CN104923518A - 石墨舟清洗工艺 - Google Patents

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郭建东
樊选东
钱明星
关统州
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    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
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    • B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
    • B08B3/08—Cleaning involving contact with liquid the liquid having chemical or dissolving effect
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
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Abstract

本发明公开了一种石墨舟清洗工艺，其具体步骤如下：(1).配置清洗液：在原液中加入氢氟酸，且氢氟酸的体积浓度为20％～25％，并加入体积浓度为1％的氨水。(2).将石墨舟用配制好的清洗液进行浸泡4-8小时，并通过氮气进行鼓泡。(3).用清水进行清洗；(4).用气枪将清洗后的石墨舟进行吹干；(5).烘干：将石墨舟放入到烘干箱中进行烘干，并且烘干箱中通入氮气。通过在清洗液中添加氨水来减轻清洗液对石墨舟的腐蚀，达到延长石墨舟的使用寿命和降低企业的生产成本的目的。

Description

石墨舟清洗工艺
技术领域
本发明涉及晶硅体太阳能电池生产领域，具体涉及一种石墨舟清洗工艺。
背景技术
目前商业化晶体硅太阳电池大多数是使用直接式的PECVD(即管式PE)，使用石墨舟作为硅片的载体，在生产过程中也会石墨舟的表面沉积氮化硅，随着使用次数的增加氮化硅累积，同时对硅片的镀膜均匀性也造成影响，因此石墨舟在使用150次后便需要对其清洗，以减少不良品的产生。而现有工艺只使用HF，初始配液浓度大概为10％-25％之间，对石墨舟进行清洗，此种清洗液每次清洗会对石墨舟产生一定的腐蚀，大大降低了石墨舟的使用寿命，也造成企业的生成成本的增加。
发明内容
为解决上述技术问题，本发明提出了石墨舟清洗工艺，以达到延长石墨舟的使用寿命和降低企业的生产成本的目的。
为达到上述目的，本发明的技术方案如下：
一种石墨舟清洗工艺，其具体步骤如下：
(1).配置清洗液：在原液中加入氢氟酸，且氢氟酸的体积浓度为20％～25％，并加入体积浓度为1％的氨水。
(2).将石墨舟用配制好的清洗液进行浸泡4-8小时，并通过氮气进行鼓泡。
(3).用清水进行清洗；
(4).用气枪将清洗后的石墨舟进行吹干；
(5).烘干：将石墨舟放入到烘干箱中进行烘干，并且烘干箱中通入氮气。
作为优选的，所述氨水、氢氟酸和纯水的体积比如下：
氨水：氢氟酸：纯水＝4L：100L；280L,
且所使用的氨水浓度为28％，所使用的氢氟酸浓度为40％。
作为优选的，所述步骤(2)中氮气的压力不大于3公斤，并且每小时鼓泡5分钟。
作为优选的，所述步骤(5)中烘干温度为120℃，时间为6小时，氮气流量为90L/min,超温开关为250摄氏度。
通过上述技术方案，本发明通过在清洗液中添加氨水来减轻清洗液对石墨舟的腐蚀，达到延长石墨舟的使用寿命和降低企业的生产成本的目的。
具体实施方式
下面对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
本发明提供了石墨舟清洗工艺，其工作原理是通过在清洗液中添加一缓冲剂，减少清洗液对石墨舟的腐蚀，达到延长石墨舟的使用寿命和降低企业的生产成本的目的。
下面结合实施例和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。
一种石墨舟清洗工艺，其具体步骤如下：
(1).配置清洗液：在原液中加入氢氟酸，且氢氟酸的体积浓度为20％～25％，并加入体积浓度为1％的氨水。
(2).将石墨舟用配制好的清洗液进行浸泡4-8小时，并通过氮气进行鼓泡。
(3).用清水进行清洗；
(4).用气枪将清洗后的石墨舟进行吹干；
(5).烘干：将石墨舟放入到烘干箱中进行烘干，并且烘干箱中通入氮气。
值得注意的是，所述氨水、氢氟酸和纯水的体积比如下：氨水：氢氟酸：纯水＝4L：100L；280L，且所使用的氨水浓度为28％，所使用的氢氟酸浓度为40％。
值得注意的是，所述步骤(2)中氮气的压力不大于3公斤，并且每小时鼓泡5分钟。
值得注意的是，所述步骤(5)中烘干温度为120℃，时间为6小时，氮气流量为90L/min,超温开关为250摄氏度。
通过以上的方式，本发明所提供的石墨舟清洗工艺，通过在清洗液中添加氨水来减轻清洗液对石墨舟的腐蚀，达到延长石墨舟的使用寿命、降低企业的生产成本和促进企业的发展的目的。
以上所述的仅是本发明所公开的石墨舟清洗工艺的优选实施方式，应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。

Claims (4)

1.一种石墨舟清洗工艺，其特征在于，其具体步骤如下：
(1).配置清洗液：在原液中加入氢氟酸，且氢氟酸的体积浓度为20％～25％，并加入体积浓度为1％的氨水。
(2).将石墨舟用配制好的清洗液进行浸泡4-8小时，并通过氮气进行鼓泡。
(3).用清水进行清洗；
(4).用气枪将清洗后的石墨舟进行吹干；
(5).烘干：将石墨舟放入到烘干箱中进行烘干，并且烘干箱中通入氮气。
2.根据权利要求1所述的石墨舟清洗工艺，其特征在于，所述氨水、氢氟酸和纯水的体积比如下：
氨水：氢氟酸：纯水＝4L：100L：280L；
且所使用的氨水浓度为28％，所使用的氢氟酸浓度为40％。
3.根据权利要求1中所述的石墨舟清洗工艺，其特征在于，所述步骤(2)中氮气的压力不大于3公斤，并且每小时鼓泡5分钟。
4.根据权利要求1所述的石墨舟清洗工艺，其特征在于，所述步骤(5)中烘干温度为120℃，时间为6小时，氮气流量为90L/min,超温开关为250摄氏度。
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