CN114101191A - 一种太阳能单晶电池刻蚀工序所用行走滚轮的清洗方法 - Google Patents

一种太阳能单晶电池刻蚀工序所用行走滚轮的清洗方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供了一种太阳能单晶电池刻蚀工序所用行走滚轮的清洗方法，所述清洗方法包括以下步骤：(1)将行走滚轮浸入纯水中，并加入清洗剂，浸泡第一时间段；(2)用纯水冲洗步骤(1)所得行走滚轮，浸入双氧水溶液中，浸泡第二时间段；(3)用纯水冲洗步骤(2)所得行走滚轮，浸入混酸溶液中，浸泡第三时间段；(4)将步骤(3)所得行走滚轮浸入纯水中，浸泡第四时间段；(5)用纯水冲洗步骤(4)所得行走滚轮，吹干并烘干后，得到清洗后的行走滚轮；其中，所述纯水具体为含盐量≤1mg/L的纯水。本发明提供的清洗方法提升了清洗效果和效率的同时，降低了清洗能耗和成本。

Description

一种太阳能单晶电池刻蚀工序所用行走滚轮的清洗方法
技术领域
本发明属于太阳能单晶电池制造技术领域，涉及一种清洗方法，尤其涉及一种太阳能单晶电池刻蚀工序所用行走滚轮的清洗方法。
背景技术
太阳能单晶PERC电池技术是目前行业的主流技术，太阳能电池制造的刻蚀工序主要是去除扩散后硅片表面的部分PN结及磷硅玻璃(主要是SiO2、磷源及其它杂质)保护层，因此在日常运行过程中行走滚轮会累计大量的硅粉、脏污及各类杂质(如粉尘、碎屑)等污染物，特别是烘干槽体滚轮，更容易受到污染，从而影响电池产品质量和转换效率。
常规的滚轮清洗方法主要采用混酸清洗及水漂洗的方式进行，清洗时间长达10小时。采用这种清洗方式，对于滚轮表面存在的有机物及部分杂质的清洗效果并不理想，且在后续生产过程中需要通过跑大量假片的方式来达到下降EL污染比例的目的，导致清洗效率低，能耗高。
CN 204448693U公开了一种电池片清洗机滚轮的自动清洗装置，包括清洗槽、超声波发生器，所述清洗槽内注有DI纯水，所述超声波发生器设置在所述清洗槽的内壁上，并浸入水中，用于对浸泡在所述清洗槽内的滚轮超声清洗；所述清洗槽底部设置有2-4组固定架底座，所述固定架底座上设置有若干个与所述滚轮相匹配的卡口，用于放置所述滚轮。然而受限于设备本身没有鼓泡、加热系统，且烘干槽无液位，故滚轮的清洗效果并不理想。
由此可见，如何提供一种太阳能单晶电池刻蚀工序所用行走滚轮的清洗方法，提升清洗效果和效率的同时，降低清洗能耗和成本，成为了目前本领域技术人员迫切需要解决的问题。
发明内容
针对现有技术存在的不足，本发明的目的在于提供一种太阳能单晶电池刻蚀工序所用行走滚轮的清洗方法，所述清洗方法提升了清洗效果和效率的同时，降低了清洗能耗和成本。
为达此目的，本发明采用以下技术方案：
本发明提供一种太阳能单晶电池刻蚀工序所用行走滚轮的清洗方法，所述清洗方法包括以下步骤：
(1)将行走滚轮浸入纯水中，并加入清洗剂，浸泡第一时间段；
(2)用纯水冲洗步骤(1)所得行走滚轮，浸入双氧水溶液中，浸泡第二时间段；
(3)用纯水冲洗步骤(2)所得行走滚轮，浸入混酸溶液中，浸泡第三时间段；
(4)将步骤(3)所得行走滚轮浸入纯水中，浸泡第四时间段；
(5)用纯水冲洗步骤(4)所得行走滚轮，吹干并烘干后，得到清洗后的行走滚轮；
其中，所述纯水具体为含盐量≤1mg/L的纯水，例如可以是0.1mg/L、0.2mg/L、0.3mg/L、0.4mg/L、0.5mg/L、0.6mg/L、0.7mg/L、0.8mg/L、0.9mg/L或1mg/L，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
本发明通过依次使用清洗剂、双氧水溶液、混酸溶液及纯水浸泡行走滚轮，对滚轮进行多重清洗，特别是针对表面的有机物杂质起到了很好的清洗效果，行走滚轮上线后跟踪电池片外观白点比例降至0.36％以下，EL污染比例降至0.53％以下，且将原本需要10h的清洗时间缩短至4h内，显著提升了清洗效率。
优选地，所述清洗方法在清洗槽中进行。
优选地，所述清洗槽为耐酸碱腐蚀的槽体，且设置有槽盖与加热系统。
本发明中，所述加热系统为本领域常规使用的加热装置，只要能够实现加热功能即可，故在此不对加热系统的具体结构做特别限定。
优选地，步骤(1)在进行之前还包括用纯水冲洗清洗槽的内壁，并排空槽内液体。
优选地，以质量份数计，步骤(1)所述清洗剂的组成为：
Figure BDA0003363595240000031
本发明中，所述烷基磺酸钠的质量份数为1-3份，例如可以是1份、1.2份、1.4份、1.6份、1.8份、2份、2.2份、2.4份、2.6份、2.8份或3份，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
本发明中，所述脂肪醇醚硫酸钠的质量份数为0.5份-1.5份，例如可以是0.5份、0.6份、0.7份、0.8份、0.9份、1份、1.1份、1.2份、1.3份、1.4份或1.5份，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
本发明中，所述直链烷基苯磺酸的质量份数为10-11份，例如可以是10份、10.1份、10.2份、10.3份、10.4份、10.5份、10.6份、10.7份、10.8份、10.9份或11份，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
本发明中，所述氢氧化钠的质量份数为1-2份，例如可以是1份、1.1份、1.2份、1.3份、1.4份、1.5份、1.6份、1.7份、1.8份、1.9份或2份，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
本发明中，所述泡沫剂的质量份数为0.1-1份，例如可以是0.1份、0.2份、0.3份、0.4份、0.5份、0.6份、0.7份、0.8份、0.9份或1份，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
本发明中，所述去离子水的质量份数为40-60份，例如可以是40份、42份、44份、46份、48份、50份、52份、54份、56份、58份或60份，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地，所述泡沫剂包括十二烷基硫酸钠和/或脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸钠。
优选地，步骤(1)所述纯水的体积为清洗槽总容积的1/20-1/5，例如可以是1/20、1/10、3/20或1/5，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地，步骤(1)所述清洗剂的加入量占槽内液体总质量的0.5％-1.5％，例如可以是0.5％、0.6％、0.7％、0.8％、0.9％、1％、1.1％、1.2％、1.3％、1.4％或1.5％，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地，步骤(1)所述清洗剂在加入后将清洗槽注满纯水。
优选地，步骤(1)所述浸泡的温度为30-50℃，例如可以是30℃、32℃、34℃、36℃、38℃、40℃、42℃、44℃、46℃、48℃或50℃，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地，步骤(1)所述第一时间段为1-60min，例如可以是1min、5min、10min、15min、20min、25min、30min、35min、40min、45min、50min、55min或60min，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地，步骤(2)所述双氧水溶液中双氧水与去离子水的体积比为1:(5-15)，例如可以是1:5、1:6、1:7、1:8、1:9、1:10、1:11、1:12、1:13、1:14或1:15，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地，步骤(2)所述浸泡的温度为50-60℃，例如可以是50℃、51℃、52℃、53℃、54℃、55℃、56℃、57℃、58℃、59℃或60℃，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地，步骤(2)所述第二时间段为1-60min，例如可以是1min、5min、10min、15min、20min、25min、30min、35min、40min、45min、50min、55min或60min，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地，步骤(3)所述混酸溶液中的酸种类包括氢氟酸和/或盐酸。
优选地，步骤(3)所述混酸溶液中的酸种类为氢氟酸和盐酸。
优选地，步骤(3)所述混酸溶液中氢氟酸、盐酸与去离子水的体积比为(0.3-5):(0.3-5):25，例如可以是0.3:0.3:25、0.5:1:25、1:0.5:25、1.5:2:25、2:1.5:25、2.5:3:25、3:2.5:25、3.5:4:25、4:3.5:25、4.5:5:25或5:4.5:25，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地，步骤(3)所述浸泡的温度为20-30℃，例如可以是20℃、21℃、22℃、23℃、24℃、25℃、26℃、27℃、28℃、29℃或30℃，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地，步骤(3)所述第三时间段为60-120min，例如可以是60min、65min、70min、75min、80min、85min、90min、95min、100min、105min、110min、115min或120min，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地，步骤(4)所述浸泡的温度为20-30℃，例如可以是20℃、21℃、22℃、23℃、24℃、25℃、26℃、27℃、28℃、29℃或30℃，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地，步骤(4)所述第四时间段为40-80min，例如可以是40min、45min、50min、55min、60min、65min、70min、75min或80min，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地，步骤(5)所述吹干采用氮气进行。
优选地，步骤(5)所述烘干的温度≤50℃，例如可以是30℃、32℃、34℃、36℃、38℃、40℃、42℃、44℃、46℃、48℃或50℃，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地，步骤(5)所述烘干的时间为1-30min，例如可以是1min、5min、10min、15min、20min、25min或30min，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
作为本发明优选的技术方案，所述清洗方法包括以下步骤：
(1)用纯水冲洗清洗槽的内壁，并排空槽内液体，将行走滚轮浸入纯水中，且纯水的体积为清洗槽总容积的1/20-1/5，加入清洗剂，且加入量占槽内液体总质量的0.5％-1.5％，再将清洗槽注满纯水，在30-50℃下浸泡1-60min；以质量份数计，所述清洗剂的组成为：
Figure BDA0003363595240000061
Figure BDA0003363595240000071
所述泡沫剂包括十二烷基硫酸钠和/或脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸钠；
(2)排空槽内液体，用纯水冲洗步骤(1)所得行走滚轮，浸入双氧水溶液中，在50-60℃下浸泡1-60min；所述双氧水溶液中双氧水与去离子水的体积比为1:(5-15)；
(3)排空槽内液体，用纯水冲洗步骤(2)所得行走滚轮，浸入混酸溶液中，在20-30℃下浸泡60-120min；所述混酸溶液中的酸种类为氢氟酸和盐酸，且氢氟酸、盐酸与去离子水的体积比为(0.3-5):(0.3-5):25；
(4)排空槽内液体，将步骤(3)所得行走滚轮浸入纯水中，在20-30℃下浸泡40-80min；
(5)排空槽内液体，用纯水冲洗步骤(4)所得行走滚轮，利用氮气枪吹干表面水分，在50℃以下烘干1-30min，得到清洗后的行走滚轮；
其中，所述纯水具体为含盐量≤1mg/L的纯水；所述清洗槽为耐酸碱腐蚀的槽体，且设置有槽盖与加热系统。
本发明所述的数值范围不仅包括上述例举的点值，还包括没有例举出的上述数值范围之间的任意的点值，限于篇幅及出于简明的考虑，本发明不再穷尽列举所述范围包括的具体点值。
与现有技术相比，本发明的有益效果为：
本发明通过依次使用清洗剂、双氧水溶液、混酸溶液及纯水浸泡行走滚轮，对滚轮进行多重清洗，特别是针对表面的有机物杂质起到了很好的清洗效果，行走滚轮上线后跟踪电池片外观白点比例降至0.36％以下，EL污染比例降至0.53％以下，且将原本需要10h的清洗时间缩短至4h内，显著提升了清洗效率。
具体实施方式
下面通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。
实施例1
本实施例提供一种太阳能单晶电池刻蚀工序所用行走滚轮的清洗方法，所述清洗方法包括以下步骤：
(1)用纯水冲洗清洗槽的内壁，并排空槽内液体，将行走滚轮浸入纯水中，且纯水的体积为清洗槽总容积的1/10，加入清洗剂，且加入量占槽内液体总质量的1％，再将清洗槽注满纯水，在40℃下浸泡30min；以质量份数计，所述清洗剂的组成为：
Figure BDA0003363595240000081
(2)排空槽内液体，用纯水冲洗步骤(1)所得行走滚轮，浸入双氧水溶液中，在55℃下浸泡30min；所述双氧水溶液中双氧水与去离子水的体积比为1:10；
(3)排空槽内液体，用纯水冲洗步骤(2)所得行走滚轮，浸入混酸溶液中，在25℃下浸泡90min；所述混酸溶液中的酸种类为氢氟酸和盐酸，且氢氟酸、盐酸与去离子水的体积比为1:1:10；
(4)排空槽内液体，将步骤(3)所得行走滚轮浸入纯水中，在25℃下浸泡60min；
(5)排空槽内液体，用纯水冲洗步骤(4)所得行走滚轮，利用氮气枪吹干表面水分，在40℃下烘干15min，得到清洗后的行走滚轮；
其中，所述纯水具体为含盐量≤1mg/L的纯水；所述清洗槽为耐酸碱腐蚀的槽体，且设置有槽盖与加热系统。
实施例2
本实施例提供一种太阳能单晶电池刻蚀工序所用行走滚轮的清洗方法，所述清洗方法包括以下步骤：
(1)用纯水冲洗清洗槽的内壁，并排空槽内液体，将行走滚轮浸入纯水中，且纯水的体积为清洗槽总容积的1/10，加入清洗剂，且加入量占槽内液体总质量的0.75％，再将清洗槽注满纯水，在35℃下浸泡45min；以质量份数计，所述清洗剂的组成为：
Figure BDA0003363595240000091
(2)排空槽内液体，用纯水冲洗步骤(1)所得行走滚轮，浸入双氧水溶液中，在55℃下浸泡30min；所述双氧水溶液中双氧水与去离子水的体积比为1:7；
(3)排空槽内液体，用纯水冲洗步骤(2)所得行走滚轮，浸入混酸溶液中，在25℃下浸泡90min；所述混酸溶液中的酸种类为氢氟酸和盐酸，且氢氟酸、盐酸与去离子水的体积比为1:1:10；
(4)排空槽内液体，将步骤(3)所得行走滚轮浸入纯水中，在25℃下浸泡60min；
(5)排空槽内液体，用纯水冲洗步骤(4)所得行走滚轮，利用氮气枪吹干表面水分，在40℃下烘干15min，得到清洗后的行走滚轮；
其中，所述纯水具体为含盐量≤1mg/L的纯水；所述清洗槽为耐酸碱腐蚀的槽体，且设置有槽盖与加热系统。
实施例3
本实施例提供一种太阳能单晶电池刻蚀工序所用行走滚轮的清洗方法，所述清洗方法包括以下步骤：
(1)用纯水冲洗清洗槽的内壁，并排空槽内液体，将行走滚轮浸入纯水中，且纯水的体积为清洗槽总容积的1/10，加入清洗剂，且加入量占槽内液体总质量的1.25％，再将清洗槽注满纯水，在45℃下浸泡15min；以质量份数计，所述清洗剂的组成为：
Figure BDA0003363595240000101
(2)排空槽内液体，用纯水冲洗步骤(1)所得行走滚轮，浸入双氧水溶液中，在55℃下浸泡30min；所述双氧水溶液中双氧水与去离子水的体积比为1:12；
(3)排空槽内液体，用纯水冲洗步骤(2)所得行走滚轮，浸入混酸溶液中，在25℃下浸泡90min；所述混酸溶液中的酸种类为氢氟酸和盐酸，且氢氟酸、盐酸与去离子水的体积比为1:1:10；
(4)排空槽内液体，将步骤(3)所得行走滚轮浸入纯水中，在25℃下浸泡60min；
(5)排空槽内液体，用纯水冲洗步骤(4)所得行走滚轮，利用氮气枪吹干表面水分，在40℃下烘干15min，得到清洗后的行走滚轮；
其中，所述纯水具体为含盐量≤1mg/L的纯水；所述清洗槽为耐酸碱腐蚀的槽体，且设置有槽盖与加热系统。
实施例4
本实施例提供一种太阳能单晶电池刻蚀工序所用行走滚轮的清洗方法，所述清洗方法包括以下步骤：
(1)用纯水冲洗清洗槽的内壁，并排空槽内液体，将行走滚轮浸入纯水中，且纯水的体积为清洗槽总容积的1/20，加入清洗剂，且加入量占槽内液体总质量的0.5％，再将清洗槽注满纯水，在30℃下浸泡60min；以质量份数计，所述清洗剂的组成为：
Figure BDA0003363595240000111
(2)排空槽内液体，用纯水冲洗步骤(1)所得行走滚轮，浸入双氧水溶液中，在50℃下浸泡60min；所述双氧水溶液中双氧水与去离子水的体积比为1:5；
(3)排空槽内液体，用纯水冲洗步骤(2)所得行走滚轮，浸入混酸溶液中，在20℃下浸泡90min；所述混酸溶液中的酸种类为氢氟酸和盐酸，且氢氟酸、盐酸与去离子水的体积比为0.3:5:25；
(4)排空槽内液体，将步骤(3)所得行走滚轮浸入纯水中，在20℃下浸泡80min；
(5)排空槽内液体，用纯水冲洗步骤(4)所得行走滚轮，利用氮气枪吹干表面水分，在30℃下烘干30min，得到清洗后的行走滚轮；
其中，所述纯水具体为含盐量≤1mg/L的纯水；所述清洗槽为耐酸碱腐蚀的槽体，且设置有槽盖与加热系统。
实施例5
本实施例提供一种太阳能单晶电池刻蚀工序所用行走滚轮的清洗方法，所述清洗方法包括以下步骤：
(1)用纯水冲洗清洗槽的内壁，并排空槽内液体，将行走滚轮浸入纯水中，且纯水的体积为清洗槽总容积的1/5，加入清洗剂，且加入量占槽内液体总质量的1.5％，再将清洗槽注满纯水，在50℃下浸泡5min；以质量份数计，所述清洗剂的组成为：
Figure BDA0003363595240000121
Figure BDA0003363595240000131
(2)排空槽内液体，用纯水冲洗步骤(1)所得行走滚轮，浸入双氧水溶液中，在60℃下浸泡5min；所述双氧水溶液中双氧水与去离子水的体积比为1:15；
(3)排空槽内液体，用纯水冲洗步骤(2)所得行走滚轮，浸入混酸溶液中，在30℃下浸泡60min；所述混酸溶液中的酸种类为氢氟酸和盐酸，且氢氟酸、盐酸与去离子水的体积比为5:0.3:25；
(4)排空槽内液体，将步骤(3)所得行走滚轮浸入纯水中，在30℃下浸泡40min；
(5)排空槽内液体，用纯水冲洗步骤(4)所得行走滚轮，利用氮气枪吹干表面水分，在50℃下烘干5min，得到清洗后的行走滚轮；
其中，所述纯水具体为含盐量≤1mg/L的纯水；所述清洗槽为耐酸碱腐蚀的槽体，且设置有槽盖与加热系统。
对比例1
本对比例提供一种太阳能单晶电池刻蚀工序所用行走滚轮的清洗方法，所述清洗方法包括以下步骤：
(1)用纯水冲洗清洗槽的内壁，并排空槽内液体，将行走滚轮浸入纯水中，在25℃下浸泡360min；
(2)排空槽内液体，用纯水冲洗步骤(1)所得行走滚轮，利用氮气枪吹干表面水分，在40℃下烘干15min，得到清洗后的行走滚轮；
其中，所述纯水具体为含盐量≤1mg/L的纯水；所述清洗槽为耐酸碱腐蚀的槽体，且设置有槽盖与加热系统。
对比例2
本对比例提供一种太阳能单晶电池刻蚀工序所用行走滚轮的清洗方法，所述清洗方法包括以下步骤：
(1)用纯水冲洗清洗槽的内壁，并排空槽内液体，将行走滚轮浸入纯水中，且纯水的体积为清洗槽总容积的1/10，加入清洗剂，且加入量占槽内液体总质量的1％，再将清洗槽注满纯水，在40℃下浸泡30min；以质量份数计，所述清洗剂的组成为：
Figure BDA0003363595240000141
(2)排空槽内液体，用纯水冲洗步骤(1)所得行走滚轮，浸入混酸溶液中，在25℃下浸泡90min；所述混酸溶液中的酸种类为氢氟酸和盐酸，且氢氟酸、盐酸与去离子水的体积比为1:1:10；
(3)排空槽内液体，将步骤(2)所得行走滚轮浸入纯水中，在25℃下浸泡60min；
(4)排空槽内液体，用纯水冲洗步骤(3)所得行走滚轮，利用氮气枪吹干表面水分，在40℃下烘干15min，得到清洗后的行走滚轮；
其中，所述纯水具体为含盐量≤1mg/L的纯水；所述清洗槽为耐酸碱腐蚀的槽体，且设置有槽盖与加热系统。
对比例3
本实施例提供一种太阳能单晶电池刻蚀工序所用行走滚轮的清洗方法，所述清洗方法包括以下步骤：
(1)用纯水冲洗清洗槽的内壁，并排空槽内液体，将行走滚轮浸入纯水中，且纯水的体积为清洗槽总容积的1/10，加入清洗剂，且加入量占槽内液体总质量的1％，再将清洗槽注满纯水，在40℃下浸泡30min；以质量份数计，所述清洗剂的组成为：
Figure BDA0003363595240000151
(2)排空槽内液体，用纯水冲洗步骤(1)所得行走滚轮，浸入双氧水溶液中，在55℃下浸泡30min；所述双氧水溶液中双氧水与去离子水的体积比为1:10；
(3)排空槽内液体，将步骤(2)所得行走滚轮浸入纯水中，在25℃下浸泡60min；
(4)排空槽内液体，用纯水冲洗步骤(3)所得行走滚轮，利用氮气枪吹干表面水分，在40℃下烘干15min，得到清洗后的行走滚轮；
其中，所述纯水具体为含盐量≤1mg/L的纯水；所述清洗槽为耐酸碱腐蚀的槽体，且设置有槽盖与加热系统。
利用实施例1-5与对比例1-3提供的清洗方法对同一批次行走滚轮的清洗效果见表1。
表1
检验电池片数量 外观白点比例 EL污染比例 效率
实施例1 2000 0.23％ 0.26％ 22.65％
实施例2 2000 0.25％ 0.33％ 22.63％
实施例3 2000 0.36％ 0.43％ 22.64％
实施例4 2000 0.25％ 0.39％ 22.63％
实施例5 2000 0.33％ 0.53％ 22.64％
对比例1 2000 1.34％ 2.6％ 22.50％
对比例2 2000 0.63％ 1.2％ 22.63％
对比例3 2000 0.35％ 1.13％ 22.53％
由表1可知，按照实施例1-5各清洗200个行走滚轮，行走滚轮上线后跟踪(每组实施例/对比例各跟踪电池片2000片)电池片外观白点比例降至0.36％以下，EL污染比例降至0.53％以下，且效率高达22.63％以上；对比例1仅采用纯水清洗，清洗时间长达10h，且外观白点比例和EL污染比例明显升高，效率显著减低；对比例2并未采用双氧水溶液清洗，导致外观白点比例和EL污染比例明显升高；对比例3并未采用混酸溶液清洗，导致EL污染比例明显升高，且效率显著降低。
由此可见，本发明通过依次使用清洗剂、双氧水溶液、混酸溶液及纯水浸泡行走滚轮，对滚轮进行多重清洗，特别是针对表面的有机物杂质起到了很好的清洗效果，行走滚轮上线后跟踪电池片外观白点比例降至0.36％以下，EL污染比例降至0.53％以下，且将原本需要10h的清洗时间缩短至4h内，显著提升了清洗效率。
以上所述的具体实施例，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施例而已，并不用于限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种太阳能单晶电池刻蚀工序所用行走滚轮的清洗方法，其特征在于，所述清洗方法包括以下步骤：
(1)将行走滚轮浸入纯水中，并加入清洗剂，浸泡第一时间段；
(2)用纯水冲洗步骤(1)所得行走滚轮，浸入双氧水溶液中，浸泡第二时间段；
(3)用纯水冲洗步骤(2)所得行走滚轮，浸入混酸溶液中，浸泡第三时间段；
(4)将步骤(3)所得行走滚轮浸入纯水中，浸泡第四时间段；
(5)用纯水冲洗步骤(4)所得行走滚轮，吹干并烘干后，得到清洗后的行走滚轮；
其中，所述纯水具体为含盐量≤1mg/L的纯水。
2.根据权利要求1所述的清洗方法，其特征在于，所述清洗方法在清洗槽中进行；
优选地，所述清洗槽为耐酸碱腐蚀的槽体，且设置有槽盖与加热系统。
3.根据权利要求2所述的清洗方法，其特征在于，步骤(1)在进行之前还包括用纯水冲洗清洗槽的内壁，并排空槽内液体；
优选地，以质量份数计，步骤(1)所述清洗剂的组成为：
Figure FDA0003363595230000011
优选地，所述泡沫剂包括十二烷基硫酸钠和/或脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸钠。
4.根据权利要求2或3所述的清洗方法，其特征在于，步骤(1)所述纯水的体积为清洗槽总容积的1/20-1/5；
优选地，步骤(1)所述清洗剂的加入量占槽内液体总质量的0.5％-1.5％；
优选地，步骤(1)所述清洗剂在加入后将清洗槽注满纯水；
优选地，步骤(1)所述浸泡的温度为30-50℃；
优选地，步骤(1)所述第一时间段为1-60min。
5.根据权利要求1-4任一项所述的清洗方法，其特征在于，步骤(2)所述双氧水溶液中双氧水与去离子水的体积比为1:(5-15)；
优选地，步骤(2)所述浸泡的温度为50-60℃；
优选地，步骤(2)所述第二时间段为1-60min。
6.根据权利要求1-5任一项所述的清洗方法，其特征在于，步骤(3)所述混酸溶液中的酸种类包括氢氟酸和/或盐酸。
7.根据权利要求6所述的清洗方法，其特征在于，步骤(3)所述混酸溶液中的酸种类为氢氟酸和盐酸；
优选地，步骤(3)所述混酸溶液中氢氟酸、盐酸与去离子水的体积比为(0.3-5):(0.3-5):25；
优选地，步骤(3)所述浸泡的温度为20-30℃；
优选地，步骤(3)所述第三时间段为60-120min。
8.根据权利要求1-7任一项所述的清洗方法，其特征在于，步骤(4)所述浸泡的温度为20-30℃；
优选地，步骤(4)所述第四时间段为40-80min。
9.根据权利要求1-8任一项所述的清洗方法，其特征在于，步骤(5)所述吹干采用氮气进行；
优选地，步骤(5)所述烘干的温度≤50℃；
优选地，步骤(5)所述烘干的时间为1-30min。
10.根据权利要求1-9任一项所述的清洗方法，其特征在于，所述清洗方法包括以下步骤：
(1)用纯水冲洗清洗槽的内壁，并排空槽内液体，将行走滚轮浸入纯水中，且纯水的体积为清洗槽总容积的1/20-1/5，加入清洗剂，且加入量占槽内液体总质量的0.5％-1.5％，再将清洗槽注满纯水，在30-50℃下浸泡1-60min；以质量份数计，所述清洗剂的组成为：
Figure FDA0003363595230000031
所述泡沫剂包括十二烷基硫酸钠和/或脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸钠；
(2)排空槽内液体，用纯水冲洗步骤(1)所得行走滚轮，浸入双氧水溶液中，在50-60℃下浸泡1-60min；所述双氧水溶液中双氧水与去离子水的体积比为1:(5-15)；
(3)排空槽内液体，用纯水冲洗步骤(2)所得行走滚轮，浸入混酸溶液中，在20-30℃下浸泡60-120min；所述混酸溶液中的酸种类为氢氟酸和盐酸，且氢氟酸、盐酸与去离子水的体积比为(0.3-5):(0.3-5):25；
(4)排空槽内液体，将步骤(3)所得行走滚轮浸入纯水中，在20-30℃下浸泡40-80min；
(5)排空槽内液体，用纯水冲洗步骤(4)所得行走滚轮，利用氮气枪吹干表面水分，在50℃以下烘干1-30min，得到清洗后的行走滚轮；
其中，所述纯水具体为含盐量≤1mg/L的纯水；所述清洗槽为耐酸碱腐蚀的槽体，且设置有槽盖与加热系统。
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