CN112797969B - 惯性计测装置、电子设备及移动体 - Google Patents

惯性计测装置、电子设备及移动体 Download PDF

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Abstract

本发明涉及惯性计测装置、电子设备及移动体。惯性计测装置具有：基板；惯性传感器，配置在所述基板的第一面；盖，覆盖所述惯性传感器并与所述基板接合；以及端子，配置于所述基板并与安装对象物接合，在从所述基板的厚度方向的俯视观察下，所述惯性传感器与端子连接部不重叠，并且位于比所述端子连接部更靠向所述基板的中央侧的位置，所述端子连接部是所述端子与所述基板的连接部分。

Description

惯性计测装置、电子设备及移动体
技术领域
本发明涉及惯性计测装置、电子设备及移动体。
背景技术
在专利文献1中记载了一种传感器装置，该传感器装置具有：基板；惯性传感器，设置在基板的上表面；保护基板，覆盖惯性传感器并与基板的上表面接合；布线部，配置在基板的下表面并经由贯通基板的贯通电极而与惯性传感器电连接；以及作为端子的电极部，设置于布线部。
专利文献1：日本特开2016-138774号公报
然而，在专利文献1所记载的传感器装置中，由于在俯视观察下电极部与惯性传感器重叠，即由于惯性传感器位于电极部的正上方，所以应力容易经由电极部传递到惯性传感器。因此，存在由于该应力而导致惯性传感器的特性容易恶化的问题。
发明内容
本发明的一种方式是惯性计测装置，其特征在于，具有：基板；惯性传感器，配置在所述基板的第一面；盖，覆盖所述惯性传感器并与所述基板接合；以及端子，配置于所述基板并与安装对象物接合，在从所述基板的厚度方向的俯视观察下，所述惯性传感器与端子连接部不重叠，并且位于比所述端子连接部更靠向所述基板的中央侧的位置，所述端子连接部是所述端子与所述基板的连接部分。
优选的是，在本发明的一种方式中，所述基板具有在所述俯视观察下配置在所述惯性传感器与所述端子连接部之间的槽。
优选的是，在本发明的一种方式中，所述槽在所述俯视观察下是包围所述惯性传感器的框状。
优选的是，在本发明的一种方式中，所述槽在所述第一面开口。
优选的是，在本发明的一种方式中，所述端子配置在与所述第一面相反侧的第二面，所述槽在所述第二面开口。
优选的是，在本发明的一种方式中，所述端子配置在与所述第一面相反侧的第二面，所述槽具有在所述第一面开口的第一槽和在所述第二面开口的第二槽。
优选的是，在本发明的一种方式中，盖接合部在所述俯视观察下位于所述端子连接部与所述惯性传感器之间，所述盖接合部是所述基板与所述盖的接合部分。
优选的是，在本发明的一种方式中，所述槽在所述俯视观察下位于比所述盖接合部更靠向所述基板的中央侧的位置。
优选的是，在本发明的一种方式中，所述基板具有贯通孔，所述贯通孔在所述俯视观察下偏离所述惯性传感器与所述端子连接部之间而配置，并在厚度方向上贯通所述基板。
优选的是，在本发明的一种方式中，所述盖具有恒定电位。
优选的是，在本发明的一种方式中，所述端子是从所述基板延伸的引线。
本发明的一种方式是电子设备，其特征在于，具备：上述的惯性计测装置；以及控制电路，基于所述惯性计测装置的输出信号进行控制。
本发明的一种方式是移动体，其特征在于，具备：上述的惯性计测装置；以及信号处理电路，基于所述惯性计测装置的输出信号进行信号处理。
附图说明
图1是示出第一实施方式所涉及的惯性计测装置的俯视图。
图2是图1中的A-A线剖视图。
图3是示出图1所示的惯性计测装置的变形例的俯视图。
图4是示出第二实施方式所涉及的惯性计测装置的剖视图。
图5是示出第三实施方式所涉及的惯性计测装置的俯视图。
图6是图5中的B-B线剖视图。
图7是示出第四实施方式所涉及的惯性计测装置的俯视图。
图8是示出第五实施方式所涉及的智能手机的立体图。
图9是示出第六实施方式所涉及的移动体的立体图。
附图标记说明
1…惯性计测装置；2…基板；2a…第一外边缘部；2b…第二外边缘部；2c…第三外边缘部；2d…第四外边缘部；21…上表面；22…下表面；23、24…端子；281、282…贯通孔；29…槽；29a…第一部分；29b…第二部分；29c…第三部分；29d…第四部分；291…第一槽；292…第二槽；3…惯性传感器；31…封装体；34…传感器元件；4…惯性传感器；41…封装体；44…传感器元件；5…惯性传感器；51…封装体；54…传感器元件；6…惯性传感器；61…封装体；64、65、66…传感器元件；7…电路元件；8…盖；80…盖接合部；81…凹部；9、9a、9b、9c、9d…引线；90…端子连接部；1200…智能手机；1208…显示部；1210…控制电路；1500…汽车；1502…信号处理电路；1510…系统；D、D1、D2…深度；F…部分；G1…间隙；H…焊料；T…厚度；Q…安装对象物；W…宽度。
具体实施方式
以下，基于附图所示的实施方式，详细说明本发明的一种方式的惯性计测装置、电子设备及移动体。
第一实施方式
图1是示出第一实施方式所涉及的惯性计测装置的俯视图。图2是图1中的A-A线剖视图。图3是示出图1所示的惯性计测装置的变形例的俯视图。另外，为了便于说明，在各图中将相互正交的三轴图示为X轴、Y轴和Z轴。将与X轴平行的方向也称为“X轴方向”，将与Y轴平行的方向也称为“Y轴方向”，将与Z轴平行的方向也称为“Z轴方向”。此外，将Z轴方向正侧也称为“上”，将Z轴方向负侧也称为“下”。
惯性计测装置1具有：基板2，具有相互处于正反关系的作为第一面的上表面21和作为第二面的下表面22；配置在基板2的上表面21的四个惯性传感器3、4、5、6和电路元件7；盖8，覆盖它们并与基板2的上表面21接合；以及作为端子的多根引线9，配置在基板2的下表面22并从基板2延伸。如图2所示，这种惯性计测装置1经由多根引线9安装于安装对象物Q，在安装的状态下，基板2浮置于安装对象物Q。即，在安装对象物Q与基板2之间形成有间隙G1。由此，难以从安装对象物Q向基板2传递应力，惯性计测装置1的特性稳定。
在从Z轴方向的俯视观察下，基板2为大致正方形。这样的基板2支承惯性传感器3、4、5、6、电路元件7和多根引线9，并且将惯性传感器3、4、5、6、电路元件7和多根引线9电连接。基板2是印刷基板，例如能够使用环氧基板、玻璃基板、玻璃环氧基板、陶瓷基板等。如图1和图2所示，形成于基板2的布线具有：端子23，配置在下表面22并与引线9电连接；端子24，配置在上表面21并与惯性传感器3、4、5、6和电路元件7电连接；以及未图示的内部布线，将这些端子23、24电连接，并且经由该布线将惯性传感器3、4、5、6、电路元件7和多根引线9电连接。
惯性传感器3、4、5、6中的惯性传感器3是检测绕X轴的角速度的X轴角速度传感器，惯性传感器4是检测绕Y轴的角速度的Y轴角速度传感器，惯性传感器5是检测绕Z轴的角速度的Z轴角速度传感器，惯性传感器6是分别独立地检测X轴方向的加速度、Y轴方向的加速度和Z轴方向的加速度的三轴加速度传感器。即，本实施方式的惯性计测装置1是六轴复合传感器。但是，作为惯性计测装置1的构成不限定于此，可以省略惯性传感器3、4、5、6中的至少一个，也可以追加其他电子部件。
接着，对惯性传感器3、4、5进行说明。惯性传感器3、4、5是相互相同的构成，其姿态以与各检测轴对应的方式相互倾斜90°而配置。
如图1所示，惯性传感器3具有封装体31和收纳于封装体31的传感器元件34。同样，惯性传感器4具有封装体41和收纳于封装体41的传感器元件44，惯性传感器5具有封装体51和收纳于封装体51的传感器元件54。传感器元件34、44、54例如是具有驱动臂和检测臂的水晶振动元件。若在使驱动臂驱动振动的状态下施加角速度，则通过科里奥利力(Coriolisforce)在检测臂励振检测振动，而能够基于由该检测振动在检测臂产生的电荷来求出角速度。这样的惯性传感器3、4、5经由未图示的焊料与基板2的上表面21接合并与端子24电连接。
另外，惯性传感器3、4、5的构成没有特别限定，只要能够发挥其功能即可。例如，传感器元件34、44、54不限定于水晶振动元件，例如也可以是硅结构体，是基于静电电容的变化来检测角速度的构成。此外，在本实施方式中，惯性传感器3、4、5是相互相同的构成，但是并不限定于此，也可以是至少一个与其他不同的构成。此外，惯性传感器3也可以是如下结构：不仅能够检测绕X轴的角速度，除了X轴以外还能够检测绕Y轴和Z轴等其他轴的角速度。例如，在惯性传感器3是能够检测绕X轴和Y轴的角速度的构成的情况下能够省略惯性传感器4，在惯性传感器3是能够检测绕X轴、Y轴和Z轴的角速度的构成的情况下能够省略惯性传感器4和惯性传感器5。
惯性传感器6具有封装体61和收纳于封装体61的三个传感器元件64、65、66。传感器元件64是检测X轴方向的加速度的元件，传感器元件65是检测Y轴方向的加速度的元件，传感器元件66是检测Z轴方向的加速度的元件。传感器元件64、65、66是硅结构体，该硅结构体具有固定电极和可动电极，该可动电极在与固定电极之间形成静电电容，并且当接受检测轴方向的加速度时相对于固定电极位移。在这种情况下，能够基于传感器元件64的静电电容的变化来检测X轴方向的加速度，能够基于传感器元件65的静电电容的变化来检测Y轴方向的加速度，能够基于传感器元件66的静电电容的变化来检测Z轴方向的加速度。这样的惯性传感器6经由未图示的焊料与基板2的上表面21接合并与端子24电连接。
另外，作为惯性传感器6的构成没有特别限定，只要能够发挥其功能即可。例如，传感器元件64、65、66不限定于硅结构体，例如也可以是水晶振动元件，是基于由振动产生的电荷来检测加速度的构成。此外，也可以将传感器元件64、65、66分别分开收纳于不同的封装体。
电路元件7具有：驱动/检测电路，驱动惯性传感器3且检测施加于惯性传感器3的绕X轴的角速度；驱动/检测电路，驱动惯性传感器4且检测施加于惯性传感器4的绕Y轴的角速度；驱动/检测电路，驱动惯性传感器5且检测施加于惯性传感器5的绕Z轴的角速度；以及驱动/检测电路，驱动惯性传感器6且检测施加于惯性传感器6的X轴、Y轴和Z轴方向的加速度。这样的电路元件7经由未图示的焊料与基板2的上表面21接合并与端子24电连接。
接着，对盖8进行说明。如图1和图2所示，盖8具有在下表面开口的凹部81，并且在该凹部81内收纳有惯性传感器3、4、5、6和电路元件7的状态下经由焊料H与基板2的上表面21接合。此外，盖8具有导电性，并经由焊料H与端子24电连接。在驱动惯性计测装置1时，盖8经由端子24与恒定电位连接、在本实施方式中接地。由此，盖8作为屏蔽干扰的护罩而发挥功能，从而惯性传感器3、4、5、6和电路元件7的特性稳定。另外，作为盖8的构成材料没有特别限定，可以使用各种金属材料。在本实施方式中，盖8由SUS(不锈钢)构成，但是也可以是铝、铜、其他金属材料。
如图1所示，在从Z轴方向的俯视观察下，盖8呈比基板2稍小的大致正方形，其各边的长度方向中央部、即四个侧壁的各个下部经由焊料H与基板2的上表面21接合。即，并非是盖8的下表面的整周与基板2接合而是具有未接合的部分。未与该基板2接合的部分、特别是各角部即相邻的侧壁彼此的交叉部下端与基板2的上表面21分离。即，在盖8的下表面的各角部中，在盖8与基板2之间形成有间隙。由此，由于盖8内没有被密封而连通其内外，因此热量难以滞留在盖8内。因此，例如由于焊料回流而在将惯性计测装置1安装于安装对象物Q时所产生的热量难以滞留在惯性计测装置1内，从而能够降低惯性计测装置1的热损伤。
接着，对多根引线9进行说明。如图1所示，多根引线9分别经由未图示的焊料与基板2的下表面22的外边缘部接合并与端子23电连接。此外，多根引线9遍及基板2的外边缘部的整周而配置。即，多根引线9具有：多根引线9a，沿着基板2的第一外边缘部2a的长度方向以规定间隔分离配置；多根引线9b，沿着基板2的第二外边缘部2b的长度方向以规定间隔分离配置；多根引线9c，沿着基板2的第三外边缘部2c的长度方向以规定间隔分离配置；以及多根引线9d，沿着基板2的第四外边缘部2d的长度方向以规定间隔分离配置。但是，作为引线9的配置没有特别限定。
此外，如图2所示，多根引线9分别从基板2的外边缘部向基板2的外侧延伸，且在其中途向下侧即Z轴方向负侧弯折。通过将引线9设为这种形状，从而在经由引线9将惯性计测装置1安装于安装对象物Q时，容易从安装对象物Q的上表面向上方分离设置基板2。
以上，对惯性计测装置1的基本构成进行简单说明。以下，对各部分的配置进行详细说明。如图1所示，在从Z轴方向的俯视观察下，惯性传感器3、4、5、6和电路元件7与作为引线9与基板2的连接部分的端子连接部90不重叠，并且位于比端子连接部90更靠向基板2的中央侧的位置。由于通过设为这样的配置，能够使惯性传感器3、4、5、6和电路元件7与端子连接部90分离，因此例如从安装对象物Q经由引线9传递到基板2的干扰在到达惯性传感器3、4、5、6和电路元件7之前充分衰减，从而该干扰难以传递到惯性传感器3、4、5、6和电路元件7。因此，惯性传感器3、4、5、6和电路元件7的特性稳定，并能够发挥优异的检测精度。此外，通过将惯性传感器3、4、5、6和电路元件7配置在比端子连接部90更靠向基板2的中央侧即内侧，能够实现惯性计测装置1的小型化。另外，在上述“干扰”中例如包括起因于振动、热量、基板2与安装对象物Q的线膨胀系数差而产生的应力等。
另外，作为惯性传感器3、4、5、6和电路元件7与端子连接部90的分离距离没有特别限定，但是例如优选为在1μm以上且5μm以下左右。由此，由于能够使惯性传感器3、4、5、6和电路元件7与端子连接部90充分分离，所以干扰衰减效果显著。因此，干扰更难以传递到惯性传感器3、4、5、6和电路元件7，能够使惯性传感器3、4、5、6和电路元件7的特性更稳定。此外，能够抑制惯性传感器3、4、5、6和电路元件7与端子连接部90的分离距离变得过大，能够有效地抑制惯性计测装置1的大型化。
此外，如图1和图2所示，基板2具有槽29，该槽29在从Z轴方向的俯视观察下配置在惯性传感器3、4、5、6、电路元件7与端子连接部90之间。槽29具有如下功能：使从安装对象物Q经由引线9传递到基板2的干扰在传递到各惯性传感器3、4、5、6和电路元件7之前衰减。这样，通过配置槽29，干扰更难以传递到惯性传感器3、4、5、6和电路元件7，并且惯性传感器3、4、5、6和电路元件7的特性更稳定，能够发挥更优异的检测精度。
槽29由在上表面21开口的有底的凹部构成。即，槽29不在下表面22开口。这样，通过使槽29在作为与配置有各惯性传感器3、4、5、6和电路元件7的面相同的面的上表面21开口，从而槽29的干扰衰减效果更显著。此外，通过将槽29设为有底的凹部而不是贯通孔，能够在槽29的底面和下表面22之间拉绕上述内部布线，并增加内部布线、特别是一端与端子24连接的布线的拉绕自由度。此外，能够抑制基板2的机械强度的降低。
如图2所示，作为槽29的深度D没有特别限定，但优选为在基板2的厚度T的1/4以上且3/4以下左右。即，优选为T/4≤D≤3T/4。由此，槽29足够深，能够更可靠且有效地发挥干扰衰减效果。此外，能够抑制槽29过深而基板2的机械强度降低或内部布线的拉绕自由度降低。此外，作为槽29的宽度W没有特别限定，但是例如优选为在0.5μm以上且2μm以下左右。由此，槽29的宽度W足够宽，能够更可靠且有效地发挥干扰衰减效果。此外，能够抑制槽29的宽度W过宽而基板2大型化。
如图1所示，在从Z轴方向的俯视观察下，槽29是包围惯性传感器3、4、5、6和电路元件7的框状、特别是连续的环状。通过由这种框状的槽29包围惯性传感器3、4、5、6和电路元件7，能够更可靠且有效地使经由引线9传递到基板2的干扰在传递到惯性传感器3、4、5、6和电路元件7之前衰减。另外，在本实施方式中，槽29是一重的环状，但是也可以是两重以上的环状。
槽29的构成没有特别限定，只要配置在惯性传感器3、4、5、6的至少一个与引线9之间即可。例如，图3所示的变形例的槽29具有：第一部分29a，位于引线9a与惯性传感器3、4、5、6之间并沿着Y轴方向延伸；第二部分29b，位于引线9b与惯性传感器3、4、5、6之间并沿着X轴方向延伸；第三部分29c，位于引线9c与惯性传感器3、4、5、6之间并沿着Y轴方向延伸；以及第四部分29d，位于引线9d与惯性传感器3、4、5、6之间并沿着X轴方向延伸，第一部分29a～第四部分29d相互分离而形成。此外，例如也可以从图3所示的变形例中省略第一部分29a～第四部分29d中的一个、两个或三个。
此外，如图1所示，在从Z轴方向的俯视观察下，作为经由焊料H接合基板2和盖8的部分的盖接合部80位于端子连接部90与惯性传感器3、4、5、6和电路元件7之间。由此，通过将盖接合部80配置在端子连接部90与惯性传感器3、4、5、6、电路元件7之间，能够将经由引线9传递到基板2的干扰在传递到惯性传感器3、4、5、6和电路元件7之前经由盖接合部80释放到盖8。因此，干扰更难以传递到各惯性传感器3、4、5、6和电路元件7。
另外，在Z轴方向的俯视观察下，槽29位于比盖接合部80更靠向基板2的中央侧的位置。由于基板2的比盖接合部80更靠向内侧的部分被盖8加强，因此能够通过在该部分形成槽29而将基板2的机械强度的降低抑制为较小。但是，并不限定于此，在Z轴方向的俯视观察下，槽29也可以位于比盖接合部80更靠向基板2的外边缘侧。
以上，对惯性计测装置1进行了说明。如上所述，这样的惯性计测装置1具有：基板2；惯性传感器3、4、5、6，配置在作为基板2的第一面的上表面21；盖8，覆盖惯性传感器3、4、5、6并与基板2接合；以及作为端子的引线9，配置于基板2并与安装对象物Q接合，在从基板2的厚度方向即Z轴方向的俯视观察下，惯性传感器3、4、5、6与作为引线9与基板2的连接部分的端子连接部90不重叠，并且位于比端子连接部90更靠向基板2的中央侧的位置。根据这种构成，从安装对象物Q经由引线9传递到基板2的干扰在到达各惯性传感器3、4、5、6之前充分衰减，该干扰难以传递到各惯性传感器3、4、5、6。因此，各惯性传感器3、4、5、6的特性稳定，能够发挥优异的检测精度。此外，通过将各惯性传感器3、4、5、6配置在比端子连接部90更靠向基板2的中央侧即内侧的位置，还能够实现惯性计测装置1的小型化。
此外，如上所述，基板2具有槽29，该槽29在从Z轴方向的俯视观察下配置在惯性传感器3、4、5、6与端子连接部90之间。槽29具有如下功能：使经由引线9传递到基板2的干扰在传递到各惯性传感器3、4、5、6之前衰减。因此，干扰更难以传递到各惯性传感器3、4、5、6，各惯性传感器3、4、5、6的特性更稳定。
此外，如上所述，在Z轴方向的俯视观察下，槽29是包围惯性传感器3、4、5、6的框状。通过由框状的槽29包围各惯性传感器3、4、5、6，能够更可靠且有效地使经由引线9传递到基板2的干扰在传递到各惯性传感器3、4、5、6之前衰减。
此外，如上所述，槽29在上表面21开口。这样，通过使槽29在作为与配置有惯性传感器3、4、5、6的面相同的面的上表面21开口，能够更显著地发挥槽29的干扰衰减效果。
此外，如上所述，在从Z轴方向的俯视观察下，作为基板2与盖8的接合部分的盖接合部80位于端子连接部90与惯性传感器3、4、5、6之间。由此，能够将经由引线9传递到基板2的干扰在传递到各惯性传感器3、4、5、6之前经由盖接合部80释放到盖8。因此，干扰更难以传递到各惯性传感器3、4、5、6。
此外，如上所述，在从Z轴方向的俯视观察下，槽29位于比盖接合部80更靠向基板2的中央侧的位置。由于基板2的比盖接合部80更靠向内侧的部分被盖8加强，因此能够通过在该部分形成槽29而将基板2的机械强度的降低抑制为较小。
此外，如上所述，盖8具有恒定电位。特别是在本实施方式中，盖8接地。由此，盖8作为屏蔽干扰的护罩而发挥功能，从而惯性传感器3、4、5、6的特性稳定。
此外，如上所述，端子是从基板2延伸的引线9。由此，容易使基板2浮置于安装对象物Q来进行支承。
第二实施方式
图4是示出第二实施方式所涉及的惯性计测装置的剖视图。
本实施方式除了槽29的构成不同以外与前述的第一实施方式相同。另外，在以下的说明中，关于本实施方式，以与前述的第一实施方式的不同点为中心进行说明，关于相同的事项省略其说明。此外，在图4中，对于与前述的实施方式相同的构成标注相同的附图标记。
在图4所示的惯性计测装置1中，槽29由在下表面22开口的有底的凹部构成。即，槽29的开口位于与前述的第一实施方式的相反侧的位置。这样，通过使槽29在作为与接合有引线9的面相同的面的下表面22开口，能够利用槽29有效地使从安装对象物Q经由引线9传递的干扰衰减。槽29的深度D和宽度W等尺寸、配置图案可以与第一实施方式所说明的相同。
如上所述，在本实施方式的惯性计测装置1中，作为端子的引线9配置在下表面22，该下表面22是与作为基板2的第一面的上表面21相反侧的第二面，槽29在下表面22开口。由此，能够利用槽29有效地使经由引线9传递的干扰衰减。
根据这样的第二实施方式，也能够发挥与前述的第一实施方式相同的效果。
第三实施方式
图5是示出第三实施方式所涉及的惯性计测装置的俯视图。图6是图5中的B-B线剖视图。
本实施方式除了槽29的构成不同以外与前述的第一实施方式相同。另外，在以下的说明中，关于本实施方式，以与前述的第一、第二实施方式的不同点为中心进行说明，关于相同的事项省略其说明。此外，在图5和图6中，与前述的实施方式相同的构成标注相同的附图标记。
在图5和图6所示的惯性计测装置1中，槽29具有由在上表面21开口的有底的凹部构成的第一槽291和由在下表面22开口的有底的凹部构成的第二槽292。此外，在从Z轴方向的俯视观察下，第一槽291和第二槽292分别呈包围各惯性传感器3、4、5、6和电路元件7的框状。此外，在从Z轴方向的俯视观察下，第一槽291和第二槽292相互不重叠，在本实施方式中，第一槽291位于第二槽292的内侧的位置。即，在从Z轴方向的俯视观察下，成为具有框状的第一槽291和包围该第一槽291的框状的第二槽292的双重结构。
这样，通过形成在作为与配置有各惯性传感器3、4、5、6和电路元件7的面相同的面的上表面21开口的第一槽291和在作为与接合有引线9的面相同的面的下表面22开口的第二槽292，能够利用槽29有效地使从安装对象物Q经由引线9传递的干扰衰减。另外，第一槽291和第二槽292的配置并不限定于此，第一槽291也可以位于第二槽292的外侧的位置。此外，第一、第二槽291、292的至少一方也可以是图3所示的图案。
特别是在本实施方式中，如图6所示，第一槽291的深度D1和第二槽292的深度D2的合计比基板2的厚度T大，即，满足D1+D2>T的关系，在侧视观察下，具有第一槽291和第二槽292重叠的部分F。由此，能够利用槽29有效地使该干扰衰减。但是，并不限定于此，也可以是至少一部分为D1+D2≤T。
如上所述，在本实施方式的惯性计测装置1中，作为端子的引线9配置在下表面22，该下表面22是与作为第一面的上表面21相反侧的第二面，槽29具有在上表面21开口的第一槽291和在下表面22开口的第二槽292。这样，通过形成在作为与配置有各惯性传感器3、4、5、6的面相同的面的上表面21开口的第一槽291和在作为与接合有引线9的面相同的面的下表面22开口的第二槽292，能够利用槽29有效地使从安装对象物Q经由引线9传递的干扰衰减。
根据这样的第三实施方式，也能够发挥与前述的第一实施方式相同的效果。另外，与上述不同，在从Z轴方向的俯视观察下，第一槽291和第二槽292也可以一部分或全部重叠。在这种情况下，第一槽291和第二槽292不连通。
第四实施方式
图7是示出第四实施方式所涉及的惯性计测装置的俯视图。
本实施方式除了基板2和引线9的构成不同以外与前述的第一实施方式相同。另外，在以下的说明中，关于本实施方式，以与前述的实施方式的不同点为中心进行说明，关于相同的事项省略其说明。此外，在图7中，与前述的实施方式相同的构成标注相同的附图标记。
在图7所示的惯性计测装置1中，多根引线9具有沿着基板2的第一外边缘部2a配置的多根引线9a和沿着基板2的第三外边缘部2c配置的多根引线9c。即，从前述的第一实施方式的构成中省略了沿着基板2的第二外边缘部2b配置的多根引线9b和沿着基板2的第四外边缘部2d配置的多根引线9d。
此外，槽29具有：第一部分29a，位于各引线9a与各惯性传感器3、4、5、6、电路元件7之间并沿着Y轴方向延伸；以及第三部分29c，位于各引线9c与各惯性传感器3、4、5、6、电路元件7之间并沿着Y轴方向延伸。即，从前述的图3所示的变形例中省略了第二部分29b和第四部分29d。
此外，基板2具有：贯通孔281，位于基板2的第二外边缘部2b与各惯性传感器3、4、5、6、电路元件7之间，并沿着X轴方向延伸；以及贯通孔282，位于基板2的第四外边缘部2d与各惯性传感器3、4、5、6、电路元件7之间，并沿着X轴方向延伸。贯通孔281、282分别在基板2的厚度方向上贯通，并在上表面21和下表面22开口。这样的贯通孔281、282与槽29同样地具有如下功能：使从安装对象物Q经由引线9传递的干扰在到达各惯性传感器3、4、5、6和电路元件7之前衰减。与由有底的凹部构成的槽29相比，贯通孔281、282的干扰衰减效果更优异。因此，能够更有效地使从安装对象物Q经由引线9传递的干扰在到达各惯性传感器3、4、5、6和电路元件7之前衰减。
特别是在本实施方式中，在位于各惯性传感器3、4、5、6、电路元件7与端子连接部90之间的区域形成有槽29，在偏离各惯性传感器3、4、5、6、电路元件7与端子连接部90之间的区域形成有贯通孔281、282。换句话说，在位于设置有端子连接部90的基板2的第一外边缘部2a和第三外边缘部2c与各惯性传感器3、4、5、6、电路元件7之间的区域形成有槽29，在位于未设置有端子连接部90的基板2的第二外边缘部2b和第四外边缘部2d与各惯性传感器3、4、5、6、电路元件7之间的区域形成有贯通孔281、282。由此，能够在较高地维持基板2内的布线、特别是连接端子24与各惯性传感器3、4、5、6和电路元件7的布线的拉绕自由度的同时，发挥上述那样的优异的干扰衰减效果。
另外，在本实施方式中，贯通孔281、282与槽29分离形成，但是并不限定于此，例如，贯通孔281、282的X轴方向正侧的端部可以与第一部分29a连接，端部也可以在X轴方向负侧与第三部分29c连接。即，槽29与贯通孔281、282也可以连接成框状。
如上所述，在本实施方式的惯性计测装置1中，在从Z轴方向的俯视观察下，基板2具有偏离惯性传感器3、4、5、6与端子连接部90之间而配置，并在厚度方向上贯通基板2的贯通孔281、282。由此，能够在较高地维持基板2内的布线的拉绕自由度的同时，发挥优异的干扰衰减效果。
根据这样的第四实施方式，也能够发挥与前述的第一实施方式相同的效果。
第五实施方式
图8是示出第五实施方式所涉及的智能手机的立体图。
作为图8所示的电子设备的智能手机1200内置有惯性计测装置1和基于从惯性计测装置1输出的检测信号进行控制的控制电路1210。由惯性计测装置1检测到的检测数据被发送到控制电路1210，控制电路1210根据接收到的检测数据来识别智能手机1200的姿态、举动，并能够使显示于显示部1208的图像变化、发出警告音、效果音或驱动振动电机而使主体振动。
作为这样的电子设备的智能手机1200具有惯性计测装置1和基于从惯性计测装置1输出的检测信号进行控制的控制电路1210。因此，能够享有前述的惯性计测装置1的效果，并能够发挥较高的可靠性。
另外，电子设备除了能够应用于前述的智能手机1200以外，例如还能够应用于：个人计算机、数字静态照相机、平板终端、包括智能手表的钟表、喷墨式喷出装置、例如喷墨打印机、HMD(头戴式显示器)、智能眼镜等可穿戴终端、电视机、录像机、磁带录像机、汽车导航装置、寻呼机、电子记事本、电子词典、电子翻译机、电子计算器、电子游戏设备、训练设备、文字处理器、工作站、电视电话、防犯用电视监视器、电子双筒望远镜、POS终端、电子体温计、血压计、血糖计、心电图计测装置、超声波诊断装置、电子内窥镜那样的医疗设备、鱼群探测器、各种测定设备、车辆、航空器、船舶所搭载的计量仪器类、便携终端用的基站、飞行模拟器等。
第六实施方式
图9是示出第六实施方式所涉及的移动体的立体图。
作为图9所示的移动体的汽车1500内置有发动机系统、制动系统和无钥匙进入系统中的至少任一个系统1510、惯性计测装置1和信号处理电路1502，并能够通过惯性计测装置1来检测车身的姿态。惯性计测装置1的检测信号供给到信号处理电路1502，并且信号处理电路1502能够基于该信号来控制系统1510。
由此，作为移动体的汽车1500具有惯性计测装置1和基于从惯性计测装置1输出的检测信号进行控制的信号处理电路1502。因此，汽车1500能够享有前述的惯性计测装置1的效果，并能够发挥较高的可靠性。
另外，具备惯性计测装置1的移动体除了可以是汽车1500以外，例如还可以是机器人、无人机、电动轮椅、摩托车、航空器、直升机、船舶、电车、单轨电车、货物搬运用货仓、火箭、宇宙飞船等。
以上，基于图示的实施方式对本发明的惯性计测装置、电子设备及移动体进行了说明，但是本发明并不限定于此，各部分的构成可以置换为具有相同功能的任意构成。此外，本发明也可以附加其他任意的构成物。

Claims (12)

1.一种惯性计测装置，其特征在于，具有：
基板；
惯性传感器，配置在所述基板的第一面；
盖，覆盖所述惯性传感器并与所述基板接合；以及
端子，配置于所述基板并与安装对象物接合，
在从所述基板的厚度方向的俯视观察下，所述惯性传感器与端子连接部不重叠，并且位于比所述端子连接部更靠向所述基板的中央侧的位置，所述端子连接部是所述端子与所述基板的连接部分，
作为所述基板与所述盖的接合部分的盖接合部在所述俯视观察下位于所述端子连接部与所述惯性传感器之间，且所述盖接合部位于所述盖的各边的长度方向中央部，
在所述盖的下表面的各角部处，在所述盖与所述基板之间形成有间隙。
2.根据权利要求1所述的惯性计测装置，其特征在于，
所述基板具有在所述俯视观察下配置在所述惯性传感器与所述端子连接部之间的槽。
3.根据权利要求2所述的惯性计测装置，其特征在于，
所述槽在所述俯视观察下是包围所述惯性传感器的框状。
4.根据权利要求2或3所述的惯性计测装置，其特征在于，
所述槽在所述第一面开口。
5.根据权利要求2或3所述的惯性计测装置，其特征在于，
所述端子配置在与所述第一面相反侧的第二面，
所述槽在所述第二面开口。
6.根据权利要求2或3所述的惯性计测装置，其特征在于，
所述端子配置在与所述第一面相反侧的第二面，
所述槽具有在所述第一面开口的第一槽和在所述第二面开口的第二槽。
7.根据权利要求2所述的惯性计测装置，其特征在于，
所述槽在所述俯视观察下位于比所述盖接合部更靠向所述基板的中央侧的位置。
8.根据权利要求1所述的惯性计测装置，其特征在于，
所述基板具有贯通孔，所述贯通孔在所述俯视观察下偏离所述惯性传感器与所述端子连接部之间而配置，并在厚度方向上贯通所述基板。
9.根据权利要求1所述的惯性计测装置，其特征在于，
所述盖具有恒定电位。
10.根据权利要求1所述的惯性计测装置，其特征在于，
所述端子是从所述基板延伸的引线。
11.一种电子设备，其特征在于，具备：
权利要求1至10中任一项所述的惯性计测装置；以及
控制电路，基于所述惯性计测装置的输出信号进行控制。
12.一种移动体，其特征在于，具备：
权利要求1至10中任一项所述的惯性计测装置；以及
信号处理电路，基于所述惯性计测装置的输出信号进行信号处理。
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