CN112871758A - 一种半导体硅片用电阻检测分类装置 - Google Patents

一种半导体硅片用电阻检测分类装置 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种半导体硅片用电阻检测分类装置，属于半导体硅片技术领域，包括底箱、除尘机构、夹紧机构，所述底箱的正面两端设有防护门，所述防护门的表面右侧安装门扣，所述底箱的顶部安装壳体，所述除尘机构包括检测机构、灰尘收纳箱、排尘口、抽气泵、吸尘头、吸尘管，所述检测机构包括气缸、安装板、安装壳、传感器、检测探头，本发明通过设置除尘机构，可以使在进行对半导体硅片进行检测时，会使检测的准确性提高，从而降低过多的损失，也起到提高一定的检测效率。

Description

一种半导体硅片用电阻检测分类装置
技术领域
本发明属于半导体硅片技术领域，具体涉及一种半导体硅片用电阻检测分类装置。
背景技术
半导体硅片是一类具有半导体性能，用来制作半导体器件的硅材料，主要包括硅粉、硅棒、硅片、籽晶、单晶硅、多晶硅、半导体晶体管、单晶硅棒、单晶硅片、单晶硅切磨片、单晶硅抛光片、单晶硅外延片、单晶硅太阳能电池板、单晶硅芯片、砷化镓、单晶锗、太阳能电池圆片、方片、二级管、三级管、硅堆、复合半导体器件、微波射频器件、可控硅器件、高频管、低频管、功率管、MOS管、集成电路等等。
目前，在进行对半导体硅片进行电阻检测途中，由于硅片上的表面所残留的积尘，会使使检测的数值不准确，易造成不必要的损失，且由于检测完后，需要把合格与不合格的半导体硅片进行分类，这个过程通常是由人工来完成的，从而导致检测效率低。
发明内容
本发明的目的在于提供一种半导体硅片用电阻检测分类装置，通过设置除尘机构，可以使在进行对半导体硅片进行检测时，会使检测的准确性提高，从而降低过多的损失，也起到提高一定的检测效率，通过设置夹紧机构，可以使当检测出不合格的产品时，通过其进行对其产品夹住，从而移动到不合格存放箱中，从而减轻人工分类的工作量，也提高了分类的效率；通过设置防护棉，可使在进行对半导体硅片进行夹紧分类时，对其起到一定的保护性，防止在夹紧时，使其造成损坏，避免造成经济损失，通过设置传感器，可使在通过检测探头进行检测的数值通过传输到终端，从而保障了数值的准确性。
以解决上述背景技术中提出现有技术中的问题。
为实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：
一种半导体硅片用电阻检测分类装置，包括底箱、除尘机构、夹紧机构，所述底箱的正面两端设有防护门，所述防护门的表面右侧安装门扣，所述底箱的顶部安装壳体，所述除尘机构包括检测机构、灰尘收纳箱、排尘口、抽气泵、吸尘头、吸尘管，所述检测机构包括气缸、安装板、安装壳、传感器、检测探头，所述夹紧机构包括电机、第一螺纹杆、第一轴承、第一滑块、第一电动伸缩杆、安装块、第二电动伸缩杆、放置壳、马达、第二滑块、第二螺纹杆、第二轴承、固定夹爪、移动夹爪、防护棉。
优选的，所述底箱的顶部中心安装检测台，所述检测台的顶部两端固定安装固定块，所述底箱的内部两端分别设有合格存放箱与不合格存放箱，所述合格存放箱的右侧安装第一出料口，所述不合格存放箱的左侧安装第二出料口。
优选的，所述壳体内的底部部两端固定电机，所述电机的输出端活动连接第一螺纹杆，所述第一螺纹杆的另一端活动连接第一轴承，所述第一螺纹杆的表面螺纹连接第一滑块。
优选的，所述第一滑块的右侧固定第一电动伸缩杆，所述第一电动伸缩杆的另一端固定安装块，所述安装块的顶部固定第二电动伸缩杆，所述第二电动伸缩杆连通安装块的另一端固定放置壳。
优选的，所述放置壳的右侧安装马达，所述马达的输出端活动连接第二螺纹杆，所述第二螺纹杆的另一端活动连接第二轴承，所述第二螺纹杆的表面螺纹连接第二滑块，所述第二滑块的底部通过连杆固定移动夹爪，所述放置壳的底部右端安装固定夹爪，所述移动夹爪与固定夹爪的内侧安装防护棉。
优选的，所述壳体的内部上方固定气缸，所述气缸的输出端固定安装板。
优选的，所述安装板的底部固定安装壳，所述安装壳的内部安装抽气泵，所述抽气泵的底部通过管道安装吸尘头，所述抽气泵的右侧连接吸尘管，所述安装壳的底部两端固定检测探头，所述安装壳的左侧安装传感器。
优选的，所述吸尘管的另一端连接灰尘收纳箱，所述灰尘收纳箱的左侧安装排尘口。
本发明的技术效果和优点：本发明提出的一种半导体硅片用电阻检测分类装置，与现有技术相比，具有以下优点：
1、本发明通过设置除尘机构，可以使在进行对半导体硅片进行检测时，会使检测的准确性提高，从而降低过多的损失，也起到提高一定的检测效率，通过设置夹紧机构，可以使当检测出不合格的产品时，通过其进行对其产品夹住，从而移动到不合格存放箱中，从而减轻人工分类的工作量，也提高了分类的效率。
2、本发明通过设置防护棉，可使在进行对半导体硅片进行夹紧分类时，对其起到一定的保护性，防止在夹紧时，使其造成损坏，避免造成经济损失，通过设置传感器，可使在通过检测探头进行检测的数值通过传输到终端，从而保障了数值的准确性。
附图说明
图1为本发明的分类装置结构示意图；
图2为本发明的分类装置剖视结构示意图；
图3为本发明的夹紧机构结构示意图；
图4为本发明的图1中A区放大结构示意图；
图中：1、底箱；2、壳体；3、防护门；4、门扣；5、检测台；6、固定块；7、气缸；701、安装板；702、灰尘收纳箱；703、排尘口；704、安装壳；705、抽气泵；706、吸尘头；707、吸尘管；708、传感器；709、检测探头；8、电机；801、第一螺纹杆；802、第一轴承；803、第一滑块；804、第一电动伸缩杆；805、安装块；806、第二电动伸缩杆；807、放置壳；808、马达；809、第二滑块；810、第二螺纹杆；811、第二轴承；812、固定夹爪；813、移动夹爪；814、防护棉；9、合格存放箱；10、第一出料口；11、不合格存放箱；12、第二出料口。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
本发明提供了如图1-4所示的一种半导体硅片用电阻检测分类装置，包括底箱1、除尘机构、夹紧机构，底箱1的正面两端设有防护门3，防护门3主要起到防护的作用，防护门3的表面右侧安装门扣4，门扣4主要起到便于使防护门打开的作用，底箱1的顶部安装壳体2，壳体2主要使检测时在壳体2内进行工作，除尘机构包括检测机构、灰尘收纳箱702、排尘口703、抽气泵705、吸尘头706、吸尘管707，检测机构包括气缸7、安装板701、安装壳704、传感器708、检测探头709，夹紧机构包括电机8、第一螺纹杆801、第一轴承802、第一滑块803、第一电动伸缩杆804、安装块805、第二电动伸缩杆806、放置壳807、马达808、第二滑块809、第二螺纹杆810、第二轴承811、固定夹爪812、移动夹爪813、防护棉814；
底箱1的顶部中心安装检测台5，检测台5主要起到使半导体硅片放入其上进行检测，检测台5的顶部两端固定安装固定块6，固定块6起到对硅片进行固定的作用，底箱1的内部两端分别设有合格存放箱9与不合格存放箱11，合格存放箱9的右侧安装第一出料口10，不合格存放箱11的左侧安装第二出料口12，合格存放箱9主要起到存放合格的产品，不合格存放箱11主要存放不合格的产品；
壳体2内的底部部两端固定电机8，电机8的输出端活动连接第一螺纹杆801，第一螺纹杆801的另一端活动连接第一轴承802，第一螺纹杆801的表面螺纹连接第一滑块803，检测合格的通过启动检测台5左侧的电机8带动第一螺纹杆801转动，使其上的第一滑块803带动夹紧机构上下移动，第一滑块803的右侧固定第一电动伸缩杆804，第一电动伸缩杆804的另一端固定安装块805，安装块805的顶部固定第二电动伸缩杆806，通过启动第一电动伸缩杆804使其上的夹爪向右移动移动到检测台5的上方，通过启动第二电动伸缩杆806带动其上的放置壳807向下移动，第二电动伸缩杆806连通安装块805的另一端固定放置壳807，放置壳807主要起到固定夹爪的作用；
放置壳807的右侧安装马达808，马达808的输出端活动连接第二螺纹杆810，第二螺纹杆810的另一端活动连接第二轴承811，第二螺纹杆810的表面螺纹连接第二滑块809，第二滑块809的底部通过连杆固定移动夹爪813，放置壳807的底部右端安装固定夹爪812，通过启动马达808带动第二螺纹杆810转动，使其上的第二滑块809移动，从而带动移动夹爪813进而对合格的半导体硅片进行夹住，移动夹爪813与固定夹爪812的内侧安装防护棉814，防护棉814主要起到在进行对硅片夹住时，进行一定的保护作用；
壳体2的内部上方固定气缸7，气缸7的输出端固定安装板701，安装板701的底部固定安装壳704，安装壳704的内部安装抽气泵705，抽气泵705的底部通过管道安装吸尘头706，抽气泵705的右侧连接吸尘管707，通过启动气缸7带动其上的检测探头709进行对半导体硅片，检测的数值通过传感器708传输到终端，由于硅片上的表面所残留的积尘，会使使检测的数值不准确，这时通过启动抽气泵705带其上的吸尘头706进行对半导体硅片表面的灰尘进行清理，通过吸尘管707吸入到灰尘收纳箱702内存放，最后通过排尘口703进而排放，安装壳704的底部两端固定检测探头709，安装壳704的左侧安装传感器708，传感器708的型号为PT100，主要起到检测与传输信号的作用；吸尘管707的另一端连接灰尘收纳箱702，灰尘收纳箱702主要起到存放灰尘的作用，灰尘收纳箱702的左侧安装排尘口703，排尘口703主要对灰尘收纳箱702的内部进行清理排放的作用。
通过采用上述技术方案，能够避免。
工作原理：首先使需要检测的堆叠半导体硅片放入检测台5上，通过固定块6进行固定，防止在检测的过程中，使硅片发生位置偏移，从而造成检测失误，通过启动气缸7带动其上的检测探头709进行对半导体硅片，检测的数值通过传感器708传输到终端，由于硅片上的表面所残留的积尘，会使使检测的数值不准确，这时通过启动抽气泵705带其上的吸尘头706进行对半导体硅片表面的灰尘进行清理，通过吸尘管707吸入到灰尘收纳箱702内存放，最后通过排尘口703进而排放；
检测合格的通过启动检测台5左侧的电机8带动第一螺纹杆801转动，使其上的第一滑块803带动夹紧机构上下移动，移动到合适的位置后，通过启动第一电动伸缩杆804使其上的夹爪向右移动移动到检测台5的上方，通过启动第二电动伸缩杆806带动其上的放置壳807向下移动，移动到适合夹住半导体硅片的位置后，通过启动马达808带动第二螺纹杆810转动，使其上的第二滑块809移动，从而带动移动夹爪813进而对合格的半导体硅片进行夹住，然后原路返回，使移动夹爪813与固定夹爪812上的半导体硅片放入合格存放箱9内，最后通过第一出料口10拿取，当检测到不合格的半导体硅片时，反之通过启动检测台5右端的夹紧机构，与检测合格的夹紧存放相反，不合的半导体硅片夹住，存放到不合格存放箱11内存放，最后从第二出料口12进行拿取。
最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种半导体硅片用电阻检测分类装置，包括底箱(1)、除尘机构、夹紧机构，其特征在于：所述底箱(1)的正面两端设有防护门(3)，所述防护门(3)的表面右侧安装门扣(4)，所述底箱(1)的顶部安装壳体(2)，所述除尘机构包括检测机构、灰尘收纳箱(702)、排尘口(703)、抽气泵(705)、吸尘头(706)、吸尘管(707)，所述检测机构包括气缸(7)、安装板(701)、安装壳(704)、传感器(708)、检测探头(709)，所述夹紧机构包括电机(8)、第一螺纹杆(801)、第一轴承(802)、第一滑块(803)、第一电动伸缩杆(804)、安装块(805)、第二电动伸缩杆(806)、放置壳(807)、马达(808)、第二滑块(809)、第二螺纹杆(810)、第二轴承(811)、固定夹爪(812)、移动夹爪(813)、防护棉(814)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体硅片用电阻检测分类装置，其特征在于：所述底箱(1)的顶部中心安装检测台(5)，所述检测台(5)的顶部两端固定安装固定块(6)，所述底箱(1)的内部两端分别设有合格存放箱(9)与不合格存放箱(11)，所述合格存放箱(9)的右侧安装第一出料口(10)，所述不合格存放箱(11)的左侧安装第二出料口(12)。
3.根据权利要求1所述的一种半导体硅片用电阻检测分类装置，其特征在于：所述壳体(2)内的底部部两端固定电机(8)，所述电机(8)的输出端活动连接第一螺纹杆(801)，所述第一螺纹杆(801)的另一端活动连接第一轴承(802)，所述第一螺纹杆(801)的表面螺纹连接第一滑块(803)。
4.根据权利要求1所述的一种半导体硅片用电阻检测分类装置，其特征在于：所述第一滑块(803)的右侧固定第一电动伸缩杆(804)，所述第一电动伸缩杆(804)的另一端固定安装块(805)，所述安装块(805)的顶部固定第二电动伸缩杆(806)，所述第二电动伸缩杆(806)连通安装块(805)的另一端固定放置壳(807)。
5.根据权利要求1所述的一种半导体硅片用电阻检测分类装置，其特征在于：所述放置壳(807)的右侧安装马达(808)，所述马达(808)的输出端活动连接第二螺纹杆(810)，所述第二螺纹杆(810)的另一端活动连接第二轴承(811)，所述第二螺纹杆(810)的表面螺纹连接第二滑块(809)，所述第二滑块(809)的底部通过连杆固定移动夹爪(813)，所述放置壳(807)的底部右端安装固定夹爪(812)，所述移动夹爪(813)与固定夹爪(812)的内侧安装防护棉(814)。
6.根据权利要求1所述的一种半导体硅片用电阻检测分类装置，其特征在于：所述壳体(2)的内部上方固定气缸(7)，所述气缸(7)的输出端固定安装板(701)。
7.根据权利要求1所述的一种半导体硅片用电阻检测分类装置，其特征在于：所述安装板(701)的底部固定安装壳(704)，所述安装壳(704)的内部安装抽气泵(705)，所述抽气泵(705)的底部通过管道安装吸尘头(706)，所述抽气泵(705)的右侧连接吸尘管(707)，所述安装壳(704)的底部两端固定检测探头(709)，所述安装壳(704)的左侧安装传感器(708)。
8.根据权利要求1所述的一种半导体硅片用电阻检测分类装置，其特征在于：所述吸尘管(707)的另一端连接灰尘收纳箱(702)，所述灰尘收纳箱(702)的左侧安装排尘口(703)。
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