CN113655231A - 一种半导体检测的装置及方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种半导体检测的装置,属于半导体检测设备的技术领域。包括机台，所述机台上设有上下料模块、定点输送模块以及检测模块，所述上下料模块位于定点输送模块的其中一侧，所述定点输送模块的进料端和出料端位于同一侧，所述上下料模块的出料端与定点输送模块的进料端以及出料端对接，所述上下料模块用于将料片输送到定点输送模块内并接收定点输送模块传回的料片，所述检测模块的检测端位于定点输送模块的上方。本申请方案中料片检测前后均位于同一料槽，减少料片位置的改变，继而可以减少料片在转移过程中出现信息丢失或者信息不匹配的情况，减少返工情况，提高料片的检测效率。

Description

一种半导体检测的装置及方法

技术领域

本发明涉及半导体检测设备的领域，尤其是涉及一种半导体检测的装置及方法。

背景技术

伴随着科技日新月异的发展，半导体在各行各业的重要性不言而喻，而按照电子系统故障检测中的“十倍法则”，若一个半导体中的故障没有在测试时发现，则在电路板级别发现故障的成本为半导体级别的十倍。因此，检测在半导体产业中扮演着重要角色。

相关技术中，半导体检测设备的检测方式一般为左进右出或者右进左出，即在检测设备的两侧设置上下料装置，利用上下料装置将待测料片从检测设备的一侧送进检测设备里面，检测设备检测完成后，料片从检测设备的另一端出料，以实现对半导体料片的检测。

针对上述中的相关技术，发明人认为，一般来说，一个料盒上携带所装载的每一层料片的全部信息，采用左进右出或者右进左出的检测方式时，料盒发生改变，存在有料片信息匹配不方便的问题，同时料片的转移会增加料片信息丢失或者信息不匹配的概率。

发明内容

为了有助于解决料片在转移过程中容易出现料片信息丢失或者信息不匹配的问题，本申请提供一种半导体检测的装置及方法。

本申请提供的一种半导体检测的装置及方法采用如下的技术方案：

第一方面，一种半导体检测的装置，包括机台，所述机台上设有上下料模块、定点输送模块以及检测模块，所述上下料模块位于定点输送模块的其中一侧，所述定点输送模块的进料端和出料端位于同一侧，所述上下料模块的出料端与定点输送模块的进料端以及出料端对接，所述上下料模块用于将料片输送到定点输送模块内并接收定点输送模块传回的料片，所述检测模块的检测端位于定点输送模块的上方。

通过采用上述技术方案，上下料模块将待测料片推送至定点输送模块内，由定点输送模块将待测料片输送至检测模块的检测端，检测模块对待测料片进行检测，检测完毕后，定点输送模块将已测料片推回上下料模块，使料片能回到初始位置，减少料片位置的改变，继而可以减少料片在转移过程中出现信息丢失或者信息不匹配的情况，同时同侧进行上下料，可以减少上下料模块的数量，达到节约成本的目的。

可选的，所述上下料模块包括料架和用于装载料片的料盒，所述料架固定于机台且位于定点输送模块的一侧，所述料盒的两端开口，所述料盒内设有用于装载料片的料槽，所述料架上还设置有用于升降料盒的升降机构以及用于将料盒内的待测料片输送至定点输送模块内的推料机构。

通过采用上述技术方案，多块待测料片装载于料槽内，升降机构带动料盒升降，使料槽与定点输送模块的进料端对准，对准后使用推料机构将料片输送进定点输送模块内，从而实现料片的转移。升降机构与推料机构以及定点输送模块联动，可以实现料片的分批转移，继而实现料片的自动上下料，保证料片的批量检测。

可选的，所述升降机构包括升降架和升降驱动组件，所述升降架竖直滑动连接于料架，所述升降架用于承托料盒并调整料盒与定点输送模块的进出料口的相对高度，所述升降驱动组件安装于料架上，所述升降驱动组件的输出端与升降架传动连接。

通过采用上述技术方案，利用升降机构可以自动调整料盒的高度，使料盒可以与定点输送模块的进出料端对齐，以便于后续料片的精准上料和精准下料。该方案结构简单，传动精度高，可以有效保证料片的稳定上下料。

可选的，所述料架上设有用于锁紧料盒的第一夹持组件和第二夹持组件，所述第一夹持组件包括设于料架上且竖直设置的两第一夹持板，其中一所述第一夹持板与料架水平滑动连接，所述料架上设有用于驱动该第一夹持板移动的第一夹持驱动组件，两所述第一夹持板相互远离的两侧边设有凸边，两所述凸边相互靠近的一侧能与料盒沿开口方向的侧壁抵接；所述第二夹持组件包括滑动连接于料架的夹持架，所述料架上设有用于驱动夹持架移动的第二夹持驱动组件，所述夹持架上固定有两竖直设置的第二夹持板，所述第二夹持板的移动方向与第一夹持板的移动方向垂直，所述第一夹持板和第二夹持板相互靠近的一侧能与料盒的两竖直面抵接。

通过采用上述技术方案，利用两凸边以及第一夹持板和第二夹持板对料盒的四周进行限位，使料盒在升降架上可以保持稳定，减少推料机构在推动料片过程中料盒的移动，提高料片上料的稳定性。

可选的，所述料架还设有下料模块，所述下料模块的一端与升降架的自由端对接，所述下料模块内设有拉料机构，所述拉料机构包括拉料杆和拉料驱动组件，所述拉料杆与下料模块滑动连接，所述拉料杆的滑动方向垂直于升降机构的升降方向，所述拉料杆能与料盒面向升降机构的一侧抵接，所述拉料驱动组件安装于下料模块内，所述拉料驱动组件的输出端与拉料杆传动连接。

通过采用上述技术方案，料盒内的料片全部检测完毕后，升降机构带动料盒下降，升降架的自由端与下料模块对接，拉料驱动组件驱动拉料杆向远离升降架的方向移动，使拉料杆将料盒往下料模块内推动，以实现料盒的自动下料。该方案可以减少人工下料的操作，进一步提高料盒下料的效率。

可选的，与所述料架滑动连接的第一夹持板的端部设有第三夹持驱动组件，所述第三夹持驱动组件的输出端设有第三夹持板，所述第三夹持板能与料盒沿开口方向的侧边抵接。

通过采用上述技术方案，升降架上可放置多个料盒，多个料盒竖直排列，当位于最底下的料盒中的料片被全部检测完毕后，第三夹取驱动组件控制第三夹持板，第三夹持板夹紧固定位于最底下料盒上方的料盒，然后推料机构可以将最底下的料盒拉出，从而实现单个料盒的自动下料，该方案进一步扩大了可放置料盒的数量，可以有效减少人为操作，提高生产效率。

可选的，所述定点输送模块包括底座、滑料架、滑料轨以及输送机构，所述底座安装于机台上，所述滑料架水平滑动连接于底座上，所述滑料架设为两个且两滑料架的移动方向相反，所述底座上设有料距调节组件对两滑料架进行驱动，所述滑料轨水平安装于滑料架的顶侧，两所述滑料轨平行，两所述滑料轨相互靠近的一侧开设有供料片穿设的滑槽，所述滑槽与上下料模块的出料端对接，所述输送机构设在滑料架上用于带动料片沿滑槽移动。

通过采用上述技术方案，料片被输送至滑槽内并在滑槽内滑动，可以提高减少料片偏移或倾斜的现象，提高料片在转移过程中的稳定性，保证后续对料片的有效检测。并且可以根据料片的尺寸调整两滑槽之间的间距，进一步提高了其适用范围。

可选的，所述输送机构包括用于夹持料片的夹料器和用于驱动所述夹料器沿滑槽移动的横移驱动组件，所述夹料器包括第一夹爪、第二夹爪以及夹爪驱动组件，所述第一夹爪和第二夹爪的固定端铰接，所述第一夹爪和第二夹爪之间的夹持端设在两滑料轨之间，所述夹爪驱动组件用于带动第一夹爪和第二夹爪合拢或分开，所述第一夹爪和第二夹爪合拢时能夹持料片的上下两侧。

通过采用上述技术方案，料片被输送至滑槽内，第一夹爪和第二夹爪合拢夹持料片，通过横移驱动组件带动夹料器移动，使料片能沿滑料轨进行滑移，实现料片位置的转移。夹料器动作迅速，控制简单，可以提高料片在转移过程中的精确性，保证对料片位置的有效控制。

可选的，所述滑料架靠近滑料轨进料端的一侧设有检测开关，所述检测开关用于检测待测料片的进料情况。

通过采用上述技术方案，利用检测开关对待测料片的进料情况进行判断，以提高对料片控制的精准度，确保后续可以有效对料片进行输送和检测。

第二方面，一种半导体检测的方法，包括以下步骤：

S1、工作人员将装有待测料片的料盒放置于上下料模块内；S2、升降机构带动料盒升降，使料盒内的料槽与滑料轨的滑槽对接；S3、检测料盒内料槽中是否存在待测料片；S31、推料机构的推料端沿料槽方向推动，如料槽内存在有待测料片，此时待测料片被推送至滑槽内，检测开关检测到待测料片，定点输送模块将待测料片转移到检测模块的检测端，检测模块检测完毕后，定点输送模块将已测料片输送回料盒内的同一料槽内，完成单块料片检测；S32、推料机构的推料端沿料槽方向推动，如料槽内不存在待测料片，此时无待测料片被推送至滑槽内，检测开关未检测到待测料片，跳到步骤S2；S4、重复步骤S2-S3，批量检测待测料片。

通过采用上述技术方案，与相关技术中的检测设备一侧进料、另一侧出料的方式相比，该检测方法使料片可以同侧进出，即料片从料盒内的料槽内被推送出去后，料片被检测完毕后能被输送回同一料槽内，可以有效减少料片被转移到其它料盒时出现信息丢失或者不匹配的情况，提高料片与料盒的匹配程度，减少后续返工的情况，提高料片的检测效率。

综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：

该方案中料片能同侧进出，料片的上下料位置相同，可以有效减少料片的转移，减少料片在转移过程中出现信息丢失或者不匹配的情况，保证料片的有效检测；

升降机构和推料机构配合使用，能实现多块料片的自动上料，提高料片的上料效率；

利用夹料器对料片进行输送，可以精准控制料片的位置，保证检测模块对料片的有效检测。

附图说明

图1是本申请实施例的整体结构示意图。

图2是本申请实施例主要展示上下料模块的爆炸示意图。

图3是本申请实施例主要展示下料模块的示意图。

图4是本申请实施例主要展示定点输送模块和检测模块的示意图。

图5是图4中A部分的放大示意图。

图6是本申请实施例的检测方法的流程图。

附图标记说明：

机台；

2、上下料模块；21、料架；22、料盒；221、料槽；23、升降机构；231、升降架；2311、升降板；2312、升降杆；232、升降驱动组件；24、夹持机构；2411、第一夹持板；2412、凸边；2413、第一夹持驱动组件；2421、夹持架；2422、第二夹持板；2423、第二夹持驱动组件；2431、第三夹持驱动组件；2432、第三夹持板；25、推料机构；261、下料模块；2611、下料固定板；2612、下料调节板；2613、下料挡板；2614、下料调节挡板；262、拉料杆；

3、定点输送模块；31、底座；32、滑料架；321、料距调节组件；33、滑料轨；311、滑槽；34、输送机构；341、夹料器；3411、第一夹爪；3412、第二夹爪；3413、夹爪驱动组件；342、横移驱动组件；343、横移板；35、检测开关；36、导向滑轮；37、托料器；

4、检测模块；41、视觉检测装置；42、数控平台。

具体实施方式

以下结合附图1-6对本申请作进一步详细说明。

本申请实施例公开一种半导体检测的装置。

参照图1，检测装置包括机台1，机台1上安装有上下料模块2、定点输送模块3以及检测模块4，上下料模块2位于定点输送模块3的一侧，上下料模块2用于将待测料片输送至定点输送模块3内并接收定点输送模块3传回的料片，检测模块4的检测端位于定点输送模块3的上方，定点输送模块3用于将待测料片输送至检测模块4的检测端，料片被检测完毕后由定点输送模块3将料片转移回上下料模块2内。

参照图1和图2，上下料模块2包括料架21和料盒22，料架21位于定点输送模块3的一侧，料盒22的两端开口，料盒22的内壁沿两端开口的方向开设有多层料槽221，多层料槽221沿竖直方向间隔排布，料槽221贯通料盒22的两端，料槽221内可装载料片。

料架21上设置有用于调整料盒22高度的升降机构23、用于夹持料盒22的夹持机构24以及用于将料盒22内的待测料片输送到定点输送模块3内的推料机构25。

参照图2，升降机构23包括升降架231和升降驱动组件232，升降架231又包括升降板2311和两升降杆2312，升降板2311与料架21竖直滑动连接，升降杆2312垂直固定于升降板2311上，并朝远离升降板2311的方向延伸，两升降杆2312平行设在升降板2311背离料架21的一侧，两升降杆2312之间的水平间距可通过螺栓进行调节，两升降杆2312用于承托料盒22的底侧，升降驱动组件232选用电动缸，电动缸安装在料架21底部，电动缸的输出端与升降板2311传动连接，实现电动缸对升降架231的带动。

参照图2，夹持机构24包括第一夹持组件和第二夹持组件，第一夹持组件又包括竖直设置于料架21上的两第一夹持板2411，其中一第一夹持板2411通过滑块滑轨与料架21水平滑动连接，第一夹持板2411的滑动方向与料盒22的开口方向相一致，另一第一夹持板2411与料架21固定连接，第一夹持板2411和第二夹持板2422相互远离的两侧一体成型有凸边2412，凸边2412朝背离料架21的方向延伸，两凸边2412相互靠近的一侧能与料盒22沿开口方向的两侧边抵接。

同时，料架21上设有第一夹持驱动组件2413对第一夹持板2411进行驱动，本实施例中，第一夹持驱动组件2413选用电动缸，电动缸安装于料架21的背面，电动缸的输出端与第一夹持板2411传动连接。利用第一夹持驱动组件2413可调节两凸边2412之间的间距，以实现对不同尺寸料盒22的夹持。

参照图1和图2，第二夹持组件包括夹持架2421、两第二夹持板2422以及第二夹持驱动组件2423，夹持架2421与料架21靠近定点输送模块3的一侧水平滑动连接，夹持架2421的滑动方向与第一夹持板2411的滑动方向水平垂直，两第二夹持板2422竖直固定在夹持架2421面向第一夹持板2411的一侧，第一夹持板2411和第二夹持板2422平行，两第二夹持板2422之间的间距可通过螺栓进行调节。本实施例中，第二夹持驱动组件2423选用驱动电机和齿轮齿条机构，驱动电机的输出端与齿轮齿条传动连接，齿条与夹持架2421连接，利用齿轮齿条实现对夹持架2421的驱动。

工作人员将料盒22放置于升降架231后，第一夹持驱动组件2413控制第一夹持板2411，第二夹持驱动组件2423控制第二夹持板2422，两凸边2412以及第一夹持板2411和第二夹持板2422分别夹持料盒22的竖直四周，实现对料盒22的锁紧固定。

参照图1和图2，料盒22被固定后，由推料机构25对料片进行上料，推料机构25沿料盒22开口方向的一侧安装在料架21上并远离定点输送模块3设置。本实施例中，推料机构25可选用市面上常见的凸轮推杆机构，利用凸轮推杆机构里面的推杆将料盒22内的料片推送到定点输送模块3内，实现料片的自动上料。

参照图2和图3，料架21上还设有下料模块261，下料模块261的一端与升降架231的自由端对接，下料模块261又包括下料固定板2611和下料调节板2612，下料调节板2612与下料固定板2611滑动连接，下料固定板2611与下料调节板2612的滑动方向与料盒22的开口方向相一致，下料固定板2611的一侧设有下料挡板2613，下料调节板2612的一侧设有下料调节挡板2614，下料挡板2613和下料调节挡板2614相对设置，下料挡板2613和下料调节挡板2614之间通过螺栓螺母固定，工作人员可根据料盒22尺寸大小调节下料挡板2613和下料调节挡板2614之间的间距。

同时，下料模块261内设有拉料机构，拉料机构包括拉料杆262和设在下料模块261内的拉料驱动组件（图中未示出），拉料杆262沿垂直于升降架231的升降方向与下料模块261水平滑动连接。本实施例中，拉料驱动组件选用气缸，气缸的伸缩端与拉料杆262固定连接。当一料盒22内的料片被检测完毕后，拉料杆262在拉料驱动组件的推动下贴近料架21的竖直面，然后升降架231带动料盒22下移，料盒22被放置在下料模块261内，拉料驱动组件带动拉料杆262回缩，使拉料杆262推动料盒22远离升降架231，实现料盒22的下料。

参照图2和图3，与料架21滑动连接的第一夹持板2411的底端设有第三夹持组件，第三夹持组件包括第三夹持驱动组件2431和安装在第三夹持驱动组件输出端的第三夹持板2432。本实施例中，第三夹持驱动组件2431选用气缸，气缸伸缩端的伸缩方向沿料盒22的开口方向设置，第三夹持板2432竖直安装在气缸的伸缩端。

当升降架231上放置多个竖直排列的料盒22时，位于最底端的料盒22内的料片完成检测后，升降架231下移，两第一夹持板2411相互远离，第三夹持驱动组件2431可以控制第三夹持板2432夹紧位于最底端料盒22上方的料盒22，此时拉料机构可以将最底端的料盒22从升降架231拉到下料模块261内，实现单个料盒22的自动下料。

参照图4，定点输送模块3包括底座31、滑料架32、滑料轨33以及输送机构34，底座31安装在机台1上，滑料架32设为两个，两滑料架32通过滑块滑轨水平滑动连接于底座31上，底座31与滑料架32之间设有用于调节两滑料架32之间间距的料距调节组件。本实施例中，料距调节组件设为电动缸，电动缸中的丝杠的两段螺纹的螺旋方向相反，利用电动缸可调节两滑料架32之间的间距。

参照图4和图5，滑料轨33水平安装于滑料架32的顶侧，两滑料轨33平行，两滑料轨33相互靠近的一侧开设有滑槽311，料片可被输送至两滑槽311之间，以实现料片的转移。

其中，输送机构34包括用于夹持料片的夹料器341和用于驱动夹料器341沿滑槽311移动的横移驱动组件342，夹料器341与横移驱动组件342之间通过横移板343连接，横移板343通过滑块滑轨滑动连接于滑料架32上。夹料器341包括第一夹爪3411、第二夹爪3412以及夹爪驱动组件3413，第一夹爪3411和第二夹爪3412的固定端铰接，第一夹爪3411和第二夹爪3412的夹持端延伸至两滑料轨33之间，第一夹爪3411和第二夹爪3412滑动套设在一滑料轨33的外周，第一夹爪3411和第二夹爪3412的夹持端可合拢并夹持料片的上下两侧，以实现对料片的夹持。

本实施例中，夹爪驱动组件3413选用电磁铁，电磁铁设在第一夹爪3411和第二夹爪3412上，利用电磁铁的通断电实现第一夹爪3411和第二夹爪3412的合拢或分开。横移驱动组件342选用电动缸，电动缸的输出端与横移板343传动连接，以使电动缸能带动夹料器341沿滑料轨33水平移动。

参照图4，滑料架32靠近滑料轨33进料端的一侧设有检测开关35，利用检测开关35可检测料片的进出料情况，实现对料片的进出料自动控制。此外，滑料轨33的进料端安装有导向轮253，提高料片进出料的稳定性。两滑料轨33之间还设有托料器37，利用托料器37对料片进行承托，进一步提高料片的稳定性，增强检测精度。

参照图4，检测模块4包括视觉检测装置41和用于调整视觉检测装置41的数控平台42，视觉检测装置41的检测端位于滑料轨33的上方，数控平台42为三轴运动平台，视觉检测装置41安装在三轴运动平台的输出端，利用三轴运动平台可调整视觉检测装置41的检测端位置，保证对料片进行有效的检测。

本申请实施例一种半导体检测的装置的实施原理为：工作人员将料盒22放置于升降架231上，夹持机构24将料盒22夹紧固定，升降驱动组件232带动料盒22升降，使料盒22的料槽221与滑料轨33的滑槽311对接，推料机构25将料片推送至滑槽311内，输送机构34将料片夹持并输送至检测模块4的检测端，检测模块4对料片进行检测，检测完毕后，输送机构34夹持料片并输送回同一料槽221内，后续升降驱动组件232带动料盒22升降，继续下一料片的检测。一料盒22内的料片全部检测完毕后，升降架231下移，拉料机构对料盒22进行下料，完成自动下料过程，从而最终实现对料片的批量自动检测。

该方案减少料片了位置的改变，继而可以减少料片在转移过程中出现信息丢失或者信息不匹配的情况，同时同侧进行上下料，可以减少上下料模块2的数量，达到节约成本的目的。

第二方面，本申请实施例还公开了一种半导体检测的方法。

参照图6，包括以下步骤：

S1、工作人员将装有待测料片的料盒22放置于升降架231上，夹持机构24夹持锁紧料盒22；

S2、升降机构23带动料盒22升降，使料盒22内的料槽221与滑料轨33的滑槽311对接；

S3、检测料盒22内料槽221中是否存在待测料片；

S31、推料机构25的推料端沿料槽221方向推动，如料槽221内存在有待测料片，此时待测料片被推送至滑槽311内，检测开关35检测到待测料片，定点输送模块3将待测料片转移到检测模块4的检测端，检测模块4检测完毕后，定点输送模块3将已测料片输送回料盒22内的同一料槽221内，完成单块料片的检测；

S32、推料机构25的推料端沿料槽221方向推动，如料槽221内不存在待测料片，此时无待测料片被推送至滑槽311内，检测开关35未检测到待测料片，转回步骤S2；

S4、重复步骤S2-S3，批量检测待测料片；

S5、一个料盒22内的料片全部检测完毕后，升降机构23带动料盒22下降，下料机构对料盒22进行下料，完成一个料盒22内料片的检测。

以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种半导体检测的装置，其特征在于：包括机台(1)，所述机台(1)上设有上下料模块(2)、定点输送模块(3)以及检测模块(4)，所述上下料模块(2)位于定点输送模块(3)的其中一侧，所述定点输送模块(3)的进料端和出料端位于同一侧，所述上下料模块(2)的出料端与定点输送模块(3)的进料端以及出料端对接，所述上下料模块(2)用于将料片输送到定点输送模块(3)内并接收定点输送模块(3)传回的料片，所述检测模块(4)的检测端位于定点输送模块(3)的上方。

2.根据权利要求1所述的一种半导体检测的装置，其特征在于：所述上下料模块(2)包括料架(21)和用于装载料片的料盒(22)，所述料架(21)固定于机台(1)且位于定点输送模块(3)的一侧，所述料盒(22)的两端开口，所述料盒(22)内设有用于装载料片的料槽(221)，所述料架(21)上还设置有用于升降料盒(22)的升降机构(23)以及用于将料盒(22)内的待测料片输送到定点输送模块(3)内的推料机构(25)。

3.根据权利要求2所述的一种半导体检测的装置，其特征在于：所述升降机构(23)包括升降架(231)和升降驱动组件(232)，所述升降架(231)竖直滑动连接于料架(21)，所述升降架(231)用于承托料盒(22)并调整料盒(22)与定点输送模块(3)的进出料口的相对高度，所述升降驱动组件(232)安装于料架(21)上，所述升降驱动组件(232)的输出端与升降架(231)传动连接。

4.根据权利要求3所述的一种半导体检测的装置，其特征在于：所述料架(21)上设有用于锁紧料盒(22)的第一夹持组件和第二夹持组件，所述第一夹持组件包括设于料架(21)上且竖直设置的两第一夹持板(2411)，其中一所述第一夹持板(2411)与料架(21)水平滑动连接，所述料架(21)上设有用于驱动该第一夹持板(2411)移动的第一夹持驱动组件(2413)，两所述第一夹持板(2411)相互远离的两侧边设有凸边(2412)，两所述凸边(2412)相互靠近的一侧能与料盒(22)沿开口方向的侧壁抵接；

所述第二夹持组件包括滑动连接于料架(21)的夹持架(2421)，所述料架(21)上设有用于驱动夹持架(2421)移动的第二夹持驱动组件(2423)，所述夹持架(2421)上固定有两竖直设置的第二夹持板(2422)，所述第二夹持板(2422)的移动方向与第一夹持板(2411)的移动方向垂直，所述第一夹持板(2411)和第二夹持板(2422)相互靠近的一侧能与料盒(22)的两竖直面抵接。

5.根据权利要求4所述的一种半导体检测的装置，其特征在于：所述料架(21)还设有下料模块(261)，所述下料模块(261)的一端与升降架(231)的自由端对接，所述下料模块(261)内设有拉料机构，所述拉料机构包括拉料杆(262)和拉料驱动组件，所述拉料杆(262)与下料模块(261)滑动连接，所述拉料杆(262)的滑动方向垂直于升降机构(23)的升降方向，所述拉料杆(262)能与料盒(22)面向升降机构(23)的一侧抵接，所述拉料驱动组件安装于下料模块(261)内，所述拉料驱动组件的输出端与拉料杆(262)传动连接。

6.根据权利要求5所述的一种半导体检测的装置，其特征在于：与所述料架(21)滑动连接的第一夹持板(2411)的端部设有第三夹持驱动组件(2431)，所述第三夹持驱动组件(2431)的输出端设有第三夹持板(2432)，所述第三夹持板(2432)能与料盒(22)沿开口方向的侧边抵接。

7.根据权利要求1所述的一种半导体检测的装置，其特征在于：所述定点输送模块(3)包括底座(31)、滑料架(32)、滑料轨(33)以及输送机构(34)，所述底座(31)安装于机台(1)上，所述滑料架(32)水平滑动连接于底座(31)上，所述滑料架(32)设为两个且两滑料架(32)的移动方向相反，所述底座(31)上设有料距调节组件(321)对两滑料架(32)进行驱动，所述滑料轨(33)水平安装于滑料架(32)的顶侧，两所述滑料轨(33)平行，两所述滑料轨(33)相互靠近的一侧开设有供料片穿设的滑槽(311)，所述滑槽(311)与上下料模块(2)的出料端对接，所述输送机构(34)设在滑料架(32)上用于带动料片沿滑槽(311)移动。

8.根据权利要求7所述的一种半导体检测的装置，其特征在于：所述输送机构(34)包括用于夹持料片的夹料器(341)和用于驱动所述夹料器(341)沿滑槽(311)移动的横移驱动组件(342)，所述夹料器(341)包括第一夹爪(3411)、第二夹爪(3412)以及夹爪驱动组件(3413)，所述第一夹爪(3411)和第二夹爪(3412)的固定端铰接，所述第一夹爪(3411)和第二夹爪(3412)之间的夹持端设在两滑料轨(33)之间，所述夹爪驱动组件(3413)用于带动第一夹爪(3411)和第二夹爪(3412)合拢或分开，所述第一夹爪(3411)和第二夹爪(3412)合拢时能夹持料片的上下两侧。

9.根据权利要求7所述的一种半导体检测的装置，其特征在于：所述滑料架(32)靠近滑料轨(33)进料端的一侧设有检测开关(35)，所述检测开关(35)用于检测待测料片的进料情况。

10.一种半导体检测的方法，采用权利要求1-9任一项所述的一种半导体检测的装置，其特征在于，包括以下步骤：

S1、工作人员将装有待测料片的料盒(22)放置于上下料模块(2)内；

S2、升降机构(23)带动料盒(22)升降，使料盒(22)内的料槽(221)与滑料轨(33)的滑槽(311)对接；

S3、检测料盒(22)内料槽(221)中是否存在待测料片；

S31、推料机构(25)的推料端沿料槽(221)方向推动，如料槽(221)内存在有待测料片，此时待测料片被推送至滑槽(311)内，检测开关(35)检测到待测料片，定点输送模块(3)将待测料片转移到检测模块(4)的检测端，检测模块(4)检测完毕后，定点输送模块(3)将已测料片输送回料盒(22)内的同一料槽(221)内，完成单块料片检测；

S32、推料机构(25)的推料端沿料槽(221)方向推动，如料槽(221)内不存在待测料片，此时无待测料片被推送至滑槽(311)内，检测开关(35)未检测到待测料片，跳到步骤S2；

S4、重复步骤S2-S3，批量检测待测料片。

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