光耦合。变窄的部分10覆盖变窄部分11，以便减小由于随着其被迫从部分10减小到部分11而产生的光发散引起的损失或使之最小，类似地，变窄部分11覆盖变窄部分12。
图3-5示出了楔状波导的其他实施例。
除了变窄结构13以外，图3A和3B所示的结构与图1所示的结构类似，变窄结构13包括上部5和下部4以及把这些形成在上面的基质14，它是安装在硅-绝缘体芯片15上的分离部件，并与上面的波导16对齐。这样使得变窄结构13由不同的材料形成，例如二氧化硅或氮化硅，而且使得它能够与光路的其余部分分开制造。
通过对着芯片15的槽或切口部分中的相应表面15A和15B来定位表面13A和13B，把变窄结构13安装在硅-绝缘体芯片15上。可以提供另一对支承表面(未示出)，用于把它在相对于波导16的横向方向上定位。变窄结构13可以利用粘合剂固定在位置上。
也可以用类似于图4A和4B所示的方式制造两级肋形波导。在这种情况下，提供分离肋形结构17，包括位于不变窄部分18上的上变窄部分5和基质19。下变窄部分4形成在硅-绝缘体芯片15上。用与上述方法类似的方法，把变窄部分17安装在硅-绝缘体芯片15上并与之对准。
图5A和5B示出了另一种结构，其中不同材料的楔状结构20直接形成在硅-绝缘体芯片15上。图5A和5B与图3A和3B类似，但是在这种情况下，上部5和下部4以及基质14直接形成在芯片15上。楔状结构20例如可以由沉积或生长在硅-绝缘体芯片15上的二氧化硅形成或由旋转涂敷在芯片上的聚合材料形成。
由于楔状结构13、17和20由与波导16(以及图4中的下部4)不同材料形成，最好在两者之间提供减反膜，以便帮助减小从楔状结构通过硅-绝缘体装置的光的后反射。
虽然上面描述的例子形成在硅-绝缘体芯片上，但是虽这样具有如上所述的优点，类似的楔状肋形波导可以形成在其他类型的芯片上。

Claims (20)

1.一种楔状肋形波导，从大的多模光波导向小的单模光波导逐渐变窄，该楔状肋形波导包括至少两个由同种材料形成的部分：在从大波导向小波导方向上向内横向逐渐变窄的下部，以及形成在所述下部上的上部，该上部在从大波导向小波导方向上向内变窄为一点，两部分的尺寸设置成所有在大的多模波导中传播的基模耦合到小的单模波导中，所述小的单模波导在尺寸上小于大的多模光波导。
2.如权利要求1所述的楔状肋形波导，其中上部和下部的形状由垂直面限定。
3.如权利要求1所述的楔状肋形波导，其中上部的变窄部分形成在下部变窄部分的上方。
4.如权利要求1所述的楔状肋形波导，其中上部和下部每个具有恒定的高度。
5.如权利要求1所述的楔状肋形波导，其中上部和下部以相对波导轴的小于1度的角度横向逐渐变窄。
6.如权利要求1所述的楔状肋形波导，其中大波导截面尺寸在宽7-12微米、厚7-12微米的范围内。
7.如权利要求1所述的楔状肋形波导，其中小波导截面尺寸在宽2-5微米、厚4-5微米的范围内。
8.如权利要求1所述的楔状肋形波导，其中上部和下部以相同构造形成。
9.如权利要求1所述的楔状肋形波导，具有介于上部和下部之间的另一楔状部分，从而楔状是从大波导到中间尺寸波导然后到小波导分段实现的。
10.如权利要求1所述的楔状肋形波导，其中邻近肋型波导下部的板的楔状部分也被去掉。
11.如权利要求1所述的楔状肋形波导，形成在硅-绝缘体芯片上。
12.如权利要求11所述的楔状肋形波导，与V形槽对齐，以便放置光纤，使得光纤处于将光输入波导的输入面的位置。
13.如权利要求11或12所述的楔状肋形波导，形成在一部分芯片上，该部分伸出在形成于芯片上的V形槽端部之上。
14.如权利要求1所述的楔状肋形波导，其中上部形成为分离结构的一部分，该分离结构与小单模波导对齐安装。
15.如权利要求14所述的楔状肋形波导，其中下部和上部形成为分离结构的一部分，该分离结构与小单模波导对齐安装。
16.如权利要求1所述的楔状肋形波导，其中上部和/或下部由与小单模波导不同的材料形成。
17.如权利要求16所述的楔状肋形波导，其中上部和下部由生长在基质上的材料形成，在所述基质上形成有小单模波导。
18.如权利要求16所述的楔状肋形波导，其中上部和下部由沉积在基质上的材料形成，在所述基质上形成有小单模波导。
19.如权利要求16所述的楔状肋形波导，其中上部和下部由旋转涂敷在基质上的材料形成，在所述基质上形成有小单模波导。
20.如权利要求1所述的楔状肋形波导，在光纤与小的单模波导之间提供耦合，所述小的单模波导是集成光波导。
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Families Citing this family (111)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
ATE310307T1 (de) * 1996-11-07 2005-12-15 Koninkl Philips Electronics Nv Datenverarbeitung von einem bitstromsignal
GB2321130B (en) 1997-12-23 1998-12-23 Bookham Technology Ltd An integrated optical transceiver
GB2334789B (en) * 1998-06-12 2000-01-19 Bookham Technology Ltd A waveguide end face
KR100277695B1 (ko) * 1998-09-12 2001-02-01 정선종 에스 오 아이 광도파로를 이용한 하이브리드 광집적회로용 기판 제조방법
KR100333900B1 (ko) * 1999-01-21 2002-04-24 윤종용 모드모양 변환기, 그 제작 방법 및 이를 구비한 집적광학 소자
GB2355312B (en) * 1999-10-13 2001-09-12 Bookham Technology Ltd Method of fabricating an integrated optical component
US6826220B2 (en) * 1999-12-27 2004-11-30 Corning O.T.I. S.R.L. Semiconductor laser element having a diverging region
US6625182B1 (en) * 2000-04-20 2003-09-23 Corning Incorporated Semiconductor or solid-state laser having an external fiber cavity
US6525864B1 (en) 2000-07-20 2003-02-25 Nayna Networks, Inc. Integrated mirror array and circuit device
GB2367376B (en) * 2000-09-13 2003-04-30 Bookham Technology Plc Rib waveguide device with mode filter
US7068870B2 (en) * 2000-10-26 2006-06-27 Shipley Company, L.L.C. Variable width waveguide for mode-matching and method for making
US6580850B1 (en) 2000-11-24 2003-06-17 Applied Wdm, Inc. Optical waveguide multimode to single mode transformer
GB2369453B (en) * 2000-11-24 2002-07-31 Bookham Technology Plc Fabrication of integrated circuit
US7113704B1 (en) 2000-11-28 2006-09-26 Kotura, Inc. Tunable add/drop node for optical network
US6563997B1 (en) 2000-11-28 2003-05-13 Lighteross, Inc. Formation of a surface on an optical component
US6596185B2 (en) 2000-11-28 2003-07-22 Lightcross, Inc. Formation of optical components on a substrate
US7251406B2 (en) * 2000-12-14 2007-07-31 Shipley Company, L.L.C. Optical waveguide termination with vertical and horizontal mode shaping
US6987919B2 (en) * 2000-12-14 2006-01-17 Shipley Company, L.L.C. Optical waveguide termination with vertical and horizontal mode shaping
US6600864B2 (en) * 2000-12-20 2003-07-29 Intel Corporation Method and apparatus for switching an optical beam using an optical rib waveguide
US7158701B2 (en) * 2001-02-21 2007-01-02 Shipley Company, L.L.C. Method for making optical devices with a moving mask and optical devices made thereby
GB2373342A (en) * 2001-03-16 2002-09-18 Bookham Technology Plc Optical waveguide structure with etch stop layer
GB2373343A (en) 2001-03-16 2002-09-18 Bookham Technology Plc Rib waveguide for connection to an optical component
GB2374155A (en) * 2001-03-16 2002-10-09 Bookham Technology Plc A tapered optical waveguide formed with two substrates
US6792180B1 (en) 2001-03-20 2004-09-14 Kotura, Inc. Optical component having flat top output
DE60200132T2 (de) * 2001-03-29 2004-08-26 Interuniversitair Microelektronica Centrum Vzw Sich verjüngender Wellenleiter (Taper) mit lateralen strahlbegrenzenden Rippenwellenleitern
US6912345B2 (en) * 2001-03-30 2005-06-28 Shipley Company, L.L.C. Tapered optical fiber for coupling to diffused optical waveguides
WO2003044580A2 (en) * 2001-04-03 2003-05-30 Little Optics, Inc. Optical waveguide mode transformer
US20020158047A1 (en) * 2001-04-27 2002-10-31 Yiqiong Wang Formation of an optical component having smooth sidewalls
US6853773B2 (en) * 2001-04-30 2005-02-08 Kotusa, Inc. Tunable filter
US6614965B2 (en) 2001-05-11 2003-09-02 Lightcross, Inc. Efficient coupling of optical fiber to optical component
US6891685B2 (en) * 2001-05-17 2005-05-10 Sioptical, Inc. Anisotropic etching of optical components
US6912330B2 (en) * 2001-05-17 2005-06-28 Sioptical Inc. Integrated optical/electronic circuits and associated methods of simultaneous generation thereof
US6748125B2 (en) 2001-05-17 2004-06-08 Sioptical, Inc. Electronic semiconductor control of light in optical waveguide
US6674929B2 (en) 2001-06-01 2004-01-06 Lightcross, Inc. Tunable optical filter
US20020181869A1 (en) * 2001-06-01 2002-12-05 Wenhua Lin Tunable dispersion compensator
US20040114869A1 (en) * 2001-06-15 2004-06-17 Fike Eugene E. Mode converter including tapered waveguide for optically coupling photonic devices
US20020191916A1 (en) * 2001-06-15 2002-12-19 Confluent Photonics, Corporation Vertical waveguide tapers for optical coupling between optical fibers and thin silicon waveguides
US6771851B1 (en) 2001-06-19 2004-08-03 Nayna Networks Fast switching method for a micro-mirror device for optical switching applications
US20030012537A1 (en) * 2001-07-11 2003-01-16 Chi Wu Method of forming an optical component
US6614951B2 (en) 2001-08-06 2003-09-02 Lightcross, Inc. Optical component having a flat top output
EP1446687B1 (en) * 2001-10-30 2012-05-09 Hoya Corporation Usa Optical junction apparatus and methods employing optical power transverse-transfer
US6853797B2 (en) * 2001-11-05 2005-02-08 Kotura, Inc. Compact optical equalizer
SE521419C2 (sv) * 2001-11-09 2003-10-28 Ericsson Telefon Ab L M MMI-baserad anordning
US20030091291A1 (en) * 2001-11-15 2003-05-15 Sam Keo Smoothing facets on an optical component
US6714704B2 (en) 2001-11-29 2004-03-30 Lightcross, Inc. Optical component having selected bandwidth
AU2002351211A1 (en) * 2001-12-05 2003-06-23 Shipley Company, L.L.C. Optical waveguide termination with vertical and horizontal mode shaping
US20040020896A1 (en) * 2002-02-15 2004-02-05 Lockheed Martin Corporation Tapered optical fiber for fiber to waveguide interconnection
FI20020698A0 (fi) 2002-04-11 2002-04-11 Valtion Teknillinen Integroidun optisen piirin valokanava ja menetelmä valokanavan valmistamiseksi
GB2388917A (en) * 2002-05-25 2003-11-26 Bookham Technology Plc Semiconductor optical waveguide with a varying taper
US6810168B1 (en) 2002-05-30 2004-10-26 Kotura, Inc. Tunable add/drop node
US6989284B2 (en) * 2002-05-31 2006-01-24 Intel Corporation Fabrication of a waveguide taper through ion implantation
US6885795B1 (en) 2002-05-31 2005-04-26 Kotusa, Inc. Waveguide tap monitor
US6956983B2 (en) 2002-05-31 2005-10-18 Intel Corporation Epitaxial growth for waveguide tapering
US6921490B1 (en) 2002-09-06 2005-07-26 Kotura, Inc. Optical component having waveguides extending from a common region
US7079727B1 (en) 2002-10-09 2006-07-18 Little Optics, Inc. Integrated optical mode shape transformer and method of fabrication
US20040202429A1 (en) * 2003-04-10 2004-10-14 Lambda Crossing Ltd. Planar optical component for coupling light to a high index waveguide, and method of its manufacture
WO2004111694A1 (en) * 2003-06-13 2004-12-23 Pirelli & C. S.P.A. Tapered mode transformer
US7359593B2 (en) * 2003-10-09 2008-04-15 Infinera Corporation Integrated optical mode shape transformer and method of fabrication
WO2005064371A1 (en) 2003-12-29 2005-07-14 Pirelli & C. S.P.A. Optical coupling device
US20050185893A1 (en) * 2004-02-20 2005-08-25 Ansheng Liu Method and apparatus for tapering an optical waveguide
JP2008504562A (ja) * 2004-03-24 2008-02-14 シオプティカル インコーポレーテッド 薄いシリコン中の光クロスオーバ
US7469084B2 (en) * 2004-05-18 2008-12-23 Valtion Teknillinen Tutkimuskeskus Structure comprising an adiabatic coupler for adiabatic coupling of light between two optical waveguides and method for manufacturing such a structure
US7088890B2 (en) * 2004-11-30 2006-08-08 Intel Corporation Dual “cheese wedge” silicon taper waveguide
CN201173978Y (zh) * 2007-06-04 2008-12-31 李冰 并行模式变换器和由其构成的光分路器
US7668420B2 (en) * 2007-07-26 2010-02-23 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Optical waveguide ring resonator with an intracavity active element
US7665903B2 (en) * 2007-10-03 2010-02-23 Avago Technologies Fiber Ip (Singapore) Pte. Ltd. Optical receptacle having an electrically isolating ring for electrically isolating the signal ground and the chassis ground in an optical transceiver module
KR100937589B1 (ko) * 2007-11-07 2010-01-20 한국전자통신연구원 하이브리드 레이저 다이오드
US8066437B2 (en) * 2009-03-12 2011-11-29 Avago Technologies Fiber Ip (Singapore) Pte. Ltd Optical transceiver module providing EMI shielding and electrical isolation between a signal ground and a chassis ground
US9002163B2 (en) 2009-12-23 2015-04-07 Agency For Science, Technology And Research Optical converter and method of manufacturing the same
JP2011164376A (ja) * 2010-02-10 2011-08-25 Mitsubishi Electric Corp スポットサイズ変換導波路
US8649245B2 (en) * 2010-03-29 2014-02-11 Seagate Technology Llc Direct waveguide light delivery to NFT for heat assisted magnetic recording
US8488923B2 (en) * 2010-03-29 2013-07-16 Intel Corporation Multimode optical coupler interfaces
WO2011127840A1 (en) * 2010-04-15 2011-10-20 Shanghai Silight Technology Co., Ltd Method for fabricating waveguides using epitaxial growth
JP5685843B2 (ja) * 2010-07-13 2015-03-18 日本電気株式会社 光導波路の製造方法および光導波路
WO2012042708A1 (ja) 2010-09-28 2012-04-05 日本電気株式会社 光導波路構造及び光導波路デバイス
US9977188B2 (en) * 2011-08-30 2018-05-22 Skorpios Technologies, Inc. Integrated photonics mode expander
US9625651B2 (en) * 2014-02-06 2017-04-18 Skorpios Technologies, Inc. Integrated multistage taper coupler for waveguide to fiber coupling
US9658396B2 (en) * 2011-09-29 2017-05-23 Intel Corporation Vertical optical coupler for planar photonic circuits
US10288805B2 (en) * 2012-02-13 2019-05-14 Mellanox Technologies Silicon Photonics Inc. Coupling between optical devices
JP5933293B2 (ja) 2012-03-01 2016-06-08 富士通株式会社 光素子、光送信器、光受信器、光送受信器及び光素子の製造方法
US9217836B2 (en) 2012-10-23 2015-12-22 Kotura, Inc. Edge coupling of optical devices
US9274282B2 (en) * 2013-08-23 2016-03-01 Cisco Technology, Inc. Coupling light from an external source to a waveguide using a multi-step converter
JP2015084019A (ja) * 2013-10-25 2015-04-30 富士通株式会社 スポットサイズ変換器及び光装置
KR20150062231A (ko) 2013-11-28 2015-06-08 한국전자통신연구원 반도체 레이저 및 그 제조방법
GB2522410A (en) 2014-01-20 2015-07-29 Rockley Photonics Ltd Tunable SOI laser
GB2522252B (en) 2014-01-20 2016-04-20 Rockley Photonics Ltd Tunable SOI laser
JP6369036B2 (ja) * 2014-02-04 2018-08-08 日本電気株式会社 光導波路及び光導波路の製造方法
FR3018616A1 (fr) * 2014-03-17 2015-09-18 St Microelectronics Crolles 2 Dispositif a interference multi-mode large bande
KR20160147018A (ko) * 2014-04-30 2016-12-21 후아웨이 테크놀러지 컴퍼니 리미티드 저손실 모드 컨버터를 위한 역 테이퍼 도파관
WO2015183992A1 (en) 2014-05-27 2015-12-03 Skorpios Technologies, Inc. Waveguide mode expander using amorphous silicon
US20160306117A1 (en) * 2015-04-17 2016-10-20 Christopher Middlebrook Tapered polymer waveguide
US10317620B2 (en) 2015-07-01 2019-06-11 Rockley Photonics Limited Interposer beam expander chip
EP3206062B1 (en) * 2016-02-12 2023-01-04 Huawei Technologies Research & Development Belgium NV Waveguide structure for optical coupling
GB2547467A (en) 2016-02-19 2017-08-23 Rockley Photonics Ltd Tunable laser
US11699892B2 (en) 2016-02-19 2023-07-11 Rockley Photonics Limited Discrete wavelength tunable laser
GB2552263B (en) 2016-07-13 2019-11-20 Rockley Photonics Ltd Mode converter and method of fabricating thereof
US10811848B2 (en) 2017-06-14 2020-10-20 Rockley Photonics Limited Broadband arbitrary wavelength multichannel laser source
WO2019032735A1 (en) 2017-08-08 2019-02-14 Massachusetts Institute Of Technology SYSTEMS AND METHODS FOR RAMAN SPECTROMETER WITH MINIATURIZED FOURIER TRANSFORM
US10649148B2 (en) 2017-10-25 2020-05-12 Skorpios Technologies, Inc. Multistage spot size converter in silicon photonics
US11041759B2 (en) 2018-06-28 2021-06-22 Massachusetts Institute Of Technology Systems and methods for Raman spectroscopy
CN109445032A (zh) * 2019-01-14 2019-03-08 科新网通科技有限公司 SiON波导与光纤耦合结构及其制作方法
US11360263B2 (en) 2019-01-31 2022-06-14 Skorpios Technologies. Inc. Self-aligned spot size converter
US10983003B2 (en) 2019-02-11 2021-04-20 Massachusetts Institute Of Technology High-performance on-chip spectrometers and spectrum analyzers
CN113167970A (zh) * 2019-04-01 2021-07-23 洛克利光子有限公司 光子掩埋中介层
US10731988B1 (en) * 2019-07-10 2020-08-04 Anello Photonics, Inc. System architecture for integrated photonics optical gyroscopes
US11506496B2 (en) 2019-07-10 2022-11-22 Anello Photonics, Inc. System architecture for integrated photonics optical gyroscopes
US11588062B2 (en) * 2020-10-08 2023-02-21 Globalfoundries U.S. Inc. Photodetectors including a coupling region with multiple tapers
CN112285829A (zh) * 2020-11-23 2021-01-29 亨通洛克利科技有限公司 硅基光斑模场转化器及其制作工艺
CN112612078B (zh) * 2020-12-18 2023-02-10 海南师范大学 一种基于goi或soi上的高效耦合波导及其制备方法
CN113534337B (zh) * 2021-07-15 2022-08-16 中南大学 一种硅光子芯片光耦合结构加工方法及结构
WO2024094814A1 (en) * 2022-11-03 2024-05-10 Consorzio Nazionale Interuniversitario Per Le Telecomunicazioni Optical coupler and fabrication method thereof

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5078516A (en) * 1990-11-06 1992-01-07 Bell Communications Research, Inc. Tapered rib waveguides
FR2684823B1 (fr) * 1991-12-04 1994-01-21 Alcatel Alsthom Cie Gle Electric Composant optique semi-conducteur a mode de sortie elargi et son procede de fabrication.
US5444805A (en) * 1992-03-07 1995-08-22 Robert Bosch Gmbh Integrated optical component
JPH07333450A (ja) * 1994-06-08 1995-12-22 Hoechst Japan Ltd 光結合用導波路の形成方法及び光結合用導波路を有する光導波路素子
EP1015921A1 (en) * 1996-05-03 2000-07-05 Bookham Technology PLC Connection between an integrated optical waveguide and an optical fibre

Also Published As

Publication number Publication date
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US6108478A (en) 2000-08-22

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