CN114148695A - 物品搬送设备 - Google Patents

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Abstract

搬送车控制系统在由温度传感器检测到再生电阻的温度(TH)是设定成比预先规定的恒定状态的温度范围即恒定温度范围更高的温度的第一温度(TH1)以上的情况下，将物品搬送车的行驶速度限制于预先规定的限制速度以下，在由温度传感器检测到再生电阻的温度(TH)是设定成比第一温度(TH1)更高的温度的第二温度(TH2)以上的情况下，由开关将电源部与行驶用马达的连接截断。

Description

物品搬送设备
技术领域
本发明涉及具备沿着行驶路径行驶并搬送物品的物品搬送车的物品搬送设备。
背景技术
关于物品搬送车，已知从沿着行驶路径配设的馈电线接受电力供给并驱动马达等而行驶的物品搬送车。马达在减速时作为发电机起作用，但由于经发电的再生电力不能返回至馈电线，因而有时候通过电阻器(再生电阻)等来使该电力消耗。在日本特开平3-150083号公报中，示出在对交流的旋转电机进行驱动的逆变器(7)的直流侧具备再生电阻(3)，使再生电流流动至再生电阻(3)，从而使再生电力消耗(在背景技术中，括弧内的符号是所参照的文献的符号。)。再生电阻由于再生电流流动而发热。如果再生电阻的温度超过额定而上升，则有可能招致再生电阻的故障等，因而例如考虑进行这样的控制：由温度传感器检测到再生电阻的温度过度上升，使逆变器停止。然而，如果由于逆变器的停止而物品搬送车停止，则该物品搬送车变得堵塞行驶路径，因而在到撤除该物品搬送车为止的期间，其它物品搬送车变得不能在其路径通行，系统整体的效率下降。因此，在日本特开平3-150083号公报中，提出如下的方案：计量再生电阻的通电时间，推断再生电阻的温度上升，抑制逆变器的再生电力。
发明内容
再生电流越大，再生电阻的温度就越快上升；再生电流流动的时间越长，再生电阻的温度就越快上升。另外，即使上升的温度相同，也是如果环境温度低，则到超过额定温度为止的时间也变长，如果环境温度高，则在短时间内达到额定温度。因此，仅仅计量再生电阻的通电时间在适当地推断再生电阻的温度的方面上是不充分的。
鉴于上述背景，期望提供抑制系统效率的下降并同时根据再生电阻的温度而适当地控制系统的技术。
作为一个方式，鉴于上述的具备沿着行驶路径行驶并搬送物品的物品搬送车的物品搬送设备具备控制前述物品搬送车的搬送车控制系统，前述物品搬送车具备：行驶用马达，其对车轮进行驱动；电源部，其将电力供给至前述行驶用马达；再生电阻，其被供给有在前述行驶用马达再生时产生的再生电力；温度传感器，其检测前述再生电阻的温度；以及开关，其配置于前述电源部与前述行驶用马达的电连接路径，并能够将从前述电源部向前述行驶用马达的电力供给截断，前述搬送车控制系统在由前述温度传感器检测到前述再生电阻的温度是设定成比预先规定的恒定状态的温度范围即恒定温度范围更高的温度的第一温度以上的情况下，将前述物品搬送车的行驶速度限制于预先规定的限制速度以下，在由前述温度传感器检测到前述再生电阻的温度是设定成比前述第一温度更高的温度的第二温度以上的情况下，由前述开关将前述电源部与前述行驶用马达的连接截断。
依据该构成，由温度传感器检测也包括环境温度所造成的影响在内的再生电阻的温度，基于所检测到的温度来选择两个不同的控制状态并控制物品搬送车。即，根据再生电阻是第一温度以上还是比第一温度更高的第二温度以上而选择控制状态。在再生电阻的温度是第二温度以上的情况下，电源部与行驶用马达的电连接通过开关来截断。在再生电阻的温度是第一温度以上且不到第二温度的情况下，电源部与行驶用马达的电连接不被截断，在物品搬送车的行驶速度限制于限制速度以下的状态下继续行驶。照此，在截断电源部与行驶用马达的电连接之前的阶段中，限制物品搬送车的行驶速度，由此能够维持物品搬送车的行驶并同时抑制再生电阻的温度上升。因此，能够降低起因于再生电阻的温度上升而使物品搬送车的行驶停止的可能性，抑制物品搬送设备的搬送效率的下降。另外，依据本构成，并非是预测值，而是通过温度传感器检测实际的再生电阻的温度，因而即使环境温度变化，也能够根据再生电阻的温度而适当地控制物品搬送车。照此，依据本构成，能够抑制系统效率的下降并同时根据再生电阻的温度而适当地控制系统。
根据针对参照附图来说明的实施方式的以下的记载，物品搬送设备的进一步的特征和优点变得明确。
附图说明
图1是物品搬送设备的俯视图；
图2是物品搬送车的侧视图；
图3是物品搬送车的主视图；
图4是示出由物品搬送车转移物品的示例的图；
图5是示出物品搬送设备的构成的示意性框图；
图6是示出受电部和行驶用马达驱动电路的一个示例的电路框图；
图7是示出再生电阻的温度与物品搬送车的控制的关系的一个示例的流程图；
图8是示出再生电阻的温度与物品搬送车的控制的关系的一个示例的流程图。
具体实施方式
以下，基于附图来说明物品搬送设备的实施方式。如图1至图5所示，物品搬送设备200具备：行驶轨道2，其被顶棚悬挂支撑，沿着行驶路径1设置；和物品搬送车3，其被行驶轨道2悬挂支撑，在行驶轨道2上沿着行驶路径1行驶并搬送物品W。物品搬送车3例如将容纳半导体基板的FOUP(Front Opening Unified Pod，前开式统集盒)或容纳光掩模等的掩模版（reticles）作为物品W搬送。在本实施方式中，作为物品W，举例说明FOUP。另外，在以下的说明中，将沿着行驶路径1的方向作为行驶方向Y，将沿着水平面并且与行驶方向Y正交的方向作为宽度方向X。上下方向Z是与行驶方向Y和宽度方向X正交的方向。
如图1所示，行驶路径1具备例如一个环状主路径1M、经由多个处理装置202的环状的多个副路径1S以及将这些主路径1M与副路径1S连接的连接路径。关于物品搬送车3，行驶路径1单向通行，物品搬送车3在行驶路径1从行驶方向上游侧朝向行驶方向下游侧行驶。另外，在行驶路径1，包括：搬送区域E1，其是在搬送物品W的情况下通过的区域；和维护区域E2，其是在进行物品搬送车3的维护的情况下通过的区域。在维护区域E2，例如为了进行维护，配置有用于使悬挂于行驶轨道2的物品搬送车3下降至地面侧的维护升降机204。
如图2和图3所示，物品搬送车3具备：行驶部9，其被一对行驶轨道2引导而沿着行驶路径1行驶，所述一对行驶轨道2沿着行驶路径1被顶棚悬挂支撑而配置；搬送车主体10，其位于行驶轨道2的下方并被行驶部9悬挂支撑；以及受电部4，其从沿着行驶路径1配设的馈电线11无接触地接受驱动用电力。另外，在搬送车主体10，具备悬挂并保持物品W的物品保持部13和使物品保持部13升降的升降部14。如图2和图3所示，物品搬送车3在使物品保持部13上升的状态下行驶并搬送物品W。
如图4所示，物品搬送设备200具备承载台203，承载台203设置于地板面102侧并承载物品W。物品搬送车3在使物品保持部13下降的状态下在与承载台203之间转移物品W。承载台203配置于物品搬送设备200的多个部位。例如，承载台203配置于各个处理装置202或图1中的图示之外的物品保管库。
在本实施方式中，如图3所示，在一台物品搬送车3具备两个行驶部9，由各个行驶部9悬挂支撑共同的搬送车主体10。两个行驶部9是相同构成，例如在各个行驶部9具备受电部4。受电部4相当于将电力供给至物品搬送车3的电源部。各个行驶部9沿着物品搬送车3的行驶方向Y并排地配置。
如图2和图3所示，在各个行驶部9，具备由电动式行驶用致动器35(参照图5)旋转驱动的一对行驶轮15。行驶用致动器35例如是马达(行驶用马达)。行驶轮15在形成于行驶轨道2的各个上表面的行驶面上滚动。另外，在各个行驶部9，围绕沿着上下方向Z的轴心(围绕上下轴心)自由旋转的一对引导轮16以抵接于一对行驶轨道2中的内侧面的状态配备。在搬送车主体10，如图5所示，具备使物品保持部13升降的升降用致动器34、对通过抓握来保持物品W的物品保持部13进行驱动的保持用致动器33等致动器以及对那些致动器进行驱动的驱动电路等。此外，这些致动器是例如马达或螺线管等。
物品搬送车3基于来自对物品搬送设备200的整体进行管理的设备控制装置H(MCP：Material Control Processor，材料控制处理器)的搬送指令，在不同的承载台203之间搬送物品W。在本实施方式中，设备控制装置H和各个物品搬送车3以能够通过无线通信来通信的方式构成。各个物品搬送车3具备车辆控制部31，基于搬送指令来通过自主控制而使物品搬送车3行驶、停止于所指定的承载台203的上方、使物品保持部13升降，由此转移物品W。
另外，在行驶路径1，沿着行驶路径1配置有示出行驶路径1中的位置的位置标志B。物品搬送车3具备利用这些多个位置标志B来检测行驶路径1中的位置的位置检测传感器32(位置检测部)。位置标志B能够作为例如一维或二维条形码等或记载有数字或文字的标记。位置检测传感器32能够作为条形码读取器或图像识别装置、识别数字或文字的文字识别装置。由位置检测传感器32检测的位置信息传递至车辆控制部31。物品搬送车3将所检测到的位置信息发送至搬送控制部H1，搬送控制部H1将基于位置信息来生成的搬送指令发送至物品搬送车3。
如图5所示，在本实施方式中，作为控制物品搬送车3的搬送车控制系统100，包括对利用多个物品搬送车3的物品W的搬送进行控制的设备控制装置H所具备的搬送控制部H1；和各个物品搬送车3所具备的车辆控制部31。而且，设备控制装置H和各个物品搬送车3能够进行双向通信。
在本实施方式中，受电部4使用被称为HID(High Efficiency Inductive PowerDistribution Technology，高效感应配电技术)的无线馈电技术来将驱动用电力供给至物品搬送车3。具体而言，使高频电流流动至作为感应线的馈电线11，致使在馈电线11的周围产生磁场。受电部4具备拾波线圈41或磁芯42而构成，拾波线圈41通过来自磁场的电磁感应而感应。所感应的电力由全波整流电路43(参照图6)整流。平滑电容器49将由全波整流电路43产生的脉动平滑化。
在图6中，示出通过该电力来驱动行驶部9的行驶用致动器35的示例。即，受电部4相当于将电力供给至行驶用致动器35(行驶用马达)的电源部。行驶用致动器35是交流马达，经由逆变器6被驱动，逆变器6将经由全波整流电路43整流的直流电力变换成交流电力。逆变器6具备多个开关元件而构成，根据由车辆控制部31生成并经由未图示的驱动电路输入的开关控制信号而进行开关，由此将电力在直流与交流之间变换。
受电部4和逆变器6经由配置于受电部4侧的接触器90和配置于逆变器6侧的开关8电连接。接触器90是例如电路保护器(断路器)，开关8是例如电磁继电器等磁性接触器。当接触器90和开关8的至少一个为断开状态(切断状态)时，受电部4与逆变器6的电连接被截断。在接触器90与开关8之间，例如连接有DC/DC转换器48，生成供给至车辆控制部31或后述的位置检测传感器32等的电压。如果接触器90为非断开状态(接通状态)，则DC/DC转换器48电连接至受电部4，能够将电力供给至车辆控制部31或后述的位置检测传感器32等。即使接触器90为非断开状态(接通状态)，开关8也配置于受电部4与行驶用致动器35的电连接路径，能够将从受电部4向行驶用致动器35的电力供给截断。
可是，如果物品搬送车3减速，则作为行驶用致动器35的行驶用马达作为发电机起作用，再生电流从逆变器6朝向受电部4流动。来自被从馈电线11供给的电力驱动的行驶用致动器35的再生电流不能返回至馈电线11。因此，具备再生电阻5，再生电阻5被供给有在行驶用致动器35再生时产生的再生电力。再生电阻5连接至逆变器6的直流侧的正极与负极之间，再生电流作为热而被消耗。
在此，在较多产生再生电流那样的情况下，再生电阻5的温度上升。如果再生电阻5的温度超过使用温度范围，则存在招致再生电阻5的故障或再生电阻5的外围电路的故障的可能性。因此，具备检测再生电阻5的温度的温度传感器7。在本实施方式中，具备使用（若温度上升则电阻值变低的）NTC热敏电阻的温度传感器7。温度传感器7与配备于温度检测电路70的分压电阻71串联连接，温度传感器7与分压电阻71的连接点的电压作为温度检测值传递至车辆控制部31。如上所述，车辆控制部31和设备控制装置H能够进行双向通信，温度检测值还能够传递至设备控制装置H。
例如，如果再生电阻5的温度上升，则温度检测值的电压变高。车辆控制部31能够通过与预先规定的阈值比较来判定再生电阻5的状态。另外，在温度传感器7出故障的情况下，例如如果在热敏电阻或热敏电阻的布线中产生短路等，则温度传感器7的电阻值变低，温度检测值的电压变高。另外，如果在热敏电阻或热敏电阻的布线中产生断线等，则温度传感器7的电阻值变高，温度检测值的电压变低。
搬送车控制系统100基于温度检测值来对物品搬送车3执行失效保护控制。由温度传感器7适当地检测也包括环境温度所造成的影响在内的再生电阻5的温度，基于所检测到的温度检测值来选择所执行的失效保护控制。在由温度传感器7检测到再生电阻5的温度(TH(参照图7))是设定成比预先规定的恒定状态的温度范围即恒定温度范围更高的温度的第一温度TH1以上的情况下，搬送车控制系统100将物品搬送车3的行驶速度限制于预先规定的限制速度(第一限制速度)以下。另外，在由温度传感器7检测到再生电阻5的温度(TH)是设定成比第一温度TH1更高的温度的第二温度TH2以上的情况下，搬送车控制系统100利用开关8将受电部4与行驶用致动器35的连接截断。另外，在由温度传感器7检测到再生电阻5的温度不到设定成比恒定温度范围更低的温度的第三温度TH3的情况下，搬送车控制系统100将物品搬送车3的行驶速度限制于限制速度(第二限制速度)以下。此外，第一限制速度和第二限制速度可以是相同的速度，也可以是不同的速度。
图7的流程图示出再生电阻5的温度(TH)与物品搬送车3的控制的关系的一个示例。搬送车控制系统100(特别是车辆控制部31)判定再生电阻5的温度(TH)是否为第一温度TH1以上(#1)，在判定为第一温度TH1以上的情况下，接着判定再生电阻5的温度(TH)是否为第二温度TH2以上(#2)。在判定为再生电阻5的温度(TH)不到第二温度TH2的情况下，车辆控制部31将行驶速度例如限制于第一限制速度(#5)。在步骤#1中判定为不到第一温度TH1的情况下，接着判定再生电阻5的温度(TH)是否不到第三温度TH3(#3)。在再生电阻5的温度(TH)不到第三温度TH3的情况下，车辆控制部31将行驶速度例如限制于第二限制速度(#5)。如果在步骤#1中判定为第一温度TH1以上，在步骤#2中判定为第二温度TH2以上，则车辆控制部31将开关8断开，将受电部4与行驶用致动器35的连接截断，将向行驶用致动器35的电力供给截断(#4)。
在再生电阻5的温度为第二温度TH2以上的情况下，受电部4与行驶用致动器35的电连接被截断，但在再生电阻5的温度为第一温度TH1以上且不到第二温度TH2的情况下，受电部4与行驶用致动器35的电连接不被截断，在物品搬送车3的行驶速度被限制的状态下继续行驶。照此，在截断受电部4与行驶用致动器35的电连接之前的阶段中，限制物品搬送车3的行驶速度，由此能够维持物品搬送车3的行驶，并同时使再生电阻5的温度下降或使再生电阻5的温度上升的速度变慢。因此，能够降低起因于再生电阻的温度上升而使物品搬送车的行驶停止的可能性。因此，抑制物品搬送设备200的搬送效率的下降。
另外，如上所述，如果在温度传感器7或温度检测电路70中产生断线等故障，则由温度传感器7得到的温度检测值有时候显著变低。在这样的情况下，如果在步骤#1中判定为正常而物品搬送车3继续行驶，则再生电阻5的温度有可能超过额定范围地上升。在再生电阻5的温度不到第三温度TH3的情况下，如果物品搬送车3的行驶速度被限制，则能够抑制那样的温度上升。
可是，如果使行驶速度被限制的物品搬送车3按其原样行驶，则存在故障发展到几乎不能行驶的程度的可能性。另外，如果行驶速度被限制的物品搬送车3行驶，则成为行驶速度未被限制的其它物品搬送车3的行驶的障碍，存在招致例如物品搬送车3的拥塞等、使搬送效率下降的可能性。因此，优选使行驶速度被限制的物品搬送车3退避至维护区域E2。但是，在物品搬送车3正搬送物品W的情况下，优选在将正搬送的物品W搬送至目的地之后，退避至维护区域E2，以使得不会产生如下这一操作的工时：操作者将该物品W运送到搬送目的地或将该物品W转运至其它物品搬送车3。
图8的流程图示出再生电阻5的温度(TH)与物品搬送车3的控制的关系的一个示例。即，搬送车控制系统100基于温度传感器7的检测结果来将物品搬送车3的行驶速度限制于限制速度以下(#5)，在物品搬送车3正搬送物品W的情况下(#6)，在将该物品W搬送至搬送目的地之后(#7)，使该物品搬送车3朝向维护区域E2(#8)。另外，在物品搬送车3未搬送物品W的情况下(#6)，搬送车控制系统100使该物品搬送车3按其原样朝向维护区域E2(#8)。
如上所述，搬送车控制系统100包括对利用多个物品搬送车3的物品W的搬送进行控制的设备控制装置H所具备的搬送控制部H1和各个物品搬送车3所具备的车辆控制部31，设备控制装置H和各个物品搬送车3能够进行双向通信。车辆控制部31进行以温度传感器7的检测结果为基础的判定、以该检测结果和基于该检测结果的判定结果的至少一个为基础的、再生电阻信息向搬送控制部H1的发送、以判定结果为基础的物品搬送车3的行驶速度的控制以及以判定结果为基础的开关8的控制。搬送控制部H1接收再生电阻信息，在基于再生电阻信息来判定为物品搬送车3的行驶速度限制于限制速度以下的情况下，将以维护区域E2内的地点作为该物品搬送车3的目的地的搬送指令发送至该物品搬送车3。
由于各个物品搬送车3的车辆控制部31基于再生电阻5的温度(TH)来控制物品搬送车3的行驶速度等，因而能够在再生电阻5的温度被检测到之后迅速地控制物品搬送车3。另外，搬送控制部H1接收以温度传感器7的检测结果和基于该检测结果的判定结果的至少一个为基础的再生电阻信息，即使在判定物品搬送车3的行驶速度被限制的情况下，在该物品搬送车3正搬送物品W的情况下，也维持该物品W的搬送指令。因此，能够将正搬送的物品W搬送至目的地，而不会致使产生如下这一操作的工时：操作者将该物品W运送到搬送目的地，或将该物品W转运至其它物品搬送车3。
在基于所接收的再生电阻信息来判定为物品搬送车3的行驶速度被限制的情况下，如果该物品搬送车3并非正搬送物品W，则搬送控制部H1将以维护区域E2内的地点作为该物品搬送车3的目的地的搬送指令发送至该物品搬送车3。接受搬送指令的该物品搬送车3的车辆控制部31基于搬送指令来朝向维护区域E2行驶。在物品搬送车3正搬送该物品W的情况下，如上所述地维持该物品W的搬送指令，在搬送之后，将以维护区域E2内的地点作为该物品搬送车3的目的地的搬送指令发送至该物品搬送车3。接受搬送指令的该物品搬送车3的车辆控制部31基于搬送指令来朝向维护区域E2行驶。
此时，搬送控制部H1基于该物品搬送车3的位置、行驶路径1的配置形状、其它物品搬送车3的位置等来生成朝向维护区域E2的搬送指令并向车辆控制部31发送。因此，搬送控制部H1能够使行驶速度被限制的物品搬送车3以适当的路径来朝向维护区域E2。例如，即使在维护区域E2设定于多个部位的情况下，也能够基于位置信息来使物品搬送车3朝向最佳维护区域E2。
〔其它实施方式〕
以下，对其它实施方式进行说明。此外，以下说明的各实施方式的构成不限于分别单独地适用，只要不产生矛盾，也还能够与其它实施方式的构成组合适用。
(1)在上述中，作为物品搬送车3，举例说明了悬挂支撑于顶棚侧的顶棚搬送车。然而，只要是在行驶路径1中包括搬送区域E1和维护区域E2的物品搬送设备，物品搬送车3也可以是行驶于地面侧的搬送车。
(2)在上述中，作为搬送对象的物品W，举例说明了FOUP或掩模版，但物品W不限于这些，也可以是其它物品。
(3)在上述中，举例说明了如下的方式：在行驶速度被限制的物品搬送车3正搬送物品W的情况下，在将该物品W搬送至搬送目的地之后，使该物品搬送车3朝向维护区域E2。然而，即使在该情况下，也不妨碍使物品搬送车3按其原样朝向维护区域E2。
(4)在上述中，作为电源部，举例说明了具备从馈电线11接受电力供给的受电部4的方式，但也可以是作为电源部具备电池等蓄电装置的方式。
〔实施方式的概要〕
以下，对在上述中说明的物品搬送设备的概要简单地进行说明。
作为一个方式，具备沿着行驶路径行驶并搬送物品的物品搬送车的物品搬送设备具备控制前述物品搬送车的搬送车控制系统，前述物品搬送车具备：行驶用马达，其对车轮进行驱动；电源部，其将电力供给至前述行驶用马达；再生电阻，其被供给有在前述行驶用马达再生时产生的再生电力；温度传感器，其检测前述再生电阻的温度；以及开关，其配置于前述电源部与前述行驶用马达的电连接路径，并能够将从前述电源部向前述行驶用马达的电力供给截断，前述搬送车控制系统在由前述温度传感器检测到前述再生电阻的温度是设定成比预先规定的恒定状态的温度范围即恒定温度范围更高的温度的第一温度以上的情况下，将前述物品搬送车的行驶速度限制于预先规定的限制速度以下，在由前述温度传感器检测到前述再生电阻的温度是设定成比前述第一温度更高的温度的第二温度以上的情况下，由前述开关将前述电源部与前述行驶用马达的连接截断。
依据该构成，由温度传感器检测也包括环境温度所造成的影响在内的再生电阻的温度，基于所检测到的温度来选择两个不同的控制状态并控制物品搬送车。即，根据再生电阻是第一温度以上还是比第一温度更高的第二温度以上而选择控制状态。在再生电阻的温度是第二温度以上的情况下，电源部与行驶用马达的电连接通过开关来截断。在再生电阻的温度是第一温度以上且不到第二温度的情况下，电源部与行驶用马达的电连接不被截断，在物品搬送车的行驶速度限制于限制速度以下的状态下继续行驶。照此，在截断电源部与行驶用马达的电连接之前的阶段中，限制物品搬送车的行驶速度，由此能够维持物品搬送车的行驶并同时抑制再生电阻的温度上升。因此，能够降低起因于再生电阻的温度上升而使物品搬送车的行驶停止的可能性，抑制物品搬送设备的搬送效率的下降。另外，依据本构成，并非是预测值，而是通过温度传感器检测实际的再生电阻的温度，因而即使环境温度变化，也能够根据再生电阻的温度而适当地控制物品搬送车。照此，依据本构成，能够抑制系统效率的下降并同时根据再生电阻的温度而适当地控制系统。
另外，优选前述搬送车控制系统在由前述温度传感器检测到前述再生电阻的温度不到设定成比前述恒定温度范围更低的温度的第三温度的情况下，将前述物品搬送车的行驶速度限制于前述限制速度以下。
例如，如果温度传感器产生断线等故障，则由温度传感器得到的检测值有时候显著地变低。在这样的情况下，如果判定为正常而物品搬送车继续行驶，则再生电阻的温度有可能超过额定范围地上升。如本构成那样，在再生电阻的温度不到比恒定温度范围更低的第三温度的情况下，如果物品搬送车的行驶速度限制于限制速度以下，则能够抑制那样的温度上升。此外，该情况下的限制速度相对于再生电阻的温度为第一温度以上的情况而言可以相同的速度，也可以是不同的速度。
另外，优选在前述行驶路径中，包括作为在搬送前述物品的情况下通过的区域的搬送区域和作为在进行前述物品搬送车的维护的情况下通过的区域的维护区域，前述搬送车控制系统基于前述温度传感器的检测结果来将前述物品搬送车的行驶速度限制于前述限制速度以下，在前述物品搬送车正搬送前述物品的情况下，在将该物品搬送至搬送目的地之后，使该物品搬送车朝向前述维护区域，在前述物品搬送车未搬送前述物品的情况下，使该物品搬送车按其原样朝向前述维护区域。
如果使行驶速度被限制的物品搬送车按其原样行驶，则存在故障发展到几乎不能行驶的程度的可能性。另外，如果行驶速度被限制的物品搬送车行驶，则成为行驶速度未被限制的物品搬送车的行驶的障碍，存在例如招致物品搬送车的拥塞等、使搬送效率下降的可能性。因此，优选为行驶速度被限制的物品搬送车退避至维护区域。依据本构成，在物品搬送车未搬送物品的情况下，能够使该物品搬送车按其原样朝向维护区域，迅速地进行该物品搬送车的维护。另外，在物品搬送车正搬送物品的情况下，在将该物品搬送至搬送目的地之后，使该物品搬送车朝向维护区域，因而不需要操作者将该物品运送到搬送目的地或将该物品转运至其它物品搬送车这一操作等工时，就能够将物品搬送到搬送目的地，并且能够适当地进行该物品搬送车的维护。
另外，前述搬送车控制系统包括对利用多个前述物品搬送车的前述物品的搬送进行控制的设备控制装置所具备的搬送控制部和各个前述物品搬送车所具备的车辆控制部，前述设备控制装置和各个前述物品搬送车能够进行双向通信，前述车辆控制部进行以前述温度传感器的检测结果为基础的判定、以该检测结果和基于该检测结果的判定结果的至少一个为基础的、再生电阻信息向前述搬送控制部的发送、以前述判定结果为基础的前述物品搬送车的行驶速度的控制以及以前述判定结果为基础的前述开关的控制，前述搬送控制部接收前述再生电阻信息，在基于前述再生电阻信息来判定为前述物品搬送车的行驶速度限制于前述限制速度以下的情况下，将以前述维护区域内的地点作为该物品搬送车的目的地的搬送指令发送至该物品搬送车。
依据该构成，物品搬送车本身的车辆控制部基于再生电阻的温度来控制物品搬送车的行驶速度等，因而能够在再生电阻的温度被检测到之后迅速地控制物品搬送车。另外，搬送控制部能够使行驶速度被限制的物品搬送车以适当的路径朝向维护区域。
另外，优选前述物品搬送车具备检测前述行驶路径中的位置的位置检测部，将所检测到的位置信息发送至前述搬送控制部，前述搬送控制部将基于前述位置信息来生成的前述搬送指令发送至前述物品搬送车。
依据该构成，即使在例如维护区域被设定于多个部位的情况下，也能够基于位置信息来使物品搬送车朝向最佳维护区域。
符号说明
1：行驶路径
3：物品搬送车
4：受电部(电源部)
5：再生电阻
7：温度传感器
8：开关
31：车辆控制部
32：位置检测传感器(位置检测部)
35：行驶用致动器(行驶用马达)
100：搬送车控制系统
200：物品搬送设备
E1：搬送区域
E2：维护区域
H：设备控制装置
H1：搬送控制部
TH1：第一温度
TH2：第二温度
TH3：第三温度
W：物品

Claims (8)

1.一种物品搬送设备，其是具备沿着行驶路径行驶并搬送物品的物品搬送车的物品搬送设备，
具备控制所述物品搬送车的搬送车控制系统，
所述物品搬送车具备：
行驶用马达，其对车轮进行驱动；
电源部，其将电力供给至所述行驶用马达；
再生电阻，其被供给有在所述行驶用马达再生时产生的再生电力；
温度传感器，其检测所述再生电阻的温度；以及
开关，其配置于所述电源部与所述行驶用马达的电连接路径，并能够将从所述电源部向所述行驶用马达的电力供给截断，
该物品搬送设备具备以下的特征：
所述搬送车控制系统，
在由所述温度传感器检测到所述再生电阻的温度是设定成比预先规定的恒定状态的温度范围即恒定温度范围更高的温度的第一温度以上的情况下，将所述物品搬送车的行驶速度限制于预先规定的限制速度以下，
在由所述温度传感器检测到所述再生电阻的温度是设定成比所述第一温度更高的温度的第二温度以上的情况下，由所述开关将所述电源部与所述行驶用马达的连接截断。
2.根据权利要求1所述的物品搬送设备，其中，
所述搬送车控制系统在由所述温度传感器检测到所述再生电阻的温度不到设定成比所述恒定温度范围更低的温度的第三温度的情况下，将所述物品搬送车的行驶速度限制于所述限制速度以下。
3.根据权利要求1所述的物品搬送设备，其中，
在所述行驶路径中，包括作为在搬送所述物品的情况下通过的区域的搬送区域和作为在进行所述物品搬送车的维护的情况下通过的区域的维护区域，
所述搬送车控制系统，
基于所述温度传感器的检测结果来将所述物品搬送车的行驶速度限制于所述限制速度以下，
在所述物品搬送车正搬送所述物品的情况下，在将该物品搬送至搬送目的地之后，使该物品搬送车朝向所述维护区域，
在所述物品搬送车未搬送所述物品的情况下，使该物品搬送车按其原样朝向所述维护区域。
4.根据权利要求2所述的物品搬送设备，其中，
在所述行驶路径中，包括作为在搬送所述物品的情况下通过的区域的搬送区域和作为在进行所述物品搬送车的维护的情况下通过的区域的维护区域，
所述搬送车控制系统，
基于所述温度传感器的检测结果来将所述物品搬送车的行驶速度限制于所述限制速度以下，
在所述物品搬送车正搬送所述物品的情况下，在将该物品搬送至搬送目的地之后，使该物品搬送车朝向所述维护区域，
在所述物品搬送车未搬送所述物品的情况下，使该物品搬送车按其原样朝向所述维护区域。
5.根据权利要求3所述的物品搬送设备，其中，
所述搬送车控制系统包括对利用多个所述物品搬送车的所述物品的搬送进行控制的设备控制装置所具备的搬送控制部和各个所述物品搬送车所具备的车辆控制部，所述设备控制装置和各个所述物品搬送车能够进行双向通信，
所述车辆控制部进行以所述温度传感器的检测结果为基础的判定、以该检测结果和基于该检测结果的判定结果的至少一个为基础的、再生电阻信息向所述搬送控制部的发送、以所述判定结果为基础的所述物品搬送车的行驶速度的控制以及以所述判定结果为基础的所述开关的控制，
所述搬送控制部接收所述再生电阻信息，在基于所述再生电阻信息来判定为所述物品搬送车的行驶速度限制于所述限制速度以下的情况下，将以所述维护区域内的地点作为该物品搬送车的目的地的搬送指令发送至该物品搬送车。
6.根据权利要求4所述的物品搬送设备，其中，
所述搬送车控制系统包括对利用多个所述物品搬送车的所述物品的搬送进行控制的设备控制装置所具备的搬送控制部和各个所述物品搬送车所具备的车辆控制部，所述设备控制装置和各个所述物品搬送车能够进行双向通信，
所述车辆控制部进行以所述温度传感器的检测结果为基础的判定、以该检测结果和基于该检测结果的判定结果的至少一个为基础的、再生电阻信息向所述搬送控制部的发送、以所述判定结果为基础的所述物品搬送车的行驶速度的控制以及以所述判定结果为基础的所述开关的控制，
所述搬送控制部接收所述再生电阻信息，在基于所述再生电阻信息来判定为所述物品搬送车的行驶速度限制于所述限制速度以下的情况下，将以所述维护区域内的地点作为该物品搬送车的目的地的搬送指令发送至该物品搬送车。
7.根据权利要求5所述的物品搬送设备，其中，
所述物品搬送车具备检测所述行驶路径中的位置的位置检测部，将所检测到的位置信息发送至所述搬送控制部，所述搬送控制部将基于所述位置信息来生成的所述搬送指令发送至所述物品搬送车。
8.根据权利要求6所述的物品搬送设备，其中，
所述物品搬送车具备检测所述行驶路径中的位置的位置检测部，将所检测到的位置信息发送至所述搬送控制部，所述搬送控制部将基于所述位置信息来生成的所述搬送指令发送至所述物品搬送车。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59180609A (ja) * 1983-03-30 1984-10-13 Daifuku Co Ltd 自走搬送台車
JPH01169609A (ja) 1987-12-25 1989-07-04 Hitachi Ltd 表示時間幅可変のトレンド記録計を有するオペレータズコンソール
JPH03150083A (ja) * 1989-11-06 1991-06-26 Yaskawa Electric Mfg Co Ltd インバータの回生処理回路
JPH1169609A (ja) * 1997-08-21 1999-03-09 Mori Seiki Co Ltd 回生放電抵抗の過熱防止装置
JP5034914B2 (ja) * 2007-12-07 2012-09-26 三菱電機株式会社 エレベータの制御装置
JP5241367B2 (ja) * 2008-07-30 2013-07-17 株式会社日立産機システム 電動巻上機
WO2010016176A1 (ja) * 2008-08-05 2010-02-11 エドワーズ株式会社 モータドライバー回路及び該モータドライバー回路を搭載した真空ポンプ
JP2010093970A (ja) * 2008-10-09 2010-04-22 Toshiba Mach Co Ltd 回生抵抗温度表示装置、その方法、および、モータ装置。
JP5790483B2 (ja) * 2011-12-26 2015-10-07 三菱電機株式会社 エレベータの制御装置
WO2013115035A1 (ja) * 2012-01-31 2013-08-08 三洋電機株式会社 電源装置及びこの電源装置を備える車両並びに蓄電装置
CN104335471B (zh) * 2012-05-23 2017-11-10 三菱电机株式会社 逆变器装置
DE102013205314B4 (de) * 2013-03-26 2016-09-29 Continental Automotive Gmbh Verfahren zum Betreiben einer Rekuperationsbremseinrichtung eines Kraftfahrzeugs und Rekuperationsbremseinrichtung für ein Kraftfahrzeug
JP2017131037A (ja) * 2016-01-20 2017-07-27 シャープ株式会社 自律走行装置
JP6711311B2 (ja) * 2017-05-09 2020-06-17 株式会社ダイフク 物品搬送設備
US11209488B2 (en) * 2017-12-22 2021-12-28 Litech Laboratories, Inc. Energy delivery system
JP6864781B2 (ja) * 2018-02-22 2021-04-28 日立建機株式会社 電気駆動車両
US11221621B2 (en) * 2019-03-21 2022-01-11 Drivent Llc Self-driving vehicle systems and methods
JP7128973B2 (ja) * 2020-05-09 2022-08-31 深▲せん▼汝原科技有限公司 物体を乾燥させる装置及び方法

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