CN114267619B - 倾斜装置及晶圆片同侧倾斜方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种倾斜装置及晶圆片同侧倾斜方法，倾斜装置包括：存取单元具有多个单元格，各单元格沿水平方向阵列排布，且用于容纳片状板，单元格具有供片状板进出单元格的敞口的，其下部具有开口；支撑座能够定位存取单元；顶板设置在所述支撑座朝向存取单元一侧的表面上，并沿各单元格的阵列排布方向延伸，顶板的上表面倾斜设置，并通过开口与各单元格内的片状板相接触。该倾斜装置及晶圆片同侧倾斜方法通过设置倾斜的顶板于支撑座上，存取单元内的片状板与顶板接触，达到片状板同侧倾斜的目的，节约成本，结构简单，稳定性高。同时，实现片状板的同侧倾斜、均匀排列，使得片状板在特定环境下处理的更加均匀流畅，对于处理的提升有积极意义。

Description

倾斜装置及晶圆片同侧倾斜方法

技术领域

本发明涉及一种倾斜装置及晶圆片同侧倾斜方法。

背景技术

在片盒槽式湿处理工艺中，需要先将片盒内的晶圆片朝向同一侧再进行湿处理工艺，所以将晶圆片在湿处理工艺的处理槽中如何倾斜设置，是一个需要解决的问题。

在中国专利CN105529282B的文件中，公开了一种将单片晶圆片通过支撑杆支撑，使得该晶圆片在湿处理工艺的处理槽中倾斜设置的技术方案。但是该方案仅能够针对单片晶圆片进行倾斜，目前的湿处理工艺中大多采用批量处理的方法加工处理晶圆片，因此该专利所提供的技术方案对于大批量处理的晶圆片来说并不是十分适用。

发明内容

本发明要解决的技术问题是为了克服现有技术中难以将晶圆片批量的同侧倾斜，导致处理工艺复杂的缺陷，提供一种倾斜装置及晶圆片同侧倾斜方法。

本发明是通过下述技术方案来解决上述技术问题：

一种倾斜装置，所述倾斜装置还包括：存取单元，所述存取单元具有多个单元格，各所述单元格沿水平方向阵列排布，各所述单元格用于容纳片状板，所述单元格具有供所述片状板进出所述单元格的敞口的，所述单元格的下部具有开口；支撑座，所述支撑座能够定位所述存取单元；顶板，所述顶板设置在所述支撑座朝向所述存取单元一侧的表面上，并沿各所述单元格的阵列排布方向延伸，所述顶板的上表面倾斜设置，并通过所述开口与各单元格内的片状板相接触。

该倾斜装置，通过在存取单元内设置多个单元格以同时容纳多个包括晶圆片在内的片状板。并且，通过支撑座定位存取单元相对顶板的位置，顶板的位置摆放方向设置成沿存取单元内的单元格的排列方向延伸，使顶板的上表面通过存取单元的开口与各片状板的下端进行接触，以利用片状板自身的重力，使片状板能够沿着顶板的倾斜表面滑动至相对的低点，从而使得容纳在存取单元内的各单元格内的片状板朝着同一侧倾斜，以便于后续湿处理等工艺的实施。因此，该方法可以实现批量倾斜片状板的目的，结构简单，成本较低，且效率高，稳定性高。也实现存取单元内的片状板的同侧倾斜、均匀排列，可以使得片状板在特定环境下处理的更加均匀、流畅，对于处理的提升有积极意义。

另外，在完成特定环境下处理等工艺之后，将存取单元相对顶板取下，使存取单元保持作为这些片状板的载体，使这些片状板可以连同存取单元一起进行后续工艺，无需再将片状板相对存取单元的单元格取出。因此，该方法对后续工艺的匹配度较高，便于后续工艺的继续实施。且该倾斜装置的结构简单，具备便于制造等优点。

较佳地，各个所述单元格在所述存取单元内等间距设置。

各个单元格用于装载容纳片状板，当存取单元放置在支撑座上使倾斜的顶板和单元格内的片状板相接触时，也使得等间距设置在存取单元的单元格内的片状板也等间距排列，可以使得片状板在特定的处理工艺中均匀排列，处理的更加均匀、流畅和稳定。

较佳地，所述片状板和所述顶板之间的摩擦力小于所述片状板的下滑力。

当存取单元放置在支撑座上使得倾斜的顶板和存取单元内的片状板相接触时，片状板在倾斜的顶板上受到重力的作用会向顶板的下坡滑动即产生一个下滑力，所以片状板和顶板之间的摩擦力小于片状板的下滑力时，片状板和顶板接触并做相向运动，片状板就会一直滑落到单元格内顶板的倾斜方向的最低端。所以对于片状板的倾斜具有较好的促进作用。

较佳地，所述支撑座为底座，所述底座朝向所述存取单元的一侧为水平面。

支撑座为底座，且将底座朝向存取单元的一侧为水平面，可以使得承载支撑存取单元的受力面积更大，使得承载支撑存取单元的稳定性更高；进而将存取单元存取单元的承载支撑、定位的效果更佳。

较佳地，所述倾斜装置还包括限位挡板，所述限位挡板安装在沿所述顶板方向的所述支撑座的两端上。

当承载容纳较多片状板的存取单元放置在支撑座上时，可能会由于重量较大或者存取单元内的片状板向同一侧倾斜，导致存取单元本身的结构形式承受不住较多片状板的倾斜作用力，造成存取单元在支撑座上也向其内的片状板的倾斜方向倾斜，造成存取单元和/或片状板的损坏。所以在支撑座的两端上设置限位挡板，将存取单元夹持在两端的限位挡板之间，使得存取单元外在的结构形式和限位挡板共同承受存取单元内同侧倾斜的片状板的倾斜作用力，保证片状板在存取单元内倾斜时存取单元在支撑座上的稳定性、安全性和可靠性。

较佳地，所述顶板在所述支撑座上的位置被设置为：当所述存取单元定位于所述支撑座上时，使所述顶板位于所述片状板的正中心的下方。

将顶板设置在支撑座上连接支撑座两端的限位挡板的长度方向的中心轴线上，即将顶板设置在片状板与顶板接触时片状板的正中心的下方，也就是说，顶板位于片状板的最低端的点上。将顶板设置在该位置上的好处是，顶板在接触片状板时，顶板位于片状板的重心的最下端，可以使得顶板受到片状板的作用力更加均匀且稳定，且可以实现使得片状板同侧倾斜的效果更佳。

较佳地，所述限位挡板垂直于所述顶板的延伸方向设置。

如上述所述，当承载容纳较多板的存取单元放置在支撑座上时，可能会由于重量较大或者存取单元内的片状板向同一侧倾斜，导致存取单元本身的结构形式承受不住较多片状板的倾斜作用力，造成存取单元在支撑座上也向其内的片状板的倾斜方向倾斜。所以将限位挡板设置在垂直于顶板的延伸方向上，可以使得存取单元外在的结构形式和限位挡板共同承受存取单元内同侧倾斜的片状板的倾斜作用力，保证片状板在存取单元内倾斜时存取单元在支撑座上的稳定性、安全性和可靠性。

较佳地，所述顶板接触所述片状板的一端设置倒角结构。

将顶板接触片状板的一端上设置成倒角结构，可以减少顶板与片状板的接触面积，避免因顶板和片状板的接触面积较多，导致顶板损伤晶圆片的表面。

较佳地，所述片状板为晶圆片。

在湿处理工艺中，需要先将存取单元内的晶圆片设置成同侧排列，再进行下一步的湿处理工艺，所以将该倾斜装置用于晶圆片的湿处理工艺中，使得存取单元内的晶圆片同侧倾斜，湿处理工艺过程会进行的更加均匀、流畅，对于湿处理工艺的提升有更加积极的作用。

较佳地，所述存取单元包括侧挡板和连接板，所述侧挡板分布在所述晶圆片的两侧，所述连接板的两端连接两块所述侧挡板，所述侧挡板和所述连接板围设形成所述单元格，所述侧挡板与其内部的所述晶圆片有多个接触支撑点。

通过侧挡板和连接板共同围设成单元格，将晶圆片放置在各个单元格内，通过晶圆片和侧挡板的接触支撑，使得晶圆片更好的卡接在存取单元内。

较佳地，所述侧挡板朝向底座方向为收缩状。

将侧挡板设置成这样的结构形式，使得侧挡板和其内的晶圆片有较多的接触支撑点，使得侧挡板支撑晶圆片时更加稳定、可靠。且在存取单元放置在支撑座上时，倾斜的顶板接触到片状板，使其片状板在单元格内进行倾斜的方向变化，所以将侧挡板的结构设置成朝向底座方向为收缩状，可以使得单元格内的晶圆片方向变换时更加灵活，但是也同时保证了侧挡板对晶圆片的支撑的稳固性和可靠性。

一种倾斜装置的实施方法，包括上述所述任意一项所述的倾斜装置，包括以下步骤：

S11、将片状板分别放置在所述存取单元的各所述单元格内；

S12、将所述存取单元定位在支撑座上，使所述顶板通过所述开口与各单元格内的片状板相接触。

较佳地，在S12中将所述存取单元沿所述顶板的延伸方向定位在支撑座上。

如上述所述，将所述存取单元沿所述顶板的延伸方向定位在支撑座上可以保证了存取单元内的每一个的片状板均与顶板能接触到，更好的实现将存取单元内的片状板实现同侧倾斜的目的。

一种晶圆片同侧倾斜方法，其采用存取单元倾斜晶圆片，所述存取单元具有多个单元格，各所述单元格沿水平方向阵列排布，各所述单元格用于容纳晶圆片，所述单元格具有供所述晶圆片进出所述单元格的敞口的，所述单元格的下部具有开口；

所述晶圆片同侧倾斜方法包括以下步骤：

将晶圆片分别放置在各所述单元格内；

在能够承载所述存取单元的平台上设置上表面倾斜的顶板；

将存取单元摆放在所述平台上，使各所述单元格的朝向与所述顶板的延伸方向一致，并使所述顶板的上表面通过开口与各所述单元格的晶圆片相接触。

该晶圆片同侧倾斜方法，通过在存取单元内设置多个单元格以同时容纳多个晶圆片。并且，该方法通过将该存取单元以特定的方位摆放至顶板，顶板的位置摆放方向设置成沿存取单元内的单元格的排列方向延伸，使顶板的上表面通过存取单元的开口与各晶圆片的下端进行接触，以利用晶圆片自身的重力，使晶圆片能够沿着顶板的倾斜表面滑动至相对的低点，从而使得容纳在存取单元内的各单元格内的晶圆片朝着同一侧倾斜，以便于后续湿处理等工艺的实施。因此，该方法可以实现批量倾斜晶圆片的目的，结构简单，成本较低，且效率高，稳定性高。也实现存取单元内的片状板的同侧倾斜、均匀排列，可以使得片状板在特定环境下处理的更加均匀、流畅，对于处理的提升有积极意义。

另外，在完成湿处理等工艺之后，将存取单元相对顶板取下，使晶圆片可以连同存取单元一起进行后续工艺，无需再将晶圆片相对存取单元的单元格取出，因此，该方法对后续工艺的匹配度较高，便于后续工艺的继续实施。且单元格结构简单，便于制造等优点。

本发明的积极进步效果在于：该倾斜装置及晶圆片同侧倾斜方法通过设置倾斜的顶板于支撑座上，实现支撑座对顶板和存取单元为承载和定位，使得存取单元在放置在支撑座上时，使得存取单元内的片状板与倾斜的顶板相接触，使得片状板和顶板做相向运动，进而使得片状板与顶板接触的一端滑向存取单元的最低端，从而片状板的另一端导向另一侧，则达到存取单元内的片状板同侧倾斜的目的。设置顶板实现片状板的倾斜，节约成本，结构简单，且稳定性高。同时，实现存取单元内的片状板的同侧倾斜、均匀排列，可以使得片状板在特定环境下处理的更加均匀、流畅，对于处理效率的提升有积极意义。

附图说明

图1为本发明的实施例1中的倾斜装置的支撑座和顶板的结构示意图。

图2为本发明的实施例1中晶圆片放置在存取单元上的示意图。

图3为本发明的实施例1中的倾斜装置的使用状态示意图。

图4为本发明的晶圆片放置在顶板上的俯视图，其中，存取单元被隐藏。

图5为本发明的实施例1中晶圆片放置在顶板上的侧视图。

图6为本发明的实施例2的晶圆片同侧倾斜方法的流程示意图。

图7为本发明的实施例2的倾斜装置整体结构示意图。

附图标记说明：

倾斜装置1

存取单元11

单元格111

晶圆片112

侧挡板113

连接板114

支撑座12

底座121

定位结构121a

顶板13

限位挡板14

平台15

具体实施方式

下面通过实施例的方式进一步说明本发明，但并不因此将本发明限制在的实施例范围之中。

如图1所示，一种倾斜装置1，该倾斜装置1包括存取单元11、支撑座12和顶板13。

支撑座12放置在水平面上，用于支撑和定位存取单元11和顶板13，即顶板13设置在支撑座12朝向存取单元11的一侧表面上。存取单元11活动放置在支撑座12上，可通过从上往下垂直放置或倾斜放置等方式将存取单元11放置在支撑座12上，后续也是可通过从下往上提取或倾斜提取等方式将存取单元11拿走离开支撑座12。

如图2-5所示，存取单元11的内部设置有多个单元格111，各单元格111沿水平方向阵列排布，且各个单元格111均用于装载容纳片状板，其中，上述片状板在本实施方式中具体是指晶圆片112，存取单元11的顶部设有用于供晶圆片112进出各单元格111敞口。在本实施例中，可以将单元格111设置成上下贯穿的结构，也就是说单元格111朝向支撑座12的一侧上，即单元格111的下部设置有开口结构，形成在存取单元11的底部，设置开口结构是为了使得在存取单元11放置并定位在支撑座12上时，存取单元11内的晶圆片112可以和下方支撑座12上的顶板13相接触，且顶板13的位置摆放方向为沿各单元格111的阵列排布方向延伸，可以保证单元格111内的每一个晶圆片112均能与顶板13相接触。且顶板13的结构形式为倾斜状，即顶板13垂直设置于支撑座12上，朝向晶圆片112的一侧为斜坡状。具体如图3和图4所示，当放置在存取单元11内的各片晶圆片112与倾斜设置的顶板13相接触时，通过顶板13倾斜的顶部表面，使得晶圆片112沿图5中箭头所指方向滑动，达到使晶圆片112同侧倾斜的目的。在本实施例中，只是通过设置一个倾斜的顶板13，使存取单元11内的晶圆片112受重力的作用便可实现存取单元11内的多个晶圆片112的倾斜，成本较低，且稳定性高。且实现存取单元11内的晶圆片112同侧倾斜、均匀排列，可以使得晶圆片112在特定环境下处理的更加均匀、流畅，对于处理的提升有积极意义。

其中，本实施例中，在晶圆片112同侧倾斜的整个流程中，晶圆片112不会离开存取单元11，因此该存取单元11可采用现有技术中存在的产品进行实施，例如采用晶圆花篮等用于存储和运输晶圆片112的现有产品。使得完成使存取单元11内的各晶圆片112同侧倾斜相匹配的相关工艺流程之后，通过整体搬运和移动该存取单元11，使得能够对其内部的晶圆片112直接实施进行下一道工艺流程。

具体地，如图5所示，本实施例中，各个单元格111在存取单元11内等间距设置，已知各个单元格111均用于装载晶圆片112，则单元格111在存取单元11内等间距设置，在各个单元格111装载晶圆片112时，也使得等间距设置在存取单元11的单元格111内的晶圆片112也等间距排列，可以使得晶圆片112在特定的处理工艺中均匀排列，处理的更加均匀、流畅和稳定。

为了实现晶圆片112在与顶板13相接触时，使晶圆片112能够沿顶板13的倾斜方向作相向运动，使得晶圆片112的底端能够在单元格111的范围内滑向顶板13的倾斜方向的最低点，使得各晶圆片112同侧倾斜，对于顶板13的结构设置至少包括以下两种实施方式：

第一种：提高顶板13的倾斜角度，即顶板13朝向存取单元11的一侧表面和水平方向的夹角足够大，这里所指的足够大是：当存取单元11放置在支撑座12上使得倾斜的顶板13和存取单元11内的晶圆片112相接触时，晶圆片112在倾斜的顶板13上受到重力的作用会向顶板13的下坡滑动即产生一个向下的下滑力，而晶圆片112和顶板13相接触时也会产生一个向上的摩擦力，当向下的下滑力小于向上的摩擦力时，需要大幅度提高顶板13的倾斜角度，也就是将顶板13朝向存取单元11的一侧表面和水平方向的夹角足够大，可以克服晶圆片112和顶板13之间接触产生的摩擦力，才能实现晶圆片112和顶板13接触并做相向运动，晶圆片112就会一直滑落到单元格111内顶板13的倾斜方向的最低点，实现晶圆片112的同侧倾斜。

第二种：降低顶板13和晶圆片112接触时产生的摩擦力的大小，即使得晶圆片112和顶板13之间向上的摩擦力小于晶圆片112向下的下滑力，则就会使得晶圆片112和顶板13接触并做相向运动，晶圆片112就会一直滑落到单元格111内顶板13的倾斜方向的最低端，实现晶圆片112的同侧倾斜。所以对于晶圆片112的倾斜具有较好的促进作用。在这种实施方案下，顶板13应采用表面摩擦系数较低的材料制成。

具体地，如图1所示，支撑座12的结构和形式可根据具体而定，可以根据不同的空间大小选择不同规格和形式的支撑座12。也就是说，支撑座12的形式多样，以下为支撑座12可实施的至少两种的结构形式，即：

第一种：若支撑座12只是起到支撑顶板13的作用，即支撑座12将顶板13支撑起来，使得顶板13垂直于水平面上，且也能保证顶板13朝向晶圆片112的一侧呈倾斜状，也能实现倾斜的顶板13起到使得晶圆片112同侧倾斜的目的。

第二种：支撑座12不仅可以支撑、定位顶板13，还可以对存取单元11起到承载的作用，可以将存取单元11放置在设有顶板13的支撑座12上，使得支撑座12共同实现支撑、定位顶板13和存取单元11的作用。

在本实施方式中，如图1所示，将支撑座12设置为底座121，使得底座121共同支撑和定位顶板13与存取单元11，且择优选择将底座121朝向存取单元的一侧为水平面。在一些例如晶圆片112的湿处理工艺过程中，需要将底座121设置在水平面上，且朝向存取单元11的一侧上也设置成水平面，目的是为了在湿处理工艺结束后，通过机械臂将存取单元11上升提拉走存取单元11时，只需要将机械臂正常设置并上升提拉该存取单元11。在其他实施例中，若要将底座121朝向存取单元11的一侧设置成斜坡段，则需要额外设置机械臂的参数，使得机械臂和底座121的斜坡段同侧倾斜才便于将底座121上的存取单元11上升提拉走，会增加工作人员的操作步骤，使整个过程变得繁琐。但是在一些其他情况中，也可以将底座121朝向存取单元11的一侧设置程斜坡段。

且将底座121朝向存取单元11的一侧，用于与存取单元11接触的表面设置为水平，并且，如图3所示，在底座121的表面设有若干的定位结构121a，两定位结构121a之间形成的凹槽，当存取单元11放置在底座121上时，存取单元11的底部定位在凹槽内，实现支撑座12相对存取单元11定位的目的。将底座121水平放置在水平面上，可以使得存取单元11的承载支撑、定位的效果更佳。

承载容纳较多晶圆片112的存取单元11放置在支撑座12上时，可能会由于存取单元11重量较大或者存取单元11内的晶圆片112向同一侧倾斜，导致存取单元11本身的结构形式承受不住较多晶圆片112的倾斜作用力，造成存取单元11在支撑座12上也向其内的晶圆片112的倾斜方向倾斜，造成存取单元11和/或晶圆片112的损坏。又或者由于顶板13的倾斜角度太大，顶板13朝向存取单元11的一侧与支撑座12的夹角过大，所以当存取单元11内的晶圆片112朝向同侧倾斜时，导致存取单元11本身的结构形式承受不住较多晶圆片112的倾斜作用力，造成存取单元11在支撑座12上也向其内的晶圆片112的倾斜方向倾斜，造成存取单元11和/或晶圆片112的损坏。这种时候需要在支撑座12的两端设置限位挡板14，将存取单元11夹持在两端的限位挡板14之间，使得存取单元11外在的结构形式和限位挡板14共同承受存取单元11内同侧倾斜的晶圆片112的倾斜作用力，保证晶圆片112在存取单元11内倾斜时存取单元11在支撑座12上的稳定性、安全性和可靠性。(参见图1)

在图1中，若将存取单元11放置在支撑座12上时，顶板13的倾斜角度不大、存取单元11的重量不大时或者空间位置有限等原因，可以不需要在支撑底座121的两段设置限位挡板14。具体情况具体而定。

具体地，限位挡板14的结构形式可以有两种实施方式：

第一种：将限位挡板14沿顶板13的倾斜延伸方向径向垂直设置；

第二种：将限位挡板14沿水平面径向垂直设置。在本实施方式中，就是采用限位挡板14的这种结构形式。

具体限位挡板14的结构形式具体而定：如上述，当承载容纳较多晶圆片112的存取单元11放置在支撑座12上时，可能会由于重量较大或者存取单元11内的晶圆片112向同一侧倾斜，导致存取单元11本身的结构形式承受不住较多晶圆片112的倾斜作用力，造成存取单元11在支撑座12上也向其内的晶圆片112的倾斜方向倾斜。所以将限位挡板14设置在垂直于顶板13的倾斜延伸方向上，可以使得存取单元11外在的结构形式和限位挡板14共同承受存取单元11内同侧倾斜的晶圆片112的倾斜作用力，保证晶圆片112在存取单元11内倾斜时存取单元11在支撑座12上的稳定性、安全性和可靠性。

如图3所示，在本实施方式中，将顶板13设置在支撑座12上存取单元11定位于支撑座12上时晶圆片112的正中心的下方，也就是说，当存取单元11放置在支撑座12上时，顶板13位于晶圆片112正中心的重心的最下端，可以使得顶板13受到晶圆片112的作用力更加均匀且稳定，且可以实现使得晶圆片112同侧倾斜的效果更佳。在其他实施方式中，只要顶板13能起到使得晶圆片112同侧倾斜的目的，至于顶板13的位置可以具体情况具体设置。

具体地，顶板13朝向晶圆片112的一侧的结构形式也有较多实施方式，可以将顶板13的上侧设置成单向或双向的倒角或圆角结构，所以顶板13的结构形式也可以具体情况具体而定。在本实施方式中，是将顶板13的上端设置成双向倒角结构，可以减少顶板13与晶圆片112的接触面积，避免因顶板13和晶圆片112的接触面积较多，导致顶板13损伤晶圆片112的表面。

如图3所示，将本实施方式中的晶圆片112放置在倾斜装置1可以适用于晶圆片112的湿处理工艺过程中，因为在湿处理工艺中，需要先将存取单元11内的晶圆片112设置成同侧排列，再进行下一步的湿处理工艺，所以将该倾斜装置1用于晶圆片112的湿处理工艺中，使得存取单元11内的晶圆片112同侧倾斜，湿处理工艺过程会进行的更加均匀、流畅，对于湿处理工艺的提升有更加积极的作用。

具体地，如图2所示，存取单元11包括分布在晶圆片112两侧的侧挡板113，以及用于连接两块侧挡板113的连接板114，侧挡板113和连接板114共同围设成单元格111，将晶圆片112放置在各个单元格111内，通过晶圆片112和侧挡板113的接触支撑，使得晶圆片112更好的卡接在存取单元11内。且择优选择将两侧的侧挡板113在朝下方向整体呈收缩状，也就是使两侧的侧挡板113在从上往下的过程中整体形成一个收口状，使两侧的侧挡板113所围成的面积逐渐减小。将侧挡板113设置成这样的结构形式，使得侧挡板113和其内的晶圆片112有较多的接触支撑点，如图2所示，晶圆片112和侧挡板113上有4个支撑接触点，可以使得侧挡板113支撑晶圆片112时更加稳定、可靠。且在存取单元11放置在支撑座12上时，如图3所示，倾斜的顶板13接触到晶圆片112，使得晶圆片112被顶起，顶板13承载晶圆片112的重量，进而晶圆片112在单元格111内进行倾斜的方向变化，可以让晶圆片112在单元格111内变成只有2个支撑接触点，晶圆片112由于受到顶板13力的作用，所以晶圆片112在单元格111内被顶了起来，使得晶圆片112与侧挡板113下方的收口结构存在一定的间隙，进而使得单元格111内的晶圆片112方向变换时更加灵活，但是也同时保证了侧挡板113对晶圆片112的支撑的稳固性和可靠性。

如图3所示，两侧的侧挡板113的底部嵌入由底座121上的两个定位结构121a形成的凹槽内，实现支撑座12相对存取单元11定位的目的。

如图2-3所示，一种倾斜装置1的实施方法，包括如上的倾斜装置1，包括以下步骤：

S11、将晶圆片112分别放置在存取单元11的各单元格111内；

S12、其次可以以多种实施方式将存取单元11放置在支撑座12上，使支撑座12上的顶板13通过存取单元11下部的开口与各单元格111内的晶圆片112相接触，实现各单元格111内的晶圆片112同侧倾斜的目的。

或者也可以先将存取单元11放置在支撑座12上，之后依次将晶圆片112放置在各个单元格111内，使得晶圆片112的下端与倾斜的顶板13接触实现晶圆片112的同侧倾斜目的。

在本实施方式中，是采取第一种实施方法。

具体地，如图1所示，在进行第二步S12时可以将存取单元11沿顶板13倾斜的延伸方向定位在支撑座12上，可以保证了存取单元11内的每一个的晶圆片112均与顶板13能接触到，更好的实现将存取单元11内的晶圆片112实现同侧倾斜的目的。

实施例2

如图6-7所示，本实施例还提供一种晶圆片同侧倾斜方法，其同样利用如图2所示的存取单元11，使得放置在该存取单元11内的多个单元格111中的晶圆片112同侧倾斜。

如图6所示，本实施例中的晶圆片112同侧倾斜方法具体包括以下步骤：

S1、将多块晶圆片112分别放置在存取单元11的各单元格111内。

S2、在能够承载该存取单元11的平台15上设置一个上表面倾斜的顶板13。

S3、将存取单元11摆放在平台15上，并且，使存取单元11中的各单元格111的朝向与顶板13的延伸方向一致(参见图4，展示了存取单元11内的各晶圆片112相对于顶板13的摆放方位关系)，并使顶板13的上表面通过开口与各单元格111的晶圆片112相接触(参见图5)。

在将存取单元11装载完晶圆片112之后，通过将存取单元11以特定的摆放位置放置在平台15上，各单元格111的下部开口能够使得位于平台15上的顶板13和单元格111内的晶圆片112进行接触，通过顶板13倾斜的上表面，使晶圆片112的底部产生滑移，通过倾斜的顶板13达到使各晶圆片112同侧倾斜的目的。

或者，还可以通过调转上述晶圆片同侧倾斜方法中各步骤的实施顺序，以达到相同的效果。例如：先实施步骤S2，再实施步骤S3，最后实施步骤S1。即：先将顶板13安装于平台15上，再把存取单元11放置在平台15上，最后依次将各晶圆片112放置在各个单元格111内，使得晶圆片112的下端与倾斜的顶板13接触，实现使放置在存取单元11内的晶圆片112的同侧倾斜目的。

本实施例，只通过在平台15上设置一个倾斜的顶板13，并通过控制存取单元11相对顶板13的摆放方向，使存取单元11存取单元内的晶圆片112受重力的作用便可实现存取单元11内的多个晶圆片112的倾斜，成本较低，且稳定性高。且实现存取单元11内的晶圆片112的同侧倾斜、均匀排列，可以使得晶圆片112在特定环境下处理的更加均匀、流畅，对于处理的提升有积极意义。

其中，对于步骤S2中，顶板13可以一体成型地集成在平台15的表面，也可以通过螺栓、吸盘在内的各种可拆卸连接的方式安装在平台15的表面。

而对于步骤S3、将存取单元11以特定的朝向摆放在平台15上，可以通过工人手动摆放进行实施，也可以通过机械手等自动化设备的搬运进行实施。

虽然以上描述了本发明的具体实施方式，但是本领域的技术人员应当理解，这仅是举例说明，本发明的保护范围是由所附权利要求书限定的。本领域的技术人员在不背离本发明的原理和实质的前提下，可以对这些实施方式做出多种变更或修改，但这些变更和修改均落入本发明的保护范围。

Claims (13)

1.一种倾斜装置，其特征在于，所述倾斜装置还包括：

存取单元，所述存取单元具有多个单元格，各所述单元格沿水平方向阵列排布，各所述单元格用于容纳片状板，所述单元格具有供所述片状板进出所述单元格的敞口，所述单元格的下部具有开口；

支撑座，所述支撑座能够水平定位所述存取单元；

顶板，所述顶板设置在所述支撑座朝向所述存取单元一侧的表面上，且所述顶板接触所述片状板的一端设置倒角结构，所述顶板沿各所述单元格的阵列排布方向延伸，所述顶板的上表面倾斜设置，并通过所述开口与各单元格内的片状板相接触，使得片状板的底端能够在单元格的范围内滑向顶板的倾斜方向的最低点，使得各片状板同侧倾斜。

2.如权利要求1所述的倾斜装置，其特征在于，各个所述单元格在所述存取单元内等间距设置。

3.如权利要求1所述的倾斜装置，其特征在于，所述片状板和所述顶板之间的摩擦力小于所述片状板的下滑力。

4.如权利要求1所述的倾斜装置，其特征在于，所述支撑座为底座，所述底座朝向所述存取单元的一侧为水平面。

5.如权利要求1所述的倾斜装置，其特征在于，所述倾斜装置还包括限位挡板，所述限位挡板安装在沿所述顶板方向的所述支撑座的两端上。

6.如权利要求5所述的倾斜装置，其特征在于，所述顶板在所述支撑座上的位置被设置为：当所述存取单元定位于所述支撑座上时，使所述顶板位于所述片状板的正中心的下方。

7.如权利要求5所述的倾斜装置，其特征在于，所述限位挡板垂直于所述顶板的延伸方向设置。

8.如权利要求1所述的倾斜装置，其特征在于，所述片状板为晶圆片。

9.如权利要求8所述的倾斜装置，其特征在于，所述存取单元包括侧挡板和连接板，所述侧挡板分布在所述晶圆片的两侧，所述连接板的两端连接两块所述侧挡板，所述侧挡板和所述连接板围设形成所述单元格，所述侧挡板与其内部的所述晶圆片有多个接触支撑点。

10.如权利要求9所述的倾斜装置，其特征在于，所述侧挡板朝向底座方向为收缩状。

11.一种晶圆片同侧倾斜方法，其特征在于，包括如权利要求1-7任意一项所述的倾斜装置，包括以下步骤：

S11、将片状板分别放置在所述存取单元的各所述单元格内；

S12、将所述存取单元定位在支撑座上，使所述顶板通过所述开口与各单元格内的片状板相接触。

12.如权利要求11所述的晶圆片同侧倾斜方法，其特征在于，在S12中将所述存取单元沿所述顶板的延伸方向定位在支撑座上。

13.一种晶圆片同侧倾斜方法，其特征在于，其采用权利要求1-7任意一项所述的倾斜装置，所述片状板为晶圆片；

所述晶圆片同侧倾斜方法包括以下步骤：

将多块晶圆片分别放置在各所述单元格内；

在能够承载该所述存取单元的平台上设置一个上表面倾斜的顶板；

将存取单元摆放在所述平台上，并且，使存取单元中的各所述单元格的朝向与所述顶板的延伸方向一致，并使所述顶板的上表面通过开口与各所述单元格的晶圆片相接触。

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