KR100815910B1 - 액정표시소자용 진공 합착 장치의 진공 챔버 - Google Patents

Abstract

본 발명은 액정표시소자용 합착 장치에 관한 것으로, 기판간 합착 작업이 이루어지는 진공 챔버를 개선하여 각 구동 부위의 동작 불량을 원활히 파악함과 더불어 이에 따른 대처가 신속히 수행될 수 있도록 한 액정표시소자의 진공 합착 장치의 진공 챔버에 관한 것이다.

이를 위해 본 발명은 단일체로 형성되고, 그 내부에는 기판간 합착을 위한 각종 구성 부품이 구비된 챔버 몸체를 가지며, 상기 챔버 몸체의 소정 부위에는 챔버 몸체 내부의 공정 진행 상태를 확인하기 위한 관측공이 형성되며, 상기 관측공에는 개폐가 가능하고, 상기 관측공을 통한 상기 챔버 몸체 내부 상태의 투시가 가능한 관측 도어가 장착되어 이루어짐을 특징으로 하는 액정표시소자용 진공 합착 장치의 진공 챔버를 제공한다.

액정표시소자, 진공 합착 장치, 챔버, 구동 부위 관측

Description

액정표시소자용 진공 합착 장치의 진공 챔버{vacuum chamber bonding device for liquid crystal display}

도 1a 및 도 1b 는 종래 액정표시소자의 합착 장치를 개략적으로 나타낸 구성도

도 2 은 종래 합착 장치를 구성하는 기판 받침 수단의 동작 상태를 개략적으로 나타낸 요부 사시도

도 3 은 본 발명 제1실시예에 따른 진공 합착 장치의 진공 챔버 외형을 나타낸 사시도

도 4 는 본 발명 제1실시예에 따른 진공 합착 장치의 진공 챔버 내부 상태를 나타낸 구성도

도 5 는 본 발명 제2실시예에 따른 진공 챔버의 관측 도어와 챔버 몸체간 밀폐 구조를 나타낸 요부 상태도

도면의 주요 부분에 대한 부호 설명

100. 진공 챔버 110. 챔버 몸체

111. 기판 유출구 112. 관측공

120. 관측 도어 121. 손잡이

122. 투시창 123. 너트공

124. 볼트 125. 걸림홈

130. 씰링 수단 410. 솔레노이드

420. 플런저 430. 하우징

본 발명은 액정표시소자의 제조 장비에 관한 것으로, 특히, 액정표시소자용 합착 장치의 진공 챔버에 관한 것이다.

정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 LCD(Lipuid Crystal Display Device), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display)등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔고 일부는 이미 여러 장비에서 표시장치로 활용되고 있다.

그 중에, 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 특징에 따른 장점으로 인하여 이동형 화상 표시장치의 용도로 CRT(Cathode Ray Tube)을 대체하면서 LCD가 가장 많이 사용되고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이외에도 방송신호를 수신하여 디스플레이 하는 텔레비전 및 컴퓨터의 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다.

이와 같이 액정표시소자는 여러 분야에서 화면 표시장치로서의 역할을 하기 위해 여러 가지 기술적인 발전이 이루어 졌음에도 불구하고 화면 표시장치로서 화 상의 품질을 높이는 작업은 상기 특징 및 장점과 배치되는 면이 많이 있다. 따라서, 액정표시소자가 일반적인 화면 표시장치로서 다양한 부분에 사용되기 위해서는 경량, 박형, 저 소비전력의 특징을 유지하면서도 고정세, 고휘도, 대면적 등 고 품위 화상을 얼마나 구현할 수 있는가에 발전의 관건이 걸려 있다고 할 수 있다.

상기와 같은 액정표시소자의 제조 방법으로는 한쪽의 기판상에 주입구가 형성되도록 밀봉제를 패턴 묘화하여 진공 중에서 기판을 접합한 후에 밀봉제의 주입구를 통해 액정을 주입하는 통상적인 액정 주입 방식과, 일본국 특개평11-089612 및 특개평 11-172903호 공보에서 제안된 액정을 적하한 기판과 다른 하나의 기판을 준비하고, 진공 중에서 상하의 기판을 근접시켜 접합하는 액정 적하 방식 등으로 크게 구분할 수 있다.

이 때, 상기한 각각의 방식 중 액정 적화 방식은 액정 주입 방식에 비해 많은 공정(예컨대, 액정 주입구의 형성, 액정의 주입, 액정 주입구의 밀봉 등을 위한 각각의 공정)을 단축하여 수행함에 따라 상기 추가되는 공정을 따른 각각의 장비를 더 필요로 하지 않는다는 장점을 가진다.

이에 최근에는 상기한 액정 적화 방식을 이용하기 위한 각종 장비의 연구가 이루어지고 있다.

도시한 도 1a 및 도 1b는 상기한 바와 같은 종래의 액정 적하 방식을 적용한 기판의 조립장치를 나타내고 있다.

즉, 종래의 기판 조립장치는 외관을 이루는 프레임(10)과, 스테이지부(21,22)와, 밀봉제 토출부(도시는 생략함) 및 액정 적하부(30)와, 챔버 부(31,32)와, 챔버 이동수단과, 받아멈춤 수단 그리고, 스테이지 이동수단으로 크게 구성된다.

이 때, 상기 스테이지부는 상부 스테이지(21)와 하부 스테이지(22)로 각각 구분되고, 밀봉제 토출부 및 액정 적하부(30)는 상기 프레임의 합착 공정이 이루어지는 위치의 측부에 장착되며, 상기 챔버부는 상부 챔버 유닛(31)과 하부 챔버 유닛(32)으로 각각 합체 가능하게 구분된다.

이와 함께, 상기 챔버 이동수단은 하부 챔버 유닛(32)를 상기 합착 공정이 이루어지는 위치 혹은, 밀봉제의 토출 및 액정의 적하가 이루어지는 위치에 선택적으로 이동시킬 수 있도록 구동하는 구동 모터(40)로 구성되며, 상기 스테이지 이동수단은 상기 상부 스테이지(21)를 선택적으로 상부 혹은, 하부로 이동시킬 수 있도록 구동하는 구동 모터(50)로 구성된다.

그리고, 상기 받아멈춤 수단은 상부 스테이지(21)에 부착 고정되는 기판(52)의 양 대각위치에서 상기 챔버부 내부의 진공시 상기 기판을 임시로 받쳐주는 역할을 수행하게 된다.

이 때, 상기 받아멈춤 수단은 회전축(61)과, 회전 액츄에이터(63) 및 승강 액츄에이터(64), 그리고 기판의 모서리를 받치는 받침판(62)으로 구성된다.

이하, 상기한 종래의 기판 조립장치를 이용한 액정표시소자의 제조 과정을 그 공정 순서에 의거하여 보다 구체적으로 설명하면 하기와 같다.

우선, 상부 스테이지(21)에는 어느 하나의 기판(이하, “제2기판”이라 함)(52)이 로딩된 상태로 부착 고정되고, 하부 스테이지(22)에는 다른 하나의 기판(이하, “제1기판”이라 함)(51)이 로딩된 상태로 부착 고정된다.

이 상태에서 상기 하부 스테이지(22)를 가지는 하부 챔버 유닛(32)는 챔버 이동수단(40)에 의해 도시한 도 1a와 같이 밀봉제 도포 및 액정 적하를 위한 공정 위치 상으로 이동된다.

그리고, 상기 상태에서 밀봉제 토출부 및 액정 적하부(30)에 의한 제1기판에의 밀봉제 도포 및 액정 적하가 완료되면 다시 상기 챔버 이동수단(40)에 의해 도시한 도 1b와 같이 기판간 합착을 위한 공정 위치 상으로 이동하게 된다.

이후, 챔버 이동수단(40)에 의한 각 챔버 유닛(31,32)간 합착이 이루어져 각 스테이지(21,22)가 위치된 공간이 밀폐되고, 받아멈춤 수단을 구성하는 승강 액츄에이터(64) 및 회전 액츄에이터(63)가 구동하면서 받침판(62)을 상부 스테이지(31)에 부착 고정된 제2기판(52)의 두 모서리에 위치시키게 된다.

이 상태에서 제2기판(52)을 고정하던 흡착력을 해제하여 도시한 도 2과 같이 상기 제2기판을 상기 받아멈춤 수단의 각 받침판(62)에 낙하시킨다.

이와 함께, 진공 수단을 이용하여 챔버부 내부를 완전히 진공 상태를 이루도록 하고, 상기 챔버부 내부가 완전한 진공 상태를 이루게 되면 상부 스테이지(31)에 정전력을 인가하여 상기 제2기판(52)을 부착 고정함과 더불어 받아멈춤 수단의 회전 액츄에이터(63) 및 승강 액츄에이터(64)를 구동하여 받침판(62) 및 회전축(61)을 양기판의 접합에 장해가 되지 않도록 한다.

그리고, 상기한 진공 상태에서 스테이지 이동수단(50)에 의해 상부 스테이지(21)가 하향 이동하면서 상기 상부 스테이지(21)에 부착 고정된 제2기판(52)을 하부 스테이지(22)에 부착 고정된 제1기판(51)에 합착함으로써 액정표시소자의 제조가 완료된다.

그러나 전술한 바와 같은 종래의 진공 합착 장치는 다음과 같은 각각의 문제점을 발생시키게 된다.

첫째, 종래의 진공 합착 장치는 진공 챔버 내부에서 수행되는 각종 작업의 시각적인 확인을 위한 구성이 없었기에 각 구동 부위의 동작 상태에 따른 불량을 정확히 파악하지 못하였던 문제점이 있고, 이에 따른 신속한 대처가 어려웠던 문제점이 있다.

둘째, 종래의 진공 합착 장치는 그 동작 중 특정 구동 부위의 동작 불량이 발생되어 이의 조치를 수행하고자 할 경우 각 챔버 유닛간의 분리를 수행함과 더불어 하부 챔버 유닛을 액정 적화 작업을 위한 위치로 반송하여야만 한다는 불편함이 있다.

셋째, 하부 챔버 유닛과 상부 챔버 유닛간의 합체시 상호간 밀폐가 정확히 이루어지지 않을 경우 그 누설 부위를 통한 공기의 유입으로 인해 합착 공정 도중 각 기판의 손상 및 합착 불량을 유발할 수 있는 문제점이 항상 가지게 된다.

이에 따라 상기한 진공 상태에서의 공기 누설 방지를 위한 부속이 추가로 필요하였음과 더불어 각 챔버 유닛간의 결합이 정밀하게 이루어져야만 함에 따른 곤란함이 있다.

본 발명은 이와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 진공 합착 장치를 구성하는 진공 챔버의 구조를 개선하여 각 구성 부위의 동작에 따른 불량 발생을 신속히 인지할 수 있도록 하고, 특정 부위의 동작 불량에 따른 조치가 원활히 수행될 수 있도록 한 액정표시소자의 진공 합착 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 형태에 따르면 단일체로 형성되고, 그 내부에는 기판간 합착을 위한 각종 구성 부품이 구비된 챔버 몸체를 가지며, 상기 챔버 몸체의 소정 부위에는 챔버 몸체 내부의 공정 진행 상태를 확인하기 위한 관측공이 형성되며, 상기 관측공에는 개폐가 가능하고, 상기 관측공을 통한 상기 챔버 몸체 내부 상태의 투시가 가능한 관측 도어가 장착되어 이루어짐을 특징으로 하는 액정표시소자용 진공 합착 장치의 진공 챔버가 제공된다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도 3 내지 도 5을 참조하여 보다 상세히 설명하면 하기와 같다.

우선, 도시한 도 3은 본 발명 액정 적하 방식을 이용한 액정표시소자용 진공 합착 장치의 제1실시예에 따른 진공 챔버 외형을 개략적으로 나타내고 있으며, 이를 통해 알 수 있듯이 본 발명의 진공 챔버(100)는 외형을 이루는 챔버 몸체(110)와, 상기 챔버 몸체(110)에 형성된 기판 유출구(111) 및 관측공(112)을 포함하여 구성된다.

상기에서 챔버 몸체(110)는 단일체로 형성되고, 그 내부에는 도시한 도 4와 같이 기판(510,520)간 합착을 위한 각종 구성 부품이 구비되며, 그 둘레면 소정 부위에는 진공 수단(200)이 연결되어 이루어진다.

이 때, 상기 기판간 합착을 위한 각종 구성 부품이라 함은 도시한 도 4와 같이 상부 스테이지(310) 및 하부 스테이지(320), 기판 받침 수단(330)을 포함하며, 통상의 기판간 합착을 위해 구동하는 각종 구동부가 될 수 있다.

그리고, 상기 챔버 몸체(110)에 형성되는 기판 유출구(111)는 각 기판(510,520)의 반입 또는, 반출이 이루어지는 역할을 수행하며, 자동적으로 동작 가능한 차폐 도어(113)에 의해 선택적인 개폐가 이루어진다.

또한, 상기 챔버 몸체(110)에 형성되는 관측공(112)은 상기 챔버 몸체(110) 내부에서 수행되는 기판(510,520)간 합착 공정 진행 상태를 확인하기 위해 형성되며, 상기 챔버 몸체(110)의 둘레면을 따라 다수개가 형성된다.

이 때, 상기 각 관측공(112)의 형성 위치는 챔버 몸체(110) 내부에 구비된 각 구성 부품 중 동작이 이루어지는 각 구성 부품의 관측이 가장 용이한 위치에 각각 형성한다. 특히, 상기 동작이 이루어지는 각 구성 부품의 동작 불량시 원활한 정비가 가능하도록 해당 부품이 동작하는 위치와 인접된 곳에 형성함이 보다 바람직하다.

그리고, 상기와 같이 챔버 몸체(110)에 형성된 관측공(112)에는 개폐가 가능하고, 관측공(112)을 통한 챔버 몸체(110) 내부 상태의 투시가 가능한 관측 도어(120)가 장착되며, 수동 조작이 가능하도록 손잡이(121)가 형성되어 이루어진다.

이 때, 상기 관측 도어(120)는 상기 관측공(112)이 형성된 챔버 몸체(110)의 소정 부위에 회동 가능하게 장착되며, 상기 관측공(112)이 형성된 부위와 관측 도 어(120) 간의 밀착 부위에는 상호간의 밀착시 발생될 수 있는 틈새의 발생을 방지하기 위한 씰링수단(130)이 더 구비된다.

또한, 상기에서 관측 도어(120)의 각 부위중 관측공(112)을 통한 투시가 가능한 부위는 고진공 상태를 견딜수 있는 강화유리 또는 투명 강화 플라스틱으로 구성된 투시창(122)이 구비된다.

그리고, 상기에서 관측 도어(120)를 개폐 가능하도록 하는 구조는 수동 조작에 의해 이루어지도록 구성할 수 있다.

이 때, 수동 조작에 의한 개폐가 가능하도록 하는 구조로는 상기 관측 도어(120)와 챔버 몸체(110)의 외벽면간이 상호 체결 가능하도록 구성함으로써 가능하다.

즉, 진공 챔버(100)를 구성하는 챔버 몸체(110)의 외벽면인 관측공(112)이 형성된 부위의 둘레에 너트공(114)을 형성하고, 이에 대응하는 위치인 관측 도어(120)에도 너트공(123)을 형성하여 상호간이 볼트(124)에 의해 체결될 수 있도록 구성하는 것이다.

그리고, 본 발명에서는 상기한 진공 챔버(100) 내의 진공 상태를 확인할 수 있는 진공 센서(도시는 생략함)가 추가로 장착됨을 제시한다.

이 때, 상기 진공 센서는 진공 챔버(100) 내부의 진공 상태를 센싱하는 역할을 수행하며, 진공 수단(200)이 구동하고 있지만 상기 진공 챔버(100) 내의 진공 상태에 따른 변화가 없을 경우 진공 챔버(100)의 밀폐 불량을 표시하는 역할도 수행한다.

이하, 전술한 구성을 가지는 본 발명 진공 합착 장치에 따른 동작 과정을 보다 구체적으로 설명하면 하기와 같다.

우선, 액정이 적하된 기판(510) 및 액정이 적하되지 않은 기판(520)이 진공 챔버(100)를 구성하는 챔버 몸체(110) 내의 각 스테이지(310,320)에 로딩 완료되면 기판 유출구(111)가 닫히게 된다.

이와 함께, 작업자는 각 관측 도어(120)를 조작하여 몸체(110)에 형성된 각 관측공(112)을 닫고 볼트(124)로 체결하여 상기 진공 챔버 내부가 완전히 밀폐된 상태를 이루도록 한다.

이 과정에서 진공 챔버(100)에 구비된 진공 센서는 상기 진공 챔버 내의 진공 상태에 따른 변화가 없거나 또는, 진공 수단(200)의 구동에 비해 진공 상태에 따른 변화가 작을 경우 각 관측 도어(120)와 챔버 몸체(110)의 외벽면 간 밀폐가 제대로 이루어지지 않았음으로 판단하고, 이를 표시하여 작업자에게 알려주는 역할을 수행한다.

반면, 진공 챔버(100) 내부의 진공 상태에 따른 변화가 정상적으로 이루어져 원하는 진공도를 이루게 된다면 각 기판간 합착을 위한 각 구성 부품의 동작이 수행된다.

이 과정에서 작업자는 본 발명에 따른 관측 도어(120)의 투시창(122)을 통해 상기 진공 챔버(100) 내에서 구동하는 각 구동 부품의 동작 상태를 확인하면서 각 구동 부품의 동작 불량을 감시하게 된다.

만일, 상기와 같은 과정의 진행 중 특정 구성 부품의 동작 불량이 발생되면 해당 진공 합착 장치의 동작 중단을 수행한 후 동작 불량이 발생된 부위에 따른 대처를 수행하면 된다.

이 때, 상기한 불량 발생 부위에 따른 대처는 상기 불량이 발생된 구성 부품이 장착된 곳과 가장 인접하여 설치된 본 발명의 관측 도어(120)를 개방시킨 상태로써 해당 관측 도어(120)가 폐쇄하고 있던 관측공(122)을 통해 수동적인 조치가 가능하다.

한편, 상기한 본 발명의 제1실시예와 같이, 각 관측공(122)을 밀폐하기 위한 구성이 볼트(124) 체결과 같이 수동 조작에 의해 이루어진다면 진공 챔버(100) 내부가 진공 상태에 있을 경우 강제적인 관측 도어(120)의 개방을 수행할 수 있음에 따른 문제점이 발생될 수 있다.

즉, 진공 챔버 내부가 완전한 대기압 상태를 이루지 못하였음에도 불구하고 강제적인 관측 도어(120)의 개방에 의해 진공 챔버(100) 내부의 기압차가 급격한 변동을 발생하게 되어 합착 완료된 기판의 손상을 유발할 수 있게 되는 것이다.

또한, 각 관측 도어(120)가 진공 챔버의 각 관측공(112)을 모두 폐쇄하지 않은 상태로써 진공 챔버 내부를 진공시킬 수도 있다는 문제점이 발생될 수 있다.

따라서, 본 발명의 제2실시예에서는 관측공을 밀폐하기 위한 구성으로써 전자적인 제어가 가능한 개폐 수단을 구비하여 구성함을 제시한다.
도 5 는 본 발명 제2실시예에 따른 진공 챔버의 관측 도어와 챔버 몸체간 밀폐 구조를 나타낸 요부 상태도이다.

도 5를 참조하면, 본 발명에서는 관측 도어(120)와 진공 챔버 몸체(110)의 외벽면 혹은, 내벽면에 솔레노이드(410) 및 상기 솔레노이드의 제어에 의해 선택적 동작이 이루어지는 플런저(420)를 장착하고, 관측 도어(120)의 측면에는 상기 플런저(420)의 수용이 이루어지는 걸림홈(125)을 형성하여 개폐 수단을 이루도록 한다.

이 때, 상기 솔레노이드(410)와 플런저(420)는 별도의 하우징(430) 내에 구성하고, 상기 하우징(430)은 관측 도어(120)의 걸림홈(125)이 형성된 측에 대응되도록 챔버 몸체(110)의 외벽면에 장착한다.

이하, 상기한 본 발명의 제2실시예에 따른 구성을 이용하여 기판간 합착을 수행하는 일련의 과정을 개략적으로 설명하면 하기와 같다.

우선, 액정이 적하된 기판(510) 및 액정이 적하되지 않은 기판(520)이 진공 챔버 내의 각 스테이지(310,320)에 로딩 완료되면 기판 유출구(111)가 닫히게 됨과 더불어 진공 합착 장치를 제어하는 컨트롤러(도시는 생략함)에 의해 개폐 수단을 구성하는 솔레노이드(410)가 동작하면서 플런저(420)를 관측 도어(120)의 걸림홈(125)에 삽입하여 관측 도어(120)로 인한 관측공(112)의 폐쇄가 이루어지도록 한다.

이 과정에서 진공 챔버(100)에 구비된 진공 센서는 상기 진공 챔버(100) 내의 진공 상태 변화를 센싱하여 진공 챔버의 밀폐가 정확히 이루어졌는지에 따른 여부 및 진공 챔버가 원하는 진공도에 이르렀는지를 판독한다. 그리고, 이 판독된 내용을 표시하여 작업자에게 알려주는데, 이의 과정은 본 발명의 제1실시예와 동일하다.

상기 과정을 통해 진공 챔버(100) 내부가 원하는 진공도를 이루게 된다면, 각 기판간 합착을 위한 각 구성 부위의 동작이 수행된다.

이 때, 본 발명에 따른 관측 도어(120)의 투시창(122)을 통한 각 구동 부위의 동작 상태 확인 및 그 동작 불량 발생에 따른 대처 과정은 본 발명 제1실시예와 동일함으로써 그 구체적인 설명을 생략한다.

그리고, 상기한 기판간 합착이 완료되어 챔버 몸체(110) 내부의 진공 상태가 해제되면 진공 센서는 상기 챔버 몸체(110) 내부가 완전한 대기압 상태를 이루는지에 대한 판독을 수행한다.

이 때, 진공 센서의 센싱에 의해 챔버 몸체(110) 내부가 완전한 대기압 상태를 이루지 못하였음으로 판독되는 도중에는 관측 도어(120)가 작업자에 의한 수동 조작으로도 개방될 수 없는 상태를 유지시키게 된다.

반면, 상기한 진공 센서의 반복적인 센싱 과정에 의해 챔버 몸체(110) 내부가 대기압 상태를 이루게 된다면 본 발명의 개폐 수단을 구성하는 솔레노이드(410)가 컨트롤러의 제어에 의한 동작을 수행하면서 플런저(420)를 관측 도어(120)의 걸림홈(125) 내로부터 이탈시켜 상기 관측 도어(120)가 수동 조작에 의한 관측공(112)의 개방 및 폐쇄가 가능한 상태를 이루도록 하게 된다.

한편, 본 발명에 따른 진공 챔버 내부 상태의 확인이 가능한 관측 도어(120)의 장착 구조는 반드시 상술한 각 실시예의 구성으로만 한정하지는 않는다. 즉, 관측 도어를 미닫이 형태로 구성할 수도 있는 등 다양한 형태로 구성할 수 있다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명 액정표시소자용 진공 합착 장치의 진공 챔버에 따른 구성에 의해 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.

첫째, 진공 챔버 내부에서 수행되는 각종 작업의 시각적인 확인이 가능하게 되어 각 구동 부위의 동작 상태에 따른 불량을 실시간적으로 파악하여 조치할 수 있게 된 효과가 있다.

둘째, 합착 작업의 수행 중 특정 구동 부위의 동작 불량이 발생될 경우 해당 구동 부위와 인접한 곳에 형성된 관측공을 통한 조치가 가능함으로써 상기 동작 불량에 따른 빠른 대처가 가능하다는 장점을 가진다.

셋째, 진공 챔버를 단일체로 형성함으로써 틈새 발생을 줄여 상기 틈새를 통한 공기의 유입으로 인해 합착 공정 도중 각 기판의 손상 및 합착 불량을 유발할 수 있는 문제점을 방지할 수 있게 된 효과가 있다.

Claims (9)

1. 단일체로 형성되고, 그 내부에는 기판간 합착을 위한 각종 구성 부품이 구비된 챔버 몸체를 가지며,

   상기 챔버 몸체의 소정 부위에는 챔버 몸체 내부의 공정 진행 상태를 확인하기 위한 관측공이 형성되며, 상기 관측공에는 개폐가 가능하고, 상기 관측공을 통한 상기 챔버 몸체 내부 상태의 투시가 가능한 관측 도어가 장착되어 이루어짐을 특징으로 하는 액정표시소자용 진공 합착 장치의 진공 챔버.
2. 제 1 항에 있어서,

   관측공은

   챔버 몸체의 둘레면을 따라 다수개가 형성됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 진공 합착 장치의 진공 챔버.
3. 삭제
4. 제 1 항에 있어서,

   관측공이 형성된 챔버 몸체의 소정 부위와 관측 도어 간의 밀착 부위에는

   상호간의 밀착시 발생될 수 있는 틈새의 발생을 방지하기 위한 씰링수단이 더 구비됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 진공 합착 장치의 진공 챔버.
5. 제 1 항에 있어서,

   관측 도어의 각 부위중 관측공을 통한 투시가 가능한 부위는

   고진공 상태를 견딜수 있는 강화유리 또는 투명 강화 프라스틱으로 이루어짐을 특징으로 하는 액정표시소자용 진공 합착 장치의 진공 챔버.
6. 제 1 항에 있어서,

   관측 도어를 개폐 가능하도록 하는 구조는

   수동 조작 또는, 전자적 제어에 의한 자동 개폐가 이루어지도록 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 진공 합착 장치의 진공 챔버.
7. 제 6 항에 있어서,

   관측 도어와 진공 챔버의 외벽면간은

   상호간의 체결이 가능하도록 구성하여 수동 조작에 의한 개폐가 가능하도록 함을 특징으로 하는 액정표시소자용 진공 합착 장치의 진공 챔버.
8. 제 6 항에 있어서,

   관측 도어와 진공 챔버의 외벽면 혹은, 내벽면 간은

   솔레노이드를 이용하여 자동적인 관측 도어의 고정이 가능하도록 함을 특징으로 하는 액정표시소자용 진공 합착 장치의 진공 챔버.
9. 제 1 항에 있어서,

   챔버 몸체 내부의 진공 상태를 판독하는 진공 센서가 더 구비됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 진공 합착 장치의 진공 챔버.

Images