CN110788062A - 一种石墨舟清洗工艺 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种石墨舟清洗工艺，包括以下步骤：S1、准备需要清洗的石墨舟，进行拆舟处理，将工艺卡点单独放置清洗；S2、配备清洗液，所配置的氢氟酸的质量浓度比为10％‑15％；S3、将拆卸的石墨舟放进清洗液中进行酸洗浸泡，浸泡时间为8‑12h,浸泡的过程中打开喷淋阀门和鼓泡机；S4、将浸泡后的石墨舟放进纯水中进行漂洗，放置纯水池中浸泡2‑3h，纯水漂洗过程中打开鼓泡机和喷淋阀门；S5、检验在纯水中石墨舟清洗的流动水的酸碱度。本发明将石墨舟拆分清洁，清洗过程多为浸泡，减小了对石墨舟表面的冲击，延长了使用的寿命，采用超声波清洁，使清洁更加彻底，且清洁过程中保证减少对舟体的伤害，适合市场进行推广。

Description

一种石墨舟清洗工艺
技术领域
本发明涉及石墨舟清洁领域，尤其涉及一种石墨舟清洗工艺。
背景技术
石墨舟就是石墨模具。石墨模具本身是一种载体，可以把我们需要定位或定型的原材料和零部件一起放于石墨模具中高温烧结成型。石墨模具是选用人造石墨经机械加工而成的。所有石墨及碳碳复合材料特点是:杂质含量低，高纯高耐腐，物理化学性质稳定，高温下保持高强度，抗溅射性强，导电性适中，热导率高。现在很多企业生产石墨类复合材料，石墨模具有时成为石墨舟，也有称为石墨船的，一般石墨舟在运行100至120次后就应该进行清洗,次数达到后，硅片会发红。这是因为舟上的SiN会随着运行次数的增加而增加，影响舟的正常使用。为此我们对石墨舟会定期的进行清洗，但是现有清洗石墨舟的工艺多为将其整体投入到浓度较高的酸性液体内，进行浸泡后再清水中清洗和烘干箱中进行烘干，这种方法虽然对石墨舟进行了清洗，但是工艺节点中细小的杂质不会清理干净，而且浓酸清洗对操作工的身体有一定的伤害，同时不具备检测使石墨舟清洗不彻底等问题，为此我们提出了一种石墨舟清洗工艺。
发明内容
本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种石墨舟清洗工艺。
一种石墨舟清洗工艺，包括以下步骤：
S1、准备需要清洗的石墨舟，进行拆舟处理，将工艺卡点单独放置清洗；
S2、配备清洗液，所配置的氢氟酸的质量浓度比为10％-15％；
S3、将拆卸的石墨舟放进清洗液中进行酸洗浸泡，浸泡时间为8-12h,浸泡的过程中打开喷淋阀门和鼓泡机；
S4、将浸泡后的石墨舟放进纯水中进行漂洗，放置纯水池中浸泡2-3h，纯水漂洗过程中打开鼓泡机和喷淋阀门；
S5、检验在纯水中石墨舟清洗的流动水的酸碱度；
S6、将漂洗后的石墨舟使用氮气经表面的水分进行风干处理；
S7、将风干处理后的石墨舟和工艺卡点放入烘干箱中进行烘干处理；
S8、将烘干处理后的石墨舟对表面处理后进行装舟。
进一步的，所述拆舟处理是将待拆洗的石墨舟拆卸电极叉，将石墨舟螺母拧松放入超声波反应器中，进行超声清洗，超声波的的频率为3-4KHz，且每隔2h换一次水。
进一步的，所述配备的清洗液中氢氟酸的质量浓度比介于10％与15％之间，所述清洗液的水位高度要高于石墨舟15cm。
进一步的，所述石墨舟在清洗液中浸泡的过程中，喷淋阀要一直打开，充分对石墨舟进行循化酸洗，所述鼓泡机设定鼓泡时间为每小时8-10min，且酸洗鼓泡机中通入氮气，氮气的压力不大于2公斤。
进一步的，所述纯水池中鼓泡机和喷淋阀门要一直呈打开状态，使水流动充分，石墨舟要进行3次清洗，每次清洗时间不得低于2h。
进一步的，所述酸碱度的检测用PH试纸进行检测，检测时的水流必须是流动状态，检验结果PH值为5-6弱酸为正常，在酸碱度检查同时对石墨舟表面进行检验，确保蚀刻残渣已经被清洗掉。
进一步的，所述漂洗后的石墨舟使用氮气通过气枪进行风干处理，其中吹干的气流方向必须与石墨舟极板保持平衡，吹气的角度不大于45°。
进一步的，所述烘干箱内的温度为150℃-170℃，将石墨舟和工艺卡点烘干10h以上，烘干过程不得打开箱门，且必须保证烘干箱内壁整洁，内部腐蚀严重必须用酒精擦拭干净后才可使用。
进一步的，所述烘干处理后的石墨舟多次烘干表面出线凹坑，进行表面磨光后将石墨舟进行装舟，将两侧螺母拧紧，电机叉安装，放置到放置架上等待使用。
本工艺将石墨舟的主体和工艺卡点进行拆分，分开进行清洗处理，同时在酸洗石墨舟的过程中氢氟酸的浓度不高，可以降低酸性对石墨舟的腐蚀，减小酸型物质容易喷溅，喷溅的酸型液体对操作工的皮肤会有腐蚀性，造成对操作工身体的伤害，在酸洗中加入氮气可以用来减少酸型液体对石墨舟的腐蚀，造成对石墨舟表面的平整性有所影响，可以延长石墨舟的使用寿命，在工艺卡点中利用超声波清洗的功能，有效的对工艺卡点缝隙进行清洁，使缝隙中的杂质通过超声波得以清洁，同样在纯水清洁的过程中设有喷淋阀和鼓泡机，可以使水池中的水保持充分流动，对石墨舟主体进行流动充分的清洁，清洁过后利用检测试纸对漂洗的纯水进行酸碱度的检测，当达到标准时结束清洁，若不符合标准将石墨舟再次进行加酸清洗，重复上述步骤知道清洁检测达到标注即可，该清洗工艺将石墨舟拆分清洁，清洗过程多为浸泡，减小了对石墨舟表面的冲击，延长了使用的寿命，采用超声波清洁，使清洁更加彻底，且清洁过程中保证减少对舟体的伤害，适合市场进行推广。
具体实施方式
下面结合具体实施例对本发明作进一步解说。
实施例
本发明提出的一种石墨舟清洗工艺，包括以下步骤：
S1、准备需要清洗的石墨舟，进行拆舟处理，将工艺卡点单独放置清洗；
S2、配备清洗液，所配置的氢氟酸的质量浓度比为10％-15％；
S3、将拆卸的石墨舟放进清洗液中进行酸洗浸泡，浸泡时间为8-12h,浸泡的过程中打开喷淋阀门和鼓泡机；
S4、将浸泡后的石墨舟放进纯水中进行漂洗，放置纯水池中浸泡2-3h，纯水漂洗过程中打开鼓泡机和喷淋阀门；
S5、检验在纯水中石墨舟清洗的流动水的酸碱度；
S6、将漂洗后的石墨舟使用氮气经表面的水分进行风干处理；
S7、将风干处理后的石墨舟和工艺卡点放入烘干箱中进行烘干处理；
S8、将烘干处理后的石墨舟对表面处理后进行装舟。
本实施例中，拆舟处理是将待拆洗的石墨舟拆卸电极叉，将石墨舟螺母拧松放入超声波反应器中，进行超声清洗，超声波的的频率为3-4KHz，且每隔2h换一次水，配备的清洗液中氢氟酸的质量浓度比介于10％与15％之间，清洗液的水位高度要高于石墨舟15cm，石墨舟在清洗液中浸泡的过程中，喷淋阀要一直打开，充分对石墨舟进行循化酸洗，鼓泡机设定鼓泡时间为每小时8-10min，且酸洗鼓泡机中通入氮气，氮气的压力不大于2公斤，纯水池中鼓泡机和喷淋阀门要一直呈打开状态，使水流动充分，石墨舟要进行3次清洗，每次清洗时间不得低于2h，酸碱度的检测用PH试纸进行检测，检测时的水流必须是流动状态，检验结果PH值为5-6弱酸为正常，在酸碱度检查同时对石墨舟表面进行检验，确保蚀刻残渣已经被清洗掉，漂洗后的石墨舟使用氮气通过气枪进行风干处理，其中吹干的气流方向必须与石墨舟极板保持平衡，吹气的角度不大于45°，烘干箱内的温度为150℃-170℃，将石墨舟和工艺卡点烘干10h以上，烘干过程不得打开箱门，且必须保证烘干箱内壁整洁，内部腐蚀严重必须用酒精擦拭干净后才可使用，烘干处理后的石墨舟多次烘干表面出线凹坑，进行表面磨光后将石墨舟进行装舟，将两侧螺母拧紧，电机叉安装，放置到放置架上等待使用。
该工艺将石墨舟的主体和工艺卡点进行拆分，分开进行清洗处理，同时在酸洗石墨舟的过程中氢氟酸的浓度不高，可以降低酸性对石墨舟的腐蚀，酸洗中加入氮气可以用来减少酸型液体对石墨舟的腐蚀，通过超声波对工艺卡点进行超声清洗，在不损害工艺卡点的情况下有效的对杂质进行清洁，样在纯水清洁的过程中设有喷淋阀和鼓泡机，可以使水池中的水保持充分流动，对石墨舟主体进行流动充分的清洁，清洁过后利用检测试纸对漂洗的纯水进行酸碱度的检测，当达到标准时结束清洁，若不符合标准将石墨舟再次进行加酸清洗，重复上述步骤知道清洁检测达到标注即可，该清洗工艺将石墨舟拆分清洁，清洗过程多为浸泡，减小了对石墨舟表面的冲击，延长了使用的寿命。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种石墨舟清洗工艺，其特征在于，包括以下步骤：
S1、准备需要清洗的石墨舟，进行拆舟处理，将工艺卡点单独放置清洗；
S2、配备清洗液，所配置的氢氟酸的质量浓度比为10％-15％；
S3、将拆卸的石墨舟放进清洗液中进行酸洗浸泡，浸泡时间为8-12h,浸泡的过程中打开喷淋阀门和鼓泡机；
S4、将浸泡后的石墨舟放进纯水中进行漂洗，放置纯水池中浸泡2-3h，纯水漂洗过程中打开鼓泡机和喷淋阀门；
S5、检验在纯水中石墨舟清洗的流动水的酸碱度；
S6、将漂洗后的石墨舟使用氮气经表面的水分进行风干处理；
S7、将风干处理后的石墨舟和工艺卡点放入烘干箱中进行烘干处理；
S8、将烘干处理后的石墨舟对表面处理后进行装舟。
2.根据权利要求1所述的一种石墨舟清洗工艺，其特征在于，所述拆舟处理是将待拆洗的石墨舟拆卸电极叉，将石墨舟螺母拧松放入超声波反应器中，进行超声清洗，超声波的的频率为3-4KHz，且每隔2h换一次水。
3.根据权利要求1所述的一种石墨舟清洗工艺，其特征在于，所述配备的清洗液中氢氟酸的质量浓度比介于10％与15％之间，所述清洗液的水位高度要高于石墨舟15cm。
4.根据权利要求1所述的一种石墨舟清洗工艺，其特征在于，所述石墨舟在清洗液中浸泡的过程中，喷淋阀要一直打开，充分对石墨舟进行循化酸洗，所述鼓泡机设定鼓泡时间为每小时8-10min，且酸洗鼓泡机中通入氮气，氮气的压力不大于2公斤。
5.根据权利要求1所述的一种石墨舟清洗工艺，其特征在于，所述纯水池中鼓泡机和喷淋阀门要一直呈打开状态，使水流动充分，石墨舟要进行3次清洗，每次清洗时间不得低于2h。
6.根据权利要求1所述的一种石墨舟清洗工艺，其特征在于，所述酸碱度的检测用PH试纸进行检测，检测时的水流必须是流动状态，检验结果PH值为5-6弱酸为正常，在酸碱度检查同时对石墨舟表面进行检验，确保蚀刻残渣已经被清洗掉。
7.根据权利要求1所述的一种石墨舟清洗工艺，其特征在于，所述漂洗后的石墨舟使用氮气通过气枪进行风干处理，其中吹干的气流方向必须与石墨舟极板保持平衡，吹气的角度不大于45°。
8.根据权利要求1所述的一种石墨舟清洗工艺，其特征在于，所述烘干箱内的温度为150℃-170℃，将石墨舟和工艺卡点烘干10h以上，烘干过程不得打开箱门，且必须保证烘干箱内壁整洁，内部腐蚀严重必须用酒精擦拭干净后才可使用。
9.根据权利要求1所述的一种石墨舟清洗工艺，其特征在于，所述烘干处理后的石墨舟多次烘干表面出线凹坑，进行表面磨光后将石墨舟进行装舟，将两侧螺母拧紧，电机叉安装，放置到放置架上等待使用。
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