CN114016123A - 一种单晶炉内导流筒的生产工艺 - Google Patents
一种单晶炉内导流筒的生产工艺 Download PDFInfo
- Publication number
- CN114016123A CN114016123A CN202111296638.0A CN202111296638A CN114016123A CN 114016123 A CN114016123 A CN 114016123A CN 202111296638 A CN202111296638 A CN 202111296638A CN 114016123 A CN114016123 A CN 114016123A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- needling
- foam
- single crystal
- guide cylinder
- mould
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims abstract description 17
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 12
- 239000006260 foam Substances 0.000 claims abstract description 16
- 239000003292 glue Substances 0.000 claims abstract description 12
- 239000002023 wood Substances 0.000 claims abstract description 11
- 230000001680 brushing effect Effects 0.000 claims abstract description 8
- 238000003754 machining Methods 0.000 claims abstract description 6
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims abstract description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 14
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 8
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 6
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims description 5
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 4
- 238000003763 carbonization Methods 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- 235000017166 Bambusa arundinacea Nutrition 0.000 claims description 2
- 235000017491 Bambusa tulda Nutrition 0.000 claims description 2
- 241001330002 Bambuseae Species 0.000 claims description 2
- 235000015334 Phyllostachys viridis Nutrition 0.000 claims description 2
- 239000011425 bamboo Substances 0.000 claims description 2
- 238000005470 impregnation Methods 0.000 claims description 2
- 239000003345 natural gas Substances 0.000 claims description 2
- CREMABGTGYGIQB-UHFFFAOYSA-N carbon carbon Chemical compound C.C CREMABGTGYGIQB-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 239000011203 carbon fibre reinforced carbon Substances 0.000 abstract 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010000 carbonizing Methods 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 229920000049 Carbon (fiber) Polymers 0.000 description 1
- 238000002679 ablation Methods 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004917 carbon fiber Substances 0.000 description 1
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000002296 pyrolytic carbon Substances 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 238000002791 soaking Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/71—Ceramic products containing macroscopic reinforcing agents
- C04B35/78—Ceramic products containing macroscopic reinforcing agents containing non-metallic materials
- C04B35/80—Fibres, filaments, whiskers, platelets, or the like
- C04B35/83—Carbon fibres in a carbon matrix
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B29/00—Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
- C30B29/02—Elements
- C30B29/06—Silicon
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/48—Organic compounds becoming part of a ceramic after heat treatment, e.g. carbonising phenol resins
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Composite Materials (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Inorganic Fibers (AREA)
Abstract
本发明涉及针刺碳碳热屏内胆技术领域,公开了一种单晶炉内导流筒的生产工艺,针对现有技术中的单晶炉内导流筒的性能差、生产工艺复杂的问题,现提出如下方案,其包括以下步骤:S1、依据客户图,之后将模具送至机加工车间进行尺寸加工、表面抛光,然后在图纸上设计好预制体加工尺寸,并下发至车间;S2、车间依据预制体图纸设计相应的模具;S3、采取直接刷胶方式,刷胶完成后等待泡沫上和木模上的万能胶完全干后,泡沫直接粘贴到模具上。本发明采用木模为模具,拆装方便,操作简单,导流筒针刺进展速度快,而且采用手工针刺和机器针刺的形式,有效减少了分层架桥现象。
Description
技术领域
本发明涉及针刺碳碳热屏内胆技术领域,尤其涉及一种单晶炉内导流筒的生产工艺。
背景技术
近两年,随着单晶炉热场尺寸的不断增大,导流筒作为单晶炉的一个重要部件,在单晶硅的生产中起到了重要的作用,单晶炉的导流筒对晶体生长有很大影响。使用导流筒可以减少炉体上部的氩气流动涡胞,进而减少氧化挂在单晶炉上部的沉积,从而确保拉制的单晶硅棒具有很高的质量;单晶炉拉制单晶硅棒时,由于石墨制品强度低,其抗折强度为13 MPa左右,导热系数为140 W/m*k左右,抗热震性能较差,使用寿命较短;此外,大尺寸导流筒成形困难,耗材较多,难以满足单晶硅生产发展的需要,为此,本方案设计了一种单晶炉内导流筒的生产工艺。
发明内容
本发明提出的一种单晶炉内导流筒的生产工艺,解决了现有技术中的单晶炉内导流筒的性能差、生产工艺复杂的问题。
为了实现上述目的,本发明采用了如下技术方案:
一种单晶炉内导流筒的生产工艺,包括以下步骤:
S1、依据客户图,之后将模具送至机加工车间进行尺寸加工、表面抛光,然后在图纸上设计好预制体加工尺寸,并下发至车间;
S2、车间依据预制体图纸设计相应的模具;
S3、采取直接刷胶方式,刷胶完成后等待泡沫上和木模上的万能胶完全干后,泡沫直接粘贴到模具上,粘贴泡沫分为两部分(A1和B1),A1处末端切成45°,B1段首部成45°,泡沫各处粘接缝隙小于3毫米,粘贴好泡沫后的模具安装到针刺设备上;
S4、准备好制备导流筒所需要克重的网胎;
S5、将上好法兰的模具套在设备轴上;
S6、按照工艺要求使用4排针板,长度130cm用G形夹进行固定,并保持针板再一条直线上;
S7、铺层、针刺:1-10层依照工艺要求铺层针刺深度为2-14mm,
第10层依照工艺要求铺层针刺深度为13-15mm。
S8、加工至成品尺寸后进行脱膜、烘烤;
S9、烘烤完成后经天然气沉积、树脂浸渍、碳化、机加工、高温等工艺后,即得到客户图纸尺寸要求的导流筒成品。
优选的,所述S2步骤中模具采用木质材料制成。
优选的,所述S7步骤中,C1处转频/刺频与D1处采用机器进行针刺转频、刺频一致,B1处与E1处采用手工针刺的方式进行针刺。
本发明中:
1.炭/ 炭复合材料是一种将炭纤维制成的网胎与网胎和碳布,再经过增密、炭化和石墨化处理而成,具有高比强度、高比模量、耐高温、耐烧蚀、热膨胀系数小、耐急冷急热而不变形不开裂等优良性能;
2.采用木模为模具,拆装方便,操作简单,导流筒针刺进展速度快;
3.采用手工针刺和机器针刺的形式减少了分层架桥现象。
附图说明
图1为本发明的正视剖视图。
图2为本发明的齿圈与齿轮的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。
实施例1:
参照图1-2,一种单晶炉内导流筒的生产工艺,先设计出导流筒所需要的木模,并把木模图纸下发到机加车间,进行尺寸加工、表面抛光,接着再按如下步骤进行:
步骤一:将加工好的模具送到模具车间进行贴膜,采取直接刷胶方式,刷胶完成后等待泡沫上和木模上的万能胶完全干后,泡沫直接粘贴到模具上,粘贴泡沫分为两部分(A1和B1),A1处末端切成45°,B1段首部成45°,泡沫各处粘接缝隙小于3毫米。
步骤二:网胎制备处理,将纤维进行裁切,裁切为7-8cm的短切纤维,然后再经过网胎机的处理,得到工艺要求克重的网胎。
步骤三:将上好法兰的模具套在设备轴上,将斜丝杠升高至与台面成0°,手动转动模具,确认轴端口与模具底部完全接触后将法兰两侧顶丝上死即可,然后校验机器让针板和木模直段保持水平;
步骤四:按照工艺要求使用4排针板,长度130cm用G形夹进行固定,并保持针板再一条直线上;
步骤五:刺频/转频:C1处转频/刺频与D1处转频、刺频一致(转频:0.35±0.02 刺频:32),B1处与E1处采用手工针刺的方式进行针刺;
步骤六:加工至成品尺寸后进行脱膜、然后送入烘箱进行4小时的烘烤定型;
步骤七:将定型好的预制体放入沉积炉中1200℃沉积300h,通入适量碳源气体和载气;
步骤八:沉积完成后清理表面残渣,根据密度情况将导流筒放入树脂中浸渍24h;
步骤九:将浸渍完成的导流筒静置控干,然后放入高压固化罐中固化48h;
步骤十:将经过固化的导流筒放入碳化炉中900℃碳化50h,使树脂经过高温分解变成热解碳;
步骤十一:将碳化完成的导流筒按客户所需求图纸加工成对应形状,达到所需功能外形。
以上所述,仅为本发明较佳的具体实施方式,但本发明的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内,根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本发明的保护范围之内。
Claims (3)
1.一种单晶炉内导流筒的生产工艺,其特征在于,包括以下步骤:
S1、依据客户图,之后将模具送至机加工车间进行尺寸加工、表面抛光,然后在图纸上设计好预制体加工尺寸,并下发至车间;
S2、车间依据预制体图纸设计相应的模具;
S3、采取直接刷胶方式,刷胶完成后等待泡沫上和木模上的万能胶完全干后,泡沫直接粘贴到模具上,粘贴泡沫分为两部分(A1和B1),A1处末端切成45°,B1段首部成45°,泡沫各处粘接缝隙小于3毫米,粘贴好泡沫后的模具安装到针刺设备上;
S4、准备好制备导流筒所需要克重的网胎;
S5、将上好法兰的模具套在设备轴上;
S6、按照工艺要求使用4排针板,长度130cm用G形夹进行固定,并保持针板再一条直线上;
S7、铺层、针刺:1-10层依照工艺要求铺层针刺深度为2-14mm,
第10层依照工艺要求铺层针刺深度为13-15mm;
S8、加工至成品尺寸后进行脱膜、烘烤;
S9、烘烤完成后经天然气沉积、树脂浸渍、碳化、机加工、高温等工艺后,即得到客户图纸尺寸要求的导流筒成品。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉内导流筒的生产工艺,其特征在于,所述S2步骤中模具采用木质材料制成。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉内导流筒的生产工艺,其特征在于,所述S7步骤中,C1处转频/刺频与D1处采用机器进行针刺转频、刺频一致,B1处与E1处采用手工针刺的方式进行针刺。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202111296638.0A CN114016123A (zh) | 2021-11-04 | 2021-11-04 | 一种单晶炉内导流筒的生产工艺 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202111296638.0A CN114016123A (zh) | 2021-11-04 | 2021-11-04 | 一种单晶炉内导流筒的生产工艺 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN114016123A true CN114016123A (zh) | 2022-02-08 |
Family
ID=80060648
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202111296638.0A Pending CN114016123A (zh) | 2021-11-04 | 2021-11-04 | 一种单晶炉内导流筒的生产工艺 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN114016123A (zh) |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1907915A (zh) * | 2006-07-20 | 2007-02-07 | 西安超码科技有限公司 | 单晶硅拉制炉用热场炭/炭导流筒的制备方法 |
CN101311334A (zh) * | 2008-03-03 | 2008-11-26 | 湖南金博复合材料科技有限公司 | 单晶炉导流筒及其生产工艺 |
CN102922622A (zh) * | 2012-11-23 | 2013-02-13 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 一种纤维增强复合材料汽车后箱盖的生产方法 |
CN106863844A (zh) * | 2015-12-14 | 2017-06-20 | 中航复合材料有限责任公司 | 一种泡沫夹芯结构复合材料舱门的制造方法 |
CN108191448A (zh) * | 2018-01-24 | 2018-06-22 | 航天睿特碳材料有限公司 | 一种缠绕工艺制备碳/碳筒体的方法 |
CN109056186A (zh) * | 2018-08-22 | 2018-12-21 | 青岛高泰新材料有限公司 | 一种低密度多角度编制碳纤维硬质保温筒的制备方法 |
CN109354507A (zh) * | 2018-11-02 | 2019-02-19 | 西安超码科技有限公司 | 一种新型长寿命炭/炭复合材料坩埚预制体的制作方法 |
CN110757835A (zh) * | 2019-10-09 | 2020-02-07 | 保山隆基硅材料有限公司 | 一种热场用导流筒制造方法和导流筒 |
CN111848203A (zh) * | 2020-07-29 | 2020-10-30 | 上海大学绍兴研究院 | 一种碳纤维针刺预制体净尺寸成型的方法及模具 |
CN112060620A (zh) * | 2020-09-03 | 2020-12-11 | 陕西美兰德炭素有限责任公司 | 碳碳保温筒成型工艺 |
CN112553779A (zh) * | 2020-12-20 | 2021-03-26 | 西安美兰德新材料有限责任公司 | 一种针刺碳碳埚托的生产工艺 |
-
2021
- 2021-11-04 CN CN202111296638.0A patent/CN114016123A/zh active Pending
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1907915A (zh) * | 2006-07-20 | 2007-02-07 | 西安超码科技有限公司 | 单晶硅拉制炉用热场炭/炭导流筒的制备方法 |
CN101311334A (zh) * | 2008-03-03 | 2008-11-26 | 湖南金博复合材料科技有限公司 | 单晶炉导流筒及其生产工艺 |
CN102922622A (zh) * | 2012-11-23 | 2013-02-13 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 一种纤维增强复合材料汽车后箱盖的生产方法 |
CN106863844A (zh) * | 2015-12-14 | 2017-06-20 | 中航复合材料有限责任公司 | 一种泡沫夹芯结构复合材料舱门的制造方法 |
CN108191448A (zh) * | 2018-01-24 | 2018-06-22 | 航天睿特碳材料有限公司 | 一种缠绕工艺制备碳/碳筒体的方法 |
CN109056186A (zh) * | 2018-08-22 | 2018-12-21 | 青岛高泰新材料有限公司 | 一种低密度多角度编制碳纤维硬质保温筒的制备方法 |
CN109354507A (zh) * | 2018-11-02 | 2019-02-19 | 西安超码科技有限公司 | 一种新型长寿命炭/炭复合材料坩埚预制体的制作方法 |
CN110757835A (zh) * | 2019-10-09 | 2020-02-07 | 保山隆基硅材料有限公司 | 一种热场用导流筒制造方法和导流筒 |
CN111848203A (zh) * | 2020-07-29 | 2020-10-30 | 上海大学绍兴研究院 | 一种碳纤维针刺预制体净尺寸成型的方法及模具 |
CN112060620A (zh) * | 2020-09-03 | 2020-12-11 | 陕西美兰德炭素有限责任公司 | 碳碳保温筒成型工艺 |
CN112553779A (zh) * | 2020-12-20 | 2021-03-26 | 西安美兰德新材料有限责任公司 | 一种针刺碳碳埚托的生产工艺 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN111169031B (zh) | 一种提高缠绕成型炭/炭复合材料层间结合强度的方法 | |
CN108129158B (zh) | 一种炭-炭薄壁多孔件及其制备方法 | |
CN111376389B (zh) | 一种带翻边的筒形复合材料构件成型模具及制备方法 | |
CN107244938B (zh) | 一种高性能复合碳纤维导流筒的制造方法 | |
CN111848203A (zh) | 一种碳纤维针刺预制体净尺寸成型的方法及模具 | |
CN102515812A (zh) | 碳碳化硅坩埚及其制作工艺 | |
CN113024269A (zh) | 一种高性能超大超厚碳/碳复合材料的制备方法 | |
CN114379115A (zh) | 一种碳碳埚托及其制备方法 | |
CN113186598A (zh) | 基于缠绕工艺和针刺工艺制备的碳/碳复合材料坩埚 | |
CN111960841A (zh) | 一种单晶炉坩埚托盘的制备方法 | |
CN112060620A (zh) | 碳碳保温筒成型工艺 | |
CN114656271A (zh) | 一种碳碳坩埚及其制备方法 | |
CN109053188A (zh) | 一种ZrO2基耐高温复合材料的制备方法 | |
CN110526727B (zh) | 一种陶瓷基复合材料结构及其制备方法 | |
CN109228546B (zh) | 一种高密度多角度编制碳纤维碳碳筒的制备方法 | |
CN103804005B (zh) | 一种碳化硅陶瓷基复合材料倒t形截面构件的成型方法 | |
CN108129159B (zh) | 一种碳纤维保温筒及其制备方法 | |
CN108129155B (zh) | 一种复合结构炭-炭保温筒及其制备方法 | |
CN114016123A (zh) | 一种单晶炉内导流筒的生产工艺 | |
CN113997452A (zh) | 一种单晶炉外导流筒的生产工艺 | |
CN113547684A (zh) | 一种大尺寸碳碳埚托的模压模具及其制备方法 | |
CN114368976B (zh) | 石英纤维增强炭-二氧化硅复合材料坩埚及其制备方法 | |
CN107901448B (zh) | 大直径复合裙加压固化方法 | |
CN115572174A (zh) | 碳碳复合材料的制备方法、碳碳复合材料及其用途 | |
CN104690987A (zh) | 一种基于rtm的风机风扇叶片制造工艺 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication | ||
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20220208 |