CN1134599A - 用于平板式显示器的环境光吸收荧光屏 - Google Patents

Abstract

一种计算机图像显示器件包括：与具有多个微尖(14)的阴极衬底(12)隔开的透光玻璃阳极板(10)；板(10)具有内表面(25)，该内表面(25)符合具有向峰(36)的尖顶(38)后收缩的相等侧面(58，59)的棱镜(36)阵列的轮廓；尖顶(38)覆盖有光吸收材料(47)，然后在阳极梳形成区(51、52、53)处的尖顶(38)上覆盖导电材料(48)，发出不同颜色的荧光物质(24a、24b、24c)加在各个阳极梳(51、52、53)上；侧面(58、59)把环境光导向尖顶以使材料(47)吸收；由荧光物质(24a、24b、24c)发出的光由谷(60)传向板(10)的外表面(35)。

Description

用于平板式显示器的环境光吸收荧光屏

本发明一般涉及图像显示器件，尤其涉及具有包含电极和阴极发光涂层的透明荧光屏的平板式显示器型图像显示器件。

平板式显示器件等图像显示器件易发生由透明荧光屏和以下的阴极发光涂层处环境光的反射引起的对比度下降和闪烁光。使用了各种结构和处理来对付这个问题，包括用作环境光散射元件的表面不平度和图案的提出，它们可将入射环境光的反射偏离开观看者的视角。在专利号为4,972,117和5,240,748的美国专利中给出了这种处理的例子。对液晶显示器(LCD_s)，有效观看者的视角往往有限，所以引起视野外反射的闪烁光散射会有一些用处；虽然，发展方向是增大有效视角。此外，虽然散射使任意给定反射角上的反射密度下降，无效光(即，不是形成图像步骤的部分的光)仍旧返回观看者。

编号为5,206,747的美国专利中揭示了一种透明光学器件，它包含并列的三棱镜阵列即插在液晶显示器彼此隔开的液晶和背面照明元件之间。棱镜底部作为孔径使入射环境光进入由棱镜侧面围成的收缩通道内。棱镜的尖顶(在′746的专利中叫做“谷底部分”)覆盖有光吸收材料。入射到棱镜底部的环境光经过多重反射传向尖顶处并由吸收材料吸收。另一方面，从背光源发出的以相反方向传播并入射到棱镜尖顶的光大致不受影响并能穿过达到观看者，或被散射，这依加到液晶的透明或散射模式而定。这里援引′746专利中的整个揭示的内容以供参考。

通过机械加工、铸造、冲压、注模、或类似不能获得尖顶的工艺来形成′746的棱镜。所以需要采用最大环境光吸收量的材料填充或覆盖断面或“切割面”，以及减小对于从另一方向传播的形成图像的背面照明的阻碍两者之中取一个折衷方案。此外，′746的棱镜的尺寸和间距是毫米数量级；于是，必须仔细地安装以防止像素行/列的中断或引入莫尔干涉图案(看′117的专利中讨论的等等)。

平板式显示器广泛用于膝上型和笔记本式计算机的图像显示屏。在这种情况下，这里使用的词“平”是指薄的(即，与常见的电子枪阴极射线管显示器相比)，而不是平面的。于是该词意味着包含薄的非平面形、曲面显示器以及薄的平面形显示器。在编号为4,857,799、5,103,144和5,225,820的美国专利中描述的叫做“场致发射显示器”(FED)型等平板式显示器具有包含阳极和阴极发光涂层的透明荧光屏。这种显示器包含一个可各自寻址发光装置的矩阵阵列。与荧光屏隔开的发射板具有多个导电条，每个导电条都具有多个用作阴极并向上伸出指向荧光屏的分离电子发射尖。导电的引出(即，栅)极装置位于靠近尖并产生和控制电子发射的发射体板上。引出极装置包括许多各自可寻址的交叉条，它们正交于阴极条并包括可使发射的电子通过的孔。

因为希望能使FED显示器以低功耗和在亮的户外光下工作，所以FED显示器对环境光反射的问题特别敏感。在FED显示器上最常用的阴极发光涂层是一层粒状荧光物质。当只有3％的入射环境光从荧光屏的玻璃-空气界面反射回来时，可由荧光物质层反射50％的环境光。这就严格限制了甚至在非黑暗室内获得有用的对比度。实际上，在通常的户外和室内照明的条件下，未点亮(“关”状态)的通常FED屏幕显出白色而不是灰或黑色。

通常FED显示器的阳极包含覆盖了荧光屏内表面的导电材料薄膜。对黑白显示器来说，阳极膜通常采用通过荧光屏的表面的连续层。对彩色显示器来说，如编号为5,225,820的美国专利，阳极分入三个电隔离梳中。每个梳包含多个覆盖有荧光颗粒连接的带或条，它们以各自不同的三原色红、蓝、绿中的一种发光。因为金属的反射特性，并且为了能通过阳极观看发光的荧光物质，通常的FED的设计需要由铟—锡—氧(ITO)等透明导电材料来形成阳极。然而这种材料的导电性弱于铝和其它通常的不透明导电材料。

通过在阳极和发射体板之间的空间中抽出并保持真空使FED显示器中不同色彩的荧光阳极条间的击穿减到最少。然而，因为跨越共用的荧光屏的光滑背面安装的分离电极沉积的共面的薄刀口线之间的表面漏电，高压下不同色彩的梳之间的电压抵消仍旧是一个问题。这种漏电是击穿的前兆。于是也需要使不同色彩的梳的邻近条之间的漏电减到最少。

本发明提供了一种用于图像显示器件的透明荧光屏，此荧光屏经过定尺寸、成形并适用于减少入射到其上的环境光的反射。

本发明还提供了一种具有一包含电极和阴极发光材料的透明荧光屏的平板式显示器件，它经过定尺寸和成形以减少入射环境光的反射率并增加极间的击穿保护。

依据本发明的一个方面，图像显示器件的阳极板具有包含由并列的棱镜阵列形成的栅格表面。此阵列用作阻碍入射到其上的环境光的反射而不会过分地与反方向传播的形成图像的光发生干涉的单向光学滤波器。在以下将更详细讨论的较佳实施例中，在精密级节距中产生一列棱镜，具有锯齿状剖面结构并且光吸收材料覆盖了的尖锐尖顶。

导电材料淀积在棱镜的尖顶上以形成电极。如荧光物质颗粒涂层等阴极发光材料淀积在电极上。适合用于FED平板式显示器的透明荧光屏的较佳实施例具有在接近锯齿状表面区域上形成的并涂有不同色彩的发射荧光的颗粒的多个电极。

依据本发明形成的透明荧光屏和显示器件同时用于提高对比度和改进邻近电极间的电压抵消。精密级形式的尖峰提供了具有减少图像干扰和极小的图案/像素组合或莫尔干涉关系的择优方向的光传播。锯齿结构使入射环境光传向尖峰处用于吸收光的收缩通道，使光远离易反射的荧光层。另一方面，由荧光物质发出的光不会受到吸收剂的阻挡而无遮拦地(并且实际上择优地指向)向观看者传播，从而增加图像对比度甚至超出单纯的去除反射光。在峰尖上形成电极增大了邻近电极条间表面导电的通路，从而增进了免除击穿的能力并使之能使用更高的电压。

为说明和描述的目的选择了本发明的实施例，它们参考附图示出，其中：

图1是本发明获得特殊用途的那种类型常用的场致发射显示(FED)器件的剖面图；

图2是依据本发明可用于图1的器件中的透明荧光屏的实施例的放大剖面图；

图3是图2的透明荧光屏改变的实施例的相似剖面图；

图4是图3中荧光屏的底视图；以及

图5A-5E是示出制造荧光屏的方法中相继各步的示意图。

所有的图中，相同的元件由相同标号指出。

依据本发明的平板式显式器件包括一阴极发光阳极显示屏10，以已知的方式与电子发射体(或阴极)背板102隔开一个真空间隙。发射体板12包括具有多个在电气绝缘衬底18上表面形成的条状导电层16上形成的导电微尖14的阴极。

引出电极22包括在用于将电极22绝缘并将它与导电层16隔开的绝缘层20上淀积的交叉条状导电层。在贯穿导电层22和绝缘层20的孔中形成的微尖14具有圆锥形状。选择微尖14、绝缘层20和导电层22的相应参数使每个微尖14的顶点基本上与层22处于同一高度。

阳极板10包括在面向引出电极22并与其平行地放置的透明(即，玻璃)衬底26上淀积的电气导电材料层28。在直接面向栅极22的衬底26的内表面25上淀积导电层28。导电层28可以形成淀积在衬底26的表面25上的连续单一电极的形式；或者，它可以形成多个电气隔离的电极梳的形式。每个梳包括淀积在衬底26的表面25上的叉指区域中的多个相联的并行导电带或条。作为举例，导电层28可以是如编号为5,225,820的美国专利中提出的铟—锡—氧(ITO)等透明材料；或者依据本发明的原理，它可以是如下更详细描述的任意透明或不透明导电材料。阳极板10也包括淀积在导电层28上的荧光涂层24，从而它直接面向并靠近引出极22。可使用电泳淀积或其它已知工艺在导电层28上加上荧光涂层24。

依据常用学说，通过由电源30对层16加一相对于引出极22为负的电势来激发一个或更多的微尖发射体14，从而引入一个能从微尖14吸引电子的电场。自由电子向阳极板10的方向加速，阳极板10通过由连在引出极22和导电层28之间的电源32加一基本上更高的正电压而被正偏。由阴极16发射及吸引至阳极28的电子的能量传递给荧光涂层24的颗粒，引起发光。电荷量从荧光涂层24传到导电极28，完成到达电源32的电路。也依据已知技术，阴极层16和栅极层22的条可以单独矩阵寻址以使相应的荧光区域的选择的像素发光，以显出对于从前面看或从板10的外表面35外的观看者33一幅可见的图像。

包含电源的显示器的整个电子电路可以集成在发射体板12中，除了含有包含在阳极板10中的阳极的导体28以外。在单个导电板28伸展至衬底26的表面25的情况下，在发射体板12和阳极板10之间需要一个电气连接。然而，当阳极包含如′820的专利中提出的以电气隔离梳形状示出的三个电极时，在发射体板12和阳极板10之间需要三个电气连接。

如图2中示出的单个阳极的实施例及图3和4中示出的多个阳极的实施例，依据本发明的原理组成透明阳极板10，使它具有一般局部平面和光滑的面向前方或外表面35和周期性波浪形面向后方或内表面25，它还具有并列的陡面的三棱镜36，具有平行延伸的尖顶38，横向或纵向地横贯于表面25的有效图像区域40(见图4)。于是，板10的内表面25提供了一并列棱镜36的栅格，此棱镜具有沿大致与外表面35平行的假想线42排列的底，以及沿与线42平行的假想线43排列的尖峰或尖顶38。每个棱镜36的顶38涂有一层炭黑材料47等光吸收材料，然后还涂有一层铝48等导电材料。

在适用于黑白显示器的图2的器件中，所有棱镜36的尖顶38都具有光吸收和导电材料47，48。然后将不同棱镜36的尖顶38上分开的覆盖有铝的部分全部连在一起以形成基本上覆盖了荧光屏10的整个内表面25的单个阳极28。由于颗粒24与电极28发生接触，因此在导电层48上加上一层荧光物质涂层24。涂层24可以是相当均匀地组成的荧光颗粒，当对阳极28加一适当的电势并由电极寻址激励时，它们就能发光。如果可获得用作光吸收剂47的适当导电材料，那么可不必使用分离的导体48。

对图3和4中适用于彩色显示器的结构，所有的尖顶38同样具有光吸收材料47。然而，导电材料只涂在聚集的并列棱镜36的选定区域51、52、53，这些区域由插入的其尖顶38未覆盖导电材料48的其它并列棱镜36的区域54来隔开。然后不同导电层组合51、52、53分别由淀积在板26内表面25边界上的有效显像区40以外的相同或不同导电材料的电气隔离条55、56、57来连接。于是连接的组合51、52、53形成三个单独地可激励的电极梳，每一个对应一原色。然后把发出三原色不同颜色的不同荧光涂层24a、24b、24c加到每个梳的组合上，以形成用于彩色图像显示器的分隔的红、绿、蓝彩色阳极带。

示意的棱镜36是具有以2α的收缩角沿指向板12内部的方向向后收缩的相等侧面58、59的等腰棱镜，这时α是关于角平分线(见图2和3)所取的半角。一般，角平分线垂直于相对的表面35的平面。选择角α使能够提供单向光传播特性，从而入射到外表面35并从前面进入板10的环境光61(图2)将向后传播，穿过底41并被后表面25的棱镜36的收缩通道所收集。另一方面，由荧光颗粒24的激发在邻近内表面25所产生的光将向前传播进入相邻棱镜36之间的谷60的共轭通道，并向前传播，穿过板10直朝着观看者33。角α可以＜30°，最好选α为10°—25°。并且，虽然建议使用等腰的结构，但对棱镜36来说也可使用非等腰三角形剖面的结构。

在表面25的显像区40中形成的锯齿状栅格的作用是通过表面35进入板10的大部分环境光61(光具有根据空气—玻璃界面处的折射率决定的范围内的入射角)将照到棱镜36的侧面58、59并被向内反射。尖锐的三角形棱镜36将引起光61的多次内部反射，向后直到尖顶38，最终它将由尖顶38处的吸收材料47所吸收。于是，棱镜36起到光收集器的作用来防止入射环境光到达并由粒状荧光物质24反射。另一方面，由荧光物质24发生的光将在棱镜侧面58、59进入有较高折射率的玻璃中并且优先地向前朝阳极板前表面25传播并穿出传向观看者33。对于由覆盖尖顶38的材料47、48而向前传播的任何阻碍都将小于由棱镜36的指向前的聚焦效应产生加强的向前方向性引起的光强增加。在两层材料47、48的方法中，通过使用不吸收不透明的导体材料48可防止由材料47吸收发射光，当照亮48时，它将未见光线64按另一种方式反射回观看者33的视野内。于是栅格表面起到单向滤波器的作用，使反射回的环境光减到最小以及从荧光物质到达观看者的光达到最强。因为入射的环境光被完全吸收，虽然荧光颗粒是大范围和颗粒状，但也可具有超出20x的对比度。

棱镜36的陡度及单向滤波现象使棱镜涂层47、48对观看者33来说没有障碍。这就使对电极28可能使用更常见和导光性更高的不透明金属材料；而不是铟—锡—氧(ITO)等导光性低的透光材料。此外，波纹状栅格表面25提供了具有位于各个红、绿、蓝阳极梳的邻近带51、52、53(见图3和4)之间的非导光区54中的多个凹坑60的不规则表面。这就增加了电极间的表面路径，从而减少了表面击穿并增大了多电极设计的阳极电压。谷60也防止散逸的导电材料48可能偶然淀积在区54中。

在玻璃阳极板10中由棱镜结构形成的线性栅格可用干涉全息技术来形成，如Zaiki等人在SPIE 2197：光/激光微晶印刷术VII(T.A.布伦纳1994年编)的第869—875页中的“多重曝光干涉测量的平板印刷术”中所描述。这种技术可生产出并具有1微米数量级的尖峰和分别相应于26°到9°之间的半角的1到3微米数量级的棱高(峰到谷的线42、43间距)的削尖棱镜。为了比较，荧光颗粒的直径典型为5—10微米，所以一个荧光颗粒将驻留在一个或更多棱镜尖顶上。这样的结构皱折很多且表面导电率大大减小并将使横向耐压达到2,000伏。

参考图5A—5E(不按比例)示意地示出形成图2或图3和4的板10的一种方法。

将透明矩形玻璃板26的内表面25均匀地涂上一层光致抗蚀剂70。用干涉全息摄影术曝光并冲洗光致抗蚀剂70，如图5A所示，以除去部分光致抗蚀剂70而留下未除去的并且由插入的间隙75隔开的纵向或横向延伸的带73形成的栅格72。在各个掩模步骤中可加上一层或多层附加的光致抗蚀剂(未示出)以形成与有效显像区隔开的用于组成激励电子装置、电极条内互连接、板或类似装置的边缘区域。然后对覆盖有光致抗蚀剂栅格72的板26进行刻蚀以形成如上所述限定了并列棱镜36的周期性波浪形锯齿剖面结构76的表面25。不刻蚀分别掩盖的板26的边界区，以形成用于激励电子装置、内的组栅格72的间隔带73的光致抗蚀剂部分的刻蚀特性一般适合于玻璃板26的刻蚀特性。经验地选择层70的厚度和带73之间的间隙以形成上述理想峰到谷的高度及半角α。实行干涉全息摄影法来使冲洗过的光致抗蚀剂带73的栅距与在表面25的边缘轮廓中设计的棱镜结构栅距相同。

其次，在表面25上旋涂另一层光致抗蚀剂78，以部分地填充V形的谷60直至大约达到谷深的3/4(即，达到棱镜底到顶高度的3/4)。需要时，层78也可用于完全或选择性地匹配边界区域部分。然后用蒸镀的方法在表面25上淀积一层光吸收碳材料47以覆盖棱镜36的尖峰38处暴露的尖。至此，如图5B(不按比例，相对于板26的厚度而言棱镜和淀积层的尺寸被放大了)中示意的有源显示区40(见图4)。对参考图2中的上述单个阳极的结构，现在可将导电材料层48(即，铝)直接淀积(即，溅射)在碳层47上。然而，对图3和4的三个电极彩色显示器的结构，首先采用另一个掩模步骤以在邻近电极带51、52、53(见图3和4)之间产生隔离区54。

如图5C所示，在表面25上淀积另一层光致抗蚀剂80，而不除去先前的光致抗蚀剂层78。用通常的掩膜技术曝光层80并冲洗以选择性地除去一部分，留下限定了隔离区54的光致抗蚀剂层。留下没被层80覆盖的区82，来限定组成三个不同色彩阳极梳的条51、52、53。用已知方法掩盖边界区以在每个系列的各个带中提供内连接55、56、57(见图4)。

如图5D所示，现在面25上旋涂淀积一层导电铝48。在区82中的碳材料47上淀积的导电材料48的结果是限定了没有光致抗蚀剂层80覆盖的条51、52、53。位于由层80覆盖的区54中棱镜的覆盖了碳的尖被屏蔽以防止铝淀积。然后用溶剂或其它已知机械装置揭去光致抗蚀剂层78和80，用电泳淀积法在导电梳的各个条51、52、53上淀积不同色彩的荧光物质24a、24b、24c。在由光致抗蚀剂80覆盖的区54中的棱镜36的尖顶没有导电材料覆盖，从而用于使各电极条51、52、53互相电气隔离。在图5E中示意地示出最终的结构。当然，必须注意为显示得清楚和方便，改变了元件的相应尺寸及把重复特征的数量保持到最少，特别是每个阳极51、52、53将有许多荧光颗粒24a、24b、24c且更多的棱镜36将占据每个阳极条51、52、53和隔离区54。

那些与本发明相关领域中的技术人员将认识到在不偏离由以下权利要求所限定的本发明的精神和范围可对所述实施例进行其它替换和改变。

Claims (26)

1.一种计算机图像显示器件，其特征在于包括：

第一衬底；

包含多个在所述第一衬底上形成的导电微尖的阴极；

与所述第一衬底隔开的第二衬底；所述第二衬底的内表面面向所述微尖而其外表面背对所述微尖，且至少所述第二衬底的显像区是透明的；所述内表面具有所述显像区中形成棱镜栅格的表面轮廓，且所述棱镜具有尖顶；

覆盖多个所述尖顶的导电材料；所述导电材料覆盖了不同的电气连接以形成阳极梳的所述尖顶；以及

淀积在所述阳极梳上所述显像区中的阴极发光材料。

2.如权利要求1所述的器件，其特征在于所述导电材料是铝且所述阴极发光材料是荧光物质。

3.如权利要求1所述的器件，其特征在于还包括覆盖所述多个所述尖顶的光吸收材料；所述导电材料位于所述光吸收材料上。

4.如权利要求3所述的器件，其特征在于所述光吸收材料也覆盖了与所述第一多个尖顶不同的第二多个所述尖顶。

5.如权利要求3所述的器件，其特征在于所述第二衬底包括一透明玻璃板；且所述阴极发光材料是加在所述导电材料上的荧光涂层。

6.如权利要求5所述的器件，其特征在于所述棱镜包含具有以沿向所述微尖方向的收缩角收缩的相等侧面的等腰棱镜。

7.如权利要求6所述的器件，其特征在于所述棱镜具有由所述侧面和所述收缩角的平分线限定的半角，所述半角小于30度。

8.如权利要求7所述的器件，其特征在于所述半角在15至25度的范围内。

9.如权利要求1所述的器件，其特征在于所述导电材料连接以形成三个电气隔离阳极梳；且所述阴极发光材料包括三种材料，他们淀积在所述阳极梳的不同区域上从而分别发出不同颜色的光。

10.如权利要求1所述的器件，其特征在于还包括覆盖所述多个所述尖顶的光吸收材料；所述导电材料位于所述光吸收材料上。

11.如权利要求10所述的器件，其特征在于所述光吸收材料也覆盖了位于有导电材料覆盖各个阳极梳的棱镜之中的各组所述棱镜的尖顶。

12.一种用于阴极发光图像显示器件的阳极板，其特征在于所述阳极板包括：

具有相对的前和后表面的板；所述板至少在显像区中是透明的；所述后表面具有在显像区中形成棱镜栅格的表面；所述棱镜具有尖顶；

覆盖第一多个所述尖顶的光吸收材料；

覆盖第二多个所述尖顶的导电材料，所述第一多个尖顶至少包括所述第二多个尖顶；所述导电材料覆盖电气连接以形成阳极梳的不同所述尖顶；以及

淀积在所述导电材料上的所述板上的阴极发光材料。

13.如权利要求12所述的阳极板，其特征在于所述板是玻璃板且所述阴极发光材料是荧光材料。

14.如权利要求13所述的阳极板，其特征在于所述棱镜是具有以沿远离所述前表面方向的收缩角收缩的相等侧面的等腰棱镜；所述收缩角以所述侧面和所述收缩角平分线限定的半角来表征；所述半角小于30度。

15.如权利要求14所述的阳极板，其特征在于所述半角在15到25度范围内。

16.如权利要求15所述的阳极板，其特征在于所述光吸收材料是碳而所述导电材料是铝。

17.在场致发射图像显示器件中，它具有有前后表面透明的阳极板，由淀积在所述后表面的第一区上的导电材料限定的第一阳极，与所述第一阳极横向分隔且由淀积在所述后表面的第二区上的导电材料限定的第二阳极，淀积在所述第一阳极上的第一阴极发光材料，淀积在所述第二阳极上的第二阴极发光材料，所述第一和第二阴极发光材料分别发出不同的颜色；其特征在于改良型包括：

所述后表面具有位于所述后表面的所述第一和第二区之间符合并列棱镜阵列轮廓的表面；对所述尖峰和谷定尺寸和定形以防止所述第一和第二电极之间沿所述后表面的漏电。

18.如权利要求17的改进型，其特征在于所述棱镜阵列也位于所述第一和第二区上，所述棱镜具有尖顶；所述阳极板还具有淀积在所述第一和第二区中所述棱镜的所述尖顶上以及淀积在位于所述第一和第二区中所述尖峰的所述尖顶上的光吸收材料；所述第一阳极由淀积在所述第一区中的所述尖峰的所述尖顶上所述光吸收材料上的所述导电材料形成；所述第二阳极由淀积在所述第二区中所述尖峰的所述尖顶上的所述光吸收材料上的所述导电材料形成。

19.如权利要求18的改良型，其特征在于所述导电材料是不透光材料；所述第一阴极发光材料是发出红、绿、蓝颜色的第一种的第一荧光材料；所述第二阴极发光材料发出所述红、绿、蓝颜色的第二种的第二荧光材料。

20.一种制造用于图像显示器件阳极板的方法，其特征在于所述方法包括下列步骤：

在透明板表面加上第一层光致抗蚀剂；

除去部分所述第一层光致抗蚀剂以形成光致抗蚀剂分离带的第一掩模图案；

刻蚀覆盖了所述第一掩模图案的所述表面以形成锯齿状剖面结构的所述表面，所述结构可具有相交替的峰和谷；

除去所述第一层光致抗蚀剂材料；

在所述锯齿形剖面结构上加上第二层光致抗蚀剂至少部分填满所述谷而暴露留下的所述峰的尖；

在所述暴露尖上加上一层光吸收材料；

在至少一些所述暴露尖上的光吸收材料上加一层导电材料；以及

除去所述第二层光致抗蚀剂材料。

21.如权利要求20所述的方法，其特征在于所述方法还包括在所述导电材料上加阴极发光材料的步骤。

22.如权利要求20所述的方法，其特征在于所述方法还包括使用全息干涉方法曝光所述第一层光致抗蚀剂以形成所述带的步骤。

23.如权利要求20所述的方法，其特征在于所述方法还包括下列步骤：在所述第二层光致抗蚀剂上加上第三层光致抗蚀剂；除去部分所述第三层光致抗蚀剂以形成所述第三层光致抗蚀剂分离带的第二掩模图案；将所述导电材料层加在未由所述第二掩模图案掩盖的所述暴露的尖的所述部分上以形成阳极条。

24.如权利要求23所述的方法，其特征在于所述第二掩模图案的结构为限定多个电气隔离的条；所述方法还包括对所述电隔离条的不同组加上发不同颜色的阴极发光材料的步骤。

25.一种光传播电极板，其特征在于包括：

前和后表面，所述后表面具有包括并列棱镜阵列栅格的结构，所述棱镜具有锐角尖顶；以及

淀积在所述尖顶上的材料，所述材料是光吸收及导电材料，并且互相连接以形成至少一个电极梳；

所述棱镜提供了沿着从所述后表面向所述前表面方向的优先的光传播。

26.一种单向光滤波器，其特征在于包括：

具有前和后表面的板，所述后表面的结构为包含并列棱镜阵列的栅格；所述棱镜具有锐角尖顶；

在所述尖顶上淀积的光吸收材料；以及

淀积在至少一些所述尖顶上的所述光吸收材料上的导电材料，所述导电材料互相连接以形成至少一个电极梳；

所述棱镜阻碍了光从所述前表面向所述后表面的传播，且所述棱镜使从所述后表面向所述前表面传播的光通过。

Images