CN113474855A - 电感器及其制造方法 - Google Patents

Abstract

电感器(1)的制造方法具有：第1工序，在该第1工序中，准备布线(2)；第2工序，在该第2工序中，由含有磁性颗粒的磁性组合物形成磁性层(3)，磁性层(3)形成为覆盖布线(2)的中途部(10)的第2外周面(13)且布线(2)的第1端部(8)和第2端部(9)从磁性层(3)露出2mm以上且小于100mm的范围；以及第3工序，在该第3工序中，去除布线(2)的第1端部(8)和第2端部(9)。

Description

电感器及其制造方法

技术领域

本发明涉及电感器及其制造方法。

背景技术

以往已知将电感器搭载于电子设备等，作为电压转换构件等的无源元件使用。

作为这样的电感器，例如提出了如下一种电感器，其具有铜等的内部导体、和埋设该内部导体并且由磁性体材料构成的基片主体部(例如参照下述专利文献1)。在专利文献1的电感器中，内部导体的两端面与基片主体部的两端面分别齐平地形成。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平10-144526号公报

发明内容

发明要解决的问题

然而，在电感器中，在搭载于电子设备之前，需要使探测器(检查用端子)等与内部导体的两端面相接触，实施电感器的电感等磁性特性的评价和/或内部导体有无导通等的检查。

但是，在专利文献1的电感器中，由于至少内部导体的一端面和基片主体部的一端面分别齐平地形成，因此，难以使探测器直接与内部导体的一端面相接触，因此，存在无法实施上述的评价和检查这样的不良。

另外，即使能够使探测器与内部导体的一端面相接触，探测器与内部导体的电连接也容易不良，因此，存在上述的评价和检查不可靠这样的不良。

另一方面，也有希望以低成本制造电感这样的要求。

本发明提供一种能够容易且可靠地实施磁性特性的评价和布线的导通检查并且能够以低成本制造电感器的电感器及其制造方法。

用于解决问题的方案

本发明(1)包括一种电感器的制造方法，其中，该电感器的制造方法具有：第1工序，在该第1工序中，准备布线；第2工序，在该第2工序中，由含有磁性颗粒的磁性组合物形成磁性层，该磁性层形成为覆盖所述布线的中途部的外周面且所述布线的端部从所述磁性层露出2mm以上且小于100mm的范围；以及第3工序，在该第3工序中，去除所述布线的所述端部。

在该电感器的制造方法中，在第2工序中，以布线的端部从磁性层露出2mm以上的方式形成磁性层，因此，之后能够容易地使端子与布线的端部相接触，端子与布线的电连接可靠。因此，能够容易且可靠地实施磁性特性的评价和布线的导通检查。

另外，在第2工序中，以布线的端部从磁性层露出小于100mm的方式形成磁性层，在第3工序中，去除布线的端部，因此，能够将去除的端部的长度抑制在小于100mm的范围内。因此，能够抑制被去除的布线量，结果是能够以低成本制造电感器。

因此，根据该制造方法，能够容易且可靠地实施磁性特性的评价和布线的导通检查，并且能够以低成本制造电感器。

本发明(2)包括(1)所述的电感器的制造方法，其中，所述布线在所述电感器的厚度方向上的长度为1000μm以下。

布线在电感器的厚度方向上的长度为1000μm以下这样短，因此，能够制造薄型的电感器。

另一方面，在制造薄型的电感器的方法中，若像专利文献1的电感器那样，使布线的端面和磁性层的端面齐平，则之后使端子相对于端部的接触更加困难。

但是，如上所述，在第2工序中，以布线的端部从磁性层露出2mm以上的范围的方式形成磁性层，因此，即使在布线在电感器的厚度方向上的长度为1000μm以下这样短的情况下，也能够在之后容易地使端子与布线的端部相接触。

因此，端子能够容易地与布线的端部相接触，并且能够制造薄型的电感器。

本发明(3)包括(1)或(2)所述的电感器的制造方法，其中，在所述第2工序中，所述布线的两端部从所述磁性层露出。

在第2工序中，布线的两端部从磁性层暴露，因此，在第2工序后，能够容易地使两个端子各自与布线的两端部分别相接触，两个端子与布线的电连接可靠。

本发明(4)包括(1)～(3)中任一项所述的电感器的制造方法，其中，在所述第1工序中，准备所述布线，该布线具有导线和覆盖所述导线的外周面的绝缘层，该电感器的制造方法还具有第4工序，该第4工序在所述第2工序之后且在所述第3工序之前，在所述布线的所述端部处使所述导线从所述绝缘层暴露。

在第1工序中，准备布线，该布线具有导线和覆盖导线的外周面的绝缘层，因此，能够利用绝缘层来抑制导线与磁性层之间的短路。

另外，在第4工序中，在布线的端部处使导线从绝缘层暴露，因此，能够容易地使端子与布线的端部处的导线接触，端子与导线的电连接可靠。

本发明(5)包括一种电感器，其中，该电感器具有：多个布线；以及磁性层，该磁性层覆盖所述多个布线各自的中途部，所述磁性层含有磁性颗粒，所述多个布线各自的端部从所述磁性层露出2mm以上且小于100mm的范围。

在该电感器中，多个布线各自的端部从磁性层露出2mm以上。因此，能够容易地使端子与布线的端部相接触，端子与布线的电连接可靠。因此，能够容易且可靠地实施电感器等的磁性特性的评价和布线的导通检查。

另外，多个布线各自的端部从磁性层露出小于100mm的范围，因此，以去除端部的方式使电感器与多个布线分别对应地单片化来制造电感器，能够抑制被去除的布线量，结果是能够以低成本制造多个电感器。

发明的效果

根据本发明的电感器及其制造方法，能够容易且可靠地实施磁性特性的评价和布线的导通检查，并且能够以低成本制造电感器。

附图说明

图1中的图1A～图1D表示本发明的电感器的制造方法的第1实施方式的制造工序图。图1A～图1B表示第1工序，图1A表示俯视图，图1B表示图1A的向视的主视图。图1C～图1D表示第2工序，图1C表示俯视图，图1D表示主视图。

图2接着图1D，表示第1实施方式的制造工序图。图2E～图2F表示第4工序和评价检查工序，图2E表示俯视图，图2F表示主视图。图2G～图2H表示第3工序，图2G表示电感器的俯视图，图2H表示电感器的主视图。

图3表示在图1A～图2H中示出的第1实施方式的制造方法的流程图。

图4中的图4A～图4C是在图1C～图1D中示出的第2工序的详细的工序立体图的一个例子，图4A表示准备布线和第1磁性片的工序，图4B表示将第1磁性片压制于布线的工序和准备第2磁性片和第3磁性片的工序，图4C表示将第2磁性片和第3磁性片压制于第1磁性片和布线来形成磁性片的工序。

图5表示对在图2E～图2F中示出的评价检查工序进行说明的立体图。

图6表示对在图5中示出的第1实施方式的评价检查工序的变形例进行说明的立体图。

图7表示在图1C和图1D中示出的第1实施方式的电感器的变形例的立体图。

图8表示在图2G中示出的第1实施方式的第3工序的变形例的电感器和电感器的俯视图。

图9表示在图2G中示出的第1实施方式的第3工序的变形例的电感器和电感器的俯视图。

图10表示在图2G中示出的第1实施方式的第3工序的变形例的电感器和电感器的俯视图。

图11中的图11A～图11B是在图2G中示出的第1实施方式的第3工序的变形例的俯视图，图11A表示不切断磁性层而是切断布线的变形例，图11B表示切断磁性层和布线的变形例。

图12表示对本发明的电感器的制造方法的第2实施方式的第3工序进行说明的俯视图。

图13表示对本发明的电感器的制造方法的第3实施方式的第3工序进行说明的俯视图。

具体实施方式

参照图1A～图5，说明本发明的电感器的制造方法和通过该方法得到的电感器的第1实施方式。

＜第1实施方式＞

如图1A～图2H所示，在电感器1的制造方法中，制造具有多个布线2和覆盖该多个布线2的磁性层3的电感器30，然后，由电感器30制造多个电感器1。

具体而言，电感器1的制造方法具有：第1工序，在该第1工序中，准备布线2；第2工序，在该第2工序中，以覆盖布线2的中途部10且布线2的第1端部8和第2端部9从磁性层3暴露的方式形成该磁性层3；以及第3工序，在该第3工序中，去除布线2的第1端部8和第2端部9。在该制造方法中，如图3所示，依次实施第1工序、第2工序以及第3工序。

另外，该制造方法还具有：第4工序，该第4工序在第2工序之后且在第3工序之前，在布线2的第1端部8和第2端部9处使导线6从绝缘层7暴露；以及评价检查工序，该评价检查工序在第4工序之后且在第3工序之前，实施多个电感器1的电感的评价和多个布线2的导通检查。即，在该制造方法中，如图3所示，依次实施第1工序、第2工序、第4工序、评价检查工序以及第3工序。

如图1A～图1B所示，在第1工序中，准备多个布线2。多个布线2例如具有第1布线4和第2布线5。

第1布线4具有导线6和覆盖该导线6的绝缘层7。

导线6在电的流动的方向上较长地延伸，例如具有俯视呈大致字母U字的形状。具体而言，在第1工序中，通过将第1布线4以俯视呈大致字母U字的形状载置于未图示的水平台，从而导线6具有上述的俯视形状。导线6具有与第1布线4共有中心轴线的、剖视时呈大致圆形的形状。

导线6的材料例如是铜、银、金、铝、镍以及它们的合金等金属导体，优选地举出铜。导线6既可以是单层构造，也可以是在芯导体(例如铜)的表面进行镀敷(例如镀镍)等而成的多层构造。

导线6的半径R1为从导线6的中心至第1外周面12的距离，例如是25μm以上，优选为50μm以上，另外，例如是2000μm以下，优选为250μm以下。

绝缘层7是用于保护导线6不受化学药品、水的影响并且防止导线6短路的层。绝缘层7配置为，覆盖作为导线6的外周面的一个例子的第1外周面12的整个面。

绝缘层7具有与第1布线4共有中心轴线(中心)的、剖视时呈大致圆环的形状。

作为绝缘层7的材料，能够举出例如聚乙烯醇缩甲醛、聚酯、聚酯酰亚胺、聚酰胺(包含尼龙)、聚酰亚胺、聚酰胺酰亚胺、聚氨酯等绝缘性树脂。这些材料既可以单独使用1种，也可以组合使用两种以上。绝缘层7既可以由单层构成，也可以由多个层构成。

绝缘层7的厚度T1为从导线6的第1外周面12至作为第1布线4(布线2)的外周面的一个例子的第2外周面13的距离，在圆周方向上的任意位置，该绝缘层7的厚度T1都在布线2的径向上大致均匀，例如是1μm以上，优选为3μm以上，另外，例如是100μm以下，优选为50μm以下。

第1布线4的半径R2为上述的导线6的半径R1和绝缘层7的厚度T1的总和(R1+T1)，具体而言，第1布线4的半径R2为从第1布线4的中心至第2外周面13的长度R2。第1布线4的半径R2例如是25μm以上，优选为50μm以上，另外，例如是2000μm以下，优选为250μm以下，更优选为200μm以下，进一步优选为150μm以下。

第1布线4的直径D(相当于第1布线4在电感器1中的厚度)为上述的第1布线4的半径R2的2倍(2×R2)，具体而言，例如是50μm以上，优选为100μm以上，另外，例如是4000μm以下，优选为1000μm以下，更优选为500μm以下，进一步优选为400μm以下，尤其优选为300μm以下。

第1布线4的半径R2和/或直径D只要为上述的下限以上，则能够得到优异的电感。第1布线4的半径和/或直径只要为上述的上限以下，则能够得到薄型的电感器1。

如图1A所示，另外，该第1布线4一体地具有配置于电流的流动方向两侧端部的第1端部8和第2端部9、以及位于它们的流动方向中途(它们之间)的中途部10。

第1端部8和第2端部9例如被用作后述的评价检查工序中的电触点(端子部)。

中途部10将第1端部8和第2端部9在流动方向上连结起来。中途部10在电流的流动方向中央具有弯曲部11，该弯曲部11具有例如俯视呈大致半圆弧的形状。

另外，中途部10具有与第1端部8相连结(连续)的第1连结部19和与第2端部9相连结(连续)的第2连结部29。

第1连结部19在俯视时与第1端部8配置和形成于一直线上。另外，第1连结部19，在沿着电的流动方向的剖面中，与第1端部8配置和形成于一直线上，对此未在图1A～图1B中画出。第1连结部19的一端与第1端部8相连接，第1连结部19的另一端与弯曲部11的一端相连接。

第2连结部29在俯视时与第2端部9配置和形成于一直线上。另外，第2连结部29在沿着电的流动方向的剖面中，与第2端部9配置和形成于一直线上，对此未在图1A～图1B中画出。第2连结部29的一端与第2端部9相连接，第2连结部29的另一端与弯曲部11的另一端相连接。

中途部10为在布线2中除去第1端部8和第2端部9之外的所有部分。另外，中途部10在多个布线2的每一个布线中，其平面面积例如是60％以上，优选为80％以上，另外，例如是99％以下，优选为95％以下。

第1端部8和第2端部9的剖视时(或者主视时)的中心间距离L2例如为20μm以上，优选为50μm以上，另外，例如是3000μm以下，优选为2000μm以下。

第2布线5与第1布线4为同一形状，第2布线5具有与第1布线4相同的结构和材料。

第1布线4的第2端部9与第2布线5的第1端部8的中心间距离L1例如是20μm以上，优选为50μm以上，另外，例如是3000μm以下，优选为2000μm以下。

如图1C～图1D所示，在第2工序中，以覆盖布线2的中途部10的第2外周面13且使布线2的第1端部8和第2端部9暴露的方式形成磁性层3。

在第2工序中，由含有磁性颗粒的磁性组合物形成磁性层3。具体而言，磁性组合物含有磁性颗粒和粘结剂。

作为构成磁性颗粒的磁性材料，能够举出例如软磁性体、硬磁性体。从电感的观点来看，优选地举出软磁性体。

作为软磁性体，能够举出例如以纯物质的状态含有1种金属元素的单一金属体、例如1种以上的金属元素(第1金属元素)与1种以上的金属元素(第2金属元素)和/或非金属元素(碳、氮、硅、磷等)的共融体(混合物)即合金体。这些材料能够单独使用或者组合使用。

作为单一金属体，能够举出例如仅由1种金属元素(第1金属元素)构成的金属单体。作为第1金属元素，能够从例如铁(Fe)、钴(Co)、镍(Ni)、以及其他能够作为软磁性体的第1金属元素而含有的金属元素之中进行适当选择。

另外，作为单一金属体，能够举出例如包括仅含有1种金属元素的芯和含有修饰该芯的表面的局部或全部的无机物和/或有机物的表面层的形态、例如含有第1金属元素的有机金属化合物、无机金属化合物分解(热分解等)后的形态等。作为后者的形态，更具体而言，能够举出含有铁作为第1金属元素的有机铁化合物(具体为羰基铁)热分解后的铁粉(有时称作羰基铁粉)等。此外，包括对仅含有1种金属元素的部分进行修饰的无机物和/或有机物的层的位置并不限定于上述那样的表面。此外，作为能够得到单一金属体的有机金属化合物、无机金属化合物，并没有特别限制，而是能够从能够得到软磁性体的单一金属体的公知或者惯用的有机金属化合物、无机金属化合物中适当选择。

合金体为1种以上的金属元素(第1金属元素)和1种以上的金属元素(第2金属元素)和/或非金属元素(碳、氮、硅、磷等)的共融体，只要能够作为软磁性体的合金体使用，则没有特别限制。

第1金属元素为合金体中的必要元素，能够举出例如铁(Fe)、钴(Co)、镍(Ni)等。此外，若第1金属元素为Fe，则合金体为Fe系合金，若第1金属元素为Co，则合金体为Co系合金，若第1金属元素为Ni，则合金体为Ni系合金。

第2金属元素是辅助性地在合金体中含有的元素(辅助成分)，且是与第1金属元素相容(共融)的金属元素，能够举出例如铁(Fe)(在第1金属元素是除Fe之外的元素的情况下)、钴(Co)(在第1金属元素是除Co之外的元素的情况下)、镍(Ni)(在第1金属元素是除Ni之外的元素的情况下)、铬(Cr)、铝(Al)、硅(Si)、铜(Cu)、银(Ag)、锰(Mn)、钙(Ca)、钡(Ba)、钛(Ti)、锆(Zr)、铪(Hf)、钒(V)、铌(Nb)、钽(Ta)、钼(Mo)、钨(W)、钌(Ru)、铑(Rh)、锌(Zn)、镓(Ga)、铟(In)、锗(Ge)、锡(Sn)、铅(Pb)、钪(Sc)、钇(Y)、锶(Sr)、各种稀土元素等。这些元素能够单独使用，或者组合两种以上使用。

非金属元素是辅助性地在合金体中含有的元素(辅助成分)，且是与第1金属元素相容(共融)的非金属元素，能够举出例如硼(B)、碳(C)、氮(N)、硅(Si)、磷(P)、硫(S)等。这些元素能够单独使用，或者组合两种以上使用。

作为合金体的一个例子的Fe系合金，能够举出例如磁性不锈钢(Fe-Cr-Al-Si合金)(包括电磁不锈钢)、铁硅铝(Fe-Si-Al合金)(包括超级铁硅铝)、坡莫合金(Fe-Ni合金)、Fe-Ni-Mo合金、Fe-Ni-Mo-Cu合金、Fe-Ni-Co合金、Fe-Cr合金、Fe-Cr-Al合金、Fe-Ni-Cr合金、Fe-Ni-Cr-Si合金、铜硅合金(Fe-Cu-Si合金)、Fe-Si合金、Fe-Si-B(-Cu-Nb)合金、Fe-B-Si-Cr合金、Fe-Si-Cr-Ni合金、Fe-Si-Cr合金、Fe-Si-Al-Ni-Cr合金、Fe-Ni-Si-Co合金、Fe-N合金、Fe-C合金、Fe-B合金、Fe-P合金、铁素体(包括不锈钢系铁素体、以及Mn-Mg系铁素体、Mn-Zn系铁素体、Ni-Zn系铁素体、Ni-Zn-Cu系铁素体、Cu-Zn系铁素体、Cu-Mg-Zn系铁素体等软磁铁素体)、珀明德铁钻系合金(Fe-Co合金)、Fe-Co-V合金、Fe基非晶合金等。

作为合金体的一个例子的Co系合金，能够举出例如Co-Ta-Zr、钴(Co)基非晶合金等。

作为合金体的一个例子的Ni系合金，能够举出例如Ni-Cr合金等。

在这些软磁性体中，从磁特性这一点来看，优选地举出合金体，更优选地举出Fe系合金，进一步优选地举出铁硅铝(Fe-Si-Al合金)。另外，作为软磁性体，优选地举出单一金属体，更优选地举出以纯物质的状态含有铁元素的单一金属体，进一步优选地举出铁单体或铁粉(羰基铁粉)。

磁性颗粒在磁性组合物中的体积比例例如是40体积％以上，优选为50体积％以上，更优选为60体积％以上，另外，例如是95体积％以下，优选为90体积％以下。

作为磁性颗粒的形状，没有特别限定，能够举出例如扁平状(板状)、针状等各向异性形状，另外，能够举出例如球状等非各向异性形状等，从取向性的观点来看，能够举出各向异性形状，从相对磁导率在面方向(二维)上良好的观点来看，更优选地举出扁平状。

扁平状的磁性颗粒的扁平率(扁平度)例如是8以上，优选为15以上，另外，例如是500以下，优选为450以下。例如将扁平状的磁性颗粒的平均粒径(平均长度)(后述)除以扁平状的磁性颗粒的平均厚度得到的长宽比作为扁平率来计算。

扁平状的磁性颗粒的平均粒径(平均长度)例如是3.5μm以上，优选为10μm以上，另外，例如是200μm以下，优选为150μm以下。若扁平状的磁性颗粒为扁平状，则其平均厚度例如是0.1μm以上，优选为0.2μm以上，另外，例如是3.0μm以下，优选为2.5μm以下。

此外，非各向异性的磁性颗粒的平均粒径例如是0.1μm以上，优选为0.5μm以上，另外，例如是200μm以下，优选为150μm以下。

作为粘结剂，能够举出例如树脂，作为这样的树脂，能够举出例如环氧树脂、酚醛树脂等热固化性树脂，例如丙烯酸树脂等热塑性树脂。这些材料能够单独使用或者组合使用。

优选地举出组合使用热固化性树脂和热塑性树脂，更优选地举出组合使用丙烯酸树脂、环氧树脂以及酚醛树脂。

此外，根据需要，也能够在磁性组合物中添加热固化催化剂、无机颗粒(除了磁性颗粒)、有机颗粒、交联剂等添加剂。

粘结剂和添加剂在磁性组合物中的比例为除了上述的磁性颗粒在磁性组合物中所占的比例以外的剩余部分。

磁性组合物的详细说明例如记载在日本特开2014-165363号公报等中。

在第2工序中，首先，由上述的磁性组合物制成例如大致矩形片形状的磁性片20。此外，该磁性片20具有在厚度方向上相对且彼此平行的、平坦的一面和另一面。磁性片20优选为首先调制磁性组合物的清漆，将该清漆涂布于未图示的剥离片，调制A阶片，接着，对其进行加热，调制为B阶片。

接着，利用磁性片20覆盖多个布线2各自的中途部10(包含弯曲部11的中途部10)的第2外周面13。优选的是，在B阶片的磁性片20中埋设多个布线2各自的中途部10。或者在B阶片的磁性片20中埋入多个布线2各自的中途部10。埋设有中途部10的磁性片20形成磁性层3。

详细地说，在第2工序中，如图4A～图4B所示，准备(制成)分别独立地具备第1磁性片21、第2磁性片22以及第3磁性片23的磁性片20。第1磁性片21、第2磁性片22以及第3磁性片23各自的俯视形状与上述的磁性片20相同。另外，第1磁性片21、第2磁性片22以及第3磁性片23的俯视尺寸彼此相同。

如图4A所示，另外将多个布线2以上述的配置载置于未图示的水平台。具体而言，多个布线2各自的第1端部8和第2端部9配置为，在沿它们的相邻方向投影时重叠。

如图4B所示，接着，利用第1磁性片21(优选为B阶的第1磁性片21)覆盖多个布线2各自的中途部10。详细地说，将第1磁性片21从厚度方向一侧朝向中途部10压制。由此，中途部10的第2外周面13(中的厚度方向另一端缘以外)的整个面由第1磁性片21覆盖。此外，压制后的第1磁性片21在磁性组合物含有热固化性树脂的情况下，例如还是B阶。

在第1磁性片21中，在主视(或者剖视)时，其厚度方向一面具有与布线2对应的弯曲面。

如图4C所示，接着，在中途部10和第1磁性片21的厚度方向一侧和另一侧分别配置第2磁性片22和第3磁性片23(在磁性组合物含有热固化性树脂的情况下，优选为B阶的各第2磁性片22和第3磁性片23)，将第2磁性片22和第3磁性片23相对于中途部10和第1磁性片21压制。此外，压制后的第2磁性片22和第3磁性片23在磁性组合物含有热固化性树脂的情况下，例如均还是B阶。

由此，以覆盖多个布线2的第2外周面13的方式来形成磁性片20，该磁性片20从厚度方向一侧朝向另一侧依次具备第2磁性片22、第1磁性片21以及第3磁性片23。此外，如图4C所示，明确地画出了第2磁性片22、第1磁性片21以及第3磁性片23的边界，但是，例如在第2磁性片22、第1磁性片21以及第3磁性片23的层叠片即磁性片20中，也可以使它们的边界不明显，更具体而言，如图1D所示，也可以确认不出边界。

磁性片20的厚度方向一面具有平坦面。

另一方面，多个布线2各自的第1端部8和第2端部9从磁性片20露出。具体而言，第1端部8和第2端部9从磁性片20的4个周端面中的一端面(前端面)16突出。

而且，如图1C所示，从磁性片20露出的第1端部8和第2端部9各自的长度L处于2mm以上且小于100mm的范围内。

若长度L小于2mm，则如图2E和图5所示，在评价检查工序(后述)中，无法容易地使端子25(后述)与布线2的第1端部8和第2端部9相接触，端子25和布线2的电连接不可靠。因此，无法容易且可靠地实施电感器1的磁性特性的评价和布线2的导通检查。

另一方面，若长度L为100mm以上，则如图2G所示，在第3工序(后述)中，若考虑去除布线2的第1端部8和第2端部9，则无法将去除的第1端部8和第2端部9的长度L抑制在小于100mm的范围内。因此，无法抑制去除的布线量，因此，布线2的成品率降低，结果是无法以低成本制造电感器1。

详细地说，长度L的范围优选为3mm以上，更优选为4mm以上，进一步优选为5mm以上，更进一步优选为10mm以上，另外，优选为99mm以下，更优选为95mm以下，进一步优选为75mm以下，尤其优选为50mm以下，最优选为40mm以下，还优选为25mm以下。

然后，若磁性片20还是B阶，则使之C阶化。

如图1C～图1D所示，由此，将由磁性片20构成的磁性层3形成为，使多个布线2各自的第1端部8和第2端部9露出并且覆盖多个布线2各自的中途部10。

在该第2工序中，得到具有多个布线2和覆盖多个布线2各自的中途部10的磁性层3的电感器30。在该电感器30中，磁性层2含有磁性颗粒，多个布线2各自的第1端部8和第2端部9在2mm以上且小于100mm的范围内从磁性层3向与磁性层3的厚度方向正交的方向露出。

如图2G和图2H所示，该电感器30为用于得到后述的电感器1的集合体片，而不是电感器1本身，除了包含多个电感器1之外，还包含第1端部8和第2端部9。电感器30为单独流通且能够在产业中利用的装置。

电感器30的厚度与磁性层3的厚度相同，具体而言，例如是5000μm以下，优选为1000μm以下，另外，例如是100μm以上。

如图2F所示，在第4工序中，在多个布线2各自的第1端部8和第2端部9，使导线6从绝缘层7暴露。

例如，通过从厚度方向一侧照射激光的激光处理等，在第1端部8和第2端部9，去除绝缘层7的与导线6的第1外周面12的厚度方向一端部相对的部分，使导线6的第1外周面12的厚度方向一端部从绝缘层7暴露。

或者也能够通过研磨使导线6的第1外周面12的厚度方向一端部从绝缘层7暴露。

在评价检查工序中，例如实施多个电感器1的电感的评价和多个布线2的导通检查。

具体而言，将1对端子25配置于第1端部8和第2端部9的厚度方向一侧，使1对端子25的厚度方向另一面与在第1端部8和第2端部9处从绝缘层7暴露的导线6的第1外周面12相接触。

端子25的形状没有特别限定，能够举出例如在厚度方向另一端面具有较大的平坦面的大致圆柱形状、例如在电感器30的厚度方向上较长地延伸的针形状等，从便利性和确保与导线6的较大的接触面积的观点来看，能够举出大致圆柱形状。

端子25经由连接线(未图示)与检查装置(具体为LCR仪表、矢量网络分析仪、阻抗分析仪等)相连接。

在电感的评价中，一边对1对端子25施加微弱电流，一边测量阻抗，将该测量值代入理论公式，由此计算出由一个布线2及其周围的磁性层3决定的电感。

在布线2的导通检查中，通过测量1对端子25之间的电阻来确认布线2是否导通。

如图2G～图2H所示，在第3工序中，去除布线2的第1端部8和第2端部9。

具体而言，以与多个布线2分别对应且从第1端部8和第2端部9分离的方式切断电感器30，得到电感器1。

此时，并不是仅去除露出的第1端部8和第2端部9，而是以切除磁性层3的内侧的方式去除。

例如，以在俯视时形成比磁性层3的周端面靠内侧的第1切断线26的方式切断布线2和磁性层3，另外，以形成经过相邻的第1布线4和第2布线5之间的第2切断线27的方式切断磁性层3。上述的切断能够使用例如切割、激光处理、冲切加工等。

由此，得到多个如下的电感器1，即，该电感器1具有一个布线2和覆盖整个流动方向的第2外周面13的一个磁性层3。即，以在电感器30保留第1端部8和第2端部9的方式，将电感器1从电感器30切开(切下来)。即，以去除第1端部8和第2端部9的方式得到电感器1。此外，该电感器1优选仅具有一个布线2和一个磁性层3。

该电感器1例如具有矩形平板形状，具体而言，具有多个(4个)平坦的周端面。电感器1不包含第1端部8和第2端部9。电感器1为单独流通且能够在产业中利用的装置。

在该电感器1中的4个周端面中的一端面18中，布线2的端面和磁性层3的端面形成为齐平。

电感器1的厚度与上述的磁性层3的厚度相同。

而且，在该电感器1的制造方法中，如图1C～图1D所示，在第2工序中，以布线2的第1端部8和第2端部9从磁性层3露出2mm以上的方式形成磁性层3。因此，如图2E～图2F所示，在第2工序后的评价检查工序中，能够容易使端子25与布线2的第1端部8及第2端部9相接触，端子25和布线2的电连接可靠。因此，能够容易且可靠地实施电感器1和电感器30的电感的评价以及布线2的导通检查。

详细地说，由于布线2的第1端部8和第2端部9从磁性层3露出2mm以上，因此，能够使具有各种形状的端子25与导线6相接触，如图2F和图5所示，例如，厚度方向另一端(顶端)锐利的针形状的端子25(实线)当然能够与导线6相接触，大致圆柱形状的端子25(假想线)也能够与导线6相接触。因而，不论端子25的形状和/或尺寸等如何，都能够容易且可靠地实现端子25与布线2接触。即，能够使用的端子25的自由度较高，因此，容易利用端子25进行检查和评价。

相反，在布线2的第1端部8和第2端部9从磁性层3露出小于2mm的情况下，能够使针形状的端子25(实线)与导线6相接触，但是使大致圆柱形状的端子25(假想线)与导线6相接触却很困难。

另外，如图1C～图1D所示，在第2工序中，以布线2的第1端部8和第2端部9从磁性层3露出小于100mm的方式形成磁性层3，如图2G～图2H所示，在第3工序中，去除布线2的第1端部8和第2端部9，因此，能够将去除的第1端部8和第2端部9的长度L抑制在小于100mm的范围内。因此，能够抑制布线2被去除的量(或长度)，因此，布线2的成品率优异，结果是能够以低成本制造电感器1。

因而，根据该制造方法，能够容易且可靠地实施电感器1的电感的评价和布线2的导通检查，并且能够以低成本制造电感器1。

另外，在该制造方法中，在布线2的直径D为1000μm以下这样小的情况下，能够制造薄型的电感器1。

另一方面，在制造薄型的电感器1的方法中，如专利文献1的电感器那样，若布线2的端面和磁性层3的一端面16齐平，则之后端子25与布线2的端面的接触更加困难。

但是，在该第1实施方式中，如上所述，在第2工序中，以布线2的第1端部8和第2端部9从磁性层3露出2mm以上的范围的方式形成磁性层3，因此，即使在布线2的直径D为500μm以下这样小的情况下，之后也能够容易地使端子25与第1端部8及第2端部9相接触。

因此，端子25能够容易地与布线2的第1端部8及第2端部9相接触，并且能够制造薄型的电感器1。

另外，如图1C所示，在该第1实施方式的第2工序中，由于布线2的第1端部8和第2端部9从磁性层3露出，因此，在第2工序之后，在图2E所示的评价检查工序中，能够容易地使两个端子25各自与布线2的第1端部8和第2端部9分别接触，两个端子25与布线2的电连接可靠。

如图1B所示，在该第1实施方式的第1工序中，即使准备具有导线6和覆盖导线6的第1外周面12的绝缘层7的布线2，由于如图2F和图5所示，在第4工序中，在布线2的第1端部8和第2端部9处使导线6从绝缘层7暴露，因此，也能够容易地使端子25与布线2的第1端部8和第2端部9处的导线6相接触，端子25和导线6的电连接可靠。

在如图1C～图1D所示的第1实施方式的电感器30中，多个布线2各自的第1端部8和第2端部9从磁性层3露出2mm以上。因此，如图2E～图2F所示，能够容易地使端子25与布线2的第1端部8及第2端部9相接触，端子25与布线2的电连接可靠。因此，能够容易且可靠地实施电感器1的电感的评价和布线2的导通检查。

另外，由于多个布线2各自的第1端部8和第2端部9从磁性层3露出小于100mm的范围，因此，即使以去除第1端部8和第2端部9的方式使电感器30与多个布线2分别对应地单片化来制造电感器1，也能够抑制被去除的布线量，结果是能够以低成本制造多个电感器1。

变形例

在以下的各变形例中，对于与上述的第1实施方式相同的构件和工序，标注相同的参照附图标记，省略其详细的说明。另外，各变形例除了特别说明的内容之外，能够起到与第1实施方式相同的作用效果。并且，能够适当地组合第1实施方式和变形例。

如图2E和图5所示，在第1实施方式的第4工序中，在第1端部8和第2端部9，去除绝缘层7的与导线6的第1外周面12的厚度方向一端部相对的部分，使导线6的第1外周面12的厚度方向一端部从绝缘层7暴露。

如图6所示，在该变形例中，也能够去除绝缘层7的与导线6的整个第1外周面12相对的部分，使导线6的整个第1外周面12从绝缘层7暴露。

即，在第4工序中，能够去除第1端部8和第2端部9处的全部绝缘层7。

另外，如图1C所示，在第1实施方式中，在第2工序(电感器30)中，使第1端部8和第2端部9这两者从磁性层3露出。但是，也能够仅使第1端部8和第2端部9中的任意一者从磁性层3露出，对此未图示。

如图5所示，布线2的剖视形状(或者第1端部8和第2端部9的主视形状)为大致圆形，但在变形例中，如图7所示为大致矩形。具体而言，在电感器30中，第1端部8和第2端部9均具有大致箱形。

该变形例的布线2的厚度T2与第1实施方式中的布线2的直径D相同。

此外，在该变形例中，剖视时的布线2的角部(例如由厚度方向一面和相邻方向(第1布线4和第2布线5相邻的方向)两外侧面形成的角部)例如还能够具有弯曲形状。

另外，如图4A～图4C所示，在第1实施方式中，使磁性层3形成为3个磁性片(第1磁性片21、第2磁性片22以及第3磁性片23)的层叠片，但其数量并不限定于此，也可以是1个、两个或者4个以上。

另外，在第1实施方式的第2工序中，利用形成为片形状的磁性片20(磁性层3)覆盖布线2，但例如也能够将磁性组合物的清漆涂布于布线2，然后使磁性组合物形成为片形状来形成磁性层3。

如图2G所示，在一实施方式的第3工序中，将布线2中的埋设于磁性层3的中途部10切断。即，以形成第1切断线26的方式切断电感器30。

但是，在该变形例中，如图8所示，也能够将布线2中的未埋设于磁性层3的部分(具体为布线2和中途部10的边界部分)切断。以形成沿着电感器30的端面的第3切断线28的方式切断布线2。

如图2G所示，在一实施方式的第3工序中，以使多个布线2单片化即形成第2切断线27的方式切断磁性层3。

如图9所示，在变形例中，以不使多个布线2单片化即不形成第2切断线27的方式切断磁性层3。通过第3工序得到的电感器1具有多个布线2。

在图9的变形例中，切断磁性层3和布线2。

但是，在变形例中，如图10所示，也能够不切断磁性层3而仅切断布线2。以形成第3切断线28的方式切断布线2。

在一实施方式中，如图1C所示，制成具有多个布线2的电感器30。

但是，如图11A和图11B所示，在变形例中，能够制成具有一个布线2的电感器准备片15。

如图11A所示，在第3工序中，以形成第1切断线26的方式切断布线2和磁性层3。

或者如图11B所示，在第3工序中，以形成第3切断线28的方式切断布线2。

在一实施方式的评价检查工序中，实施了电感器1的电感的评价和布线2的导通检查这两者，但也可以实施其中任意一者。

另外，磁性层3中的磁性颗粒的比例既可以在磁性层3中均匀，另外，也可以随着远离各布线2而变高或变低。为了制造磁性层3中的磁性颗粒的比例随着远离布线2而变高的电感器1，例如，如图4B所示，将第2磁性片22中的磁性颗粒的存在比例和第3磁性片23中的磁性颗粒的存在比例设定为比第1磁性片21中的磁性颗粒的存在比例高。

＜第2实施方式＞

在以下的第2实施方式中，对于与上述的第1实施方式及其变形例相同的构件和工序，标注相同的参照附图标记，省略其详细的说明。另外，第2实施方式除了特殊记载的内容之外，能够起到与第1实施方式及其变形例相同的作用效果。并且，能够适当地组合第1实施方式、其变形例以及第2实施方式。

在第1实施方式中，在图1A中示出并且在第1工序中准备的布线2(参照图1A)和在图1C中示出并且在第2工序中制成的电感器30(图1C)的布线2具有俯视时呈大致字母U字的形状。

但是，布线2的俯视形状并不限定于上述形状。

例如，如图12所示，在第2实施方式中，上述的布线2具有俯视大致曲折的形状。

布线2的中途部10也具有俯视大致曲折的形状，更具体而言，具有在俯视时弯折的弯曲部14。弯曲部14在中途部10中在电的流动方向上彼此隔有间隔地配置有多个。

在电感器30中，第1端部8和第2端部9分别从磁性层3的4个周端面中的、彼此隔有间隔地相对的一端面(前端面)16和另一端面(后端面)17露出。

＜第3实施方式＞

在以下的第3实施方式中，对于与上述的第1实施方式、其变形例以及第2实施方式相同的构件和工序，标注相同的参照附图标记，省略其详细的说明。另外，第3实施方式除了特殊记载的内容之外，能够起到与第1实施方式、其变形例以及第2实施方式相同的作用效果。并且，能够适当地组合第1实施方式、其变形例、第2实施方式以及第3实施方式。

如图1C所示，在第1实施方式中，在电感器30中，中途部10的流动方向上的全部埋设于磁性层3。

如图13所示，在第3实施方式中，也能够使中途部10的流动方向上的局部从磁性层3露出。

具体而言，在电感器30中，使在中途部10(布线2)中相当于流动方向大致中央部18的弯曲部11从磁性层3的另一端面17露出。

在评价检查工序中，不使端子25与弯曲部11相接触，而是使端子25与第1端部8及第2端部9相接触。

在第3工序中，去除第1端部8和第2端部9，另一方面，以保留弯曲部11的方式切断布线2和磁性层3。即，在电感器1中附带有弯曲部11。

由此，得到了具有磁性层3和布线2的电感器1，该布线2具有从磁性层3露出的弯曲部11和埋设于磁性层3的部分(在中途部10中除了弯曲部11之外的部分)。

[实施例]

以下示出实施例和比较例，进一步具体地说明本发明。此外，本发明并不限定于任何实施例和比较例。另外，在以下的记载中使用的调配比例(含有比例)、物理性质值、参数等具体的数值能够替代为，在上述的“具体实施方式”中记载的与它们相对应的调配比例(含有比例)、物理性质值、参数等相应记载的上限(定义为“以下”、“小于”的数值)或下限(定义为“以上”、“超过”的数值)。

实施例1

如图1A～图1D所示，依次实施第1工序和第2工序，得到了图1C和图1D所示的电感器30。

如图1A～图1B所示，在第1工序中，准备了多个直径D为220μm(半径R2为110μm)的布线2。详细地说，准备了多个具有半径R1为100μm的导线6和厚度T1为10μm的绝缘层7的布线2，将其以俯视时呈字母U字的形状载置于未图示的水平台。

另外利用含有磁性颗粒和粘结剂的磁性片20(更具体而言，为第1磁性片21、第2磁性片22以及第3磁性片23)的层叠片(参照图4A～图4C)覆盖了导线6的中途部10。磁性片20以第1端部8和第2端部9露出的方式形成片状。

如图1C所示，第1端部8和第2端部9各自的长度L为10mm。

如图2E～图2H所示，之后，依次实施第4工序和第3工序，得到了电感器1。

实施例2～比较例2

根据表1的记载，除了变更长度L之外，与实施例1同样地进行处理，制成电感器30，接着，得到了电感器1。

[检查评价工序中的检查容易性]

根据下述的基准评价了各实施例和各比较例的制造过程中的电感器30的检查容易性。在表1中记载其结果。

○直径为5mm的针状的端子25和直径为5mm的圆柱状的端子25都能够与第1端部8及第2端部9相接触，能够测量电感器1的电感，且能够实施布线2的导通检查。

△直径为5mm的针状的端子25能够与第1端部8及第2端部9相接触，能够测量电感器1的电感，且能够实施布线2的导通检查。但是，直径为5mm的圆柱状的端子25无法与第1端部8及第2端部9相接触，无法测量电感器1的电感，另外，也无法实施布线2的导通检查。

×直径为5mm的针状的端子25和直径为5mm的圆柱状的端子25都无法与第1端部8及第2端部9相接触，无法测量电感器1的电感，另外，也无法实施布线2的导通检查。

[制造成本]

测量各实施例和各比较例的第3工序中的第1端部8和第2端部9的去除量，根据下述的基准评价了制造成本。在表1中记载其结果。

○布线2的第1端部8和第2端部9各自的长度L为40mm以下

△布线2的第1端部8和第2端部9各自的长度L超过40mm且小于100mm

×布线2的第1端部8和第2端部9各自的长度L为100mm以上

[表1]

此外，上述发明是作为本发明的例示的实施方式而提供的，但这仅仅是例示，不能进行限定性的解释。该技术领域的技术人员所能够明确的本发明的变形例包含在前述的权利要求书中。

产业上的可利用性

电感器搭载于例如电子设备等。

附图标记说明

1、电感器；2、布线；3、磁性层；6、导线；7、绝缘层；8、第1端部；9、第2端部；10、中途部；13、第2外周面；30、电感器；L、端部的长度；D、剖面呈大致圆形的布线的直径；T2、剖面呈大致矩形的布线的厚度。

Claims (5)

1.一种电感器的制造方法，其特征在于，

该电感器的制造方法具有：

第1工序，在该第1工序中，准备布线；

第2工序，在该第2工序中，由含有磁性颗粒的磁性组合物形成磁性层，该磁性层形成为覆盖所述布线的中途部的外周面且所述布线的端部从所述磁性层露出2mm以上且小于100mm的范围；以及

第3工序，在该第3工序中，去除所述布线的所述端部。

2.根据权利要求1所述的电感器的制造方法，其特征在于，

所述布线在所述电感器的厚度方向上的长度为1000μm以下。

3.根据权利要求1所述的电感器的制造方法，其特征在于，

在所述第2工序中，所述布线的两端部从所述磁性层露出。

4.根据权利要求1所述的电感器的制造方法，其特征在于，

在所述第1工序中，准备所述布线，该布线具有导线和覆盖所述导线的外周面的绝缘层，

该电感器的制造方法还具有第4工序，该第4工序在所述第2工序之后且在所述第3工序之前，在所述布线的所述端部处使所述导线从所述绝缘层暴露。

5.一种电感器，其特征在于，

该电感器具有：

多个布线；以及

磁性层，该磁性层覆盖所述多个布线各自的中途部，

所述磁性层含有磁性颗粒，

所述多个布线各自的端部从所述磁性层露出2mm以上且小于100mm的范围。

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