CN105803403A - 一种电致动氧化石墨烯/金属双层薄膜及其制备方法 - Google Patents

一种电致动氧化石墨烯/金属双层薄膜及其制备方法 Download PDF

Info

Publication number
CN105803403A
CN105803403A CN201610146807.5A CN201610146807A CN105803403A CN 105803403 A CN105803403 A CN 105803403A CN 201610146807 A CN201610146807 A CN 201610146807A CN 105803403 A CN105803403 A CN 105803403A
Authority
CN
China
Prior art keywords
thin film
graphene oxide
metal
preparation
evaporation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201610146807.5A
Other languages
English (en)
Other versions
CN105803403B (zh
Inventor
王宏志
时秋伟
李耀刚
张青红
侯成义
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Donghua University
National Dong Hwa University
Original Assignee
Donghua University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Donghua University filed Critical Donghua University
Priority to CN201610146807.5A priority Critical patent/CN105803403B/zh
Publication of CN105803403A publication Critical patent/CN105803403A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN105803403B publication Critical patent/CN105803403B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C23C14/26—Vacuum evaporation by resistance or inductive heating of the source
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/14—Metallic material, boron or silicon
    • C23C14/18—Metallic material, boron or silicon on other inorganic substrates

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Carbon And Carbon Compounds (AREA)

Abstract

本发明涉及一种电致动氧化石墨烯/金属双层薄膜及其制备方法，所述薄膜为非对称薄膜，且氧化石墨烯薄膜内部具有狭缝状柔性的孔洞。制备方法包括：将氧化石墨分散液经过细胞粉碎，得到氧化石墨烯溶胶，热蒸发，得到氧化石墨烯薄膜；将氧化石墨烯薄膜通过高真空电阻蒸发镀膜法蒸镀金属，得到电致动氧化石墨烯/金属双层薄膜。本发明的制备方法简单、成本低，可规模化生产，所获得的氧化石墨烯/金属双层薄膜具有稳定的结构和优良的电致形变性能，在柔性电致动器、微型机器人和人造肌肉等领域具有重要应用价值。

Description

一种电致动氧化石墨烯/金属双层薄膜及其制备方法
技术领域
本发明属于电致动薄膜领域，特别涉及一种电致动氧化石墨烯/金属双层薄膜及其制备方法。
背景技术
致动材料可以定义为一种材料或者系统，在外界环境诸如光、电、热、气氛、磁场和压力等激发源的刺激下做出能重复的改变位置或形态的响应能力，具有此类性能的材料我们称为致动材料。根据材料的性质不同，致动材料则分为无机致动材料(形状记忆合金、电活性陶瓷等)和有机致动材料(高分子液晶材料、电致动聚合物材料和电活性橡胶等)。而致动材料按其受外界刺激因素不同主要可分为：电致动材料，光致动材料，磁致动材料，热致动材料以及化学环境致动材料等。
致动材料的控制是材料能够实际应用的关键。对于现代生活来说，电是相对容易并且方便控制的因素，我们可以通过调节电压或者电流的大小，随意的改变电信号的强弱，来调控致动材料的物理性能和结构形状，因此电致动材料作为智能致动的多功能化应用提供了很好的发展方向。常规的电致动材料有形状记忆合金、电活性陶瓷、高分子液晶材料、电致动聚合物材料、电活性橡胶等。电活性陶瓷的响应速度快，但是脆性大，只能获得1％的应变，常用做数码相机的电动对焦器件。有机的电致动材料高分子液晶高分子液晶材料、电致动聚合物材料、电活性橡胶等的稳定性比较弱。由此可知，现有的关于电致动材料的大量科研工作仍存在很多问题：1、形状记忆合金、电活性陶瓷的质量大，形变需要的电压大，无法很好的应用在日常生活中；2、无机类的电动材料电刺激下机械形变量小，极大的限制其应用；3、高分子液晶材料和电活性聚合物等电致动材料的化学稳定性、耐热差，限制了电致动材料的推广应用。
2004年英国科学家首次分离制备出石墨烯以来，其特殊的结构和优异的性能吸引了广大科研人员的关注。目前，以石墨烯片层为单元制备不同维度的宏观石墨烯基材料已经有大量研究，然而电致动石墨烯基材料的研究极少有文献报道。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种电致动氧化石墨烯/金属双层薄膜及其制备方法，该方法简单、成本低，可规模化生产，所获得的氧化石墨烯/金属双层薄膜具有稳定的结构和优良的电致形变性能。
本发明的一种电致动氧化石墨烯/金属双层薄膜，所述薄膜为非对称薄膜，且氧化石墨烯薄膜内部具有狭缝状柔性的孔洞。
所述孔洞的孔径为0.1μm～10μm。
所述电致动氧化石墨烯/金属双层薄膜的厚度为1μm～100μm。
本发明的一种电致动氧化石墨烯/金属双层薄膜的制备方法，包括：
(1)将氧化石墨分散液经过细胞粉碎，得到氧化石墨烯溶胶，热蒸发，得到氧化石墨烯薄膜；
(2)将步骤(1)得到的氧化石墨烯薄膜通过高真空电阻蒸发镀膜法蒸镀金属，得到电致动氧化石墨烯/金属双层薄膜。
所述步骤(1)中氧化石墨分散液的浓度为2～30mg/mL；溶剂为蒸馏水。
所述氧化石墨分散液为：将氧化石墨加入蒸馏水中配成一定的浓度的分散液。
所述步骤(1)中细胞粉碎的时间为1～10h。
所述细胞粉碎采用细胞粉碎仪。
所述步骤(1)中热蒸发的温度为40～80℃，时间为5～20h。
所述热蒸发的方式为：将氧化石墨烯溶胶置于聚四氟乙烯或聚丙烯等培养皿中，然后在烘箱中进行热蒸发。
所述步骤(2)中高真空电阻蒸发镀膜法的条件为真空度小于3×10-3Pa；蒸镀金属速率为0.1～5nm/s；蒸镀金属的时间为30～300s。
所述步骤(2)中金属为铝、铜、银或金。
本发明提出了用溶剂蒸发法和高真空电阻蒸发镀膜法制备一种电致动氧化石墨烯/金属双层薄膜的方法，该方法易操作，成本低，具有广泛的应用前景。
通过控制氧化石墨烯溶胶的浓度、体积和高真空蒸镀金属的速率和时间来制备不同厚度的氧化石墨烯/金属双层薄膜，制备可控性好，获得的氧化石墨烯/金属双层薄膜两侧具有明显的物理化学性质差异，赋予了非对称薄膜在外界刺激时产生非对称的响应，即在加电流时该薄膜两侧出现力的不平衡，宏观上表现出电致变形的效果。
所述非对称电致动材料是由氧化石墨烯薄膜和金属薄膜组装而成：用细胞粉碎仪剥离水中的氧化石墨得到氧化石墨烯溶胶，将氧化石墨烯溶胶倒入聚四氟乙烯、聚丙烯等培养皿并置于烘箱中，水分蒸干后获得氧化石墨烯薄膜，用高真空电阻蒸发镀膜机在氧化石墨烯薄膜的单侧表面蒸镀金属铝、铜、银和金等金属，即得氧化石墨烯/金属双层薄膜。
本方法通过特殊两步的成膜方法制备非对称的薄膜，该薄膜两侧成分截然不同且各自稳定，通过蒸发溶剂的方法获得的氧化石墨烯薄膜内部具有大量狭缝状柔性的孔洞，使之在外界刺激下更容易发生机械变形。在相同的电刺激下，氧化石墨烯层和金属层不同的机械响应是该薄膜电致动表现的根本原因。
有益效果
(1)本发明的操作方法简单，制备过程方便快速；
(2)本发明所制备的电致动氧化石墨烯/金属双层薄膜具有优异的电化学稳定性，能够在加电压的情况下较快的产生机械形变并恢复到初始状态，在其变形的过程中电导率基本不发生变化；
(3)本发明所制备的电致动氧化石墨烯/金属双层薄膜与传统的电动机、齿轮、链条和皮带等传动方式相比有其特殊的优势，该电致动过程没有复杂机械装置，摩擦损耗小、便于微型化具有较高的电能向机械能转化效率，在柔性电致动器、微型机器人和人造肌肉等领域具有重要应用价值。
附图说明
图1为实施例1中氧化石墨烯/金双层薄膜的制备过程；
图2为实施例1中氧化石墨烯/金双层薄膜的XRD图；
图3为实施例1中氧化石墨烯/金双层薄膜的SEM图；其中，a为薄膜断面图；b为薄膜断面靠近金侧的局部放大电镜图，c、d分别为薄膜的氧化石墨烯侧和金侧的表面电镜图；
图4为实施例1中氧化石墨烯/金双层薄膜在5V直流电下的电致动变形的红外热成型图像；
图5为实施例2中氧化石墨烯/金双层薄膜在4V直流电下的电致动变形的红外热成型图像(a)和数码照片(b)；
图6为实施例2中氧化石墨烯/金双层薄膜在4V间隔直流电下的时间-电流曲线。
具体实施方式
下面结合具体实施例，进一步阐述本发明。应理解，这些实施例仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围。此外应理解，在阅读了本发明讲授的内容之后，本领域技术人员可以对本发明作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。
实施例1
在室温下，称取氧化石墨120mg，置于100mL的烧杯中，然后加蒸馏水60mL配成浓度为2mg/mL的分散液，然后用细胞粉碎仪处理2h得到氧化石墨烯溶胶60mL；将60mL氧化石墨烯溶胶倒入直径为15cm聚四氟乙烯培养皿中，随后将盛有氧化石墨烯溶胶的聚四氟乙烯培养皿置于60℃烘箱温度中保温8h，即得到氧化石墨烯薄膜；将制备的氧化石墨烯薄膜固定在高真空电阻蒸发镀膜机蒸镀板上，采用金作为蒸镀源材料，打开真空镀膜机，分别打开机械泵和分子泵抽真空，待真空度小于3×10-3Pa时，打开蒸镀电源，调节金的蒸镀速率至0.4nm/s，蒸镀200s即可得到氧化石墨烯/金双层薄膜。图1详细的描述了制备氧化石墨烯/金双层薄膜的具体过程，从图1的第3、5步可以清晰的看出，采用蒸发法和高真空电阻蒸法镀膜法可以便捷、大面积的制备氧化石墨烯薄膜和氧化石墨烯/金双层薄膜。图2为本实施例制备的氧化石墨烯/金双层薄膜的XRD图谱，可以看出：氧化石墨烯薄膜和氧化石墨烯/金双层薄膜在2θ＝10.5°时有相同的峰，说明蒸发法制备的氧化石墨烯薄膜具有类似抽滤、刮涂法获得的石墨烯薄膜的层层堆叠结构，通过高真空电阻蒸发镀膜法蒸镀金后氧化石墨烯侧的结晶状态没有变化；氧化石墨烯/金薄膜的2θ＝38.4°和2θ＝44.4°存在两个衍射峰，分别对应着金单质的(111)和(200)晶面，对应着金的PDFNo.65-2870卡片。图3是氧化石墨烯/金双层薄膜的场发射扫描电镜图片：a为薄膜断面的电镜图片，b为薄膜断面靠近金侧的局部放大电镜图，c、d分别为薄膜的氧化石墨烯侧和金侧的表面电镜图片，从电镜上可以看出该薄膜非对称的结构。将氧化石墨烯/金双层薄膜如图4示意图悬挂并接通直流电，前30s是接通5V直流电薄膜的变形过程，30s以后无电压薄膜的恢复过程，该过程可多次重复，具有很好的稳定性。
实施例2
在室温下，称取氧化石墨300mg，置于100mL的烧杯中，然后加蒸馏水60mL配成浓度为2mg/mL的分散液，然后用细胞粉碎仪处理2h得到氧化石墨烯溶胶60mL；将60mL氧化石墨烯溶胶倒入直径为15cm聚四氟乙烯培养皿中，随后将盛有氧化石墨烯溶胶的聚四氟乙烯培养皿置于60℃烘箱温度中保温10h，即得到氧化石墨烯薄膜；将制备的氧化石墨烯薄膜固定在高真空电阻蒸发镀膜机蒸镀板上，采用金作为蒸镀源材料，打开真空镀膜机，分别打开机械泵和分子泵抽真空，待真空度小于3×10-3Pa时，打开蒸镀电源，调节金的蒸镀速率至0.4nm/s，蒸镀200s即可得到氧化石墨烯/金双层薄膜。用激光裁剪成如图5所示，在加4V直流电压时卷曲的薄膜电致变形情况，由此可知，该氧化石墨烯/金薄膜不仅有较好的电致动性能，而且还可以通过形状设计，实现变形的多样性。图6是该氧化石墨烯/金薄膜在4V间隔直流电下循环200次的时间-电流曲线，由图看出该薄膜循环变形过程中电流稳定，说明该电致动薄膜在其变形的过程中电导率基本不发生变化。
实施例3
在室温下，称取氧化石墨120mg，置于100mL的烧杯中，然后加蒸馏水60mL配成浓度为？mg/mL的分散液，然后用细胞粉碎仪处理2h得到氧化石墨烯溶胶60mL；将60mL氧化石墨烯溶胶倒入直径为15cm聚四氟乙烯培养皿中，随后将盛有氧化石墨烯溶胶的聚四氟乙烯培养皿置于60℃烘箱温度中保温8h，即得到氧化石墨烯薄膜；将制备的氧化石墨烯薄膜固定在高真空电阻蒸发镀膜机蒸镀板上，采用银作为蒸镀源材料，打开真空镀膜机，分别打开机械泵和分子泵抽真空，待真空度小于3×10-3Pa时，打开蒸镀电源，调节金的蒸镀速率至0.4nm/s，蒸镀200s即可得到氧化石墨烯/银双层薄膜。

Claims (9)

1.一种电致动氧化石墨烯/金属双层薄膜，其特征在于，所述薄膜为非对称薄膜，且氧化石墨烯薄膜内部具有狭缝状柔性的孔洞。
2.根据权利要求1所述的一种电致动氧化石墨烯/金属双层薄膜，其特征在于，所述孔洞的孔径为0.1μm～10μm。
3.根据权利要求1所述的一种电致动氧化石墨烯/金属双层薄膜，其特征在于，所述电致动氧化石墨烯/金属双层薄膜的厚度为1μm～100μm。
4.一种电致动氧化石墨烯/金属双层薄膜的制备方法，包括：
(1)将氧化石墨分散液经过细胞粉碎，得到氧化石墨烯溶胶，热蒸发，得到氧化石墨烯薄膜；
(2)将步骤(1)得到的氧化石墨烯薄膜通过高真空电阻蒸发镀膜法蒸镀金属，得到电致动氧化石墨烯/金属双层薄膜。
5.根据权利要求4所述的一种电致动氧化石墨烯/金属双层薄膜的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)中氧化石墨分散液的浓度为2～30mg/mL；溶剂为蒸馏水。
6.根据权利要求4所述的一种电致动氧化石墨烯/金属双层薄膜的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)中细胞粉碎的时间为1～10h。
7.根据权利要求4所述的一种电致动氧化石墨烯/金属双层薄膜的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)中热蒸发的温度为40～80℃，时间为5～20h。
8.根据权利要求4所述的一种电致动氧化石墨烯/金属双层薄膜的制备方法，其特征在于，所述步骤(2)中高真空电阻蒸发镀膜法的条件为真空度小于3×10-3Pa；蒸镀金属速率为0.1～5nm/s；蒸镀金属的时间为30～300s。
9.根据权利要求4所述的一种电致动氧化石墨烯/金属双层薄膜的制备方法，其特征在于，所述步骤(2)中金属为铝、铜、银或金。
CN201610146807.5A 2016-03-15 2016-03-15 一种电致动氧化石墨烯/金属双层薄膜及其制备方法 Expired - Fee Related CN105803403B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610146807.5A CN105803403B (zh) 2016-03-15 2016-03-15 一种电致动氧化石墨烯/金属双层薄膜及其制备方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610146807.5A CN105803403B (zh) 2016-03-15 2016-03-15 一种电致动氧化石墨烯/金属双层薄膜及其制备方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN105803403A true CN105803403A (zh) 2016-07-27
CN105803403B CN105803403B (zh) 2018-05-15

Family

ID=56467526

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201610146807.5A Expired - Fee Related CN105803403B (zh) 2016-03-15 2016-03-15 一种电致动氧化石墨烯/金属双层薄膜及其制备方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN105803403B (zh)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107475708A (zh) * 2017-07-17 2017-12-15 东华大学 一种电致动铜基薄膜及其制备方法
CN107778514A (zh) * 2017-10-16 2018-03-09 西南科技大学 一种石墨烯双层电致动膜及其制备方法
CN108456494A (zh) * 2018-02-14 2018-08-28 海宁卓泰电子材料有限公司 一种石墨片及其制备方法
CN112520685A (zh) * 2020-12-04 2021-03-19 青岛大学 一种双层薄膜致动器及其制备方法
CN118659684A (zh) * 2024-08-16 2024-09-17 常熟理工学院 基于表面等离激元效应提高水蒸发发电性能的方法及水蒸发发电器件

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20110133607A1 (en) * 2009-12-03 2011-06-09 Electronics And Telecommunications Research Institute Polymer actuator containing graphene and method of preparing the same
CN105355776A (zh) * 2015-10-26 2016-02-24 福建师范大学 电致动材料及其制备方法和采用该电致动材料的致动器

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20110133607A1 (en) * 2009-12-03 2011-06-09 Electronics And Telecommunications Research Institute Polymer actuator containing graphene and method of preparing the same
CN105355776A (zh) * 2015-10-26 2016-02-24 福建师范大学 电致动材料及其制备方法和采用该电致动材料的致动器

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107475708A (zh) * 2017-07-17 2017-12-15 东华大学 一种电致动铜基薄膜及其制备方法
CN107475708B (zh) * 2017-07-17 2019-10-08 东华大学 一种电致动铜基薄膜及其制备方法
CN107778514A (zh) * 2017-10-16 2018-03-09 西南科技大学 一种石墨烯双层电致动膜及其制备方法
CN107778514B (zh) * 2017-10-16 2021-04-02 西南科技大学 一种石墨烯双层电致动膜及其制备方法
CN108456494A (zh) * 2018-02-14 2018-08-28 海宁卓泰电子材料有限公司 一种石墨片及其制备方法
CN108456494B (zh) * 2018-02-14 2019-03-05 海宁卓泰电子材料有限公司 一种石墨片及其制备方法
CN112520685A (zh) * 2020-12-04 2021-03-19 青岛大学 一种双层薄膜致动器及其制备方法
CN112520685B (zh) * 2020-12-04 2024-03-01 青岛大学 一种双层薄膜致动器及其制备方法
CN118659684A (zh) * 2024-08-16 2024-09-17 常熟理工学院 基于表面等离激元效应提高水蒸发发电性能的方法及水蒸发发电器件

Also Published As

Publication number Publication date
CN105803403B (zh) 2018-05-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105803403A (zh) 一种电致动氧化石墨烯/金属双层薄膜及其制备方法
Shao et al. Large-scale production of flexible, high-voltage hydroelectric films based on solid oxides
Wang et al. Actuator and generator based on moisture-responsive PEDOT: PSS/PVDF composite film
CN107778514B (zh) 一种石墨烯双层电致动膜及其制备方法
WO2010018612A1 (ja) 導電性高分子アクチュエータおよびその製造方法
Zhang et al. A large-strain, fast-response, and easy-to-manufacture electrothermal actuator based on laser-reduced graphene oxide
CN103337985B (zh) 一种基于横向摩擦的单表面摩擦发电机及其制备方法
KR102384264B1 (ko) 마찰 전기 발전 소자 및 이의 제조방법
Song et al. Freestanding ion gels for flexible, printed, multifunctional microsupercapacitors
CN111740000B (zh) 一种MXene复合材料基电化学致动器、其制备方法和用途
Yang et al. Flexible and transparent high-dielectric-constant polymer films based on molecular ferroelectric-modified poly (vinyl alcohol)
Chen et al. Electrothermal actuators with ultrafast response speed and large deformation
Chang et al. Graphene‐based bimorph actuators with dual‐response and large‐deformation by a simple method
Kong et al. Laser-induced hydrothermal growth of iron oxide nanoparticles on diverse substrates for flexible micro-supercapacitors
CN104671223A (zh) 多孔碳氮二维纳米片和制备ipmc电化学驱动器的方法
US12119138B2 (en) Method for manufacturing transparent electrode with low surface roughness
Chang et al. Soft actuators based on carbon nanomaterials
Qi et al. Highly efficient walking perovskite solar cells based on thermomechanical polymer films
Huang et al. A fast-response electroactive actuator based on TEMPO-oxidized cellulose nanofibers
KR101998019B1 (ko) 초저전력 자동 모션-잠금 소프트 액추에이터
Cao et al. Transport channel engineering between MXene interlayers for Zn‐ion hybrid microsupercapacitor with enhanced energy output and cycle stability
Chen et al. Graphene quantum dot–poly (vinylidene fluoride) composite for the preparation of asymmetric bilayer bending transducer
KR102691697B1 (ko) 유연 마이크로 슈퍼커패시터 제조 방법, 및 이에 의해 제조된 폴리머 버퍼 레이어를 구비한 유연 마이크로 슈퍼커패시터
Meng et al. High-k lead-free ferroelectric KNN as an electron blocking layer toward efficient hybrid piezoelectric–triboelectric nanogenerators
WO2014139348A1 (zh) 一种滑动式摩擦纳米发电机组

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20180515

Termination date: 20210315

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee