CN215955243U

CN215955243U - 一种高效离线氧化设备收纳结构

Info

Publication number: CN215955243U
Application number: CN202122388515.1U
Authority: CN
Inventors: 居建华
Original assignee: Wuxi Sirui Electronic Equipment Technology Co ltd
Current assignee: Wuxi Sirui Electronic Equipment Technology Co ltd
Priority date: 2021-09-29
Filing date: 2021-09-29
Publication date: 2022-03-04
Anticipated expiration: 2031-09-29

Abstract

本实用新型公开了一种高效离线氧化设备收纳结构，它包括：壳体，所述壳体的侧面开设有向内凹陷的容置腔体，所述容置腔体的上部设置有开设若干匀流孔的匀流板且其下部设置有开设若干抽气孔的抽气板；收纳组件，所述收纳组件包括通过开合组件可开合地安装在所述壳体侧面上且与所述容置腔体相配合的盖板以及安装在所述盖板内表面上的至少一个篮具收纳单元。这样可以实现对批量硅片的氧化，生产效率高。

Description

一种高效离线氧化设备收纳结构

技术领域

本实用新型氧化设备技术领域，涉及一种离线氧化设备，具体涉及一种用于对批量硅片进行氧化的高效离线氧化设备收纳结构。

背景技术

申请号为202022530834.7的中国实用新型专利公开了一种硅片氧化装置，包括箱体以及置于所述箱体内侧：用于放置硅片并使所述硅片双侧表面裸露的放置单元；用于对所述硅片表面进行加热的加热单元；用于对所述硅片表面进行氧化的氧化单元；和用于对所述硅片冷却的降温单元；所述放置单元被设置于所述箱体底部，所述加热单元、所述氧化单元和所述降温单元均位于所述放置单元的上方。该硅片氧化装置处理的硅片数量少，导致效率较低。

发明内容

本实用新型目的是为了克服现有技术的不足而提供一种高效离线氧化设备收纳结构。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种高效离线氧化设备收纳结构，它包括：

壳体，所述壳体的侧面开设有向内凹陷的容置腔体，所述容置腔体的上部设置有开设若干匀流孔的匀流板且其下部设置有开设若干抽气孔的抽气板；

收纳组件，所述收纳组件包括通过开合组件可开合地安装在所述壳体侧面上且与所述容置腔体相配合的盖板以及安装在所述盖板内表面上的至少一个篮具收纳单元。

优化地，它还包括：

密封件，所述密封件安装在所述壳体的侧面上且与所述收纳组件相配合。

进一步地，每个所述篮具收纳单元包括安装在所述盖板内表面上的承载框体、安装在所述承载框体底部的多根第一支撑杆以及安装在所述承载框体上部的多根第二支撑杆。

进一步地，所述开合组件包括安装在所述壳体内且位于所述容置腔体下方的支撑横杆、中部与所述支撑横杆相枢轴连接且外端部与所述盖板相连接的两根旋转臂、连接两根所述旋转臂内端部的连接横杆、安装在所述壳体内的第三支撑杆以及一端与所述连接横杆相枢轴连接且另一端与所述第三支撑杆相枢轴连接的驱动件。

更进一步地，所述开合组件还包括安装在所述支撑横杆上的多个支撑座，所述旋转臂通过多个所述支撑座与所述支撑横杆相枢轴连接。

更进一步地，每根所述旋转臂的外端部与所述盖板的侧面相固定。

更进一步地，所述连接横杆平行于所述支撑横杆。

更进一步地，所述驱动件为液压缸或气缸。

更进一步地，所述开合组件还包括固定在所述连接横杆中部的连接凸座以及与所述连接凸座相枢轴连接且安装在所述驱动件驱动杆端部的连接卡扣。

更进一步地，所述开合组件还包括可调节地安装在所述第三支撑杆上的滑套，所述驱动件的另一端与所述滑套相枢轴连接。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：本实用新型高效离线氧化设备收纳结构，通过采用特定结构的壳体与收纳组件进行配合，这样可以通过调节篮具收纳单元的工位数量实现对不同数量盛放硅片篮具的容纳，向容置腔体内通入流经匀流板、抽气板的臭氧、CDA(1,1-环己基二乙酸)等氧化物质，可实现对批量硅片的氧化，生产效率高。

附图说明

图1为本实用新高效离线氧化设备收纳结构的结构示意图；

图2为本实用新高效离线氧化设备收纳结构开合组件的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图所示的实施例对本实用新型作进一步描述。

以下各实施例的说明是参考附图，用以例示本实用新型可据以实施的特定实施例。本实用新型所提到的方向用语，例如“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“内”、“外”、“侧面”等，仅是参考附图的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本申请，而非用以限制本申请。另外，在说明书中，除非明确地描述为相反的，否则词语“包括”或“包含”应被理解为意指包括该元件，但是不排除任何其它元件。

如图1和图2所示的高效离线氧化设备收纳结构，主要包括壳体1、收纳组件3和开合组件4等。

其中，壳体1采用常规的即可，可以采用各类金属型材作为骨架，包覆(焊接等方式) 各种材质的板材形成；其侧面开设有向内凹陷的容置腔体11(即该容置腔体11位于壳体1 内且延伸至在其侧面上形成开口)。容置腔体11的上部设置有开设若干匀流孔的匀流板且其下部设置有开设若干抽气孔121的抽气板12；这样可以与其它结构(如上游的臭氧发生器或者氧化剂容器等，下游的负压装置或抽气装置等)进行配合，经匀流板向容置腔体11内输入臭氧或CDA等氧化剂，再由抽气板12抽出；可以根据需要增配加热配件或冷却配件以配合工艺需要。

收纳组件3包括通过开合组件4可开合地安装在壳体1侧面上且与容置腔体11相配合的盖板31以及安装在盖板31内表面上的至少一个篮具收纳单元32。收纳组件3具有打开和关闭两种状态，当收纳组件3处于打开状态时，盖板31与壳体1侧面之间形成夹角(通常是40～90°)，当收纳组件3处于闭合状态时，盖板31与壳体1侧面密封。

在本实施例中，密封件2安装在壳体1的侧面上且与收纳组件3(即盖板31)相配合，密封件通常是密封圈等结构，它围设在壳体1的开口处。每个篮具收纳单元32包括安装在盖板31 内表面上的承载框体321、安装在承载框体321底部的多根第一支撑杆322(本实施例中为四根，用于支撑硅片篮具)以及安装在承载框体321上部的多根第二支撑杆323(本实施例中为两根，用于限位硅片篮具)。

在本实施例中，开合组件4包括安装在壳体1内且位于容置腔体11下方的支撑横杆41(它可以通过现有的支撑架安装在壳体1内，只要能够实现支撑作用即可)、中部与支撑横杆41相枢轴连接且外端部(即旋转臂42在使用时延伸至壳体1外的端部)与盖板31相连接的两根旋转臂42、连接两根旋转臂42内端部的连接横杆43、安装在壳体1内的第三支撑杆46以及一端与连接横杆43相枢轴连接且另一端与第三支撑杆46相枢轴连接的驱动件47。具体地，开合组件4 还包括安装在支撑横杆41上的多个支撑座48，旋转臂42通过多个支撑座48与支撑横杆41相枢轴连接；每根所述旋转臂42的外端部与盖板31的侧面相固定；连接横杆43平行于支撑横杆41 而第三支撑杆46通常是竖直设置以垂直于连接横杆43。驱动件47为液压缸或气缸。开合组件4 还包括固定在连接横杆43中部的连接凸座44以及与连接凸座44相枢轴连接且安装在驱动件47 驱动杆端部的连接卡扣45。开合组件4还包括可调节地(可以通过螺栓等紧固件实现)安装在第三支撑杆46上的滑套49，驱动件47的另一端与滑套49相枢轴连接。

上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims

1.一种高效离线氧化设备收纳结构，其特征在于，它包括：

壳体（1），所述壳体（1）的侧面开设有向内凹陷的容置腔体（11），所述容置腔体（11）的上部设置有开设若干匀流孔的匀流板且其下部设置有开设若干抽气孔（121）的抽气板（12）；

收纳组件（3），所述收纳组件（3）包括通过开合组件（4）可开合地安装在所述壳体（1）侧面上且与所述容置腔体（11）相配合的盖板（31）以及安装在所述盖板（31）内表面上的至少一个篮具收纳单元（32）。

2.根据权利要求1所述的高效离线氧化设备收纳结构，其特征在于，它还包括：

密封件（2），所述密封件（2）安装在所述壳体（1）的侧面上且与所述收纳组件（3）相配合。

3.根据权利要求1或2所述的高效离线氧化设备收纳结构，其特征在于：每个所述篮具收纳单元（32）包括安装在所述盖板（31）内表面上的承载框体（321）、安装在所述承载框体（321）底部的多根第一支撑杆（322）以及安装在所述承载框体（321）上部的多根第二支撑杆（323）。

4.根据权利要求1或2所述的高效离线氧化设备收纳结构，其特征在于：所述开合组件（4）包括安装在所述壳体（1）内且位于所述容置腔体（11）下方的支撑横杆（41）、中部与所述支撑横杆（41）相枢轴连接且外端部与所述盖板（31）相连接的两根旋转臂（42）、连接两根所述旋转臂（42）内端部的连接横杆（43）、安装在所述壳体（1）内的第三支撑杆（46）以及一端与所述连接横杆（43）相枢轴连接且另一端与所述第三支撑杆（46）相枢轴连接的驱动件（47）。

5.根据权利要求4所述的高效离线氧化设备收纳结构，其特征在于：所述开合组件（4）还包括安装在所述支撑横杆（41）上的多个支撑座（48），所述旋转臂（42）通过多个所述支撑座（48）与所述支撑横杆（41）相枢轴连接。

6.根据权利要求4所述的高效离线氧化设备收纳结构，其特征在于：每根所述旋转臂（42）的外端部与所述盖板（31）的侧面相固定。

7.根据权利要求4所述的高效离线氧化设备收纳结构，其特征在于：所述连接横杆（43）平行于所述支撑横杆（41）。

8.根据权利要求4所述的高效离线氧化设备收纳结构，其特征在于：所述驱动件（47）为液压缸或气缸。

9.根据权利要求4所述的高效离线氧化设备收纳结构，其特征在于：所述开合组件（4）还包括固定在所述连接横杆（43）中部的连接凸座（44）以及与所述连接凸座（44）相枢轴连接且安装在所述驱动件（47）驱动杆端部的连接卡扣（45）。

10.根据权利要求4所述的高效离线氧化设备收纳结构，其特征在于：所述开合组件（4）还包括可调节地安装在所述第三支撑杆（46）上的滑套（49），所述驱动件（47）的另一端与所述滑套（49）相枢轴连接。