JP2003295150A - 合着機チャンバーガス温度調節装置 - Google Patents

合着機チャンバーガス温度調節装置

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JP2003295150A
JP2003295150A JP2003074961A JP2003074961A JP2003295150A JP 2003295150 A JP2003295150 A JP 2003295150A JP 2003074961 A JP2003074961 A JP 2003074961A JP 2003074961 A JP2003074961 A JP 2003074961A JP 2003295150 A JP2003295150 A JP 2003295150A
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chamber
liquid crystal
air
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JP2003074961A
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Sang Seok Lee
相 碩 李
Sang Ho Park
相 昊 朴
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LG Display Co Ltd
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LG Philips LCD Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は液晶表示装置の製造装置の合着機チ
ャンバーの温度調節装置に関するものである。 【解決手段】 本発明は、第１基板とシール剤が塗布さ
れた第２基板とを合着する合着機チャンバーと、前記合
着機チャンバーの上下側の空間に設けられた上部ステー
ジ及び下部ステージと、前記合着機チャンバーを真空に
した後前記合着機チャンバーに空気又はガスを流入させ
るための給気管と、前記給気管を介して流入する空気又
はガスを加熱する加熱手段とを備えることを特徴とす
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示素子製造
用合着機に関するもので、特に、合着機チャンバーのガ
ス温度調節装置に関する。
【０００２】
【関連の技術】情報化社会の発達と共に、表示装置に対
する要求も様々な形態で求められており、これに応じて
最近ＬＣＤ（Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｄｉｓｐ
ｌａｙＤｅｖｉｃｅ）、ＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ Ｄｉｓ
ｐｌａｙ Ｐａｎｅｌ）、ＥＬＤ（Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｌ
ｕｍｉｎｅｓｃｅｎｔ Ｄｉｓｐｌａｙ）、ＶＦＤ（Ｖ
ａｃｕｕｍ Ｆｌｕｏｒｅｓｃｅｎｔ Ｄｉｓｐｌａ
ｙ）など多数の平板表示装置が研究されてきて一部は既
に各種装備の表示装置に活用されている。
【０００３】そのうち、現在画質が鮮明で軽薄型、低消
費電力という特長によって移動型画像表示装置の用途で
ＣＲＴ（Ｃａｔｈｏｄｅ Ｒａｙ Ｔｕｂｅ）に替わっ
てＬＣＤが多用されており、ノ−トブックコンピュータ
ーのモニター等の移動型の用途以外にも放送信号を受信
してディスプレイするテレビ及びコンピューターのモニ
ターなどに多様な形態で開発されている。
【０００４】このように、液晶表示装置が多数分野にお
いて画面表示装置としての役割をするために多数の技術
的な発展が成されているにも関わらず、画面表示装置と
して画像の品質を高める作業は前記特長と背馳する面が
多かった。従って、液晶表示装置が一般の画面表示装置
として多用されるためには、軽薄型、低消費電力という
特長を維持しながら高精細、高輝度、大面積などのよう
な上質の画像を実現できるかどうかによって決められる
といっても過言ではないだろう。
【０００５】このような液晶表示素子の製造方法では、
一方の基板上に注入口が形成されるようにシール剤を塗
布し、真空中で他の基板と接合させた後にシール剤の注
入口を介して液晶を注入する通常の液晶注入方式と、特
開平１１−０８９６１２及び特開平１１−１７２９０３
号において提示された、液晶を滴下した基板と他の一つ
の基板とを用意し、真空下で上下の基板を近接させて接
合する液晶滴下方式とに大きく分けられる。
【０００６】前記方式の中で液晶滴下方式は、液晶注入
方式に比べて多くの工程（例えば、液晶注入口の形成、
液晶の注入、液晶注入口の密封などのための各々の工
程）を短縮できると共に、更なる装備を必要としないと
いう長所を有する。
【０００７】最近、前記液晶滴下方式を用いるための各
種装置への研究がなされている。図示の図１及び図２は
前記のような関連技術の液晶滴下方式を適用した基板の
組立装置を示している。即ち、従来の基板の組立装置
（合着機）は 大きく分けて、外観を成しているフレー
ム１０と、ステージ部２１、２２と、密封剤排出部（図
示せず）及び液晶滴下部３０と、チャンバー部３１、３
２と、チャンバー移動手段、またステージ移動手段から
構成される。
【０００８】ここで、前記ステージ部は上部ステージ２
１と下部ステージ２２に各々区分され、前記密封剤排出
部及び液晶滴下部３０は前記フレームの合着工程が成さ
れる位置の片側に設けられる。前記チャンバー部は上部
チャンバーユニット３１と下部チャンバーユニット３２
とに各々合体可能に区分され、前記チャンバーユニット
３１には真空源に接続して前記チャンバー部を真空にす
るための真空バルブ２３と配管ホース２４が連結され、
ガスや空気などを供給する圧力源に接続して前記チャン
バー部を大気圧状態に戻すためのガスファージバルブ２
５とガスチューブ２６が連結されている。
【０００９】これと共に、前記チャンバー移動手段は下
部チャンバーユニット３２を前記合着工程が成される位
置あるいは、密封剤の排出及び液晶の滴下が成される位
置に選択的に移動させ得るように駆動する駆動モーター
４０からなり、前記ステージ移動手段は前記上部ステー
ジ２１を選択的に上部、或いは下部に移動させ得るよう
に駆動する駆動モーターとからなる。
【００１０】以下、前記従来の基板組立装置を用いた液
晶表示素子の製造過程をその工程順序に基づき、より具
体的に説明すると下記の通りである。まず、上部ステー
ジ２１にはいずれか一つの基板５１が搬入された状態で
付着固定され、下部ステージ２２には他の一つの基板５
２が搬入された状態で付着固定される。該状態で前記下
部ステージ２２を有する下部チャンバーユニット３２は
チャンバー移動手段４０によって図１に示すように、密
封剤塗布及び液晶滴下のための工程位置上に移動する。
【００１１】さらに、前記状態で前記密封剤の排出部及
び液晶滴下部３０による密封剤の塗布及び液晶滴下が完
了されれば更に前記チャンバー移動手段４０によって図
２に示すように、基板間の合着のための工程位置上に移
動することになる。その後、チャンバー移動手段４０に
よる各チャンバーユニット３１、３２間の合着が成され
て各ステージ２１、２２が位置した空間が密閉され、前
記真空バルブ２３及び配管ホース２４を介して真空手段
によって前記空間が真空状態をなすことになる。
【００１２】さらにまた、前記真空状態でステージ移動
手段５０によって上部ステージ２１が下方に移動しなが
ら前記上部ステージ２１に吸着された基板５１を下部ス
テージ２２に吸着された基板５２に密着すると共に、加
圧し続けて各基板間の合着を行い、前記ガスファージバ
ルブ２５及びガスチューブ２６を介してガス又は空気を
前記チャンバー部に注入して待機状態にすることで前記
合着された両基板が加圧される。
【００１３】しかしながら、前述したような関連技術の
組立装置においては次のような問題があった。第一に、
前記チャンバー部を待機状態にして加熱されないガス又
は空気を供給することで、ベント時に真空チャンバーと
ベントガスの温度差によって注入空気又はガス内の水分
が凝結して基板上に落ちるという問題があり、基板に滴
下した液晶の特性が変形するおそれもある。第二に、真
空チャンバーの温度は常温を維持するので、合着した基
板の間の液晶広がりが遅くなって生産性を低下させるお
それがある。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明は、上
記従来技術の問題点を解決するためのもので、給気時に
加熱された空気又はガスをチャンバーに供給して工程時
間を短縮し、チャンバーと給気ガスとの温度差を補償
し、円滑に液晶が広がるようにして生産効率を向上させ
得る合着機チャンバー及び合着機チャンバーの温度調節
装置を提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明による合着機のガス温度調節装置は、第１ス
テージと第２ステージとを備える合着機チャンバーと、
前記合着機チャンバーに接続されて、前記合着機チャン
バーを真空にした後に前記合着機チャンバーに空気また
はガスを流入させる給気管と、前記給気管を介して流入
する空気又はガスを加熱する加熱手段とを備えることを
特徴とする。
【００１６】また、合着機チャンバーを用いた液晶表示
素子の製造方法は、合着機チャンバー内に液晶表示素子
の第１基板と第２基板とを挿入する段階と、前記合着機
チャンバーを真空にする段階と、真空段階の前記合着機
チャンバー内で前記第１基板と第２基板とを合着する段
階と、前記第１基板と第２基板とを合着させた後前記合
着機チャンバー内に加熱された空気又はガスを流入する
段階とを含むことを特徴とする。
【００１７】このような特徴を有する本発明による合着
機及び合着機チャンバーのガス温度調節装置を添付した
図面を参照して更に詳しく説明する。先ず、図３は本発
明による液晶滴下方式を用いた液晶表示素子の製造用真
空合着機を概略的に示したものである。本発明による合
着装置は合着機チャンバー１１０と、ステージ部とステ
ージ移動装置と、真空装置、給気装置、また搬入部３０
０を含む。
【００１８】前記本発明の合着装置を構成する合着機チ
ャンバー１１０はその内部が選択的に真空状態、或いは
大気圧状態を形成して各基板間の加圧による合着と、圧
力差を用いた合着が順次に行われ、その周囲の所定部位
には各基板の搬入又は搬出が成されるように開口部１１
１が形成される。この時、前記合着機チャンバー１１０
には、真空装置から空気吸入力を伝えられて、チャンバ
ーの内部空間に存在する空気を排出する空気排出管１１
２がチャンバー１１０の周囲面の片側に連結されると共
に、その外部から空気、或いは他のガスＮ２を流入させ
て前記合着機チャンバー１１０の内部を大気圧状態に維
持するための給気管１１３が連結されて、内部空間の選
択的な真空状態の形成、或いは解除が可能となるように
構成される。
【００１９】また、前記で空気排出管１１２及び給気管
１１３には、その管路の選択的な開閉のために電子的に
制御される開閉バルブ１１２ａ、１１３ａが各々備えら
れる。これと共に、前記合着機チャンバー１１０の開口
部１１１には前記開口部の開口部位を選択的に遮蔽でき
るように遮蔽ドア（図示せず）が設けられてもよい。
【００２０】この時前記遮蔽ドアは通常の摺動式ドア、
或いは回転式ドアなどで実現できるばかりでなく、開口
部の開閉のための他の構成によっても実現でき、前記摺
動式或いは、回転式ドアで構成する場合、隙間の密閉の
ための密閉剤を含んで構成することが更に望ましいが、
本発明ではその部分に対する詳しい図示は省略する。
【００２１】また、本発明の合着装置を構成する前記ス
テージ部は前記合着機チャンバー１１０内の上側空間と
下側空間に各々対向設置され、搬入部３００を介して前
記合着機チャンバー１１０の内部に搬入された各基板５
１０、５２０のための合着機チャンバー１１０内の該当
作業位置に固定する役割を果たす上部ステージ１２１及
び下部ステージ１２２を含む。
【００２２】この時前記上部ステージ１２１及び下部ス
テージ１２２には静電力を提供して基板を固定できるよ
うに、少なくとも一つ以上の静電チャック１２１ａ、１
２２ａが凹入装着されると共に、真空力により基板の吸
着固定を可能する少なくとも一つ以上の真空ホール１２
１ｂを形成する。
【００２３】前記静電チャック１２１ａ、１２２ａは複
数の平板電極対から成っており、平板電極の各対には互
いに異なる極性の直流電圧が各々印加されて各基板の静
電付着が可能となるように構成されるが、必ずしもこれ
に限定されるものではなく、一つの静電チャック１２１
ａ自体が二つの極性を同時に有しながら静電力を印加す
るように構成することもできる。
【００２４】また、前記上部ステージ１２１の構成で真
空ホール１２１ｂは、前記上部ステージ１２１の底面に
装着された各静電チャック１２１ａの周囲に複数形成さ
れて配置され、上部ステージ１２１に連結された真空ポ
ンプ１２３によって発生した真空力を伝えるように単一
或いは、多数の管路１２１ｃを介して前記各々の真空ホ
ール１２１ｂを互いに連通するように形成する。
【００２５】これと共に前記下部ステージ１２２の上面
には静電力により基板の固定が可能となるように少なく
とも一つ以上の静電チャック１２２ａが装着されると共
に、真空力基板の吸着固定が可能となるように少なくと
も一つ以上の真空ホール（図示せず）を形成する。この
とき前記静電チャック及び真空ホール、前記上部ステー
ジ１２１の構成と同一の形状を成すように形成できる
が、必ずしもこれに限定されるものではなく、通常作業
対象となる基板の全般的な形成又は各液晶塗布領域など
を考慮して、前記静電提供機器及び真空ホールの配置が
なされるようにすることが望ましい。
【００２６】さらに、本発明は合着装置を構成するステ
ージ移動装置は、上部ステージ１２１を選択的に上下移
動させるように駆動する移動軸１３１を有し、下部ステ
ージ１２２を選択的に左右回転させるように駆動する回
転軸１３２を有して、合着機チャンバー１１０の内側又
は外側に前記各ステージ１２１、１２２と軸結合した状
態で前記各々の軸を選択的に駆動させるための駆動モー
ター１３３、１３４を含む。
【００２７】未説明符号１３５は各基板の位置整列時に
下部ステージ１２２の左右移動のために駆動する駆動手
段である。また、本発明の合着装置を構成する真空装置
は、前記合着機チャンバー１１０の内部が選択的に真空
状態を成すことができるように吸入力を伝える役割を行
い、通常の空気吸入力を発生させるために駆動する吸入
ポンプからなり、該吸入ポンプ２００が備えられた空間
は合着機チャンバー１１０の空気排出管１１２と連通す
るように形成する。
【００２８】また、本発明の合着装置を構成する搬入部
は、前記合着機チャンバー１１０及び前記合着機チャン
バー１１０の内部に備えられる各種構成部分とは別の装
置であり、前記合着機チャンバー１１０の外側に備えら
れて液晶が滴下された第１基板５１０又はシール剤が塗
布された第２基板５２０が各々搬送されて前記合着装置
の合着機チャンバー１１０の内部に選択的に搬入或いは
搬出する役割を行う。
【００２９】この時、前記搬入部は、液晶が滴下された
第１基板５１０の搬送のためのいずれか一つのアーム
（以下、“第１アーム”と称する）３１０と、シール剤
が塗布された第２基板５２０の搬送のためのもう一つの
アーム（以下、“第２アーム”と称する）３２０を含
み、第１基板５１０、第２基板５２０が前記各アーム３
１０、３２０に載置された状態で合着機チャンバー１１
０の内部に搬送される前の待機状態では前記第１アーム
３１０が第２アーム３２０に比べて上方に位置するよう
に構成される。
【００３０】これは、前記第１アーム３１０に載置され
る第１基板５１０はその上面に液晶が滴下された状態で
あり、第２アーム３２０に載置される第２基板５２０は
シール剤が塗布された面が下面に位置することに鑑みる
とき、前記第２アーム３２０が第１アーム３１０に比べ
て上側に位置される場合には、前記第２アーム３２０の
動きによって発生し飛散され得る各種異物が前記第１ア
ーム３１０に載置されている第１基板５１０の液晶に落
下して損失を起こし得る問題点を予め防止できるよう
に、前記第１アーム３１０を第２アーム３２０の上方に
位置するように構成するものである。
【００３１】しかしながら、前記搬入部の各アームのう
ち、第１アーム３１０は液晶が滴下された第１基板５１
０だけ搬送し、第２アーム３２０はシール剤が塗布され
た第２基板５２０だけを搬送するように構成しなくても
よい。前記第１アーム３１０は第１基板５１０又は第２
基板を問わず液晶が滴下されている基板だけを搬送する
ようにし、第２アーム３２０は液晶が滴下されていない
基板だけを搬送するように構成することが更に望まし
い。勿論前記いずれか一つの基板に液晶が滴下されると
共に、シール剤が塗布されると該基板を第１アーム３１
０が搬送するようにし、他の一つの基板は第２アーム３
２０が搬送するように設定することができる。
【００３２】また、本発明の合着装置では搬入部に、合
着機チャンバー１１０の内部に搬入され各ステージ１２
１、１２２に搬入された各基板５１０、５２０間の整列
状態を確認するためのアライン装置６００を更に含み、
この時のアライン装置６００は前記合着機チャンバー１
１０の外側或いは、内側のうちいずれか一つの位置に装
着できるが、前記合着機チャンバー１１０の外側に装着
するのが望ましい。
【００３３】前記のような本発明の実施態様による合着
装置の構成は、各基板の形成を他の工程により別に行う
ため、既存の合着装置の構成に比べて全般的な大きさを
大幅に縮小することが可能であると共に、単純な合着工
程だけを行うことによってその作業時間を大幅に短縮さ
せることができる。
【００３４】また、前記本発明の構成は下部ステージの
移動を極めて狭い範囲に限定することができるため、各
基板間の位置整列をより早く、正確に行うことができ、
従来技術とは異なり合着機チャンバーが二つの部分を選
択的に分離し、また結合するのではなく、単一チャンバ
ーにより形成するため、両部分のチャンバー間の結合時
に発生され得る漏洩による問題点がないばかりでなく、
前記漏洩を防止するための付属が不要であるという長所
を有する。
【００３５】以下、前記の構成を有している本発明の液
晶表示素子の合着装置を用いた基板間の合着過程をより
概略的に説明すると下記の通りである。液晶が滴下され
た第１基板と、シール剤が塗布された第２基板とを用意
する。勿論、第１基板に液晶も滴下され、シール剤が塗
布されていてもよい。また、図３の点線部分のように搬
入部３００は第１アーム３１０を用いて液晶が滴下され
た第１基板５１０を上向きで待機させ、第２アーム３２
０を用いてシール剤が塗布された部分が下向きになるよ
うに第２基板５２０を伝達して前記第１アーム３１０の
下側に位置させる。
【００３６】前記の状態で合着機チャンバー１１０の開
口部１１１が開放されると、前記搬入部は第２アーム３
２０を制御して前記シール剤が塗布された部分が下向き
になるように第２基板５２０を前記開放された開口部１
１１を介して合着機チャンバー１１０内に搬入し、前記
上部ステージ１２１を下降させて前記第２基板５２０の
上側に位置させ、上部ステージ１２１に連結された真空
ポンプ１２３により前記上部ステージ１２１に形成され
た各真空ホール１２１ｂに真空力を与えて第２アーム３
２０によって搬入された第２基板５２０を吸着して前記
上部ステージ１２１が上昇する。
【００３７】その後、前記搬入部は、第１アーム３１０
を制御して前記液晶が滴下された第１基板５１０を前記
合着機チャンバー１１０内に搬入して下部ステージ１２
２上に配置し、下部ステージ１２２に連結された真空ポ
ンプ（図示せず）により前記下部ステージ１２２に形成
された各真空ホール（図示せず）に真空力を与えて第１
アーム３１０によって搬入された第１基板５１０を吸着
して前記下部ステージ１２２に固定する。
【００３８】前記シール剤が塗布された第２基板５２０
を液晶が滴下された第１基板５１０より先に搬入する理
由は、前記第１基板５１０を先に搬入し、その後前記第
２基板５２０を搬入する場合には、前記第２基板５２０
の搬入過程で発生し得る塵などが前記先に搬入されてい
る第１基板５１０に滴下された液晶に落ちるおそれがあ
り、こうした問題点を予め防止するためである。
【００３９】前の合着工程が完了して、すでに、下部ス
テージに合着基板が存在するため、次の合着工程に使用
される第２基板を第２アーム３２０が搬入した後に、前
記下部ステージに存在する合着された基板を搬出し、搬
入と搬出を同時に行い、それによって作業時間の短縮を
可能とする。
【００４０】また、各基板５１０、５２０の搬入工程が
完了すれば、前記搬入部３００を構成する各アーム３１
０、３２０が合着機チャンバー１１０の外部に移動し、
さらに、前記合着機チャンバー１１０の開口部１１１に
設けられた遮蔽ドアが動作しながら前記開口部１１１を
閉鎖し、図３に示されるように前記合着機チャンバー１
１０の内部は密閉された状態となる。
【００４１】前記の状態でステージ移動装置は、駆動モ
ーター１３３により前記上部ステージ１２１を下方に移
動させることによって前記上部ステージを下部ステージ
１２２に近接させて位置させ、アライン装置６００は前
記各ステージ１２１、１２２に付着した各々の基板５１
０、５２０間の整列状態を確認し、各ステージ１２１、
１２２に軸結合された移動軸１３１、１３２及び回転軸
に制御信号を伝達して各基板を相互整列させる。
【００４２】その後、前記ステージ移動装置が継続的な
駆動信号により駆動し、上部ステージ１２１に静電吸着
された第２基板５２０を、下部ステージ１２２に吸着さ
れた第１基板５１０に密着した状態とした後に加圧して
相互間の一次的な合着を行う。この時一次的な合着と
は、前記各ステージ１２１、１２２の移動による加圧を
介して完全な合着工程を完了することをいうのではな
く、大気圧状態への変更時に各基板間に空気が流入でき
ない程度に合着することをいう。
【００４３】従って、前記一次的な合着工程が完了する
と、給気管１１３を閉鎖していた開閉バルブ１１３ａに
より前記給気管１１３を開放して乾燥空気又はＮ２ガス
をチャンバー内に流入させ、これによって合着機チャン
バー１１０の内部は次第に大気圧状態に近づけて前記合
着機チャンバー１１０の内部に気圧差を与え、該気圧差
により前記合着された基板を加圧する。即ち、前記シー
ル剤で密封した第１基板と第２基板との間は真空状態で
あり、合着機チャンバーは大気圧状態になるので前記第
１、第２基板が均一に加圧される。
【００４４】かかるベント工程が完了すると、合着機チ
ャンバー１１０の遮蔽ドア１１４を駆動させて、前記遮
蔽ドアによって閉鎖されていた開口部１１１を開放させ
る。その後、前記搬入部３００により前記合着基板の搬
出を行い、更に既に前述した一連の各過程を繰り返し行
いながら基板間の合着を行う。
【００４５】前記給気工程時に、本発明では空気又はガ
スを一定温度以上に加熱して合着機チャンバー内に供給
できるようにした。従って、水分の凝結及び液晶特定変
化を防止でき、液晶広がり速度を向上させることができ
るガス温度調節装置を提供することが可能である。即
ち、図４は本発明の第１実施態様による合着機チャンバ
ーのガス温度調節装置の概略構成図であり、図５は本発
明の第２実施態様による合着機チャンバーのガス温度調
節装置の概略構成図である。
【００４６】本発明の第１実施態様による合着機チャン
バーのガス温度調節装置は、図４のように開閉バルブ１
１３ａから延在する給気管１１３に加熱手段として主に
加熱コイル１を設けて、前記給気工程時に、前記給気管
１１３を介して合着機チャンバーに流入する空気又はガ
スを加熱する。この時空気又はガスを加熱する温度は液
晶が液化しない程度の温度で加熱する。即ち、給気時
に、空気又はガスを３０〜１００℃以下に加熱して給気
時間（前記開閉バルブの開放時間）を約５分以下にして
合着機チャンバー内に流入させることにより液晶の液化
現象を防止し、真空時に滴下された液晶又は流入される
空気又はガスに含まれた水分の凝結を防止することがで
き、合着機チャンバー内部の温度が上昇し液晶の粘性を
小さくするので、液晶の広がり速度を向上させることが
できる。
【００４７】さらに、本発明の第２実施態様による合着
機チャンバーのガス温度調節装置は、図５のように、前
記給気管１１３に連結されるので、例えば、加熱手段と
して加熱タンク２に設けて、前記給気工程時に、前記給
気管１１３を介して合着機チャンバーに流入する空気又
はガスを加熱する。この時の加熱温度及びこれによる効
果は本発明の第１実施態様で説明したとおりである。前
記図３において給気管１１３を合着機チャンバーの側面
に図示しているが、前記給気管（給気孔）はこれに限定
されるものではなく、合着機チャンバーの上部面又は下
部面に設けてもよいが、一つ又は複数の給気孔及び給気
管を設けて各給気管に加熱手段を設けるか選択的に加熱
手段を設けることができる。
【００４８】以上本発明の好適な一実施形態について説
明したが、前記実施形態のものに限定されるわけではな
く、本発明の技術思想に基づいて種々の変形可能であ
る。
【００４９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明による合着
機及び合着機チャンバーのガス温度調節装置においては
次のような効果がある。第一に、給気工程の時、前記合
着機チャンバーに流入される空気又はガスを液晶が液化
しない温度で加熱するので、真空時に含まれた水分の凝
結を防止することができる。第二に、給気工程の時、前
記合着機チャンバーに流入する空気又はガスを液晶が液
化しない温度で加熱するため、合着機チャンバー内の温
度を上昇させて液晶の粘性を小さくすることができるの
で液晶の広がり速度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】関連技術の液晶滴下方式を適用した基板の組立
装置の液晶滴下時の構成図である。
【図２】関連技術の液晶滴下方式を適用した基板の組立
装置の合着時の構成図である。
【図３】本発明による液晶滴下方式を用いた液晶表示素
子の製造用合着機を概略的に示した構成図である。
【図４】本発明の第１実施態様による合着機チャンバー
のガス温度調節装置の概略的な構成図である。
【図５】本発明の第２実施態様による合着機チャンバー
のガス温度調節装置の概略的な構成図である。
【符号の説明】
１１０ 合着機チャンバー １２１ 上部ステージ １２２ 下部ステージ ２００ 真空装置 ３００ 搬入部 ４００ 貯蔵部 ５１０ 第１基板 ５２０ 第２基板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 朴 相 昊 大韓民国 釜山廣域市 金井區 南山洞 320−12番地 30／４ Ｆターム(参考） 2H088 FA09 FA24 FA30 HA01 MA20 2H090 JB01 JC11 JC12 JD17 LA13

Claims (20)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 第１ステージと第２ステージとを備える
    合着機チャンバーと、 前記合着機チャンバーに接続されて、前記合着機チャン
    バーを真空にした後に前記合着機チャンバーに空気また
    はガスを流入させる給気管と、 前記給気管を介して流入する空気又はガスを加熱する加
    熱手段とを備えることを特徴とする合着機チャンバーの
    ガス温度調節装置。
  2. 【請求項２】 前記加熱手段は前記給気管に加熱コイル
    を設けることを特徴とする請求項１に記載の合着機チャ
    ンバーのガス温度調節装置。
  3. 【請求項３】 前記加熱コイルは前記給気管を囲むこと
    を特徴とする請求項１に記載の合着機チャンバーのガス
    温度調節装置。
  4. 【請求項４】 前記加熱コイルを前記給気管の内部に設
    けることを特徴とする請求項１に記載の合着機チャンバ
    ーのガス温度調節装置。
  5. 【請求項５】 前記加熱手段として前記給気管に連結さ
    れた加熱タンクを設けることを特徴とする請求項１に記
    載の合着機チャンバーのガス温度調節装置。
  6. 【請求項６】 前記加熱手段は３０℃ないし１００℃以
    下に空気又はガスを加熱することを特徴とする請求項１
    に記載の合着機チャンバーのガス温度調節装置。
  7. 【請求項７】 前記給気管はベント時間に応じて開閉さ
    れる開閉バルブを備えることを特徴とする請求項１に記
    載の合着機チャンバーのガス温度調節装置。
  8. 【請求項８】 前記開閉バルブの開閉時間は５分以下に
    することを特徴とする請求項７に記載の合着機チャンバ
    ーのガス温度調節装置。
  9. 【請求項９】 前記ガスはＮ２ガスであることを特徴と
    する請求項１に記載の合着機チャンバーのガス温度調節
    装置。
  10. 【請求項１０】 合着機チャンバー内に液晶表示素子の
    第１基板と第２基板とを挿入する段階と、 前記合着機チャンバーを真空にする段階と、 前記合着機チャンバー内を真空にした後に、前記第１基
    板と第２基板とを合着する段階と、 前記第１基板と第２基板とを合着した後に、前記合着機
    チャンバー内に加熱された空気又はガスを流入させる段
    階とを含むことを特徴とする合着機チャンバーを用いた
    液晶表示素子の製造方法。
  11. 【請求項１１】 前記加熱された空気又はガスを流入さ
    せて前記合着チャンバーに連結された給気管を介して前
    記空気又はガス移動させる間に、前記空気又はガスを加
    熱することを特徴とする請求項１０に記載の合着機チャ
    ンバーを用いた液晶表示素子の製造方法。
  12. 【請求項１２】 前記給気管に加熱コイルを設けること
    を特徴とする請求項１１に記載の合着機チャンバーを用
    いた液晶表示素子の製造方法。
  13. 【請求項１３】 前記加熱コイルは前記給気管を囲むこ
    とを特徴とする請求項１２に記載の合着機チャンバーを
    用いた液晶表示素子の製造方法。
  14. 【請求項１４】 前記加熱コイルは前記給気管内部に設
    けることを特徴とする請求項１２に記載の合着機チャン
    バーを用いた液晶表示素子の製造方法。
  15. 【請求項１５】 前記空気又はガスは前記合着機チャン
    バー内に５分間以内の間だけ流れ込むことを特徴とする
    請求項１１に記載の合着機チャンバーを用いた液晶表示
    素子の製造方法。
  16. 【請求項１６】 前記加熱された空気又はガスを流入さ
    せる際に、前記空気又はガスが前記合着機チャンバーに
    設けられた給気管に流入する前に、前記空気又はガスを
    加熱することを特徴とする合着機チャンバーを用いた請
    求項１０に記載の液晶表示素子の製造方法。
  17. 【請求項１７】 前記空気又はガスは前記給気管に連結
    された加熱タンクで加熱されることを特徴とする請求項
    １６に記載の合着機チャンバーを用いた液晶表示素子の
    製造方法。
  18. 【請求項１８】 前記空気又はガスは前記合着機チャン
    バーに５分以内の間だけ流入することを特徴とする請求
    項１６に記載の合着機チャンバーを用いた液晶表示素子
    の製造方法。
  19. 【請求項１９】 前記空気又はガスは３０℃ないし１０
    ０℃で加熱されることを特徴とする請求項１０に記載の
    合着機チャンバーを用いた液晶表示素子の製造方法。
  20. 【請求項２０】 前記ガスはＮ２ガスであることを特徴
    とする請求項１０に記載の合着機チャンバーを用いた液
    晶表示素子の製造方法。
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