CN218782256U - 一种晶圆划痕检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆划痕检测装置，涉及晶圆划痕检测技术领域，包括检测箱，所述检测箱内壁下侧后方的中心处固定连接有划痕检测器，所述检测箱内壁上下两侧前方的中心处均固定连接有电动伸缩杆，两个所述电动伸缩杆的输出端均固定连接有电机，两个所述电机的输出端均固定连接有转动板，两个所述转动板的相对一侧均固定连接有除尘布。本实用新型能够无需人工利用布料对晶圆的表面进行清理，利用电机带动转动板上的除尘布对待检测晶圆表面进行清理，再直接放置在划痕检测器的检测台上，过程十分便捷，省时省力，提高了检测的效率，且不易遗漏杂质，进而使得清理的干净度得到提高，从而避免了影响晶圆划痕检测装置检测结果。

Description

一种晶圆划痕检测装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆划痕检测技术领域，特别涉及一种晶圆划痕检测装置。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。半导体工业对于晶圆表面缺陷检测的要求，一般是要求高效准确，能够捕捉有效缺陷，实现实时检测。较为普遍的表面检测技术主要可以分为两大类：针接触法和非接触法，接触法以针触法为代表；非接触法又可以分为原子力法和光学法。在具体使用时，又可以分为成像的和非成像的。

传统的晶圆划痕检测装置在使用时，为了避免晶圆在生产出来后，晶圆的表面附着有杂质，会影响晶圆的划痕的检测，操作人员会使用布对其表面进行清理，再放入划痕检测器的台面上进行检测

然而，操作人员通过布料对晶圆表面附着有杂质进行清理，不仅过程繁琐，费时费力，且在清理时，容易遗漏杂质，进而使得清理的干净度不高，从而影响晶圆划痕检测装置检测结果。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆划痕检测装置，以解决上述背景技术中提出的操作人员通过布料对晶圆表面附着有杂质进行清理，不仅过程繁琐，费时费力，且在清理时，容易遗漏杂质，进而使得清理的干净度不高，从而影响晶圆划痕检测装置检测结果的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆划痕检测装置，包括检测箱，所述检测箱内壁下侧后方的中心处固定连接有划痕检测器，所述检测箱内壁上下两侧前方的中心处均固定连接有电动伸缩杆，两个所述电动伸缩杆的输出端均固定连接有电机，两个所述电机的输出端均固定连接有转动板，两个所述转动板的相对一侧均固定连接有除尘布，所述检测箱内壁下侧的左右两侧均固定连接有纵向电动滑轨，两个所述纵向电动滑轨的内壁均滑动连接有纵向电动滑块，两个所述纵向电动滑块的上方均固定连接有横向电动滑轨，两个所述横向电动滑轨的内壁均滑动连接有横向电动滑块，两个所述横向电动滑块的上侧均固定连接有直角架，两个所述直角架的相对一侧共同设置有与圆片放置装置。

优选的，所述圆片放置装置包括两个弧形板，两个所述弧形板的相反一侧分别与相应直角架的一侧固定连接，两个所述弧形板的内壁均开设有放置槽，两个所述放置槽的下侧均固定连接有粘尘布。

优选的，所述检测箱的右侧固定连接有风机，所述检测箱的左侧设置有灰尘吸附装置。

优选的，所述灰尘吸附装置包括安装框，所述安装框的上侧滑动连接有滑动框，所述滑动框内壁的上下两侧共同固定连接有吸尘网。

优选的，所述安装框内壁上下两侧位于滑动框的左侧共同固定连接有密封垫，所述滑动框的上表面固定连接有第一把手。

优选的，所述检测箱的表面通过转轴转动连接有透明玻璃门，所述透明玻璃门表面的右侧固定连接有第二把手。

优选的，所述检测箱下表面的四角均固定连接有底座，

本实用新型的技术效果和优点：

1、通过设置检测箱、划痕检测器、电动伸缩杆、电机、转动板、除尘布、纵向电动滑轨、纵向电动滑块、横向电动滑轨、横向电动滑块、直角架、圆片放置装置，从而能够无需人工利用布料对晶圆的表面进行清理，利用电机带动转动板上的除尘布对待检测晶圆表面进行清理，再直接放置在划痕检测器的检测台上，过程十分便捷，省时省力，提高了检测的效率，且不易遗漏杂质，进而使得清理的干净度得到提高，从而避免了影响晶圆划痕检测装置检测结果。

2、通过设置弧形板、放置槽、粘尘布，从而能够将待检测的晶圆放置在两个放置槽上，在检测箱的内部进行清理，杜绝与外部环境的接触，避免二次粘尘，通过设置风机、安装框、滑动框、吸尘网，从而能够将漂浮在检测箱内部空气的杂质，在风机形成的风的带动下，由装置的右侧漂浮到左侧，并吸附在吸尘网上，可定期更换吸尘网。

附图说明

图1为本实用新型的立体结构示意图。

图2为本实用新型的检测箱正视剖面结构示意图。

图3为本实用新型的检测箱侧视剖面结构示意图。

图4为本实用新型图2的A处放大结构示意图。

图中：1、检测箱；2、划痕检测器；3、电动伸缩杆；4、电机；5、转动板；6、除尘布；7、纵向电动滑轨；8、纵向电动滑块；9、横向电动滑轨；10、横向电动滑块；11、直角架；12、弧形板；13、放置槽；14、粘尘布；15、风机；16、安装框；17、滑动框；18、吸尘网；19、密封垫；20、第一把手；21、透明玻璃门；22、第二把手；23、底座。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型提供了如图1-4所示的一种晶圆划痕检测装置，包括检测箱1，检测箱1内壁下侧后方的中心处固定连接有划痕检测器2，检测箱1内壁上下两侧前方的中心处均固定连接有电动伸缩杆3，两个电动伸缩杆3的输出端均固定连接有电机4，两个电机4的输出端均固定连接有转动板5，两个转动板5的相对一侧均固定连接有除尘布6，检测箱1内壁下侧的左右两侧均固定连接有纵向电动滑轨7，两个纵向电动滑轨7的内壁均滑动连接有纵向电动滑块8，两个纵向电动滑块8的上方均固定连接有横向电动滑轨9，两个横向电动滑轨9的内壁均滑动连接有横向电动滑块10，两个横向电动滑块10的上侧均固定连接有直角架11，两个直角架11的相对一侧共同设置有与圆片放置装置，能够无需人工利用布料对晶圆的表面进行清理，利用电机4带动转动板5上的除尘布6对待检测晶圆表面进行清理，再直接放置在划痕检测器2的检测台上，过程十分便捷，省时省力，提高了检测的效率，且不易遗漏杂质，进而使得清理的干净度得到提高，从而避免了影响晶圆划痕检测装置检测结果。

如图1所示，检测箱1的右侧固定连接有风机15，检测箱1的左侧设置有灰尘吸附装置，灰尘吸附装置包括安装框16，安装框16的上侧滑动连接有滑动框17，滑动框17内壁的上下两侧共同固定连接有吸尘网18，能够将漂浮在检测箱1内部空气的杂质，在风机15形成的风的带动下，由装置的右侧漂浮到左侧，并吸附在吸尘网18上，可定期更换吸尘网18，安装框16内壁上下两侧位于滑动框17的左侧共同固定连接有密封垫19，滑动框17的上表面固定连接有第一把手20。

检测箱1的表面通过转轴转动连接有透明玻璃门21，透明玻璃门21表面的右侧固定连接有第二把手22检测箱1下表面的四角均固定连接有底座23。

如图4所示，圆片放置装置包括两个弧形板12，两个弧形板12的相反一侧分别与相应直角架11的一侧固定连接，两个弧形板12的内壁均开设有放置槽13，能够将待检测的晶圆放置在两个放置槽13上，在检测箱1的内部进行清理，杜绝与外部环境的接触，避免二次粘尘，两个放置槽13的下侧均固定连接有粘尘布14，可将晶圆未清理到面的灰尘进行黏附。

本实用新型工作原理：通过第二把手22将透明玻璃门21打开，利用外接电源将两侧的横向电动滑轨9进行启动，两侧的横向电动滑轨9上的横向电动滑块10带动直角架11向中间移动，使得两侧的弧形板12并拢，将待检测的晶圆放置在并拢弧形板12的放置槽13上，利用外接电源将上下两侧的电动伸缩杆3启动，两侧的电动伸缩杆3推动相应的电机4、转动板5、除尘布6向中间靠拢，使得两侧的除尘布6与待检测晶圆的上下表面接触，通过外接电源将两侧的电机4进行启动，利用电机4带动转动板5上的除尘布6对待检测晶圆表面进行清理，再通过外接电源将两侧的纵向电动滑轨7进行启动，使得纵向电动滑块8带动两侧的直角架11向后移动，再将两侧的直角架11分开，直接将清理过的待检测晶圆放置在划痕检测器2的检测台上，过程十分便捷，省时省力，提高了检测的效率，且不易遗漏杂质，进而使得清理的干净度得到提高，从而避免了影响晶圆划痕检测装置检测结果；

通过设置弧形板12、放置槽13，从而能够将待检测的晶圆放置在两个放置槽13上，在检测箱1的内部进行清理，杜绝与外部环境的接触，避免二次粘尘，设置的粘尘布14，可将晶圆未清理到面的灰尘进行黏附，在清理的过程中，需要利用外接电源将风机15启动，从而能够将漂浮在检测箱1内部空气的杂质，在风机15形成的风的带动下，由装置的右侧漂浮到左侧，并吸附在吸尘网18上，可定期更换吸尘网18，通过设置弧形板12、放置槽13，从而能够将待检测的晶圆放置在两个放置槽13上，设置的粘尘布14，可将晶圆未清理到面的灰尘进行黏附，操作过程都在检测箱1的内部进行清理，杜绝与外部环境的接触，避免二次粘尘。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种晶圆划痕检测装置，包括检测箱(1)，其特征在于：所述检测箱(1)内壁下侧后方的中心处固定连接有划痕检测器(2)，所述检测箱(1)内壁上下两侧前方的中心处均固定连接有电动伸缩杆(3)，两个所述电动伸缩杆(3)的输出端均固定连接有电机(4)，两个所述电机(4)的输出端均固定连接有转动板(5)，两个所述转动板(5)的相对一侧均固定连接有除尘布(6)，所述检测箱(1)内壁下侧的左右两侧均固定连接有纵向电动滑轨(7)，两个所述纵向电动滑轨(7)的内壁均滑动连接有纵向电动滑块(8)，两个所述纵向电动滑块(8)的上方均固定连接有横向电动滑轨(9)，两个所述横向电动滑轨(9)的内壁均滑动连接有横向电动滑块(10)，两个所述横向电动滑块(10)的上侧均固定连接有直角架(11)，两个所述直角架(11)的相对一侧共同设置有与圆片放置装置。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆划痕检测装置，其特征在于：所述圆片放置装置包括两个弧形板(12)，两个所述弧形板(12)的相反一侧分别与相应直角架(11)的一侧固定连接，两个所述弧形板(12)的内壁均开设有放置槽(13)，两个所述放置槽(13)的下侧均固定连接有粘尘布(14)。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆划痕检测装置，其特征在于：所述检测箱(1)的右侧固定连接有风机(15)，所述检测箱(1)的左侧设置有灰尘吸附装置。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆划痕检测装置，其特征在于：所述灰尘吸附装置包括安装框(16)，所述安装框(16)的上侧滑动连接有滑动框(17)，所述滑动框(17)内壁的上下两侧共同固定连接有吸尘网(18)。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆划痕检测装置，其特征在于：所述安装框(16)内壁上下两侧位于滑动框(17)的左侧共同固定连接有密封垫(19)，所述滑动框(17)的上表面固定连接有第一把手(20)。

6.根据权利要求3所述的一种晶圆划痕检测装置，其特征在于：所述检测箱(1)的表面通过转轴转动连接有透明玻璃门(21)，所述透明玻璃门(21)表面的右侧固定连接有第二把手(22)。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆划痕检测装置，其特征在于：所述检测箱(1)下表面的四角均固定连接有底座(23)。

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