CN113906839A - 对基板作业机 - Google Patents

Abstract

对基板作业机具备：支撑板；支撑部件，配置于支撑板而从下方支撑基板；移动装置，使支撑部件移动；移动控制部，基于表示配置于支撑板的支撑部件的位置的位置程序来控制移动装置的动作；显示部，在表示基板的基板图像上重叠地显示位置程序表示的支撑部件的位置；及编辑部，接受基于作业者的支撑部件的增减及支撑部件的位置的变更的要求，并编辑位置程序。

Description

对基板作业机

技术领域

本发明涉及一种对基板作业机。

背景技术

对基板作业机被用于基板产品的生产。在专利文献1中，作为预定的对基板作业，公开了向基板安装元件的元件安装机。这样的元件安装机对被搬入到机内的基板进行定位，并且使支撑部件从下方与基板接触而进行支撑。上述支撑部件基于根据预定执行的对基板作业、基板的类别、基板的背面(被定位的基板的下表面)的状态而生成的位置程序(相当于专利文献1中的图10所示的支撑销坐标数据)来配置。

现有技术文献

专利文献1：国际公开第2004/103054号

发明内容

发明所要解决的课题

在此，当在对基板作业机中编辑位置程序时，安装于背面的元件与支撑部件有可能发生干扰。因此，通常原则上禁止对基板作业机中的位置程序的编辑。与此相对，例如当多次执行了预定的对基板作业时，有时根据作业结果的趋势要求位置程序的编辑。然而，即使假设允许位置程序的编辑，作业者也无法目视确认被定位的基板的背面，因此不容易进行支撑部件的适当的调整处理。

另外，在多次执行了预定的对基板作业的情况下，例如即使多次产生了相同的错误，也难以判断是否通过支撑部件的位置的调整处理来解决错误。为了维持对基板作业机的理想的生产，期望一边应对可能变动的生产环境，一边准确地判定是否需要进行支撑部件的位置的调整处理。

作为第一课题，本说明书的目的在于提供一种对基板作业机，能够允许位置程序的编辑，以便适当地执行支撑部件的位置的调整处理。另外，作为第二课题，本说明书的目的在于提供一种对基板作业机，能够更准确地判定是否需要进行支撑部件的位置的调整处理。

用于解决课题的技术方案

本说明书公开了第一对基板作业机，具备：支撑板；支撑部件，配置于上述支撑板而从下方支撑基板；移动装置，使上述支撑部件移动；移动控制部，基于表示配置于上述支撑板的上述支撑部件的位置的位置程序来控制上述移动装置的动作；显示部，在表示上述基板的基板图像上重叠地显示上述位置程序表示的上述支撑部件的位置；及编辑部，接受作业者的对于上述支撑部件的增减及上述支撑部件的位置的变更的要求，并编辑上述位置程序。

本说明书公开了第二对基板作业机，具备：支撑板；支撑部件，配置于上述支撑板而从下方支撑基板；移动装置，使上述支撑部件移动；移动控制部，基于表示配置于上述支撑板的上述支撑部件的位置的位置程序来控制上述移动装置的动作；及判定部，基于与预定的对基板作业对于上述基板的执行相关的作业评价数据，来判定是否需要包括上述支撑部件的增减及上述支撑部件的位置的变更在内的调整处理。

发明效果

根据第一对基板作业机的结构，作业者能够一边参照重叠地显示有支撑部件的位置的基板图像，一边指示支撑部件的调整。由此，对基板作业机能够允许位置程序的编辑，以便适当地执行支撑部件的位置的调整处理。

根据第二对基板作业机的结构，能够基于与对基板作业的执行相关的作业评价数据，判定是否需要进行支撑部件的位置的调整处理。由此，能够可靠地执行所需的调整处理，能够提高对基板作业的精度及效率。另外，能够防止执行不需要的调整处理，能够防止生产率的降低。

附图说明

图1是表示实施方式中的元件安装机的立体图。

图2是表示基板输送装置的支撑装置的侧视图。

图3是表示位置程序的图。

图4是表示第一方式中的元件安装机的控制装置的框图。

图5是表示包括显示于控制装置的显示装置的基板图像在内的各种信息的图。

图6是表示第一方式的位置程序的编辑处理的流程图。

图7是表示第二方式中的元件安装机的控制装置的框图。

图8是表示作业评价数据的图。

图9是表示第二方式的位置程序的编辑处理的流程图。

图10是表示第三方式中的元件安装机的控制装置的框图。

具体实施方式

以下，参照附图对将对基板作业机具体化了的实施方式进行说明。对基板作业机为了生产各种基板产品而对基板执行预定作业。作为一个例子，对基板作业机构成生产基板产品的生产线。生产线例如由在基板上印刷焊料的印刷机、在基板上安装元件的元件安装机、对基板进行加热而进行焊接的回流焊炉、检查基板产品的功能或外观的检查机等构成。

生产线能够根据生产的基板产品的类别等适当地追加、变更其结构。具体而言，在生产线中能够适当地设置暂时保持被输送的基板的缓冲装置、基板供给装置、基板翻转装置、屏蔽件安装装置、粘接剂涂敷装置、紫外线照射装置等对基板作业机。在本实施方式中示例的结构能够应用于在预定的对基板作业的执行中使用支撑部件来支撑基板的对基板作业机。以下，示例能够允许位置程序的编辑的结构或者能够判定是否需要支撑部件的位置的调整处理的结构被应用于作为对基板作业机的元件安装机的方式。

1.元件安装机1的结构

如图1所示，元件安装机1具备：基板输送装置10、元件供给装置20、元件移载装置30、元件相机41、基板相机42及控制装置60。在以下的说明中，将水平方向的、元件安装机1的前后方向(从图1中的左下朝向右上的方向)设为Y方向，将与Y方向交叉的水平方向的、元件安装机1的左右方向(从图1中的左上朝向右下的方向)设为X方向，将与X方向及Y方向正交的铅垂方向(图1中的上下方向)设为Z方向。

基板输送装置10由在Y方向上并列设置的多个输送装置11等构成。多个输送装置11分别具有一对导轨12、13及传送带14。一对导轨12、13沿着基板的输送方向(X方向)延伸，支撑载置于传送带14而被输送的基板70的周缘。一对导轨12、13中的至少一方以能够沿着Y方向移动的方式设于基台2。

基板输送装置10将基板70依次向输送方向输送，并且将基板70定位于机内的预定位置。基板输送装置10具有对被定位后的基板70进行夹持的支撑装置15。关于基板输送装置10及支撑装置15的详细结构见后述。在执行了元件的安装处理后，基板输送装置10将基板70向元件安装机1的机外搬出。

元件供给装置20供给向基板70安装的元件。元件供给装置20具备沿着X方向并列安设的供料器21。供料器21使收纳有多个元件的载带进给移动，从而以能够拾取的方式供给元件。另外，元件供给装置20例如也可以将比较大型的元件以排列在载置于料盘的托盘上的状态供给。在上述那样的结构中，元件供给装置20根据安装处理从收纳多个料盘的收纳装置拉出预定的料盘而供给元件。

元件移载装置30将由元件供给装置20供给的元件移载至由基板输送装置10搬入到机内的基板70上的预定的安装位置。元件移载装置30的头驱动装置31通过直动机构使移动台32在水平方向(X方向及Y方向)上移动。安装头33通过未图示的夹持部件以能够更换的方式固定于移动台32。各种保持部件以可拆装的方式安装于安装头33。上述保持部件保持元件或者后述的支撑部件50(参照图2)。

吸嘴34使用被供给的负压空气来吸附并保持元件。另外，能够在安装头33上安装夹持元件的卡盘。此外，例如，在安装头33上能够安装通过与支撑部件50的预定部位卡合而保持支撑部件50的保持部件。如上所述，元件移载装置30构成为能够保持支撑部件50，作为使支撑部件50移动的移动装置发挥功能。元件移载装置30被用于支撑部件50的配置处理及配置后的调整处理(增减及位置的变更)。

元件相机41及基板相机42是具有CMOS等拍摄元件的数字式的拍摄装置。元件相机41及基板相机42基于控制信号进行拍摄，并送出通过该拍摄而取得的图像数据。元件相机41构成为能够从下方拍摄保持于安装头33的吸嘴34的元件。基板相机42设于移动台32，伴随着移动台32的移动而与安装头33一体地移动。基板相机42构成为能够从上方拍摄基板70。

控制装置60主要由CPU、各种存储器、控制电路构成。控制装置60执行向基板70安装元件的安装处理。在安装处理中，控制装置60基于从各种传感器输出的信息、图像处理的结果、预先存储的控制程序M2等，控制元件移载装置30的动作。由此，对支撑于安装头33的多个吸嘴34的位置及角度进行控制。另外，控制装置60执行调整处理，该调整处理包括在安装处理中基板输送装置10从下方支撑基板70所使用的支撑部件50的增设或者去除及支撑部件50的位置的变更。

如图1所示，控制装置60具备存储装置61。存储装置61由硬盘装置等光学驱动装置或者闪存等构成。在该存储装置61中存储有位置程序M1和控制程序M2等各种数据。如图3所示，上述“位置程序M1”表示对于基板70的支撑位置、支撑部件50的类别(销类型)及应配置支撑部件50的位置(销位置)等，根据要生产的基板产品的类别和生产工序而设定。

上述“支撑位置”与“销位置”不同的是支撑部件50中的与基板70的接触部位(相当于支撑位置)和配置所涉及的基准部位(例如，是被保持的部位且相当于销位置)在XY方向上错开的情况。上述“控制程序M2”表示在安装处理中安装于基板70的元件的安装位置及安装顺序。

控制装置60具备显示装置62。显示装置62被设为能够由作业者目视确认，用于显示各种信息。在本实施方式中，显示装置62具有触摸屏及多个按钮，并且与未图示的鼠标等输入设备协作，接受基于作业者的操作。

2.基板输送装置10及支撑装置15的详细结构

基板输送装置10是如上述那样具备多个输送装置11的双轨传送方式。构成输送装置11的一对导轨12、13以能够在Y方向上相对移动的方式设于基台2。由此，多个输送装置11与基板70的Y方向上的尺寸对应地调整一对导轨12、13的间隔。

支撑装置15从下方支撑由输送装置11输送来的基板70，并且在其与一对导轨12、13之间夹持基板70。在本实施方式中，支撑装置15使支撑部件50与基板70的下表面接触而支撑基板70。由此，支撑装置15在其与一对导轨12、13之间夹持基板70，并且通过维持支撑部件50所接触的部位的高度来防止基板70的挠曲。

如图2所示，支撑装置15具备支撑板16及升降装置17。支撑板16与由输送装置11定位的基板70的下表面相向地配置。支撑板16以能够沿着Z方向进行升降的方式设于基台2。在本实施方式中，支撑板16形成为矩形状。在支撑板16的上表面以可拆装的方式配置有支撑部件50。

升降装置17使支撑板16相对于基台2进行升降。在本实施方式中，升降装置17由具有杆18及缸主体19的多个气缸构成。各气缸的杆18以可拆装的方式固定于支撑板16的四角。各气缸的缸主体19根据气压而使杆18沿着Z方向进退。

支撑装置15的升降装置17在基板70被搬入或者搬出时使支撑部件50从基板70的背面向下方退避。由此，升降装置17使支撑板16下降至安装于基板70的背面的元件(以下，称为“背面元件81”)与支撑部件50不会发生干扰的准备高度Tp(由图2中的双点划线表示)。另外，升降装置17在安装处理的执行中使支撑板16上升至支撑高度Tb(由图2中的实线表示)。由此，支撑装置15从下方抬起并支撑基板70。

在此，支撑部件50以可拆装的方式配置于支撑板16的上表面。在本实施方式中，支撑部件50包括前端部由比较硬的部件(例如金属部件)构成的硬销51和前端部由比较软的部件(例如橡胶部件)构成的软销52。硬销51及软销52在位于下端的基部埋设有磁铁，被固定于磁力良好的支撑板16。另外，硬销51及软销52在基部的上方形成相同形状的卡合部。卡合部与安装于安装头33的保持部件卡合。

3.支撑部件50的配置处理的概要

元件安装机1的控制装置60例如在执行与预定的基板产品对应的安装处理之前，使用作为支撑部件50的移动装置发挥功能的元件移载装置30，执行基于位置程序M1的支撑部件50的配置处理。执行配置处理的目的在于，与会根据例如基板的尺寸、安装的元件的数量和位置而变动的支撑部件50的类别及应配置的位置相对应。

另外，在因基板70的尺寸较大或者在安装时对基板施加比较强的按压力等情况而担心基板挠曲的情况下，作为支撑部件50，适合能够使基板的下表面的被支撑部的位移为最小限度的硬销51。另一方面，在安装处理中，在前工序中已经在由支撑部件50支撑的基板的下表面安装有元件的情况下，作为支撑部件50，适合能够吸收基板的下表面的凹凸并进行支撑的软销52。

因此，元件安装机1在生产的基板产品的种类改变时，作为准备之一，根据需要变更支撑部件50的配置。在该配置的变更中，除了将支撑部件50固定于位于基板70的下方的支撑板16以外，还包括支撑部件50的去除(向在基板70的支撑中不使用的贮存区域的移动)。

控制装置60在执行支撑部件50的配置处理时，将支撑部件50的保持部件安装于安装头33。上述保持部件例如被收纳于收纳多个吸嘴34的吸嘴站(省略图示)，与安装于安装头33的吸嘴34进行交换。控制装置60使元件移载装置30驱动，使作为对象的支撑部件50适当移动到由位置程序M1表示的位置。控制装置60在所有支撑部件50的配置完成后，使保持部件收纳于吸嘴站并结束配置处理。另外，控制装置60将包括贮存区域在内的所有支撑部件50的当前位置存储于存储装置61。

4.控制装置60的详细结构

4-1.第一方式的概要

在此，在上述那样的支撑部件50的配置处理中使用的位置程序M1被预先设定为适合于预定执行的安装处理。然而，当反复执行相同的安装处理时，会产生根据作业结果的趋势来调整支撑部件50的配置的要求。具体而言，设想如下的情况：与所设想的情况相比基板70的挠曲较大或者被定位的基板70的大部分产生相同的偏差。

在多数情况下，上述那样的作业结果由进行执行安装处理的元件安装机1的保养的现场的作业者所识别。然而，现场的作业者对支撑部件50的配置进行调整相当于位置程序M1的编辑。并且，例如若进行仅与作业结果的趋势对应的调整，则存在有如下隐患：已经安装于背面的元件与支撑部件50发生干扰或者在应避免与支撑部件50接触的焊盘等部位设定支撑位置。因此，在生产线的管理上，期望禁止安装处理的现场的位置程序M1的编辑。

另一方面，在对管理者通知作业结果的趋势并期望位置程序M1的编辑的情况下，至应用编辑后的位置程序M1为止需要时间。因此，从现场的作业者的便利性和生产率的维持的观点来看，期望允许支撑部件50的位置调整。然而，即使假设允许现场的位置程序M1的编辑，作业者也无法目视确认基板70的背面，因此例如不容易适当地设定将增设的支撑部件50具体配置于哪个位置。

为此，在本实施方式的第一方式中，元件安装机1采用以向作业者显示预定的信息为前提，接受位置程序M1的编辑(支撑部件50的位置的调整)的结构。具体而言，如图4所示，元件安装机1具备：移动控制部63、显示部64及编辑部65。在第一方式中，移动控制部63、显示部64及编辑部65组装于控制装置60。

4-1-1.移动控制部63

移动控制部63基于位置程序M1来控制移动装置(元件移载装置30)的动作。移动控制部63在支撑部件50的配置处理及调整处理中，控制元件移载装置30的动作。当通过后述的编辑部65编辑了位置程序M1时，移动控制部63基于编辑后的位置程序M1所示的支撑部件50的位置与存储于存储装置61的支撑部件50的当前位置的差异，执行所需的调整处理。

4-1-2.显示部64

如图5所示，显示部64在表示基板70的基板图像170上重叠显示位置程序M1所示的支撑部件50的位置(支撑位置P1-P4)。另外，显示部64能够如下述那样针对各种显示信息切换显示和非显示。在第一方式中，如图5的右下部所示，显示部64通过作业者选中要求显示的项目而将该项目所涉及的信息重叠显示于基板图像170。

显示部64也可以在基板图像170上重叠显示表示安装于基板70的背面的元件(背面元件81)的背面元件图像181。显示部64既可以仅显示背面元件图像181的外形，也可以在此基础上一并显示背面元件81的方向和预定的特征部分。这些显示对象可以预先设定，也可以根据作业者的要求来切换显示和非显示。

另外，显示部64也可以在基板图像170中通过数值、色彩及图案中的至少一个来显示安装于基板70的背面的元件(背面元件81)的高度。图5通过由作业者选择出的“数值”这一方式来表示背面元件81的高度(H5、H10、H15、H35)。除了上述以外，显示部64也可以根据高度使颜色的浓淡变动或者通过图案、记号或组合这些来显示背面元件81的高度。通过这样的结构，作业者能够掌握背面元件81的高度。由此，例如能够在准备高度Tp尽可能高的位置配置支撑部件50。

在此，基板图像170及背面元件图像181也可以是基于向基板70安装了元件后拍摄该基板70所取得的图像数据F1而生成的图像。详细而言，在以基板70的背面为上表面的状态安装了上述背面元件81后，拍摄此时的基板70的上表面，通过该拍摄取得图像数据F1。所取得的图像数据F1存储于控制装置60的存储装置61。

另外，上述图像数据F1例如可以是通过外观检查装置中的拍摄而取得的数据，也可以是在元件安装机1安装了元件后通过使用了基板相机42的拍摄而取得的数据。在作为拍摄对象的基板70比基板相机42的相机视野大的情况下，也可以使基板相机42相对于基板70相对移动而多次进行拍摄，将在各个拍摄中取得的图像数据合成而形成上述图像数据F1。

显示部64在以表面为上表面显示基板图像170及背面元件图像181的情况下，使图像数据F1以上下轴或者左右轴翻转来显示。此外，显示部64也可以显示从图像数据F1提取出的主要部分。通过这样的结构，作业者能够掌握背面元件81的实际的安装状态，能够与基板70的背面的状态相对应地配置支撑部件50。

另外，基板图像170及背面元件图像181也可以是基于通过预定执行的对基板作业生产的基板产品的设计数据F2而生成的图像。详细而言，例如为了生成控制程序M2，基于在表示背面元件81相对于基板70的位置及角度的数据中包含元件的外观的部分数据来生成设计数据F2。另外，设计数据F2也可以是CAD数据。所取得的设计数据F2存储于控制装置60的存储装置61。通过这样的结构，作业者能够掌握基板70及背面元件81的理想的安装状态，能够与基板70的背面的状态相对应地配置支撑部件50。

此外，显示部64也可以在基板图像170上重叠显示表示通过预定执行的对基板作业而安装的元件的表面元件图像182。由此，作业者能够掌握对基板70中的哪个区域施加伴随着安装动作的按压力。另外，若能够根据表面元件图像182的外形大致掌握元件种类，则作业者能够容易地设想按压力的大小，能够设定适当的支撑部件50的位置。

另外，显示部64也可以在基板图像170上重叠显示特征图像，该特征图像表示该基板70的焊盘171、孔172、基准标记173及附加于基板70的信息码174中的至少一个。另外，上述特征图像可以仅将位于基板70的表面及背面中的任一方的图像作为对象，也可以将位于两面的图像作为对象。由此，作业者能够将所显示的基板图像170作为接近实际的基板70的图像来掌握。另外，能够避开背面的焊盘171等地配置支撑部件50。

此外，显示部64也可以在基板图像170上重叠显示在基板70的背面与支撑部件50的接触被限制的支撑部件50的配置限制区域Rg。上述配置限制区域Rg例如是如下的区域：设想管理者在现场编辑位置程序M1，定义不适合支撑部件50的配置的区域。另外，显示部64也可以除了配置限制区域Rg以外或者替换配置限制区域Rg而显示配置允许区域Rp。通过这样的结构，能够防止支撑部件50错误地配置于不适当的位置。

另外，显示部64在如后述那样接受了基于作业者的支撑部件50的调整的情况下，将该支撑部件50重叠显示于基板图像170。显示部64也可以能够识别地显示已经配置的支撑部件50及调整后的支撑部件50。另外，显示部64也可以能够识别所显示的支撑部件50的类别地通过形状、色彩、文字、记号或者它们的组合来显示。

4-1-3.编辑部65

编辑部65接受基于作业者的支撑部件50的增减及支撑部件50的位置的变更的要求而编辑位置程序M1。详细而言，编辑部65通过对显示装置62的触摸屏或各种按钮的操作或者对输入设备的操作来接受支撑部件50的增设、去除、位置的变更、类别的变更等。具体而言，作业者在图5的左下所示的销信息中，在输入了追加支撑部件50的位置和类别后，按下追加按钮。由此，将支撑部件50追加到列表中，并且通过显示部64将增设的支撑部件50重叠显示于基板图像170。

另外，编辑部65在支撑部件50的至少一个成为与当前状态不同的状态的情况下，或者在由作业者进行的支撑部件50的位置的调整作业结束后(例如按下了OK按钮后)，编辑位置程序M1并存储于存储装置61。另外，编辑部65在通过作业者而接受了支撑部件50向配置限制区域Rg的内部的配置的情况下，禁止位置程序M1的编辑。此时，编辑部65也可以将支撑部件50中的至少一个位于配置限制区域Rg(或者不位于配置允许区域Rp)的情况通知给作业者，在催促配置变更。

4-1-4.位置程序M1的编辑处理

参照图5及图6对位置程序M1的编辑处理进行说明。元件安装机1例如在存在基于作业者的支撑部件50的调整要求的情况下，执行图6所示的处理。在此，设为处于基于与预定的安装处理对应的位置程序M1的配置处理已经被执行、预定的安装处理被执行了多次的状态。在控制装置60的存储装置61中存储有支撑部件50的当前位置。

如图5所示，显示部64在基板图像170上重叠位置程序M1所示的支撑部件50的位置(与当前位置相等)并显示于显示装置62(S11)。此时，显示部64根据由作业者进行的显示切换的操作，针对各项目切换显示和不显示。作业者能够基于多次执行的安装处理的结果的趋势，识别使支撑部件50移动到所显示的基板图像170的哪里或者应在所显示的基板图像170的哪里增设支撑部件50等。

接着，编辑部65接受基于作业者的支撑部件50的增减及支撑部件50的位置的变更的要求(S12)。接着，编辑部65判定在S12中配置的支撑部件50是否位于配置限制区域Rg(S13)。编辑部65在所有支撑部件50未位于配置限制区域Rg的情况下(S13：否)，编辑位置程序M1(S14)。由此，调整后的支撑部件50成为显示部64的显示对象，并显示于显示装置62(S11)。

另一方面，编辑部65在多个支撑部件50中的至少一个位于配置限制区域Rg的情况下(S13：是)，将位于配置限制区域Rg的支撑部件50显示于显示装置62，并且进行通知以催促作业者移动该支撑部件50(S15)。元件安装机1反复进行上述那样的处理(S11-S15)，接受基于作业者的编辑(S12-S14)及再显示(S11)。

元件安装机1在例如图5中的OK按钮被按下而基于作业者的支撑部件50的位置的调整作业结束后，将编辑后的位置程序M1存储于存储装置61。当通过编辑部65编辑了位置程序M1时，移动控制部63基于编辑后的位置程序M1所示的支撑部件50的位置与存储于存储装置61的支撑部件50的当前位置的差异，执行所需的调整处理。上述调整处理例如在下一次基板70的输送时或者当前执行的安装处理的执行次数达到了预定次数时执行。

根据这样的结构，作业者能够一边参照重叠地显示了支撑部件50的位置的基板图像170，一边指示支撑部件50的调整。由此，作为对基板作业机的元件安装机1能够允许位置程序M1的编辑，以便适当地执行支撑部件50的位置的调整处理。

4-2.第二方式的概要

在此，在上述那样的支撑部件50的配置处理中使用的位置程序M1被预先设定为适合于预定执行的安装处理。然而，在多次执行了预定的安装处理的情况下，例如即使多次发生了相同的错误，也难以判断是否通过支撑部件的位置的调整处理来解决。特别是由于元件安装机1在安装处理中使用多个构成设备进行复杂的动作，因此不容易确定错误的因素及解决方案。

与此相对，为了维持基于元件安装机1的理想的安装处理，期望与会变动的生产环境相对应，并准确地判定是否需要进行支撑部件50的位置的调整处理。为此，在本实施方式的第二方式中，元件安装机1采用基于与对基板作业对于基板70的执行(例如，元件的安装处理)相关的作业评价数据来判定是否需要进行支撑部件50的调整处理的结构。

具体而言，如图7所示，元件安装机1具备：移动控制部63、编辑部65及判定部166。在第二方式中，元件安装机1还具备通知部167。在第二方式中，移动控制部63、编辑部65、判定部166及通知部167组装于控制装置60。另外，由于上述移动控制部63与第一方式实质上相同，因此省略详细的说明。

4-2-1.判定部166

判定部166基于与预定的对基板作业对于基板70的执行相关的作业评价数据Hv，判定是否需要包括支撑部件50的增减及支撑部件50的位置的变更在内的调整处理。在此，如图8所示，上述“作业评价数据Hv”表示按照作为对基板作业机的元件安装机1对基板70执行的对基板作业(输送处理、安装处理等)而对执行次数、类别、误差等进行累计，并统计性地算出的作业评价。

作业评价数据Hv中也可以包含对在多次执行的输送处理中被定位的基板70的位置及角度进行统计而得到的、输送处理中的相对于基板70的预定定位位置及预定角度的基板70的定位误差的统计数据Hs。另外，上述定位误差不仅是在输送处理中成为错误的误差，即使在允许范围内也作为相对于理想的位置及角度的偏差量而被统计。

具体而言，首先，在由基板输送装置10进行的基板70的搬入处理完成后，识别表示基板70的基准的一个以上的基准标记173。接着，基于识别出的基准标记173，识别机内的基板70的位置及角度。并且，计算实际定位的基板70与理想的姿势(位置及角度)的偏差量而作为定位误差(XY误差)及角度误差。上述XY误差及角度误差例如每次执行基板70的输送处理时进行累计，构成作业评价数据Hv的统计数据Hs。

在此，支撑部件50配置于相对于基台2不能在XY方向上移动的支撑板16。因此，由输送处理引起的基板70的定位误差成为支撑部件50相对于基板70的支撑位置的偏差。当支撑位置发生偏差时，有可能支撑部件50与背面元件81接近或者支撑部件50与基板70的背面中的被禁止接触的部位接触。

考虑上述那样的情况，在产生了基板70的定位误差的情况下，期望执行支撑部件50的调整处理。另一方面，有时基板70的定位误差存在有一定的趋势。例如，因基板70的形状、包括已经安装的元件在内的重心位置、背面的摩擦系数等而在输送处理中大致相同地移位或者倾斜。为此，判定部166基于统计数据Hs中的基板70的定位误差的趋势，判定是否需要调整处理。

另外，关于有无上述那样的定位误差的趋势，也可以根据表示统计数据Hs中的定位误差的偏差的程度的标准偏差的值是否小于预先设定的阈值来判定。假设即使统计数据Hs中的定位误差的偏差较大，例如若基于定位误差的平均值来调整支撑部件50，则对于一部分基板70反而在从预定的支撑位置起大幅偏差的位置进行支撑。由此，为了防止这样的调整，进行上述那样的判定是特别有用的。

另外，在作业评价数据Hv中，也可以包含在多次执行的预定的对基板作业中按照设定于基板70的多个分区中的各分区产生的错误的种类及次数。此外，在作业评价数据Hv中，也可以包含在多次执行的预定的对基板作业中以设定于基板70的多个分区D1-D4为单位的作业精度(例如，安装精度)。上述“多个分区”例如以将基板70划分成格子状的方式设定。在第二方式中，考虑基板70的挠曲而在基板70的长度方向上设定四个分区D1-D4。

在此，在预定的分区中规定种类的错误的产生频度较高的情况下或元件的安装精度较低的情况下，认为基板70的预定的分区中的支撑不充分。例如，有可能基板70弯曲而在安装动作时元件不与基板70的表面接触的错误或即使接触也无法施加充分的按压力而导致安装精度降低。在这样的情况下，需要以矫正基板70的弯曲的方式进行支撑，结果是，期望执行支撑部件50的调整处理。

为此，判定部166在多个分区D1-D4中的至少一个对象分区Dt中的预定种类的错误的产生频度高于规定值的情况下，判定为需要进行在与对象分区Dt相对应的基板70的背面的区域配置支撑部件50的调整处理。另外，关于作为对象的错误的种类，能够在可检测的范围内任意地设定。通过这样的结构，能够基于产生的错误，执行或者催促所需的支撑部件50的调整处理。另外，关于产生的各种错误，例如统计错误的种类及位置(相当于与错误相对应的安装动作所涉及的安装位置)，构成作业评价数据Hv的统计数据Hs。

另外，判定部166在多个分区D1-D4中的至少一个对象分区Dt中的作业精度(安装精度等)低于规定值的情况下，判定为需要进行在与对象分区Dt相对应的基板70的背面的区域配置支撑部件50的调整处理。另外，作业精度的评价对象(XY误差、角度误差等)及规定值能够任意地设定。通过这样的结构，能够基于安装精度来执行或者催促所需的支撑部件50的调整处理。

关于安装精度，基于使用了基板相机42的检查或外观检查装置等的检查的结果来统计。具体而言，在执行了安装处理后，在基板70的输送方向下游侧执行对于该基板70的外观检查，计算实际安装的元件与理想的元件的姿势(位置及角度)的偏差量作为位置误差(XY误差)及角度误差。另外，在元件所安装的指令位置不存在元件的情况下，认为在对应的安装动作中产生了安装错误。上述XY误差、角度误差及安装错误例如在每次执行安装处理时累计，构成作业评价数据Hv的统计数据Hs。

另外，判定部166可以通过各种作业评价中的任一个来进行是否需要执行调整处理的判定，也可以复合地评价各种作业评价。另外，也可以对各种作业评价进行加权，针对特别重要的作业评价，以尽早且可靠地进行改善的方式判定是否需要执行调整处理。例如，关于安装动作中的错误，从生产效率的观点来看，也可以优先执行支撑部件50的位置调整。

4-2-2.编辑部65

在判定部166判定为需要调整处理的情况下，编辑部65以执行调整处理的方式自动编辑位置程序M1。在本实施方式中，如上所述，移动控制部63基于编辑后的位置程序M1所示的支撑部件50的位置与存储于存储装置61的支撑部件50的当前位置的差异，执行所需的调整处理。因此，编辑部65基于判定部166的判定结果，以调整支撑部件50的位置的方式编辑位置程序M1，并存储于存储装置61。

另外，编辑部65在是否需要判定中判定为需要进行支撑部件50的增减及支撑部件50的位置的变更的情况下，基于作业评价数据Hv设定应配置于支撑板16的支撑部件50的位置而编辑位置程序M1，以通过调整处理来减轻是否需要判定的结果的主要因素。具体而言，在因在基板70的输送处理中存在有定位误差的趋势而判定为需要进行支撑部件50的位置的变更处理的情况下，以抵消定位误差的趋势的方式变更支撑部件50的位置。由此，支撑部件50接近本来预定的基板70的背面的支撑位置，能够进行更适当的支撑。

在此，基板输送装置10为了防止支撑部件50与背面元件81的干扰，在升降装置17使支撑板16下降至准备高度Tp的动作完成后，开始基板70的搬出处理。另外，升降装置17在基于基板输送装置10的基板70的搬入处理完成后，使支撑板16上升至支撑高度Tb(图2中的实线所示)。升降装置17的动作的所需时间与作为支撑高度Tb与准备高度Tp之间的差值的升降量成比例。

考虑到上述情况，支撑板16的准备高度Tp可设定得比升降装置17的可动范围的下端高度高。准备高度Tp例如是根据背面元件81的高度(相当于从基板70的下表面朝向Z方向下方的突出量)而设定的。详细而言，准备高度Tp被设定为使支撑部件50退避至支撑部件50的上端比背面元件81中的最高的元件的下端靠下方的高度。

然而，在上述那样的设定方法中，在背面元件81中的最高的元件不位于支撑部件50相对于被输送的基板70的移动轨迹上的情况下，将准备高度Tp设定得比最低限度所需的高度低得多。这一措施的用途在于，设想在基于基板输送装置10的基板70的定位中基板70从预定位置偏移而被夹持或者背面元件81的安装位置从预定位置偏移地被安装的情况，用于可靠地防止支撑部件50与背面元件81的干扰。

对此，只要能够识别所输送的基板70的定位误差的趋势、即误差的量、方向性，则也可以允许设定更接近不发生与背面元件81的干扰的最低限度所需的高度的准备高度Tp。在本实施方式中，采用如下的结构：防止支撑部件50与背面元件81的干扰，并且与以往相比能够较高地设定准备高度Tp。具体而言，编辑部65在增加支撑部件50或者变更支撑部件50的位置时存在有多个位置候选的情况下，优先选择所需的准备高度Tp较高的位置候选。

根据这样的结构，能够将支撑部件50变更为更适当的位置，并且能够进一步提高准备高度Tp。由此，支撑高度Tb与准备高度Tp之间的差值(升降量)变小，能够缩短升降装置17的动作所需时间。结果是，能够缩短生产处理的所需时间，能够提高生产效率。

4-2-3.通知部167

通知部167在判定部166判定为需要调整处理的情况下，对作业者通知需要调整处理这一情况。具体而言，通知部167例如使显示装置62显示需要调整处理。此时，作为需要调整处理的理由，通知部167也可以显示判定部166在该判定中使用的作业评价数据Hv。此外，通知部167也可以一并显示推荐的支撑部件50的调整位置。

关于上述推荐的调整位置，也可以例如与编辑部65相同地，基于作业评价数据Hv来设定应配置于支撑板16的支撑部件50的位置，以便减轻是否需要调整处理的判定的结果的主要因素。另外，在判定部166判定为需要执行调整处理的情况下，编辑部65可以不对作业者进行通知而自动编辑位置程序M1，也可以在输入作业者针对通知部167的通知的执行指示后进行编辑。

4-2-4.位置程序M1的编辑处理

参照图9对位置程序M1的编辑处理进行说明。元件安装机1例如在执行了规定次数的作为预定的对基板作业的安装处理的情况下，执行图9所示的处理。在此，设为处于已经执行了基于与预定的安装处理对应的位置程序M1的配置处理的状态。在控制装置60的存储装置61中存储有支撑部件50的当前位置。

控制装置60首先利用通过执行基板70的输送处理和元件的安装处理等对基板作业而取得的各种数据来更新作业评价数据Hv(S21)。此时，控制装置60累计对基板作业的执行次数、类别、误差等，表示统计性地算出的作业评价。另外，控制装置60也相同地更新基板70的定位误差的统计数据Hs。

判定部166基于作业评价数据Hv，判定是否需要进行支撑部件50的调整处理(S22)。具体而言，判定部166根据在基板70的输送处理中是否产生了处于一定趋势的定位误差、在安装处理中在多个分区D1-D4中任一者中是否以预定频度产生了错误、在安装处理中在多个分区D1-D4中的任一者中安装精度是否降低，判定是否需要调整处理。

在判定为需要进行支撑部件50的调整处理的情况下(S22：是)，编辑部65算出支撑部件50的位置候选(S23)。此时，编辑部65以减轻S22的是否需要调整处理的判定结果的主要因素的方式算出应配置于支撑板16的支撑部件50的位置。具体而言，例如在多个分区D1-D4中的任一者中以预定频度产生了预定种类的错误的情况下，编辑部65将该分区设为对象分区Dt，在与对象分区Dt对应的基板70的背面的区域配置支撑部件50。此外，编辑部65考虑背面元件81的状态、预定安装的表面元件的位置等地算出一个以上的位置候选。

编辑部65在通过S23算出两个以上的位置候选的情况下，例如基于预先设定的优先事项来选择一个位置候选(S24)。例如，在作为上述优先事项而设定为准备高度Tp更高的情况下，编辑部65优先选择多个位置候选中的所需的准备高度Tp较高的位置候选。编辑部65在S23中算出的位置候选为一个的情况下，省略该位置候选的选择处理(S24)。

接着，通知部167对作业者通知需要调整处理这一情况(S25)。具体而言，通知部167使显示装置62显示需要进行支撑部件50的调整处理。此外，通知部167也可以适当显示需要调整处理的理由、支撑部件50的当前位置、基板70的图像、一个以上的位置候选及推荐的支撑部件50的调整位置(在S24中选择出的位置候选)。

编辑部65以调整支撑部件50的位置的方式自动编辑位置程序M1(S26)。具体而言，编辑部65基于在S24中选择出的位置候选来编辑位置程序M1，并存储于存储装置61。当通过编辑部65编辑了位置程序M1时，移动控制部63基于编辑后的位置程序M1所示的支撑部件50的位置与存储于存储装置61的支撑部件50的当前位置的差异，执行所需的调整处理。上述调整处理例如在下一次基板70的输送时或者当前执行的安装处理的执行次数达到预定次数时被执行。

根据这样的结构，能够基于与作为对基板作业的元件安装机1的执行相关的作业评价数据Hv，判定是否需要进行支撑部件50的位置的调整处理。由此，能够可靠地执行所需的调整处理，能够提高对基板作业(基板70的输送处理、元件的安装处理等)的精度及效率。另外，能够防止执行不需要的调整处理，能够防止生产率的降低。

4-3.第三方式的概要

如上所述，从现场的作业者的便利性和生产率的维持的观点来看，期望根据作业者的要求而允许支撑部件50的位置调整。另外，即使在没有作业者的要求的情况下，为了维持基于元件安装机1的理想的安装处理，期望一边与会变动的生产环境相对应，一边准确地判定是否需要进行支撑部件50的位置的调整处理。

为此，在本实施方式的第三方式中，元件安装机1采用以向作业者显示预定的信息为前提，接受位置程序M1的编辑(支撑部件50的位置的调整)的结构。此外，元件安装机1采用如下的结构：基于与对基板作业(例如，元件的安装处理)对于基板70的执行相关的作业评价数据来判定是否需要进行支撑部件50的调整处理。具体而言，如图10所示，元件安装机1具备：移动控制部63、显示部64、编辑部65及判定部166。在第三方式中，元件安装机1还具备通知部167。

在第三方式中，移动控制部63、显示部64、编辑部65、判定部166及通知部167组装于控制装置60。另外，由于上述各部63-65、166、167与第一方式及第二方式实质上相同，因此省略详细的说明。第三方式的元件安装机1接受基于作业者的位置程序M1的编辑，并且基于作业评价数据Hv来进行位置程序M1的自动编辑。根据这样的结构，起到与第一方式及第二方式相同的效果。

5.实施方式的变形方式

5-1.关于支撑部件50

在实施方式中，支撑部件50为硬销51或者软销52。与此相对，作为支撑部件50能够采用各种方式。具体而言，支撑部件50也可以构成为具备多个与基板70的下表面接触而支撑基板70的支撑部。另外，支撑于保持部件的被支撑部除了如在实施方式中示例的那样具有卡合部以外，也可以形成为一个以上的平面状。这样的保持部件由作为保持部件的吸嘴34通过吸附来保持。

5-2.关于对基板作业机

在实施方式中，对基板作业机作为向基板70安装元件的元件安装机1而进行了说明。与此相对，在第一方式中示例的能够允许位置程序的编辑的结构或者在第二方式中示例的能够判定是否需要进行支撑部件的位置的调整处理的结构能够应用于各种对基板作业机中的、在预定的对基板作业的执行中使用支撑部件50来支撑基板70的对基板作业机。具体而言，对基板作业机也可以是在基板70上印刷焊料的印刷机。另外，在元件安装机1或印刷机等对基板作业机中，使支撑部件50移动的移动装置也可以是配置于各机内的专用装置。

5-3.其他

在实施方式中，移动控制部63、显示部64、编辑部65、判定部166及通知部167各部构成为组装于控制装置60。与此相对，上述各部63-65、166、167中的至少一部分也可以设于控制装置60的外部。例如，上述各部63-65、166、167中的至少一部分也可以构成为组装于能够与对基板作业机通信的主计算机、专用的外部装置。随之，各种数据M1、M2、F1、F2、Hv、Hs也被存储于能够访问的存储装置。

附图标记说明

1、元件安装机(对基板作业机)；10、基板输送装置；15、支撑装置；16、支撑板；30、元件移载装置(移动装置)；50、支撑部件；60、控制装置；61、存储装置；62、显示装置；63、移动控制部；64、显示部；65、编辑部；166、判定部；167、通知部；70、基板；81、背面元件；170、基板图像；171、焊盘(特征图像)；172、孔(特征图像)；173、基准标记(特征图像)；174、信息码(特征图像)；181、背面元件图像；182、表面元件图像；P1-P4、支撑位置；Rg、配置限制区域；Rp、配置允许区域；M1、位置程序；M2、控制程序；F1、图像数据；F2、设计数据；Hv、作业评价数据；Hs、统计数据；D1-D4、(多个)分区；Dt、对象分区；Tb、支撑高度；Tp、准备高度。

Claims (18)

1.一种对基板作业机，具备：

支撑板；

支撑部件，配置于所述支撑板而从下方支撑基板；

移动装置，使所述支撑部件移动；

移动控制部，基于表示配置于所述支撑板的所述支撑部件的位置的位置程序来控制所述移动装置的动作；

显示部，在表示所述基板的基板图像上重叠地显示所述位置程序表示的所述支撑部件的位置；及

编辑部，接受作业者的对于所述支撑部件的增减及所述支撑部件的位置的变更的要求，并编辑所述位置程序。

2.根据权利要求1所述的对基板作业机，其中，

所述显示部在所述基板图像上重叠地显示背面元件图像，所述背面元件图像表示安装于所述基板的背面的元件。

3.根据权利要求2所述的对基板作业机，其中，

所述基板图像及所述背面元件图像是基于在向所述基板安装了所述元件后拍摄该基板而取得的图像数据所生成的图像。

4.根据权利要求2所述的对基板作业机，其中，

所述基板图像及所述背面元件图像是基于通过预定执行的对基板作业来生产的基板产品的设计数据所生成的图像。

5.根据权利要求2～4中任一项所述的对基板作业机，其中，

所述显示部在所述基板图像上通过数值、色彩及图案中的至少一种方式来显示安装于所述基板的背面的元件的高度。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的对基板作业机，其中，

所述显示部在所述基板图像上重叠地显示表面元件图像，所述表面元件图像表示通过预定执行的对基板作业来安装的元件。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的对基板作业机，其中，

所述显示部在所述基板图像上重叠地显示表示该基板的焊盘、孔、基准标记及附设于所述基板的信息码中的至少一个的特征图像。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的对基板作业机，其中，

所述显示部在所述基板图像上重叠地显示在所述基板的背面被限制与所述支撑部件接触的所述支撑部件的配置限制区域，

所述编辑部在通过所述作业者而接受了所述支撑部件向所述配置限制区域的内部的配置的情况下，禁止所述位置程序的编辑。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的对基板作业机，其中，

所述对基板作业机还具备判定部，所述判定部基于与预定的对基板作业对于所述基板的执行相关的作业评价数据，来判定是否需要包括所述支撑部件的增减及所述支撑部件的位置的变更在内的调整处理。

10.一种对基板作业机，具备：

支撑板；

支撑部件，配置于所述支撑板而从下方支撑基板；

移动装置，使所述支撑部件移动；

移动控制部，基于表示配置于所述支撑板的所述支撑部件的位置的位置程序来控制所述移动装置的动作；及

判定部，基于与预定的对基板作业对于所述基板的执行相关的作业评价数据，来判定是否需要包括所述支撑部件的增减及所述支撑部件的位置的变更在内的调整处理。

11.根据权利要求9或10所述的对基板作业机，其中，

所述对基板作业机具备基板输送装置，所述基板输送装置执行如下的输送处理：将所述基板搬入到机内并且进行定位，在执行了对基板作业后将所述基板搬出到机外，

所述作业评价数据中包含统计数据，所述统计数据是对在执行了多次的所述输送处理中被定位的所述基板的位置及角度进行累计而得到的、所述输送处理中的相对于所述基板的预定定位位置及预定角度的所述基板的定位误差的统计数据，

所述判定部基于所述统计数据中的所述基板的定位误差的趋势，来判定是否需要所述调整处理。

12.根据权利要求9～11中任一项所述的对基板作业机，其中，

在所述作业评价数据中包含在执行了多次的预定的对基板作业中在设定于所述基板的多个分区中的各分区所产生的错误的种类及次数，

在所述多个分区中的至少一个对象分区中的预定种类的所述错误的产生频度高于规定值的情况下，所述判定部判定为需要在与所述对象分区对应的所述基板的背面的区域配置所述支撑部件的所述调整处理。

13.根据权利要求9～12中任一项所述的对基板作业机，其中，

在所述作业评价数据中包含在执行了多次的预定的对基板作业中设定于所述基板的多个分区中的各分区的作业精度，

在所述多个分区中的至少一个对象分区中的所述作业精度低于规定值的情况下，所述判定部判定为需要在与所述对象分区对应的所述基板的背面的区域配置所述支撑部件的所述调整处理。

14.根据权利要求9～13中任一项所述的对基板作业机，其中，

所述对基板作业机还具备编辑部，在所述判定部判定为需要所述调整处理的情况下，所述编辑部自动编辑所述位置程序以执行所述调整处理。

15.根据权利要求14所述的对基板作业机，其中，

在由所述判定部进行的是否需要的判定中判定为需要所述支撑部件的增减及所述支撑部件的位置的变更的情况下，所述编辑部基于所述作业评价数据来设定应向所述支撑板配置的所述支撑部件的位置并编辑所述位置程序，以通过所述调整处理来减轻所述是否需要判定的结果的主要因素。

16.根据权利要求14或15所述的对基板作业机，其中，

所述对基板作业机还具备：

基板输送装置，执行如下的输送处理：将所述基板搬入到机内并且进行定位，在执行了对基板作业后将所述基板搬出到机外；及

升降装置，在搬入或者搬出所述基板时使所述支撑部件从所述基板的背面向下方退避，使所述支撑板下降至安装于所述基板的背面的元件与所述支撑部件不会发生干扰的准备高度，

在增加所述支撑部件或者变更所述支撑部件的位置时存在多个位置候选的情况下，所述编辑部优先选择所需的所述准备高度较高的位置候选。

17.根据权利要求9～16中任一项所述的对基板作业机，其中，

所述对基板作业机还具备通知部，所述通知部在所述判定部判定为需要所述调整处理的情况下，向作业者通知需要所述调整处理这一情况。

18.根据权利要求1～17中任一项所述的对基板作业机，其中，

所述对基板作业机是向所述基板安装元件的元件安装机，

所述移动装置具备：

头驱动装置，使移动台在水平方向上移动；及

安装头，设于所述移动台，能够保持被供给的所述元件及所述支撑部件。

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