CN112974163B - 一种晶圆涂膜设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种晶圆涂膜设备，其结构包括机体、膜液管、检修门、控制机、输入台，膜液管嵌入于机体顶面，检修门两侧与机体右侧铰接连接，控制机嵌入于机体正面，输入台背面焊接于机体正面，本发明在正常状态下，通过密封盖与停留轮的双重配合，避免正光阻剂挥发出来的丙酮气体飘散到外界，当需要进行添加正光阻剂的时候，通过拉扯停留管内的停留轮，在停留轮打开的时候，抽走停留轮内的气体，并使底部密封，顶部开启，加料的过程中，不会有丙酮气体逸出，而添加结束后即可快速将顶部密封，使添加者始终不会与丙酮气体有接触，进而避免操作者误吸大量丙酮气体而导致安全性问题，使涂膜设备操作时的安全性大大提升。

Description

一种晶圆涂膜设备

技术领域

本发明涉及晶圆涂膜领域，具体的是一种晶圆涂膜设备。

背景技术

晶圆是用于制造硅半导体电路所用的硅晶片，将硅经过多道工序进行加工后，并在其光滑的表面进行蚀刻后，即可获得晶圆，为了使晶圆表面拥有更好地抗氧化性和耐温能力，需要在晶圆表面涂上一层膜，对晶圆进行保护，用于晶圆的膜涂料采用光阻剂溶液，不仅可以有效增强抗氧化剂与耐温能力，同时还可以保护蚀刻后的表面纹路不会被破坏，可以有效增加晶圆对外界不利因素的抵抗能力，涂膜设备可以有效地将光阻剂均匀地涂抹在晶圆的表面，但是在使用正光阻剂时，由于正光阻剂一般都将感光树脂加入到丙酮内进行溶解，因此正光阻剂在受热久置后会从其溶剂内挥发出一定的丙酮气体，在中途添加正光阻剂的过程中很容易对导致挥发的丙酮气体上浮，并扩散在添加管周围，操作者若不慎大量吸入，很容易导致出现急性中毒症状与中枢神经麻痹症状，降低晶圆涂膜设备在操作时的安全性。

发明内容

针对上述问题，本发明提供一种晶圆涂膜设备。

为了实现上述目的，本发明是通过如下的技术方案来实现：一种晶圆涂膜设备，其结构包括机体、膜液管、检修门、控制机、输入台，所述膜液管嵌入于机体顶面，所述检修门两侧与机体右侧铰接连接，所述控制机嵌入于机体正面，所述输入台背面焊接于机体正面；所述膜液管包括密封盖、固定板、停留管、输入管、阻拦板，所述密封盖左侧与停留管顶面铰接连接，所述输入管顶面与停留管底面相互接通并通过电焊连接，所述阻拦板一侧焊接于输入管内层，所述固定板中段与停留管外层焊接连接，所述输入管为内表面光滑的弧形管结构。

更进一步的，所述停留管包括管壁、铰接轴、贴合块、停留轮，所述管壁顶面与铰接轴外环嵌固连接，所述贴合块底面嵌入于管壁顶面，所述停留轮中心与管壁内层活动卡合，所述贴合块采用表面粗糙的方形硅胶块制造。

更进一步的，所述停留轮包括中心块、托环、封头、封板、弹柄，所述中心块两侧与托环内环活动卡合，所述封头一侧嵌入于托环底部，所述封板一侧嵌固于托环顶部，所述弹柄底端与托环外环活动卡合，所述封头与封板设有两个，两个封头与封板镜像分布于中心块两边。

更进一步的，所述中心块包括底框、密封板、内陷槽、滑动层、吸气扭轮，所述底框顶面与滑动层外环嵌固连接，所述密封板一侧固定安装于底框一侧，所述内陷槽与底框内层为一体化成型，所述吸气扭轮外环与滑动层内环嵌固连接，所述内陷槽为倾斜的V型槽结构。

更进一步的，所述吸气扭轮包括压柄、卡头、安装环、弹力块、内轴，所述压柄底端通过卡头与安装环外环活动卡合，所述弹力块顶部嵌入于安装环内部，所述弹力块底部与内轴外环活动卡合，所述弹力块设有多个，多个弹力块间隙均匀地环状嵌入于安装环内。

更进一步的，所述弹力块包括软球、扭框、扭环、连接头，所述软球底部与扭框顶部活动卡合，所述扭环嵌入于扭框中段，所述连接头外环与扭框底面嵌固连接，所述软球为顶部有开口内层粗糙的的中空球体结构。

有益效果

与现有技术相比，本发明具有如下有益效果：

本发明在正常状态下，通过密封盖与停留轮的双重配合，避免正光阻剂挥发出来的丙酮气体飘散到外界，当需要进行添加正光阻剂的时候，通过拉扯停留管内的停留轮，在停留轮打开的时候，抽走停留轮内的气体，并使底部密封，顶部开启，加料的过程中，不会有丙酮气体逸出，而添加结束后即可快速将顶部密封，使添加者始终不会与丙酮气体有接触，进而避免操作者误吸大量丙酮气体而导致安全性问题，使涂膜设备操作时的安全性大大提升。

附图说明

图1为本发明一种晶圆涂膜设备立体的结构示意图。

图2为本发明膜液管正视截面的结构示意图。

图3为本发明停留管正视截面的结构示意图。

图4为本发明停留轮正视截面的结构示意图。

图5为本发明中心块正视截面的结构示意图。

图6为本发明吸气扭轮正视截面的结构示意图。

图7为本发明弹力块正视截面的结构示意图。

图中：机体-1、膜液管-2、检修门-3、控制机-4、输入台-5、密封盖-21、固定板-22、停留管-23、输入管-24、阻拦板-25、管壁-231、铰接轴-232、贴合块-233、停留轮-234、中心块-A1、托环-A2、封头-A3、封板-A4、弹柄-A5、底框-A11、密封板-A12、内陷槽-A13、滑动层-A14、吸气扭轮-A15、压柄-B1、卡头-B2、安装环-B3、弹力块-B4、内轴-B5、软球-B41、扭框-B42、扭环-B43、连接头-B44。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

实施例一：

请参阅图1-图5，本发明具体实施例如下：一种晶圆涂膜设备，其结构包括机体1、膜液管2、检修门3、控制机4、输入台5，所述膜液管2嵌入于机体1顶面，所述检修门3两侧与机体1右侧铰接连接，所述控制机4嵌入于机体1正面，所述输入台5背面焊接于机体1正面；所述膜液管2包括密封盖21、固定板22、停留管23、输入管24、阻拦板25，所述密封盖21左侧与停留管23顶面铰接连接，所述输入管24顶面与停留管23底面相互接通并通过电焊连接，所述阻拦板25一侧焊接于输入管24内层，所述固定板22中段与停留管23外层焊接连接，所述输入管24为内表面光滑的弧形管结构，有利于将液状光阻剂导入并降低残留。

其中，所述停留管23包括管壁231、铰接轴232、贴合块233、停留轮234，所述管壁231顶面与铰接轴232外环嵌固连接，所述贴合块233底面嵌入于管壁231顶面，所述停留轮234中心与管壁231内层活动卡合，所述贴合块233采用表面粗糙的方形硅胶块制造，有利于增加密封效果与贴合效果，防止密封盖21滑动。

其中，所述停留轮234包括中心块A1、托环A2、封头A3、封板A4、弹柄A5，所述中心块A1两侧与托环A2内环活动卡合，所述封头A3一侧嵌入于托环A2底部，所述封板A4一侧嵌固于托环A2顶部，所述弹柄A5底端与托环A2外环活动卡合，所述封头A3与封板A4设有两个，两个封头A3与封板A4镜像分布于中心块A1两边，有利于在不同情况下对顶部与底部进行有效密封。

其中，所述中心块A1包括底框A11、密封板A12、内陷槽A13、滑动层A14、吸气扭轮A15，所述底框A11顶面与滑动层A14外环嵌固连接，所述密封板A12一侧固定安装于底框A11一侧，所述内陷槽A13与底框A11内层为一体化成型，所述吸气扭轮A15外环与滑动层A14内环嵌固连接，所述内陷槽A13为倾斜的V型槽结构，有利于在收到冲击时变形吸收冲击力，减少由于回弹而反复开启闭合的概率。

基于上述实施例，具体工作原理如下：将晶圆放置在输入台5上，并通过控制机4设定涂抹频率与输入频率，启动机体1，将晶圆输入进行涂膜，当需要中途添加的时候，通过机体顶部的膜液管2来进行添加，首先打开密封盖21，使停留管23顶面被打开，同时将停留轮234的托环A2顶部的封板A4用力拉扯开，在拉扯过程中，托环A2沿着中心块A1快速旋转，并拉伸弹柄A5，同时底部快速撞击在中心块A1的密封板A12上，产生的冲击使底框A11沿着内陷槽A13变形，进而吸收冲击防止反弹，此时封头A3贴合于密封板A12，对底部进行密封，同时扭动将吸气扭轮A15扭动，使其抽入托环A2内的空气，并产生弹力，此时即可添加正光阻剂，添加结束后，松开，弹柄A5和吸气扭轮A15同时产生作用，将托环A2快速翻转，并使顶部的封板A4快速贴合，将顶部密封，而底部打开，将添加的正光阻剂送入输入管24进而输出到机体1内。

实施例二：

请参阅图6-图7，本发明具体实施例如下：所述吸气扭轮A15包括压柄B1、卡头B2、安装环B3、弹力块B4、内轴B5，所述压柄B1底端通过卡头B2与安装环B3外环活动卡合，所述弹力块B4顶部嵌入于安装环B3内部，所述弹力块B4底部与内轴B5外环活动卡合，所述弹力块B4设有多个，多个弹力块B4间隙均匀地环状嵌入于安装环B3内，有利于增加回弹速度与抽气容量。

其中，所述弹力块B4包括软球B41、扭框B42、扭环B43、连接头B44，所述软球B41底部与扭框B42顶部活动卡合，所述扭环B43嵌入于扭框B42中段，所述连接头B44外环与扭框B42底面嵌固连接，所述软球B41为顶部有开口内层粗糙的的中空球体结构，有利于在受到拉扯的时候变形抽入气体，并使进入的气体试图逸出时的阻力增大。

基于上述实施例，具体工作原理如下：在开启的过程中，吸气扭轮A15的压柄B1被内压，导致推动卡头B2进而推动安装环B3旋转，固定在安装环B3上的弹力块B4被拉扯，导致弹力块B4的扭框B42被拉扯，并扭动扭环B43产生弹力，同时顶部拉扯固定在安装环B3内的软球B41底部，将其拉扯变形，进而令其从顶部的开口抽入外界空气，并通过粗糙的内层增加气体逸出时的阻力，当添加结束后，失去支撑的扭环B43输出弹力，将扭框B42复原，并推出软球B41内的气体，同时使安装环B3反转，推动压柄B1将添加的结构反转进行顶部闭合。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (1)

1.一种晶圆涂膜设备，其结构包括机体(1)、膜液管(2)、检修门(3)、控制机(4)、输入台(5)，其特征在于：

所述膜液管(2)嵌入于机体(1)顶面，所述检修门(3)两侧与机体(1)右侧铰接连接，所述控制机(4)嵌入于机体(1)正面，所述输入台(5)背面焊接于机体(1)正面；

所述膜液管(2)包括密封盖(21)、固定板(22)、停留管(23)、输入管(24)、阻拦板(25)，所述密封盖(21)左侧与停留管(23)顶面铰接连接，所述输入管(24)顶面与停留管(23)底面相互接通并通过电焊连接，所述阻拦板(25)一侧焊接于输入管(24)内层，所述固定板(22)中段与停留管(23)外层焊接连接；

所述停留管(23)包括管壁(231)、铰接轴(232)、贴合块(233)、停留轮(234)，所述管壁(231)顶面与铰接轴(232)外环嵌固连接，所述贴合块(233)底面嵌入于管壁(231)顶面，所述停留轮(234)中心与管壁(231)内层活动卡合；

所述停留轮(234)包括中心块(A1)、托环(A2)、封头(A3)、封板(A4)、弹柄(A5)，所述中心块(A1)两侧与托环(A2)内环活动卡合，所述封头(A3)一侧嵌入于托环(A2)底部，所述封板(A4)一侧嵌固于托环(A2)顶部，所述弹柄(A5)底端与托环(A2)外环活动卡合；

所述中心块(A1)包括底框(A11)、密封板(A12)、内陷槽(A13)、滑动层(A14)、吸气扭轮(A15)，所述底框(A11)顶面与滑动层(A14)外环嵌固连接，所述密封板(A12)一侧固定安装于底框(A11)一侧，所述内陷槽(A13)与底框(A11)内层为一体化成型，所述吸气扭轮(A15)外环与滑动层(A14)内环嵌固连接；

所述吸气扭轮(A15)包括压柄(B1)、卡头(B2)、安装环(B3)、弹力块(B4)、内轴(B5)，所述压柄(B1)底端通过卡头(B2)与安装环(B3)外环活动卡合，所述弹力块(B4)顶部嵌入于安装环(B3)内部，所述弹力块(B4)底部与内轴(B5)外环活动卡合；

所述弹力块(B4)包括软球(B41)、扭框(B42)、扭环(B43)、连接头(B44)，所述软球(B41)底部与扭框(B42)顶部活动卡合，所述扭环(B43)嵌入于扭框(B42)中段，所述连接头(B44)外环与扭框(B42)底面嵌固连接。

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