CN102231404A - 一种太阳能单晶硅片的清洗工艺 - Google Patents

一种太阳能单晶硅片的清洗工艺 Download PDF

Info

Publication number
CN102231404A
CN102231404A CN2011101343221A CN201110134322A CN102231404A CN 102231404 A CN102231404 A CN 102231404A CN 2011101343221 A CN2011101343221 A CN 2011101343221A CN 201110134322 A CN201110134322 A CN 201110134322A CN 102231404 A CN102231404 A CN 102231404A
Authority
CN
China
Prior art keywords
solar monocrystalline
cleaning
monocrystalline silicon
ionized water
silicon slice
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN2011101343221A
Other languages
English (en)
Inventor
牛小群
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
ZHEJIANG XINGYU ENERGY TECHNOLOGY CO LTD
Original Assignee
ZHEJIANG XINGYU ENERGY TECHNOLOGY CO LTD
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ZHEJIANG XINGYU ENERGY TECHNOLOGY CO LTD filed Critical ZHEJIANG XINGYU ENERGY TECHNOLOGY CO LTD
Priority to CN2011101343221A priority Critical patent/CN102231404A/zh
Publication of CN102231404A publication Critical patent/CN102231404A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Abstract

本发明涉及一种太阳能单晶硅片的清洗工艺,其特征在于将太阳能单晶硅片依次经过喷淋、脱胶、自来水漂洗、清洗剂超洗、纯水漂洗工序,之后,先在离子水和氢氟酸的混合液中浸泡一定时间,再在离子水和双氧水的混合液中浸泡一定时间,然后再次进行纯水漂洗,最后甩干烘干;采用本发明,可以将太阳能单晶硅片表面的化学物、金属杂质、酸碱残留充分清洗去除,防止太阳能单晶硅片制绒时出现白斑,产生色差现象,从而提高成品率和产品质量。

Description

一种太阳能单晶硅片的清洗工艺
技术领域
本发明涉及一种太阳能单晶硅片的清洗工艺。
背景技术
目前,太阳能单晶硅片的清洗工艺的技术路线是:喷淋、脱胶、自来水漂洗、清洗剂超洗、纯水漂洗、甩干烘干。这种工艺清洗出来的单晶硅片表面的化学物、金属杂质、酸碱残留等过多,会使太阳能硅片制绒时出现白斑,产生色差现象,降低电池片的转换效率,甚至达不到电池片的技术要求,影响成品率及产品质量。
发明内容
本发明的目的是提供能提高太阳能硅片表面清洁度的一种太阳能单晶硅片的清洗工艺。
本发明采取的技术方案是:一种太阳能单晶硅片的清洗工艺,其特征在于将太阳能单晶硅片依次经过喷淋、脱胶、自来水漂洗、清洗剂超洗、纯水漂洗工序,之后,先在离子水和氢氟酸的混合液中浸泡一定时间,再在离子水和双氧水的混合液中浸泡一定时间,然后再次进行纯水漂洗,最后甩干烘干。
所述的氢氟酸在试剂级以上,离子水的电阻在15兆欧姆以上,双氧水在分析纯以上;
所述的离子水和氢氟酸的混合液按体积百分比为1∶0.4~0.6%混合;
所述的离子水和双氧水的混合液按体积百分比为1∶0.4~0.6%混合;
所述的在离子水和氢氟酸的混合液中浸泡时间在3分钟以上;
所述的在离子水和双氧水的混合液中浸泡时间在3分钟以上;
采用本发明,可以将太阳能单晶硅片表面的化学物、金属杂质、酸碱残留充分清洗去除,防止太阳能单晶硅片制绒时出现白斑,产生色差现象,从而提高成品率和产品质量。
具体实施方式
下面结合具体的实施例对本发明作进一步说明。
本实施例按以下步骤进行:
一、按常规将太阳能单晶硅片依次经过喷淋、脱胶、自来水漂洗、清洗剂超洗、纯水漂洗工序;
二、将电阻在15兆欧姆以上的离子水和试剂级以上的氢氟酸,制成体积百分比为1∶0.4~0.6%的混合液,之后,把经过步骤一后的太阳能单晶硅片放入该混合液中浸泡3分钟以上。
三、将电阻在15兆欧姆以上的离子水和分析纯以上的双氧水,制成体积百分比为1∶0.4~0.6%的混合液,之后,把经过步骤二后的太阳能单晶硅片放入该混合液中浸泡3分钟以上。
四、将经过步骤三的太阳能单晶硅片再次按常规进行纯水漂洗,最后甩干烘干即可。

Claims (6)

1.一种太阳能单晶硅片的清洗工艺,其特征在于将太阳能单晶硅片依次经过喷淋、脱胶、自来水漂洗、清洗剂超洗、纯水漂洗工序,之后,先在离子水和氢氟酸的混合液中浸泡一定时间,再在离子水和双氧水的混合液中浸泡一定时间,然后再次进行纯水漂洗,最后甩干烘干。
2.根据权利要求1所述的一种太阳能单晶硅片的清洗工艺,其特征在于氢氟酸在试剂级以上,离子水的电阻在15兆欧姆以上,双氧水在分析纯以上。
3.根据权利要求1所述的一种太阳能单晶硅片的清洗工艺,其特征在于离子水和氢氟酸的混合液按体积百分比为1∶0.4~0.6%混合。
4.根据权利要求1所述的一种太阳能单晶硅片的清洗工艺,其特征在于离子水和双氧水的混合液按体积百分比为1∶0.4~0.6%混合。
5.根据权利要求1所述的一种太阳能单晶硅片的清洗工艺,其特征在于在离子水和氢氟酸的混合液中浸泡时间在3分钟以上。
6.根据权利要求1所述的一种太阳能单晶硅片的清洗工艺,其特征在于在离子水和双氧水的混合液中浸泡时间在3分钟以上。
CN2011101343221A 2011-05-20 2011-05-20 一种太阳能单晶硅片的清洗工艺 Pending CN102231404A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2011101343221A CN102231404A (zh) 2011-05-20 2011-05-20 一种太阳能单晶硅片的清洗工艺

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2011101343221A CN102231404A (zh) 2011-05-20 2011-05-20 一种太阳能单晶硅片的清洗工艺

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN102231404A true CN102231404A (zh) 2011-11-02

Family

ID=44843957

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2011101343221A Pending CN102231404A (zh) 2011-05-20 2011-05-20 一种太阳能单晶硅片的清洗工艺

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN102231404A (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103789839A (zh) * 2014-02-20 2014-05-14 陕西师范大学 一种弱氧化单晶硅片的制绒方法
CN112620233A (zh) * 2020-12-23 2021-04-09 孟闯 一种片料脱胶剂清洗方法
CN114101191A (zh) * 2021-11-19 2022-03-01 横店集团东磁股份有限公司 一种太阳能单晶电池刻蚀工序所用行走滚轮的清洗方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1521807A (zh) * 2003-02-11 2004-08-18 厦门大学 硅与硅真空键合装置及键合方法
CN101799381A (zh) * 2010-03-02 2010-08-11 上海新傲科技股份有限公司 一种在硅片表面形成氧化层的方法
CN101805891A (zh) * 2010-04-01 2010-08-18 河北大学 一种低温高速沉积氢化非晶氮化硅薄膜的方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1521807A (zh) * 2003-02-11 2004-08-18 厦门大学 硅与硅真空键合装置及键合方法
CN101799381A (zh) * 2010-03-02 2010-08-11 上海新傲科技股份有限公司 一种在硅片表面形成氧化层的方法
CN101805891A (zh) * 2010-04-01 2010-08-18 河北大学 一种低温高速沉积氢化非晶氮化硅薄膜的方法

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103789839A (zh) * 2014-02-20 2014-05-14 陕西师范大学 一种弱氧化单晶硅片的制绒方法
CN112620233A (zh) * 2020-12-23 2021-04-09 孟闯 一种片料脱胶剂清洗方法
CN114101191A (zh) * 2021-11-19 2022-03-01 横店集团东磁股份有限公司 一种太阳能单晶电池刻蚀工序所用行走滚轮的清洗方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN108231540A (zh) 一种应用于太阳能电池制绒的后清洗工艺
CN102412172B (zh) 切割、研磨硅片表面清洗方法
CN103394484B (zh) 多晶硅太阳能电池硅片酸制绒后的清洗工艺
CN102185035B (zh) 一种二次制绒法制备晶体硅太阳能电池的工艺
CN102296369B (zh) 一种多晶硅酸法制绒工艺
CN104009122B (zh) 一种丝网印刷返工硅片的处理方法
CN102074617B (zh) 一种丝网印刷返工硅片的处理方法
CN103087850B (zh) 一种单晶硅片预清洗液及其清洗方法
CN104377119B (zh) 一种锗单晶抛光片的清洗方法
CN102751377A (zh) 一种用于高效晶硅太阳电池制作的表面湿法处理工艺
CN102412173B (zh) 切割、研磨硅片表面清洗设备
CN101817006A (zh) 一种太阳能硅片的表面清洗方法
TW201434085A (zh) 多晶矽片植絨清洗製程方法
CN102593268B (zh) 采用绒面光滑圆整技术的异质结太阳电池清洗制绒方法
CN107523881A (zh) 一种制备单晶硅绒面的预处理方法
CN108441353A (zh) 一种硅片清洗液、清洗设备及清洗工艺
CN105032834A (zh) 金刚石硅片专用碱洗液及金刚石硅片清洗工艺
CN105154268A (zh) 一种可减少硅片表面损伤层厚度的清洗液及清洗方法
CN104485388A (zh) 一种晶硅太阳能电池pecvd镀膜后不良片的返工方法
CN110416064A (zh) 一种去除硅片油污的方法
CN102527676B (zh) 一种用于抗腐蚀掩膜浆料的清洗工艺方法
CN102231404A (zh) 一种太阳能单晶硅片的清洗工艺
CN105226132B (zh) 一种太阳能彩虹片返工工艺
CN104190669A (zh) 一种玻璃仪器清洗方法
CN110165018A (zh) 一种下降漏电提升效率的多晶清洗工艺

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20111102