CN113118158A - 一种pecvd石墨舟的清洗方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及石墨舟领域，具体地说，涉及一种PECVD石墨舟的清洗方法。其包括以下步骤：将石墨舟进行拆卸，将拆卸的部件放入清洗槽中，向清洗槽中倒入纯水和清洗液，然后放入石墨舟，加入去离子液，用于浸泡石墨舟，并进行鼓泡，将清洗后的石墨舟放入至烘干箱中，加热烘干，将石墨舟进行组合安装，该PECVD石墨舟的清洗方法中通过将石墨舟整体进行拆卸后再进行石墨舟的清洗，有利于改善石墨舟的清洗效果，进而提高石墨舟的制程良品率。

Description

一种PECVD石墨舟的清洗方法
技术领域
本发明涉及石墨舟领域，具体地说，涉及一种PECVD石墨舟的清洗方法。
背景技术
石墨舟指的是石墨模具如石墨坩锅等，可用于浇铸金条、银锭等，石墨模具本身是一种载体，可以将需要定位或定型的原材料和零部件一起放于石墨模具中高温烧结成型，石墨模具是选用人造石墨经机械加工而成的，PECVD指的是等离子体增强的化学气相沉积，是制作太阳能电池工序中的一道工序；
当石墨舟使用次数达到一定程度后，表面沉积了很厚的杂质层，影响舟壁与待定型材料的接触，从而影响烧结成型的质量，因此需要对石墨舟进行清洗，目前采用拆卸石墨舟后进行整体清洗工艺，因对石墨舟整体清洗，清洗效果不高，石墨舟容易因清洗效果不佳而影响石墨舟的制程良品率。
发明内容
本发明的目的在于提供一种PECVD石墨舟的清洗方法，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本发明提供一种PECVD石墨舟的清洗方法，包括以下步骤组成：
S1、将石墨舟进行拆卸，将拆卸的部件放入清洗槽中；
S2、向清洗槽中倒入纯水和清洗液，然后放入石墨舟；
S3、加入去离子液，用于浸泡石墨舟，并进行鼓泡；
S4、将清洗后的石墨舟放入至烘干箱中，加热烘干；
S5、将石墨舟进行组合安装。
作为本技术方案的进一步改进，所述S1中，对石墨舟片进行拆卸时需要对石墨舟片匀速抬起、取出，以避免石墨舟片因受力不均而产生碎裂造成损失，提高石墨舟的使用效率。
作为本技术方案的进一步改进，所述S1中，放入清洗槽包括以下步骤：
S1.1、打开清洗槽排水阀，待清洗槽内废酸排尽，用水枪对清洗槽进行冲洗；
S1.2、关上阀门，确保清洗槽内不会泄露；
S1.3、将石墨舟放进清洗槽中，打开进水阀门。
作为本技术方案的进一步改进，所述S2中，往清洗槽里放入纯水直到水能够淹没石墨舟为止，然后在清洗槽里加入清洗液开始清洗，清洗过程中戴好防酸碱手套，将石墨舟从酸槽中取出查看是否清洗干净，如果还未洗干净，再继续清洗，直到干净为止，确保石墨舟的清洗效果。
作为本技术方案的进一步改进，所述S2中，清洗液采用浓度为20％～25％的氢氟酸溶液，并且石墨舟要在氢氟酸溶液中浸泡6个小时，确保石墨舟的杂质层被完全酸化进而有利于石墨舟的清洗。
作为本技术方案的进一步改进，所述S3中，将S2中的清洗液抽出，用去离子水对石墨舟进行喷淋，喷淋时间设置为1-10分钟，再使用去离子水对已进行喷淋的石墨舟进行溢流漂洗2小时，溢流的同时开启鼓泡，确保石墨舟表面的氢氟酸被完全漂洗干净。
作为本技术方案的进一步改进，所述S4中，将石墨舟从清洗槽中取出后用气枪吹掉表面明显的水珠，便于加快石墨舟的烘干速度。
作为本技术方案的进一步改进，所述S4中，将石墨舟抬入专用烘箱，关上烘箱门锁紧，温控表设定温度100度，石墨舟在烘箱烘干6—8小时，经过测试石墨舟在烘箱烘干后与使用前的石墨舟无差别方可取出，确保石墨舟被完全烘干。
作为本技术方案的进一步改进，所述S4中，温控表设定温度20度，一般降温半个小时等烘箱里的石墨舟达到常温，可以取出，避免因剧烈的热胀冷缩而导致的石墨舟损坏。
作为本技术方案的进一步改进，所述S5中，石墨舟组合安装时将石墨舟上的所有螺母扭紧并检查石墨舟所有的陶瓷件，需要更换工艺点的石墨舟，取出后需要入维修间专用货架等待维修。
与现有技术相比，本发明的有益效果：
1、该PECVD石墨舟的清洗方法中，S1时通过对石墨舟片匀速抬起、取出，以避免石墨舟片因受力不均而产生碎裂造成损失，提高石墨舟的使用效率。
2、该PECVD石墨舟的清洗方法中，通过采用浓度为20％～25％的氢氟酸溶液，并且设置有6个小时的浸泡时间以确保石墨舟的杂质层能被被完全酸化进而有利于石墨舟的清洗。
3、该PECVD石墨舟的清洗方法中，通过气枪吹扫以及采用长时间的烘干从而确保石墨舟被完全烘干，可确保石墨舟的正常使用。
附图说明
图1为实施例1的整体流程框图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例1一种PECVD石墨舟的清洗方法，包括：
一、拆卸放置
对石墨舟片进行拆卸时需要对石墨舟片匀速抬起、取出以避免石墨舟片因受力不均而产生碎裂造成损失，提高石墨舟的使用效率
(1)、打开清洗槽排水阀，待清洗槽内废酸排尽，用水枪对清洗槽进行冲洗；
(2)、关上阀门，确保清洗槽内不会泄露；
(3)、将石墨舟放进清洗槽中，打开进水阀门。
二、清洗
往清洗槽里放入纯水直到水能够淹没石墨舟为止，然后在清洗槽里加入清洗液开始清洗，清洗过程中戴好防酸碱手套，将石墨舟从酸槽中取出查看是否清洗干净，如果还未洗干净，再继续清洗，直到干净为止，确保石墨舟的清洗效果；
清洗液采用浓度为20％～25％的氢氟酸溶液，并且石墨舟要在氢氟酸溶液中浸泡6个小时，确保石墨舟的杂质层被完全酸化进而有利于石墨舟的清洗。
三、漂洗
将清洗液抽出，用去离子水对石墨舟进行喷淋，喷淋时间设置为1-10分钟，再使用去离子水对已进行喷淋的石墨舟进行溢流漂洗2小时，溢流的同时开启鼓泡，确保石墨舟表面的氢氟酸被完全漂洗干净。
四、加热烘干
将石墨舟从清洗槽中取出后用气枪吹掉表面明显的水珠，便于加快石墨舟的烘干速度；
将石墨舟抬入专用烘箱，关上烘箱门锁紧，温控表设定温度100度，石墨舟在烘箱烘干6—8小时，经过测试石墨舟在烘箱烘干后与使用前的石墨舟无差别方可取出，确保石墨舟被完全烘干；
温控表设定温度20度，一般降温半个小时等烘箱里的石墨舟达到常温，可以取出，避免因剧烈的热胀冷缩而导致的石墨舟损坏。
五、组合安装
石墨舟组合安装时将石墨舟上的所有螺母扭紧并检查石墨舟所有的陶瓷件，需要更换工艺点的石墨舟，取出后需要入维修间专用货架等待维修。
对比例1一种PECVD石墨舟的清洗方法，包括：
一、拆卸放置
对石墨舟整体进行拆卸
(1)、打开清洗槽排水阀，待清洗槽内废酸排尽，用水枪对清洗槽进行冲洗；
(2)、关上阀门，确保清洗槽内不会泄露；
(3)、将石墨舟放进清洗槽中，打开进水阀门。
二、清洗
往清洗槽里放入纯水直到水能够淹没石墨舟为止，然后在清洗槽里加入清洗液开始清洗，清洗过程中戴好防酸碱手套，将石墨舟从酸槽中取出查看是否清洗干净，如果还未洗干净，再继续清洗，直到干净为止，确保石墨舟的清洗效果；
清洗液采用浓度为20％～25％的氢氟酸溶液，并且石墨舟要在氢氟酸溶液中浸泡6个小时，确保石墨舟的杂质层被完全酸化进而有利于石墨舟的清洗。
三、漂洗
将清洗液抽出，用去离子水对石墨舟进行喷淋，喷淋时间设置为1-10分钟，再使用去离子水对已进行喷淋的石墨舟进行溢流漂洗2小时，溢流的同时开启鼓泡，确保石墨舟表面的氢氟酸被完全漂洗干净。
四、加热烘干
将石墨舟从清洗槽中取出后用气枪吹掉表面明显的水珠，便于加快石墨舟的烘干速度；
将石墨舟抬入专用烘箱，关上烘箱门锁紧，温控表设定温度100度，石墨舟在烘箱烘干6—8小时，经过测试石墨舟在烘箱烘干后与使用前的石墨舟无差别方可取出，确保石墨舟被完全烘干；
温控表设定温度20度，一般降温半个小时等烘箱里的石墨舟达到常温，可以取出，避免因剧烈的热胀冷缩而导致的石墨舟损坏。
五、组合安装
将石墨舟进行整体安装，扭紧石墨舟的螺母。
试验例1
本发明一种PECVD石墨舟的清洗方法中，具有较高的制程良品率，为了验证相关的技术方案，本发明人进行了如下试验：
将上述实施例1和对比例1中的PECVD石墨舟的清洗方法做实际制程工作，随机分配原材料至A组与B组，A组采用实施例1中的清洗方法，B组采用对比例1中的清洗方法，然后同时进行制程工作，一天后对制程产品进行观察并统计其良品率，结果如下表1：
良品率(％)
实施例1 97
对比例2 86
由表1可以看出，本发明实施例1提供的PECVD石墨舟的清洗方法相较于对比例1，其制程良品率明显提高，因此可以说明，将石墨舟整体拆卸成小部件再清洗可改善石墨舟的清洗效果，大大提高了石墨舟的制程良品率。
以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的仅为本发明的优选例，并不用来限制本发明，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (10)

1.一种PECVD石墨舟的清洗方法，包括以下步骤组成：
S1、将石墨舟进行拆卸，将拆卸的部件放入清洗槽中；
S2、向清洗槽中倒入纯水和清洗液，然后放入石墨舟；
S3、加入去离子液，用于浸泡石墨舟，并进行鼓泡；
S4、将清洗后的石墨舟放入至烘干箱中，加热烘干；
S5、将石墨舟进行组合安装。
2.根据权利要求1所述的PECVD石墨舟的清洗方法，其特征在于：所述S1中，对石墨舟片进行拆卸时需要对石墨舟片匀速抬起、取出。
3.根据权利要求1所述的PECVD石墨舟的清洗方法，其特征在于：所述S1中，放入清洗槽包括以下步骤：
S1.1、打开清洗槽排水阀，待清洗槽内废酸排尽，用水枪对清洗槽进行冲洗；
S1.2、关上阀门，确保清洗槽内不会泄露；
S1.3、将石墨舟放进清洗槽中，打开进水阀门。
4.根据权利要求1所述的PECVD石墨舟的清洗方法，其特征在于：所述S2中，往清洗槽里放入纯水直到水能够淹没石墨舟为止，然后在清洗槽里加入清洗液开始清洗，清洗过程中戴好防酸碱手套，将石墨舟从酸槽中取出查看是否清洗干净，如果还未洗干净，再继续清洗，直到干净为止。
5.根据权利要求4所述的PECVD石墨舟的清洗方法，其特征在于：所述S2中，清洗液采用浓度为20％～25％的氢氟酸溶液，并且石墨舟要在氢氟酸溶液中浸泡6个小时。
6.根据权利要求1所述的PECVD石墨舟的清洗方法，其特征在于：所述S3中，将S2中的清洗液抽出，用去离子水对石墨舟进行喷淋，喷淋时间设置为1-10分钟，再使用去离子水对已进行喷淋的石墨舟进行溢流漂洗2小时，溢流的同时开启鼓泡。
7.根据权利要求1所述的PECVD石墨舟的清洗方法，其特征在于：所述S4中，将石墨舟从清洗槽中取出后用气枪吹掉表面明显的水珠。
8.根据权利要求1所述的PECVD石墨舟的清洗方法，其特征在于：所述S4中，将石墨舟抬入专用烘箱，关上烘箱门锁紧，温控表设定温度100度，石墨舟在烘箱烘干6—8小时，经过测试石墨舟在烘箱烘干后与使用前的石墨舟无差别方可取出。
9.根据权利要求8所述的PECVD石墨舟的清洗方法，其特征在于：所述S4中，温控表设定温度20度，一般降温半个小时等烘箱里的石墨舟达到常温，可以取出。
10.根据权利要求1所述的PECVD石墨舟的清洗方法，其特征在于：所述S5中，石墨舟组合安装时将石墨舟上的所有螺母扭紧并检查石墨舟所有的陶瓷件，需要更换工艺点的石墨舟，取出后需要入维修间专用货架等待维修。
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