JP2020173121A - 流量算出装置、流量算出システム、及び、流量算出装置用プログラム - Google Patents
流量算出装置、流量算出システム、及び、流量算出装置用プログラム Download PDFInfo
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Abstract
Description
10 容器
20 ポンプ
L1 流入ライン
L2 流出ライン
L3 分岐ライン
V1 第1開閉弁
V2 第2開閉弁
V3 第3開閉弁
P 圧力センサ
T 温度センサ
C 流量算出装置
C1 弁制御部
C2 圧力変化データ記憶部
C3 温度変化データ記憶部
C4 平均温度算出部
C5 流量算出部
C6 ずれ量関係データ記憶部
C7 流量補正部
C8 表示制御部
MFC 流量制御機器
Claims (7)
- 流量制御機器で所定の設定流量に制御した流体を容器内へ流入させ始めてから当該流入を停止させるまでの流入期間中に、前記流量制御機器を流れていたと推定される前記流体の推定流量を、前記流入期間中における前記容器内の圧力の変化率に基づき算出する流量算出部と、
基準流体を前記容器へ流入させて算出された前記推定流量と実流量との間の流量差に対する、前記基準流体と異種流体を前記容器へ流入させて算出された前記推定流量と実流量との間の流量差のずれ量(以下、流量差ずれ量)と、前記基準流体の熱伝導率に基づき算出される基準熱拡散値に対する、前記異種流体の熱伝導率に基づき算出される異種熱拡散値のずれ量(以下、熱拡散値ずれ量)との関係を示すずれ量関係データを記憶するずれ量関係データ記憶部と、
前記流量算出部で算出された前記流体の推定流量を前記ずれ量関係データに基づき補正する流量補正部とを具備することを特徴とする流量算出装置。 - 前記ずれ量関係データ記憶部が、前記基準流体の熱拡散率に基づき算出される値を前記基準熱拡散値とし、前記異種流体の熱拡散率に基づき算出される値を前記異種熱拡散値とするものである請求項1記載の流量算出装置。
- 前記ずれ量関係データ記憶部が、前記容器内の圧力が初期圧力から所定圧力になるように前記基準流体を前記容器へ流入させたと仮定して算出される前記容器内の前記基準流体の温度変化量と前記基準流体の熱拡散率の平方根との比を前記基準熱拡散値とし、前記容器内の圧力が前記初期圧力から前記所定圧力になるように前記異種流体を前記容器へ流入させたと仮定して算出される前記容器内の前記異種流体の温度変化量と前記異種流体の熱拡散率の平方根との比を前記異種熱拡散値とし、前記基準熱拡散値と前記異種熱拡散値との比を前記熱拡散値ずれ量とするものである請求項2記載の流量算出装置。
- 前記ずれ量関係データ記憶部が、前記基準流体を前記容器へ所定流量で流入させて算出される前記容器の推定容積に対する、前記異種流体を前記容器へ前記所定流量で流入させて算出される前記容器の推定容積のずれの割合を前記流量差ずれ量とするものである請求項1乃至3のいずれかに記載の流量算出装置。
- 前記請求項1乃至4のいずれかに記載の流量算出装置と、
前記容器と、
前記流量制御機器で流量が制御された流体を前記容器へ流入する流入ラインと、
前記容器内の圧力を検出する圧力センサと、
前記容器の温度又は前記容器内の温度を検出する温度センサとを具備する流量算出システム。 - 前記流入ラインから分岐する分岐ラインと、
前記分岐ラインのみへ流体を流す第1状態と前記流入ラインの前記分岐ラインとの分岐点よりも下流側のみへ流体を流す第2状態とを切り替える切替機構とをさらに具備し、
前記流入ラインの前記分岐ラインとの分岐点よりも上流側に前記流量制御機器が設けられている請求項5記載の流量算出システム。 - 流量制御機器で所定の設定流量に制御した流体を容器内へ流入させ始めてから当該流入を停止させるまでの流入期間中に、前記流量制御機器を流れていたと推定される前記流体の推定流量を、前記流入期間中における前記容器内の圧力の変化率に基づき算出する流量算出部と、
基準流体を前記容器へ流入させた場合における前記推定流量と実流量との間の流量差に対する、前記基準流体と異種流体を前記容器へ流入させた場合における前記推定流量と実流量との間の流量差のずれ量を、前記基準流体の熱伝導率に基づき算出される基準熱拡散値に対する、前記異種流体の熱伝導率に基づき算出される異種熱拡散値のずれ量との関係を示すずれ量関係データを記憶するずれ量関係データ記憶部と、
前記流量算出部で算出された前記流体の推定流量を前記ずれ量関係データに基づき補正する流量補正部としての機能を発揮させることを特徴とする流量算出装置用プログラム。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114087525A (zh) * | 2021-11-09 | 2022-02-25 | 浙江浙能技术研究院有限公司 | 一种气压驱动的差分质量法液氢累积流量标准装置 |
CN114440133A (zh) * | 2021-12-17 | 2022-05-06 | 河南平高电气股份有限公司 | 用于sf6充气、放气回收装置的监测模块及流量计纠偏方法 |
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JP2006337346A (ja) * | 2005-06-06 | 2006-12-14 | Ckd Corp | 流量制御機器絶対流量検定システム |
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