CN114544714B - MOFs导电聚合物复合薄膜气体传感器及制备方法 - Google Patents
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- 239000012621 metal-organic framework Substances 0.000 title claims abstract description 75
- 239000002131 composite material Substances 0.000 title claims abstract description 50
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 title claims abstract description 41
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 title claims abstract description 19
- QMKYBPDZANOJGF-UHFFFAOYSA-N benzene-1,3,5-tricarboxylic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC(C(O)=O)=CC(C(O)=O)=C1 QMKYBPDZANOJGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 52
- 229920001609 Poly(3,4-ethylenedioxythiophene) Polymers 0.000 claims abstract description 51
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 claims abstract description 48
- QQZMWMKOWKGPQY-UHFFFAOYSA-N cerium(3+);trinitrate;hexahydrate Chemical compound O.O.O.O.O.O.[Ce+3].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O QQZMWMKOWKGPQY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 31
- MNUSFSHFJMPRIV-UHFFFAOYSA-N [Co].[Ce] Chemical compound [Co].[Ce] MNUSFSHFJMPRIV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 30
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 29
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 27
- QGUAJWGNOXCYJF-UHFFFAOYSA-N cobalt dinitrate hexahydrate Chemical compound O.O.O.O.O.O.[Co+2].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O QGUAJWGNOXCYJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 26
- GKWLILHTTGWKLQ-UHFFFAOYSA-N 2,3-dihydrothieno[3,4-b][1,4]dioxine Chemical compound O1CCOC2=CSC=C21 GKWLILHTTGWKLQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 18
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims abstract description 12
- 239000000243 solution Substances 0.000 claims description 91
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 39
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 24
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 24
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims description 20
- 238000003756 stirring Methods 0.000 claims description 15
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 13
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 claims description 11
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 claims description 10
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 238000003760 magnetic stirring Methods 0.000 claims description 10
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 10
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 claims description 10
- 238000009210 therapy by ultrasound Methods 0.000 claims description 10
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 8
- 238000007781 pre-processing Methods 0.000 claims description 8
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 6
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 claims description 5
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 claims description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 238000001291 vacuum drying Methods 0.000 claims description 5
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 40
- 239000010408 film Substances 0.000 description 30
- MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N nitrogen oxide Inorganic materials O=[N] MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 21
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 5
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 230000004044 response Effects 0.000 description 4
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 4
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 3
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 3
- MGWGWNFMUOTEHG-UHFFFAOYSA-N 4-(3,5-dimethylphenyl)-1,3-thiazol-2-amine Chemical compound CC1=CC(C)=CC(C=2N=C(N)SC=2)=C1 MGWGWNFMUOTEHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000013329 compounding Methods 0.000 description 2
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 2
- 230000036541 health Effects 0.000 description 2
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 description 2
- JCXJVPUVTGWSNB-UHFFFAOYSA-N nitrogen dioxide Inorganic materials O=[N]=O JCXJVPUVTGWSNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 208000006545 Chronic Obstructive Pulmonary Disease Diseases 0.000 description 1
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003916 acid precipitation Methods 0.000 description 1
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012491 analyte Substances 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 238000003745 diagnosis Methods 0.000 description 1
- 239000000104 diagnostic biomarker Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 201000010099 disease Diseases 0.000 description 1
- 208000037265 diseases, disorders, signs and symptoms Diseases 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000003344 environmental pollutant Substances 0.000 description 1
- 239000002803 fossil fuel Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 208000019622 heart disease Diseases 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000009776 industrial production Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000002503 metabolic effect Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 description 1
- 239000013110 organic ligand Substances 0.000 description 1
- 230000008520 organization Effects 0.000 description 1
- 239000013618 particulate matter Substances 0.000 description 1
- 238000011056 performance test Methods 0.000 description 1
- 231100000719 pollutant Toxicity 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000003252 repetitive effect Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 230000000241 respiratory effect Effects 0.000 description 1
- 208000023504 respiratory system disease Diseases 0.000 description 1
- 238000004626 scanning electron microscopy Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 231100001234 toxic pollutant Toxicity 0.000 description 1
- -1 znO Chemical class 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
- G01N27/125—Composition of the body, e.g. the composition of its sensitive layer
- G01N27/126—Composition of the body, e.g. the composition of its sensitive layer comprising organic polymers
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- Y02A50/20—Air quality improvement or preservation, e.g. vehicle emission control or emission reduction by using catalytic converters
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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Abstract
本发明公开了一种MOFs导电聚合物复合薄膜气体传感器及制备方法，在金叉指电极表面沉积聚3,4‑乙烯二氧噻吩PEDOT，以六水合硝酸钴、六水合硝酸铈和均苯三甲酸为原料用水浴法合成钴铈基金属有机框架CoCe‑BTC，然后采用旋涂法得到CoCe‑BTC/PEDOT复合薄膜，本方法可以将CoCe‑BTC/PEDOT复合薄膜简单高效地转移到光滑衬底上，制备出的传感器结合了CoCe‑BTC及PEDOT的优点，同时提升了响应度和导电性，稳定性好、成本低，为该类型气体传感器的大规模生产提供一种良好的设计理念。
Description
技术领域
本发明涉及气体敏感材料领域，具体涉及一种MOF/导电聚合物复合薄膜气体传感器及其制备方法。
背景技术
近年来，随着人们对各种有害气体监测和大气污染物控制的日益关注，开发高效的气敏传感器已成为世界各国的共识。二氧化氮(NO2)是一种主要由化石燃料燃烧和工业生产活动产生的具有刺鼻气味的红棕色有毒污染物，主要以不同比例(x)的氮氧化物(NOx)的混合物形式存在。由于其对环境安全和人体健康的潜在危害而备受关注，例如酸雨、光化学烟雾和pm2.5(直径小于等于2.5μm的颗粒物)等都受NO2的影响，接触二氧化氮会使人们面临呼吸系统疾病和心脏病的高风险。世界卫生组织(WHO)要求城市NO2水平在1小时内平均低于200μg/m3(106ppb)，全年平均低于40μg/m3(21ppb)。同时，人体代谢活动产生的NO2是一种诊断的生物标志物。通过检测呼出气体中的NO2含量，可以有效地辅助诊断包括慢性阻塞性肺疾病在内的人类疾病。因此，实现对痕量NO2的高灵敏度、高选择性检测，对环境保护和人身安全具有重要意义。
传统的半导体电阻式气体传感器通常采用金属氧化物(如ZnO、TiO2和SnO2等)作为气体敏感材料，但其通常也存在工作温度(200～400℃)和检测限较高等问题。当金属氧化物材料长期工作在温度较高的环境中，会导致其逐渐老化、晶粒受热生长，导致传感器稳定性逐渐降低、寿命缩短等问题。同时，较高的工作温度也增加了器件功耗，限制了其在危险环境中的应用，提高了其在智能手表、手机等可穿戴便携设备中应用的难度。另一方面，检测浓度较高也使得该类气体传感器难以满足空气质量检测(通常小于几十ppm)和呼出气体成分分析(通常从几十ppb到几ppm之间)的需求。
近年来MOFs的研究进展表明，MOFs在开发低成本、超快速、高灵敏度和高选择性的气体传感器方面具有广阔的应用前景。MOFs对气体分析物的电阻变化通常记录为直流测量，例如化学电阻。而这种方法在技术上具有挑战性，因为许多MOFs具有接近普通绝缘体(如氧化铝)的电阻率。因此，许多研究人员致力于寻找低电阻率MOFs。
近年来，通过MOFs与导电聚合物复合来调控MOFs的导电性逐渐受到重视，这种方法能够在MOFs与导电聚合物间形成施主-受主结构，有效地提升MOFs导电性，而且聚合物与有机配体的相容性好。
发明内容
本发明要解决的技术问题是：解决MOFs在气体传感器应用方面存在的导电性差的问题，提供一种将CoCe-BTC与PEDOT进行共混复合制得的适用于化学电阻传感器的MOF/导电聚合物复合薄膜气体传感器及其制备方法，制备的复合敏感材料结合了CoCe-BTC和PEDOT的优点，具有较好的气敏性、导电性及循环稳定性，综合性能得到了较大的提升。
本发明所采用的技术方案如下：
一种MOFs导电聚合物复合薄膜气体传感器的制备方法，在金叉指电极表面沉积聚3,4-乙烯二氧噻吩PEDOT，以六水合硝酸钴、六水合硝酸铈和均苯三甲酸为原料用水浴法合成钴铈基金属有机框架CoCe-BTC，然后采用旋涂法得到CoCe-BTC/PEDOT复合薄膜。
作为优选方式，所述制备方法包括以下步骤：
S1、以六水合硝酸钴、六水合硝酸铈和均苯三甲酸为原料用水浴法合成钴铈基金属有机框架CoCe-BTC；
S2、对氧化硅衬底进行清洗预处理，然后在表面制备金叉指电极；
S3、在步骤S2得到的叉指电极上旋涂聚3,4-乙烯二氧噻吩PEDOT，放至热台干燥；
S4、在步骤S3得到的叉指电极上旋涂钴铈基金属有机框架CoCe-BTC，放至热台干燥，即得具有MOFs导电聚合物复合薄膜CoCe-BTC/PEDOT的气体传感器。
作为优选方式，步骤S1具体包括如下步骤：
S101、将一定比例的六水合硝酸钴和六水合硝酸铈依次溶解在第一溶剂中，充分搅拌形成均匀的混合溶液；
S102、将一定量的均苯三甲酸溶解在第二溶剂中，充分搅拌均匀；
S103、将步骤S101、S102得到的溶液混合，放置于水浴锅中，温度为90～100℃，搅拌1.5～2小时；
S104、将步骤S103得到的溶液离心、清洗2～3次，60～80℃真空干燥4～5小时，即得钴铈基金属有机框架CoCe-BTC。
作为优选方式，步骤S3具体包括如下步骤：
S301、取一定量聚3,4-乙烯二氧噻吩PEDOT水分散液，40～60℃烘干后，分散于无水乙醇中，先超声20～30分钟，再磁力搅拌20～30分钟，得到第一溶液；
S302、将步骤S301所得第一溶液旋涂至步骤S2所得叉指电极上，移至热台干燥。
作为优选方式，步骤S4具体包括如下步骤：
S401、取一定量钴铈基金属有机框架CoCe-BTC，溶解于无水乙醇中，先超声20～30分钟，再磁力搅拌20～30分钟，得到第二溶液；
S402、将步骤S401所得第二溶液旋涂至步骤S302第一溶液旋涂后的叉指电极上，移至热台干燥，即得具有MOFs导电聚合物复合薄膜CoCe-BTC/PEDOT的气体传感器。
作为优选方式，步骤S101中六水合硝酸钴和六水合硝酸铈的摩尔比为(1～1.2)：10；
并且/或者步骤S102中六水合硝酸铈和均苯三甲酸的摩尔比为(0.8～1)：1。
并且/或者步骤S101中的第一溶剂采用去离子水，用于溶解六水合硝酸钴和六水合硝酸铈；
并且/或者步骤S102中的第二溶剂采用无水乙醇和去离子水的混合溶液，体积比为1:1，用于溶解均苯三甲酸。
作为优选方式，步骤S301中，PEDOT水溶液与无水乙醇的体积比为1：(10～15)；
并且/或者步骤S302中，旋涂第一溶液时先以700RPM的转速旋3秒，再以2000RPM的转速旋20秒；
并且/或者步骤S302中，在步骤S2所得叉指电极上先旋涂5～10层第一溶液，移至热台干燥3～5分钟，再旋涂5～10层第一溶液，移至热台干燥3～5分钟；
并且/或者步骤S302中，旋涂多层第一溶液时每层旋涂取5～10μl第一溶液。
作为优选方式，步骤S401中，第二溶液中CoCe-BTC的浓度为20～40g/L；
并且/或者步骤S402中，将第二溶液旋涂时先以700RPM的转速旋3秒，再以2000RPM的转速旋20秒；
并且/或者步骤S402中，将步骤S401所得第二溶液旋涂1～3层至步骤S302第一溶液旋涂后的叉指电极上，移至热台干燥5～7分钟；
并且/或者步骤S402中，每层取5～10μl步骤S401所得的第二溶液旋涂至步骤S302第一溶液旋涂后的叉指电极上。
作为优选方式，热台温度为45～65℃。
作为优选方式，步骤S2中的金叉指电极间距为50μm。
优选地，步骤S104中清洗优选采用无水乙醇，一般清洗3次。
本发明还提供一种所述制备方法得到的MOFs导电聚合物复合薄膜气体传感器。
本发明的有益效果为：
本发明的方法通过在带有金叉指电极的氧化硅衬底上利用旋涂法制备CoCe-BTC/PEDOT复合敏感材料，所制得的复合材料结合了CoCe-BTC和PEDOT的优点，具有优异的气体敏感性、导电性及循环稳定性。
附图内容
图1为本发明CoCe-BTC/PEDOT复合薄膜气体传感器的结构示意图，图1中右下角为叉指电极；
图2为本发明实施例5制备的复合薄膜传感器叉指电极表面的CoCe-BTC/PEDOT复合薄膜和对比例1的扫描电镜对比图；其中(a)为本发明实施例5制备的复合薄膜传感器叉指电极表面的CoCe-BTC/PEDOT复合薄膜的扫描电镜图，(b)为对比例1的扫描电镜图。
图3为本发明实施例5的NO2动态响应测试图；
图4为本发明实施例5的重复性能测试图；
1为叉指电极，2为PEDOT，3为钴铈基金属有机框架CoCe-BTC。
具体实施方式
下面通过附图和实施例对本发明作进一步的说明。
对本发明最终所制备的传感器进行扫描电镜测试，结果如图2(a)所示，可以发现叉指电极表面附着由分散的CoCe-BTC和PEDOT纳米颗粒组成的薄膜。形貌图可以看出CoCe-BTC具有棒状形貌，且表面光滑。
将本发明最终所制备的CoCe-BTC/PEDOT气体传感器放入测试系统中测量电阻值，通过电阻值的变化来判断传感器的性能。先通入N2，保持环境干燥，待传感器稳定下来，通入50ppm的NO2气体，老化数次，待传感器基础电阻稳定下来，开始进行传感器的动态响应测试，依次通入5ppm、10ppm、20ppm、30ppm、40ppm、50ppm浓度的NO2气体。图3是该传感器的动态响应曲线图，图4是传感器对50ppm NO2的重复性曲线图。测试结果表明传感器对5-50ppm的NO2具有十分优异的响应能力，且具有良好的重复性。
对比例1
对比例1提供一种导电聚合物气体传感器的制备方法，包括步骤：
S1、对氧化硅衬底进行清洗预处理，然后在表面制备金叉指电极；
S2、在步骤S1得到的叉指电极上旋涂聚3,4-乙烯二氧噻吩PEDOT，放至热台干燥；即得导电聚合物PEDOT的气体传感器。
对所制备的传感器样品进行扫描电镜测试，结果如图2(b)所示。
实施例1
本实施例提供一种MOFs导电聚合物复合薄膜气体传感器的制备方法，在金叉指电极表面沉积聚3,4-乙烯二氧噻吩PEDOT，以六水合硝酸钴、六水合硝酸铈和均苯三甲酸为原料用水浴法合成钴铈基金属有机框架CoCe-BTC，然后采用旋涂法得到CoCe-BTC/PEDOT复合薄膜。
实施例2
本实施例提供一种MOFs导电聚合物复合薄膜气体传感器的制备方法，包括以下步骤：
S1、以六水合硝酸钴、六水合硝酸铈和均苯三甲酸为原料用水浴法合成钴铈基金属有机框架CoCe-BTC；
S2、对氧化硅衬底进行清洗预处理，然后在表面制备金叉指电极；
S3、在步骤S2得到的叉指电极上旋涂聚3,4-乙烯二氧噻吩PEDOT，放至热台干燥；
S4、在步骤S3得到的叉指电极上旋涂钴铈基金属有机框架CoCe-BTC，放至热台干燥，即得具有MOFs导电聚合物复合薄膜CoCe-BTC/PEDOT的气体传感器。
实施例3
本实施例提供一种MOFs导电聚合物复合薄膜气体传感器的制备方法，包括以下步骤：
(1)S1、以六水合硝酸钴、六水合硝酸铈和均苯三甲酸为原料用水浴法合成钴铈基金属有机框架CoCe-BTC；
具体的，步骤S1具体包括如下步骤：
S101、将一定比例的六水合硝酸钴和六水合硝酸铈依次溶解在第一溶剂中，充分搅拌形成均匀的混合溶液；
优选的，步骤S101中六水合硝酸钴和六水合硝酸铈的摩尔比为1：10；
优选的，步骤S101中的第一溶剂采用去离子水，用于溶解六水合硝酸钴和六水合硝酸铈；
S102、将一定量的均苯三甲酸溶解在第二溶剂中，充分搅拌均匀；
优选的，步骤S102中六水合硝酸铈和均苯三甲酸的摩尔比为0.9：1。
优选的，步骤S102中的第二溶剂采用无水乙醇和去离子水的混合溶液，体积比为1:1，用于溶解均苯三甲酸。
S103、将步骤S101、S102得到的溶液混合，放置于水浴锅中，温度为95℃，搅拌1.5小时；
S104、将步骤S103得到的溶液离心、清洗2次，70℃真空干燥4小时，即得钴铈基金属有机框架CoCe-BTC。
优选地，步骤S104中清洗优选采用无水乙醇，一般清洗3次。
(2)S2、对氧化硅衬底进行清洗预处理，然后在表面制备金叉指电极；优选的，步骤S2中的金叉指电极间距为50μm。
(3)S3、在步骤S2得到的叉指电极上旋涂聚3,4-乙烯二氧噻吩PEDOT，放至热台干燥；优选的，热台温度为45℃。
具体的，步骤S3具体包括如下步骤：
S301、取一定量聚3,4-乙烯二氧噻吩PEDOT水分散液，40℃烘干后，分散于无水乙醇中，先超声20分钟，再磁力搅拌20分钟，得到第一溶液；
优选的，步骤S301中，PEDOT水溶液与无水乙醇的体积比为1：12；
S302、将步骤S301所得第一溶液旋涂至步骤S2所得叉指电极上，移至热台干燥。
优选的，热台温度为45℃。
优选的，步骤S302中，旋涂第一溶液时先以700RPM的转速旋3秒，再以2000RPM的转速旋20秒；
优选的，步骤S302中，在步骤S2所得叉指电极上先旋涂7层第一溶液，移至热台干燥3分钟，再旋涂7层第一溶液，移至热台干燥3分钟；优选的，热台温度为45℃。
优选的，步骤S302中，旋涂多层第一溶液时每层旋涂取5μl第一溶液。
(4)S4、在步骤S3得到的叉指电极上旋涂钴铈基金属有机框架CoCe-BTC，放至热台干燥，即得具有MOFs导电聚合物复合薄膜CoCe-BTC/PEDOT的气体传感器。
具体的，步骤S4具体包括如下步骤：
S401、取一定量钴铈基金属有机框架CoCe-BTC，溶解于无水乙醇中，先超声20分钟，再磁力搅拌20分钟，得到第二溶液；
优选的，步骤S401中，第二溶液中CoCe-BTC的浓度为20g/L；
S402、将步骤S401所得第二溶液旋涂至步骤S302第一溶液旋涂后的叉指电极上，移至热台干燥，即得具有MOFs导电聚合物复合薄膜CoCe-BTC/PEDOT的气体传感器。
优选的，步骤S402中，将第二溶液旋涂时先以700RPM的转速旋3秒，再以2000RPM的转速旋20秒；
优选的，步骤S402中，将步骤S401所得第二溶液旋涂2层至步骤S302第一溶液旋涂后的叉指电极上，移至热台干燥5分钟；优选的，热台温度为45℃。
优选的，步骤S402中，每层取5μl步骤S401所得的第二溶液旋涂至步骤S302第一溶液旋涂后的叉指电极上。
通过上述制备方法得到的导电聚合物复合薄膜气体传感器，具有金属有机骨架化合物MOFs结构。
实施例4
本实施例提供一种MOFs导电聚合物复合薄膜气体传感器的制备方法，包括以下步骤：
(1)S1、以六水合硝酸钴、六水合硝酸铈和均苯三甲酸为原料用水浴法合成钴铈基金属有机框架CoCe-BTC；
具体的，步骤S1具体包括如下步骤：
S101、将一定比例的六水合硝酸钴和六水合硝酸铈依次溶解在第一溶剂中，充分搅拌形成均匀的混合溶液；
优选的，步骤S101中六水合硝酸钴和六水合硝酸铈的摩尔比为1.2：10；
优选的，步骤S101中的第一溶剂采用去离子水，用于溶解六水合硝酸钴和六水合硝酸铈；
S102、将一定量的均苯三甲酸溶解在第二溶剂中，充分搅拌均匀；
优选的，步骤S102中六水合硝酸铈和均苯三甲酸的摩尔比为1：1。
优选的，步骤S102中的第二溶剂采用无水乙醇和去离子水的混合溶液，体积比为1:1，用于溶解均苯三甲酸。
S103、将步骤S101、S102得到的溶液混合，放置于水浴锅中，温度为100℃，搅拌1.5小时；
S104、将步骤S103得到的溶液离心、清洗3次，80℃真空干燥4.5小时，即得钴铈基金属有机框架CoCe-BTC。
优选地，步骤S104中清洗优选采用无水乙醇，一般清洗3次。
(2)S2、对氧化硅衬底进行清洗预处理，然后在表面制备金叉指电极；优选的，步骤S2中的金叉指电极间距为50μm。
(3)S3、在步骤S2得到的叉指电极上旋涂聚3,4-乙烯二氧噻吩PEDOT，放至热台干燥；优选的，热台温度为65℃。
具体的，步骤S3具体包括如下步骤：
S301、取一定量聚3,4-乙烯二氧噻吩PEDOT水分散液，60℃烘干后，分散于无水乙醇中，先超声30分钟，再磁力搅拌30分钟，得到第一溶液；
优选的，步骤S301中，PEDOT水溶液与无水乙醇的体积比为1：15；
S302、将步骤S301所得第一溶液旋涂至步骤S2所得叉指电极上，移至热台干燥。
优选的，热台温度为65℃。
优选的，步骤S302中，旋涂第一溶液时先以700RPM的转速旋3秒，再以2000RPM的转速旋20秒；
优选的，步骤S302中，在步骤S2所得叉指电极上先旋涂10层第一溶液，移至热台干燥5分钟，再旋涂10层第一溶液，移至热台干燥5分钟；优选的，热台温度为65℃。
优选的，步骤S302中，旋涂多层第一溶液时每层旋涂取7μl第一溶液。
(4)S4、在步骤S3得到的叉指电极上旋涂钴铈基金属有机框架CoCe-BTC，放至热台干燥，即得具有MOFs导电聚合物复合薄膜CoCe-BTC/PEDOT的气体传感器。
具体的，步骤S4具体包括如下步骤：
S401、取一定量钴铈基金属有机框架CoCe-BTC，溶解于无水乙醇中，先超声30分钟，再磁力搅拌30分钟，得到第二溶液；
优选的，步骤S401中，第二溶液中CoCe-BTC的浓度为40g/L；
S402、将步骤S401所得第二溶液旋涂至步骤S302第一溶液旋涂后的叉指电极上，移至热台干燥，即得具有MOFs导电聚合物复合薄膜CoCe-BTC/PEDOT的气体传感器。
优选的，步骤S402中，将第二溶液旋涂时先以700RPM的转速旋3秒，再以2000RPM的转速旋20秒；
优选的，步骤S402中，将步骤S401所得第二溶液旋涂3层至步骤S302第一溶液旋涂后的叉指电极上，移至热台干燥7分钟；优选的，热台温度为65℃。
优选的，步骤S402中，每层取7μl步骤S401所得的第二溶液旋涂至步骤S302第一溶液旋涂后的叉指电极上。
通过上述制备方法得到的导电聚合物复合薄膜气体传感器，具有金属有机骨架化合物MOFs结构。
实施例5
本实施例提供一种MOFs导电聚合物复合薄膜气体传感器的制备方法，包括以下步骤：
(1)S1、以六水合硝酸钴、六水合硝酸铈和均苯三甲酸为原料用水浴法合成钴铈基金属有机框架CoCe-BTC；
具体的，步骤S1具体包括如下步骤：
S101、将一定比例的六水合硝酸钴和六水合硝酸铈依次溶解在第一溶剂中，充分搅拌形成均匀的混合溶液；
优选的，步骤S101中六水合硝酸钴和六水合硝酸铈的摩尔比为1.1：10；
优选的，步骤S101中的第一溶剂采用去离子水，用于溶解六水合硝酸钴和六水合硝酸铈；
S102、将一定量的均苯三甲酸溶解在第二溶剂中，充分搅拌均匀；
优选的，步骤S102中六水合硝酸铈和均苯三甲酸的摩尔比为0.8：1。
优选的，步骤S102中的第二溶剂采用无水乙醇和去离子水的混合溶液，体积比为1:1，用于溶解均苯三甲酸。
S103、将步骤S101、S102得到的溶液混合，放置于水浴锅中，温度为90℃，搅拌2小时；
S104、将步骤S103得到的溶液离心、清洗3次，60℃真空干燥5小时，即得钴铈基金属有机框架CoCe-BTC。
优选地，步骤S104中清洗优选采用无水乙醇，一般清洗3次。
(2)S2、对氧化硅衬底进行清洗预处理，然后在表面制备金叉指电极；优选的，步骤S2中的金叉指电极间距为50μm。
(3)S3、在步骤S2得到的叉指电极上旋涂聚3,4-乙烯二氧噻吩PEDOT，放至热台干燥；优选的，热台温度为55℃。
具体的，步骤S3具体包括如下步骤：
S301、取一定量聚3,4-乙烯二氧噻吩PEDOT水分散液，50℃烘干后，分散于无水乙醇中，先超声25分钟，再磁力搅拌25分钟，得到第一溶液；
优选的，步骤S301中，PEDOT水溶液与无水乙醇的体积比为1：10；
S302、将步骤S301所得第一溶液旋涂至步骤S2所得叉指电极上，移至热台干燥。
优选的，热台温度为55℃。
优选的，步骤S302中，旋涂第一溶液时先以700RPM的转速旋3秒，再以2000RPM的转速旋20秒；
优选的，步骤S302中，在步骤S2所得叉指电极上先旋涂5层第一溶液，移至热台干燥4分钟，再旋涂5层第一溶液，移至热台干燥4分钟；优选的，热台温度为55℃。
优选的，步骤S302中，旋涂多层第一溶液时每层旋涂取10μl第一溶液。
(4)S4、在步骤S3得到的叉指电极上旋涂钴铈基金属有机框架CoCe-BTC，放至热台干燥，即得具有MOFs导电聚合物复合薄膜CoCe-BTC/PEDOT的气体传感器。
具体的，步骤S4具体包括如下步骤：
S401、取一定量钴铈基金属有机框架CoCe-BTC，溶解于无水乙醇中，先超声25分钟，再磁力搅拌25分钟，得到第二溶液；
优选的，步骤S401中，第二溶液中CoCe-BTC的浓度为30g/L；
S402、将步骤S401所得第二溶液旋涂至步骤S302第一溶液旋涂后的叉指电极上，移至热台干燥，即得具有MOFs导电聚合物复合薄膜CoCe-BTC/PEDOT的气体传感器。
优选的，步骤S402中，将第二溶液旋涂时先以700RPM的转速旋3秒，再以2000RPM的转速旋20秒；
优选的，步骤S402中，将步骤S401所得第二溶液旋涂1层至步骤S302第一溶液旋涂后的叉指电极上，移至热台干燥6分钟；优选的，热台温度为55℃。
优选的，步骤S402中，每层取10μl步骤S401所得的第二溶液旋涂至步骤S302第一溶液旋涂后的叉指电极上。
通过上述制备方法得到的导电聚合物复合薄膜气体传感器，具有金属有机骨架化合物MOFs结构。
最后应说明的是，上述实施例仅用以示范性说明本发明的技术方案，而并非用于限制本发明，凡是不脱离本发明的精神和原则之内，对本发明进行的任何修改、等同替换和改进等，均应由本发明的权利要求所涵盖。
Claims (9)
1.一种MOFs导电聚合物复合薄膜气体传感器的制备方法，其特征在于：
在金叉指电极表面沉积聚3,4-乙烯二氧噻吩PEDOT，以六水合硝酸钴、六水合硝酸铈和均苯三甲酸为原料用水浴法合成钴铈基金属有机框架CoCe-BTC，然后采用旋涂法得到CoCe-BTC/PEDOT复合薄膜；
包括以下步骤：
S1、以六水合硝酸钴、六水合硝酸铈和均苯三甲酸为原料用水浴法合成钴铈基金属有机框架CoCe-BTC；
S2、对氧化硅衬底进行清洗预处理，然后在表面制备金叉指电极；
S3、在步骤S2得到的叉指电极上旋涂聚3,4-乙烯二氧噻吩PEDOT，放至热台干燥；
S4、在步骤S3得到的叉指电极上旋涂钴铈基金属有机框架CoCe-BTC，放至热台干燥，即得具有MOFs导电聚合物复合薄膜CoCe-BTC/PEDOT的气体传感器。
2.根据权利要求1所述的MOFs导电聚合物复合薄膜气体传感器的制备方法，其特征在于，步骤S1具体包括如下步骤：
S101、将一定比例的六水合硝酸钴和六水合硝酸铈依次溶解在第一溶剂中，充分搅拌形成均匀的混合溶液；
S102、将一定量的均苯三甲酸溶解在第二溶剂中，充分搅拌均匀；
S103、将步骤S101、S102得到的溶液混合，放置于水浴锅中，温度为90～100℃，搅拌1.5～2小时；
S104、将步骤S103得到的溶液离心、清洗2～3次，60～80℃真空干燥4～5小时，即得钴铈基金属有机框架CoCe-BTC。
3.根据权利要求1所述的MOFs导电聚合物复合薄膜气体传感器的制备方法，其特征在于，步骤S3具体包括如下步骤：
S301、取一定量聚3,4-乙烯二氧噻吩PEDOT水分散液，40～60℃烘干后，分散于无水乙醇中，先超声20～30分钟，再磁力搅拌20～30分钟，得到第一溶液；
S302、将步骤S301所得第一溶液旋涂至步骤S2所得叉指电极上，移至热台干燥。
4.根据权利要求3所述的MOFs导电聚合物复合薄膜气体传感器的制备方法，其特征在于，步骤S4具体包括如下步骤：
S401、取一定量钴铈基金属有机框架CoCe-BTC，溶解于无水乙醇中，先超声20～30分钟，再磁力搅拌20～30分钟，得到第二溶液；
S402、将步骤S401所得第二溶液旋涂至步骤S302第一溶液旋涂后的叉指电极上，移至热台干燥，即得具有MOFs导电聚合物复合薄膜CoCe-BTC/PEDOT的气体传感器。
5.根据权利要求2所述的MOFs导电聚合物复合薄膜气体传感器的制备方法，其特征在于：步骤S101中六水合硝酸钴和六水合硝酸铈的摩尔比为(1～1.2)：10；
并且/或者步骤S102中六水合硝酸铈和均苯三甲酸的摩尔比为(0.8～1)：1；
并且/或者步骤S101中的第一溶剂采用去离子水；
并且/或者步骤S102中的第二溶剂采用无水乙醇和去离子水的混合溶液，体积比为1:1。
6.根据权利要求3所述的MOFs导电聚合物复合薄膜气体传感器的制备方法，其特征在于：步骤S301中，PEDOT水溶液与无水乙醇的体积比为1：(10～15)；
并且/或者步骤S302中，旋涂第一溶液时先以700RPM的转速旋3秒，再以2000RPM的转速旋20秒；
并且/或者步骤S302中，在步骤S2所得叉指电极上先旋涂5～10层第一溶液，移至热台干燥3～5分钟，再旋涂5～10层第一溶液，移至热台干燥3～5分钟；
并且/或者步骤S302中，旋涂多层第一溶液时每层旋涂取5～10μl第一溶液。
7.根据权利要求4所述的MOFs导电聚合物复合薄膜气体传感器的制备方法，其特征在于：步骤S401中，第二溶液中CoCe-BTC的浓度为20～40g/L；
并且/或者步骤S402中，将第二溶液旋涂时先以700RPM的转速旋3秒，再以2000RPM的转速旋20秒；
并且/或者步骤S402中，将步骤S401所得第二溶液旋涂1～3层至步骤S302第一溶液旋涂后的叉指电极上，移至热台干燥5～7分钟；
并且/或者步骤S402中，每层取5～10μl步骤S401所得的第二溶液旋涂至步骤S302第一溶液旋涂后的叉指电极上。
8.根据权利要求1、3、4、6、7任意一项所述的MOFs导电聚合物复合薄膜气体传感器的制备方法，其特征在于：热台温度为45～65℃。
9.一种MOFs导电聚合物复合薄膜气体传感器，其特征在于制备方法为：在金叉指电极表面沉积聚3,4-乙烯二氧噻吩PEDOT，以六水合硝酸钴、六水合硝酸铈和均苯三甲酸为原料用水浴法合成钴铈基金属有机框架CoCe-BTC，然后采用旋涂法得到CoCe-BTC/PEDOT复合薄膜；
制备方法包括以下步骤：
S1、以六水合硝酸钴、六水合硝酸铈和均苯三甲酸为原料用水浴法合成钴铈基金属有机框架CoCe-BTC；
S2、对氧化硅衬底进行清洗预处理，然后在表面制备金叉指电极；
S3、在步骤S2得到的叉指电极上旋涂聚3,4-乙烯二氧噻吩PEDOT，放至热台干燥；
S4、在步骤S3得到的叉指电极上旋涂钴铈基金属有机框架CoCe-BTC，放至热台干燥，即得具有MOFs导电聚合物复合薄膜CoCe-BTC/PEDOT的气体传感器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202210181202.5A CN114544714B (zh) | 2022-02-25 | 2022-02-25 | MOFs导电聚合物复合薄膜气体传感器及制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202210181202.5A CN114544714B (zh) | 2022-02-25 | 2022-02-25 | MOFs导电聚合物复合薄膜气体传感器及制备方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN114544714A CN114544714A (zh) | 2022-05-27 |
| CN114544714B true CN114544714B (zh) | 2023-10-27 |
Family
ID=81679071
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202210181202.5A Active CN114544714B (zh) | 2022-02-25 | 2022-02-25 | MOFs导电聚合物复合薄膜气体传感器及制备方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN114544714B (zh) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115785464B (zh) * | 2022-11-21 | 2023-08-29 | 沈阳工业大学 | 超级电容器电极材料Ln(s)-Co复合物的制备方法及其应用 |
Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5106654A (en) * | 1990-07-20 | 1992-04-21 | Westinghouse Electric Corp. | Method of forming a dense, high temperature electronically conductive composite layer on a porous ceramic substrate |
| CN103233256A (zh) * | 2013-04-07 | 2013-08-07 | 浙江清华长三角研究院 | 一种PEDOT/bmim[PF6]导电离子液体聚合物气敏薄膜传感器的制备方法 |
| CN104181209A (zh) * | 2014-08-14 | 2014-12-03 | 电子科技大学 | 一种二氧化氮气体传感器及其制备方法 |
| CN106018485A (zh) * | 2016-07-21 | 2016-10-12 | 电子科技大学 | 一种超分子复合气敏薄膜的制备方法 |
| CN108772103A (zh) * | 2018-05-24 | 2018-11-09 | 南京工业大学 | 一种双金属mof催化剂及制备方法和应用 |
| CN109692711A (zh) * | 2019-02-12 | 2019-04-30 | 济南大学 | 一种CeO2和Co3O4杂化Ce-MOF/Co-MOF复合催化剂的制备方法及应用 |
| CN110304667A (zh) * | 2019-06-13 | 2019-10-08 | 北京工业大学 | 一种球状NiO-CeO2双金属有机框架材料及其合成方法 |
| CN110767911A (zh) * | 2019-10-25 | 2020-02-07 | 常州大学 | 一种新型CoZn双金属MOF材料与聚苯胺复合电极材料的制备方法 |
| CN114031784A (zh) * | 2021-10-21 | 2022-02-11 | 上海应用技术大学 | 一种制备镍钴双金属有机骨架复合材料的方法及应用 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE60144014D1 (de) * | 2001-07-19 | 2011-03-24 | Max Planck Gesellschaft | Chemische Sensoren aus Nanopartikel-Dendrimer-Komposit-Materialen |
| US20070029195A1 (en) * | 2005-08-03 | 2007-02-08 | Changming Li | Polymer/nanoparticle composites, film and molecular detection device |
| US8679587B2 (en) * | 2005-11-29 | 2014-03-25 | State of Oregon acting by and through the State Board of Higher Education action on Behalf of Oregon State University | Solution deposition of inorganic materials and electronic devices made comprising the inorganic materials |
| CN110582823A (zh) * | 2017-03-09 | 2019-12-17 | 14集团技术公司 | 含硅前体在多孔支架材料上的分解 |
| DE102018107516A1 (de) * | 2018-03-28 | 2019-10-02 | Trafag Ag | Sensorschichtsystemvorläufer, daraus herstellbares Sensorschichtsystem sowie dieses verwendendes Wasserstoffsensorelement und entsprechende Herstellverfahren |
| CN110787788A (zh) * | 2018-08-01 | 2020-02-14 | 香港科技大学 | 衍生自金属有机骨架的二维催化材料及其在挥发性有机化合物去除中的应用 |
| US20210310971A1 (en) * | 2018-08-17 | 2021-10-07 | Trustees Of Dartmouth College | Conductive bimetallic metal-organic frameworks for the detection of analytes |
-
2022
- 2022-02-25 CN CN202210181202.5A patent/CN114544714B/zh active Active
Patent Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5106654A (en) * | 1990-07-20 | 1992-04-21 | Westinghouse Electric Corp. | Method of forming a dense, high temperature electronically conductive composite layer on a porous ceramic substrate |
| CN103233256A (zh) * | 2013-04-07 | 2013-08-07 | 浙江清华长三角研究院 | 一种PEDOT/bmim[PF6]导电离子液体聚合物气敏薄膜传感器的制备方法 |
| CN104181209A (zh) * | 2014-08-14 | 2014-12-03 | 电子科技大学 | 一种二氧化氮气体传感器及其制备方法 |
| CN106018485A (zh) * | 2016-07-21 | 2016-10-12 | 电子科技大学 | 一种超分子复合气敏薄膜的制备方法 |
| CN108772103A (zh) * | 2018-05-24 | 2018-11-09 | 南京工业大学 | 一种双金属mof催化剂及制备方法和应用 |
| CN109692711A (zh) * | 2019-02-12 | 2019-04-30 | 济南大学 | 一种CeO2和Co3O4杂化Ce-MOF/Co-MOF复合催化剂的制备方法及应用 |
| CN110304667A (zh) * | 2019-06-13 | 2019-10-08 | 北京工业大学 | 一种球状NiO-CeO2双金属有机框架材料及其合成方法 |
| CN110767911A (zh) * | 2019-10-25 | 2020-02-07 | 常州大学 | 一种新型CoZn双金属MOF材料与聚苯胺复合电极材料的制备方法 |
| CN114031784A (zh) * | 2021-10-21 | 2022-02-11 | 上海应用技术大学 | 一种制备镍钴双金属有机骨架复合材料的方法及应用 |
Non-Patent Citations (7)
| Title |
|---|
| "A multifunctional covalently linked graphene-MOF hybrid as an effective chemiresistive gas sensor";Kolleboyina Jayaramulu 等;《Journal of Materials Chemistry A》;第9卷(第32期);第17434-17441页 * |
| "Application of Metal-Organic Framework-Based Composites for Gas Sensing and Effects of Synthesis Strategies on Gas-Sensitive Performance";Bo Huang 等;《Chemosensors》;第9卷(第8期);第226页 * |
| "In Situ Polymerization Deposition of Porous Conducting Polymer on Reduced Graphene Oxide for Gas Sensor";Yajie Yang 等;《ACS Applied Materials & Interfaces》;第6卷(第16期);第13807-13814页 * |
| "Nanostructuration of PEDOT in porous coordination polymers for tunable porosity and conductivity";Benjamin Le Ouay 等;《Journal of the American Chemical Society》;第138卷(第32期);第10088–10091页 * |
| "基于MOFs材料的酸性气体传感器应用研究进展";郝肖柯 等;《精细化工》;第38卷(第2期);第249-258+293页 * |
| "导电聚合物/纳米银复合薄膜的制备及特性研究";杨亚杰 等;《稀有金属材料与工程》;第44卷(第11期);第2902-2906页 * |
| "金属有机框架衍生物的制备及催化性能的研究进展";郝博 等;《材料导报》;第34卷(第11期);第11035-11042页 * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN114544714A (zh) | 2022-05-27 |
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