KR20040043206A - 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (14)
- 외관을 이루는 베이스 프레임;상기 베이스 프레임에 장착되어 상호 결합되는 상부 챔버 유닛 및 하부 챔버 유닛;상기 상부 챔버 유닛을 상하 이동시키는 챔버 이동 수단;상기 각 챔버 유닛의 내측 공간에 각각 구비되어 한 쌍의 기판을 고정하는 상부 스테이지 및 하부 스테이지;어느 한 챔버 유닛의 둘레면을 따라 형성되어 다른 하나의 챔버 유닛의 둘레부위를 향하여 공기가 분사되는 공기 분사 수단;공기를 송풍하는 송풍 수단; 그리고,일단은 상기 공기 분사 수단에 연통되고, 타단은 상기 송풍 수단에 연통되어 상기 송풍 수단으로부터 송풍된 공기를 상기 공기 분사 수단으로 전달하는 공기 유로관:을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 공기 분사 수단은상부 챔버 유닛의 둘레를 따라 형성된 공기 유동 관로와,상기 공기 유동 관로의 저면을 따라 형성된 다수의 공기 분사공을 포함하여구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치.
- 제 2 항에 있어서,상기 공기 분사 수단에는이온(ion)을 송출하는 이온화 장치(ionizer)가 더 포함되어 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치.
- 제 3 항에 있어서,상기 이온화 장치는상기 공기 유동 관로의 둘레면 중 각 스테이지가 구비된 방향을 따라 다수 형성된 별도의 공기 분사공 그리고,상기 각 별도의 공기 분사공의 정면에 각각 장착된 이온 발생팁을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 송풍 수단은상기 공기 유로관으로 공기를 송풍하는 송풍팬과, 상기 송풍팬을 구동하는 팬모터를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치.
- 제 1 항에 있어서,공기 분사 수단에 대향되는 다른 하나의 챔버 유닛 둘레에는외향 경사진 경사면을 형성하여서 됨을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치.
- 제 6 항에 있어서,상기 경사면은만곡지게 형성됨을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치.
- 제 1 항에 있어서,어느 한 챔버 유닛의 둘레면에는 다른 하나의 챔버 유닛의 둘레부위를 향하여 이온(ion)을 송출하는 이온화 장치(ionizer)가 더 포함되어 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치.
- 제 8 항에 있어서,상기 이온화 장치는상부 챔버 유닛의 둘레를 따라 형성된 가스 유동 관로와,상기 가스 유동 관로의 둘레면 중 각 스테이지가 구비된 방향을 따라 형성된 다수의 가스 분사공 그리고,상기 각 가스 분사공의 정면에 각각 장착된 이온 발생팁을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 상부 챔버 유닛은 외부 환경에 노출되는 상부 베이스 및 상기 상부 베이스의 저면에 고정됨과 더불어 그 내부는 임의의 공간을 가지는 사각테의 형상으로 이루어진 상부 챔버 플레이트를 포함하여 구성되고,상기 하부 챔버 유닛은 베이스 프레임에 고정된 하부 베이스 및 상기 하부 베이스의 상면에 전후 및 좌우 방향으로의 이동이 가능하게 장착되어 그 내부는 임의의 공간을 가지는 사각테의 형상으로 이루어진 하부 챔버 플레이트를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치.
- 제 1 항 또는, 제 10 항에 있어서,상기 상부 스테이지는 상기 상부 챔버 유닛의 상부 베이스에 고정되고,상기 하부 스테이지는 상기 하부 챔버 유닛의 하부 베이스에 고정됨을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 챔버 이동 수단은베이스 프레임에 고정된 구동 모터와,상기 구동 모터에 축결합된 구동축과,일단은 상부 챔버 유닛에 연결되고, 타단은 상기 구동축으로부터 구동력을 전달받도록 연결된 연결축과,상기 구동축과 상기 연결축을 연결하는 연결부 그리고,상기 연결축에 결합되는 쟈키를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 공기는각종 이물질을 제거할 수 있는 가스를 포함하며, 상기 가스에는 N2가스를 포함됨을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치.
- 제 1 항에 있어서,각 챔버 유닛간의 대향되는 면 중 적어도 어느 한 챔버 유닛의 면상에는 밀봉수단이 더 포함됨을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치.
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