CN113375053B - 气体混合供应装置、混合系统及气体混合供应方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种气体混合供应装置、混合系统及气体混合供应方法，尤其涉及一种用于更有效地供应供应气体的气体混合供应装置、混合系统及气体混合供应方法。本发明的气体混合供应装置包括：混合系统，将混合有多个种类的气体的供应气体供应至储罐；供应系统，将存储于所述储罐的供应气体供应至气体需求处，所述混合系统包括：第一排出线及第二排出线，分别从使所述供应气体向所述储罐流动的混合气体供应线分支而连接到外部；混合气体浓度分析部及混合气体压力测量部，测量在所述第二排出线流动的供应气体的浓度及压力，所述控制部根据测量的供应气体的浓度和压力控制流动于所述混合气体供应线的供应气体向所述储罐和所述第一排出线中的一个流动。

Description

气体混合供应装置、混合系统及气体混合供应方法

技术领域

本发明涉及一种气体混合供应装置、混合系统及气体混合供应方法，尤其涉及一种用于更有效地供应供应气体的气体混合供应装置、混合系统及气体混合供应方法。

背景技术

通常，利用气体的装置构成为利用适合于各个目的的供应气体，并且要求各个供应气体根据各个目的和供应气体的种类而满足预定的浓度和压力等。

特别地，在向诸如半导体处理设备的执行精密作业的气体需求处供应气体的气体供应装置的情况下，所供应的气体在浓度、压力及温度方面需要满足精确的误差范围。

图1图示了向半导体处理设备供应气体的气体供应装置的现有技术的一实施例。

参照图1，根据现有技术的气体供应装置被构成为包括：混合系统1，混合多个种类的气体；储罐2，存储从所述混合系统1供应的混合气体；供应系统3，将存储在所述储罐中的气体供应到作为半导体处理设备的气体需求处S。

所述混合系统1包括：多条源气体供应线11、21，分别连接于存储不同种类的源气体的多个源气体供应储罐10、20；混合部30，混合从所述多条源气体供应线11、21供应的多个种类的源气体；混合气体供应线31，使在所述混合部30混合的气体向所述储罐2流动。

在所述多条源气体供应线11、21配备有：压力调节部(PRV)12、22和流量调节部(MFC)13、23，控制沿各个流路供应的源气体的压力及流量；以及源气体阀14、24，开闭各个流路。

控制部(未图示)通过控制所述压力调节部12、22、流量调节部13、23及源气体阀14、24而调节沿各个流路供应的源气体的压力、流量以及是否供应，来调节所述供应气体的浓度和压力。

所述供应系统3包括：储罐气体供应线40，使存储于所述储罐2的气体向所述气体需求处S流动；储罐气体供应线阀41，开闭所述储储罐气体供应线40。

在执行向所述气体需求处S的供应气体的供应的情况下，所述控制部开启所述储罐气体供应线阀41而将存储于所述储罐2的气体供应至所述气体需求处S。

在如上所述的现有技术中，在通过所述混合系统1向所述储罐2供应供应气体的初始阶段，由于所述混合系统1的结构限制而发生流量振荡现象，从而存在存储于所述储罐2的气体的浓度变得不规则的问题。

并且，所述气体供应装置是混合系统1、所述储罐2及所述供应系统3相连接的一个装置，根据通常设置的场所及设置工艺，可容纳的容量有限，因此向所述气体需求处供应所述供应气体时可能会发生问题。

作为一示例，在通过所述气体供应装置向所述气体需求处连续供应所述供应气体的情况下，可能存在如下问题，即，在存储于所述储罐2的供应气体全部被消耗之后，直到所述储罐2重新充满供应气体时为止无法向所述气体需求处稳定地提供所述供应气体。

因此，正在积极讨论用于向所述气体需求处S稳定地供应满足预定浓度范围的气体的气体供应装置及气体供应方法。

作为关于如上所述的气体供应装置的现有技术的一示例，包括韩国授权专利第10-1659200号。

发明内容

本发明是为了解决上述的各种问题而提出的，其目的在于提供一种用于将供应气体的浓度保持为恒定的同时将供应气体稳定地供应至气体需求处的气体混合供应装置、混合系统及气体混合供应方法。

用于实现上述目的的本发明的一种气体供应装置包括：混合系统，将混合有多个种类的气体的供应气体供应至储罐；供应系统，将存储于所述储罐的供应气体供应至气体需求处；控制部，控制所述混合系统、所述储罐及所述供应系统的驱动。

所述混合系统包括：混合气体供应线，使所述供应气体向所述储罐流动；第一排出线及第二排出线，分别从所述混合气体供应线分支而连接到外部；混合气体浓度分析部，测量从所述混合气体供应线向所述第二排出线流动的供应气体的浓度；混合气体压力测量部，测量从所述混合气体供应线向所述第二排出线流动的供应气体的压力，所述控制部将在所述混合气体浓度分析部测量的供应气体的浓度与预设定的基准浓度范围进行比较，并将在所述混合气体压力测量部测量的供应气体的压力与所述储罐的内部压力进行比较，从而控制流动于所述混合气体供应线的供应气体向所述储罐和所述第一排出线中的一个流动。

并且，所述混合系统包括：混合气体供应线阀，开闭所述混合气体供应线；第一排出线阀，开闭所述第一排出线，其中，如果在所述混合气体浓度分析部测量的供应气体的浓度满足所述基准浓度范围，并且在所述混合气体压力测量部测量的供应气体的压力为所述储罐内部的气体压力以上，则所述控制部打开所述混合气体供应线阀并关闭所述第一排出线阀，如果在所述混合气体浓度分析部测量的供应气体的浓度不满足所述基准浓度范围，或者在所述混合气体压力测量部测量的供应气体的压力小于所述储罐内部的气体压力，则所述控制部关闭所述混合气体供应线阀并打开所述第一排出线阀。

并且，所述混合系统可以包括开闭所述第二排出线的第二排出线阀，所述控制部控制所述第二排出线阀的驱动而控制是否对所述第二排出线供应所述供应气体，从而控制是否测量所述供应气体的浓度及压力。

并且，所述第二排出线可以具有比第一排出线小的截面积。

并且，所述混合系统还可以包括：混合气体排出流量调节部，调节所述第一排出线的开度而调节通过所述第一排出线排出的所述供应气体的排出量。

并且，所述混合系统还可以包括：多条源气体供应线，分别供应不同的多个种类的源气体；混合部，混合从所述多条源气体供应线供应的不同的多个种类的源气体而形成所述供应气体，其中，所述混合气体供应线利用连接所述混合部与所述储罐的构成构成。

并且，所述供应系统可以包括：储罐气体供应线，连接所述储罐与所述气体需求处；储罐气体浓度分析部，测量流动于所述储罐气体供应线的供应气体的浓度，其中，所述控制部将在所述储罐气体浓度分析部测量的供应气体的浓度与预设定的基准浓度范围进行比较，从而判断向所述气体需求处供应的供应气体是否合适。

并且，所述供应系统可以包括开闭所述储罐气体供应线的储罐气体供应线阀，如果在所述储罐气体浓度分析部测量的供应气体的浓度满足所述基准浓度范围，则所述控制部打开所述储罐气体供应线阀，如果在所述储罐气体浓度分析部测量的供应气体的浓度不满足所述基准浓度范围，则所述控制部关闭所述储罐气体供应线阀。

并且，所述供应系统可以包括：储罐气体排出线，从所述储罐气体供应线分支并连接到外部；储罐气体排出线阀，开闭所述储罐气体排出线，其中，如果在所述储罐气体浓度分析部测量的供应气体的浓度满足所述基准浓度范围，则所述控制部打开所述储罐气体供应线阀，如果在所述储罐气体浓度分析部测量的供应气体的浓度不满足所述基准浓度范围，则所述控制部打开所述储罐气体供应线阀。

并且，在所述储罐气体浓度分析部测量的供应气体的浓度不满足预设定的基准浓度范围的情况下，所述控制部可以计算用于使在所述储罐气体供应线流动的供应气体的浓度满足所述基准浓度范围的浓度校正值，之后将所述浓度校正值应用于所述混合系统，从而校正通过所述混合系统向所述储罐供应的供应气体的浓度。

并且，在所述多条源气体供应线可以配备有：至少一个压力调节部，分别调节上述不同的多个种类的源气体的供应压力；至少一个流量调节部，分别调节上述不同的多个种类的源气体的供应流量，在所述混合气体浓度分析部测量的供应气体的浓度不满足预设定的基准浓度范围的情况下，所述控制部根据所述浓度校正值调节所述压力调节部及所述流量调节部而调节在所述混合部混合的各种源气体的比例，从而校正通过所述混合气体供应线向所述储罐供应的供应气体的浓度。

并且，本发明的气体混合供应装置可以是如下的模块型装置：所述混合系统、所述储罐及所述供应系统分别由独立的构成形成并且能够相互结合。

根据本发明的一种混合系统包括：混合气体供应线，使混合有多个种类的气体的供应气体向储罐流动；第一排出线，从所述混合气体供应线分支而连接到外部；第二排出线，从所述混合气体供应线分支而连接到外部；混合气体浓度分析部，测量从所述混合气体供应线向所述第二排出线流动的供应气体的浓度；混合气体压力测量部，测量从所述混合气体供应线向所述第二排出线流动的供应气体的压力；控制部，将在所述混合气体浓度分析部测量的供应气体的浓度与预设定的基准浓度范围进行比较，并将在所述混合气体压力测量部测量的供应气体的压力与所述储罐的内部压力进行比较，从而控制流动于所述混合气体供应线的供应气体向所述储罐和所述第一排出线中的一个流动。

根据本发明的一种利用混合系统的混合气体供应方法的混合气体供应方法，所述混合系统在混合部混合多个种类的气体而形成供应气体，之后通过混合气体供应线将所述供应气体供应至储罐并进行存储，所述混合气体供应方法可以包括如下步骤：步骤a)，使所述供应气体向第二排出线流动，进而测量从所述混合气体供应线向所述第二排出线流动的所述供应气体的浓度及压力，其中，所述第二排出线从所述混合气体供应线分支而连接到外部并且配备有测量气体的浓度的混合气体浓度分析部和测量气体的压力的混合气体压力测量部，步骤b)，将在所述混合气体浓度分析部测量的供应气体的浓度与预设定的基准浓度范围进行比较，并将在所述混合气体压力测量部测量的供应气体的压力与所述储罐的内部压力进行比较，从而控制流动于所述混合气体供应线的供应气体向所述储罐和第一排出线中的一个流动。

并且，如果在所述混合气体浓度分析部测量的供应气体的浓度满足所述基准浓度范围，并且在所述混合气体压力测量部测量的供应气体的压力为所述储罐内部的气体压力以上，则所述控制部可以打开开闭所述混合气体供应线的混合气体供应线阀并关闭开闭所述第一排出线的第一排出线阀，如果在所述混合气体浓度分析部测量的供应气体的浓度不满足所述基准浓度范围，或者在所述混合气体压力测量部测量的供应气体的压力小于所述储罐内部的气体压力，则所述控制部关闭所述混合气体供应线阀并打开所述第一排出线阀。

并且，在所述步骤b)中，所述控制部可以控制开闭所述第二排出线的第二排出线阀的驱动而控制是否对所述第二排出线供应所述供应气体，从而控制所述混合气体浓度分析部及所述混合气体压力测量部的驱动。

并且，在所述步骤b)中，在通过所述控制部打开开闭所述第一排出线的第一排出线阀而通过所述第一排出线向外部排出所述供应气体的情况下，所述控制部可以调节混合气体排出流量调节部而调节通过所述第一排出线排出的供应气体的排出量，其中，所述混合气体排出流量调节部调节所述第一排出线的开度。

并且，还可以包括如下步骤：步骤c)，在将存储于所述储罐的供应气体供应至气体需求处的供应系统的储罐气体浓度分析部测量在连接所述储罐与所述气体需求处的储罐气体供应线流动的供应气体的浓度；步骤d)，所述控制部比较在所述储罐气体浓度分析部测量的供应气体的浓度与预设定的基准浓度范围，从而判断向所述气体需求处供应的供应气体是否合适。

并且，在所述步骤d)中，如果在所述储罐气体浓度分析部测量的供应气体的浓度满足所述基准浓度范围，则所述控制部可以打开开闭所述储罐气体供应线的储罐气体供应线阀，如果在所述储罐气体浓度分析部测量的供应气体的浓度不满足所述基准浓度范围，则所述控制部关闭所述储罐气体供应线阀。

并且，在所述步骤d)中，如果在所述储罐气体浓度分析部测量的供应气体的浓度满足所述基准浓度范围，则所述控制部可以关闭储罐气体排出线阀，如果在所述储罐气体浓度分析部测量的供应气体的浓度不满足所述基准浓度范围，则所述控制部打开所述储罐气体排出线阀，其中，所述储罐气体排出线阀开闭从所述储罐气体供应线分支而连接到外部的储罐气体排出线。

并且，在所述储罐气体浓度分析部测量的供应气体的浓度不满足预设定的基准浓度范围的情况下，所述控制部可以计算用于使在所述储罐气体供应线流动的供应气体的浓度满足所述基准浓度范围的浓度校正值，之后将所述浓度校正值应用于所述混合系统，从而校正通过所述混合系统向所述储罐供应的供应气体的浓度。

并且，所述混合系统还可以包括：多条源气体供应线，分别向所述混合部供应不同的多个种类的源气体，在所述多条源气体供应线配备有：至少一个压力调节部，分别调节上述不同的多个种类的源气体的供应压力；至少一个流量调节部，分别调节上述不同的多个种类的源气体的供应流量，在所述步骤d)中，在所述混合气体浓度分析部测量的供应气体的浓度不满足预设定的基准浓度范围的情况下，所述控制部根据所述浓度校正值调节所述压力调节部及所述流量调节部而调节在所述混合部混合的各种源气体的比例，从而校正通过所述混合气体供应线向所述储罐供应的供应气体的浓度。

并且，所述供应系统还可以包括：储罐气体浓度分析线，从所述储罐气体供应线分支；储罐气体浓度分析线阀，开闭所述储罐气体浓度分析线，其中，所述储罐气体浓度分析部配备为测量在所述储罐气体浓度分析线流动的气体的浓度，所述步骤c)为如下步骤：控制部打开所述储罐气体浓度分析线阀而在所述储罐气体浓度分析部测量从所述储罐内部通过所述储罐气体供应线向所述储罐气体浓度分析线流动的供应气体的浓度。

根据本发明的气体混合供应装置、混合系统及气体混合供应方法，配备有从混合气体供应线分支而连接于外部的第一排出线，从而可以防止浓度及压力不满足预设定的误差范围的供应气体存储于储罐，并且在所述储罐稳定地存储具有预定范围的浓度和压力的供应气体。

并且，配备有从混合气体供应线分支的第二排出线，利用在所述第二排出线流动的供应气体测量在混合气体供应线流动的供应气体的压力和浓度，从而可以使最小限度的混合气体流动，进而更有效地测量供应气体的压力和浓度。

并且，混合系统、储罐及供应系统分别利用独立的构成形成，从而可以收容更大容量的供应气体并稳定地进行供应。

附图说明

图1是示意性地示出根据现有技术的气体混合供应装置的图。

图2是示意性地示出根据本发明的一实施例的气体混合供应装置和混合系统的图。

图3是示出根据本发明的气体混合供应方法的流程图。

附图标记说明

100：混合系统 101、102：源气体供应储罐

110、120：源气体供应线 111、121：压力调节部

112、122：流量调节部 113、123：源气体阀

130：混合部 140：混合气体供应线

141：混合气体供应线阀 150：第一排出线

151：第一排出线阀 152：混合气体排出流量调节部

160：第二排出线 161：第二排出线阀

170：混合气体浓度分析部 180：混合气体压力测量部

200：储罐 210：储罐压力测量部

300：供应系统 310：储罐气体浓度分析部

320：储罐气体供应线 321：储罐气体供应线阀

330：储罐气体排出线 331：储罐气体排出线阀

340：储罐气体浓度分析线 341：储罐气体浓度分析线阀

具体实施方式

以下，参照附图对根据本发明的气体混合供应装置、混合系统的构成及作用进行详细说明如下。

在此，针对在现有技术中说明的内容及重复的内容省略详细说明，以本发明中新添加的构成要素为中心进行说明。

图2图示了根据本发明的一实施例的气体混合供应装置和混合系统。

根据本发明的一实施例的气体混合供应装置包括：混合系统100，将混合有多个种类的气体的供应气体供应至储罐200；供应系统300，将存储于所述储罐200的供应气体供应至气体需求处S；控制部(未图示)，控制所述混合系统100、所述储罐200及所述供应系统300的驱动。

所述混合系统100被构成为包括：混合气体供应线140，使所述供应气体向所述储罐200流动；第一排出线150及第二排出线160，分别从所述混合气体供应线140分支而连接到外部；混合气体浓度分析部170，测量从所述混合气体供应线140向所述第二排出线160流动的供应气体的浓度；混合气体压力测量部180，测量从所述混合气体供应线140向所述第二排出线160流动的供应气体的压力。

所述控制部将在所述混合气体浓度分析部170测量的供应气体的浓度与预设定的基准浓度范围进行比较并将在所述混合气体压力测量部180测量的供应气体的压力与所述储罐200的内部压力进行比较，来控制在所述混合气体供应线140中流动的供应气体向所述储罐200和所述第一排出线150中的一个流动。

所述混合系统100、所述储罐200及所述供应系统300可以是相互连接而构成所述气体混合供应装置的构成要素。

所述混合系统100、所述储罐200及所述供应系统300可以是分别由独立构成的单独的设备形成并相互结合而构成所述气体混合供应装置的模块型装置。

根据所述模块型气体混合供应装置，相比于混合系统、储罐及供应系统连接而构成为一个装置的根据现有技术的一体型气体混合供应装置，可以显著地缓解根据设置的场所及设置工艺造成的限制。

据此，所述混合系统100、所述储罐200及所述供应系统300的尺寸可以根据所需容量构成，并且可以收容更大容量的供应气体，据此可以更稳定地向所述气体需求处供应所述供应气体。

根据所述模块型气体混合供应装置，在所述储罐200可以配备有：第一储罐阀221，开闭与所述混合系统100连接的连接部；第二储罐阀222，开闭与所述供应系统300连接的连接部。在所述供应系统300可以配备有：供应系统阀351，开闭与所述储罐200连接的连接部。

所述储罐200利用具有预定厚度且具有较高的刚性、耐热性及耐压性的材质构成，从而能够存储高温高压的气体，并且利用具有耐化学性及耐腐蚀性的材质构成，从而防止与气体发生反应而发生变质或腐蚀或者引起所存储的气体的性质变化。

满足上述条件的材质包括不锈钢(SUS)。不锈钢具有刚性较高、耐热性、耐腐蚀性、耐化学性优异、可及性良好且具有经济性的优点，从而是广泛用于多种领域的材质中的一种。

所述储罐200可以是构成为内部压力形成于压力上限值与压力下限值之间的分批式(Batch type)储罐。

所述储罐200可以配备有测量内部的气体压力的储罐压力测量部210。

所述混合系统100还可以包括：多条源气体供应线110、120，分别供应不同的多个种类的源气体；混合部130，混合从所述多条源气体供应线110、120供应的不同的多个种类的源气体而形成所述供应气体。所述混合气体供应线140可以是连接所述混合部130与所述储罐200的构成。

所述源气体供应线110、120可以分别连接于供应源气体的源气体供应储罐101、102。

在所述源气体供应线110、120可以配备有分别调节所述不同的多个种类的源气体的供应压力的至少一个压力调节部111、121以及分别调节所述不同的多个种类的源气体的供应流量的至少一个流量调节部112、122，并且配备有分别开闭所述源气体供应线110、120的源气体阀113、123，从而控制是否供应各种源气体。

所述压力调节部111、121、所述流量调节部112、122及所述源气体阀113、123的驱动可以由所述控制部控制。

所述混合系统100可以被构成为还包括开闭所述混合气体供应线140的混合气体供应线阀141。

所述控制部可以控制所述混合气体供应线阀141的驱动，来控制是否将在所述混合部130混合而形成的供应气体供应至所述储罐200。

所述混合系统100还可以包括开闭所述第一排出线150的所述第一排出线阀151。

所述控制部可以控制第一排出线阀151的驱动，来控制是否将在所述混合部130混合而形成的供应气体通过所述第一排出线150排出到外部。

当在所述混合气体浓度分析部170测量的供应气体的浓度满足所述基准浓度范围，并且在所述混合气体压力测量部180测量的供应气体的压力为所述储罐200内部的气体压力以上时，所述控制部打开所述混合气体供应线阀141并关闭所述第一排出线阀151，使得从所述混合部130供应的供应气体不向外部排出，而是沿所述混合气体供应线140向所述储罐200流动并进行存储。

并且，当在所述混合气体浓度分析部170测量的供应气体的浓度不满足预设定的基准浓度范围，或者在所述混合气体压力测量部180测量的供应气体的压力小于所述储罐200内部的气体压力时，所述控制部关闭所述混合气体供应线阀141并打开所述第一排出线阀151，从而控制将流动于所述混合气体供应线140的供应气体向外部排出的同时阻断对所述储罐200的供应气体供应。

据此，可以防止浓度和压力不满足预设定的范围的供应气体存储于所述储罐200，并且可以在所述储罐200稳定地存储预定范围的浓度和压力的供应气体。

并且，实时比较在所述混合气体供应线140流动的供应气体的压力与所述储罐200内部的气体压力而控制是否对所述储罐200供应所述供应气体，从而能够防止由供应初期压力差引起的振荡现象。

所述混合系统100还可以包括开闭所述第二排出线160的第二排出线阀161。

所述混合气体浓度分析部170及所述混合气体压力测量部180在流动于所述混合气体供应线140的供应气体向所述第二排出线160流动的情况下，分别测量相应供应气体的浓度及压力。

据此，所述控制部可以通过控制所述第二排出线阀161的驱动而控制是否对所述第二排出线160供应所述供应气体，来控制是否通过所述混合气体浓度分析部170及所述混合气体压力测量部180测量所述供应气体的浓度及压力。

所述第二排出线160可以配备为具有比所述第一排出线150小的截面积，并且可以配备为使所述混合气体浓度分析部170及所述混合气体压力测量部180测量气体的浓度及压力所需的最小流量的供应气体流动。

即，所述第二排出线160可以形成为在其中流动的供应气体的流量显著小于所述混合气体供应线140及所述第一排出线150中流动的供应气体的流量。

据此，使所述供应气体向所述第二排出线160流动而测量浓度及压力，从而与使所述供应气体在所述混合气体供应线140或所述第一排出线150流动而测量浓度及压力的情况相比，可以减少所需的供应气体的量并且提高装置的效率。

所述混合系统100可以构成为还包括调节所述第一排出线150的开度的混合气体排出流量调节部152。

所述控制部调节所述混合气体排出流量调节部152而调节通过所述第一排出线150排出的供应气体的排出量，从而可以有效地调节通过所述混合气体供应线140向所述储罐200流动的供应气体的压力。

所述供应系统300可以包括：储罐气体供应线320，连接所述储罐200与所述气体需求处S；储罐气体排出线330，从所述储罐气体供应线320分支并连接到外部；储罐气体浓度分析部310，测量流动于所述储罐气体供应线320的供应气体的浓度。

所述控制部将在所述储罐气体浓度分析部310测量的供应气体的浓度与预设定的基准浓度范围进行比较，来判断向所述气体需求处S供应的供应气体是否合适。

所述供应系统300还可以包括开闭所述储罐气体供应线320的储罐气体供应线阀321。

所述控制部可以控制所述储罐气体供应线阀321的驱动而控制是否将存储于所述储罐200的供应气体供应至所述气体需求处S。

在所述储罐气体浓度分析部310测量的供应气体的浓度满足所述基准浓度范围的情况下，所述控制部可以进行控制来打开所述储罐气体供应线阀321而将存储于所述储罐200的供应气体供应至所述气体需求处S。

并且，在所述储罐气体浓度分析部310测量的供应气体的浓度不满足所述基准浓度范围的情况下，所述控制部可以进行控制来关闭所述储罐气体供应线阀321而阻断对所述气体需求处S的供应气体的供应。

所述供应系统300还可以包括：储罐气体排出线330，从所述储罐气体供应线320分支并连接到外部；储罐气体排出线阀331，开闭所述储罐气体排出线330。

所述控制部可以控制所述储罐气体供应线阀321的驱动而控制是否将在所述储罐气体供应线320流动的供应气体通过所述储罐气体排出线330向外部排出。

在所述储罐气体浓度分析部310测量的供应气体的浓度满足所述基准浓度范围的情况下，所述控制部可以进行控制来打开所述储罐气体供应线阀321并关闭所述储罐气体排出线阀331而使从所述储罐200供应的供应气体不向外部排出，而沿所述储罐气体供应线320向所述气体需求处S流动。

并且，在所述储罐气体浓度分析部310测量的供应气体的浓度不满足所述基准浓度范围的情况下，所述控制部可以进行控制来关闭所述储罐气体供应线阀321并打开所述储罐气体排出线阀331而使从所述储罐200供应的供应气体通过所述储罐气体排出线330向外部排出。

所述供应系统300还包括：储罐气体浓度分析线340，从所述储罐气体供应线320分支；储罐气体浓度分析线阀341，开闭所述储罐气体浓度分析线340。所述储罐气体浓度分析部310测量沿所述储罐气体浓度分析线340流动的气体的浓度。

在流动于所述储罐气体供应线320的供应气体向所述储罐气体浓度分析线340流动的情况下，所述储罐气体浓度分析部310测量相应供应气体的浓度。

因此，所述控制部可以控制所述储罐气体浓度分析线阀341的驱动而控制是否对所述储罐气体浓度分析线340供应所述供应气体，从而控制是否通过所述储罐气体浓度分析部310测量所述供应气体的浓度。

所述储罐气体浓度分析线340可以配备为具有小于所述储罐气体排出线330的截面积，并且可以构成为使所述储罐气体浓度分析部310测量气体的浓度所需的最小流量的供应气体流动。

即，所述储罐气体浓度分析线340可以形成为在其中流动的供应气体流量显著小于所述储罐气体供应线320及所述储罐气体排出线330中流动的供应气体的流量。

据此，使所述供应气体向所述储罐气体浓度分析线340流动而测量浓度及压力，从而与使所述供应气体在所述储罐气体供应线320或所述储罐气体排出线330流动而测量浓度及压力的情况相比，可以减少所需的供应气体的量，并且提高效率。

并且，在所述储罐气体浓度分析部310测量的供应气体的浓度不满足预设定的基准浓度范围的情况下，所述控制部可以计算用于使在所述储罐气体供应线320流动的供应气体的浓度满足所述基准浓度范围的浓度校正值。

所述浓度校正值可以利用通过所述多条源气体供应线110、120供应而在所述混合部130混合的多种源气体中的至少一种源气体的量或浓度或压力等形成，并且可以以在所述混合系统100预设定的各种源气体的量或浓度或压力的设定值为基准形成为增加值或减小值。

所述控制部可以将计算的所述浓度校正值应用于所述混合系统100，并且根据所述浓度校正值校正通过所述混合系统100向所述储罐200供应的供应气体的浓度，从而可以控制从所述储罐200向所述气体需求处S供应的供应气体的浓度满足合适范围。

此时，在所述储罐气体浓度分析部310测量的供应气体的浓度不满足预设定的基准浓度范围的情况下，所述控制部根据所述浓度校正值来控制所述压力调节部111、121、所述流量调节部112、122及所述源气体阀113、123的驱动而调节向所述混合部130流入并混合的各种源气体的比例，从而可以校正从所述混合部130向所述储罐200供应的供应气体的浓度。

以下，参照图3对利用本发明的气体混合供应装置及混合系统的气体混合供应方法进行说明。

步骤S10至S40是通过混合系统100向储罐200供应供应气体的步骤。

步骤S10是通过至少一条源气体供应线110、120供应的多种源气体在混合部130混合而形成供应气体的步骤。

控制部打开各个源气体阀113、123而使各种源气体从各个源气体供应储罐101、102向各条源气体供应线110、120流动，同时调节各个压力调节部111、121及各个流量调节部112、122而调节各种源气体的压力和流量，从而调节在所述混合部130混合的供应气体的浓度。

步骤S20是测量从所述混合部130向混合气体供应线140供应的供应气体的浓度及压力(S20-1)而在所述控制部判断是否将从所述混合部130向混合气体供应线140供应的供应气体存储到储罐200(S20-2)的步骤。

所述控制部可以通过打开第二排出线阀161而使供应气体向第二排出线160流动，来在混合气体浓度分析部170和混合气体压力测量部180分别测量所述供应气体的浓度和压力。

所述控制部通过比较在混合气体浓度分析部170测量的所述供应气体的浓度与预设定的基准浓度范围并且比较在混合气体压力测量部180测量的所述供应气体的压力与在储罐压力测量部210测量的所述储罐200内部的气体压力，来判断是否将从所述混合部130向混合气体供应线140供应的供应气体存储于所述储罐200。

为此，所述控制部可以打开第二排出线阀161而使从所述混合部130向所述混合气体供应线140供应的供应气体在第二排出线160流动。

当在所述混合气体浓度分析部170测量的供应气体的浓度不满足预设定的基准浓度范围，或者在所述混合气体压力测量部180测量的压力低于所述储罐200内部的压力时，所述控制部判断为将所述供应气体不存储于所述储罐200，进而执行后文所述的步骤S30。

并且，当在所述混合气体浓度分析部170测量的供应气体的浓度满足预设定的基准浓度范围，或者在所述混合气体压力测量部180测量的压力为所述储罐200内部的压力以上时，所述控制部判断为将所述供应气体存储于所述储罐200，进而执行后文所述的步骤S40。

步骤S30是将流动于所述混合气体供应线140的所述供应气体向外部排出的步骤。

所述控制部关闭混合气体供应线阀141并打开第一排出线阀151而控制从所述混合部130供应的供应气体不向所述储罐200流动，而通过第一排出线150向外部排出。

据此，可以防止不满足合适浓度范围的供应气体存储于所述储罐200，并且可以防止因压力低于所述储罐200内部压力的供应气体在所述混合气体供应线140流动而发生气体逆流及振荡现象。

此时，混合气体排出流量调节部152可以配备为保持调节为一定开度的状态。

并且，所述控制部也可以构成为控制所述混合气体排出流量调节部152而合适地调节第一排出线150的开度，来调节在所述混合气体供应线140流动的供应气体的压力。

并且，所述混合气体排出流量调节部152可以配备为能够手动调节。

所述控制部执行本步骤S30直到满足在所述混合气体浓度分析部170测量的所述供应气体的浓度满足预设定的基准浓度范围，同时在所述混合气体压力测量部180测量的所述供应气体的压力为在所述储罐压力测量部210测量的所述储罐内部的压力以上的存储条件为止，并且之后，如果满足所述存储条件，则执行后文所述的步骤S40。

步骤S40是使流动于所述混合气体供应线140的所述供应气体流入到所述储罐200并进行存储的步骤。

所述控制部打开所述混合气体供应线阀141并关闭所述第一排出线阀151而控制从所述混合部130供应的供应气体不通过所述第一排出线150排出到外部，而通过所述混合气体供应线140向所述储罐200流动并进行存储。

并且，在执行针对所述储罐的所述供应气体的存储期间，所述控制部使储罐气体供应线阀321保持关闭的状态。

并且，在执行本步骤S40期间，所述控制部能够实时或以预定时间间隔接收由所述混合气体浓度分析部170测量的所述供应气体的浓度以及由所述混合气体压力测量部180测量的所述供应气体的压力，并检查所述储罐200中是否存储有合适浓度和压力的供应气体。

并且，在执行本步骤S40期间，在所述混合气体浓度分析部170测量的所述供应气体的浓度不满足预设定的基准浓度范围或在所述混合气体压力测量部180测量的压力低于所述储罐200内部的压力的情况下，所述控制部可以执行所述步骤S30。

即，所述控制部可以根据在所述混合气体浓度分析部170测量的所述供应气体的浓度以及在所述混合气体压力测量部180测量的所述供应气体的压力实时控制所述第一排出线阀151及所述混合气体供应线阀141，来在所述储罐200存储合适浓度和压力的供应气体。

直到所述储罐200的内部压力达到预设定的压力上限值为止，可以执行本步骤S40。

步骤S50至S60是通过供应系统300将存储于所述储罐200的供应气体供应至气体需求处S的步骤。

步骤S50是在所述控制部判断是否将存储于所述储罐200的供应气体供应至气体需求处S的步骤。

所述控制部比较在储罐气体浓度分析部310测量的所述供应气体的浓度与预设定的基准浓度范围，来判断是否将从所述储罐200向储罐气体供应线320供应的供应气体向所述气体需求处S供应。

为此，所述控制部打开储罐气体浓度分析线阀341，来使从所述储罐200向所述储罐气体供应线320供应的供应气体流动至储罐气体浓度分析线340。

在从所述储罐200供应的供应气体的浓度满足预设定的基准浓度范围的情况下，所述控制部判断向所述气体需求处S供应供应气体并执行后文所述的步骤S60。

并且，在从所述储罐200供应的供应气体的浓度不满足预设定的基准浓度范围的情况下，所述控制部判断不向所述气体需求处S供应供应气体，并执行后文所述的步骤S70。

步骤S60是使在所述储罐气体供应线320流动的所述供应气体向所述气体需求处S流动而进行供应的步骤。

所述控制部打开所述储罐气体供应线阀321并关闭所述储罐气体排出线阀331而控制从所述储罐200供应的供应气体不通过所述储罐气体排出线330向外部排出，而通过所述储罐气体供应线320向所述气体需求处S流动而进行消耗。

并且，在执行本步骤S60的期间，所述控制部可以实时或以预定时间间隔接收在所述储罐气体浓度分析部310测量的所述供应气体的浓度，并确认是否向所述气体需求处S供应合适浓度的供应气体。

并且，在执行本步骤S60的期间，在所述储罐气体浓度分析部310测量的所述供应气体的浓度不满足预设定的基准浓度范围的情况下，所述控制部可以执行后文所述的步骤S70。

即，所述控制部可以根据所述储罐气体浓度分析部310测量的供应气体的浓度实时控制所述储罐气体排出线阀331及所述储罐气体供应线阀321，来向所述气体需求处S供应合适浓度的供应气体。

并且，如果随着存储于所述储罐200的供应气体向所述气体需求处S供应，所述储罐200的内部压力达到压力下限值，则所述控制部可以再次执行上述步骤S10至S40而向所述储罐200填充供应气体。

此时，所述控制部可以在保持执行向所述气体需求处S供应供应气体的本步骤S60的状态下执行上述步骤S10至S40，从而连续地向所述气体需求处S供应供应气体。

步骤S70至S80是校正存储于储罐200的供应气体的浓度的步骤。

步骤S70是向外部排出在所述储罐气体供应线320流动的所述供应气体的步骤。

所述控制部关闭所述储罐气体供应线阀321并打开所述储罐气体排出线阀331而控制从所述储罐200供应的供应气体不通过所述储罐气体供应线320向所述气体需求处S供应，而通过所述储罐气体排出线330向外部排出。

据此，可以防止不满足合适浓度范围的供应气体被供应到所述气体需求处S而使功能无法被顺利地执行的情形。

并且，在排出存储于所述储罐200的供应气体期间，所述控制部可以保持所述混合气体供应线阀141处于关闭的状态。

所述控制部可以执行本步骤S70直到存储于所述储罐200的供应气体通过所述储罐气体排出线330全部排出到外部为止，之后，再次执行上述步骤S10至S40而在所述储罐200存储所述供应气体，之后，再次执行上述步骤S50来将存储于所述储罐200的供应气体的浓度校正为合适浓度。

并且，所述控制部可以在执行后文所述的步骤S80之后再次执行上述步骤S10至S50来将存储于所述储罐200的供应气体的浓度校正为合适浓度。

步骤S80是利用根据所述储罐气体浓度分析部310测量的供应气体的浓度所计算的校正值来校正存储于所述储罐200的供应气体的浓度的步骤。

所述控制部可以在计算用于使在所述储罐气体浓度分析部310测量的在所述储罐气体供应线320流动的供应气体的浓度满足所述基准浓度范围的浓度校正值之后，将所述浓度校正值应用于所述混合系统100。

之后，如上所述，可以通过应用了所述浓度校正值的所述混合系统100再次执行步骤S10至S50，来将存储于所述储罐200的供应气体的浓度校正为合适浓度。

据此，可以防止不满足合适浓度范围的供应气体被供应到所述气体需求处S而使功能无法被顺利地执行的情形。

如上所述，根据本发明的气体混合供应装置、混合系统及气体混合供应方法，配备有从混合气体供应线140分支而连接于外部的第一排出线150，从而可以防止浓度及压力不满足预设定的误差范围的供应气体存储于储罐200，并且在所述储罐200稳定地存储具有预定范围的浓度和压力的供应气体。

并且，配备有从所述混合气体供应线140分支而连接于外部的第二排出线160，利用在所述第二排出线160流动的供应气体测量在所述混合气体供应线140流动的供应气体的压力和浓度，从而可以使最小限度的混合气体流动，进而更有效地测量供应气体的压力和浓度。

并且，构成混合系统100、所述储罐200及供应系统300分别由独立的构成形成的模块型气体混合供应装置，从而可以收容更大容量的供应气体并稳定地进行供应。

本发明并不限于上述的实施例，在本发明所属的技术领域中具有基本知识的人员可以在不脱离权利要求范围内的本发明的技术思想内实现显而易见的变形，且这些变形实施例属于本发明的范围。

Claims (30)

1.一种气体混合供应装置，包括：

混合系统，将混合有多个种类的气体的供应气体供应至储罐；

供应系统，将存储于所述储罐的供应气体供应至气体需求处；

控制部，控制所述混合系统、所述储罐及所述供应系统的驱动，

其中，所述混合系统包括：

混合气体供应线，使在混合部混合所述多个种类的气体而形成的所述供应气体向所述储罐流动；

第一排出线及第二排出线，分别从所述混合气体供应线分支而连接到外部；

混合气体浓度分析部，测量从所述混合气体供应线向所述第二排出线流动的供应气体的浓度；

混合气体压力测量部，测量从所述混合气体供应线向所述第二排出线流动的供应气体的压力，

所述控制部通过将在所述混合气体浓度分析部测量的供应气体的浓度与预设定的基准浓度范围进行比较并将在所述混合气体压力测量部测量的供应气体的压力与所述储罐的内部压力进行比较，来控制流动于所述混合气体供应线的供应气体向所述储罐和所述第一排出线中的一个流动。

2.根据权利要求1所述的气体混合供应装置，其特征在于，

所述混合系统包括：

混合气体供应线阀，开闭所述混合气体供应线；

第一排出线阀，开闭所述第一排出线，

其中，如果在所述混合气体浓度分析部测量的供应气体的浓度满足所述基准浓度范围，并且在所述混合气体压力测量部测量的供应气体的压力为所述储罐内部的气体压力以上，则所述控制部打开所述混合气体供应线阀并关闭所述第一排出线阀，

如果在所述混合气体浓度分析部测量的供应气体的浓度不满足所述基准浓度范围，或者在所述混合气体压力测量部测量的供应气体的压力小于所述储罐内部的气体压力，则所述控制部关闭所述混合气体供应线阀并打开所述第一排出线阀。

3.根据权利要求1所述的气体混合供应装置，其特征在于，

所述混合系统包括开闭所述第二排出线的第二排出线阀，

所述控制部通过控制所述第二排出线阀的驱动来控制是否对所述第二排出线供应所述供应气体，进而控制是否测量所述供应气体的浓度及压力。

4.根据权利要求1所述的气体混合供应装置，其特征在于，

所述第二排出线具有比第一排出线小的截面积。

5.根据权利要求1所述的气体混合供应装置，其特征在于，

所述混合系统还包括：混合气体排出流量调节部，调节所述第一排出线的开度而调节通过所述第一排出线排出的所述供应气体的排出量。

6.根据权利要求1所述的气体混合供应装置，其特征在于，

所述混合系统还包括：多条源气体供应线，分别供应不同的多个种类的源气体；混合部，混合从所述多条源气体供应线供应的不同的多个种类的源气体而形成所述供应气体，

其中，所述混合气体供应线利用连接所述混合部与所述储罐的构成形成。

7.根据权利要求1所述的气体混合供应装置，其特征在于，

所述供应系统包括：储罐气体供应线，连接所述储罐与所述气体需求处；储罐气体浓度分析部，测量流动于所述储罐气体供应线的供应气体的浓度，

其中，所述控制部通过将在所述储罐气体浓度分析部测量的供应气体的浓度与预设定的基准浓度范围进行比较，来判断向所述气体需求处供应的供应气体是否合适。

8.根据权利要求7所述的气体混合供应装置，其特征在于，

所述供应系统包括开闭所述储罐气体供应线的储罐气体供应线阀，

如果在所述储罐气体浓度分析部测量的供应气体的浓度满足所述基准浓度范围，则所述控制部打开所述储罐气体供应线阀，

如果在所述储罐气体浓度分析部测量的供应气体的浓度不满足所述基准浓度范围，则所述控制部关闭所述储罐气体供应线阀。

9.根据权利要求7所述的气体混合供应装置，其特征在于，

所述供应系统包括：储罐气体排出线，从所述储罐气体供应线分支并连接到外部；储罐气体排出线阀，开闭所述储罐气体排出线，

其中，如果在所述储罐气体浓度分析部测量的供应气体的浓度满足所述基准浓度范围，则所述控制部关闭所述储罐气体排出线阀，

如果在所述储罐气体浓度分析部测量的供应气体的浓度不满足所述基准浓度范围，则所述控制部打开所述储罐气体排出线阀。

10.根据权利要求6所述的气体混合供应装置，其特征在于，

所述供应系统包括：储罐气体供应线，连接所述储罐与所述气体需求处；储罐气体浓度分析部，测量流动于所述储罐气体供应线的供应气体的浓度，

其中，在所述储罐气体浓度分析部测量的供应气体的浓度不满足预设定的基准浓度范围的情况下，所述控制部计算用于使在所述储罐气体供应线流动的供应气体的浓度满足所述基准浓度范围的浓度校正值，之后通过将所述浓度校正值应用于所述混合系统，来校正通过所述混合系统向所述储罐供应的供应气体的浓度。

11.根据权利要求10所述的气体混合供应装置，其特征在于，

在所述多条源气体供应线配备有：至少一个压力调节部，分别调节上述不同的多个种类的源气体的供应压力；至少一个流量调节部，分别调节上述不同的多个种类的源气体的供应流量，

在所述混合气体浓度分析部测量的供应气体的浓度不满足预设定的基准浓度范围的情况下，所述控制部通过根据所述浓度校正值调节所述压力调节部及所述流量调节部而调节在所述混合部混合的各种源气体的比例，来校正通过所述混合气体供应线向所述储罐供应的供应气体的浓度。

12.根据权利要求1所述的气体混合供应装置，其特征在于，

所述气体混合供应装置是如下的模块型装置：所述混合系统、所述储罐及所述供应系统分别由独立的构成形成并且能够相互结合。

13.一种混合系统，包括：

混合气体供应线，使在混合部混合多个种类的气体而形成的供应气体向储罐流动；

第一排出线，从所述混合气体供应线分支而连接到外部；

第二排出线，从所述混合气体供应线分支而连接到外部；

混合气体浓度分析部，测量从所述混合气体供应线向所述第二排出线流动的供应气体的浓度；

混合气体压力测量部，测量从所述混合气体供应线向所述第二排出线流动的供应气体的压力；

控制部，通过将在所述混合气体浓度分析部测量的供应气体的浓度与预设定的基准浓度范围进行比较并将在所述混合气体压力测量部测量的供应气体的压力与所述储罐的内部压力进行比较，来控制流动于所述混合气体供应线的供应气体向所述储罐和所述第一排出线中的一个流动。

14.根据权利要求13所述的混合系统，其特征在于，

所述混合系统包括：

混合气体供应线阀，开闭所述混合气体供应线；

第一排出线阀，开闭所述第一排出线，

其中，如果在所述混合气体浓度分析部测量的供应气体的浓度满足所述基准浓度范围，则所述控制部打开所述混合气体供应线阀并关闭所述第一排出线阀，

如果在所述混合气体浓度分析部测量的供应气体的浓度不满足所述基准浓度范围，则所述控制部关闭所述混合气体供应线阀并打开所述第一排出线阀。

15.根据权利要求13所述的混合系统，其特征在于，

所述混合系统包括：

混合气体供应线阀，开闭所述混合气体供应线；

第一排出线阀，开闭所述第一排出线，

其中，如果在所述混合气体压力测量部测量的供应气体的压力为所述储罐内部的气体压力以上，则所述控制部打开所述混合气体供应线阀并关闭所述第一排出线阀，

如果在所述混合气体压力测量部测量的供应气体的压力小于所述储罐内部的气体压力，则所述控制部关闭所述混合气体供应线阀并打开所述第一排出线阀。

16.根据权利要求15所述的混合系统，其特征在于，

所述混合系统包括开闭所述第二排出线的第二排出线阀，

所述控制部控制所述第二排出线阀的驱动而控制是否通过所述混合气体浓度分析部及所述混合气体压力测量部测量所述供应气体的浓度及压力。

17.根据权利要求15所述的混合系统，其特征在于，

所述第二排出线具有比第一排出线小的截面积。

18.根据权利要求15所述的混合系统，其特征在于，

所述混合系统还包括：混合气体排出流量调节部，调节所述第一排出线的开度而调节通过所述第一排出线排出的所述供应气体的排出量。

19.根据权利要求15所述的混合系统，其特征在于，

所述混合系统还包括：

多条源气体供应线，分别供应不同的多个种类的源气体；

混合部，混合从所述多条源气体供应线供应的不同的多个种类的源气体而形成所述供应气体，

其中，所述混合气体供应线利用连接所述混合部与所述储罐的构成形成。

20.根据权利要求19所述的混合系统，其特征在于，

存储于所述储罐的供应气体通过供应系统供应至气体需求处，所述供应系统包括测量从所述储罐向所述气体需求处流动的供应气体的浓度的储罐气体浓度分析部，

在所述多条源气体供应线配备有：至少一个压力调节部，分别调节上述不同的多个种类的源气体的供应压力；至少一个流量调节部，分别调节上述不同的多个种类的源气体的供应流量，

其中，在所述储罐气体浓度分析部测量的供应气体的浓度不满足预设定的基准浓度范围的情况下，从所述供应系统向所述控制部传递用于使在所述储罐气体供应线流动的供应气体的浓度满足所述基准浓度范围的浓度校正值，

所述控制部通过根据所述浓度校正值调节所述压力调节部及所述流量调节部而调节在所述混合部混合的各种源气体的比例，来校正通过所述混合气体供应线向所述储罐供应的供应气体的浓度。

21.一种利用混合系统的混合气体供应方法，所述混合系统在混合部混合多个种类的气体而形成供应气体，之后通过混合气体供应线将所述供应气体供应至储罐并进行存储，所述混合气体供应方法包括如下步骤：

步骤a)，使所述供应气体向第二排出线流动，来测量从所述混合气体供应线向所述第二排出线流动的所述供应气体的浓度及压力，其中，所述第二排出线从所述混合气体供应线分支而连接到外部并且配备有测量气体的浓度的混合气体浓度分析部和测量气体的压力的混合气体压力测量部，

步骤b)，通过将在所述混合气体浓度分析部测量的供应气体的浓度与预设定的基准浓度范围进行比较，并将在所述混合气体压力测量部测量的供应气体的压力与所述储罐的内部压力进行比较，来控制流动于所述混合气体供应线的供应气体向所述储罐和从所述混合气体供应线分支而连接到外部的第一排出线中的一个流动。

22.根据权利要求21所述的混合气体供应方法，其特征在于，

在所述步骤b)中，

如果在所述混合气体浓度分析部测量的供应气体的浓度满足所述基准浓度范围并且在所述混合气体压力测量部测量的供应气体的压力为所述储罐内部的气体压力以上，则打开用于开闭所述混合气体供应线的混合气体供应线阀并关闭用于开闭所述第一排出线的第一排出线阀，

如果在所述混合气体浓度分析部测量的供应气体的浓度不满足所述基准浓度范围，或者在所述混合气体压力测量部测量的供应气体的压力小于所述储罐内部的气体压力，则关闭所述混合气体供应线阀并打开所述第一排出线阀。

23.根据权利要求21所述的混合气体供应方法，其特征在于，

在所述步骤b)中，

通过控制开闭所述第二排出线的第二排出线阀的驱动而控制是否对所述第二排出线供应所述供应气体，来控制所述混合气体浓度分析部及所述混合气体压力测量部的驱动。

24.根据权利要求21所述的混合气体供应方法，其特征在于，

在所述步骤b)中，

在打开用于开闭所述第一排出线的第一排出线阀而通过所述第一排出线向外部排出所述供应气体的情况下，

通过调节混合气体排出流量调节部而调节通过所述第一排出线排出的供应气体的排出量，其中，所述混合气体排出流量调节部调节所述第一排出线的开度。

25.根据权利要求21所述的混合气体供应方法，其特征在于，还包括如下步骤：

步骤c)，在将存储于所述储罐的供应气体供应至气体需求处的供应系统的储罐气体浓度分析部测量在连接所述储罐与所述气体需求处的储罐气体供应线流动的供应气体的浓度；

步骤d)，通过比较在所述储罐气体浓度分析部测量的供应气体的浓度与预设定的基准浓度范围，来判断向所述气体需求处供应的供应气体是否合适。

26.根据权利要求25所述的混合气体供应方法，其特征在于，

在所述步骤d)中，

如果在所述储罐气体浓度分析部测量的供应气体的浓度满足所述基准浓度范围，则打开用于开闭所述储罐气体供应线的储罐气体供应线阀，

如果在所述储罐气体浓度分析部测量的供应气体的浓度不满足所述基准浓度范围，则关闭所述储罐气体供应线阀。

27.根据权利要求25所述的混合气体供应方法，其特征在于，

在所述步骤d)中，

如果在所述储罐气体浓度分析部测量的供应气体的浓度满足所述基准浓度范围，则关闭储罐气体排出线阀，

如果在所述储罐气体浓度分析部测量的供应气体的浓度不满足所述基准浓度范围，则打开所述储罐气体排出线阀，其中，所述储罐气体排出线阀开闭从所述储罐气体供应线分支而连接到外部的储罐气体排出线。

28.根据权利要求25所述的混合气体供应方法，其特征在于，

在所述步骤d)中，

在所述储罐气体浓度分析部测量的供应气体的浓度不满足预设定的基准浓度范围的情况下，计算用于使在所述储罐气体供应线流动的供应气体的浓度满足所述基准浓度范围的浓度校正值，之后将所述浓度校正值应用于所述混合系统而校正通过所述混合系统向所述储罐供应的供应气体的浓度。

29.根据权利要求28所述的混合气体供应方法，其特征在于，

所述混合系统还包括：多条源气体供应线，分别向所述混合部供应不同的多个种类的源气体，

在所述多条源气体供应线配备有：至少一个压力调节部，分别调节上述不同的多个种类的源气体的供应压力；至少一个流量调节部，分别调节上述不同的多个种类的源气体的供应流量，

在所述步骤d)中，在所述混合气体浓度分析部测量的供应气体的浓度不满足预设定的基准浓度范围的情况下，根据所述浓度校正值调节所述压力调节部及所述流量调节部而调节在所述混合部混合的各种源气体的比例，来校正通过所述混合气体供应线向所述储罐供应的供应气体的浓度。

30.根据权利要求25所述的混合气体供应方法，其特征在于，

所述供应系统还包括：储罐气体浓度分析线，从所述储罐气体供应线分支；储罐气体浓度分析线阀，开闭所述储罐气体浓度分析线，

其中，所述储罐气体浓度分析部配备为测量在所述储罐气体浓度分析线流动的气体的浓度，

所述步骤c)为如下步骤：打开所述储罐气体浓度分析线阀而在所述储罐气体浓度分析部测量从所述储罐内部通过所述储罐气体供应线向所述储罐气体浓度分析线流动的供应气体的浓度。