CN113523589A - 用于制造显示装置的设备 - Google Patents

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CN113523589A
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林钟熙
金在一
金钟协
李康赫
李镇坪
丁一荣
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Samsung Display Co Ltd
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Abstract

本申请涉及一种用于制造显示装置的设备。用于制造显示装置的设备包括平台单元和位于平台单元上方的抽吸单元，其中，抽吸单元包括：主体，包括具有顶开口和底开口的外盒以及设置在外盒中的内杯；第一空气鼓风器和第二空气鼓风器，第一空气鼓风器设置在主体上方并且包括在第一方向上延伸的第一主管，第二空气鼓风器包括在与第一方向交叉的第二方向上延伸的第二主管；下板，联接到外盒的下端并包括通孔；以及抽吸入口，通过限定通孔的下板的内端和内杯的下端限定，其中，抽吸入口向下开口。

Description

用于制造显示装置的设备
相关申请的交叉引用
本申请要求于2020年4月22日提交的第10-2020-0048601号韩国专利申请的优先权和权益，该韩国专利申请出于所有目的通过引用并入本文，如同在本文中充分阐述一样。
技术领域
本发明的实施方式总体上涉及显示装置，并且更具体地，涉及用于制造显示装置的设备。
背景技术
随着多媒体技术的发展，显示装置的重要性已不断增加。因此，已使用了各种类型的显示装置，诸如有机发光显示器(OLED)、液晶显示器(LCD)等。
构成显示装置的显示面板通过切割从母衬底形成的基础衬底而形成，并且在该切割过程期间，可能生成微小颗粒或烟尘。
在本背景技术部分中公开的以上信息仅用于理解本发明构思的背景技术，并且因此，其可以包含不构成现有技术的信息。
发明内容
申请人发现，在切割母衬底以形成基础衬底的过程期间生成的微小颗粒或烟尘可能被吸附在将成为显示面板的焊盘部分的部分中，并且可能导致焊盘部分的接触故障。
根据本发明的原理和示例性实现方式，用于制造显示装置的设备可以有效地去除可能在衬底切割过程期间生成的或者可能在制造显示面板时生成的烟尘。在切割过程期间，可能生成烟尘，并且烟尘可能通过引起阻挡激光束的现象而干扰切割过程。根据一些示例性实现方式的用于制造显示装置的设备可以通过包括用于朝向目标衬底喷射流体的鼓风器和向下开口的抽吸入口来防止这种现象。例如，能够通过利用空气鼓风器喷射空气来均匀地和有效地去除在目标衬底中生成的烟尘。
本发明构思的其它特征将在下面的描述中进行阐述，并且将从该描述部分地显而易见，或者可以通过本发明构思的实践而习得。
根据本发明的一方面，用于制造显示装置的设备包括平台单元和位于平台单元上方的抽吸单元，其中，抽吸单元包括：主体，包括具有顶开口和底开口的外盒以及设置在外盒中的内杯；第一空气鼓风器和第二空气鼓风器，第一空气鼓风器设置在主体上方并且包括在第一方向上延伸的第一主管，第二空气鼓风器包括在与第一方向交叉的第二方向上延伸的第二主管；下板，联接到外盒的下端并包括通孔；以及抽吸入口，通过限定通孔的下板的内端和内杯的下端限定，其中，抽吸入口向下开口。
应理解的是，前面的概述性描述和下面的详细描述二者都是示例性的和说明性的，并且旨在提供对所要求保护的本发明的进一步说明。
附图说明
包括附图以提供对本发明的进一步理解，且将附图并入本说明书中并构成本说明书的一部分，附图示出了本发明的实施方式并且与说明书一起用于说明本发明构思。
图1是示出根据本发明的原理构造的显示装置的实施方式的平面图。
图2是图1的显示装置的示意性局部剖视图。
图3是示出根据本发明的原理构造的显示装置制造设备的实施方式的立体图。
图4是示出根据本发明的原理构造的显示装置制造设备的抽吸单元的实施方式的分解立体图。
图5是图3的显示装置制造设备的平面图。
图6是沿着图5的线VI-VI'截取的剖视图。
图7是示出根据本发明的原理构造的第一空气鼓风器的实施方式的立体图。
图8是示出根据本发明的原理构造的第二空气鼓风器的实施方式的立体图。
图9是示出根据本发明原理的显示装置制造方法的实施方式的流程图。
图10至图12是示出根据本发明的原理的显示装置制造方法的实施方式的示意图。
图13是示出根据本发明的原理构造的显示装置制造设备的另一实施方式的平面图。
图14是示出根据本发明的原理的显示装置制造方法的另一实施方式的示意图。
图15是示出根据本发明的原理的显示装置制造方法的又一实施方式的示意图。
具体实施方式
在下面的描述中，出于解释的目的，阐述了许多具体细节，以提供对本发明的各种实施方式或实现方式的透彻理解。如本文中所使用的，“实施方式”和“实现方式”是可互换的词语，其采用本文中所公开的发明构思中的一个或多个构思的装置或方法的非限制性示例。然而，显而易见的是，各种实施方式可以在没有这些具体细节或者具有一个或多个等效布置的情况下实践。在其他实例中，以框图形式示出了公知的结构和装置，以避免不必要地混淆各种实施方式。此外，各种实施方式可以是不同的，但是不必是排它的。例如，在不背离本发明构思的情况下，实施方式的特定形状、配置和特性可以在另一实施方式中使用或实施。
除非另有说明，否则示出的实施方式应被理解为提供一些方式的不同细节的示例性特征，其中可以在实践中以所述一些方式来实施本发明构思。因此，除非另有说明，否则在不背离本发明构思的情况下，各种实施方式的特征、部件、模块、层、膜、面板、区域和/或方面等(下文中，单独称为或统称为“元件”)可以另行组合、分离、互换和/或重新布置。
在附图中使用交叉影线和/或阴影通常是为了使相邻元件之间的边界清楚。因此，除非有说明，否则交叉影线或阴影的存在或不存在都不传达或指示对特定材料、材料性质、尺寸、比例、图示元件之间的共性和/或元件的任何其他特性、属性、性质等的任何偏好或要求。此外，在附图中，出于清楚和/或描述的目的，元件的尺寸和相对尺寸可被夸大。当可以不同地实施实施方式时，具体处理顺序可以与所描述的顺序不同地执行。例如，两个连续地描述的过程可以基本上同时地执行，或者以与所描述的顺序相反的顺序执行。此外，相同的附图标记表示相同的元件。
当诸如层的元件被称为位于另一元件或层“上”、“连接至”或“联接至”另一元件或层时，其可以直接位于另一元件或层上、直接连接至或联接至另一元件或层，或者可以存在介于中间的元件或层。然而，当元件或层被称为“直接位于”另一元件或层“上”、“直接连接至”或“直接联接至”另一元件或层时，不存在介于中间的元件或层。为此，术语“连接”可以表示在存在或者不存在介于中间的元件的情况下的物理连接、电连接和/或流体连接。此外，DR1轴、DR2轴和DR3轴不限于直角坐标系的三个轴(诸如，x轴、y轴和z轴)，且可以以更宽泛的含义进行解释。例如，DR1轴、DR2轴和DR3轴可以彼此垂直，或者可以表示彼此不垂直的不同方向。出于本公开的目的，“X、Y和Z中的至少一个”和“选自由X、Y和Z构成的集合中的至少一个”可以解释为仅X、仅Y、仅Z或者X、Y和Z中的两个或更多个的任何组合，诸如以XYZ、XYY、YZ和ZZ为例。如本文中所使用的，术语“和/或”包括相关所列项目中的一个或多个的任何和所有组合。
虽然术语“第一”、“第二”等可以在本文中用于描述各种类型的元件，但是这些元件不应受这些术语的限制。这些术语用于将一个元件与另一元件区分开。因此，在不背离本公开的教导的情况下，下面讨论的第一元件可以称为第二元件。
诸如“下面(beneath)”、“下方(below)”、“之下(under)”、“下(lower)”、“上方(above)”、“上(upper)”、“之上(over)”、“较高(higher)”、“侧(side)”(例如，如“侧壁(sidewall)”中那样)等的空间相对术语可以在本文中用于描述性目的，并且从而用于描述如附图中所示的一个元件与另一(些)元件的关系。除了附图中描绘的取向之外，空间相对术语旨在涵盖设备在使用、操作和/或制造中的不同取向。例如，如果将附图中的设备翻转，则描述为在其他元件或特征“下方”或“下面”的元件将随之取向为在其他元件或特征“上方”。因此，示例性术语“下方”可以涵盖上方和下方两种取向。此外，设备可以以其他方式取向(例如，旋转90度或处于其他取向)，并且因而相应地解释本文中所使用的空间相对描述词。如本文中所使用的，显示面板等的“顶边缘”、“底边缘”、“左边缘”和“右边缘”表示在平面图中分别位于显示面板等的顶侧、底侧、左侧和右侧上的边缘或端部。应理解的是，在实施方式中提及的方向表示相对方向，并且实施方式不限于所提及的方向。
本文中使用的术语是出于描述特定实施方式的目的，而非旨在进行限制。除非上下文另有明确指示，否则如本文中所使用的，单数形式“一”、“一个”和“该”旨在也包括复数形式。此外，当在本说明书中使用时，术语“包含”、“包含有”、“包括”和/或“包括有”表示所陈述的特征、整体、步骤、操作、元件、部件和/或其集合的存在，但不排除一个或多个其他特征、整体、步骤、操作、元件、部件和/或其集合的存在或添加。还应注意的是，如本文中所使用的，术语“基本上”、“约”和其他类似术语用作近似术语而不用作程度术语，并且因此用于为本领域普通技术人员将认识到的测量值、计算值和/或提供值中的固有偏差留有余量。
本文中参考作为理想化的实施方式和/或中间结构的示意图的剖面图和/或分解图描述各种实施方式。如此，将预期到由例如制造技术和/或公差而导致的与图示形状的偏差。因此，本文中所公开的实施方式不应一定被解释为限于特定示出的区域形状，而是包括由例如制造引起的形状的偏差。以这种方式，附图中示出的区域本质上可以是示意性的，并且这些区域的形状可以不反映装置的区域的实际形状，并且因此，不一定旨在进行限制。
除非另有限定，否则本文中使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)具有与本公开所属领域的普通技术人员通常理解的含义相同的含义。术语，诸如在常用词典中限定的术语，应解释为具有与其在相关技术的上下文中的含义一致的含义，并且不应以理想化或过度正式的含义进行解释，除非本文中明确地如此限定。
图1是示出根据本发明的原理构造的显示装置的实施方式的平面图。图2是图1的显示装置的示意性局部剖视图。
在图1的平面图中，为了简化描述，限定了顶方向、底方向、左方向和右方向。顶-底方向为竖直方向或列方向，并且左-右方向为水平方向或行方向。
参照图1和图2，显示装置DD是用于显示运动图像或静止图像的装置。显示装置DD可以用作诸如电视、膝上型计算机、监视器、广告牌和物联网的多种产品以及诸如移动电话、智能电话、平板个人计算机(平板PC)、智能手表、手表电话、移动通信终端、电子笔记本、电子书、便携式多媒体播放器(PMP)、导航系统和超移动PC(UMPC)的便携式电子装置的显示屏幕。显示装置DD可以是例如有机发光显示装置、等离子体显示装置、场致发射显示装置、电泳显示装置、量子点发光显示装置、微型LED显示装置等。在下文中，将有机发光显示装置描述为显示装置的示例，但是实施方式不限于此。
显示装置DD可以包括显示面板DP。显示面板DP可以包括大致柔性的衬底，其包括诸如聚酰亚胺的大致柔性的聚合物材料。因此，显示面板DP可以被弯曲、折叠或卷曲。
显示面板DP可以包括主区域MR和连接到主区域MR的一侧的弯曲区域BD。显示面板DP还可以包括子区域SR，其连接到弯曲区域BD并且在厚度方向上与主区域MR重叠。
主区域MR可以呈具有四个圆润拐角的大致矩形形状。主区域MR的边缘倒角部分可以形成显示装置DD的外观。弯曲区域BD和子区域SR可以具有比主区域MR小的宽度。在主区域MR和弯曲区域BD彼此连接的部分中可以形成大致L形的切割区域。通过形成大致L形的切割区域，显示面板DP可以被容易地弯曲以形成显示面板DP的外观。可以通过切割从母衬底形成的基础衬底来形成以上描述的显示面板DP的大致平面形状。
在显示面板DP中，当显示图像的部分限定为显示区域DA且不显示图像的部分限定为非显示区域NDA时，显示面板DP的显示区域DA位于主区域MR中。显示区域DA之外的其余部分成为显示面板DP的非显示区域NDA。在一些实施方式中，主区域MR中的显示区域DA的外围边缘部分、整个弯曲区域BD和整个子区域SR可以是非显示区域NDA。然而，实施方式不限于此，并且弯曲区域BD和/或子区域SR也可以包括显示区域DA。
在平面图中，主区域MR可以具有基本上类似于显示装置DD的外部形状的形状。主区域MR可以是位于一个平面上的大致平坦的区域。然而，实施方式不限于此，主区域MR的除了与弯曲区域BD连接的边缘(侧)之外的其余边缘的至少一个边缘可以以大致弯折的形状弯曲或者在竖直方向上弯曲。
显示面板DP的显示区域DA可以设置在主区域MR的中央处。显示区域DA可以包括多个像素。显示区域DA可以呈大致矩形形状或呈具有圆润拐角的大致矩形形状。然而，实施方式不限于此，并且显示区域DA可以具有不同形状，诸如大致方形的形状、其它多边形、诸如大致圆形的形状、大致椭圆形的形状等。
如果主区域MR的除了与弯曲区域BD连接的边缘之外的边缘中的至少一个是弯折或弯曲的，则显示区域DA也可以设置在相应的边缘上。然而，实施方式不限于此，并且不显示图像的非显示区域NDA可以设置在所述大致弯折或弯曲的边缘上。可选地，显示区域DA和非显示区域NDA二者均可以设置在所述大致弯折或弯曲的边缘上。
在主区域MR中，非显示区域NDA可以位于显示区域DA周围。主区域MR的非显示区域NDA可以位于从显示区域DA的外边界到显示面板DP的边缘的区域中。信号线或驱动电路可以设置在主区域MR的非显示区域NDA中，以向显示区域DA施加信号。此外，最外面的黑色矩阵可以设置在主区域MR的非显示区域NDA中，但是实施方式不限于此。
在弯曲区域BD中，显示面板DP可以以大致的曲率在厚度方向上向下(即，在背向显示表面的方向上)弯曲。弯曲区域BD可以具有基本上恒定的曲率半径。然而，实施方式不限于此，并且对于每个区段，弯曲区域BD可以具有不同的曲率半径。当显示面板DP在弯曲区域BD中弯曲时，显示面板DP的表面被翻转。换言之，显示面板DP的面向上的一个表面可以通过弯曲区域BD改变成面向外，并且然后面向下。
子区域SR从弯曲区域BD延伸。子区域SR可以在基本上平行于主区域MR的方向上从完成弯曲的点延伸。子区域SR可以在显示面板DP的厚度方向上与主区域MR重叠。子区域SR可以与在主区域MR的边缘处的非显示区域NDA重叠，并且进一步与主区域MR的显示区域DA重叠。子区域SR的宽度可以与弯曲区域BD的宽度基本上相同，但是实施方式不限于此。
驱动芯片IC可以设置在显示面板DP的子区域SR中。驱动芯片IC可以包括用于驱动显示面板DP的集成电路。在一些实施方式中，集成电路可以是但不限于生成和提供数据信号的数据驱动集成电路。驱动芯片IC可以在显示面板DP上安装在子区域SR中。安装在显示面板DP的一个表面(其是与显示表面相同的表面)上的驱动芯片IC，在如上所述地将弯曲区域BD弯曲并翻转使得驱动芯片IC的上表面面朝下时，可以安装在显示面板DP的在厚度方向上面朝下的表面上。驱动芯片IC可以通过各向异性导电膜或通过超声结合附接到显示面板DP上。如上所述，在用于形成显示面板DP的切割过程期间，可能生成微小颗粒或烟尘。此时生成的微小颗粒或烟尘可能干扰驱动芯片IC与显示面板DP的附接。
在显示面板DP的子区域SR的一端处可以设置有焊盘部分PAD，并且印刷电路板FPCB可以连接到焊盘部分PAD。印刷电路板FPCB可以是柔性印刷电路板或柔性印刷电路膜。
显示面板DP可以通过切割从母衬底形成的基础衬底而形成。可以通过包括激光模块的显示装置制造设备来执行该切割过程。下面将给出更详细的描述。
图3是示出根据本发明的原理构造的显示装置制造设备的实施方式的立体图。
参照图3，由显示装置制造设备1切割的目标衬底PS可以是显示装置(诸如，有机发光显示装置)的显示面板或衬底。可以使用显示装置制造设备1切割用于检查有机发光显示面板的检查焊盘，或切割被附接以保护有机发光显示面板的保护膜。
如图3中的虚线所示，切割之前的目标衬底PS可以具有大致矩形的形状。为了将显示装置DD形成具有四个圆润拐角并且具有位于弯曲区域BD和主区域MR彼此连接的部分中的L形的切割区域，可以使用激光束LB沿着具有大致闭合的形状的切割线CL切割，切割线CL可以是曲形的或线性的或两者兼有。切割线CL可以是预定的虚拟切割线，激光束LB在目标衬底PS上沿着该虚拟切割线活动。然而，实施方式不限于此，并且可以形成真实的切割线CL。切割线CL可以是显示面板DP在切割之后的边缘。切割之前的目标衬底PS可以包括设置在切割线CL内侧以在切割之后变成显示面板DP的中央部分、以及设置在切割线CL外侧以在切割之后变成虚设部分DM的边缘部分。
根据一些实施方式的显示装置制造设备1可以是能够通过将激光束LB照射到目标衬底PS上来切割目标衬底PS的设备。显示装置制造设备1可以包括激光模块10、光学系统20、具有平台单元100的形式的支承部和具有抽吸单元200的形式的真空部。
具有激光模块10的形式的激光器可以发射激光束LB。可以沿着目标衬底PS的切割线CL照射激光束LB。激光模块10可以包括气体激光器(诸如，二氧化碳激光器、准分子激光器和氦氖激光器)、或者固体激光器(诸如，红宝石激光器、玻璃激光器、YAG激光器和YLF激光器)。
光学系统20可以调节激光束LB的路径，使得从激光模块10发射的激光束LB到达目标衬底PS。光学系统20可以包括均化激光束LB的形状的均化器和/或聚焦激光束LB的聚光透镜。穿过光学系统20的激光束LB可以形成线束。根据激光模块10和光学系统20的相对布置，光学系统20还可以包括用于改变激光束LB的方向的反射镜。例如，光学系统20可以包括电流计扫描器(galvano scanner)或多面镜。
平台单元100提供了在其中安装目标衬底PS的空间，并且可以支承目标衬底PS。即，目标衬底PS可以安装在平台单元100上。平台单元100可以包括设置在其顶表面上并向上开口的吸附孔。平台单元100可以通过经由吸附孔提供负压来固定目标衬底PS。目标衬底PS大致可以设置在平台单元100的中央处，但是实施方式不限于此。
抽吸单元200可以位于平台单元100上方。当激光束LB沿着目标衬底PS的切割线CL活动时，可能生成烟尘。抽吸单元200可以抽吸烟尘并将其排放到外部。下面将更详细地描述抽吸单元200。
根据一些实施方式的显示装置制造设备1还可以包括集尘单元300和控制单元。集尘单元300可以通过连接管C连接到抽吸单元200。集尘单元300可以收集由抽吸单元200抽吸的烟尘。集尘单元300可以包括用于调节通过抽吸单元200提供的负压的马达、泵、风扇等。然而，实施方式不限于此，马达、泵、风扇等可以与集尘单元300分开设置。集尘单元300可以包括用于过滤烟尘的过滤器。控制单元可以控制由激光模块10生成的激光束LB的特性、由集尘单元300调节的负压等。
图4是示出根据本发明的原理构造的显示装置制造设备的抽吸单元的实施方式的分解立体图。图5是图3的显示装置制造设备的平面图。图6是沿着图5的线VI-VI'截取的剖视图。图7是示出根据本发明的原理构造的第一空气鼓风器的实施方式的立体图。图8是示出根据本发明的原理构造的第二空气鼓风器的实施方式的立体图。
参照图3至图8，抽吸单元200可以包括具有主体202的形式的壳体、管P1和P2、连接管C、以及具有流体(通常是空气)鼓风器250和260的形式的第一鼓风器和第二鼓风器。管P1和P2可以设置在主体202的两侧上，连接管C可以将管P1和P2连接到集尘单元300，并且空气鼓风器250和260可以设置在主体202上方。
主体202可以包括具有外盒210的形式的外壳以及具有内杯220的形式的插入件，其中，外盒210具有顶开口222和底开口223，内杯220具有设置在外盒210中的至少部分226(诸如，下端)。内杯220可以包括分别与外盒210的顶开口222和底开口223对应的顶开口和底开口224。主体202可以将在切割过程期间生成的烟尘捕获在内部，以防止它们逸到外部。主体202可以具有在顶侧和底侧处开口的空的内腔室，使得通过光学系统20发射的激光束LB被照射到目标衬底PS。此外，主体202可以具有能够有效地抽吸在切割过程期间生成的烟尘的结构。在下文中，将描述外盒210和内杯220的详细结构。
外盒210可以具有基本上矩形的柱形状，但是实施方式不限于此，并且外盒210可以具有基本上圆柱形形状、或除了基本上矩形的柱之外的基本上多边形的柱形状。在一些实施方式中，外盒210可以具有基本上矩形的柱形状，其包括在第一方向DR1上延伸的长边和在第二方向DR2上延伸的短边。
外盒210在内部限定有空的腔室，并且可以容纳内杯220。外盒210可以包括设置在其至少一个表面上的透明窗W。可以通过透明窗W观察外盒210的内腔室。与外盒210的内部连通的管P1和P2可以联接到外盒210的至少一侧或形成在外盒210的至少一侧上。
内杯220可以设置在外盒210中。内杯220可以包括上侧壁220a、倾斜侧壁220b以及下侧壁220c，其中，上侧壁220a具有中空的基本上矩形的柱形状，倾斜侧壁220b具有被截掉顶部的、中空的大致四棱锥形状，下侧壁220c具有中空的基本上矩形的柱形状。内杯220可以与外盒210分离。内杯220可以具有类似于大致矩形的漏斗或料斗的三维结构。内杯220可以具有与外盒210的形状对应的形状。例如，如果外盒210具有大致圆柱形形状，则内杯220可以具有类似于大致圆形的漏斗的三维结构。
内杯220的内部空间LP可以提供激光束LB穿过的通道。激光束LB可以穿过主体202并沿着目标衬底PS的切割线CL照射。因此，目标衬底PS的切割线CL可以在平面图中设置在主体202的底开口内。
内杯220的上侧壁220a、倾斜侧壁220b和下侧壁220c可以形成为单个部件或一体地形成，且其至少一部分可以单独形成并组装。然而，实施方式不限于此。内杯220的倾斜侧壁220b和下侧壁220c可以一体地形成，其上侧壁220a可以单独形成，并且倾斜侧壁220b的上部分可以联接到上侧壁220a的下部分。
内杯220可以包括设置在其顶部上的凸缘221。凸缘221可以允许内杯220被支承在外盒210的顶部处，使得内杯220不会向下掉落。凸缘221可以位于外盒210的顶部和支架230的底部之间。当支架230通过诸如螺钉的联接器件联接到外盒210时，凸缘221定位在它们之间，从而可以将内杯220固定到外盒210。
主体202的顶开口可以由内杯220的上侧壁220a的上端限定，并且主体202的底开口可以由内杯220的下侧壁220c的下端限定。主体202的顶开口可以大于其底开口。因此，倾斜侧壁220b可以具有其内部宽度随着从上侧壁220a到下侧壁220c而减小的结构。即，倾斜侧壁220b的内部可以具有像漏斗那样内部宽度逐渐减小的结构。因此，在内杯220内保持向下流动的效果，从而可以平滑地执行烟尘的抽吸。上侧壁220a的外表面可以与外盒210的内表面紧密接触。
抽吸单元200还可以包括用于固定内杯220的支架230和具有下板240的形式的底座，该下板240与内杯220协作限定具有抽吸入口IN(其形成向下的开口)的形式的入口，并与外盒210和内杯220协作限定排放通路EP。
下板240可以联接到外盒210的至少部分216(其具有外盒210的第一端或下端的形式)。下板240可以通过滑动插入方法、诸如机械紧固件(诸如，螺钉)的联接器件等联接到外盒210的下端。下板240可以包括穿透其内部的通孔246。下板240的通孔246可以大于内杯220的底开口224。
下板240可以包括抽吸端SE，抽吸端SE是限定通孔246并围绕通孔246的端部分。抽吸端SE可以与内杯220的下侧壁220c的下端部分重叠。抽吸端SE与内杯220的下侧壁220c的下端部分可以限定抽吸入口IN。来自外部的烟尘可以通过抽吸入口IN被抽吸到抽吸单元200中。抽吸入口IN可以设置在内杯220的下侧壁220c的下端部分周围。抽吸入口IN可以在竖直方向上开口，但是实施方式不限于此。
下板240的顶表面、外盒210的内表面和内杯220的外表面(具体地，倾斜侧壁220b和下侧壁220c的外表面)可以限定排放通路EP。排放通路EP可以是通过抽吸入口IN抽吸的烟尘在主体202内流动的空间。除了抽吸入口IN和与管P1和P2连通的部分之外，排放通路EP可以基本上被密封。因此，通过抽吸入口IN抽吸的大部分烟尘可以通过排放通路EP移动到管P1和P2。已移动到管P1和P2的烟尘可以通过连接管C被收集在集尘单元300中。
空气鼓风器250和260可以设置在主体202上方。空气鼓风器250和260可以向目标衬底PS喷射空气。由空气鼓风器250和260提供的空气可以在内杯220的内部空间LP中形成流体流，诸如空气流。空气鼓风器250和260可以包括沿着外盒210的长边设置的一对第一空气鼓风器250和沿着外盒210的短边设置的一对第二空气鼓风器260。
第一空气鼓风器250可以沿着外盒210的长边彼此相对地设置。第一空气鼓风器250可以包括具有第一主管251的形式的第一导管、在第一主管251底部处沿着第一方向DR1布置的多个第一喷嘴252、以及设置在第一主管251顶部处的第一辅助管253。
第一主管251可以沿着第一方向DR1延伸并包括内部流动路径。第一主管251可以沿着外盒210的长边设置。第一主管251提供了用于在通过第一喷嘴252喷射空气之前容纳空气的空间。用于容纳空气的空间可以是第一主管251的内部流动路径。容纳在第一主管251的内部流动路径中的空气可以从设置在其顶部处的第一辅助管253供应，并通过设置在其底部处的第一喷嘴252喷射到内杯220的内部空间LP中。空气的喷射方向可以与由第一喷嘴252指示的方向基本上相同。通过第一喷嘴252喷射的空气可以在喷射方向上形成空气流。
第一喷嘴252可以是经由其将容纳在第一主管251内的空气喷射到外部的通道。多个第一喷嘴252可以在第一主管251的底部处沿着第一主管251的延伸方向布置。第一喷嘴252可以在基本上垂直于第一主管251的方向上延伸。第一喷嘴252的倾斜度可以改变。第一喷嘴252的倾斜度可以限定为第一喷嘴252相对于与目标衬底PS的一个表面基本上平行的平面倾斜的角度。从第一喷嘴252喷射的空气的喷射角度可以与第一喷嘴252的倾斜度基本上相同。第一喷嘴252可以配置成具有可调节的倾斜度，但是实施方式不限于此，并且可以具有固定的倾斜度。
在一些实施方式中，第一喷嘴252的倾斜度可以设置成使得从第一喷嘴252喷射的空气穿过内杯220的内部空间LP。第一喷嘴252可以定向成朝向抽吸入口IN，该抽吸入口IN在包括相应的第一喷嘴252的第一空气鼓风器250下方设置成面对第一空气鼓风器250。因此，由从第一喷嘴252喷射的空气形成的空气流可以被抽吸到设置在第一喷嘴252的相对侧上的抽吸入口IN中。此外，由从彼此相对设置的第一喷嘴252喷射的空气形成的空气流可以在内杯220的内部空间LP中彼此交叉，但是实施方式不限于此。
图4至图7示出了包括五个第一喷嘴252的第一空气鼓风器250，但是第一喷嘴252的数量不限于此，并且可以根据目标衬底PS的尺寸不同地设置。具体地，第一喷嘴252的数量可以设置成使得从第一喷嘴252喷射的空气覆盖目标衬底PS的整个长边区域。
第一辅助管253可以从外部空气供应装置400接收空气并将空气供应到第一主管251。第一辅助管253与第一主管251可以在相同的方向上延伸。第一辅助管253可以具有比第一主管251短的长度。类似于第一主管251，第一辅助管253可以包括内部流动路径。第一辅助管253的内部流动路径的一侧和另一侧可以在空间上连接到第一主管251的内部流动路径。第一空气鼓风器250还可以包括第一连接部分254，其将第一辅助管253的内部流动路径连接到空气供应装置400。第一连接部分254可以通过诸如软管的连接构件连接到空气供应装置400。第一空气鼓风器250中的每个可以从不同的空气供应装置400接收空气，但是实施方式不限于此，并且可以从相同的空气供应装置400接收空气。第一连接部分254可以设置在第一辅助管253的中央处并且具有向外突出的形状，但是实施方式不限于此。
从空气供应装置400供应的空气可以通过第一连接部分254进入第一辅助管253的内部，并前进到第一辅助管253的内部流动路径的一侧和另一侧，以进入第一主管251的内部。已进入第一主管251的内部的空气可以通过第一喷嘴252喷射到外部。空气喷射方向可以由如上所述的第一喷嘴252的倾斜度来确定。
多个第二空气鼓风器260可以设置在每个第一空气鼓风器250的在第一方向DR1上彼此相对的一个端部分和另一端部分上。具体地，一个第二空气鼓风器260可以设置成与在第二方向DR2上彼此相对的第一空气鼓风器250的所述一个端部分或所述另一端部分重叠。第二空气鼓风器260可以设置成在第一方向DR1上彼此相对。即，第二空气鼓风器260可以设置成跨过第一空气鼓风器250。
第二空气鼓风器260可以包括具有第二主管261的形式的第二导管、在第二主管261底部处沿着第二方向DR2布置的多个第二喷嘴262、以及设置在第二主管261的延伸方向的一侧处的第二连接部分263。
第二主管261可以沿着第二方向DR2延伸并包括内部流动路径。第二主管261可以沿着外盒210的短边设置。第二主管261提供用于在通过第二喷嘴262喷射空气之前容纳空气的空间。用于容纳空气的空间可以是第二主管261的内部流动路径。容纳在第二主管261的内部流动路径中的空气可以从设置在第二主管261的延伸方向的一侧处的第二连接部分263供应，并通过设置在第二主管261的底部处的第二喷嘴262喷射到外部。空气的喷射方向可以与由第二喷嘴262指示的方向基本上相同。
第二喷嘴262可以是经由其将容纳在第二主管261内的空气喷射到外部的通道。多个第二喷嘴262可以在第二主管261的底部处沿着第二主管261的延伸方向布置。第二喷嘴262可以具有在一个方向上延伸的形状。第二喷嘴262的倾斜度可以限定为第二喷嘴262相对于与目标衬底PS的一个表面基本上平行的平面倾斜的角度。从第二喷嘴262喷射的空气的喷射角度可以与第二喷嘴262的倾斜度基本上相同。第二喷嘴262可以配置成具有可调节的倾斜度，但是实施方式不限于此，并且第二喷嘴262可以具有固定的倾斜度。
在一些实施方式中，第二喷嘴262的倾斜度可以设置成使得从第二喷嘴262喷射的空气穿过内杯220的内部空间LP。第二喷嘴262可以定向成朝向抽吸入口IN，该抽吸入口IN在包括相应的第二喷嘴262的第二空气鼓风器260下方设置成面对第二空气鼓风器260。因此，由从第二喷嘴262喷射的空气形成的空气流可以被抽吸到设置在第二喷嘴262的相对侧上的抽吸入口IN中。此外，由从彼此相对设置的第二喷嘴262喷射的空气形成的空气流可以在内杯220的内部空间LP中彼此交叉，但是实施方式不限于此。
图4至图6和图8示出了包括四个第二喷嘴262的第二空气鼓风器260，但是第二喷嘴262的数量不限于此，并且可以根据目标衬底PS的尺寸而不同地设置。具体地，第二喷嘴262的数量可以设置成使得从第二喷嘴262喷射的空气覆盖目标衬底PS的整个短边区域。
外部空气供应装置400可以连接到第二连接部分263。第二连接部分263可以是将空气供应装置400连接到第二主管261的连接通道。从空气供应装置400提供的空气可以通过第二连接部分263供应到第二主管261。第二连接部分263可以通过诸如软管的连接构件连接到空气供应装置400。
从空气供应装置400供应的空气可以通过第二连接部分263进入第二主管261的内部。已进入第二主管261内部的空气可以通过第二喷嘴262喷射到外部。空气喷射方向可以由如上所述的第二喷嘴262的倾斜度来确定。
通过从第一喷嘴252和第二喷嘴262喷射的空气，可以在内杯220的内部空间LP中沿着空气喷射方向形成空气流。在内杯220的内部空间LP中形成的空气流可以帮助将烟尘抽吸到抽吸入口IN中。具体地，烟尘可以与空气流一起被抽吸到抽吸入口IN中并移动到排放通路EP。稍后将参考图9至图12给出烟尘抽吸过程的更详细的描述。
在根据一些实施方式的显示装置制造设备1中，通过空气鼓风器250和260(经由其喷射空气)形成朝向抽吸入口IN的空气流，从而可以将在目标衬底PS处生成的烟尘有效地抽吸到抽吸入口IN中。此外，通过抽吸入口IN向下开口的结构可以有效地抽吸沿着空气流移动的烟尘。
图9是示出根据本发明原理的显示装置制造方法的实施方式的流程图。图10至图12是示出根据本发明的原理的显示装置制造方法的实施方式的示意图。
参照图9至图12，根据一些实施方式的显示装置制造方法可以包括：步骤S11，准备目标衬底和显示装置制造设备，其中显示装置制造设备包括激光模块、光学系统、在其上安装目标衬底的平台单元、以及具有抽吸入口和空气鼓风器的抽吸单元；步骤S21，将目标衬底放置在平台单元上；以及步骤S31，利用激光束沿着切割线照射目标衬底，利用空气鼓风器朝向目标衬底喷射空气并将其去除到(诸如，抽吸到)抽吸入口中。
关于准备目标衬底和显示装置制造设备(其包括激光模块、光学系统、在其上安装目标衬底的平台单元、以及具有抽吸入口和空气鼓风器的抽吸单元)的步骤S11，上文已经参照图3至图8描述了目标衬底PS和显示装置制造设备1的细节，并且因此将省略这些细节，以避免冗余。
在准备目标衬底PS和显示装置制造设备1的步骤S11之后，可以执行将目标衬底PS放置在平台单元100上的步骤S21。如上所述，目标衬底PS可以安装在平台单元100上。
在已将目标衬底PS安装在平台单元100上(步骤S21)时，可以执行步骤S31：沿着目标衬底的切割线照射激光束，利用空气鼓风器朝向目标衬底喷射空气，并将其抽吸到抽吸入口中。沿着目标衬底PS的切割线CL照射激光束LB的过程、利用抽吸单元200的空气鼓风器250和260朝向目标衬底PS喷射空气的过程以及将其抽吸到抽吸入口中的过程可以同时执行，但是实施方式不限于此。
如上所述，切割线CL可以是预定的虚拟切割线，激光束LB在目标衬底PS上沿着该虚拟切割线活动。然而，实施方式不限于此，并且可以形成真实的切割线CL。切割线CL可以具有大致闭合的形状，诸如曲形的或线性的或两者兼有。激光束LB可以沿着切割线CL照射。激光束LB可以沿着闭合曲线的切割线CL照射至少一圈以切割目标衬底PS。可以切割目标衬底PS以形成图1和图2中所示的显示面板DP。
当使用激光束LB切割目标衬底PS时，可能在激光束LB活动的区域中生成烟尘FM。烟尘FM是在切割目标衬底PS时生成的微小颗粒，并且可能扩散到周围区域。烟尘FM可能通过阻挡激光束LB而干扰激光束LB照射到切割线CL上。当激光束LB被烟尘FM阻挡时，可能减少照射到切割线CL上的激光束LB的每单位面积的照射量，从而导致目标衬底PS处理不完全。因此，为了在期望的条件下处理目标衬底PS，需要有效地去除在激光束LB活动时生成的烟尘FM。
可以引入抽吸单元200来去除烟尘FM。如上所述，抽吸单元200可以抽吸烟尘FM并通过由集尘单元300提供的负压将其排放到外部。具体地，可以通过抽吸单元200的抽吸入口IN抽吸烟尘FM。抽吸入口IN可以设置在抽吸单元200的下部分处，并且可以具有由向下定向的开口限定的形状。抽吸入口IN可以设置在切割线CL外侧。抽吸入口IN可以不与目标衬底PS的切割线CL重叠，但是实施方式不限于此。
抽吸单元200可以在抽吸入口IN下方的区域中具有强的真空力。因此，为了有效地去除烟尘FM，可以优选将烟尘FM移动到抽吸入口IN下方的区域。抽吸入口IN可以设置在切割线CL外侧。如上所述，由于烟尘FM可以沿着切割线CL生成，因而如果烟尘FM移动到切割线CL外侧，则可以有效地去除烟尘FM。可以通过经由空气鼓风器250和260喷射空气，来形成用于将烟尘FM移动到切割线CL外侧的空气流。在这种情况下，当烟尘FM移动到切割线CL外侧时，大多数烟尘FM通过抽吸单元200的抽吸入口IN被抽吸，因此烟尘FM几乎不可能泄漏到抽吸单元200的外部。
如上所述，空气鼓风器250和260可以包括沿着外盒210的长边设置的第一空气鼓风器250和沿着外盒210的短边设置的第二空气鼓风器260。
从第一空气鼓风器250喷射的空气可以将在目标衬底PS的切割线CL的长边区域中生成的烟尘FM移动到位于设置在相应的长边区域外侧的抽吸入口IN下方的区域。第一空气鼓风器250包括至少一个第一喷嘴252，并且由从第一喷嘴252喷射的空气形成的空气流可以将在目标衬底PS的切割线CL的长边区域中生成的烟尘FM移动到切割线CL的外侧。
在一些实施方式中，从设置于在第二方向DR2上的一侧上(或一侧处)的第一空气鼓风器250喷射的空气可以被引导到内杯220的位于在第二方向DR2上的另一侧上的下端部分。因此，在切割线CL周围、邻近于内杯220的位于在第二方向DR2上的另一侧上的下端部分生成的烟尘FM可以移动到切割线CL的外侧，具体地，移动到位于在第二方向DR2上的另一侧上的切割线CL的外侧。从设置于在第二方向DR2上的另一侧处的第一空气鼓风器250喷射的空气可以被引导到内杯220的位于在第二方向DR2上的一侧上的下端部分。因此，在切割线CL周围、邻近于内杯220的位于在第二方向DR2上的一侧上的下端部分生成的烟尘FM可以移动到切割线CL的外侧，具体地，移动到位于在第二方向DR2上的一侧上的切割线CL的外侧。
已移动到切割线CL的外侧的烟尘FM可以通过从抽吸入口IN提供的负压被抽吸到抽吸入口IN中并被排放到外部。即，从第一空气鼓风器250喷射的空气可以帮助将烟尘FM有效地抽吸到抽吸单元200中。
如上所述，第一空气鼓风器250可以彼此相对地设置。从彼此相对的第一空气鼓风器250喷射的空气流可以在内杯220的内部空间LP中彼此交叉。从第一空气鼓风器250的第一喷嘴252喷射的空气由于其强的平直度可以不受从另外的第一喷嘴252和/或第二喷嘴262喷射的空气的影响。然而，实施方式不限于此，交叉的空气可以形成向下定向的空气流。
类似地，从第二空气鼓风器260喷射的空气可以将在目标衬底PS的切割线CL的短边区域中生成的烟尘FM移动到位于设置在相应的短边区域外侧的抽吸入口IN下方的区域。第二空气鼓风器260包括至少一个第二喷嘴262，并且由从第二喷嘴262喷射的空气形成的空气流可以将在目标衬底PS的切割线CL的短边区域中生成的烟尘FM移动到切割线CL的外侧。
在一些实施方式中，从设置于在第一方向DR1上的一侧上的第二空气鼓风器260喷射的空气可以被引导到内杯220的位于在第一方向DR1上的另一侧上的下端部分。因此，在切割线CL周围、邻近于内杯220的位于在第一方向DR1上的另一侧上的下端部分生成的烟尘FM可以移动到切割线CL的外侧，具体地，移动到位于在第一方向DR1上的另一侧上的切割线CL的外侧。从设置于在第一方向DR1上的另一侧上的第二空气鼓风器260喷射的空气可以被引导到内杯220的位于在第一方向DR1上的一侧上的下端部分。因此，在切割线CL周围、邻近于内杯220的位于在第一方向DR1上的一侧上的下端部分生成的烟尘FM可以移动到切割线CL的外侧，具体地，移动到位于在第一方向DR1上的一侧上的切割线CL的外侧。
已移动到切割线CL外侧的烟尘FM可以通过从抽吸入口IN提供的负压被抽吸到抽吸入口IN中并被排放到外部。即，从第二空气鼓风器260喷射的空气可以帮助将烟尘FM有效地抽吸到抽吸单元200中。
如上所述，第二空气鼓风器260可以彼此相对地设置。从彼此相对的第二空气鼓风器260喷射的空气流可以在内杯220的内部空间LP中彼此交叉。从第二空气鼓风器260的第二喷嘴262喷射的空气由于其射流的强度可以不受从另外的第二喷嘴262和/或第一喷嘴252喷射的空气的影响。然而，实施方式不限于此，并且交叉的空气可以形成向下定向的空气流。
由于从空气鼓风器250和260喷射的空气AL，使得在目标衬底PS处生成的烟尘FM一被生成，就可以通过抽吸单元200将其去除，但是烟尘FM中的一些可以上升到内杯220的内部空间LP。已上升到内杯220的内部空间LP的烟尘FM可以通过由从空气鼓风器250和260喷射的空气AL形成的向下气流而移动回到目标衬底PS。已朝向目标衬底PS移动的烟尘FM可以移动回到切割线CL的外侧，并被抽吸到抽吸入口IN中。此外，第一空气鼓风器250和第二空气鼓风器260可以同时喷射空气AL，以允许从目标衬底PS生成的烟尘FM被平滑地去除或抽吸到抽吸单元200的抽吸入口IN中。
在根据一些实施方式的显示装置制造方法中，在使用激光束LB对目标衬底PS进行切割的过程期间可能沿着切割线CL生成烟尘FM。此时，所生成的烟尘FM可能通过阻挡激光束LB而干扰对目标衬底PS的处理，并且因此需要将其去除。在目标衬底PS处生成的烟尘FM可以通过从空气鼓风器250和260喷射的空气AL被引导到抽吸单元200的抽吸入口IN附近。因此，被引导到抽吸入口IN附近的烟尘FM可以通过由抽吸单元200提供的负压被有效地去除。
在下文中，将描述显示装置制造设备1的另一实施方式。在下面的实施方式中，将省略或简化对与以上描述的实施方式的部件相同的部件的描述以避免冗余，并且将主要描述不同之处。其它内容与以上参照图3至图8描述的那些内容相同或类似，并且因此将省略其详细描述以避免冗余，并且下文可以包括对那些所描绘的元件的附图标记。
图13是示出根据本发明的原理构造的显示装置制造设备的另一实施方式的平面图。
根据一些实施方式的显示装置制造设备1_1可以包括具有与根据以上描述的实施方式的显示装置制造设备1不同的喷嘴布置的空气鼓风器250_1和260_1。具体地，包括在根据一些实施方式的显示装置制造设备1_1中的第一喷嘴252_1可以沿着第一方向DR1在第一主管上布置成一行。在彼此相对的第一空气鼓风器250_1中，设置于在第二方向DR2上的一侧上的第一空气鼓风器250_1的第一喷嘴252_1可以设置成在第二方向DR2上不与设置于在第二方向DR2上的另一侧处的第一空气鼓风器250_1的第一喷嘴252_1重叠。因此，从彼此相对的第一喷嘴252_1喷射的空气流可以不与彼此交叉，并且从彼此相对的第二喷嘴262_1喷射的空气流可以不与彼此交叉。
包括在根据一些实施方式的显示装置制造设备1_1中的第二喷嘴262_1可以沿着第二方向DR2在第二主管上布置成一行。
根据依据一些实施方式的显示装置制造设备1_1，从由其喷射空气AL的空气鼓风器250_1和260_1朝向抽吸入口IN形成空气流，使得在目标衬底PS处生成的烟尘FM可以被有效地抽吸到抽吸入口IN中。此外，通过抽吸入口IN向下开口的结构可以有效地抽吸沿着空气流移动的烟尘FM。
在下文中，将描述显示装置制造方法的另一实施方式。在下面的实施方式中，将省略或简化对与以上描述的实施方式的部件相同的部件的描述，并且将主要描述不同之处。
图14是示出根据本发明的原理的显示装置制造方法的另一实施方式的示意图。
根据一些实施方式的显示装置的制造方法与根据以上描述的实施方式的显示装置制造方法的不同之处在于，当通过第一空气鼓风器250喷射空气AL时，彼此面对的第一喷嘴252_2在平面图中布置成在第二方向DR2上不重叠。具体地，设置于在第二方向DR2上的一侧上的第一空气鼓风器250的第一喷嘴252_2可以将空气AL喷射到设置于在第二方向DR2上的另一侧处的第一空气鼓风器250的第一喷嘴252_2和相邻的第一喷嘴252_2之间。在根据一些实施方式的显示装置制造方法中，从彼此相对的第一空气鼓风器250的第一喷嘴252_2喷射的空气流可能不与彼此交叉。
在彼此相对的第二空气鼓风器260中，设置于在第一方向DR1上的一侧上的第二空气鼓风器260的第二喷嘴262_2可以设置成在第一方向DR1上不与设置于在第一方向DR1上的另一侧上的第二空气鼓风器260的第二喷嘴262_2重叠。
此外，实施方式不限于此，并且类似于第一喷嘴252_2，来自第二空气鼓风器260的第二喷嘴262_2的空气AL可以喷射成不与从相对的第二喷嘴262_2喷射的空气AL交叉。
在根据一些实施方式的显示装置制造方法中，在使用激光束LB对目标衬底PS进行切割的过程期间可能沿着切割线CL生成烟尘FM。此时，所生成的烟尘FM可能通过阻挡激光束LB而干扰对目标衬底PS的处理，并且因此需要将其去除。在目标衬底PS处生成的烟尘FM可以通过从空气鼓风器250和260喷射的空气AL被引导到抽吸单元200的抽吸入口IN附近。因此，被引导到抽吸入口IN附近的烟尘FM可以通过由抽吸单元200提供的负压被有效地去除。
图15是示出根据本发明的原理的显示装置制造方法的又一实施方式的示意图。
根据一些实施方式的显示装置制造方法与根据以上描述的实施方式的显示装置制造方法的不同之处在于，喷嘴252和262定向成朝向在第三方向DR3上的另一侧。在根据一些实施方式的显示装置制造方法中，从喷嘴252和262中的每个喷射的空气AL_1可以定向成朝向在第三方向DR3上的另一侧。图15的喷射线AL_1示例性地指示从第一喷嘴252喷射的空气AL_1的移动路径。从第一喷嘴252喷射的空气AL_1可以沿着内杯220的倾斜侧壁220b的内表面移动，并被抽吸到相对的抽吸入口IN中。
在根据一些实施方式的显示装置制造方法中，在使用激光束LB对目标衬底PS进行切割的过程期间可能沿着切割线CL生成烟尘FM。此时，所生成的烟尘FM可能通过阻挡激光束LB而干扰对目标衬底PS的处理，并且因此需要将其去除。在目标衬底PS处生成的烟尘FM可以通过从空气鼓风器250和260喷射的空气AL_1被引导到抽吸单元200的抽吸入口IN附近。因此，被引导到抽吸入口IN附近的烟尘FM可以通过由抽吸单元200提供的负压被有效地去除。
尽管本文中已经描述了特定实施方式和实现方式，但是根据该描述，其他实施方式和修改将是显而易见的。因此，本发明构思不限于这样的实施方式，而是限于所附权利要求以及如将对本领域普通技术人员显而易见的各种明显的修改和等同布置的更宽泛的范围。

Claims (10)

1.用于制造显示装置的设备，所述设备包括：
平台单元；以及
抽吸单元，位于所述平台单元上方，
其中，所述抽吸单元包括：
主体，包括具有顶开口和底开口的外盒以及设置在所述外盒中的内杯；
第一空气鼓风器和第二空气鼓风器，所述第一空气鼓风器设置在所述主体上方并且包括在第一方向上延伸的第一主管，所述第二空气鼓风器包括在与所述第一方向交叉的第二方向上延伸的第二主管；
下板，联接到所述外盒的下端并包括通孔；以及
抽吸入口，通过限定所述通孔的所述下板的内端和所述内杯的下端限定，
其中，所述抽吸入口向下开口。
2.根据权利要求1所述的设备，其中，所述第一空气鼓风器提供为一对第一空气鼓风器，所述一对第一空气鼓风器分别设置在所述主体的在所述第二方向上的一个边缘和另一边缘上以彼此相对，以及
所述第二空气鼓风器提供为一对第二空气鼓风器，所述一对第二空气鼓风器分别设置在所述主体的在所述第一方向上的一个边缘和另一边缘上以彼此相对。
3.根据权利要求2所述的设备，其中，所述第一空气鼓风器包括多个第一喷嘴，所述多个第一喷嘴设置在所述第一主管下方并沿着所述第一方向布置，以及
所述第二空气鼓风器包括多个第二喷嘴，所述多个第二喷嘴设置在所述第二主管下方并沿着所述第二方向布置。
4.根据权利要求3所述的设备，其中，所述第一喷嘴和所述第二喷嘴中的每个配置成具有可调节的倾斜度。
5.根据权利要求3所述的设备，其中，设置于在所述第二方向上的一侧上的所述第一空气鼓风器中包括的所述第一喷嘴朝向所述内杯的、位于在所述第二方向上的另一侧上的下端部分延伸，以及
设置于在所述第二方向上的所述另一侧上的所述第一空气鼓风器中包括的所述第一喷嘴朝向所述内杯的、位于在所述第二方向上的所述一侧上的下端部分延伸。
6.根据权利要求3所述的设备，其中，分别包括在彼此相对的所述第一空气鼓风器中的所述第一喷嘴在所述第二方向上不与彼此重叠。
7.根据权利要求2所述的设备，其中，所述第一空气鼓风器和所述第二空气鼓风器连接到空气供应装置。
8.根据权利要求1所述的设备，其中，所述抽吸单元还包括排放通路，所述排放通路由所述外盒的内表面、所述下板的顶表面和所述内杯的外表面限定。
9.根据权利要求8所述的设备，其中，所述抽吸单元还包括管，所述管的一侧连接到所述排放通路，并且所述管的另一侧连接到提供负压的集尘单元。
10.根据权利要求1所述的设备，其中，所述抽吸入口设置成围绕所述内杯的下端部分。
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