CN113776423A - 基于MXene的驱动传感一体化智能薄膜的制备方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种基于MXene的驱动传感一体化智能薄膜的制备方法，所述方法包括如下步骤：步骤一、MXene分散液的制备；步骤二、高浓度MXene分散液的制备；步骤三、MXene薄膜的制备；步骤四、配置PDMS混合剂；步骤五、MXene/PDMS复合薄膜的制备。本发明通过在具有优异性能的MXene薄膜表面旋涂PDMS并在高温下固化，利用MXene层和PDMS层之间的热收缩率的不同在复合薄膜内部引入内应力，获得具有卷曲结构的MXene/PDMS复合薄膜。该方法制备得到的MXene/PDMS复合薄膜能够在光照条件下实现驱动变形，同时在变形过程中电阻会发生实时变化，实现了驱动传感一体化。

Description

基于MXene的驱动传感一体化智能薄膜的制备方法
技术领域
本发明属于材料科学领域，涉及一种基于MXene的驱动传感一体化智能薄膜的制备方法。
背景技术
近些年来，随着仿生学的不断发展，能够将外界能量（电、光、热、磁、湿度等）转化为机械能的智能驱动器在包括人工肌肉、仿生器件、柔性机器人、柔性电子等领域有着巨大的潜在应用，因而在近些年来得到了越来越多人的关注。二维材料过渡金属碳化物/氮化物MXene具有很多优异的性能，如高导电、高导热、优异的电热及光热效应、可调节的层间距等，因而MXene材料也有望被用于智能驱动器。目前基于MXene材料的光致驱动、电致驱动以及湿度驱动已经被实现。
然而，目前常见的智能驱动器通常只具有驱动功能，即在一定外界刺激下能实现驱动变形行为。而对于生物体而言，除了能够对外界刺激进行响应实现变形行为以外，还具有对自身变形的实时反馈，然而当前的智能驱动器却很少能实现对自身变形行为的反馈，即缺少自感知功能。因此，开发具有自感知功能的智能驱动器十分必要。
综上所述，现有智能驱动器具有不能同时实现驱动变形和自感知功能的问题，开发驱动传感一体化的智能驱动器十分重要。
发明内容
为了解决现有方法制备的智能驱动器薄膜不能同时实现驱动变形和自感知功能的问题，本发明提供了一种基于MXene的驱动传感一体化智能薄膜的制备方法。该方法制备得到的MXene/PDMS复合薄膜能够在光照条件下实现驱动变形，同时在变形过程中电阻会发生实时变化，实现了驱动传感一体化。
本发明的目的是通过以下技术方案实现的：
一种基于MXene的驱动传感一体化智能薄膜的制备方法，包括如下步骤：
步骤一、MXene分散液的制备：
（1）将0.1~5g氟化锂溶解到5~200ml浓度为5~12mol/L的盐酸溶液中，获得盐酸/氟化锂刻蚀液；
（2）将0.1~5g钛碳化铝粉末缓慢加入到5~200ml刻蚀液中，将混合液在25~50℃下进行磁力搅拌，控制搅拌转速为700~1500r/min；
（3）待反应20~30h，将得到的溶液在通入氩气的条件下进行超声处理，控制超声频率为50~100kHz，超声时间为1~2h；
（4）将超声处理后的溶液进行多次离心，直至上层液pH值为5~7，即可获得MXene分散液，控制离心过程的转速为2000~5000r/min；
步骤二、高浓度MXene分散液的制备：
（1）对步骤一得到的MXene分散液进行离心，去除上层清液，控制离心过程的转速为8000~13000r/min；
（2）将得到的MXene沉淀物重新分散在去离子水中，即可获得高浓度MXene分散液；
步骤三、MXene薄膜的制备：
（1）将步骤二得到的高浓度MXene分散液配置成MXene的质量浓度为3~20mg/ml的分散液；
（2）将分散液滴铸到干净的玻璃片表面，随后在25~50℃下放置10~36h，除去水分，即可在玻璃片上获得MXene薄膜；
步骤四、配置PDMS混合剂：
（1）将聚二甲基硅氧烷（PDMS）树脂与配套的固化剂混合，通过机械搅拌使其混合均匀，控制PDMS树脂与固化剂的质量比为20：1.5~ 20：8，搅拌速度为400~1200r/min；
（2）将混合液置于真空干燥箱内进行脱泡处理，去除搅拌过程中产生的气泡，即可获得PDMS混合剂，控制真空度为-0.1~-0.5MPa；
步骤五、MXene/PDMS复合薄膜的制备：
（1）将步骤四获得的PDMS混合剂倒在步骤三获得的MXene薄膜上；
（2）将玻璃片放在台式旋涂机上，利用旋涂机将PDMS混合剂均匀的旋涂在MXene薄膜的表面，控制旋涂机转速为500~1600r/min；
（3）将玻璃片置于干燥箱中固化，待PDMS完全固化后取出玻璃片并在室温下冷却，控制固化温度为80~120℃，时间为1~12h；
（4）将MXene/PDMS复合薄膜从玻璃片上剥离即可获得MXene/PDMS复合薄膜。
相比于现有技术，本发明具有如下优点：
本发明通过在具有优异性能的MXene薄膜表面旋涂PDMS并在高温下固化，利用MXene层和PDMS层之间的热收缩率的不同在复合薄膜内部引入内应力，获得具有卷曲结构的MXene/PDMS复合薄膜。由于MXene具有高热导率、良好的光热性能以及可调节的层间距，当复合膜被光照射时，由于PDMS层与MXene层的热膨胀系数不同，复合膜会发生光致变形，曲率半径逐渐增加。同时，由于MXene具有良好的电导率，该复合薄膜还具有传感功能，即当复合膜发生变形时，复合膜的电阻发生改变。当复合膜被光照时，复合膜的温度增加，曲率半径增加，复合膜的电阻表现为下降状态。这是由两方面因素造成的，一是MXene层的电阻本身随着温度的升高而降低，第二是在复合膜光驱动变形过程中，MXene层发生收缩变形，从而引起电阻降低。因此，温度和变形的协同作用导致复合膜在光照过程中的电阻下降。当撤去光照时，复合膜温度降低，变形恢复，电阻也恢复至初始状态。因此，能够通过对复合薄膜的电阻的实时监控，实现对复合膜变形量的实时监控，这意味着该MXene/PDMS复合薄膜能够实现驱动传感一体化。
附图说明
图1是实施例2步骤五中所得MXene/PDMS复合薄膜的截面SEM图片；
图2是实施例2步骤五中所得MXene/PDMS复合薄膜光致变形的光学图片；
图3是实施例2步骤五中所得MXene/PDMS复合薄膜光致变形过程的电阻变化情况。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的技术方案作进一步的说明，但并不局限于此，凡是对本发明技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本发明技术方案的精神和范围，均应涵盖在本发明的保护范围中。
本发明提供了一种基于MXene的驱动传感一体化智能薄膜的制备方法，所述方法按以下步骤实现：
步骤一、MXene分散液的制备：
（1）将0.1~5g氟化锂溶解到5~200ml浓度为5~12mol/L的盐酸溶液中，获得盐酸/氟化锂刻蚀液；
（2）将0.1~5g钛碳化铝粉末缓慢加入到5~200ml刻蚀液中，将混合液在25~50℃下进行磁力搅拌，控制搅拌转速为700~1500r/min；
（3）待反应20~30h，将得到的溶液在通入氩气的条件下进行超声处理，控制超声频率为50~100kHz，超声时间为1~2h；
（4）将超声处理后的溶液进行多次离心，直至上层液pH值为5~7，即可获得MXene分散液，控制离心过程的转速为2000~5000r/min，优选为3000~5000r/min；
步骤二、高浓度MXene分散液的制备：
（1）对步骤一得到的MXene分散液进行离心，去除上层清液，控制离心过程的转速为8000~13000r/min，优选为9000~12000r/min；
（2）将得到的MXene沉淀物重新分散在去离子水中，即可获得高浓度MXene分散液；
步骤三、MXene薄膜的制备：
（1）将步骤二得到的高浓度MXene分散液配置成MXene的质量浓度为3~20mg/ml的分散液，MXene分散液的浓度优选为3~10mg/ml；
（2）将分散液滴铸到干净的玻璃片表面，随后在25~50℃下放置10~36h，除去水分，即可在玻璃片上获得MXene薄膜；
步骤四、配置PDMS混合剂：
（1）将聚二甲基硅氧烷（PDMS）树脂与配套的固化剂混合，通过机械搅拌使其混合均匀，控制PDMS树脂与固化剂的质量比为20：1.5~ 20：8，优选为10：1~10：3，搅拌速度为400~1200r/min；
（2）将混合液置于真空干燥箱内进行脱泡处理，去除搅拌过程中产生的气泡，即可获得PDMS混合剂，控制真空度为-0.1~-0.5MPa，优选为-0.1~-0.2MPa；
步骤五、MXene/PDMS复合薄膜的制备：
（1）将步骤四获得的PDMS混合剂倒在步骤三获得的MXene薄膜上；
（2）将玻璃片放在台式旋涂机上，利用旋涂机将PDMS混合剂均匀的旋涂在MXene薄膜的表面，控制旋涂机转速为500~1600r/min，优选为800~1500r/min；
（3）将玻璃片置于干燥箱中固化，待PDMS完全固化后取出玻璃片并在室温下冷却，控制固化温度为80~120℃，时间为1~12h，优选固化温度为90~120℃，固化时间为1~5h；
（4）将MXene/PDMS复合薄膜从玻璃片上剥离即可获得MXene/PDMS复合薄膜。
本发明具有如下有益效果：
一、本发明制备得到的高浓度MXene分散液有利于MXene在玻璃片表面的沉积，从而能够继续在其上旋涂PDMS，进一步获得驱动传感一体化智能薄膜；
二、本发明制备的MXene/PDMS复合膜薄膜能够在光照条件下发生驱动变形，此外，在光致驱动变形的过程中，该复合薄膜的电阻也会随着驱动变形的进行发生变化；
三、本发明能够通过控制滴铸MXene薄膜时所用MXene分散液的浓度与体积获得不同厚度的MXene薄膜，以及通过控制PDMS与固化剂的比例、旋涂PDMS的质量、PDMS固化的温度、时间等参数控制PDMS层的厚度以及模量等性能，从而进一步控制所得的MXene/PDMS复合膜的初始曲率以及驱动变形能力。
采用以下实施例验证本发明的有益效果：
实施例1
一种基于MXene的驱动传感一体化智能薄膜的制备方法，按以下步骤实现：
步骤一、MXene分散液的制备：将1g氟化锂溶解到20ml浓度为9mol/L的盐酸溶液中，获得盐酸/氟化锂刻蚀液；然后将1g钛碳化铝粉末缓慢加入到20ml刻蚀液中，将混合液在35℃下进行磁力搅拌，搅拌转速为900r/min；待反应24h，将得到的溶液在通入氩气的条件下进行超声处理，超声频率为100kHz，超声时间为1h；随后将超声处理后的溶液在3500r/min的条件下进行多次离心，直至上层液pH值为6~7，即可获得MXene分散液。
步骤二、高浓度MXene分散液的制备：对步骤一得到的MXene分散液在10000r/min条件下进行离心，去除上层清液，再将得到的MXene沉淀物重新分散在去离子水中，即可获得高浓度MXene分散液。
步骤三、MXene薄膜的制备：将步骤二得到的高浓度MXene分散液配置成MXene的质量浓度为3mg/ml的分散液，然后将其滴铸到干净的玻璃片表面，随后在30℃下放置48h，除去水分，即可在玻璃片上获得MXene薄膜。
步骤四、配置PDMS混合剂：将聚二甲基硅氧烷（PDMS）树脂与配套的固化剂按照10：1的比例进行混合，通过机械搅拌使其混合均匀，搅拌速度为1000r/min，随后将混合液置于真空干燥箱内进行脱泡处理，真空度设置为-0.2MPa，去除搅拌过程中产生的气泡，即可获得PDMS混合剂。
步骤五、MXene/PDMS复合薄膜的制备：将步骤四获得的PDMS混合剂倒在步骤三获得的MXene薄膜上，然后将玻璃片放在台式旋涂机上，利用旋涂机将PDMS混合剂均匀的旋涂在MXene薄膜的表面，旋涂机转速设置为900r/min，随后将玻璃片置于干燥箱中，在100℃下加热2h，待PDMS完全固化后取出玻璃片并在室温下冷却，然后将MXene/PDMS复合薄膜从玻璃片上剥离即可获得MXene/PDMS复合薄膜。
本实施例所得到的MXene/PDMS复合薄膜中，MXene层的厚度约为3μm，PDMS厚度约为80μm。所得MXene/PDMS复合薄膜在300mW/cm2的光照条件下曲率半径从0. 4cm增加到3.85cm。同时，在光驱动变形过程中，复合膜的电阻下降约40%。因此，这种MXene/PDMS复合薄膜能够在光照条件下产生变形，同时在光驱动变形的过程中电阻会发生实时的改变，因而，该MXene/PDMS复合薄膜为驱动传感一体化智能薄膜。
实施例2
一种基于MXene的驱动传感一体化智能薄膜的制备方法，按以下步骤实现：
步骤一、MXene分散液的制备：将5g氟化锂溶解到100ml浓度为9mol/L的盐酸溶液中，获得盐酸/氟化锂刻蚀液；然后将5g钛碳化铝粉末缓慢加入到100ml刻蚀液中，将混合液在35℃下进行磁力搅拌，搅拌转速为1200r/min；待反应24h，将得到的溶液在通入氩气的条件下进行超声处理，超声频率为80kHz，超声时间为1.5h；随后将超声处理后的溶液在3500r/min的条件下进行多次离心，直至上层液pH值为6~7，即可获得MXene分散液。
步骤二、高浓度MXene分散液的制备：对步骤一得到的MXene分散液在10000r/min条件下进行离心，去除上层清液，再将得到的MXene沉淀物重新分散在去离子水中，即可获得高浓度MXene分散液。
步骤三、MXene薄膜的制备：将步骤二得到的高浓度MXene分散液配置成MXene的质量浓度为10mg/ml的分散液，然后将其滴铸到干净的玻璃片表面，随后在35℃下放置24h，除去水分，即可在玻璃片上获得MXene薄膜。
步骤四、配置PDMS混合剂：将聚二甲基硅氧烷（PDMS）树脂与配套的固化剂按照10：1的比例进行混合，通过机械搅拌使其混合均匀，搅拌速度为800r/min，随后将混合液置于真空干燥箱内进行脱泡处理，真空度设置为-0.2MPa，去除搅拌过程中产生的气泡，即可获得PDMS混合剂。
步骤五、MXene/PDMS复合薄膜的制备：将步骤四获得的PDMS混合剂倒在步骤三获得的MXene薄膜上，然后将玻璃片放在台式旋涂机上，利用旋涂机将PDMS混合剂均匀的旋涂在MXene薄膜的表面，旋涂机转速设置为900r/min，随后将玻璃片置于干燥箱中，在100℃下加热2h，待PDMS完全固化后取出玻璃片并在室温下冷却，然后将MXene/PDMS复合薄膜从玻璃片上剥离即可获得MXene/PDMS复合薄膜。
本实施例所得到的MXene/PDMS复合薄膜中，MXene层的厚度约为4μm，PDMS厚度约为80μm。所得MXene/PDMS复合薄膜在365mW/cm2的光照条件下曲率半径从0. 6cm增加到4.2cm。同时，在光驱动变形过程中，复合膜的电阻下降约40%。因此，这种MXene/PDMS复合薄膜能够在光照条件下产生变形，同时在光驱动变形的过程中电阻会发生实时的改变，因而，该MXene/PDMS复合薄膜为驱动传感一体化智能薄膜。
图1是本实施例步骤五中所得MXene/PDMS复合薄膜的截面SEM图片，从图1中可以看出，该MXene/PDMS复合薄膜为明显的双层结构，其中MXene层由大量的二维MXene片层层叠加自组装而成。
图2是本实施例步骤五中所得MXene/PDMS复合薄膜光致变形的光学图片，从图2中可以看到，当复合膜被光照时，曲率半径增加；当撤去光照后，复合膜恢复至初始状态。
图3是本实施例步骤五中所得MXene/PDMS复合薄膜光致变形过程的电阻变化情况，从图3中可以看出，当复合膜在光照状态下时温度升高，电阻下降，当撤去光照时，温度降低，电阻恢复。
实施例3
一种基于MXene的驱动传感一体化智能薄膜的制备方法，按以下步骤实现：
步骤一、MXene分散液的制备：将1g氟化锂溶解到20ml浓度为9mol/L的盐酸溶液中，获得盐酸/氟化锂刻蚀液；然后将1g钛碳化铝粉末缓慢加入到20ml刻蚀液中，将混合液在35℃下进行磁力搅拌，搅拌转速为900r/min；待反应24h，将得到的溶液在通入氩气的条件下进行超声处理，超声频率为100kHz，超声时间为1h；随后将超声处理后的溶液在3500r/min的条件下进行多次离心，直至上层液pH值为6~7，即可获得MXene分散液。
步骤二、高浓度MXene分散液的制备：对步骤一得到的MXene分散液在10000r/min条件下进行离心，去除上层清液，再将得到的MXene沉淀物重新分散在去离子水中，即可获得高浓度MXene分散液。
步骤三、MXene薄膜的制备：将步骤二得到的高浓度MXene分散液配置成MXene的质量浓度为20mg/ml的分散液，然后将其滴铸到干净的玻璃片表面，随后在25℃下放置48h，除去水分，即可在玻璃片上获得MXene薄膜。
步骤四、配置PDMS混合剂：将聚二甲基硅氧烷（PDMS）树脂与配套的固化剂按照10：1的比例进行混合，通过机械搅拌使其混合均匀，搅拌速度为1000r/min，随后将混合液置于真空干燥箱内进行脱泡处理，真空度设置为-0.2MPa，去除搅拌过程中产生的气泡，即可获得PDMS混合剂。
步骤五、MXene/PDMS复合薄膜的制备：将步骤四获得的PDMS混合剂倒在步骤三获得的MXene薄膜上，然后将玻璃片放在台式旋涂机上，利用旋涂机将PDMS混合剂均匀的旋涂在MXene薄膜的表面，旋涂机转速设置为900r/min，随后将玻璃片置于干燥箱中，在100℃下加热2h，待PDMS完全固化后取出玻璃片并在室温下冷却，然后将MXene/PDMS复合薄膜从玻璃片上剥离即可获得MXene/PDMS复合薄膜。
本实施例所得到的MXene/PDMS复合薄膜中，MXene层的厚度约为5μm，PDMS厚度约为80μm。所得MXene/PDMS复合薄膜在200mW/cm2的光照条件下曲率半径从0.7 cm增加到2.6cm。同时，在光驱动变形过程中，复合膜的电阻下降约20%。因此，这种MXene/PDMS复合薄膜能够在光照条件下产生变形，同时在光驱动变形的过程中电阻会发生实时的改变，因而，该MXene/PDMS复合薄膜为驱动传感一体化智能薄膜。
实施例4
一种基于MXene的驱动传感一体化智能薄膜的制备方法，按以下步骤实现：
步骤一、MXene分散液的制备：将1g氟化锂溶解到20ml浓度为9mol/L的盐酸溶液中，获得盐酸/氟化锂刻蚀液；然后将1g钛碳化铝粉末缓慢加入到20ml刻蚀液中，将混合液在35℃下进行磁力搅拌，搅拌转速为900r/min；待反应24h，将得到的溶液在通入氩气的条件下进行超声处理，超声频率为100kHz，超声时间为1h；随后将超声处理后的溶液在3500r/min的条件下进行多次离心，直至上层液pH值为6~7，即可获得MXene分散液。
步骤二、高浓度MXene分散液的制备：对步骤一得到的MXene分散液在10000r/min条件下进行离心，去除上层清液，再将得到的MXene沉淀物重新分散在去离子水中，即可获得高浓度MXene分散液。
步骤三、MXene薄膜的制备：将步骤二得到的高浓度MXene分散液配置成MXene的质量浓度为5mg/ml的分散液，然后将其滴铸到干净的玻璃片表面，随后在30℃下放置48h，除去水分，即可在玻璃片上获得MXene薄膜。
步骤四、配置PDMS混合剂：将聚二甲基硅氧烷（PDMS）树脂与配套的固化剂按照10：1的比例进行混合，通过机械搅拌使其混合均匀，搅拌速度为1000r/min，随后将混合液置于真空干燥箱内进行脱泡处理，真空度设置为-0.1MPa，去除搅拌过程中产生的气泡，即可获得PDMS混合剂。
步骤五、MXene/PDMS复合薄膜的制备：将步骤四获得的PDMS混合剂倒在步骤三获得的MXene薄膜上，然后将玻璃片放在台式旋涂机上，利用旋涂机将PDMS混合剂均匀的旋涂在MXene薄膜的表面，旋涂机转速设置为900r/min，随后将玻璃片置于干燥箱中，在120℃下加热1.5h，待PDMS完全固化后取出玻璃片并在室温下冷却，然后将MXene/PDMS复合薄膜从玻璃片上剥离即可获得MXene/PDMS复合薄膜。
本实施例所得到的MXene/PDMS复合薄膜中，MXene层的厚度约为3μm，PDMS厚度约为80μm。所得MXene/PDMS复合薄膜在365mW/cm2的光照条件下曲率半径从0. 4cm增加到4.6cm。同时，在光驱动变形过程中，复合膜的电阻下降约45%。因此，这种MXene/PDMS复合薄膜能够在光照条件下产生变形，同时在光驱动变形的过程中电阻会发生实时的改变，因而，该MXene/PDMS复合薄膜为驱动传感一体化智能薄膜。

Claims (10)

1.一种基于MXene的驱动传感一体化智能薄膜的制备方法，其特征在于所述方法包括如下步骤：
步骤一、MXene分散液的制备：
（1）将0.1~5g氟化锂溶解到5~200ml浓度为5~12mol/L的盐酸溶液中，获得盐酸/氟化锂刻蚀液；
（2）将0.1~5g钛碳化铝粉末缓慢加入到5~200ml刻蚀液中，将混合液在25~50℃下进行磁力搅拌；
（3）待反应20~30h，将得到的溶液在通入氩气的条件下进行超声处理；
（4）将超声处理后的溶液进行多次离心，直至上层液pH值为5~7，即可获得MXene分散液；
步骤二、高浓度MXene分散液的制备：
（1）对步骤一得到的MXene分散液进行离心，去除上层清液；
（2）将得到的MXene沉淀物重新分散在去离子水中，即可获得高浓度MXene分散液；
步骤三、MXene薄膜的制备：
（1）将步骤二得到的高浓度MXene分散液配置成MXene的质量浓度为3~20mg/ml的分散液；
（2）将分散液滴铸到干净的玻璃片表面，随后在25~50℃下放置10~36h，除去水分，即可在玻璃片上获得MXene薄膜；
步骤四、配置PDMS混合剂：
（1）将PDMS树脂与配套的固化剂混合，通过机械搅拌使其混合均匀；
（2）将混合液置于真空干燥箱内进行脱泡处理，去除搅拌过程中产生的气泡，即可获得PDMS混合剂；
步骤五、MXene/PDMS复合薄膜的制备：
（1）将步骤四获得的PDMS混合剂倒在步骤三获得的MXene薄膜上；
（2）将玻璃片放在台式旋涂机上，利用旋涂机将PDMS混合剂均匀的旋涂在MXene薄膜的表面；
（3）将玻璃片置于干燥箱中固化，待PDMS完全固化后取出玻璃片并在室温下冷却；
（4）将MXene/PDMS复合薄膜从玻璃片上剥离即可获得MXene/PDMS复合薄膜。
2.根据权利要求1所述的基于MXene的驱动传感一体化智能薄膜的制备方法，其特征在于所述步骤一中，控制磁力搅拌转速为700~1500r/min。
3.根据权利要求1所述的基于MXene的驱动传感一体化智能薄膜的制备方法，其特征在于所述步骤一中，控制超声频率为50~100kHz，超声时间为1~2h。
4.根据权利要求1所述的基于MXene的驱动传感一体化智能薄膜的制备方法，其特征在于所述步骤一中，控制离心过程的转速为2000~5000r/min。
5.根据权利要求1所述的基于MXene的驱动传感一体化智能薄膜的制备方法，其特征在于所述步骤二中，控制离心过程的转速为8000~13000r/min。
6.根据权利要求1所述的基于MXene的驱动传感一体化智能薄膜的制备方法，其特征在于所述步骤四中，控制PDMS树脂与固化剂的质量比为20：1.5~20：8，搅拌速度为400~1200r/min。
7.根据权利要求1所述的基于MXene的驱动传感一体化智能薄膜的制备方法，其特征在于所述步骤四中，控制真空度为-0.1~-0.5MPa。
8.根据权利要求1所述的基于MXene的驱动传感一体化智能薄膜的制备方法，其特征在于所述步骤五中，控制旋涂机转速为500~1600r/min。
9.根据权利要求1所述的基于MXene的驱动传感一体化智能薄膜的制备方法，其特征在于所述步骤五中，控制固化温度为80~120℃，时间为1~12h。
10.根据权利要求1所述的基于MXene的驱动传感一体化智能薄膜的制备方法，其特征在于所述步骤五中，当复合薄膜被光照射时，复合膜发生光致变形，电阻下降；当撤去光照时，复合膜变形恢复，电阻恢复至初始状态。
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