CN217788337U - 一种硅片检测工装 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于硅片检测装置相关技术领域，具体公开了一种硅片检测工装，包括检测机床，检测机床台面的一端固定连接有第二固定架，所述检测机床台面的另一端通过滑动组件滑动安装有第一固定架，所述第一固定架和第二固定架的内部均滑动连接有固定插销，所述固定插销的上端固定连接有盖板，通过第一固定架和第二固定架配合，利用气囊对硅片进行夹持，避免因为夹持力度过大导致硅片发生破碎，实用性较强，通过马达带动扇叶旋转，引导连接环内部的气流向下运动，对硅片产生一定的吸力，防止第一固定架和气囊对硅片夹持的过程中发生掉落，增加了夹持的稳定性，同时也不会对硅片造成伤害。

Description

一种硅片检测工装

技术领域

本实用新型属于硅片检测装置相关技术领域，具体公开了一种硅片检测工装。

背景技术

在生产硅片的过程中需要对硅片进行检测，确保生产出的硅片质量合格，在对硅片检测的过程中需要对硅片进行固定，传统的固定方法大多是在检测机床的台面上开设凹槽，再讲硅片放入凹槽内部，这种固定方式在拿取的时候极为不便，针对上述提到的问题我们提出了一种解决方案。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种硅片检测工装。

为达到以上目的，本实用新型提供了一种硅片检测工装，包括检测机床，所述检测机床台面的一端固定连接有第二固定架，所述检测机床台面的另一端通过滑动组件滑动安装有第一固定架，所述第一固定架和第二固定架的内部均滑动连接有固定插销，所述固定插销的上端固定连接有盖板，所述第一固定架和第二固定架的内部均活动连接有气囊，所述第一固定架和第二固定架之间且位于检测机床台面的上表面固定连接有两个支撑腿，所述支撑腿的上端固定连接有连接环，所述连接环的内部设置有吸力组件，所述第一固定架的一侧设置有夹持组件。

优选的，所述吸力组件包括固定连接在连接环内壁的第二连接架，所述第二连接架的中心处固定安装有马达，所述马达的输出轴固定安装扇叶。

优选的，所述夹持组件包括固定安装在第一固定架一侧的第二滑块，所述检测机床台面的上表面固定连接有第一连接架，所述第一连接架的上表面固定安装有伺服电机，所述伺服电机的输出轴固定连接有丝杆，所述丝杆的一端与第一连接架的上端之间转动连接，所述丝杆的表面与第二滑块之间螺纹配合。

优选的，所述滑动组件包括固定连接在第一固定架下表面的第一滑块，所述检测机床台面的上表面固定连接有滑轨，所述第一滑块滑动连接在滑轨的内部。

优选的，所述气囊形状为立方体，所述气囊的充气口通过螺纹配合的方式连接有盖子。

优选的，所述连接环的上表面固定连接有胶圈，所述丝杆的水平高度低于连接环的上端面。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：通过第一固定架和第二固定架配合，利用气囊对硅片进行夹持，避免因为夹持力度过大导致硅片发生破碎，实用性较强，通过马达带动扇叶旋转，引导连接环内部的气流向下运动，对硅片产生一定的吸力，防止第一固定架和气囊对硅片夹持的过程中发生掉落，增加了夹持的稳定性，同时也不会对硅片造成伤害。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种硅片检测工装结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种硅片检测工装的连接环以及相邻结构示意图；

图3为本实用新型提出的一种硅片检测工装的第一固定架以及相邻结构示意图；

图4为本实用新型提出的一种硅片检测工装的连接环内部结构示意图。

图中：1、检测机床；2、滑轨；3、丝杆；4、伺服电机；5、盖板；6、固定插销；7、气囊；8、第一固定架；9、第一连接架；10、第一滑块；11、第二滑块；12、盖子；13、连接环；14、胶圈；15、第二连接架；16、扇叶；17、马达；18、支撑腿；19、硅片；20、第二固定架。

具体实施方式

为了能够更清楚地理解本实用新型的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行进一步的详细描述。

如图1-图4示的一种硅片检测工装，包括检测机床1，检测机床1为现有技术且较为成熟在此不做过多解释，检测机床1台面的一端固定连接有第二固定架20，检测机床1台面的另一端通过滑动组件滑动安装有第一固定架8，第一固定架8和

第二固定架20的内部均滑动连接有固定插销6，固定插销6的上端固定连接有盖板5，第一固定架8和第二固定架20的内部均活动连接有气囊7，第一固定架8和第二固定架20之间且位于检测机床1台面的上表面固定连接有两个支撑腿18，支撑腿18的上端固定连接有连接环13，连接环13的内部设置有吸力组件，第一固定架8的一侧设置有夹持组件，通过两个气囊7对硅片19进行夹持，既能够对其进行固定同时也不会因为夹持力度过大导致硅片19发生破碎，实用性好。

吸力组件包括固定连接在连接环13内壁的第二连接架15，第二连接架15的中心处固定安装有马达17，马达17的输出轴固定安装扇叶16，通过吸力组件可以将硅片19吸附在连接环13上，避免气囊7对硅片19夹持时硅片19掉落，增加了夹持时的稳定性。

夹持组件包括固定安装在第一固定架8一侧的第二滑块11，检测机床1台面的上表面固定连接有第一连接架9，第一连接架9的上表面固定安装有伺服电机4，伺服电机4的输出轴固定连接有丝杆3，丝杆3的一端与第一连接架9的上端之间转动连接，丝杆3的表面与第二滑块11之间螺纹配合，通过伺服电机4和丝杆3配合可以控制第一固定架8的移动，对硅片19进行夹持，通过伺服电机4完成对硅片19的夹持工作，解决了人工手动操作不便于控制夹持力度的问题。

滑动组件包括固定连接在第一固定架8下表面的第一滑块10，检测机床1台面的上表面固定连接有滑轨2，第一滑块10滑动连接在滑轨2的内部，通过设置有滑轨2和第一滑块10使得第一固定架8能沿着指定的线路滑动，便于对硅片19的夹持。

气囊7形状为立方体，气囊7的充气口通过螺纹配合的方式连接有盖子12，设计为立方体结构便于后续对硅片19的夹持，螺纹的方式连接盖子12可以保证气囊7的密封性。

连接环13的上表面固定连接有胶圈14，胶圈14避免由于扇叶16的吸力导致硅片19和连接环13之间发生磨损，丝杆3的水平高度低于连接环13的上端面，丝杆3的高度低于连接环13便于工作人员拿取硅片19。

工作原理：使用时打开盖子12，将气囊7内部充满气体，随后降下盖板5，配合第一固定架8和第二固定架20对其气囊7进行固定，将需要检测的硅片19放置在连接环13上表面的胶圈14上，开启马达17带动扇叶16旋转，引导连接环13内部的气流向下运动，对硅片19产生一定的吸力，防止第一固定架8和气囊7对硅片19夹持的过程中发生掉落，增加了后续夹持的稳定性，同时也不会对硅片19造成伤害，随后开启伺服电机4旋转带动第二滑块11和第一固定架8沿着滑轨2滑动，配合第二固定架20对硅片19进行夹持，利用气囊7对硅片19进行夹持，避免因为夹持力度过大导致硅片19发生破碎，实用性较强。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型的范围内。本实用新型要求的保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。

Claims (6)

1.一种硅片检测工装，包括检测机床（1），所述检测机床（1）台面的一端固定连接有第二固定架（20），所述检测机床（1）台面的另一端通过滑动组件滑动安装有第一固定架（8），其特征在于，所述第一固定架（8）和第二固定架（20）的内部均滑动连接有固定插销（6），所述固定插销（6）的上端固定连接有盖板（5），所述第一固定架（8）和第二固定架（20）的内部均活动连接有气囊（7），所述第一固定架（8）和第二固定架（20）之间且位于检测机床（1）台面的上表面固定连接有两个支撑腿（18），所述支撑腿（18）的上端固定连接有连接环（13），所述连接环（13）的内部设置有吸力组件，所述第一固定架（8）的一侧设置有夹持组件。

2.根据权利要求1所述的一种硅片检测工装，其特征在于，所述吸力组件包括固定连接在连接环（13）内壁的第二连接架（15），所述第二连接架（15）的中心处固定安装有马达（17），所述马达（17）的输出轴固定安装扇叶（16）。

3.根据权利要求1所述的一种硅片检测工装，其特征在于，所述夹持组件包括固定安装在第一固定架（8）一侧的第二滑块（11），所述检测机床（1）台面的上表面固定连接有第一连接架（9），所述第一连接架（9）的上表面固定安装有伺服电机（4），所述伺服电机（4）的输出轴固定连接有丝杆（3），所述丝杆（3）的一端与第一连接架（9）的上端之间转动连接，所述丝杆（3）的表面与第二滑块（11）之间螺纹配合。

4.根据权利要求1所述的一种硅片检测工装，其特征在于，所述滑动组件包括固定连接在第一固定架（8）下表面的第一滑块（10），所述检测机床（1）台面的上表面固定连接有滑轨（2），所述第一滑块（10）滑动连接在滑轨（2）的内部。

5.根据权利要求1所述的一种硅片检测工装，其特征在于，所述气囊（7）形状为立方体，所述气囊（7）的充气口通过螺纹配合的方式连接有盖子（12）。

6.根据权利要求3所述的一种硅片检测工装，其特征在于，所述连接环（13）的上表面固定连接有胶圈（14），所述丝杆（3）的水平高度低于连接环（13）的上端面。

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