CN218948122U - 一种晶圆环环切用切割工作台 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种晶圆环环切用切割工作台，涉及晶圆环切割技术领域，包括台板，所述台板底端的四个拐角处安装有支撑腿，所述台板的内部设置有旋转机构，所述台板的顶端安装有安装腔，所述安装腔的内部设置有固定机构，所述安装腔的顶端设置有夹持块，所述夹持块的顶端安装有放置块，所述台板顶端的两侧设置有吸尘机构；通过在台板的内部设置有固定机构，利用固定机构的转轮传动齿轮、传动齿盘、螺旋导轨、螺旋导块、限位槽和限位块的相互配合，可带动三个夹持块进行便捷移动，利用三个夹持块对晶圆进行高效便捷的固定，使得晶圆在固定时更加便捷，从而大大提高了该切割工作台在使用时的工作效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆环切割技术领域，尤其涉及一种晶圆环环切用切割工作台。
背景技术
随着经济的发展，半导体行业的快速进步，晶圆环的使用越来越多了，晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，现有的晶圆环在生产加工时需要使用切割机对晶圆环进行切割处理；
在对晶圆环环切时需要使用到切割工作台，如现有的切割工作台在使用时，通常都是将晶圆放置在工作台上，然后通过夹爪对晶圆进行夹持定位，操作复杂，且易对晶圆造成损伤，不便高效便捷的对晶圆环进行定位处理，使得晶圆环在固定时效率较为低下，故使得晶圆在切割时效率较为低下，从而降低了该切割工作台在使用时的工作效率，因此，本实用新型提出一种晶圆环环切用切割工作台用来解决上述问题。
实用新型内容
针对上述问题，本实用新型提出一种晶圆环环切用切割工作台，已解决现有技术中不便高效便捷的对晶圆环进行定位处理，使得晶圆环在切割加工时效率较为低下的问题。
为实现本实用新型的目的，本实用新型通过以下技术方案实现：一种晶圆环环切用切割工作台，包括台板，所述台板底端的四个拐角处安装有支撑腿，所述台板的内部设置有旋转机构，所述台板的顶端安装有安装腔，所述安装腔的内部设置有固定机构，所述安装腔的顶端设置有夹持块，所述夹持块的顶端安装有放置块，所述台板顶端的两侧设置有吸尘机构；
所述固定机构包括转轮传动齿轮、传动齿盘、螺旋导轨、螺旋导块和限位结构，所述转轮安装于安装腔的一端，所述传动齿轮安装于安装腔的内部，所述转轮的一端与传动齿轮的一端连接，所述传动齿轮的上方啮合有传动齿盘，所述传动齿盘的顶端安装有螺旋导轨，所述夹持块的底端设置有螺旋导块，所述螺旋导轨与螺旋导块之间相互配合。
进一步改进在于：所述限位机构包括限位槽和限位块，所述限位槽设置于安装腔的内壁上，所述限位槽的内部设置有限位块，所述限位块的一端与传动齿盘的一端连接。
进一步改进在于：所述限位槽的内径大于限位块的外径，所述限位槽与限位块之间构成滑动结构。
进一步改进在于：所述旋转机构包括伺服电机、主动齿轮、从动齿轮、导向槽和导向块，所述伺服电机安装于台板的底端，所述主动齿轮安装于台板的内部，所述伺服电机的输出端与主动齿轮的一端连接，所述主动齿轮的一侧啮合有从动齿轮，所述从动齿轮的顶端与安装腔的底端连接，所述导向槽设置于台板的内部，所述导向槽的内部设置有导向块，所述导向块的顶端与安装腔的底端连接。
进一步改进在于：所述导向块在导向槽的内部设置有两个，两个所述导向块之间关于安装腔的中轴线呈对称分布。
进一步改进在于：所述吸尘机构包括储尘腔、抽风机、吸尘管、立板和吸尘口，所述储尘腔设置于台板的底端，所述储尘腔的顶端安装有抽风机，所述抽风机的一端与储尘腔的一端相连通，所述储尘腔的两侧安装有吸尘管，所述立板安装于台板顶端的两侧，所述立板的顶端安装有吸尘口，所述吸尘管的一端与吸尘口的一端相连通。
本实用新型的有益效果为：通过在台板的内部设置有固定机构，利用固定机构的转轮传动齿轮、传动齿盘、螺旋导轨、螺旋导块、限位槽和限位块的相互配合，可带动三个夹持块进行便捷移动，利用三个夹持块对晶圆进行高效便捷的固定，使得晶圆在固定时更加便捷，从而大大提高了该切割工作台在使用时的工作效率；通过在台板顶端的两侧设置有吸尘机构，利用吸尘机构的储尘腔、抽风机、吸尘管、立板和吸尘口的相互配合，可将切割时产生的碎屑通过吸尘口和吸尘管的配合吸附进储尘腔的内部，使得台板的表面更加干净整洁，从而大大提高了该切割工作台在使用时的实用性。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构示意图；
图2为本实用新型的固定机构正视剖面结构示意图；
图3为本实用新型的螺旋导轨俯视剖面结构示意图；
图4为本实用新型的图2中A处局部放大结构示意图。
其中：1、台板；2、支撑腿；3、安装腔；4、夹持块；5、放置块；6、转轮；7、传动齿轮；8、传动齿盘；9、螺旋导轨；10、螺旋导块；11、限位槽；12、限位块；13、伺服电机；14、主动齿轮；15、从动齿轮；16、导向槽；17、导向块；18、储尘腔；19、抽风机；20、吸尘管；21、立板；22、吸尘口。
具体实施方式
为了加深对本实用新型的理解，下面将结合实施例对本实用新型做进一步详述，本实施例仅用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型保护范围的限定。
根据图1、2、3、4所示，本实施例提出了一种晶圆环环切用切割工作台，包括台板1，所述台板1底端的四个拐角处安装有支撑腿2，所述台板1的内部设置有旋转机构，所述台板1的顶端安装有安装腔3，所述安装腔3的内部设置有固定机构，所述安装腔3的顶端设置有夹持块4，所述夹持块4的顶端安装有放置块5，所述台板1顶端的两侧设置有吸尘机构。
所述固定机构包括转轮6传动齿轮7、传动齿盘8、螺旋导轨9、螺旋导块10和限位结构，所述转轮6安装于安装腔3的一端，所述传动齿轮7安装于安装腔3的内部，所述转轮6的一端与传动齿轮7的一端连接，所述传动齿轮7的上方啮合有传动齿盘8，所述传动齿盘8的顶端安装有螺旋导轨9，所述夹持块4的底端设置有螺旋导块10，所述螺旋导轨9与螺旋导块10之间相互配合，使用时，将晶圆放置在放置块5的上方，然后转动转轮6带动传动齿轮7进行旋转，由于传动齿轮7与传动齿盘8之间相互啮合，故在限位槽11和限位块12的限位下，通过传动齿轮7带动传动齿盘8进行旋转，故带动螺旋导轨9进行转动，由于螺旋导轨9与螺旋导块10之间螺旋连接，故带动夹持块4在安装腔3的上方导槽内部进行移动，进而利用夹持块4对晶圆进行固定。
所述限位机构包括限位槽11和限位块12，所述限位槽11设置于安装腔3的内壁上，所述限位槽11的内部设置有限位块12，所述限位块12的一端与传动齿盘8的一端连接，所述限位槽11的内径大于限位块12的外径，所述限位槽11与限位块12之间构成滑动结构，使用时，利用限位槽11和限位块12之间的相互配合，可对传动齿盘8在转动时进行限位处理，使得传动齿盘8在转动时更加稳定。
所述旋转机构包括伺服电机13、主动齿轮14、从动齿轮15、导向槽16和导向块17，所述伺服电机13安装于台板1的底端，所述主动齿轮14安装于台板1的内部，所述伺服电机13的输出端与主动齿轮14的一端连接，所述主动齿轮14的一侧啮合有从动齿轮15，所述从动齿轮15的顶端与安装腔3的底端连接，所述导向槽16设置于台板1的内部，所述导向槽16的内部设置有导向块17，所述导向块17的顶端与安装腔3的底端连接，使用时，启动伺服电机13带动主动齿轮14进行旋转，故带动从动齿轮15进行转动，进而在导向槽16和导向块17的限位下，利用从动齿轮15带动安装腔3进行旋转，进而带动晶圆进行转动，利用切割刀具对其进行切割处理。
所述导向块17在导向槽16的内部设置有两个，两个所述导向块17之间关于安装腔3的中轴线呈对称分布，使用时，在导向槽16和导向块17的配合下，可对安装腔3在转动时进行导向处理，使得安装腔3在旋转时更加稳定。
所述吸尘机构包括储尘腔18、抽风机19、吸尘管20、立板21和吸尘口22，所述储尘腔18设置于台板1的底端，所述储尘腔18的顶端安装有抽风机19，所述抽风机19的一端与储尘腔18的一端相连通，所述储尘腔18的两侧安装有吸尘管20，所述立板21安装于台板1顶端的两侧，所述立板21的顶端安装有吸尘口22，所述吸尘管20的一端与吸尘口22的一端相连通，使用时，启动抽风机19，在吸尘口22的配合下，将切割时产生的碎屑，通过吸尘管20吸附进储尘腔18的内部，使得台板1的表面更加干净整洁，从而大大提高了该切割工作台在使用时的实用性。
工作原理：首先工作人员将晶圆放置在放置块5的上方，然后转动转轮6带动传动齿轮7进行旋转，由于传动齿轮7与传动齿盘8之间相互啮合，故在限位槽11和限位块12的限位下，通过传动齿轮7带动传动齿盘8进行旋转，故带动螺旋导轨9进行转动，由于螺旋导轨9与螺旋导块10之间螺旋连接，故带动夹持块4在安装腔3的上方导槽内部进行移动，进而利用夹持块4对晶圆进行固定，然后启动伺服电机13带动主动齿轮14进行旋转，故带动从动齿轮15进行转动，进而在导向槽16和导向块17的限位下，利用从动齿轮15带动安装腔3进行旋转，进而带动晶圆进行转动，利用切割刀具对其进行切割处理，此时启动抽风机19，在吸尘口22的配合下，将切割时产生的碎屑，通过吸尘管20吸附进储尘腔18的内部，使得台板1的变表面较为整洁，切割完成后，反向转动转轮6即可将晶圆取下。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (6)
1.一种晶圆环环切用切割工作台，包括台板(1)，其特征在于：所述台板(1)底端的四个拐角处安装有支撑腿(2)，所述台板(1)的内部设置有旋转机构，所述台板(1)的顶端安装有安装腔(3)，所述安装腔(3)的内部设置有固定机构，所述安装腔(3)的顶端设置有夹持块(4)，所述夹持块(4)的顶端安装有放置块(5)，所述台板(1)顶端的两侧设置有吸尘机构；
所述固定机构包括转轮(6)传动齿轮(7)、传动齿盘(8)、螺旋导轨(9)、螺旋导块(10)和限位结构，所述转轮(6)安装于安装腔(3)的一端，所述传动齿轮(7)安装于安装腔(3)的内部，所述转轮(6)的一端与传动齿轮(7)的一端连接，所述传动齿轮(7)的上方啮合有传动齿盘(8)，所述传动齿盘(8)的顶端安装有螺旋导轨(9)，所述夹持块(4)的底端设置有螺旋导块(10)，所述螺旋导轨(9)与螺旋导块(10)之间相互配合。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆环环切用切割工作台，其特征在于：所述限位结构包括限位槽(11)和限位块(12)，所述限位槽(11)设置于安装腔(3)的内壁上，所述限位槽(11)的内部设置有限位块(12)，所述限位块(12)的一端与传动齿盘(8)的一端连接。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆环环切用切割工作台，其特征在于：所述限位槽(11)的内径大于限位块(12)的外径，所述限位槽(11)与限位块(12)之间构成滑动结构。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆环环切用切割工作台，其特征在于：所述旋转机构包括伺服电机(13)、主动齿轮(14)、从动齿轮(15)、导向槽(16)和导向块(17)，所述伺服电机(13)安装于台板(1)的底端，所述主动齿轮(14)安装于台板(1)的内部，所述伺服电机(13)的输出端与主动齿轮(14)的一端连接，所述主动齿轮(14)的一侧啮合有从动齿轮(15)，所述从动齿轮(15)的顶端与安装腔(3)的底端连接，所述导向槽(16)设置于台板(1)的内部，所述导向槽(16)的内部设置有导向块(17)，所述导向块(17)的顶端与安装腔(3)的底端连接。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆环环切用切割工作台，其特征在于：所述导向块(17)在导向槽(16)的内部设置有两个，两个所述导向块(17)之间关于安装腔(3)的中轴线呈对称分布。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆环环切用切割工作台，其特征在于：所述吸尘机构包括储尘腔(18)、抽风机(19)、吸尘管(20)、立板(21)和吸尘口(22)，所述储尘腔(18)设置于台板(1)的底端，所述储尘腔(18)的顶端安装有抽风机(19)，所述抽风机(19)的一端与储尘腔(18)的一端相连通，所述储尘腔(18)的两侧安装有吸尘管(20)，所述立板(21)安装于台板(1)顶端的两侧，所述立板(21)的顶端安装有吸尘口(22)，所述吸尘管(20)的一端与吸尘口(22)的一端相连通。
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