KR100662499B1 - 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 액정표시소자 제조 공정용 장비에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 액정표시소자를 제조하기 위한 한 쌍의 기판을 합착하는 기판 합착 장치에 관한 것이다.
이를 위해 본 발명은 외관을 이루는 베이스 프레임; 상기 베이스 프레임에 장착되어 상호 결합되는 상부 챔버 유닛 및 하부 챔버 유닛; 상기 상부 챔버 유닛을 상하 이동시키는 챔버 이동 수단; 상기 각 챔버 유닛의 내측 공간에 각각 구비되어 한 쌍의 기판을 고정하는 상부 스테이지 및 하부 스테이지; 적어도 어느 한 챔버 유닛의 면상에 구비된 밀봉수단; 그리고, 각 기판이 반입되는 측에 반입구를 가지면서 상기 각 챔버 유닛의 둘레 부위를 감싸는 케이스:를 포함하여 구성되는 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치가 제공된다.
액정표시소자, 기판 합착 장치, 이물질 유입 방지

Description

액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치{substrates bonding device for manufacturing of liquid crystal display}
도 1 및 도 2 는 종래 액정표시소자의 제조 장비 중 기판 합착 장치를 나타낸 구성도
도 3 은 본 발명에 따른 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치의 최초 상태를 나타낸 구성도
도 4 내지 도 8 은 본 발명에 따른 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치를 이용한 기판간 합착 과정을 상태를 나타낸 구성도
도 9 는 합착 완료된 기판의 반출 과정을 나타낸 구성도
도면의 주요 부분에 대한 부호 설명
100. 베이스 플레이트 110. 제1기판
120. 제2기판 210. 상부 챔버 유닛
220. 하부 챔버 유닛 230. 상부 스테이지
240. 하부 스테이지 250. 오링
310. 구동 모터 320. 구동축
330. 연결축 340. 연결부
350. 쟈키부 400. 케이스
410. 반입구 420. 반출구
910,920. 로더부
본 발명은 제조 장비에 관한 것으로, 특히, 대면적의 액정표시소자에 유리한 액정 적하 방식을 적용한 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치에 관한 것이다.
정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 LCD(Liquid Crystal Display Device), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display)등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔고 일부는 이미 여러 장비에서 표시장치로 활용되고 있다.
그 중에, 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 특징에 따른 장점으로 인하여 이동형 화상 표시장치의 용도로 CRT(Cathode Ray Tube)을 대체하면서 LCD가 가장 많이 사용되고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이외에도 방송신호를 수신하여 디스플레이 하는 텔레비전 및 컴퓨터의 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다.
이와 같이 액정표시소자는 여러 분야에서 화면 표시장치로서의 역할을 하기 위해 여러 가지 기술적인 발전이 이루어 졌음에도 불구하고 화면 표시장치로서 화 상의 품질을 높이는 작업은 상기 특징 및 장점과 배치되는 면이 많이 있다.
따라서, 액정표시소자가 일반적인 화면 표시장치로서 다양한 부분에 사용되기 위해서는 경량, 박형, 저 소비전력의 특징을 유지하면서도 고정세, 고휘도, 대면적 등 고 품위 화상을 얼마나 구현할 수 있는가에 발전의 관건이 걸려 있다고 할 수 있다.
상기와 같은 액정표시소자의 제조 방법으로는 한쪽의 기판상에 주입구가 형성되도록 밀봉제를 패턴 묘화하여 진공 중에서 기판을 접합한 후에 밀봉제의 주입구를 통해 액정을 주입하는 통상적인 액정 주입 방식과, 일본국 특허 출원 평11-089612 및 특허 출원 평 11-172903호 공보에서 제안된 액정을 적하한 어느 하나의 기판과 주입구를 설치하지 않도록 밀봉제를 차단한 패턴으로 묘화한 다른 하나의 기판을 준비하고, 그 후 상기 다른 하나의 기판을 상기 어느 하나의 기판상에 배치하여 진공 중에서 상하의 기판을 근접시켜 접합하는 액정 적하 방식 등으로 크게 구분할 수 있다.
이 때, 상기한 각각의 방식 중 액정 적하 방식은 액정 주입 방식에 비해 많은 공정(예컨대, 액정 주입구의 형성, 액정의 주입, 액정 주입구의 밀봉 등을 위한 각각의 공정)을 단축하여 수행함에 따라 상기 추가되는 공정을 따른 각각의 장비를 더 필요로 하지 않는다는 장점을 가진다.
이에 최근에는 상기한 액정 적하 방식을 이용하기 위한 각종 장비의 연구가 이루어지고 있다.
도시한 도 1 및 도 2는 상기한 바와 같은 종래의 액정 적하 방식을 적용한 기판의 합착 장치를 나타내고 있다.
즉, 종래의 기판 합착 장치는 외관을 이루는 프레임(10)과, 스테이지부(21,22)와, 밀봉제 토출부(도시는 생략함) 및 액정 적하부(30)와, 챔버부(31,32)와, 챔버 이동수단(40) 그리고, 스테이지 이동수단(50)으로 크게 구성된다.
이 때, 상기 스테이지부는 상부 스테이지(21)와 하부 스테이지(22)로 각각 구분되고, 밀봉제 토출부 및 액정 적하부(30)는 상기 프레임의 합착 공정이 이루어지는 위치의 측부에 장착되며, 상기 챔버부는 상부 챔버 유닛(31)과 하부 챔버 유닛(32)으로 각각 합체 가능하게 구분된다.
이와 함께, 상기 챔버 이동수단(40)은 하부 챔버 유닛(32)를 상기 합착 공정이 이루어지는 위치 혹은, 밀봉제의 토출 및 액정의 적하가 이루어지는 위치에 이동시킬 수 있도록 구동하는 구동 모터로 구성되며, 상기 스테이지 이동수단(50)은 상기 상부 스테이지를 상부 혹은, 하부로 이동시킬 수 있도록 구동하는 구동 모터로 구성된다.
이하, 상기한 종래의 기판 합착 장치를 이용한 액정표시소자의 제조 과정을 그 공정 순서에 의거하여 보다 구체적으로 설명하면 하기와 같다.
우선, 상부 스테이지(21)에는 어느 하나의 기판(51)이 로딩된 상태로 부착 고정되고, 하부 스테이지(22)에는 다른 하나의 기판(52)이 로딩된 상태로 부착 고정된다.
이 상태에서 상기 하부 스테이지(22)를 가지는 하부 챔버 유닛(32)은 챔버 이동수단(40)에 의해 도시한 도 1과 같이 밀봉제 도포 및 액정 적하를 위한 공정 위치(S1) 상으로 이동된다.
그리고, 상기 상태에서 밀봉제 토출부 및 액정 적하부(30)에 의한 밀봉제의 도포 및 액정 적하가 완료되면 다시 상기 챔버 이동수단(40)에 의해 도시한 도 2와 같이 기판간 합착을 위한 공정 위치(S2) 상으로 이동하게 된다.
이후, 챔버 이동수단(40)에 의한 각 챔버 유닛(31,32)간 합착이 이루어져 각 스테이지(21,22)가 위치된 공간이 밀폐되고, 별도의 진공 수단에 의해 상기 공간이 진공 상태를 이루게 된다.
그리고, 상기한 진공 상태에서 스테이지 이동수단(50)에 의해 상부 스테이지(21)가 하향 이동하면서 상기 상부 스테이지(21)에 부착 고정된 기판(51)을 하부 스테이지(22)에 부착 고정된 기판(52)에 밀착됨과 더불어 계속적인 가압을 통한 각 기판간 합착을 수행함으로써 액정표시소자의 제조가 완료된다.
그러나, 전술한 바와 같은 종래의 기판 합착 장치는 하부 챔버 유닛과 상부 챔버 유닛간이 합체됨으로써 그 내부 공간의 밀폐가 이루어지도록 구성되어 있기 때문에 외부 환경 특히, 이물질의 유입에는 절대적으로 취약할 수 밖에 없다는 문제점을 가진다.
즉, 하부 챔버 유닛으로 로딩된 기판에 액정 및 씨일재를 도포하기 위한 공정 도중 상기 기판으로 각종 이물질이 유입될 수 밖에 없었던 문제점을 가지는 것이다.
따라서, 상기한 이물질로 인한 액정표시소자의 불량이 야기되었다.
또한, 전술한 종래의 기판 합착 장치는 기판의 로딩 및 언로딩이 동일한 장소를 통해 이루어지기 때문에 기판 언로딩이 수행되기 전까지는 상기 기판의 로딩을 위한 공정이 중지되는 등 연속적인 공정의 진행이 어려웠다. 따라서, 전체적인 공정 진행상의 소요 시간이 증가될 수밖에 없다.
본 발명은 이와 같은 종래의 각종 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 기판간 합착이 이루어지는 영역 이내로의 이물질 유입을 최대한 방지할 수 있도록 함과 더불어 기판간 합착 공정의 진행 상태 관측이 가능하도록 하고, 액정표시소자를 제조하는 공정이 연속적으로 이루어질 수 있도록 한 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치를 제공하는데 목적이 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 형태에 따르면 외관을 이루는 베이스 프레임; 상기 베이스 프레임에 장착되어 상호 결합되는 상부 챔버 유닛 및 하부 챔버 유닛; 상기 상부 챔버 유닛을 상하 이동시키는 챔버 이동 수단; 상기 각 챔버 유닛의 내측 공간에 각각 구비되어 한 쌍의 기판을 고정하는 상부 스테이지 및 하부 스테이지; 적어도 어느 한 챔버 유닛의 면상에 구비된 밀봉수단; 그리고, 각 기판이 반입되는 측에 반입구를 가지면서 상기 각 챔버 유닛의 둘레 부위를 감싸는 케이스:를 포함하여 구성되는 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치가 제공된다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도 3 내지 도 9를 참조하여 보다 상세히 설명하면 하기와 같다.
우선, 도시한 도 3은 본 발명의 액정표시소자 제조 공정용 합착 장치를 나타내고 있다.
이를 통해 알 수 있듯이 본 발명의 기판 합착 장치는 크게 베이스 프레임(100)과, 상부 챔버 유닛(210) 및 하부 챔버 유닛(220)과, 챔버 이동 수단과, 상부 스테이지(230) 및 하부 스테이지(240)와, 밀봉수단 그리고, 케이스(400)를 포함하여 구성된다.
상기에서 본 발명의 합착 장치를 구성하는 베이스 프레임(100)은 지면에 고정된 상태로 상기 합착 장치의 외관을 형성하며, 여타의 각 구성을 지지하는 역할을 수행한다.
그리고, 상기 상부 챔버 유닛(210) 및 하부 챔버 유닛(220)은 상기 베이스 프레임(100)의 상단 및 하단에 각각 장착되고, 상호 결합 가능하게 동작된다.
상기 상부 챔버 유닛(210)은 외부 환경에 노출되는 상부 베이스(211)와, 상기 상부 베이스(211)의 저면에 밀착 고정되고, 그 내부는 임의의 공간을 가지는 사각테의 형상으로 이루어진 상부 챔버 플레이트(212)를 포함하여 구성된다.
이 때, 상기 상부 챔버 플레이트(212)에 형성되는 임의의 공간 내부에는 상부 스테이지(230)가 구비되며, 상기 상부 스테이지(230)는 상기 상부 챔버 유닛(210)과 연동되도록 장착된다.
또한, 상기 상부 챔버 유닛(210)을 구성하는 상부 베이스(211)와 상부 챔버 플레이트(212) 사이에는 밀봉 부재(이하, “제1밀봉 부재”라 한다)(213)가 구비되어 상기 상부 챔버 플레이트(212)의 내측 공간과 외측 공간 사이가 차단된다.
이와 함께, 상기 하부 챔버 유닛(220)은 베이스 프레임(100)에 고정된 하부 베이스(221)와, 상기 하부 베이스(221)의 상면에 전후 및 좌우 방향으로의 이동이 가능하게 장착되고, 그 내부는 임의의 공간을 가지는 사각테의 형상으로 이루어진 하부 챔버 플레이트(222)를 포함하여 구성된다.
이 때, 상기 하부 챔버 플레이트(222)에 형성되는 임의의 공간 내부에는 하부 스테이지(240)가 구비되며, 상기 하부 스테이지(240)는 상기 하부 베이스(221)의 상면에 고정된다.
물론, 상기 하부 챔버 유닛(220)은 본 발명의 실시예로 도시된 바와 같이 베이스 프레임(100)과 하부 베이스(221) 사이에 상호간의 안정적인 고정을 위한 고정 플레이트(223)가 더 구비될 수도 있다.
또한, 상기 하부 챔버 유닛(220)을 구성하는 하부 베이스(221)와 하부 챔버 플레이트(222) 사이에는 밀봉 부재(이하, “제2밀봉 부재”라 한다)(224)가 구비되어 상기 제2밀봉 부재(224)를 기준으로 하부 챔버 플레이트(222)의 하부 스테이지(240)가 구비되는 공간과 그 외곽측의 공간 사이가 차단된다.
그리고, 상기 챔버 이동 수단은 베이스 프레임(100)에 고정된 구동 모터(310)와, 상기 구동 모터(310)에 축결합된 구동축(320)과, 상기 구동축(320)에 대하여 수직한 방향으로 세워진 상태로써 상기 구동축(320)으로부터 구동력을 전달받도록 연결된 연결축(330)과, 상기 구동축(320)과 상기 연결축(330)을 연결하는 연결부(340) 그리고, 상기 연결축(330)의 끝단에 장착된 쟈키부(350)를 포함하여 구성된다.
이 때, 상기 구동 모터(310)는 베이스 프레임(100)의 내측 저부에 위치되어 지면과 수평한 방향으로 그 축이 돌출된 양축모터로 구성된다.
또한, 상기 구동축(320)은 상기 구동 모터(310)의 두 축에 대하여 수평한 방향으로 구동력을 전달하도록 각각 연결되며, 상기 연결축(330)은 상기 구동축(320)에 대하여 수직한 방향으로 구동력을 전달하도록 연결된다.
상기 연결축(330)의 끝단에 장착된 쟈키부(350)는 상부 챔버 유닛(210)과 접촉된 상태에서 상기 연결축(330)의 회전 방향에 따라 상향 혹은, 하향 이동되면서 상기 상부 챔버 유닛(210)을 이동시키는 역할을 수행하며, 너트 하우징과 같은 구성을 이룬다.
또한, 상기 연결부(340)는 수평 방향으로 전달되는 구동축(320)의 회전력을 수직 방향을 향하여 연결된 연결축(330)으로 전달할 수 있도록 베벨 기어로 구성된다.
그리고, 상기 각 스테이지(230,240)는 각 챔버 유닛(210,220)에 고정되는 고정 플레이트(231,241)와, 각 기판이 고정되는 흡착 플레이트(232,242) 그리고, 상기 각 고정 플레이트(231,241)와 흡착 플레이트(232,242) 사이에 구비된 다수의 고정 블럭(233,243)을 포함하여 구성된다.
이 때, 상기 각 흡착 플레이트(232,242)는 정전력에 의해 각 기판을 고정하는 정전척(ESC:Electro Static Chuck)(도시는 생략함) 및 진공 흡입력에 의해 각 기판을 고정하는 다수의 진공홀(도시는 생략함) 중 적어도 어느 하나를 포함하여 형성된다.
그리고, 상기 밀봉수단은 하부 챔버 유닛(220)의 하부 챔버 플레이트(222)의 상면을 따라 임의의 높이로 돌출되도록 장착된 오링(O-ring)(250)으로 구성하며, 상기 오링(250)은 고무 재질로 형성된다.
이 때, 상기 오링(250)은 각 챔버 유닛(210,220)간이 결합될 경우 그 내부 공간의 각 스테이지(230,240)에 고정된 한 쌍의 기판(110,120)이 서로 밀착되지 않을 정도의 두께를 가지도록 형성된다. 물론, 상기 오링(250)이 압축될 경우 상기 한 쌍의 기판(110,120)은 서로 밀착될 수 있을 정도의 두께를 가지도록 형성됨은 당연하다.
그리고, 상기 케이스(400)는 각 기판(110,120)이 반입되는 측에 반입구(410)를 가지면서 상기 각 챔버 유닛(210,220)의 둘레 부위를 감싸는 역할을 수행한다.
즉, 상부 챔버 유닛(210) 및 하부 챔버 유닛(220) 간의 개구된 둘레 부위를 감싸도록 형성하여 외부로부터 상기 각 챔버 유닛(210,220) 사이로 이물질이 유입됨을 차단하도록 한 것이다.
이 때, 상기한 케이스(400)는 그 둘레 부위를 투명한 재질로 형성하여 기판(110,120)간 합착이 이루어지는 부위 특히, 각 스테이지(230,240)가 구비된 공간의 관측이 가능하도록 한다.
물론, 상기 케이스(400)는 전체를 투명한 재질로 형성할 수도 있고, 상기 둘레 부위 중 특정한 몇몇 부위에 투명 재질로 형성된 다수의 관측창(도시는 생략함)을 형성할 수도 있다.
이와 함께, 상기 케이스(400)의 둘레면 중 상기 반입구(410)가 형성된 부위 의 반대측 면에는 합착 완료된 기판(110,120)의 반출을 위한 반출구(420)를 형성한다.
상기와 같은 케이스(400)는 도시한 바와 같이 베이스 프레임(100)의 윗부분인 각 챔버 유닛(210,220)이 구비되는 부분만을 감싸도록 형성할 수도 있고, 도시하지는 않았지만 기판 합착 장치 전체를 감싸도록 형성할 수도 있다.
전술한 일련의 구성과 같이 본 발명은 전체적으로 둘레가 개구된 상태로 각 기판(110,120)간의 합착이 수행되는 기판 합착 장치를 제공하되, 상기한 기판 합착 장치의 둘레를 따라 기판의 반입/반출되는 부분만 개구된 케이스(400)가 구비된 구성을 제공하여 각 챔버 유닛(210,220) 내부로 외부 이물질이 유입됨을 최대한 방지하도록 한 것이다.
이하, 전술한 바와 같이 구성되는 본 발명의 기판 합착 장치를 이용한 기판간 합착 과정을 도 3 내지 도 9를 참조하여 보다 구체적으로 설명하면 후술하는 바와 같다.
우선, 도시한 도 3과 같은 최초의 상태에서 도시한 도 4와 같이 로더부(910)에 의해 씨일재가 도포된 제1기판(110)이 반입된다.
이 때, 상기 로더부(910)는 케이스(400)의 둘레면에 형성된 반입구(410)를 통과하여 상기 각 챔버 유닛(210,220) 사이의 공간 내부로 반입된다.
그리고, 상기와 같이 반입된 제1기판(110)은 도시한 도 5와 같이 상부 스테이지에 진공 흡착 혹은, 정전 흡착을 통해 상부 스테이지(230)에 흡착 고정된다.
그리고, 상기 상부 스테이지(230)에 제1기판(110)의 고정이 완료되면 상기 로더부(910)는 반출된 후 액정이 적하된 제2기판(120)을 반입하여 하부 스테이지(240)에 상기 제2기판(120)을 흡착 고정한다. 이 때, 상기 로더부(910)가 상기 제2기판(120)을 로딩하는 과정은 제1기판(110)을 로딩하는 과정과 동일하다.
그리고, 상기 각 기판(110,120)의 로딩이 완료되면 상부 챔버 이동수단의 구동이 이루어져 상부 챔버 유닛(210)이 하향 이동되면서 도시한 도 6과 같이 상부 챔버 플레이트(212)는 하부 챔버 플레이트(222)의 둘레 부위를 따라 장착된 오링(250)의 상면에 접촉된다.
이 상태에서 상기 쟈키부(350)가 계속적으로 하향 이동된다면 도시한 도 7과 같이 상기 쟈키부(350)는 상기 상부 챔버 유닛(210)으로부터 취출되고, 상기 상부 챔버 유닛(210) 그 자체의 무게 및 대기압에 의해 각 기판(110,120)이 위치되는 각 챔버 유닛(210,220)의 내부 공간은 그 외부 공간으로부터 밀폐된다.
이 때, 상기 각 스테이지(230,240)에 부착된 각 기판(110,120)간은 서로 밀착되지 않은 상태로써 소정의 간격을 가지면서 위치된다.
그리고, 상기의 상태에서 도시하지 않은 진공 펌프에 의해 상기 각 기판(110,120)이 구비된 공간이 진공된다.
이후, 상기한 각 기판(110,120)은 상호간의 위치 정렬이 수행되고, 상부 스테이지(230)로부터 제1기판(110)이 탈거됨과 동시에 도시한 도 8과 같이 상기 각 기판(110,120)이 위치된 공간의 벤트가 수행된다.
상기 벤트 과정은 N2 가스를 상기 진공된 공간 내에 주입시킴으로써 가능하 며, 이로 인해 상기 공간은 대기압 상태를 이루게 된다.
이 때, 상부 스테이지(230)에 부착되어 있던 제1기판(110)은 상기 상부 스테이지(230)로부터 떨어짐과 동시에 상기 상부 스테이지(230)로부터 불어져 나오는 N2 가스의 압력에 의해 제2기판(120)에 합착되고, 계속적인 벤트의 진행에 의해 상기 각 기판(110,120) 사이의 압력과 그 외부 압력간의 압력차이에 의해 상기 각 기판(110,120)간은 완전히 합착된다.
즉, 각 기판(110,120)간의 사이가 진공 상태임을 고려한다면 상기 각 기판(110,120)간의 사이 및 외부와의 기압 차이에 의해 상기 각 기판(110,120)은 더욱 밀착되어져 완전한 합착이 이루어지는 것이다.
이후, 상기와 같이 합착된 기판(110,120)의 반출이 이루어짐으로써 기판(110,120)간의 합착이 완료되고, 계속해서 또 다른 기판(110,120)이 각각 반입되어 상기한 기판간의 합착이 반복적으로 수행된다.
이는, 도시한 도 9와 같이 케이스(400)의 반출구(420)가 형성된 측에 구비된 별도의 로더부(920)가 상기 반출구(420)를 통해 케이스(400) 내부로 반입된 상태에서 합착된 기판(110,120)을 가지고 상기 반출구(420)를 통해 케이스(400) 외부로 반출되며, 상기 케이스(400)의 반입구(410) 측에 구비된 로더부(910)는 새로운 제1기판(110) 및 제2기판(120)을 각각의 스테이지(230,240)에 로딩하기 때문에 계속적인 기판간 합착 공정이 가능하다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명 액정 적하 방식을 이용한 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치에 따른 구성에 의해 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.
첫째, 본 발명의 기판 합착 장치는 각 챔버 유닛 사이의 공간이 케이스에 의해 외부 환경으로부터 보호될 수 있도록 이루어져 있기 때문에 각종 이물질의 유입이 최대한 방지되어 액정표시소자의 불량을 미연에 방지할 수 있다는 효과를 가진다.
둘째, 전술한 종래의 기판 합착 장치는 기판의 로딩 및 언로딩이 서로 반대측면을 통해 이루어지기 때문에 액정표시소자 제조 공정용 장비의 인라인(In-line)화가 가능하게 된다는 효과를 가진다.
따라서, 기판 언로딩이 수행됨과 동시에 기판을 로딩시키는 일련의 과정이 가능하여 연속적으로 공정을 진행할 수 있게 되고, 이로 인해 전체적인 공정 진행상의 소요 시간을 단축시킬 수 있게 된 효과를 가진다.

Claims (5)

  1. 외관을 이루는 베이스 프레임;
    상기 베이스 프레임에 장착되어 상호 결합되는 상부 챔버 유닛 및 하부 챔버 유닛;
    상기 상부 챔버 유닛을 상하 이동시키는 챔버 이동 수단;
    상기 각 챔버 유닛의 내측 공간에 각각 구비되어 한 쌍의 기판을 고정하는 상부 스테이지 및 하부 스테이지;
    적어도 어느 한 챔버 유닛의 면상에 구비된 밀봉수단; 그리고,
    각 기판이 반입되는 측에 반입구를 가지면서 상기 각 챔버 유닛의 둘레 부위를 감싸는 케이스:를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 케이스는
    그 둘레 부위를 따라 기판간 합착이 이루어지는 부위의 관측이 가능한 투명 재질로 형성됨을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 케이스는
    그 둘레 부위를 따라 기판간 합착이 이루어지는 부위의 관측이 가능하도록 투명 재질로 형성된 다수의 관측창을 가짐을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 케이스는
    전체적으로 투명한 재질로 형성됨을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    케이스의 둘레면 중 반입구가 형성된 부위의 반대측 면에는
    합착 완료된 기판의 반출을 위한 반출구가 형성됨을 특징으로 하는 액정표시소자 제조 공정용 기판 합착 장치.
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