CN103521473A - 一种石墨舟的清洗工艺 - Google Patents
一种石墨舟的清洗工艺 Download PDFInfo
- Publication number
- CN103521473A CN103521473A CN201310521710.4A CN201310521710A CN103521473A CN 103521473 A CN103521473 A CN 103521473A CN 201310521710 A CN201310521710 A CN 201310521710A CN 103521473 A CN103521473 A CN 103521473A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- graphite boat
- hours
- bubbling
- graphite
- minutes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/02—Cleaning by the force of jets or sprays
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
- B08B3/08—Cleaning involving contact with liquid the liquid having chemical or dissolving effect
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
- B08B3/10—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration
Abstract
本发明涉及硅太阳能电池制造中的镀膜工艺所用的石墨舟,尤其是一种石墨舟的清洗工艺。其特点是,包括如下步骤:(1)配液:配制氢氟酸,体积浓度为20%~25%;(2)酸洗:将石墨舟用配制好的氢氟酸浸泡8~10小时,并且每1小时设定鼓泡8~10分钟,鼓泡气体气压设定为0.2~0.4Mpa;(3)水洗:将石墨舟用水浸泡6~8小时,浸泡时持续鼓泡,并且每60~70分钟换水一次;(4)冲洗:用高压水枪将整个石墨舟冲洗一遍;(5)吹扫:用N2将石墨舟表面水分吹扫一遍;(6)烘干:将石墨舟放入烘箱,设定温度100℃~120℃,烘干时间8~10小时即可。采用本发明的工艺技术后,有效提高了镀膜的合格率。
Description
技术领域
本发明涉及硅太阳能电池制造中的镀膜工艺所用的石墨舟,尤其是一种石墨舟的清洗工艺。
背景技术
PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition,等离子体增强化学气象沉积法)是硅太阳能电池制造工艺中不可缺少的一部分,随着PECVD技术的不断改进,管式PECVD在提高太阳能电池的效率上有了显著提高。而石墨舟清洗效果的好坏,在相当大的程度上,影响了管式PECVD镀膜的效果。如果不能很好的清洗石墨舟,将会导致色差片增多,甚至膜层厚度难以控制,严重影响产能及效益。
由于对于石墨舟清洗目前没有专门的清洗设备和工艺标准,国内一些中小型电池片生产厂家,依然利用在酸中浸泡20多个小时,水洗12多个小时才清洗干净,这种清洗工艺不但石墨舟清洗效果差、效率低,而且石墨舟酸中浸泡过久易于损坏,从而大幅降低了石墨舟的使用寿命。
发明内容
本发明的目的是提供一种石墨舟的清洗工艺,能够获得良好的清洗效果从而提高了镀膜的合格率,并且基本上不影响石墨舟的使用寿命。
一种石墨舟的清洗工艺,其特别之处在于,包括如下步骤:
(1)配液:配制氢氟酸,体积浓度为20%~25%;
(2)酸洗:将石墨舟用配制好的氢氟酸浸泡8~10小时,并且每1小时设定鼓泡8~10分钟,鼓泡气体气压设定为0.2~0.4Mpa;
(3)水洗:将石墨舟用水浸泡6~8小时,浸泡时持续鼓泡,并且每60~70分钟换水一次;
(4)冲洗:用高压水枪将整个石墨舟冲洗一遍;
(5)吹扫:用N2将石墨舟表面水分吹扫一遍;
(6)烘干:将石墨舟放入烘箱,设定温度100℃~120℃,烘干时间8~10小时即可。
经过试用证明,采用本发明的工艺技术后,在短时间内就可以将石墨舟清洗的很干净,使得石墨舟的清洗效果可以完全匹配石墨舟的镀膜工艺,从而显著提高了镀膜的合格率,避免了长时间酸洗对石墨舟本身的破坏从而有效延长了石墨舟的使用寿命,还可以显著降低色差片等不良品的比例,解决了原来石墨舟清洗的技术难题,从而提高了产线的产能与效益。
具体实施方式
本发明为解决石墨舟清洗效果差的问题,为此提供了一种石墨舟清洗工艺。包括如下步骤:将石墨舟酸洗步骤;进行水洗步骤;进行水枪冲洗和N2吹扫步骤;进行干燥步骤。
本发明石墨舟清洗工艺,所述的石墨舟酸洗步骤包括将石墨舟螺丝拧松,氢氟酸溶液浓度为20%~25%,再将石墨舟放入酸液中浸泡8~10小时,每个小时N2鼓泡8~10分钟,其中鼓泡气体气压设置于0.2Mpa,鼓泡强度适当,以免鼓泡过大,氢氟酸挥发,又可避免鼓泡过小,清洗效果差。
本发明石墨舟清洗工艺,所述的石墨舟水洗步骤包括将酸液排到另一个槽子里,再放清水清洗石墨舟6~8小时,过程中需要一直鼓泡,鼓泡阀门开到最大。水洗中每半小时换水一次。
本发明石墨舟清洗工艺,所述的石墨舟水枪冲洗步骤包括将高压水枪对石墨舟进行冲洗,对缝隙处冲洗多次,N2吹扫步骤包括用N2将石墨舟表面水分吹扫干净,避免积成水珠,烘干中水珠处酸液浓度慢慢升高而造成石墨舟烘干后在表面留下印痕。
本发明石墨舟清洗工艺,所述的石墨舟干燥步骤包括烘箱温度设定为100℃~120℃,烘干时间8~10小时。石墨舟烘干后冷却半小时。
实施例1:
(1)配液:配制氢氟酸,体积浓度为20%;
(2)酸洗:将石墨舟用配制好的氢氟酸浸泡8小时,酸洗过程中每1小时设定鼓泡10分钟,鼓泡气体气压设定为0.2Mpa,需要手动操作清洗机的鼓泡按钮;相比目前多数采用酸浸泡20多个小时的工艺,本酸洗工艺能够大大增加石墨舟寿命及硅片镀膜效果,同时减少酸洗时间12个小时以上,大大提高了生产效率;
(3)水洗:将石墨舟用水浸泡6小时,浸泡时持续鼓泡,并且每1小时换水一次;
(4)冲洗:用高压水枪将整个石墨舟冲洗一遍;
(5)吹扫:用N2将石墨舟表面水分吹扫一遍,避免石墨舟表面积成水珠;
(6)烘干:将石墨舟放入烘箱,设定温度120℃,烘干时间8小时即可。
Claims (1)
1.一种石墨舟的清洗工艺,其特征在于,包括如下步骤:
(1)配液:配制氢氟酸,体积浓度为20%~25%;
(2)酸洗:将石墨舟用配制好的氢氟酸浸泡8~10小时,并且每1小时设定鼓泡8~10分钟,鼓泡气体气压设定为0.2~0.4Mpa;
(3)水洗:将石墨舟用水浸泡6~8小时,浸泡时持续鼓泡,并且每60~70分钟换水一次;
(4)冲洗:用高压水枪将整个石墨舟冲洗一遍;
(5)吹扫:用N2将石墨舟表面水分吹扫一遍;
(6)烘干:将石墨舟放入烘箱,设定温度100℃~120℃,烘干时间8~10小时即可。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201310521710.4A CN103521473A (zh) | 2013-10-29 | 2013-10-29 | 一种石墨舟的清洗工艺 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201310521710.4A CN103521473A (zh) | 2013-10-29 | 2013-10-29 | 一种石墨舟的清洗工艺 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN103521473A true CN103521473A (zh) | 2014-01-22 |
Family
ID=49924031
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201310521710.4A Pending CN103521473A (zh) | 2013-10-29 | 2013-10-29 | 一种石墨舟的清洗工艺 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN103521473A (zh) |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104064503A (zh) * | 2014-06-19 | 2014-09-24 | 奉化拓升商贸有限公司 | 石墨舟的清洗工艺 |
CN104399699A (zh) * | 2014-09-29 | 2015-03-11 | 湖南红太阳光电科技有限公司 | 一种石墨舟清洗工艺 |
CN104923518A (zh) * | 2015-04-24 | 2015-09-23 | 中建材浚鑫科技股份有限公司 | 石墨舟清洗工艺 |
CN105195469A (zh) * | 2015-07-31 | 2015-12-30 | 横店集团东磁股份有限公司 | 一种超声波清洗石墨舟及工艺卡点的方法 |
CN105457942A (zh) * | 2015-09-28 | 2016-04-06 | 阳光大地(福建)新能源有限公司 | 一种延长pecvd炉用石墨舟使用寿命的方法 |
CN110061099A (zh) * | 2019-04-28 | 2019-07-26 | 江苏格林保尔光伏有限公司 | 一种石英舟清洗后的处理方法 |
CN110180827A (zh) * | 2019-05-28 | 2019-08-30 | 浙江鸿达石英电子科技有限公司 | 一种石英棒自动清洗设备 |
CN110523696A (zh) * | 2019-09-04 | 2019-12-03 | 韩华新能源(启东)有限公司 | 一种pecvd石墨舟的清洗方法 |
CN110788062A (zh) * | 2019-11-07 | 2020-02-14 | 无锡鼎桥新能源科技有限公司 | 一种石墨舟清洗工艺 |
CN111589769A (zh) * | 2020-05-25 | 2020-08-28 | 常州时创能源股份有限公司 | 硅片pecvd镀非晶硅用石墨舟的清洗方法 |
CN111715606A (zh) * | 2020-03-30 | 2020-09-29 | 横店集团东磁股份有限公司 | 全自动清洗石墨舟装置及其清洗方法 |
CN113787048A (zh) * | 2021-09-13 | 2021-12-14 | 通威太阳能(眉山)有限公司 | 清洗石墨舟的方法 |
CN114308814A (zh) * | 2021-12-22 | 2022-04-12 | 宁波尤利卡太阳能股份有限公司 | 一种清洗石墨舟的方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0878376A (ja) * | 1994-09-07 | 1996-03-22 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 半導体用治工具の洗浄方法 |
CN101359581A (zh) * | 2008-09-25 | 2009-02-04 | 张彩根 | 碳化硅舟的清洗方法 |
CN101817006A (zh) * | 2010-03-22 | 2010-09-01 | 浙江矽盛电子有限公司 | 一种太阳能硅片的表面清洗方法 |
CN202052725U (zh) * | 2011-05-04 | 2011-11-30 | 百力达太阳能股份有限公司 | 用于清洗石墨舟的清洗机 |
CN102280396A (zh) * | 2011-09-14 | 2011-12-14 | 江阴鑫辉太阳能有限公司 | 一种石墨舟饱和处理工艺 |
CN102881620A (zh) * | 2012-08-31 | 2013-01-16 | 宁波尤利卡太阳能科技发展有限公司 | 一种石英舟清洗和饱和处理方法 |
-
2013
- 2013-10-29 CN CN201310521710.4A patent/CN103521473A/zh active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0878376A (ja) * | 1994-09-07 | 1996-03-22 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 半導体用治工具の洗浄方法 |
CN101359581A (zh) * | 2008-09-25 | 2009-02-04 | 张彩根 | 碳化硅舟的清洗方法 |
CN101817006A (zh) * | 2010-03-22 | 2010-09-01 | 浙江矽盛电子有限公司 | 一种太阳能硅片的表面清洗方法 |
CN202052725U (zh) * | 2011-05-04 | 2011-11-30 | 百力达太阳能股份有限公司 | 用于清洗石墨舟的清洗机 |
CN102280396A (zh) * | 2011-09-14 | 2011-12-14 | 江阴鑫辉太阳能有限公司 | 一种石墨舟饱和处理工艺 |
CN102881620A (zh) * | 2012-08-31 | 2013-01-16 | 宁波尤利卡太阳能科技发展有限公司 | 一种石英舟清洗和饱和处理方法 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
NIELINGMIN: "石墨舟清洗、饱和工艺说明书", 《百度文库》 * |
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104064503A (zh) * | 2014-06-19 | 2014-09-24 | 奉化拓升商贸有限公司 | 石墨舟的清洗工艺 |
CN104399699A (zh) * | 2014-09-29 | 2015-03-11 | 湖南红太阳光电科技有限公司 | 一种石墨舟清洗工艺 |
CN104399699B (zh) * | 2014-09-29 | 2016-06-15 | 湖南红太阳光电科技有限公司 | 一种石墨舟清洗工艺 |
CN104923518A (zh) * | 2015-04-24 | 2015-09-23 | 中建材浚鑫科技股份有限公司 | 石墨舟清洗工艺 |
CN105195469A (zh) * | 2015-07-31 | 2015-12-30 | 横店集团东磁股份有限公司 | 一种超声波清洗石墨舟及工艺卡点的方法 |
CN105457942A (zh) * | 2015-09-28 | 2016-04-06 | 阳光大地(福建)新能源有限公司 | 一种延长pecvd炉用石墨舟使用寿命的方法 |
CN105457942B (zh) * | 2015-09-28 | 2018-02-13 | 阳光中科(福建)能源股份有限公司 | 一种延长pecvd炉用石墨舟使用寿命的方法 |
CN110061099A (zh) * | 2019-04-28 | 2019-07-26 | 江苏格林保尔光伏有限公司 | 一种石英舟清洗后的处理方法 |
CN110180827A (zh) * | 2019-05-28 | 2019-08-30 | 浙江鸿达石英电子科技有限公司 | 一种石英棒自动清洗设备 |
CN110523696A (zh) * | 2019-09-04 | 2019-12-03 | 韩华新能源(启东)有限公司 | 一种pecvd石墨舟的清洗方法 |
CN110788062A (zh) * | 2019-11-07 | 2020-02-14 | 无锡鼎桥新能源科技有限公司 | 一种石墨舟清洗工艺 |
CN111715606A (zh) * | 2020-03-30 | 2020-09-29 | 横店集团东磁股份有限公司 | 全自动清洗石墨舟装置及其清洗方法 |
CN111589769A (zh) * | 2020-05-25 | 2020-08-28 | 常州时创能源股份有限公司 | 硅片pecvd镀非晶硅用石墨舟的清洗方法 |
CN113787048A (zh) * | 2021-09-13 | 2021-12-14 | 通威太阳能(眉山)有限公司 | 清洗石墨舟的方法 |
CN114308814A (zh) * | 2021-12-22 | 2022-04-12 | 宁波尤利卡太阳能股份有限公司 | 一种清洗石墨舟的方法 |
CN114308814B (zh) * | 2021-12-22 | 2024-01-12 | 宁波尤利卡太阳能股份有限公司 | 一种清洗石墨舟的方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN103521473A (zh) | 一种石墨舟的清洗工艺 | |
CN104399699B (zh) | 一种石墨舟清洗工艺 | |
CN102280396B (zh) | 一种石墨舟饱和处理工艺 | |
CN105195469B (zh) | 一种超声波清洗石墨舟及工艺卡点的方法 | |
CN106952805B (zh) | 一种石墨舟清洗工艺 | |
CN105112888B (zh) | 一种石墨舟的饱和方法 | |
CN104064503A (zh) | 石墨舟的清洗工艺 | |
CN104923518A (zh) | 石墨舟清洗工艺 | |
CN112687764A (zh) | 一种单晶电池的制绒方法及由其制备的单晶电池 | |
CN103579057A (zh) | 一种提高石墨舟处理效果的方法 | |
CN110416064B (zh) | 一种去除硅片油污的方法 | |
CN110523696A (zh) | 一种pecvd石墨舟的清洗方法 | |
CN104009122A (zh) | 一种丝网印刷返工硅片的处理方法 | |
CN111804674A (zh) | 一种etch设备中阳极氧化部件面污染物的洗净方法 | |
CN111962047A (zh) | 一种提高石墨舟处理效果的方法 | |
CN103981575B (zh) | 一种单晶硅片的退火制绒方法 | |
CN107611220B (zh) | 一种太阳能电池片制备方法 | |
CN105140336A (zh) | 多晶硅片制绒及清洗方法 | |
CN102237275B (zh) | 一种新型贴片二极管的制造方法 | |
CN104646339A (zh) | 铝合金零件的清洗方法 | |
CN103545197A (zh) | 一种管式pecvd双层氮化硅膜的制备工艺 | |
CN113136558A (zh) | 一种石墨舟饱和工艺 | |
CN111229736A (zh) | 一种用于制造太阳能电池片的石墨舟的清洁方法 | |
CN102231404A (zh) | 一种太阳能单晶硅片的清洗工艺 | |
CN107552481A (zh) | 一种硅片清洗工艺 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20140122 |
|
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |