CN114618754A

CN114618754A - 一种晶圆片玻璃浆填充装置

Info

Publication number: CN114618754A
Application number: CN202210526863.7A
Authority: CN
Inventors: 蒋红全; 胡仲波; 冯永; 李健儿; 周建余
Original assignee: Sichuan Shangte Technology Co ltd
Current assignee: Sichuan Shangte Technology Co ltd
Priority date: 2022-05-16
Filing date: 2022-05-16
Publication date: 2022-06-14
Anticipated expiration: 2042-05-16
Also published as: CN114618754B

Abstract

一种晶圆片玻璃浆填充装置，包括：传送带以及沿传送带依次设置的上料机构、滴液机构、涂抹机构、烘干部、下料机构；上料机构和下料机构均包括两个承载组件，用于承载晶圆片，上料机构还包括第一推送组件，用于将晶圆片推送至传送带上，滴液机构用于向晶圆片表面滴落玻璃浆，涂抹机构用于将玻璃浆填充至晶圆片的沟槽中，烘干部用于烘干晶圆片表面的玻璃浆；下料机构还包括第二推送组件，用于将晶圆片推送至下料机构中。本方案在一个工作区域内自动实现晶圆片的上料和涂抹玻璃浆后的晶圆片的下料，同时在此过程中实现对晶圆片的滴注玻璃浆、涂抹填充和烘干，减少人工操作，减少材料的浪费，提高产品质量。

Description

一种晶圆片玻璃浆填充装置

技术领域

本发明涉及半导体芯片生产加工技术领域，尤其与一种晶圆片玻璃浆填充装置相关。

背景技术

晶圆片是制作半导体集成电路的主要原料之一，其主要成分是单晶硅，主要用其制作芯片，在晶圆片上进行各种工艺加工，即可制作成具有特定电性功能的集成电路产品，在对晶圆片进行工艺处理的过程中，需要在晶圆片上涂抹玻璃浆，并使玻璃浆充分填充至晶圆片的腐蚀沟槽中。现有技术中一般采用人工进行涂抹填充，效率极低，同时人工涂抹可能导致晶圆片的腐蚀沟槽中不能充分填充满玻璃浆，不仅造成了材料的浪费，还可能影响产品质量；在涂抹玻璃浆后需要将晶圆片转移至下一工序，过程繁琐，消耗了大量人工。

发明内容

针对上述相关现有技术的不足，本申请提供一种晶圆片玻璃浆填充装置，在一个工作区域内自动实现晶圆片的上料和涂抹玻璃浆后的晶圆片的下料，同时在此过程中实现对晶圆片的滴注玻璃浆、涂抹填充和烘干，减少人工操作，减少材料的浪费，提高产品质量。

为了实现上述目的，本发明采用以下技术：

一种晶圆片玻璃浆填充装置，包括：间歇传动的传送带、滴液机构、涂抹机构、烘干部、上料机构、下料机构。

传送带包括圆弧段和分别设于圆弧段两端的两个直线段；滴液机构、涂抹机构和烘干部依次设于圆弧段上，滴液机构用于向晶圆片表面滴落玻璃浆，涂抹机构用于将玻璃浆填充至晶圆片的沟槽中，烘干部内设有烘干装置，用于烘干经过涂抹机构后的晶圆片表面的玻璃浆；传送带起始端的直线段上设有上料机构，另一个直线段上设有下料机构，上料机构和下料机构均包括两个承载组件，且承载组件设于直线段两侧，用于承载晶圆片，上料机构还包括第一推送组件，用于将上料机构中的晶圆片推送至传送带上，下料机构还包括第二推送组件，用于将传送带上的晶圆片推送至下料机构中，第一推送组件及第二推送组件分别设于两个直线段的一端。

进一步地，承载组件包括物料框，物料框设于承载架上，承载架两侧设有滑槽，滑槽内穿设有卡板，卡板顶部设有第二挡板，第二挡板用于抵接到承载架，卡板下端固定在支撑板上，支撑板固定在传送带上，承载架两侧设有齿条，齿条与齿轮配合，齿轮穿设于一转轴上，转轴穿设于卡板上，转轴一端连接第一电机，第一电机安装在卡板上；物料框内部的两侧沿竖直方向均设有多个间隔均匀的隔板，隔板沿其长度方向设有凹槽，凹槽用于承载晶圆片，隔板远离传送带的一端沿竖直方向还设有第一挡板，用于抵接晶圆片。

进一步地，承载架呈U型，承载架内侧壁及物料框的底面沿水平方向均设有多个卡销，承载架内底面及物料框两侧均设有多个卡槽，卡槽与卡销配合。

进一步地，支撑板上穿设有多个压杆，压杆顶部设有支撑块，支撑块用于抵接到承载架的底部，压杆底部设有限位环，限位环用于抵接到支撑板的底面，压杆上还套设有第一弹簧，第一弹簧两端分别抵接到支撑块和支撑板，且第一弹簧始终处于压缩状态。

进一步地，第一推送组件包括第一丝杆、第一连杆，第一丝杆安装于第一横杆中，第一横杆安装在传送带起始端的直线段上，第一丝杆一端连接第二电机，第二电机安装于第一横杆上，第一丝杆上套设有滑板，滑板一端连接第一连杆，且连接位置位于第一连杆的中心，第一连杆呈凹形，且两端均设有支杆，支杆一端设有推杆，推杆呈弧形。

进一步地，第二推送组件包括第二丝杆，第二丝杆安装于第二横杆中，第二横杆垂直安装于其中另一个直线段的一端，第二丝杆一端连接第四电机，第四电机安装于第二横杆上，第二丝杆上套设有第二连杆，第二连杆呈L形，且下端设有推板，推板两侧底面设有弧形的凹部，凹部深度与晶圆片厚度相同。

进一步地，滴液机构包括支架，支架安装于传送带上，支架两侧穿设有支撑杆，支撑杆一端穿设有活动块，活动块底部设有传感器，用于感应晶圆片，支架上设有玻璃浆池，玻璃浆池用于承载玻璃浆，且玻璃浆池下方设有多个间隔均匀的出料管，且出料管穿过支架，用于向晶圆片上滴注玻璃浆，当活动块底部的传感器感应到晶圆片时，出料管打开预定时长。

进一步地，涂抹机构包括第一伸缩杆，传送带的弧形段两侧设有支板，第一伸缩杆竖直安装于支板上，第一伸缩杆上端设有连板，连板上穿设有转动轴，转动轴上端连接第三电机，第三电机安装在连板上，转动轴下端设有刮板，刮板呈连续弯折状，保证刮板倾斜预定角度与晶圆片接触，且刮板下端边缘与晶圆片的直径处于同一直线上，刮板为塑料材质。

进一步地，连板底面设有顶杆，顶杆用于抵接到支板顶面，支板上设有环台，环台内设有第二弹簧，且第二弹簧下端固定在支板上，顶杆至少一部分穿设于第二弹簧中，顶杆周侧还设有第二环台，第二弹簧上端至少一部分位于第二环台中。

进一步地，涂抹机构还包括两个限位杆，传送带的弧形段两侧均设有两个贯穿的通孔，限位杆穿设于通孔中，两个限位杆之间通过横板连接，横板下端连接第二伸缩杆，第二伸缩杆安装于传送带下方，其中一个限位杆侧面穿设有滑杆，滑杆靠近转动轴的一端设有限位板，限位板截面呈L形，且下端呈弧形，滑杆远离转动轴的一端设有弧形板，滑杆上还套设有第三弹簧，第三弹簧两端分别抵接到弧形板和限位杆，且始终处于压缩状态，连板一侧设有压板，其中另一个限位杆朝向转动轴的一侧设有弧形的凸部，用于与晶圆片侧面配合，当压板向下运动时，压板与弧形板侧面接触，以使限位板向凸部靠近，并通过限位板与凸部进行晶圆的定位。

本发明有益效果在于：

将传送带设计成弧形的，使得上料和下料都在同一个工作区域内，可以避免在两个工位增加工作人员，自动上料、下料，减少了人工操作，避免人工操作过程中损伤晶圆片，同时也提高了效率，通过滴液机构能够控制把玻璃浆定量滴加在晶圆片上，避免材料的浪费，通过涂抹机构自动将玻璃浆涂抹填充至晶圆片的腐蚀沟槽中，提高涂抹效果；

利用卡板对承载框进行限位，防止其在上下移动过程中出现晃动，同时在支撑板上设置套设有弹簧的压杆，起到一定的缓冲作用，避免承载框移动至最下方时与支撑板之间发生碰撞而使晶圆片破损；

在隔板的凹槽上设置第一挡板，用于抵接晶圆片，对晶圆片起到限位的作用，防止其从物料框中落出；

在对晶圆片表面的玻璃浆进行涂抹时，用限位杆对其进行限位，防止刮板转动时带动晶圆片转动，保证玻璃浆能够涂抹充分，使玻璃浆能够充分填充至晶圆片的腐蚀沟槽中，同时在刮板下降的过程中，利用弹簧进行缓冲，防止刮板将晶圆片碰裂。

附图说明

本文描述的附图只是为了说明所选实施例，而不是所有可能的实施方案，更不是意图限制本发明的范围。

图1为本申请实施例的整体结构立体示意图。

图2为图2的A处放大示意图。

图3为本申请实施例的上料机构立体示意图。

图4为图3的B处放大示意图。

图5为本申请实施例的物料框与承载架的装配示意图。

图6为本申请实施例的涂抹机构立体示意图。

图7为本申请实施例的限位杆安装示意图。

图8为本申请实施例的第二推送组件立体示意图。

图9为本申请实施例的刮板立体示意图。

图10为本申请实施例的推板仰视示意图。

附图标记说明：100—传送带、200—上料机构、300—滴液机构、400—涂抹机构、500—烘干部、600—下料机构、101—支板、102—环台、103—通孔、201—物料框、202—承载架、203—滑槽、204—卡板、205—支撑板、206—齿轮、207—齿条、208—转轴、209—第一电机、210—隔板、211—凹槽、212—第一挡板、213—卡销、214—卡槽、215—压杆、216—支撑块、217—限位环、218—第一弹簧、219—第一丝杆、220—第一横杆、221—第二电机、222—滑板、223—第一连杆、224—支杆、225—推杆、226—第二挡板、301—支架、302—支撑杆、303—活动块、304—玻璃浆池、305—出料管、401—第一伸缩杆、402—连板、403—转动轴、404—第三电机、405—刮板、4051—第一斜面部、4052—第二斜面部、4053—直线部、406—顶杆、407—第二弹簧、408—第二环台、409—限位杆、410—横板、411—第二伸缩杆、412—滑杆、413—限位板、414—弧形板、415—第三弹簧、416—压板、417—凸部、601—第二丝杆、602—第二横杆、603—第四电机、604—第二连杆、605—推板、606—凹部。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图对本发明的实施方式进行详细说明，但本发明所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。

如图1~图10所示，本实例提供一种晶圆片玻璃浆填充装置，包括：间歇传动的传送带100、上料机构200、滴液机构300、涂抹机构400、烘干部500、下料机构600。

具体地，如图1所示，传送带100包括圆弧段和分别设于圆弧段两端的两个直线段。具体的，圆弧段为类似一个具有缺口的圆环，一个直线段位于圆弧段一端，为传送起始端，另一个直线段位于圆弧段另一端，为输送末端。滴液机构300、涂抹机构400和烘干部500依次设于圆弧段上，滴液机构300用于向晶圆片表面滴落玻璃浆，涂抹机构400用于将玻璃浆填充至晶圆片的沟槽中，烘干部500内设有烘干装置，用于烘干经过涂抹机构400后的晶圆片表面的玻璃浆；上料机构200设于传动带100起始端的直线段处，下料机构600设于输送末端的直线段处，从而使得上料和下料可以在同一个工作区域内，便于操作。具体地，上料机构200和下料机构600均包括两个承载组件，且承载组件设于直线段两侧，用于承载晶圆片，上料机构200还包括第一推送组件，用于将上料机构200中的晶圆片推送至传送带100上，下料机构600还包括第二推送组件，用于将传送带100上的晶圆片推送至下料机构600中，第一推送组件及第二推送组件分别设于两个直线段的一端。

具体地，如图3~图5所示，承载组件包括物料框201，物料框201设于承载架202上，承载架202两侧设有滑槽203，滑槽203内穿设有卡板204，卡板204下端固定在支撑板205上，支撑板205固定在传送带100上，承载架202两侧靠近传送带100处还设有齿条207，齿条207与齿轮206配合，齿轮206穿设于一转轴208上，转轴208穿设于卡板204上，转轴208一端连接第一电机209，第一电机209安装在卡板204上；物料框201内部的两侧沿竖直方向均设有多个间隔均匀的隔板210，隔板210沿其长度方向设有凹槽211，凹槽211用于承载晶圆片，隔板210远离传送带100的一端沿竖直方向还设有第一挡板212，用于抵接晶圆片。

具体地，如图3所示，卡板204顶部设有第二挡板226，第二挡板226用于抵接到承载架202，防止承载架202向上移动过多距离，而使齿条207与齿轮206之间脱离配合。

具体地，如图5所示，承载架202呈U型，为了保证承载架202和物料框201之间配合良好，不发生脱落，在承载架202内侧壁及物料框201的底面沿水平方向均设有多个卡销213，承载架202内底面及物料框201两侧均设有多个卡槽214，卡槽214与卡销213对应配合。

具体地，如图3和图4所示，为了避免承载架202下降过程中直接冲击到支撑板205，在支撑板205上穿设有多个压杆215，压杆215顶部设有支撑块216，支撑块216用于抵接到承载架202的底部，压杆215底部设有限位环217，限位环217用于抵接到支撑板205的底面，压杆215上还套设有第一弹簧218，第一弹簧218两端分别抵接到支撑块216和支撑板205，且第一弹簧218始终处于压缩状态，可以在承载架202下降时起到一定的缓冲作用。

具体地，如图3所示，第一推送组件包括第一丝杆219、第一连杆223，第一丝杆219安装于第一横杆220中，第一横杆220安装在传送带100起始端的直线段上，第一丝杆219一端连接第二电机221，第二电机221安装于第一横杆220上，第一丝杆219上套设有滑板222，滑板222一端连接第一连杆223，且连接位置位于第一连杆223的中心，第一连杆223呈凹形，且两端均设有支杆224，支杆224一端设有推杆225，推杆225呈弧形，增大与晶圆片的接触面积，保证更稳固地推送晶圆片。

具体地，如图2所示，滴液机构300包括支架301，支架301安装于传送带100上，支架301两侧穿设有支撑杆302，支撑杆302一端穿设有活动块303，活动块303底部设有传感器，并用于与晶圆片接触，支架301上设有玻璃浆池304，玻璃浆池304用于承载玻璃浆，且玻璃浆池304下方设有多个间隔均匀的出料管305，且出料管305穿过支架301，用于向晶圆片上滴注玻璃浆，当活动块303底部的传感器感应到晶圆片时，出料管305打开预定的时长，具体打开的时长根据晶圆片的面积大小决定。

具体地，如图6和图7所示，涂抹机构400包括第一伸缩杆401，第一伸缩杆401采用升降气缸，传送带100的弧形段两侧设有支板101，第一伸缩杆401竖直安装于支板101上，第一伸缩杆401上端设有连板402，连板402上穿设有转动轴403，转动轴403上端连接第三电机404，第三电机404安装在连板402上，转动轴403下端设有刮板405，刮板405呈连续弯折状，保证刮板405倾斜预定角度与晶圆片接触，且刮板405下端边缘与晶圆片的直径处于同一直线上，刮板405为塑料材质，避免损伤晶圆片。

具体地，如图9所示，刮板405包括第一斜面部4051和第二斜面部4052，第一斜面部4051上方设有直线部4053，直线部4053安装在转动轴403上，第一斜面部4051与第二斜面部4052之间互为夹角，且当第二斜面部4052下端的边缘与晶圆片接触时，该边缘与晶圆片上表面的直径处于同一直线上。

具体地，如图6所示，连板402底面设有顶杆406，顶杆406用于抵接到支板101顶面，支板101上设有环台102，环台102内设有第二弹簧407，且第二弹簧407下端固定在支板101上，顶杆406至少一部分穿设于第二弹簧407中，顶杆406周侧还设有第二环台408，第二弹簧407上端至少一部分位于第二环台408中。

具体地，如图7所示，涂抹机构400还包括两个限位杆409，传送带100的弧形段两侧均设有两个贯穿的通孔103，限位杆409穿设于通孔103中，两个限位杆409之间通过横板410连接，横板410下端连接第二伸缩杆411，第二伸缩杆411采用顶推油缸或者顶推气缸，第二伸缩杆411安装于传送带100下方，其中一个限位杆409侧面穿设有滑杆412，滑杆412靠近转动轴403的一端设有限位板413，限位板413截面呈L形，且下端呈弧形，滑杆412远离转动轴403的一端设有弧形板414，滑杆412上还套设有第三弹簧415，第三弹簧415两端分别抵接到弧形板414和限位杆409，且始终处于压缩状态，连板402一侧设有压板416，其中另一个限位杆409朝向转动轴403的一侧设有弧形的凸部417，用于与晶圆片侧面配合，当压板416向下运动时，压板416与弧形板414侧面接触，以使限位板413向凸部417靠近，并通过限位板413与凸部417进行晶圆的定位。

具体地，如图8和图10所示，第二推送组件包括第二丝杆601，第二丝杆601安装于第二横杆602中，第二横杆602垂直安装于其中另一个直线段的一端，第二丝杆601一端连接第四电机603，第四电机603安装于第二横杆602上，第二丝杆601上套设有第二连杆604，第二连杆604呈L形，且下端设有推板605，推板605两侧底面设有弧形的凹部606，凹部606深度与晶圆片厚度相同，在推板605运动时，凹部606与晶圆片的侧边相配合。

具体的实施方式如下描述：

如图1所示，首先启动第二电机221，驱动第一丝杆219转动，使滑板222移动至第一丝杆219的一端，保证推杆225与承载架202之间有足够的距离用来穿过物料框201，然后将装有晶圆片的物料框201放置在上料机构200的承载架202上，上料机构200的物料框201用于向传送带100输送晶圆片，将空置的物料框201放置在下料机构600的承载架202上，下料机构600的物料框201用于承接涂抹玻璃浆并烘干后的晶圆片，并使两者的卡槽214与卡销213相互配合，避免物料框201在移动的过程中滑动。

上料时，上料机构200和传送带100进行如下操作以进行上料：启动传送带100，使其开始间歇式运动，在当传送带100停止时，启动第二电机221，驱动第一丝杆219转动，使第一连杆223沿第一横杆220长度方向移动，该移动方向垂直于传送带100传送起始端的的直线段输送方向，如图3所示，第一连杆223朝向右侧移动，位于第一连杆223左端的推杆225的弧形部分与上料机构200的位于传送带100左侧的物料框201中的晶圆片侧面接触，并将晶圆片推送至传送带100上，而第一连杆223右端的推杆225会远离传送带100右侧物料框201，然后再次启动第二电机221，驱动第一丝杆219反转，使推杆225退回到原位置；此时传送带100再次开始运动，带动晶圆片向前移动，与此同时，启动传送带100左侧的第一电机209，驱使套设于转轴208上的齿轮206转动，从而通过齿条207带动与之配合的承载架202向下移动预定距离；

在传送带100再次停止时，再次启动第二电机221并反转，使第一连杆223朝向左侧移动，位于第一连杆223右端的推杆225的弧形部分与上料机构200的位于传送带100右侧的物料框201中的晶圆片侧面接触，并将晶圆片推送至传送带100上，而第一连杆223左端的推杆225会远离传送带100左侧的物料框201，然后传送带100再次启动，将晶圆片输送至滴液机构300，与此同时，传送带100右侧的第一电机209启动，使右侧的承载架202下降预定距离，传送起始端的传送带100两侧的承载组件如此反复运动，源源不断地将晶圆片输送至传送带100上。

当晶圆片输送至滴液机构300下方时，活动块303底部的传感器与晶圆片接触，则出料管305打开预定时间，向晶圆片上滴落一定量的玻璃浆，表面有玻璃浆的晶圆片输送至涂抹机构400下方，此时传送带100恰好处于停止状态，启动第二伸缩杆411，将两个限位杆409从传送带100的通孔103推入，然后启动第一伸缩杆401，使连板402下降，直到顶杆406抵接到支板101顶面，此时刮板405与晶圆片表面接触，而在连板402下降的过程中，压板416与弧形板414侧面接触，并迫使第三弹簧415进一步压缩，使滑杆412移动，在弧形板414和另一个限位杆409侧面的弧形的凸部417配合下，将晶圆片进行限位，防止刮板405转动时带动晶圆片转动，然后启动第三电机404，驱使转动轴403转动，以带动与之连接的刮板405转动，将晶圆片表面的玻璃浆涂抹至晶圆片表面的腐蚀沟槽中，使腐蚀沟槽充满玻璃浆，然后启动第一伸缩杆401，使连板402上升，再启动第二伸缩杆411，使限位杆409从传送带100上脱离，此时传送带100继续运动，将涂抹填充有玻璃浆的晶圆片输送至烘干部500的区域中，将玻璃浆烤干，最后再输送至下料机构600处，启动第四电机603，驱使第二丝杆601转动，使第二连杆604移动，其下端的推板605将晶圆片推送至相向的物料框201，位于传送带100右端的物料框201移动方式，也保持与上料机构200的运作方式相同，这里不再赘述。

以上仅为本发明的优选实施例，并不用于限制本发明，显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims

1.一种晶圆片玻璃浆填充装置，其特征在于，包括：

间歇传动的传送带（100），包括圆弧段和分别设于圆弧段两端的两个直线段；

依次设于圆弧段上的滴液机构（300）、涂抹机构（400）和烘干部（500）；

所述滴液机构（300）用于向晶圆片表面滴落玻璃浆，所述涂抹机构（400）用于将玻璃浆填充至晶圆片的沟槽中，所述烘干部（500）内设有烘干装置，用于烘干经过所述涂抹机构（400）后的晶圆片表面的玻璃浆；

传送带（100）起始端的直线段上设有上料机构（200），另一个直线段上设有下料机构（600），所述上料机构（200）和所述下料机构（600）均包括两个承载组件，且所述承载组件设于直线段两侧，用于承载晶圆片，所述上料机构（200）还包括第一推送组件，用于将上料机构（200）中的晶圆片推送至所述传送带（100）上，所述下料机构（600）还包括第二推送组件，用于将所述传送带（100）上的晶圆片推送至所述下料机构（600）中；

所述第一推送组件及所述第二推送组件分别设于两个直线段的一端。

2.根据权利要求1所述的晶圆片玻璃浆填充装置，其特征在于，所述承载组件包括物料框（201），所述物料框（201）设于承载架（202）上，所述承载架（202）两侧设有滑槽（203），所述滑槽（203）内穿设有卡板（204），所述卡板（204）下端固定在支撑板（205）上，所述支撑板（205）固定在所述传送带（100）上，所述承载架（202）两侧设有齿条（207），所述齿条（207）与齿轮（206）配合，所述齿轮（206）穿设于一转轴（208）上，所述转轴（208）穿设于所述卡板（204）上，所述转轴（208）一端连接第一电机（209），所述第一电机（209）安装在所述卡板（204）上；

所述物料框（201）内部的两侧沿竖直方向均设有多个间隔均匀的隔板（210），所述隔板（210）沿其长度方向设有凹槽（211），所述凹槽（211）用于承载晶圆片。

3.根据权利要求2所述的晶圆片玻璃浆填充装置，其特征在于，所述承载架（202）呈U型，所述承载架（202）内侧壁及所述物料框（201）的底面沿水平方向均设有多个卡销（213），所述承载架（202）内底面及所述物料框（201）两侧均设有多个卡槽（214），所述卡槽（214）与所述卡销（213）配合。

4.根据权利要求2所述的晶圆片玻璃浆填充装置，其特征在于，所述支撑板（205）上穿设有多个压杆（215），所述压杆（215）顶部设有支撑块（216），所述支撑块（216）用于抵接到所述承载架（202）的底部，所述压杆（215）底部设有限位环（217），所述限位环（217）用于抵接到所述支撑板（205）的底面，所述压杆（215）上还套设有第一弹簧（218），所述第一弹簧（218）两端分别抵接到所述支撑块（216）和所述支撑板（205），且所述第一弹簧（218）始终处于压缩状态。

5.根据权利要求1所述的晶圆片玻璃浆填充装置，其特征在于，所述第一推送组件包括第一丝杆（219）、第一连杆（223），所述第一丝杆（219）安装于第一横杆（220）中，所述第一横杆（220）安装在所述传送带（100）起始端的直线段上，所述第一丝杆（219）一端连接第二电机（221），所述第二电机（221）安装于所述第一横杆（220）上，所述第一丝杆（219）上套设有滑板（222），所述滑板（222）一端连接所述第一连杆（223），且连接位置位于所述第一连杆（223）的中心，所述第一连杆（223）呈U形，且两端均设有支杆（224），所述支杆（224）一端设有推杆（225），所述推杆（225）呈弧形。

6.根据权利要求1所述的晶圆片玻璃浆填充装置，其特征在于，所述滴液机构（300）包括支架（301），所述支架（301）安装于所述传送带（100）上，所述支架（301）两侧穿设有支撑杆（302），所述支撑杆（302）一端穿设有活动块（303），所述活动块（303）底部设有用于感应晶圆片的传感器，所述支架（301）上设有玻璃浆池（304），所述玻璃浆池（304）用于承载玻璃浆，且所述玻璃浆池（304）下方设有多个间隔均匀且用于向晶圆片上滴注玻璃浆的出料管（305），且所述出料管（305）穿过所述支架（301）。

7.根据权利要求1所述的晶圆片玻璃浆填充装置，其特征在于，所述涂抹机构（400）包括第一伸缩杆（401），所述传送带（100）的弧形段两侧设有支板（101），所述第一伸缩杆（401）竖直安装于所述支板（101）上，所述第一伸缩杆（401）上端设有连板（402），所述连板（402）上穿设有转动轴（403），所述转动轴（403）上端连接第三电机（404），所述第三电机（404）安装在所述连板（402）上，所述转动轴（403）下端设有刮板（405），所述刮板（405）呈连续弯折状。

8.根据权利要求7所述的晶圆片玻璃浆填充装置，其特征在于，所述连板（402）底面设有顶杆（406），所述顶杆（406）用于抵接到所述支板（101）顶面，所述支板（101）上设有环台（102），所述环台（102）内设有第二弹簧（407），且所述第二弹簧（407）下端固定在所述支板（101）上，所述顶杆（406）下端穿设于所述第二弹簧（407）中，所述顶杆（406）周侧还设有第二环台（408），所述第二弹簧（407）上端至少一部分位于所述第二环台（408）中。

9.根据权利要求7所述的晶圆片玻璃浆填充装置，其特征在于，所述涂抹机构（400）还包括两个限位杆（409），所述传送带（100）的弧形段两侧均设有两个贯穿的通孔（103），所述限位杆（409）穿设于所述通孔（103）中，两个所述限位杆（409）之间通过横板（410）连接，所述横板（410）下端连接第二伸缩杆（411），所述第二伸缩杆（411）安装于所述传送带（100）下方，其中一个所述限位杆（409）侧面穿设有滑杆（412），所述滑杆（412）靠近所述转动轴（403）的一端设有限位板（413），所述限位板（413）截面呈L形，且下端呈弧形，所述滑杆（412）远离所述转动轴（403）的一端设有弧形板（414），所述滑杆（412）上还套设有第三弹簧（415），所述第三弹簧（415）两端分别抵接到所述弧形板（414）和所述限位杆（409），且始终处于压缩状态，所述连板（402）一侧设有压板（416），其中另一个所述限位杆（409）朝向所述转动轴（403）的一侧设有弧形的凸部（417），用于与晶圆片侧面配合，当所述压板（416）向下运动时，所述压板（416）与所述弧形板（414）侧面接触，以使所述限位板（413）向所述凸部（417）靠近，并通过所述限位板（413）与所述凸部（417）进行晶圆的定位。

10.根据权利要求1所述的晶圆片玻璃浆填充装置，其特征在于，所述第二推送组件包括第二丝杆（601），所述第二丝杆（601）安装于第二横杆（602）中，所述第二横杆（602）垂直安装于其中另一个直线段的一端，所述第二丝杆（601）一端连接第四电机（603），所述第四电机（603）安装于所述第二横杆（602）上，所述第二丝杆（601）上套设有第二连杆（604），所述第二连杆（604）呈L形，且下端设有推板（605），所述推板（605）两侧底面设有弧形的凹部（606），所述凹部（606）深度与晶圆片厚度相同。