CN113249711A - 具有多方向反应室的反应器系统 - Google Patents

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Abstract

反应器系统可包括多个反应室；多个转移室；和/或联接到多个反应室中的每个反应室的至少两个闸阀。所述至少两个闸阀中的第一闸阀可以将所述多个反应室中的第一相应反应室流体联接到所述多个转移室中的第一转移室，并且所述至少两个闸阀中的第二闸阀可以将第一相应反应室流体联接到所述多个转移室中的第二转移室。在各种实施例中，多个转移室中的每个转移室可包括转移工具，其中每个转移工具可配置成将衬底转移到多个反应室中和/或转移出多个反应室。

Description

具有多方向反应室的反应器系统
技术领域
本公开大体上涉及一种反应器系统，具体涉及包括一个或多个多方向反应室的反应器系统。
背景技术
反应器系统可包括反应室、衬底转移室(TC)、负载锁定室(LLC)和/或用于处理例如衬底的类似腔室或模块的各种配置。参考图2中所示的反应室构造90，多个反应室60可以围绕TC 80设置和/或联接到该TC，所述TC包括用于在反应室60之间转移衬底的转移工具85。在图3所示的反应器系统91的另一实施例中，多个反应室61可以围绕一个或多个TC和/或联接到一个或多个TC(例如，TC 81和82)。每个TC可包括一个或多个转移工具(例如，TC81中包括的转移工具86和TC 82中包括的转移工具87)。反应器系统的此类实施例可包括反应室，该反应室具有一个闸门，该闸门配置成允许将衬底转移进和转移出相应反应室(例如，将相应的反应室与TC和/或LLC(诸如LLC 70或71)流体联接的闸门)。
反应器系统中的转移工具可配置成在腔室之间(例如，在反应室之间)转移衬底以开始处理方法或在处理方法期间在腔室之间(例如，在反应室之间)转移衬底。例如，对于衬底处理方法内的不同步骤，可以在反应器系统中的不同反应室之间转移衬底(例如，以产生半导体)。然而，如果需要转移工具在衬底处理方法所要求的有限时间量内在反应室之间完成两个或三个(或更多)衬底转移，则转移工具可能无法在所需时间内跟上所需的衬底转移。换句话说，由于在处理方法期间反应器系统中的反应室之间需要衬底转移过多，因此可能存在衬底“交通堵塞”，从而引起反应室之间的衬底转移相对于此类衬底转移和后续处理步骤的所需定时的延迟。因此，在此反应室中过程步骤完成之后，在被转移到另一个反应室之前，可能需要反应器系统(例如反应器系统90或91)的特定反应室中的衬底保留在反应室中。这种等待可能降低反应器系统产生成品(例如，半导体)的效率和/或可能降低成品的质量。
发明内容
提供此概述是为了以简化的形式引入一系列概念。下文在本公开的示例实施例的详细描述中更详细地描述这些概念。本概述并非打算标识所要求保护的主题的关键特征或必要特征，也并非打算用于限制所要求保护的主题的范围。
在各种实施例中,提供了一种反应器系统。本文公开的反应器系统可包括多个反应室；多个转移室；和/或联接到多个反应室中的每个反应室的至少两个闸阀。所述至少两个闸阀中的第一闸阀可以将所述多个反应室中的第一相应反应室流体联接到所述多个转移室中的第一转移室，并且所述至少两个闸阀中的第二闸阀可以将第一相应反应室流体联接到所述多个转移室中的第二转移室。在各种实施例中，所述多个转移室中的每一个可包括转移工具，其中每个转移工具可配置成将衬底转移到和/或转移出所述多个反应室中的多个反应室(例如，至少两个，或最多两个)。
在各种实施例中，反应器系统可包括：第一反应室；第一反应室第一闸阀，所述第一反应室第一闸阀联接到所述第一反应室并且配置成允许将衬底转移到所述第一反应室中和/或转移出所述第一反应室；第一转移室，其中所述第一转移室可以响应于所述第一反应室第一闸阀打开而经由所述第一反应室第一闸阀与所述第一反应室流体连通，其中所述反应器系统可以配置成允许通过所述第一反应室第一闸阀在所述第一反应室与所述第一转移室之间转移所述衬底；第一反应室第二闸阀，所述第一反应室第二闸阀联接到所述第一反应室并且配置成允许将衬底转移到所述第一反应室中和/或转移出所述第一反应室；和/或第二转移室，所述第二转移室响应于所述第一反应室第二闸阀打开而经由所述第一反应室第二闸阀与所述第一反应室流体连通，其中所述反应器系统可以配置成允许通过所述第一反应室第二闸阀在所述第一反应室与所述第二转移室之间转移所述衬底。
在各种实施例中，第一转移室和第二转移室可以在第一反应室的彼此相对侧上。在各种实施例中，所述第一转移室和所述第二转移室可以设置成关于所述第一反应室彼此小于180度。
在各种实施例中，反应器系统还可包括第二反应室；以及第二反应室第一闸阀，所述第二反应室第一闸阀联接到所述第二反应室并且配置成允许将衬底转移到所述第二反应室中和/或转移出所述第二反应室。所述第二反应室可响应于所述第二反应室第一闸阀打开而经由所述第二反应室第一闸阀与第二转移室流体连通。在各种实施例中，反应器系统还可包括联接到第二反应室的第二反应室第二闸阀。所述第二反应室可响应于所述第二反应室第二闸阀打开而经由所述第二反应室第二闸阀与所述第一转移室流体连通。
在各种实施例中，反应器系统还可包括第三转移室；和/或联接到第二反应室的第二反应室第二闸阀。第二反应室可响应于第二反应室第二闸阀打开而经由第二反应室第二闸阀与第三转移室流体连通。
在各种实施例中，反应器系统还可包括第三反应室；和/或第三反应室第一闸阀，所述第三反应室第一闸阀联接到第三反应室并且配置成允许将衬底转移到所述第三反应室中和/或转移出所述第三反应室。第三反应室可响应于第三反应室第一闸阀打开而经由第三反应室第一闸阀与第三转移室流体连通。
在各种实施例中，反应器系统还可包括联接到第三反应室的第三反应室第二闸阀。第三反应室可响应于第三反应室第二闸阀打开而经由第三反应室第二闸阀与第一转移室或第二转移室中的至少一个流体连通。在各种实施例中，反应器系统还可包括第四转移室；和/或联接到第三反应室的第三反应室第三闸阀。第三反应室可响应于第三反应室第三闸阀打开而经由第三反应室第三闸阀与第四转移室流体连通。
在各种实施例中，反应器系统还可包括第四转移室；和/或联接到第三反应室的第三反应室第二闸阀。第三反应室可响应于第三反应室第二闸阀打开而经由第三反应室第二闸阀与第四转移室流体连通。在各种实施例中，反应器系统还可包括联接到第一反应室的第一反应室第三闸阀。第四转移室可响应于第一反应室第三闸阀打开而经由第一反应室第三闸阀与第一反应室流体连通。
在各种实施例中，反应器系统还可包括第四反应室；和/或第四反应室第一闸阀，所述第四反应室第一闸阀联接到第四反应室并且配置成允许将衬底转移到所述第四反应室中和/或转移出所述第四反应室。第四反应室可响应于第四反应室第一闸阀打开而经由第四反应室第一闸阀与第四转移室流体连通。在各种实施例中，反应器系统还可包括联接到第四反应室的第四反应室第二闸阀。第四反应室可响应于第四反应室第二闸阀打开而经由第四反应室第二闸阀与第一转移室流体连通。
在各种实施例中，方法可包括：经由第一转移室中包括的第一转移工具，将第一衬底通过联接到所述第一反应室的第一反应室第一闸阀转移到第一反应室，其中所述第一反应室和所述第一转移室可以响应于所述第一反应室第一闸阀打开而流体连通；经由第二转移室中包括的第二转移工具，将所述第一衬底从所述第一反应室通过联接到所述第一反应室的第一反应室第二闸阀转移，其中所述第二转移室可以响应于所述第一反应室第二闸阀打开而与所述第一反应室流体连通；经由所述第二转移工具将所述衬底通过联接到所述第二反应室的第二反应室第一闸阀转移到第二反应室，其中所述第二反应室可以响应于所述第二反应室第一闸阀打开而与所述第二转移室流体连通；和/或从所述第二反应室转移所述衬底。在各种实施例中，从所述第二反应室转移所述衬底可以经由所述第一转移工具通过联接到所述第二反应室的第二反应室第二闸阀完成，其中所述第二反应室和所述第一转移室可响应于所述第二反应室第二闸阀打开而流体连通。
在各种实施例中，所述方法还可包括：在从所述第一反应室转移所述衬底之前，将第一材料施加到所述第一反应室中的衬底达第一持续时间；和/或在从所述第二反应室转移所述衬底之前，将第二材料施加到所述第二反应室中的衬底达第二持续时间。第一持续时间和第二持续时间可以相同。
在各种实施例中，从所述第二反应室转移所述衬底可以经由第三转移室中包括的第三转移工具并且通过联接到所述第二反应室的第二反应室第二闸阀完成，其中所述第二反应室和所述第三转移室可以响应于所述第二反应室第二闸阀打开而流体连通。在各种实施例中，所述方法还可包括在从所述第一反应室转移所述衬底之前，将第一材料施加到所述第一反应室中的衬底达第一持续时间；在从所述第二反应室转移所述衬底之前，将第二材料施加到所述第二反应室中的衬底达第二持续时间；经由所述第三转移工具将所述衬底通过联接到所述第三反应室的第三反应室第一闸阀转移到第三反应室，其中所述第三反应室响应于所述第三反应室第一闸阀打开而与所述第三转移室流体连通；和/或将第三材料施加到所述第三反应室中的衬底达第三持续时间。在各种实施例中，第二材料和第三材料可以是相同的，并且第一持续时间、第二持续时间和第三持续时间可以是相同的。
出于概述本公开以及所实现的优于现有技术的优势的目的，上文中描述了本公开的某些目标和优势。当然，应理解，未必所有此类目标或优势都可以根据本公开的任何特定实施方案完成。因此，举例来说，本领域的技术人员将认识到，本文公开的实施例可按实现或优化本文中教示或表明的一个优点或一组优点的方式实行，而未必实现本文中可能教示或表明的其它目标或优点。
所有这些实施例均意图在本公开的范围内。通过下文参考附图对某些实施例的详细描述，这些及其他实施例对于本领域技术人员将是显而易见的；本公开不限于所讨论的任何特定实施例。
附图说明
本公开的主题在说明书的结论部分中特别指出并明确要求保护。然而，当结合附图考虑时，最好可通过参考详细描述和权利要求来获得对本公开的更完整的理解，在附图中，相同的标号表示相同的元件。
图1示出了根据各种实施例的反应器系统的示意图。
图2示出了反应器系统的示意图。
图3示出了反应器系统的另一示意图。
图4A-4C示出了根据各种实施例的包括多方向反应室的反应器系统的示意图。
图5A和5B示出了根据各种实施例的包括多方向反应室的其它反应器系统的示意图。
具体实施方式
尽管下文公开了某些实施例和实例，但本领域的技术人员将理解，本公开延伸超出了本公开具体公开的实施例和/或用途以及其明显的修改和等效物。因此，预期本公开的范围不应受本文中所描述的特定实施例限制。
本文中呈现的图示并不打算作为任何特定材料、设备、结构或器件的实际视图，而仅仅是用以描述本公开的实施例的表现。
如本文所用，术语“衬底”可指可使用的或上面可形成器件、电路或膜的任何一种或多种下层材料。
如本文所用，术语“原子层沉积”(ALD)可以指在工艺室中进行沉积循环，优选地多个连续沉积循环的气相沉积工艺。在每个循环期间，将前体化学吸附到沉积表面(例如，衬底表面或先前沉积的底层表面，如来自前一ALD循环的材料)，由此形成不易与额外前体反应的单层或亚单层(即，自限性反应)。其后，如果必要，可随后将反应物(例如，另一前体或反应气体)引入到工艺室中以用于将被化学吸附的前体转化为沉积表面上的所需材料。此反应物能够与前体进一步反应。此外，还可在每个循环期间利用吹扫步骤来在被化学吸附的前体的转化之后从工艺室去除过量的前体和/或从工艺室去除过量的反应物和/或反应副产物。此外，当使用前体组合物、反应性气体和吹扫气体(例如，惰性载气)的交替脉冲进行时，如本文所用，术语“原子层沉积”还意在包括由相关术语如化学气相原子层沉积、原子层外延(ALE)、分子束外延(MBE)、气体源MBE或有机金属MBE和化学束外延所指定的工艺。
如本文中所使用，术语“化学气相沉积(CVD)”可以指其中衬底暴露于一种或多种挥发性前体的任何工艺，所述前体在衬底表面上反应和/或分解以产生所要沉积。
如本文所用，术语“膜”和“薄膜”可以指通过本文所公开的方法沉积的任何连续或非连续结构和材料。例如，“膜”和“薄膜”可以包含2D材料、纳米棒、纳米管或纳米粒子，或甚至部分或完整分子层或者部分或完整原子层或原子和/或分子簇。“膜”和“薄膜”可以包括具有销孔，但仍然是至少部分连续的材料或层。
如本文所使用，术语“污染物”可以指设置于反应室内的可影响设置在反应室中的衬底或层的纯度的任何不需要的材料，或反应系统的任何部件中的任何不需要的材料。术语“污染物”可以指但不限于设置在反应室或反应系统的其它部件内的不需要的沉积物、金属和非金属颗粒、杂质和废物产品。
如本文所使用，术语“气体”可包括汽化的固体和/或液体，并且可以由单一气体或气体混合物构成。
用于ALD、CVD等等的反应器系统可用于各种应用，包括将材料沉积和蚀刻在衬底表面上。在各种实施例中，参考图1，反应器系统50可包括反应室4、用于在处理期间保持衬底30的感受器6、气体分配系统8(例如，喷淋头)以将一种或多种反应物分配到衬底30的表面、经由管线16-20流体联接到反应室4的一个或多个反应物源10、12和/或载气和/或吹扫气体源14和阀或控制器22-26。反应物气体或来自反应物源10、12的其它材料可施加到反应室4中的衬底30。来自吹扫气体源14的吹扫气体可流动到且穿过反应室4，以从反应室4去除任何过量的反应物或其它不希望的材料。系统50还可包括流体联接到反应室4的真空源28，真空源可以配置成将反应物、吹扫气体或其它材料从反应室4中吸出。
在各种实施例中，衬底处理方法可包括多个步骤，这些步骤可在多个反应室中执行。例如，第一前体可以施加到一个反应室中的衬底达确定的持续时间，衬底可以转移到另一个反应室，并且接着第二前体可以施加到衬底。附加地或替代地，第一层可以在第一反应室中沉积，并且附加反应室(一个或多个)可以用于蚀刻、清洗和/或额外沉积过程。在反应室之间及时转移衬底可促进反应器系统中的更有效的衬底处理和/或更好的所得最终产物(例如，尤其对于通过具有时间敏感步骤的处理方法和/或涉及不稳定化合物来制备的最终产物，如果处理不在期望的时间范围内继续和/或不暴露于周围环境，所述不稳定化合物可能降解或以其它方式反应)。
在各种实施例中，反应器系统可包括多个反应室(例如，各自在相应反应器内)。每个反应器和/或反应室可具有周围壁。周围壁可包围反应室的反应室空间，反应室空间中可设置衬底以供处理。在各种实施例中，反应器系统可包括联接到每个反应室(例如，联接到每个反应室的周围壁)的至少两个闸阀，其中每个闸阀可以配置成选择性地允许进入相应的反应室。也就是说，每个闸阀可以打开以允许将衬底转移进和转移出相应反应室(将相应反应室与反应器系统的另一腔室例如转移室流体联接)，并且关闭以至少部分地密封反应室与周围环境。例如，在相应的反应室中处理衬底期间，可以关闭用于进入相应的反应室的闸阀。因为有至少两个闸阀可以联接到每个反应室，并且每个闸阀可以允许将衬底转移进或转移出每个反应室向反应器系统内的不同目的地(例如，其它腔室)转移，所以这些反应室可以是多方向反应室。
反应器系统还可包括多个转移室。每个转移室可包括转移室周围壁和设置在其中的转移工具(例如，转移臂)。转移工具可配置成将衬底转移进和转移出一个或多个反应室和/或转移进或转移出相应转移室。在各种实施例中，转移室可联接到至少两个闸阀，该闸阀允许反应器系统中的其它腔室之间的流体连通(例如，允许衬底在其间转移)。在各种实施例中，反应器系统中的每个反应室可以联接到和/或邻近至少两个转移室。类似地，每个转移室可以联接到和/或邻近至少两个反应室。例如，联接到反应室的至少两个闸阀中的第一闸阀可以将反应室流体联接到多个转移室中的第一转移室，使得衬底可以响应于相应的闸阀打开而在第一转移室与反应室之间转移。联接到反应室的至少两个闸阀中的第二闸阀可以将反应室流体联接到多个转移室中的第二转移室，使得衬底可以响应于相应闸阀打开而在所述第二转移室与反应室之间转移。
在各种实施例中，反应室可以联接到任何合适数量的闸阀，每个闸阀可以将反应室联接到转移室。反应室和转移室在反应器系统中的布置可以呈任何合适的配置，使得每个反应室可以联接到至少两个闸阀，其中的每个闸阀将反应室与转移室流体联接(因此反应室流体联接到至少两个转移室，每个闸阀针对一个转移室)，并且使得每个转移室联接到和/或邻近两个或更多个腔室(例如，两个或三个腔室，其可包括反应室，负载锁定室，缓冲室，和/或可以由转移室中的转移工具将衬底转移出或转移进的任何其它空间)。反应室和转移室的此类反应器系统配置的实例在本文中进一步论述的图4A-4C、5A、5B中图示。
反应室和转移室的此类反应器系统配置可使每个转移室的衬底转移次数减少，使得反应室之间的任何衬底转移延迟减少或最小化。换句话说，每个转移室可具有减少数目的可能的衬底转移(例如，两个或三个)，使得衬底“交通堵塞”将被最小化或被阻止(而不是具有六个或更多可能的衬底转移的转移室，例如在图2和图3中描绘的反应器系统中)。在各种实施例中，为了实现此益处，反应器系统中的每个转移室可邻近于和/或联接到最多两个或三个腔室(例如，反应室、负载锁定室、缓冲室等)。因此，在此类实施例中，每个转移室和/或其中包括的转移工具可以在腔室之间执行最多两个或三个可能的衬底转移。
参考图4A，反应器系统(例如，反应器系统400A)可包括第一反应室(例如，第一反应室110)。第一反应室110可包括第一周围壁112。反应室的周围壁可包括任何合适的设计或形状。例如，反应室的周围壁可包括多个周围壁侧面(例如，三个、四个、六个或八个侧面)，其中周围壁侧面中的一个或多个联接到闸阀。闸阀可以配置成打开和关闭，分别暴露或至少部分地密封第一反应室110的反应室空间。响应于闸阀打开，联接到闸阀的反应室可以与反应器系统中的另一腔室流体连通。响应于闸阀关闭，联接到闸阀的反应室可以至少部分地与反应器系统中的另一腔室(例如，相邻腔室)密封。如图4A中所描绘的，第一反应室110可联接到第一反应室第一闸阀114。第一反应室第一闸阀114可以允许将衬底转移进和转移出第一反应室110。
在各种实施例中，反应器系统400A可包括第一转移室210，该第一转移室具有第一转移室周围壁212。第一转移室210可以设置成邻近于和/或联接到第一反应室110和/或第一反应室第一闸阀114。第一反应室第一闸阀114可以使第一反应室110和第一转移室210流体连通(例如，响应于第一反应室第一闸阀114打开)。因此，第一转移室210中包括的第一转移工具213能够通过第一反应室第一闸阀114将一个或多个衬底转移进和转移出第一反应室110。
反应器系统(例如，反应器系统400A)的另一腔室可邻近于和/或联接到第一转移室210，第一转移工具213可从第一转移室接收待转移到第一反应室110的衬底和/或第一转移工具213可以将衬底从第一反应室110和/或反应器系统400A中的另一腔室转移到第一转移室。在各种实施例中，负载锁定室(LLC)105可以联接和/或邻近于第一转移室210。LLC105可配置成保持等待处理的衬底和/或已处理的衬底。因此，第一转移室210可以将等待处理的衬底从LLC 105转移到第一反应室110，和/或将成品(例如，处理后的衬底)从工艺中使用的最终反应室转移到LLC 105。反应器系统中的最终反应室可以是用于工艺中的最后一个反应室，或者可以在处理之后由转移室将衬底从反应室加载到LLC中。在本文公开的实施例中，反应器系统中的第一转移室可以是配置成向LLC和从LLC拾取和/或传送衬底的转移室。第一转移室和LLC可以联接到LLC闸阀(例如，LLC闸阀107)，衬底可以通过该闸阀在第一转移室与LLC之间转移。
在各种实施例中，反应器系统400A可包括第二转移室220A，该第二转移室具有第二转移室周围壁222A。第二转移室220A可以联接到和/或邻近于第一反应室110。反应器系统400A还可包括联接到第一反应室110和/或第二转移室220A的第一反应室第二闸阀116A。第二转移室220A可联接到第一反应室110和/或第一反应室第二闸阀116A和/或可以邻近第一反应室和/或第一反应室闸阀设置。第一反应室第二闸阀116A可以使第一反应室110和第二转移室220A流体连通(例如，响应于第一反应室第二闸阀116A打开)。因此，第二转移室220A中包括的第二转移工具223A能够通过第一反应室第二闸阀116A将一个或多个衬底转移进和转移出第一反应室110。
第一转移室210和第二转移室220A可以相对于彼此以任何合适的配置联接到第一反应室110。在各种实施例中，第一转移室210和第二转移室220A可以设置于第一反应室110的彼此相对侧上。在各种实施例中，第一转移室210和第二转移室220A可以彼此设置成180度，其中第一反应室110在其间。在各种实施例中，第一转移室210和第二转移室220A可彼此设置成小于180度(例如，彼此约90度、约120度或约60度)。在这种情况下，“约”意指正或负20或30度。如在反应器系统400A中所描绘的，第一转移室210和第二转移室220A可以彼此设置成90度。
在各种实施例中，反应器系统(例如，反应器系统400A)可包括第二反应室(例如，第二反应室120A)。第二反应室120A可包括第二周围壁122A。第二反应室120A可邻近于和/或联接到第二转移室220A。
反应器系统400A可包括联接到第二反应室120A和/或第二转移室220A的第二反应室第一闸阀124A。第二反应室第一闸阀124A响应于打开可以流体联接第二转移室220A与第二反应室120A，使得可以通过第二反应室第一闸阀124A发生将衬底转移进和转移出第二反应室120A。此类衬底转移可由第二转移工具223A完成。
在各种实施例中，反应器系统400A还可包括第二反应室第二闸阀126A。第二反应室第二闸阀126A可以联接到第二反应室120A和/或第一转移室210。第二反应室第二闸阀126A响应于打开而可以流体联接第二反应室120A和第一转移室210，使得可以通过第二反应室第二闸阀126A发生将衬底转移进和转移出第二反应室120A。此类衬底转移可由第一转移工具213完成。第二反应室120A和第一转移室210可以相邻和/或联接。
在反应器系统400A中所示的腔室的构造中，第二反应室120A可以是最终反应室，衬底在处理之后从该最终反应室转移到LLC 105。因此，在各种实施例中，反应器系统(例如，反应器系统400A)可包括分别布置成两列两个腔室的两个反应室和两个转移室(即，二对二布置)，其中LLC联接到转移室中的至少一个(例如，第一转移室)。LLC可以在任何合适位置联接到转移室。例如，LLC可以定位成相比另一反应室更靠近反应器系统中的一个反应室。参照反应器系统400A，LLC 105定位在第一转移室210的与第一反应室110相对的一侧上(并且因此更靠近第二反应室120A)，但是在各种实施例中，例如，LLC 105可以定位在第一转移室210的与第二反应室120A相对的一侧上(并且因此更靠近第一反应室110)。
反应器系统400A中的反应室各自具有联接到其上的至少两个闸阀，并且因此是多方向反应室，因为存在多于一个入口/出口以用于将衬底转移进和转移出每个反应室。
为了在反应器系统400A中处理衬底，可以经由第一转移工具213将衬底从LLC 105通过第一转移室210转移到第一反应室110。第一转移工具213可以通过LLC闸阀107从LLC105获得衬底(响应于LLC闸阀107打开)，并且将衬底转移到第一转移室210。在衬底从LLC105进入和/或设置在第一转移室210中之后，LLC闸阀107可以关闭和/或第一反应室第一闸阀114可以打开。第一转移工具213可以通过第一反应室第一闸阀114(响应于第一反应室第一闸阀114打开)将衬底递送到第一反应室110。在衬底进入和/或设置于第一反应室110中之后，第一反应室第一闸阀114可关闭以至少部分地密封第一反应室110，因此可发生一个或多个处理步骤(例如，将一种或多种气体(例如，反应气体和/或吹扫气体)施加到第一反应室110中的衬底)。在第一反应室110中处理衬底期间，第一反应室第二闸阀116A也可以关闭以至少部分地密封第一反应室110。
在第一反应室110中完成对衬底的处理之后，第一反应室第二闸阀116A可以打开，并且第二转移工具223A可以从第一反应室110获得衬底并将衬底转移到第二转移室220A。在衬底从第一反应室110进入和/或设置于第二转移室220A中之后，第一反应室第二闸阀116A可关闭和/或第二反应室第一闸阀124A可打开。第二转移工具223A可通过第二反应室第一闸阀124A(响应于第二反应室第一闸阀124A打开)将衬底转移到第二反应室120A。在衬底进入和/或设置于第二反应室120A中之后，第二反应室第一闸阀124A可关闭以至少部分密封第二反应室120A，使得一个或多个处理步骤可出现在第二反应室120A中的衬底上。在第二反应室120A中处理衬底期间，第二反应室第二闸阀126A也可以关闭以至少部分地密封第二反应室120A。
在第二反应室120A中完成衬底的处理之后，第二反应室第二闸阀126A可以打开，并且第一转移工具213可以从第二反应室120A获得衬底，并且将衬底转移到第一转移室210(或再次转移到第一反应室110以进行进一步处理)。LLC可以连接到另一个闸阀(例如，闸阀108)，该闸阀可以配置成允许装载衬底以用于在LLC内处理(例如，由反应器系统的操作者)或从LLC卸载经处理的衬底。
在第一反应室110和/或第二反应室120A中发生的处理可包括对衬底的相同或不同的处理。也就是说，第一过程可在第一反应室110中发生，第二过程可在第二反应室120A中发生，并以任何合适数目的步骤持续任何合适的持续时间。例如，过程可包括两个步骤(例如，将第一材料施加到衬底，然后将第二材料施加到衬底)，其中一个步骤在第一反应室110中执行，另一个步骤在第二反应室120A中执行。作为另一实例，过程可包括一个步骤，该步骤可包括处理持续时间。整个处理持续时间可在第一反应室110或第二反应室120A中执行，或持续时间的一半的处理可在第一反应室110中发生，且另一半持续时间的处理可在第二反应室120A中发生。应注意，衬底可以以任何合适的顺序(例如，与本文所述的顺序相反的顺序)在反应器系统中的腔室之间行进。
参考图4B，反应器系统400B可包括LLC 105、LLC闸阀107、第一转移室210、第一反应室110和第一反应室第一闸阀114，以及其中的任何部件，类似于本文所论述的图4A的反应器系统400A。在各种实施例中，反应器系统400B可包括联接到和/或邻近第一反应室110的第二转移室220B。不同于反应器系统400A中的第二转移室220A，第二转移室220B可在第一反应室110的与第一转移室210相对的一侧上。反应器系统400B可包括联接到第一反应室110和/或第二转移室220B的第一反应室第二闸阀116B。第一反应室第二闸阀116B可以使第一反应室110和第二转移室220B流体连通(例如，响应于第一反应室第二闸阀116B打开)。因此，第二转移室220B中包括的第二转移工具223B能够通过第一反应室第二闸阀116B将一个或多个衬底转移进和转移出第一反应室110。
在各种实施例中，反应器系统(例如，反应器系统400B)可包括第二反应室(例如，第二反应室120B)。第二反应室120B可包括第二周围壁122B。第二反应室120B可以邻近于和/或联接到第二转移室220A。
反应器系统400B可包括第二反应室第一闸阀124B，该第二反应室第一闸阀联接到第二反应室120B和/或第二转移室220B。第二反应室第一闸阀124B响应于打开而可以流体联接第二转移室220B与第二反应室120B，使得可以通过第二反应室第一闸阀124B发生将衬底转移进和转移出第二反应室120B。此类衬底转移可由第二转移工具223B完成。
在各种实施例中，反应器系统400B可包括第三转移室(例如，第三转移室230B)。第三转移室230B可包括第三周围壁232B。第三转移室230B可邻近于和/或联接到第二反应室120B。第三转移室230B可包括第三转移工具233B，该第三转移工具配置成将衬底转移进和转移出第三转移室230B。
在各种实施例中，反应器系统400B还可包括第二反应室第二闸阀126B。第二反应室第二闸阀126B可以联接到第二反应室120B和/或第三转移室230B。第二反应室第二闸阀126B响应于打开而可以流体联接第二反应室120B与第三转移室230B，使得可以通过第二反应室第二闸阀126B发生将衬底转移进和转移出第二反应室120B。此类衬底转移可由第三转移工具233B完成。
在各种实施例中，反应器系统(例如，反应器系统400B)可包括第三反应室(例如，第三反应室130B)。第三反应室130B可包括第三周围壁132B。第三反应室130B可邻近于和/或联接到第三转移室230B。
反应器系统400B可包括第三反应室第一闸阀134B，该第三反应室第一闸阀联接到第三反应室130B和/或第三转移室230B。第三反应室第一闸阀134B响应于打开而可以流体联接第三转移室230B与第三反应室130B，使得可以通过第三反应室第一闸阀134B发生将衬底转移进和转移出第三反应室130B。此类衬底转移可由第三转移工具233B完成。
在各种实施例中，反应器系统400B还可包括第三反应室第二闸阀136B。第三反应室第二闸阀136B可以联接到第三反应室130B和/或第一转移室210。第三反应室第二闸阀136B响应于打开而可以流体联接第三反应室130B与第一转移室210，使得可以通过第三反应室第二闸阀136B发生将衬底转移进和转移出第三反应室130B。此类衬底转移可由第一转移工具213完成。第三反应室130B和第一转移室210可以相邻和/或联接。
在反应器系统400B中所示的腔室的构造中，第三反应室130B可以是最终反应室，衬底在处理之后从该最终反应室转移到LLC 105。因此，在各种实施例中，反应器系统(例如，反应器系统400B)可包括分别布置成两列三个腔室(即，二对三布置)或分别布置成两行三个腔室(即三对二布置)的三个反应室和三个转移室，其中LLC联接到转移室中的至少一个(例如，第一转移室)。LLC可以在任何合适位置联接到转移室。例如，LLC可以定位成相比另一反应室更靠近反应器系统中的一个反应室。参照反应器系统400B，LLC 105定位在第一转移室210的与第一反应室110相对的一侧上(并且因此更靠近第三反应室130B)，但是在各种实施例中，例如，LLC 105可以定位在第一转移室210的与第三反应室130B相对的一侧上(并且因此更靠近第一反应室110)。
反应器系统400B中的反应室各自具有联接到其上的至少两个闸阀，并且因此是多方向反应室，因为存在多于一个入口/出口以用于将衬底转移进和转移出每个反应室。
为了在反应器系统400B中处理衬底，可以通过第一转移室210并且经由第一转移工具213将衬底从LLC 105转移到第一反应室110。第一转移工具213可以通过LLC闸阀107从LLC 105获得衬底(响应于LLC闸阀107打开)，并且将衬底转移到第一转移室210。在衬底从LLC进入和/或设置在第一转移室210中之后，LLC闸阀107可以关闭和/或第一反应室第一闸阀114可以打开。第一转移工具213可以通过第一反应室第一闸阀114(响应于第一反应室第一闸阀114打开)将衬底递送到第一反应室110。在衬底进入和/或设置于第一反应室110中之后，第一反应室第一闸阀114可关闭以至少部分地密封第一反应室110，因此可发生一个或多个处理步骤(例如，将一种或多种气体(例如，反应气体和/或吹扫气体)施加到第一反应室110中的衬底)。在第一反应室110中处理衬底期间，第一反应室第二闸阀116B也可以关闭以至少部分地密封第一反应室110。
在第一反应室110中完成对衬底的处理之后，第一反应室第二闸阀116B可以打开，并且第二转移工具223B可以从第一反应室110获得衬底并将衬底转移到第二转移室220B。在衬底从第一反应室110进入和/或设置于第二转移室220B中之后，第一反应室第二闸阀116B可关闭和/或第二反应室第一闸阀124B可打开。第二转移工具223B可以通过第二反应室第一闸阀124B(响应于第二反应室第一闸阀124B打开)将衬底递送到第二反应室120B。在衬底进入和/或设置于第二反应室120B中之后，第二反应室第一闸阀124B可关闭以至少部分密封第二反应室120B，使得一个或多个处理步骤可发生在第二反应室120B中的衬底上。在第二反应室120B中处理衬底期间，第二反应室第二闸阀126B也可以关闭以至少部分地密封第二反应室120B。
在第二反应室120B中完成对衬底的处理之后，第二反应室第二闸阀126B可以打开，并且第三转移工具233B可以从第二反应室120B获得衬底并将衬底转移到第三转移室230B。在衬底从第二反应室120B进入和/或设置在第三转移室230B中之后，第二反应室第二闸阀126B可关闭和/或第三反应室第一闸阀134B可打开。第三转移工具233B可以通过第三反应室第一闸阀134B(响应于第三反应室第一闸阀134B打开)将衬底递送到第三反应室130B。在衬底进入和/或设置在第三反应室130B中之后，第三反应室第一闸阀134B可关闭以至少部分密封第三反应室130B，使得一个或多个处理步骤可出现在第三反应室130B中的衬底上。在第三反应室130B中处理衬底期间，第三反应室第二闸阀136B也可以关闭以至少部分地密封第三反应室130B。
在第三反应室130B中完成对衬底的处理之后，第三反应室第二闸阀136B可打开且第一转移工具213可从第三反应室130B获得衬底并且将衬底转移到第一转移室210(或再次转移到第一反应室110以供进一步处理)。
在第一反应室110、第二反应室120B和/或第三反应室130B中发生的处理可包括对衬底的相同或不同的处理。也就是说，第一过程可在第一反应室110中发生，第二过程可在第二反应室120B中发生，和/或第三过程可在第三反应室130B中发生，以任何合适数目的步骤持续任何合适的持续时间。例如，方法可包括三个步骤，其中在第一反应室110中执行一个步骤，在第二反应室120B中执行一个步骤，并且在第三反应室130B中执行最终步骤(例如，每个步骤具有相等或不同的持续时间)。作为另一实例，处理衬底可包括一个步骤(例如，将第一材料施加到衬底达第一持续时间)和第二步骤(例如，将第二材料施加到衬底达第二持续时间)。然而，第二持续时间可以长于第一持续时间(例如，两倍长)。因此，第一步骤可在第一反应室110中执行，第二步骤可分开在第二反应室120B与第三反应室130B之间(例如，第二材料施加到第二反应室120B中的衬底达第二持续时间的一半(其可以等于第一持续时间)，第三材料(其可以与第二材料相同以完成所述过程的第二步骤)施加到第三反应室130B中的衬底达第二持续时间的另一半。在此实例中，过程步骤可分散在反应室之间，使得衬底连续地推进通过反应器系统的腔室，使得使腔室之间的衬底转移延迟(即，在一个反应室中已经完成过程步骤的衬底在该反应室或下一转移室中等待以进入随后的反应室)被最小化或被阻止。作为又一实例，过程可包括一个步骤，其可包括处理持续时间。整个处理持续时间可在第一反应室110、第二反应室120B、和/或第三反应室130B中执行，三分之一持续时间的处理可在第一反应室110中发生，第二个三分之一的持续时间的处理可在第二反应室120B中发生，最后三分之一持续时间的处理可在第三反应室130B中发生(或者在反应室中的至少一些之间进行处理和/或处理持续时间的任何其它划分)。应注意，衬底可以以任何合适的顺序(例如，与本文所述的顺序相反的顺序)在反应器系统中的腔室之间行进。
参考图4C，反应器系统400C可包括LLC 105、LLC闸阀107、第一转移室210、第一反应室110和第一反应室第一闸阀114，以及其中类似于本文所论述的反应器系统400A和400B的任何部件。另外，反应器系统400C可包括第一反应室第二闸阀116B和第二转移室220B以及其中类似于反应器系统400B的任何部件。在各种实施例中，反应器系统400C可包括联接到和/或邻近于第一反应室110的第二转移室220B。反应器系统400C可包括第一反应室第二闸阀116B，该第一反应室第二闸阀联接到第一反应室110和/或第二转移室220B。第一反应室第二闸阀116B可以使第一反应室110和第二转移室220B流体连通(例如，响应于第一反应室第二闸阀116B打开)。因此，第二转移室220B中包括的第二转移工具223B能够通过第一反应室第二闸阀116B将一个或多个衬底转移进和转移出第一反应室110。
在各种实施例中，反应器系统(例如，反应器系统400C)可包括第二反应室(例如，第二反应室120C)。第二反应室120C可包括第二周围壁122C。第二反应室120C可以联接到第二转移室220B。第二反应室120C可以定位成与110相对，其中第二转移室220B在其间。如本文所论述的，腔室可以任何合适的布置定位，因此第二反应室120C可以任何合适方式相对于第一反应室110定位，其中，第二转移室220B在其之间。
反应器系统400C可包括第二反应室第一闸阀124C，该第二反应室第一闸阀联接到第二反应室120C和/或第二转移室220B。第二反应室第一闸阀124C响应于打开而可以流体联接第二转移室220B与第二反应室120C，使得可以通过第二反应室第一闸阀124C发生将衬底转移进和转移出第二反应室120C。此类衬底转移可由第二转移工具223B完成。
在各种实施例中，反应器系统400C可包括第三转移室(例如，第三转移室230C)。第三转移室230C可包括第三周围壁232C。第三转移室230C可邻近于和/或联接到第二反应室120C。第三转移室230C可包括第三转移工具233C，该第三转移工具配置成将衬底转移进和转移出第二反应室120C。
在各种实施例中，400C还可包括第二反应室第二闸阀126C。第二反应室第二闸阀126C可以联接到第二反应室120C和/或第三转移室230C。第二反应室第二闸阀126C响应于打开而可以流体联接第二反应室120C与第三转移室230C，使得可以通过第二反应室第二闸阀126C发生将衬底转移进和转移出第二反应室120C。此类衬底转移可由第三转移工具233C完成。
在各种实施例中，反应器系统(例如，反应器系统400C)可包括第三反应室(例如，第三反应室130C)。第三反应室130C可包括第三周围壁132C。第三反应室130C可相邻和/或联接到第三转移室230C。在各种实施例中，第三反应室130C可邻近于和/或联接到第二转移室230B。
反应器系统400BC可包括第三反应室第一闸阀134C，该第三反应室第一闸阀可联接到第三反应室130C和/或第三转移室230C。第三反应室第一闸阀134C响应于打开而可以流体联接第三转移室230C与第三反应室130C，使得可以通过第三反应室第一闸阀134C发生将衬底转移进和转移出第三反应室130C。此类衬底转移可由第三转移工具233C完成。
在各种实施例中，反应器系统400C可包括第四转移室(例如，第四转移室240C)。第四转移室240C可包括第四周围壁242C。第四转移室240C可邻近于和/或联接到第三反应室130C。在各种实施例中，第四转移室240C可邻近于和/或联接到第一反应室110。第四转移室240C可包括第四转移工具243C，该第四转移工具配置成将衬底转移进和转移出第三反应室130C。
在各种实施例中，400C还可包括第三反应室第二闸阀136C。第三反应室第二闸阀136C可以联接到第三反应室130C和/或第四转移室240C。第三反应室第二闸阀136C响应于打开而可以流体联接第三反应室130C与第四转移室240C，使得可以通过第三反应室第二闸阀136C发生将衬底转移进和转移出第三反应室130C。此类衬底转移可由第四转移工具243C完成。
在各种实施例中，反应器系统(例如，反应器系统400C)可包括第四反应室(例如，第四反应室140C)。第四反应室140C可包括第三周围壁142C。第四反应室140C可邻近于和/或联接到第四转移室240C。在各种实施例中，第四反应室140C可邻近于和/或联接到第一转移室210。
在各种实施例中，反应器系统400C可包括第四反应室第一闸阀144C，该第四反应室第一闸阀可联接到第四反应室140C和/或第四转移室240C。第四反应室第一闸阀144C响应于打开而可以流体联接第四反应室140C和第四转移室240C，使得可以通过第四反应室第一闸阀144C发生将衬底转移进和转移出第四反应室140C。此类衬底转移可由第四转移工具243C完成。
在各种实施例中，反应器系统400C还可包括第四反应室第二闸阀146C。第四反应室第二闸阀146C可以联接到第四反应室140C和/或第一转移室210。第四反应室第二闸阀146C响应于打开而可以流体联接第四反应室140C与第一转移室210，使得可以通过第四反应室第二闸阀146C发生将衬底转移进和转移出第四反应室140C。此类衬底转移可由第一转移工具213完成。第四反应室140C和第一转移室210可以相邻和/或联接。
在反应器系统400C中所示的腔室的构造中，第四反应室140C可以是最终反应室，衬底在处理之后从该最终反应室转移到LLC 105。因此，在各种实施例中，反应器系统(例如，反应器系统400C)可包括分别布置成两列四个腔室(即，二对四布置)或分别布置成两行四个腔室(即四对二布置)的四个反应室和四个转移室，其中LLC联接到转移室中的至少一个(例如，第一转移室)。LLC可以在任何合适位置联接到转移室。例如，LLC可以定位成相比另一反应室更靠近反应器系统中的一个反应室。参照反应器系统400C，LLC 105定位在第一转移室210的与第一反应室110相对的一侧上(并且因此更靠近第四反应室140C)，但是在各种实施例中，例如，LLC 105可以定位在第一转移室210的与第四反应室140C相对的一侧上(并且因此更靠近第一反应室110)，类似于图5B的反应器系统500B中的腔室布置。
反应器系统400C中的反应室各自具有联接到其上的至少两个闸阀，并且因此是多方向反应室，因为存在多于一个入口/出口以用于将衬底转移进和转移出每个反应室。
为了在反应器系统400C中处理衬底，可以通过第一转移室210并且经由第一转移工具213将衬底从LLC 105转移到第一反应室110。第一转移工具213可以通过LLC闸阀107从LLC 105获得衬底(响应于LLC闸阀107打开)，并且将衬底转移到第一转移室210。在衬底从LLC 105进入和/或设置在第一转移室210中之后，LLC闸阀107可以关闭和/或第一反应室第一闸阀114可以打开。第一转移工具213可以通过第一反应室第一闸阀114(响应于第一反应室第一闸阀114打开)将衬底递送到第一反应室110。在衬底进入和/或设置于第一反应室110中之后，第一反应室第一闸阀114可关闭以至少部分地密封第一反应室110，因此可发生一个或多个处理步骤(例如，将一种或多种气体(例如，反应气体和/或吹扫气体)施加到第一反应室110中的衬底)。在第一反应室110中处理衬底期间，第一反应室第二闸阀116B也可以关闭以至少部分地密封第一反应室110。
在第一反应室110中完成对衬底的处理之后，第一反应室第二闸阀116B可以打开，并且第二转移工具223B可以从第一反应室110获得衬底并将衬底转移到第二转移室220B。在衬底从第一反应室110进入和/或设置于第二转移室220B中之后，第一反应室第二闸阀116B可关闭和/或第二反应室第一闸阀124C可打开。第二转移工具223B可以通过第二反应室第一闸阀124C(响应于第二反应室第一闸阀124C打开)将衬底递送到第二反应室120C。在衬底进入和/或设置于第二反应室120C中之后，第二反应室第一闸阀124C可关闭以至少部分密封第二反应室120C，因此一个或多个处理步骤可发生在第二反应室120C中的衬底上。在第二反应室120C中处理衬底期间，第二反应室第二闸阀126C也可以关闭以至少部分地密封第二反应室120C。
在第二反应室120C中完成对衬底的处理之后，第二反应室第二闸阀126C可以打开，并且第三转移工具233C可以从第二反应室120C获得衬底并将衬底转移到第三转移室230C。在衬底从第二反应室120C进入和/或设置在第三转移室230C中之后，第二反应室第二闸阀126C可以关闭和/或第三反应室第一闸阀134C可以打开。第三转移工具233C可以通过第三反应室第一闸阀134C(响应于第三反应室第一闸阀134C打开)将衬底递送到第三反应室130C。在衬底进入和/或设置在第三反应室130C中之后，第三反应室第一闸阀134C可关闭以至少部分密封第三反应室130C，使得一个或多个处理步骤可发生在第三反应室130C中的衬底上。在第三反应室130C中处理衬底期间，第三反应室第二闸阀136C也可以关闭以至少部分地密封第三反应室130C。
在第三反应室130C中完成对衬底的处理之后，第四转移工具243C可从第三反应室130C获得衬底并将衬底转移到第四转移室240C。在衬底从第三反应室130C进入和/或设置在第四转移室240C中之后，第三反应室第二闸阀136C可关闭和/或第四反应室第一闸阀144C可打开。第四转移工具243C可以通过第四反应室第一闸阀144C(响应于第四反应室第一闸阀144C打开)将衬底递送到第四反应室140C。在衬底进入和/或设置于第四反应室140C中之后，第四反应室第一闸阀144C可关闭以至少部分密封第四反应室140C，使得一个或多个处理步骤可发生在第四反应室140C中的衬底上。在第四反应室140C中处理衬底期间，第四反应室第二闸阀146C也可以关闭以至少部分地密封第四反应室140C。
在第四反应室140C中完成对衬底的处理之后，第四反应室第二闸阀146C可以打开，并且第一转移工具213可以从第四反应室140C获得衬底，并且将衬底转移到第一转移室210(或再次转移到第一反应室110以进行进一步处理)。
在第一反应室110、第二反应室120C、第三反应室130C和/或第四反应室140C中发生的处理可包括对衬底的相同或不同的处理。也就是说，第一过程可在第一反应室110中发生，第二过程可在第二反应室120C中发生，第三过程可在第三反应室130C中发生，和/或第四过程可在第四反应室140C中发生，以任何合适数量的步骤持续任何合适的持续时间。例如，一个过程可包括四个步骤，其中一个步骤在第一反应室110中执行，一个步骤在第二反应室120C中执行，另一个步骤在第三反应室130C中执行，并且最终步骤在第四反应室140C中执行(例如，每个步骤具有相等或不同的持续时间)。作为另一实例，处理衬底可包括一个步骤(例如，将第一材料施加到衬底达第一持续时间)和第二步骤(例如，将第二材料施加到衬底达第二持续时间)。然而，第二持续时间可以长于第一持续时间(例如，三倍长)。因此，第一步骤可在第一反应室110中执行，第二步骤可分散在第二反应室120C、第三反应室130C、和第四反应室140C之间(例如，第二材料施加到第二反应室120C中的衬底达第二持续时间的三分之一(第二持续时间的三分之一可以等于第一持续时间)，第三材料施加到第三反应室130C中的衬底达第二持续时间的另一三分之一，第四材料施加到第四反应室140C中的衬底达第二持续时间的最后三分之一(第一、第二以及第三材料都可以是相同的材料以完成过程的第二步骤)。在此实例中，过程步骤可分散在反应室之间，使得衬底持续地推进通过反应器系统的腔室，使得减少或防止衬底在腔室(即，在一个反应室中已经完成过程步骤的衬底在该反应室或下一转移室中等待以进入随后的反应室)之间的转移延迟。作为又一实例，过程可包括一个步骤，其可包括处理持续时间。整个处理持续时间可以在第一反应室110、第二反应室120C、第三反应室130C和/或第四反应室140C中执行，或四分之一持续时间的处理可在第一反应室110、第二反应室120C、第三反应室130C和/或第四反应室140C中的每一个中发生(或者在反应室中的至少一些之间进行处理和/或处理持续时间的任何其它划分)。作为又另一实例，过程可包括两个步骤：具有第一持续时间的第一步骤和具有第二持续时间的第二步骤。第一步骤可以在第一反应室110中执行达第一持续时间的一半并且在第二反应室120C中执行达第一持续时间的第二半，并且第二步骤可以在第三反应室130C中执行达第二持续时间的一半并且在第四反应室140C中执行达第二持续时间的第二半。
应注意，4A-4C和5A、5B中描绘的箭头仅用于说明性目的，并且衬底可以以任何合适的方式或次序在反应室中的腔室之间转移。类似地，反应器系统内的腔室、闸阀等的“第一”、“第二”、“第三”的指定不一定指示可转移衬底的次序，或腔室或闸阀次序或布置(即，哪些腔室和/或闸阀可彼此邻近或相邻)。
在各种实施例中，反应器系统可包括联接在除了关于反应器系统400A、400B和400C所论述的腔室之外的腔室之间的额外闸阀。例如，参考图4B中的反应器系统400B，可存在联接到第一反应室110和/或第三转移室230B的闸阀(其可以是第一反应室第三闸阀)，使得第三转移工具233B可将衬底转移进或转移出第一反应室110(例如，以绕过第二反应室120B或第三反应室130B)。作为另一实例，参考图4C中所示的反应器系统400C，可以存在联接第一反应室110与第四转移室240C(和/或可联接第一反应室110与第四转移室240C)的闸阀(其可以是第一反应室第三闸阀)，使得第四转移工具243C可以将衬底转移进或转移出第一反应室110(例如，在第一反应室110与第四转移室240C之间转移衬底(例如，以绕过第二反应室120C和/或第三反应室130C)，和/或在第一反应室110与第三反应室130C之间转移衬底(例如，绕过第二反应室120C和/或第四反应室140C))。可以存在联接第二转移室220B和第三反应室130C(和/或可以联接第二转移室220B和第三反应室130C)的闸阀(其可以是第二反应室第三闸阀)，使得第二转移工具223B可以将衬底转移进和转移出第三反应室130C(例如，在第一反应室110与第三反应室130C之间转移衬底(例如，以绕过第二反应室120C))。因此，在各种实施例中，反应器系统中的腔室可具有联接到其上的三个闸阀，以通过反应器系统的腔室提供额外衬底路径选项(例如，对于过程，利用少于反应器系统中的所有腔室)。
在各种实施例中，闸阀可以联接到反应器系统内的反应室和/或转移室，和/或联接到反应室和/或转移室(或反应器系统中的任何其它腔室)的周围壁。在各种实施例中，闸阀可以是反应器系统的离散部件，或者闸阀可包括在反应室和/或转移室(或反应器系统中的任何其它腔室)和/或其周围壁中。在各种实施例中，每个反应室可以包括在反应器中(例如，第一反应室可以包括在第一反应器中，第二反应室可以包括在第二反应器中等)。在此类实施例中，每个反应器还可包括联接到反应室的至少两个闸阀，和/或至少两个闸阀可联接到反应器，所述闸阀配置成选择性地允许进入反应室。在各种实施例中，联接到腔室或其周围壁的闸阀可以相对于其它闸阀以任何合适角度(例如本文关于相对于彼此设置的腔室所讨论的那些角度)围绕此腔室设置。
在各种实施例中，反应器系统中的腔室的布置可以呈任何合适的配置和/或形状。例如，反应器系统400A的反应室和转移室可以布置成使得在腔室之间存在空间。类似地，例如，反应器系统400B的反应室和转移室可以布置成使得在腔室之间存在空间(例如，这可以通过使反应室相对于其它反应室以90到180的角度定位，以及使转移室相对于其它转移室以90到180的角度定位来实现)。在各种实施例中，反应室可以相对于反应器系统中的先前或后续反应室(在其间具有转移室)以任何合适的角度定位，例如彼此约90度、约120度或约60度。类似地，在各种实施例中，转移室可以相对于反应器系统中的先前或后续转移室(在其间具有反应室)以任何合适的角度定位，例如彼此约90度、约120度或约60度)。在这种情况下，“约”意指正或负20或30度。作为另一实例，具有八个腔室和LLC的反应器系统可以象如图4C所示的布置，或者可以布置成在一个或多个腔室之间有空间，例如如图5A中所示的反应器系统500A中的腔室的布置。反应器系统500A可包括类似于关于图4C中所示的反应器系统400C所论述的转移室、反应室和闸阀。
根据本公开的过程还包括以任何合适的布置或配置设置、联接和/或重新布置反应器系统的腔室和/或闸阀，和/或将所述腔室彼此联接和/或联接到相应闸阀以实现期望的布置。例如，附加反应室和/或转移室可以联接到类似于400A的反应器系统，以产生类似于400B的反应器系统。作为另一实例，附加反应室和/或转移室可联接到类似于400B的反应器系统以产生类似于400C的反应器系统。在各种实施例中，腔室和/或闸阀可以添加到任何现有反应器系统、从任何现有反应器系统移除和/或在现有反应器系统内重新布置以改变反应器系统的布置或形状。
本文已关于具体实施例描述益处和其它优点。此外，各种图中所示的包含在其中的连接线旨在表示各种元件之间的示范性功能关系和/或物理联接。应当注意，许多替代的或附加的功能关系或物理连接可能存在于实际的系统中。然而，益处、优点、问题的解决方案，以及可能导致任何益处、优点或解决方案发生或变得更明显的任何要素，不应理解为本公开的关键、必要或基本特征或要素。因此，本公开的范围不受所附权利要求之外的任何内容的限制，其中对单数的元件的提及不旨在表示“一个且仅一个”，除非明确如此说明，而是“一个或多个”。此外，在权利要求书中使用类似于“A、B或C中的至少一个”的短语时，旨在将该短语解释为意味着一个实施方案中可以单独存在A，一个实施方案中可以单独存在B，一个实施方案中可以单独存在C，或者单个实施方案中可以存在元件A、B和C的任何组合；例如，A和B、A和C、B和C或A和B和C。
本文提供了系统、方法和设备。在本文的详细描述中，对“一个实施例”、“实施例”、“示例性实施例”等的引用指示所描述的实施例可包括特定特征、结构或特性，但每个实施例可不一定包括特定特征、结构或特性。此外，此类短语不一定指相同实施例。此外，当结合实施例描述特定特征、结构或特性时，认为关于无论是否明确描述的其它实施例影响此类特征、结构或特性在本领域技术人员的知识范围内。在阅读描述之后，相关领域的技术人员将清楚如何在替代实施例中实施本公开。
此外，本公开内容中的任何元件、部件或方法步骤都不旨在专用于公众，无论所述元件、部件或方法步骤是否在权利要求书中明确叙述。除非使用短语“用于…的装置”明确叙述要素，否则不应根据35 U.S.C.112(f)的规定解释本文的权利要求要素。如本文所使用，如可由相应上下文指示的，“联接”的两个或更多个部件可意指物理、机械、流体和/或电联接。如本文所使用，术语“包括”、“包含”或其任何其它变型旨在涵盖非排他性包含物，使得包括要素列表的过程、方法、制品或设备不只包括那些要素，而是可包括未明确列出或对此过程、方法、制品或设备固有的其它要素。

Claims (20)

1.一种反应器系统，包括：
第一反应室；
第一反应室第一闸阀，所述第一反应室第一闸阀联接到所述第一反应室并且配置成允许将衬底转移到所述第一反应室中和转移出所述第一反应室中的至少一项；
第一转移室，其中所述第一转移室响应于所述第一反应室第一闸阀打开而经由所述第一反应室第一闸阀与所述第一反应室流体连通，其中所述反应器系统配置成允许通过打开的第一反应室第一闸阀在所述第一反应室与所述第一转移室之间转移所述衬底；
第一反应室第二闸阀，所述第一反应室第二闸阀联接到所述第一反应室并且配置成允许将衬底转移到所述第一反应室中和/或转移出所述第一反应室；以及
第二转移室，所述第二转移室响应于所述第一反应室第二闸阀打开而经由所述第一反应室第二闸阀与所述第一反应室流体连通，其中所述反应器系统配置成允许通过打开的第一反应室第二闸阀在所述第一反应室与所述第二转移室之间转移所述衬底。
2.根据权利要求1所述的反应器系统，其中所述第一转移室和所述第二转移室在所述第一反应室的相对两侧上。
3.根据权利要求1所述的反应器系统，其中所述第一转移室和所述第二转移室相对于通过所述第一反应室的轴线以小于180度的角度设置。
4.根据权利要求1所述的反应器系统，还包括：
第二反应室；以及
第二反应室第一闸阀，所述第二反应室第一闸阀联接到所述第二反应室并且配置成允许将衬底转移到所述第二反应室中和/或转移出所述第二反应室，
其中所述第二反应室响应于所述第二反应室第一闸阀打开而经由所述第二反应室第一闸阀与所述第二转移室流体连通。
5.根据权利要求4所述的反应器系统，还包括第二反应室第二闸阀，所述第二反应室第二闸阀联接到所述第二反应室，其中所述第二反应室响应于所述第二反应室第二闸阀打开而经由所述第二反应室第二闸阀与所述第一转移室流体连通。
6.根据权利要求4所述的反应器系统，还包括：
第三转移室；以及
第二反应室第二闸阀，所述第二反应室第二闸阀联接到所述第二反应室，其中所述第二反应室响应于所述第二反应室第二闸阀打开而经由所述第二反应室第二闸阀与所述第三转移室流体连通。
7.根据权利要求6所述的反应器系统，还包括：
第三反应室；以及
第三反应室第一闸阀，所述第三反应室第一闸阀联接到所述第三反应室并且配置成允许将衬底转移到所述第三反应室中和转移出所述第三反应室中的至少一项，
其中所述第三反应室响应于所述第三反应室第一闸阀打开而经由所述第三反应室第一闸阀与所述第三转移室流体连通。
8.根据权利要求7所述的反应器系统，还包括第三反应室第二闸阀，所述第三反应室第二闸阀联接到所述第三反应室，其中所述第三反应室响应于所述第三反应室第二闸阀打开而经由所述第三反应室第二闸阀与所述第一转移室或所述第二转移室中的至少一个流体连通。
9.根据权利要求8所述的反应器系统，还包括：
第四转移室；以及
第三反应室第三闸阀，所述第三反应室第三闸阀联接到所述第三反应室，其中所述第三反应室响应于所述第三反应室第三闸阀打开而经由所述第三反应室第三闸阀与所述第四转移室流体连通。
10.根据权利要求7所述的反应器系统，还包括：
第四转移室；以及
第三反应室第二闸阀，所述第三反应室第二闸阀联接到所述第三反应室，其中所述第三反应室响应于所述第三反应室第二闸阀打开而经由所述第三反应室第二闸阀与所述第四转移室流体连通。
11.根据权利要求10所述的反应器系统，还包括第一反应室第三闸阀，所述第一反应室第三闸阀联接到所述第一反应室，其中所述第四转移室响应于所述第一反应室第三闸阀打开而经由所述第一反应室第三闸阀与所述第一反应室流体连通。
12.根据权利要求10所述的反应器系统，还包括：
第四反应室；以及
第四反应室第一闸阀，所述第四反应室第一闸阀联接到所述第四反应室并且配置成允许将衬底转移到所述第四反应室中和转移出所述第四反应室中的至少一项，
其中所述第四反应室响应于所述第四反应室第一闸阀打开而经由所述第四反应室第一闸阀与所述第四转移室流体连通。
13.根据权利要求12所述的反应器系统，还包括第四反应室第二闸阀，所述第四反应室第二闸阀联接到所述第四反应室，其中所述第四反应室响应于所述第四反应室第二闸阀打开而经由所述第四反应室第二闸阀与所述第一转移室流体连通。
14.一种反应器系统，包括：
多个反应室；
多个转移室；以及
至少两个闸阀，所述至少两个闸阀联接到所述多个反应室中的每个反应室，其中所述至少两个闸阀中的第一闸阀在打开时将所述多个反应室中的第一相应反应室流体联接到所述多个转移室中的第一转移室，并且其中，所述至少两个闸阀中的第二闸阀在打开时将所述第一相应反应室流体联接到所述多个转移室中的第二转移室。
15.根据权利要求14所述的反应器系统，其中所述多个转移室中的每一个包括转移工具，其中每个转移工具配置成将衬底转移到所述多个反应室中的最多两个反应室中和转移出所述多个反应室中的最多两个反应室中的至少一项。
16.一种方法，包括：
经由第一转移室中包括的第一转移工具，将第一衬底通过联接到所述第一反应室的第一反应室第一闸阀转移到第一反应室，其中所述第一反应室和所述第一转移室响应于所述第一反应室第一闸阀打开而流体连通；
经由第二转移室中包括的第二转移工具，将所述第一衬底从所述第一反应室通过联接到所述第一反应室的第一反应室第二闸阀转移，其中所述第二转移室响应于所述第一反应室第二闸阀打开而与所述第一反应室流体连通；
经由所述第二转移工具将所述衬底通过联接到所述第二反应室的第二反应室第一闸阀转移到第二反应室，其中所述第二反应室响应于所述第二反应室第一闸阀打开而与所述第二转移室流体连通；以及
从所述第二反应室转移所述衬底。
17.根据权利要求16所述的方法，其中从所述第二反应室转移所述衬底经由所述第一转移工具通过联接到所述第二反应室的第二反应室第二闸阀完成，其中所述第二反应室和所述第一转移室响应于所述第二反应室第二闸阀打开而流体连通。
18.根据权利要求17所述的方法，还包括：
在从所述第一反应室转移所述衬底之前，在所述第一反应室中将第一材料施加到所述衬底达第一持续时间；以及
在从所述第二反应室转移所述衬底之前，在所述第二反应室中将第二材料施加到所述衬底达第二持续时间，
其中所述第一持续时间和所述第二持续时间相同。
19.根据权利要求16所述的方法，还包括：
在从所述第一反应室转移所述衬底之前，在所述第一反应室中将第一材料施加到所述衬底达第一持续时间；
在从所述第二反应室转移所述衬底之前，在所述第二反应室中将第二材料施加到所述衬底达第二持续时间，
其中从所述第二反应室转移所述衬底是经由第三转移室中包括的第三转移工具并且通过联接到所述第二反应室的第二反应室第二闸阀完成的，其中所述第二反应室和所述第三转移室响应于所述第二反应室第二闸阀打开而流体连通；
经由所述第三转移工具将所述衬底通过联接到所述第三反应室的第三反应室第一闸阀转移到第三反应室，其中所述第三反应室响应于所述第三反应室第一闸阀打开而与所述第三转移室流体连通；以及
在所述第三反应室中将第三材料施加到所述衬底达第三持续时间。
20.根据权利要求19所述的方法，其中所述第二材料与所述第三材料相同，并且其中所述第一持续时间、所述第二持续时间和所述第三持续时间相同。
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