KR101017285B1 - 유량검정시스템 및 유량검정방법 - Google Patents
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Claims (10)
- 제1 차단밸브(7A, 7B), 상기 제1 차단밸브(7A, 7B)의 하류 쪽에 배치된 유량제어기구(8A, 8B) 및 상기 유량제어기구(8A, 8B)의 하류 쪽의 압력을 측정하는 압력센서(12)를 구비하는 가스 배관계(1)의 유량을, 상기 압력센서(12)가 측정한 압력에 기초하여 검정하는 유량검정시스템(16)에 있어서,상기 유량제어기구(8A, 8B)의 정상 시에 상기 압력센서(12)가 측정하는 상기 압력을 적산한 표준값을 기억하는 표준값 기억수단(27) 및상기 제1 차단밸브(7A, 7B)를 통해 상기 유량제어기구(8A, 8B)로 공급되고, 상기 유량제어기구(8A, 8B)로 유량을 제어한 프로세스 가스를, 상기 압력센서(12)로 공급한 때에, 상기 압력센서(12)가 측정하는 상기 압력을 적산하여 압력적산값을 산출하고, 상기 압력적산값을 상기 표준값과 비교하여, 유량의 이상을 검지하는 컨트롤러(14)를 구비하는 것을 특징으로 하는 유량검정시스템(16).
- 제1항에 있어서,상기 유량제어기구(8A, 8B)와 상기 압력센서(12)와의 사이에 제2 차단밸브(9A, 9B)를 배치하고,상기 압력센서(12)의 하류 쪽에 종단 차단밸브(13)를 배치하며,상기 유량제어기구(8A, 8B)가 유량제어를 개시한 직후부터 상기 압력센서(12)에 의해 측정한 상기 제2 차단밸브(9A, 9B)와 상기 종단 차단밸브(13)와의 사이의 압력을 적산하여, 상기 압력적산값을 산출하는 것을 특징으로 하는 유량검정시스템(16).
- 제1항에 있어서,상기 유량제어기구(8A, 8B)를 상기 가스 배관계(1)에 설치한 때에, 상기 유량제어기구(8A, 8B)에서 상기 프로세스 가스(A, B)의 유량을 제어한 상태로 상기 압력센서(12)로 상기 압력을 측정하고, 상기 압력을 적산한 상기 압력적산값을 상기 표준값으로 하여 상기 표준값 기억수단(27)에 기억되는 표준값 설정모드 설정수단(31)을 구비하는 것을 특징으로 하는 유량검정시스템(16).
- 제2항에 있어서,상기 유량제어기구(8A, 8B)를 상기 가스 배관계(1)에 설치한 때에, 상기 유량제어기구(8A, 8B)에서 상기 프로세스 가스(A, B)의 유량을 제어한 상태로 상기 압력센서(12)로 상기 압력을 측정하고, 상기 압력을 적산한 상기 압력적산값을 상기 표준값으로 하여 상기 표준값 기억수단(27)에 기억되는 표준값 설정모드 설정수단(31)을 구비하는 것을 특징으로 하는 유량검정시스템(16).
- 제1항에 있어서,상기 제1 차단밸브(7)와 상기 유량제어기구(8)를 구비하는 가스 라인(2)을 복수 구비하고, 상기 각 가스 라인(2A, 2B)이 상기 압력 센서(12)에 접속하고 있으 며,상기 유량의 검정에 필요한 상기 압력을 상기 압력센서(12)에서 측정되는 압력측정시간을 상기 가스 라인(2A, 2B) 마다 조정하는 측정시간 조정수단(35)을 구비하는 것을 특징으로 하는 유량검정시스템(16).
- 제2항에 있어서,상기 제1 차단밸브(7)와 상기 유량제어기구(8)를 구비하는 가스 라인(2)을 복수 구비하고, 상기 각 가스 라인(2A, 2B)이 상기 압력 센서(12)에 접속하고 있으며,상기 유량의 검정에 필요한 상기 압력을 상기 압력센서(12)에서 측정되는 압력측정시간을 상기 가스 라인(2A, 2B) 마다 조정하는 측정시간 조정수단(35)을 구비하는 것을 특징으로 하는 유량검정시스템(16).
- 제3항에 있어서,상기 제1 차단밸브(7)와 상기 유량제어기구(8)를 구비하는 가스 라인(2)을 복수 구비하고, 상기 각 가스 라인(2A, 2B)이 상기 압력 센서(12)에 접속하고 있으며,상기 유량의 검정에 필요한 상기 압력을 상기 압력센서(12)에서 측정되는 압력측정시간을 상기 가스 라인(2A, 2B) 마다 조정하는 측정시간 조정수단(35)을 구비하는 것을 특징으로 하는 유량검정시스템(16).
- 제4항에 있어서,상기 제1 차단밸브(7)와 상기 유량제어기구(8)를 구비하는 가스 라인(2)을 복수 구비하고, 상기 각 가스 라인(2A, 2B)이 상기 압력 센서(12)에 접속하고 있으며,상기 유량의 검정에 필요한 상기 압력을 상기 압력센서(12)에서 측정되는 압력측정시간을 상기 가스 라인(2A, 2B) 마다 조정하는 측정시간 조정수단(35)을 구비하는 것을 특징으로 하는 유량검정시스템(16).
- 제1 차단밸브(7A, 7B), 상기 제1 차단밸브(7A, 7B)의 하류 쪽에 배치된 유량제어기구(8A, 8B) 및 상기 유량제어기구(8A, 8B)의 하류 쪽의 압력을 측정하는 압력센서(12)를 구비하는 가스 배관계(1)의 유량을, 상기 압력센서(12)가 측정한 압력에 기초하여 검정하는 유량검정방법에 있어서,상기 제1 차단밸브(7A, 7B)를 통해 상기 유량제어기구(8A, 8B)로 공급되고, 상기 유량제어기구(8A, 8B)에서 유량을 제어한 프로세스 가스를, 상기 압력센서(12)로 공급한 때에, 상기 압력센서(12)가 측정하는 상기 압력을 적산하여 압력적산값을 산출하는 압력적산값 산출단계,상기 압력적산값 산출단계에서 산출한 상기 압력적산값을, 상기 유량제어기구(8A, 8B)의 정상 시에 상기 압력센서(12)가 검출하는 압력을 적산한 표준값과 비교하는 비교단계 및상기 비교단계의 비교결과에 기초하여, 유량의 이상을 검지하는 이상검지단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 유량검정방법.
- 제9항에 있어서,상기 유량제어기구(8A, 8B)와 상기 압력센서(12)와의 사이에 배치된 제2 차단밸브(9A, 9B)와, 상기 압력센서(12)의 하류 쪽에 배치된 종단 차단밸브(13)와의 사이의 압력을, 상기 유량제어기구(8A, 8B)가 유량제어를 개시하고 나서, 상기 압력센서(12)로 측정한 압력측정단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 유량검정방법.
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