CN101045387A - 液滴喷出方法、液滴喷出装置、显示装置及电子设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种液滴喷出方法，是在使具有从喷嘴喷出液滴的喷出部的喷出头、配置在与该喷出头相面对的位置上的基板相对移动的同时，根据向所述喷出部供给的驱动信号的电压波形将所述液滴向所述基板上喷出的液滴喷出方法，其特征是，对所述喷出头的所述喷嘴内部进行拍摄。

Description

液滴喷出方法、液滴喷出装置、显示装置及电子设备

本申请是基于申请号为200410092352.0、发明名称为“液滴喷出方法、液滴喷出装置、喷嘴异常判定方法、显示装置及电子设备”、申请日为2004年11月9日的专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及液滴喷出方法、液滴喷出装置、喷嘴异常判定方法、显示装置及电子设备。

背景技术

近年来，喷墨装置(液滴喷出装置)一般被作为喷墨打印机广泛使用。作为此种喷墨装置的特征，可以举出：可以实现喷头的小型化·高密度化、可以高精度地将极少量的墨液(液滴、液状体)打到目的位置上、不会被所喷出的墨液的种类、性质等左右、除了纸以外还可以适用于薄膜、布帛、玻璃基板、合成树脂基板、金属基板等任意的印刷介质、印刷时的噪音低、成本低等。

在此种喷墨装置中，由于当墨液的残存物或其他的污染物附着在喷头的喷嘴形成面上时，就会导致喷出液滴时的喷出精度的降低或喷出不良等，因此在液滴喷出前清洗喷嘴形成面或抽吸喷嘴内的墨液的方法是不可缺少的。

另外，近年来，提出有用照相机观察附着在喷嘴部上的墨液的异常、泡状的墨液残存物、墨液的污物等，进行墨液的抽吸除去的方法(例如参照专利文献1)。

专利文献1：特开平10-268127号公报

但是，喷墨装置的喷出不良除了所述的原因以外，还会因喷嘴直径的巨大化、喷嘴轮廓异常、喷嘴周边部及内部的疏液膜等的剥离、喷嘴内部的异物阻塞等引起。特别是，在作为工业用而喷出有机溶剂或酸、碱等腐蚀性的液状体的情况下，由于喷嘴内外暴露在腐蚀性的液状体中，因此容易产生这些原因。

在伴随由这些原因造成的喷出不良的状态下，继续利用液滴喷出方法的工业产品的制造时，就会生产出大量的不良产品，结果就会导致产品的成本上升。

发明内容

本发明是为了解决所述的问题而提出的，目的在于，提供一种可以早期并且可靠地检测出喷嘴的异常的液体喷出方法。特别是，其目的在于，提供一种能够早期地判定喷嘴的异常、并能够仅利用正常的喷嘴正常并且高精度地喷出液滴的喷嘴异常判定方法、液滴喷出装置、液滴喷出方法及可以在良好地形成喷嘴内的弯月面的状态下正常并且高精度地喷出液滴的液滴喷出方法、液滴喷出装置。另外，其目的在于，提供一种使用该液滴喷出装置制造的显示装置、具有该显示装置的电子设备。

为了达成所述的目的，本发明采用了以下的手段。

即，本发明的液滴喷出方法是作为从具有多个喷嘴的喷头将液状体作为液滴喷出而印刷的方法的液滴喷出方法，包括：拍摄所述喷嘴的内部至周边部的步骤、对于所述多个喷嘴的每一个取得能够识认所述喷嘴内部的弯月面的状态、所述喷嘴开口的形状、形成于所述喷嘴内外的表面膜的状态当中的至少一个的图像的步骤。另外，最好伴随着该液滴喷出方法，以所述图像信息为基础，判定所述各个喷嘴的喷出性能的良好与否。

这里，所谓印刷并不限定于所谓的使用墨液的印刷，也包含以在溶剂中分散有微细颗粒的液状体等作为液滴命中印刷介质并使该液滴固定于印刷介质上而形成图案为目的的印刷等。

所谓弯月面的状态是指，例如，填充于喷嘴内部的液状体的液面部(弯月面)的离开喷嘴开口的位置、弯月面与喷嘴内面的接触部的形状、弯月面和喷嘴内面的接触角、弯月面附近的异物的有无等。

所谓喷嘴开口的形状是指，例如，喷嘴开口(孔)的轮廓的形状、直径等。

所谓形成于喷嘴内外的表面膜的状态是指，形成于喷嘴内部至喷嘴周边部的疏水膜或保护膜等表面膜的膜厚分布、该膜的剥离的程度等。

所谓喷出性能的良好与否是指，所喷出的液滴的稳定性、关于直进性的程度或关于可靠性等的良好与否。对于产生了不喷出、液滴的飞行弯曲、命中精度的恶化、液滴量的不均、液雾的产生等喷出不良，或产生的可能性高的喷嘴(以下称为不良喷嘴)，判定为喷嘴异常。

作为判定异常的方法，有操作者观察所拍摄的图像并与正常的喷嘴形状比较来进行判定的方法、将所拍摄的喷嘴的周边部的图像输入计算机等运算装置来进行图像处理并自动地进行与正常的喷嘴形状的比较判定的方法。

根据该构成，由于能够以所得的图像为基础，早期并且可靠地检测出不良喷嘴，因此就可以预先防止继续利用伴随着喷出不良的液滴喷出方法进行工业产品的制造。另外，通过像这样早期并且可靠地发现不良喷嘴，就可以在大量地生产使用液滴喷出法形成的各种产品的不良之前使异常喷嘴复原或更换喷头。由此就可以大幅度地削减不良成本，从而可以实现产品的成本降低。

为了达成所述的目的，本发明采用了以下的手段。

即，本发明的喷嘴异常判定方法，是对具有用于喷出液滴的喷出部的喷头的喷嘴的异常进行判定的方法，其特征是，在拍摄了所述喷嘴的周边部后，对该喷嘴的形状和正常的喷嘴的形状进行比较，来判定所述拍摄的喷嘴的异常。

这样，由于与以往那样观察附着在喷嘴部上的液状体(墨液)的异常、墨液的泡状的残存物、墨液的污物的技术不同，在拍摄了喷嘴的周边部后与正常的喷嘴的形状进行比较来判定喷嘴的异常，因此就可以早期地发现该异常喷嘴。所以，由于不会在将异常喷嘴放置不管的状态下喷出液滴，因此就可以预先防止由异常喷嘴引起的液滴的喷出不良、液滴的飞行弯曲、命中精度的恶化、液滴量的不均、液雾的发生等。

另外，在操作者观察喷嘴周边部的图像来进行判断的情况下，就可以基于该操作者的知识和经验来判定喷嘴的异常。

另外，在使用运算装置进行了图像处理等的情况下，就可以使所述的喷嘴异常的判定自动化。

另外，通过使所述的异常喷嘴复原，或更换具有异常喷嘴的喷头，就可以使喷头的全部喷嘴都处于用于进行正常的喷出的良好的状态。所以，就能够喷出与由喷出部供给的驱动信号对应的液滴，从而可以实现液滴的命中位置的高精度化、液滴量的不均的减少、飞行弯曲的防止、液雾的抑制。

另外，通过对喷嘴的异常或正常进行判定，当判定为正常时以该状态使用即可，另外，在判定为异常时，进行喷嘴的复原或喷头的更换即可。所以，与仅定期进行喷嘴的复原或喷头的更换的情况相比，就不需要对正常的喷嘴进行无谓的复原动作，不需要无谓地更换具有正常的喷嘴的喷头。即，可以恰当地进行复原工序或更换工序。

另外，本发明是前面所述的喷嘴异常判定方法，其特征是，所述喷嘴的异常被判定为：利用复原动作可以实现喷嘴的复原的第1异常或利用复原动作不能实现喷嘴的复原的第2异常。

这样，例如在判定结果为第1异常的情况下，就可以使异常喷嘴复原，再次进行液滴喷出。另外，在判定结果为第2异常的情况下，就可以通过更换喷头自身，再次进行液滴喷出。

另外，对于被判定为第1异常的喷嘴，由于不更换喷头，而利用复原动作使喷嘴复原，所以，例如与判定了喷嘴的异常时直接更换喷头的情况相比，可以将更换喷头的工序简略化，从而可以节约喷头内的液状体。另外，就不会浪费例如像工业用的液状体那样高价的材料，从而可以实现生产成本的降低。

另外，本发明是前面所述的喷嘴异常判定方法，其特征是，在所述喷头将所述液滴喷出规定次数后，拍摄所述喷嘴的周边部。

这样，通过进行规定次数的液滴喷出，就可以拍摄因腐蚀等而变化了的喷嘴的状态。另外，通过像这样基于所拍摄的图像判定喷嘴的异常或正常，就可以发现在规定次数的液滴喷出间产生的异常喷嘴。

另外，本发明是前面所述的喷嘴异常判定方法，其特征是，将所述喷嘴的周边部放大或缩小而进行拍摄。

这样，在例如放大的情况下，就可以对喷嘴的形状进行详细地拍摄。另外，在缩小的情况下，可以对多个喷嘴同时进行拍摄。

为了达成所述的目的，本发明采用了以下的手段。

即，本发明的液滴喷出方法是在使具有从喷嘴喷出液滴的喷出部的喷头、配置在与该喷头相面对的位置上的基板相对移动的同时，根据向所述喷出部供给的驱动信号的电压波形将所述液滴向所述基板上喷出的液滴喷出方法，其特征是，在拍摄了所述喷嘴的周边部后，对该喷嘴的形状和正常的喷嘴的形状进行比较，来判定所述拍摄的喷嘴的异常。

这样，由于通过早期地发现异常喷嘴，可以在大量生产使用液滴喷出装置形成的各种产品的不良之前使异常喷嘴复原，或更换喷头，因此就可以大幅度地削减不良成本。即，可以不进行不良产品的修正，从而可以实现产品的成本降低。

为了达成所述的目的，本发明采用了以下的手段。

即，本发明的液滴喷出方法是在使具有从喷嘴喷出液滴的喷出部的喷头、配置在与该喷头相面对的位置上的基板相对移动的同时，根据向所述喷出部供给的驱动信号的电压波形将所述液滴向所述基板上喷出的液滴喷出方法，其特征是，对所述喷头的所述喷嘴内部进行拍摄。另外，最好基于通过拍摄所述喷嘴内部而取得的图像，判定所述喷嘴的良好与否。

这样，与以往那样观察附着在喷嘴部上的液状体(墨液)的异常、墨液的泡状的残存物、墨液的污物的技术不同，通过拍摄喷嘴的内部，就可以拍摄喷嘴内的液状体的状态。

另外，通过像这样基于所拍摄的喷嘴内部的图像，就能够判定喷嘴的良好与否，根据该判定结果改善不良的喷嘴，从而可以使喷头的全部喷嘴都处于用于进行正常的喷出的良好状态。

所以，就能够喷出与由喷出部供给的驱动信号对应的液滴，另外，可以实现液滴向基板上喷出的位置的高精度化(命中位置的高精度化)、液滴量的不均的降低。

另外，由于根据判定为正常的喷嘴和不良的喷嘴的结果来改善不良喷嘴，而正常的喷嘴在该状态下使用即可，因此，与单纯地对正常的喷嘴及不良的喷嘴的液状体都相同地抽吸的情况相比，就不需要无谓地对由正常的喷嘴抽吸的液状体进行抽吸。即，由于可以节约液状体，因此就不会浪费像工业用的液状体那样高价的材料，从而可以实现生产成本的降低。

另外，本发明是前面所述的液滴喷出方法，其特征是，在拍摄所述喷嘴内部时，主要拍摄填充于所述喷嘴内部的液状体和所述喷嘴的内面的接触状态。

这样，由于不是单纯地拍摄喷嘴内部，而是拍摄填充于喷嘴内部的液状体的液面部(弯月面)和喷嘴内面的接触状态，因此就可以对进行正常的液滴喷出所需的弯月面的良好与否进行判定，通过根据该判定结果改善不良的弯月面，就可以使全部的喷嘴的弯月面都处于用于进行正常的喷出的良好的状态。

所以，通过主要拍摄弯月面，就可以进一步促进所述的液滴喷出方法的效果。

另外，本发明是前面所述的液滴喷出方法，其特征是，在所述喷头将所述液滴喷出规定次数后，拍摄所述喷嘴内部。

这样，就可以拍摄通过进行规定次数的液滴喷出而变化了的喷嘴内部的状态。另外，通过像这样基于所拍摄的图像判定喷嘴的良好与否，就可以发现在规定次数的液滴喷出之间产生的不良喷嘴。

另外，本发明是前面所述的液滴喷出方法，其特征是，在拍摄所述喷嘴内部前，擦拭所述喷头的喷嘴形成面。

这样，由于可以通过擦拭除去附着在喷嘴形成面上的液状体的残存物，因此就可以将喷嘴形成面保持为洁净的状态。

另外，当在液状体的残存物附着在喷嘴附近的状态下喷出液滴时，会产生飞行弯曲而使命中精度降低，但是，由于通过像所述那样进行擦拭来除去导致飞行弯曲的液状体的残存物，因此就可以提高命中精度。

另外，本发明是前面所述的液滴喷出方法，其特征是，关于判定所述喷嘴的良好与否的结果，在该喷嘴被判定为不良的情况下，从所述喷头的喷嘴形成面经过所述喷嘴抽吸所述液状体。

这样，通过抽吸液状体，填充于喷头内的液状体经过喷嘴而流向喷嘴形成面侧，液状体在不良喷嘴内强制性地流动。所以，就可以将液状体填充在不良喷嘴内，并且，可以在该不良喷嘴内形成弯月面。

所以，就可以将不良喷嘴改善为能够正常地喷出液滴。

另外，本发明是前面所述的液滴喷出方法，其特征是，所述喷头具备多个喷嘴，关于判定该多个喷嘴的良好与否的结果，在至少一个被判定为不良的情况下，仅经过该不良喷嘴从所述喷嘴形成面抽吸所述液状体。

这样，就可以仅从多个喷嘴当中的不良喷嘴中抽吸液状体，在该不良喷嘴内填充液状体。这里，由于不从多个喷嘴当中的被判断为良好的喷嘴中抽吸液状体，因此就不会无谓地抽吸液状体。

所以，例如在填充了高价的液状体的喷头中，由于不需要无谓地抽吸液状体，因此就可以节约该液状体。

另外，本发明是前面所述的液滴喷出方法，其特征是，所述喷出头具备多个喷嘴，并且具备将该多个喷嘴按照规定数目的喷嘴分割而成的多个喷嘴区域，关于判定的所述多个喷嘴良好与否的结果，在至少一个喷嘴被判定为不良的情况下，通过具有该不良喷嘴的喷嘴区域从所述喷嘴形成面抽吸所述液状体。

这样，就可以仅从具有不良喷嘴的喷嘴区域抽吸液状体，在该不良喷嘴内填充液状体。这里，由于不从多个喷嘴当中的具有被判定为良好的喷嘴的喷嘴区域中抽吸液状体，因此就不会无谓地抽吸液状体。所以，在例如填充了高价的液状体的喷头中，由于不需要无谓地抽吸液状体，因此就可以节约该液状体。另外，由于在喷嘴间距微小的情况下，必须准备用于仅从一个喷嘴抽吸液状体的微小的抽吸部，因此液状体的抽吸就很困难，但是，由于像本发明那样，在从喷嘴区域中抽吸液状体的情况下，可以增大抽吸部的尺寸，因此就可以容易地进行液状体的抽吸。另外，与从全部喷嘴中抽吸液状体的情况相比，由于仅从具有不良喷嘴的喷嘴区域中抽吸液状体，因此可以节约液状体。

另外，本发明是前面所述的液滴喷出方法，其特征是，拍摄残留在所述喷头的喷嘴形成面上的液滴或污染物，判定该残留的液滴或污染物是否位于离所述喷嘴规定距离内。

这里，在拍摄喷嘴形成面上的液滴或污染物时，最好使用拍摄所述的喷嘴内部的摄像机。另外，当判定残留的液滴或污染物是否位于离喷嘴在规定距离内的结果为，该残留的液滴或污染物位于离喷嘴在规定距离内时，则最好除去该液滴或污染物，另外，当该残留的液滴或污染物位于离喷嘴在规定距离以外时，则最好放置该液滴或污染物不管。

为了实现所述的目的，本发明采用了以下的手段。

即，本发明的液滴喷出装置是在使具有从喷嘴喷出液滴的喷出部的喷头、配置在与该喷头相面对的位置上的基板相对移动的同时，根据向所述喷出部供给的驱动信号的电压波形将所述液滴向所述基板上喷出的液滴喷出装置，其特征是，具备拍摄所述喷头的所述喷嘴的周边部的摄像机、比较该摄像机所拍摄的喷嘴的形状和正常的喷嘴的形状而判定该拍摄的喷嘴的异常的判定部。

这样，由于通过早期地发现异常喷嘴，就可以在大量地生产使用液滴喷出装置形成的各种产品的不良之前使异常喷嘴复原或更换喷头，因此可以大幅度降低不良成本。即，不用进行不良产品的修正即可，从而可以实现产品的成本降低。

另外，本发明是前面所述的液滴喷出装置，其特征是，还具备擦拭所述喷头的喷嘴形成面而使所述喷嘴复原的复原部。

这样，通过复原部擦拭形成了被判定为所述的第1异常的喷嘴的喷嘴形成面，就可以使喷嘴恢复正常。

所以，利用喷嘴的复原，就可以实现液滴的命中位置的高精度化、液滴量的不均的减少、飞行弯曲的防止、液雾的抑制。

为了达成所述的目的，本发明采用了以下的手段。

即，本发明的液滴喷出装置是在使具有从喷嘴喷出液滴的喷出部的喷头、配置在与该喷头相面对的位置上的基板相对移动的同时，根据向所述喷出部供给的驱动信号的电压波形将所述液滴向所述基板上喷出的液滴喷出装置，其特征是，具备拍摄所述喷头的所述喷嘴内部的摄像机。另外，最好还具备基于该摄像机所拍摄的喷嘴内部的图像判定所述喷嘴的良好与否的判定部。

这样，由于通过早期地发现异常喷嘴，就可以在大量地生产使用液滴喷出装置形成的各种产品的不良之前使异常喷嘴复原或更换喷头，因此可以大幅度地削减不良成本。即，不用进行不良产品的修正，从而可以实现产品的成本降低。

另外，本发明中，通过拍摄所述喷嘴的周边部而取得的图像最好为彩色图像或单色图像。

这样，由于例如在彩色图像的情况下，可以确认喷嘴的形状或周边部的腐蚀状态等、附着在喷嘴附近的液状体的残存物等，因此就可以获得详细的拍摄信息。另外，在单色图像的情况下，由于可以将喷嘴的形状作为黑白的图像确认，因此可以用比彩色图像更简单的拍摄信息进行拍摄。

另外，本发明的显示装置的特征是，使用前面所述的液滴喷出装置制造。

这样，由于可以使规定的液体材料高精度地命中规定的位置而形成配线或象素等的图案，因此与公知的光刻技术相比，可以实现制造工序的简单化，从而可以制造廉价的显示装置。

另外，由于使用具有所述的摄像机的液滴喷出装置制造该显示装置，因此可以实现液滴喷出的高精度化(命中位置的高精度化)、液滴量的不均的减少。另外，可以大幅度地削减由于大量生产不良的显示装置而造成的不良成本，从而可以实现生产成本的降低。

另外，本发明的电子设备的特征是，具备前面所述的显示装置。

这样，就可以获得与前面所述的显示装置相同的效果，并且可以提供合适的电子设备。

作为此种电子设备，例如可以列举出携带电话、移动体信息终端、钟表、文字处理器、个人电脑等信息处理装置等。

附图说明

图1是表示本发明的液滴喷出装置的一个实施方式的概略立体图。

图2是喷头的分解立体图。

图3是喷头的主要部分的立体图。

图4是表示抽吸·擦拭单元的构成的构成图。

图5是表示照相机单元的构成的构成图。

图6是液滴喷出装置的功能方框图。

图7是表示向喷头供给的驱动信号的电压波形的一个例子的图。

图8(a)是表示喷嘴的主要部分的剖面图，是表示电压波形的期间t0～t1的弯月面的状态的图。(b)是表示喷嘴的主要部分的剖面图，是表示电压波形的期间t1～t2的弯月面的状态的图。(c)是表示喷嘴的主要部分的剖面图，是表示电压波形的期间t3～t4的弯月面的状态的图。(d)是表示喷嘴的主要部分的剖面图，是表示电压波形的期间t4～t6的弯月面的状态的图。

图9是表示喷嘴异常判定的处理的一个例子的流程图。

图10(a)是表示正常的喷嘴的状态的图。(b)是表示被判定为异常的喷嘴的状态的一个例子的图。(c)是表示被判定为异常的喷嘴的状态的一个例子的图。(d)是表示被判定为异常的喷嘴的状态的一个例子的图。

图11(a)是表示利用擦拭可以复原的程度的喷嘴的状态的一个例子的图。(b)是表示需要进行喷头20的更换的程度的喷嘴的状态的一个例子的图。

图12是表示喷嘴的喷出性能判定的处理的一个例子的流程图。

图13(a)是表示具有弯月面或被判定为正常的拍摄图像的一个例子的图。(b)是表示没有弯月面或被判定为不良的拍摄图像的一个例子的图。

图14(a)是表示判定为污染物不在离喷嘴规定的距离内的拍摄图像的一个例子的图。(b)是表示判定为污染物在离喷嘴规定的距离内的拍摄图像的一个例子的图。

图15是表示等离子型显示装置的一个例子的构成图。

图16(a)是表示构成液晶显示装置的图像显示区域的各种元件及配线的一个例子的电路图。(b)是表示液晶显示装置的主要部分的剖面放大图。

图17(a)是表示构成场致发射显示器的阴极基板和阳极基板的配置的概略构成图。(b)是场致发射显示器的阴极基板所具有的驱动电路图。(c)是表示场致发射显示器的阴极基板的主要部分的立体图。

图18是表示有机电致发光显示装置的一个例子的概略剖面图。

图19是表示电子设备的一个例子的图。

图中：20-喷头，20P-喷嘴形成面，23-抽吸·擦拭单元(复原部)，24-照相机单元(拍摄部)，100-液晶显示装置(显示装置)，211-喷嘴，240-压电元件(喷出部)，301-有机EL装置(显示装置)，400-场致发射显示器(显示装置)，500-等离子型显示装置(显示装置)，1000-携带电话(电子设备)，P-基板，V(t)-电压波形，IJ-液滴喷出装置，CONT-控制装置，150-中央控制部，153-抽吸部控制部，154-擦拭部控制部，155-扫描控制部，156-喷出控制部，157-第1移动装置控制部，158-第2移动装置控制部，160-拍摄控制部，161-拍摄图像处理部，162-判定部，163-判定条件存储部，164-比较判定部，165-喷头异常显示部。

具体实施方式

下面将参照附图对本发明的液滴喷出方法、液滴喷出装置、喷嘴异常判定方法、使用液滴喷出装置制造的显示装置及搭载了使用液滴喷出装置制造的显示装置的电子设备进行说明。图1是表示本发明的液滴喷出装置的一个实施方式的概略立体图。

而且，以下的说明中使用的各附图中，为了使各构件为可以识别的大小，对各构件的比例尺进行了适当的变更。

(液滴喷出装置)

图1中，液滴喷出装置IJ具备基座12、在基座12上支撑基板P的台架ST、夹隔在基座12和台架ST之间可以移动地支撑台架ST的第1移动装置14、可以向被台架ST支撑的基板P上喷出规定的液状体材料的喷头20、可以移动地支撑喷头20的第2移动装置16、贮藏从喷头20中喷出的液状体的罐(液状体贮留部)63、将该液状体向喷头20供给的液状体流路61、控制喷头20的液状体的喷出动作的控制装置CONT、设于基座12上的加帽单元22、抽吸·擦拭单元(复原部)23、照相机单元(摄像机)24。另外，包括为了进行液滴喷出动作而向喷头20供给的驱动信号的生成、第1移动装置14及第2移动装置16的驱动控制、抽吸·擦拭单元23的动作控制、照相机单元24的拍摄动作及所拍摄的图像的处理等在内的液滴喷出装置IJ的动作，由控制装置CONT控制。

第1移动装置14被设于基座12上，沿着Y轴方向定位。第2移动装置16被使用支柱16A、16A相对于基座12竖立地安装，被安装在基座12的后部12A上。第2移动装置16的X轴方向是与第1移动装置14的Y轴方向正交的方向。这里，Y轴方向是沿着基座12的前部12B和后部12A的方向。与之相对，X轴方向是沿着基座12的左右方向的方向，各自水平。另外，Z轴方向是与X轴方向及Y轴方向垂直的方向。

第1移动装置14例如由线性马达构成，具备导轨40、40、被沿着该导轨40可以移动地设置的滑块42。该线性马达形式的第1移动装置14的滑块42可以沿着导轨40在Y轴方向移动而定位。

另外，滑块42具有绕Z轴旋转(θZ)用的马达44。该马达44例如为直接驱动马达，马达44的转子被固定在台架ST上。这样，通过向马达4通电，就可以使转子和台架ST沿θZ方向旋转。

台架ST是保持基板P，并定位于规定的位置上的构件。另外，台架ST具有吸附保持装置50，通过吸附保持装置50动作而穿过台架ST的孔46A将基板P吸附保持在台架ST之上。

第2移动装置16由线性马达构成，具备被支柱16A、16A固定的立柱16B、由该立柱16B支撑的导轨62A、被可以沿着导轨62A在X方向移动地支撑的滑块60。

滑块60可以沿着导轨62A在X轴方向移动而定位，喷头20被安装在滑块60上。

喷头20具有作为旋转驱动装置的马达62、64、66、68。如果使马达62动作，则喷头20就可以沿Z轴上下移动而定位。该Z轴是与X轴和Y轴分别正交的方向(上下方向)。当使马达64动作时，喷头20就可以绕Y轴的β方向旋转而定位。当使马达66动作时，喷头20就可以绕X轴的γ方向旋转而定位。当使马达68动作时，喷头20就可以绕Z轴的α方向旋转而定位。即，第2移动装置16可沿X轴方向及Z轴方向移动地支撑喷头20，并且，可以沿θX方向(绕X轴)、θY方向(绕Y轴)、θZ方向(绕Z轴)旋转地支撑该喷头20。

像这样，图1的喷头20在滑块60中，可以沿Z轴方向直线移动而定位，并可以沿α、β、γ旋转而定位，喷头20的喷嘴形成面20P可以相对于台架ST侧的基板P准确地控制位置或姿势。而且，在喷头20的喷嘴形成面20P上设有喷出液状体的多个喷嘴。

下面，参照图2及图3，对喷头20的构造进行说明。

图2是表示喷头的分解立体图，图3是从剖面看图2的立体图的一部分的剖面图。

如图2所示，喷头20将设置有多个喷嘴的喷嘴板210及设置有振动板230的压力室基板220嵌入壳体250而构成。该喷头20的主要部构造如图3所示，具有将压力室基板220用喷嘴板210和振动板230夹持的构造。喷嘴板210，在与压力室基板220贴合时对应于空腔221的位置上，形成有喷嘴211。在压力室基板220上，通过蚀刻硅单晶基板等，设有多个分别可以作为压力室发挥作用的空腔221。空腔221间被侧壁(隔壁)222分离。空腔221借助供给口224与作为共用的流路的贮存室223连接。振动板230例如由热氧化膜等构成。振动板230上设有液状体罐口231，可以从图1的罐63经过液状体流路61而供给任意的液体。在振动板230上的相当于空腔221的位置上，形成有压电元件(喷出部)240。压电元件240具有将压力元件等压电性陶瓷的晶体用上部电极及下部电极(未图示)夹持的构造。压电元件240可以对应于由控制装置CONT供给的驱动信号的电压波形而产生体积变化。

另外，图2及图3所示的喷嘴板210由不锈钢等金属材料制成，此外，特别是在喷嘴211的内部至周边部，利用共析镀膜等成膜处理形成有作为表面膜的薄膜，从而形成以喷嘴211的周缘部为主确保了疏液性的状态。

在从喷头20中喷出液状体时，首先，控制装置CONT向喷头20供给用于喷出液状体的电压波形。液状体流入喷头20的空腔221，在被供给了喷出信号的喷头20中，其压电元件240根据加在其上部电极和下部电极之间的电压产生体积变化。该体积变化使振动板230变形，从而使空腔221的体积变化。其结果是，从喷嘴211中喷出液状体的液滴。在喷出了液状体的空腔221中因喷出而减少了的液状体又重新由罐供给。

而且，所述喷头虽然是使压电元件产生体积变化而喷出液状体的构成，但是也可以是利用发热体对液状体加热，利用其膨胀而喷出液滴的喷头构成。另外，也可以是通过利用静电使振动板变形而产生体积变化，从而将液滴喷出的喷头构成。

第2移动装置16通过使喷头20沿X轴方向移动，就可以使喷头20选择性地定位于抽吸·擦拭单元23或加帽单元22的上部。即，即使在器件制造作业的中途，例如如果将喷头20移动至抽吸·擦拭单元23上，则可以进行喷头20的清洁或不良喷头的复原。如果将喷头20移动至加帽单元22上，则可以对喷头20的喷嘴形成面20P实施加帽，或将液状体填充到空腔221中，或使喷出不良复原。即，抽吸·擦拭单元23及加帽单元22在基座12上的后部12A侧，被与台架ST分离地配置在喷头20的移动路径的正下方。基板P向台架ST的搬入操作及搬出操作由于是在基座12的前部12B侧进行，因此不会因该抽吸·擦拭单元23或加帽单元22而给操作带来阻碍。

另外，作为从所述的喷头20中喷出的液状体，例如可以采用含有形成滤色片时使用的着色材料的墨液、含有形成金属配线时使用的金属微粒等材料的分散液、含有形成有机电致发光装置时使用的PEDOT:PSS等空穴注入/输送材料或发光材料等有机电致发光物质的溶液、含有形成液晶装置时使用的液晶材料等高粘度的功能性液体、形成微透镜时使用的材料的功能性液体、形成DNA芯片之类的微阵列时使用的蛋白质等生物高分子溶液等对应于各种目的的材料的液状体。

另外，基板P由以透明性材料为代表的玻璃基板等透明性基板、由塑料等构成的树脂基板、金属基板等制成。

加帽单元22具有如下功能，即，在液滴喷出装置IJ不进行液滴喷出的状态下，例如在将基板P向液滴喷出装置IJ搬入或搬出的状态等待机状态下，用帽覆盖喷嘴形成面20P，使喷头20的喷嘴形成面20P不干燥而保持湿润状态。

(抽吸·擦拭单元)

图4是表示抽吸·擦拭单元的构成的构成图。抽吸·擦拭单元23如图4所示，由抽吸部80a、擦拭部80b构成。

抽吸部80a具备帽81和抽吸泵82。抽吸部80a利用帽81覆盖喷头20，利用抽吸泵82使帽81内减压，利用该减压作用，抽吸喷头20内的气泡或液状体等。此时，由于帽81会覆盖多个喷嘴的全部，因此在实施抽吸动作时，就会从全部的喷嘴中抽吸液状体。

擦拭部80b具备擦拭器83和驱动部84。擦拭部80b在使擦拭器83和喷头20的喷嘴形成面20P接触的状态下，通过驱动擦拭器83，对该喷嘴形成面20P进行擦拭(wiping)。

此种抽吸·擦拭单元23在液滴喷出装置IJ的动作中或待机时，就会实施喷头20的喷嘴形成面20P的清洁或异常喷嘴的复原，可以定期地或者在每个规定动作时间或随时地进行。该抽吸·擦拭单元23既可以根据储存在控制装置CONT中的程序动作，也可以与后述的照相机单元24连动地动作。

另外，此种擦拭部80b最好相对于图2所示的多个喷嘴211的排列方向沿直角方向进行擦拭动作。这样，在擦拭动作中，就可以防止附着在擦拭器83上的液状体侵入喷嘴211内。

而且，在所述的抽吸·擦拭单元23中，虽然驱动擦拭器83，但是也可以将擦拭器83固定，而使喷头20移动，通过在擦拭器83上擦涂来进行擦拭。

(照相机单元)

图5是表示照相机单元24的构成的构成图。

照相机单元24如图5所示，具备拍摄部91、照明部92、半透镜93、光纤电缆94、镜筒95，形成与控制装置CONT连接的构成。

拍摄部91是由CCD或CMOS传感器等构成的照相机。照明部92是由卤灯、钨灯、LED灯等构成的构件。半透镜93是将照明部92的照明光向镜筒95的出射口95a侧反射并且使拍摄对象的像透过而在拍摄部91显像的构件。光纤电缆94是将向镜筒95入射的拍摄对象的像传递给拍摄部91的构件。镜筒95具有未图示的透镜。照明部92的照明量或透镜(未图示)的光学倍率利用控制装置CONT的作用，被与拍摄对象吻合地控制。

照相机单元24将喷头20的喷嘴内部至周边部作为拍摄对象。拍摄部91利用控制装置CONT的作用，将拍摄对象作为单色图像或彩色图像而显像，或以规定的倍率对拍摄对象进行拍摄，从而可以对拍摄对象的详细部分进行放大拍摄，或为了看见拍摄对象的整体而进行缩小拍摄。例如，通过调整倍率，就可以看到喷嘴形成面20P上的多个喷嘴当中的10个～20个左右的喷嘴，或看到2个～5个喷嘴。拍摄部91所拍摄的图像数据被送至控制装置CONT。

(控制装置)

下面，参照图6，对控制装置进行说明。图6是液滴喷出装置的功能方框图。

图6中，控制装置CONT具有总括所有液滴喷出装置IJ的动作控制的中央控制部150。控制装置CONT还具有用于进行抽吸·擦拭单元23(参照图4)的动作控制的抽吸部控制部153及擦拭部控制部154、用于对图案印刷的扫描控制及喷出控制进行总括控制的扫描控制部155、用于进行照相机单元24的拍摄控制的拍摄控制部160、用于判定所拍摄的喷嘴的喷出性能的良好与否的判定部162。

扫描控制部155可以对进行喷头20的喷出控制的喷出控制部156、进行第1移动装置14(参照图1)的驱动控制的第1移动装置控制部157(参照图1)、进行第2移动装置16(参照图1)的驱动控制的第2移动装置控制部158同步地控制。此外，利用扫描控制部155的控制，可以进行后述的图案印刷。另外，扫描控制部155起到利用所述的照相机单元24的控制喷头的拍摄位置的作用。

拍摄控制部160如上所述，进行照明部92的照明量或单色图像/彩色图像的选择、拍摄对象的倍率的控制等。另外，通过控制第1移动装置控制部157及第2移动装置控制部158，改变照相机单元24和喷头20的相对位置，控制拍摄对象的位置。

利用拍摄控制部160的作用，对成为对象的各个喷嘴，取得喷嘴内部的弯月面的状态、喷嘴开口的形状、形成于喷嘴内外的表面膜(薄膜)的状态当中的至少一个可以识认的图像，所取得的该图像被送至判定部162。

判定部162具有判定条件存储部163，该判定条件存储部163针对喷嘴的轮廓形状或薄膜的状态而预先储存了正常的状态下的喷嘴的图像信息(以下称为参照图像)。另外，具有将由拍摄部91送来的图像和参照图像进行比较，从而判定喷嘴异常的比较判定部164。而且，参照图像经由操作者的输入或借助电通信线路而被储存。

参照图像例如为正常的喷嘴形状的图像数据，将该正常的喷嘴形状和照相机单元24拍摄的喷嘴形状进行比较，判定拍摄的喷嘴为异常还是正常。另外，不仅单纯地对喷嘴的异常或正常进行判断，而且还判定异常喷嘴的程度，例如，判定是可以利用抽吸·擦拭单元(复原部)23使喷嘴复原的程度(第1异常)还是必须进行喷头20的更换的程度(第2异常)。由判定部162判定的判定结果被送至中央控制部150。

(液滴喷出方法)

从这里开始，对作为向基板P上印刷图案的方法的液滴喷出方法进行说明。首先对喷头20的液滴喷出动作进行说明，然后，说明液滴喷出装置IJ的动作，最后对喷嘴的喷出性能判定进行说明。

(喷头的液滴喷出动作)

最初，参照图7及图8对喷头20的液滴喷出动作进行具体地说明。

图7是表示由喷头供给的驱动信号的电压波形的一个例子的图。另外，图8是表示喷嘴的主要部分的剖面图，是表示伴随着电压波形的变化的该喷嘴的液状体的状态的图。

在喷出控制部156(参照图6)中生成的图7所示的电压波形V(t)被向喷头20的压电元件240供给，喷头20将液状体液滴化而喷出。

下面对具体的液滴喷出的过程进行说明。利用向压电元件240供给电位V1并维持稳定状态的期间t0～t1、向压电元件240供给电位V2而使喷头20的空腔221膨胀的期间t1～t2、维持喷头20的空间15的膨胀的期间t2～t3、向压电元件240供给电位V3而使喷头20的空腔221收缩的期间t3～t4、维持喷头20的空腔221的收缩的期间t4～t5、向压电元件240供给电位V1而解除喷头20的空腔221的收缩的期间t5～t6，从喷嘴喷出1滴液滴。

而且，在喷头的液滴喷出动作中，从喷嘴喷出的液滴数(液滴喷出次数)在中央控制部150(参照图6)中被计数。

参照图8，对相对于此种图7所示的电压波形，喷嘴211的附近的液状体变动的状态进行说明。

在期间t0～t1中，喷嘴211内的液状体Q的液面部(弯月面)成为在喷嘴211内稳定的状态。在喷嘴211的内部，如后述所示，弯月面从喷嘴形成面20P侧看形成凹面形状。通过在喷嘴211内以凹面形状形成该弯月面，就可以从喷嘴211正常地喷出液滴。另外，从喷嘴形成面20P侧看到的喷嘴211的形状成为正常的形状。在喷嘴211的形状为异常的情况下，就会产生液滴的喷出不良、液滴的飞行弯曲、液滴量的误差等，从而无法进行正常的液滴喷出。另外，在该弯月面未形成凹面形状时，就会产生液滴的喷出不良、液滴的飞行弯曲、液滴量的误差等，无法进行正常的液滴喷出。

在期间t1～t2中，通过向压电元件240供给电位V2，空腔221膨胀，喷嘴211附近的液状体Q被向空腔221侧拉近。

在期间t3～t4中，通过向压电元件240供给电位，膨胀的空腔逐个收缩，液状体Q被向喷嘴211的外部压出。

在期间t4～t6中，在向压电元件240完全地供给电位V3后，液状体Q从喷嘴211液滴化，喷嘴211喷出液滴Q’。当该液滴Q’被喷出时，在该瞬间，喷嘴211内的液状体Q虽然振动而成为不稳定的状态，但是，在期间t5～t6中，通过压电元件240的电位从V3返回V1，空腔221略为膨胀，就可以抑制喷嘴211的液状体Q的振动。像这样，由于喷出液滴Q’后的液状体Q被在喷嘴211内维持稳定的状态，因此弯月面再次形成凹面形状，进行下次的液滴喷出的准备。

如以上说明所示，在喷头20中，根据供给压电元件240的电压波形V(t)，从喷嘴211中，液状体Q被液滴化，喷出液滴Q’。

此外，特别是由于以良好的凹面形状形成喷嘴211内的液状体Q的弯月面，另外，由于喷嘴211的形状为正常，因此该液滴Q’的喷出状态变为正常，不会产生喷出不良，抑制了液滴Q’的飞行弯曲，液滴量变得均一，从而可以获得理想的命中精度。

(液滴喷出装置IJ的动作)

下面，参照图1及图6对液滴喷出装置IJ的动作进行详细说明。

首先，图1中，搬送装置(未图示)将基板P从台架ST的前部12B搬入该台架ST。另外，台架ST对基板P进行吸附保持并定位。此外，马达44动作，基板P的端面被设定为与Y轴方向平行。

然后，将液状体填充到喷头20中，进行图案印刷。图案印刷是在使喷头20和基板P沿X轴方向/Y轴方向相对移动的同时，向基板P上从喷头20的规定的喷嘴中以规定宽度喷出液状体来进行的。

具体来说，首先，喷头20在相对于基板P沿+X方向移动的同时进行喷出动作。当喷头20和基板P的第1次的相对移动(扫描)结束后，使支撑基板P的台架ST相对于喷头20沿Y轴方向移动规定量的步长，使喷头20相对于基板P例如沿-X方向进行第2次的相对移动(扫描)，同时进行喷出动作。通过反复进行多次该动作，喷头20就根据扫描控制部155的控制喷出液状体，在基板P上形成规定的图案。其后，解除利用台架ST进行的吸附保持，搬送装置将基板P从台架ST中搬出。

此种扫描控制是通过图6的扫描控制部155对喷出控制部156、第1移动装置控制部157、第2移动装置控制部158的各控制部进行同步控制来进行的。

在此种利用液滴喷出装置IJ进行的一连串的液滴喷出方法中，由于喷出腐蚀性的液状体，因此喷嘴就暴露在该腐蚀性的液状体中。这样，喷嘴的轮廓就会腐蚀而变形，或者其直径变大，或产生薄膜的剥离，从而有导致液滴的喷出不良、液滴的飞行弯曲、液滴量的误差等情况。该状态下，就无法进行正常的液滴喷出。

另外，伴随着液滴喷出，喷嘴内的弯月面被破坏，也会有导致液滴的喷出不良、液滴的飞行弯曲、液滴量的误差等情况。该状态下，就无法进行正常的液滴喷出。

像这样，有时因液滴喷出装置IJ的动作过程，造成喷嘴的喷出性能的降低的情况，作为其对策，需要拍摄喷头20的喷嘴，将所拍摄的喷嘴的图像与预先储存在判定条件存储部163中的参照图像进行比较，判定所拍摄的喷嘴是异常还是正常。

具体来说，需要比较所拍摄的喷嘴的形状和预先储存在判定条件存储部163中的正常的喷嘴形状，判定所拍摄的喷嘴是异常还是正常，另外，判定是可以利用抽吸·擦拭单元23复原的程度的异常、还是需要进行喷头20的更换的程度的异常。另外，判定是可以利用抽吸·擦拭单元23复原的程度的异常、还是需要进行喷头20的更换的程度的异常。

或者，需要拍摄喷头20的喷嘴，确认有无弯月面被破坏的不良喷嘴，在有该不良喷嘴的情况下，利用抽吸·擦拭单元23将不良喷嘴复原。

(喷嘴的喷出性能判定的实施例1)

下面，参照图6、图9、图10、图11，对喷嘴的喷出性能判定的实施例1进行说明。

图9是表示喷嘴异常判定的处理的一个例子的流程图。该流程图中，对流程的整体进行统一管理的是图6的中央控制部150。

首先，如所述的「喷头的液滴喷出动作」中所说明的那样，确认利用中央控制部150计数的喷头20的喷出次数的数据(喷出次数数据存储器)(步骤1)。而且，这里所说的喷出次数是指对于各喷嘴的平均值。

然后，判定从喷头20中喷出的液滴的喷出次数是多于还是少于规定次数(步骤2)。这里，所谓规定次数是预先设定在中央控制部150中的次数。

此外，在喷出次数少于规定次数的情况下(否的情况)，判定为没有必要拍摄喷嘴的形状，转移到液滴喷出动作等下一个处理(步骤3)。

另外，在喷出次数多于规定次数的情况下(是的情况)，判定为有必要拍摄喷嘴的形状，进行后述的一连串的喷嘴异常判定方法。

然后，进行用于拍摄喷头20的喷嘴形成面20P的喷嘴面的拍摄(步骤4)。参照图1及图5对具体的动作进行说明。首先，图1中，驱动第1移动装置14及第2移动装置16，使喷头20向与照相机单元24的镜筒95的出射口95a相面对的位置移动。然后，当图5的照明部92射出照明光时，半透镜93使照明光向出射口95a侧反射。此外，被照明光照出的喷嘴形成面20P的像透过半透镜93，经过光纤电缆94而被拍摄部91接收。

此种喷嘴面的拍摄是利用图6的拍摄控制部160的控制进行的。其结果是，拍摄部91中，可以获得喷嘴周边部的图像，特别在本实施例中，可以获得能够识认喷嘴的轮廓及喷嘴附近的薄膜的状态的图像，所获得的图像被送至判定部162。

再次回到图9，然后，根据所拍摄的喷嘴的图像判定该喷嘴是否异常(步骤5)。

该判定是通过将所拍摄的喷嘴的周边部的图像和预先储存在判定条件存储部163中的参照图像用比较判定部164进行比较来进行的。

具体来说，例如，比较该喷嘴的形状和成为判定基准的正常的喷嘴的形状，判定喷嘴是异常还是正常，即，判定喷嘴是否直径扩大化、喷嘴的轮廓是否不良、喷嘴附近的薄膜(共析镀膜等)是否剥离。该判定结果被传递至中央控制部150。

此外，在判定为所拍摄的喷嘴为正常的情况(「良好」的情况)下，由于不需要使该喷嘴复原或更换喷头20，因此就转移至液滴喷出动作等下一个处理(步骤3)。

另外，在判定为喷嘴为异常的情况(「不良」的情况)下，转移至下面的步骤6。

这里，参照图10对判定了喷嘴形成面20P的喷嘴的形状的异常的结果的一个例子进行说明。该图10表示拍摄部91所拍摄的图像。图10(a)是表示判定基准的正常喷嘴的形状的图，图10(b)～图10(d)是表示被判定为异常的喷嘴的形状的图。

如图10(a)所示，正常的喷嘴为在喷嘴形成面20P上未看到腐蚀，喷嘴形成面上的薄膜(共析镀膜等)也未剥离的状态。

与之相反，如图10(b)～图10(d)所示，被判定为异常的喷嘴在喷嘴形成面20P上，其轮廓变形，可以看到作为薄膜的腐蚀位置的腐蚀部V、W、X。该腐蚀是因暴露在腐蚀性的液状体中而形成的部位。在此种部位存在的状态下进行液滴喷出的情况下，就会导致喷出不良或命中精度降低、液雾产生等问题。

像这样，通过判定部将可以看到如图10(b)～图10(d)所示的腐蚀部V、W、X的喷嘴与图10(a)的正常的喷嘴进行比较，即判定为异常。

再次回到图9，在步骤6中，详细地判定步骤5中被判定为异常的喷嘴为何种程度的异常。该判定也与步骤5相同，由判定部162进行，判定结果被传递至中央控制部150。

具体来说，判定是可以利用抽吸·擦拭单元23使喷嘴复原的程度(第1异常)还是必须进行喷头20的更换的程度(第2异常)。因而，在与正常的喷嘴的差较大的情况(是的情况)下，判定为喷头20的不良，中央控制部150进行命令，在显示器等显示部(喷头异常显示部165)中显示表示喷嘴面异常的信息和敦促更换喷头20的信息(步骤7)，喷嘴异常判定方法即结束。

另外，在与正常喷嘴的差较小的情况(否的情况)下，转移至下面的步骤8。

步骤7中，在显示了喷嘴面的异常的情况下，基于显示器的显示，操作者通过更换喷头，使液滴喷出装置IJ再起动，从而该液滴喷出装置IJ即良好地运行。

而且，对于喷头20的更换，也可以通过使液滴喷出装置IJ具备进行喷头的更换的更换部，来自动地进行。

这里，参照图11，对作为可以利用抽吸·擦拭单元23使喷嘴复原的程度的异常的喷嘴和作为必须进行喷头20的更换的程度的异常的喷嘴的一个例子进行说明。

图11(a)是表示可以利用擦拭复原的程度的喷嘴的图，图11(b)是表示必须进行喷头20的更换的程度的喷嘴的图。

图11(a)中，在喷嘴形成面20P上，在喷嘴211的附近可以看到以符号Z1～Z3表示的薄膜的腐蚀部。另外，喷嘴211的附近的薄膜处于未剥离的状态。此种喷嘴形成面20P中，虽然在喷嘴211的周缘部形成有腐蚀部Z3，但是判定部162与正常喷嘴的形状比较的结果是，判定为不是导致喷出不良、命中精度降低、液雾的产生的腐蚀，另外，判定为可以利用擦拭来复原。

另外，图11(b)中，喷嘴211的附近的薄膜弯曲剥离掉，剥离部Z4露出。此种喷嘴形成面20P中，判定部162与正常的喷嘴的形状比较的结果是，判定为导致喷出不良、命中精度降低、液雾的产生，另外，判定为需要进行喷头20的更换。

再次回到图9，在步骤8中，判定喷嘴形成面20P的擦拭次数是否在规定次数以上。具体来说，比较中央控制部150所计数的擦拭次数和预先在中央控制部150中设定的设定次数，判定擦拭次数是否在规定次数以上。

此外，在擦拭次数多于规定次数的情况(是的情况)下，转移至步骤7，如已经说明的那样进行处理。

另外，在擦拭次数少于规定次数的情况(否的情况)下，转移至步骤9，中央控制部150向擦拭部控制部154发出命令以擦拭喷嘴面。此外，利用抽吸·擦拭单元23的擦拭部80b进行喷嘴形成面20P的擦拭，回到步骤4。

如上所述，本实施例中，与象以往那样观察附着在喷嘴周边的液状体(墨液)的异常、墨液的泡状的残存物、墨液的污物的技术不同，由于在拍摄了喷嘴的周边部后与正常的喷嘴的形状比较来判定喷嘴的异常，因此就可以早期地发现该异常喷嘴。所以，由于不会在将异常喷嘴放置不管的状态下喷出液滴，因而就可以预先防止由异常喷嘴引起的液滴的喷出不良、液滴的飞行弯曲、命中精度的恶化、液滴量的不均、液雾的产生等。

另外，通过像这样早期发现异常喷嘴，就可以在大量生产使用液滴喷出法形成的各种产品的不良之前使异常喷嘴复原，或更换喷头，因此就可以大幅度地削减不良成本。即，不用进行不良产品的修正，从而可以实现产品的成本降低。

另外，在操作者观察喷嘴周边部的图像进行判断的情况下，可以基于该操作者的知识或经验来判定喷嘴的异常。

另外，在使用控制装置CONT进行图像处理等的情况下，可以使所述的喷嘴异常的判定自动化。

另外，通过使所述的异常喷嘴复原，或更换具有异常喷嘴的喷头20，就可以使喷头20的全部喷嘴都处于用于进行正常的喷出的良好的状态。所以，就可以喷出与由压电元件240供给的电压波形V(t)对应的液滴，从而可以实现液滴的命中位置的高精度化、液滴量的不均的降低、飞行弯曲的防止、液雾的控制。

另外，通过判定喷嘴的异常或正常，在判定为正常时以该状态使用即可，另外，在判定为异常时则进行喷嘴的复原或喷头的更换即可。所以，与单纯地定期进行喷嘴的复原或喷头的更换的情况相比，就不需要对正常的喷嘴进行无谓的复原动作，不需要无谓地更换具有正常的喷嘴的喷头20。即，可以恰当地进行复原工序或更换工序。

另外，在控制装置CONT的判定结果为可以利用擦拭使喷嘴复原的程度的情况下，可以使异常喷嘴复原而再次进行液滴喷出。另外，在判定结果为需要进行喷头的更换的情况下，通过更换喷头自身，可以再次进行液滴喷出。

另外，在被判定为所述的可以复原的程度的喷嘴中，由于不更换喷头，而利用复原动作使喷嘴复原，因此与例如在判定了喷嘴的异常时直接更换喷头20的情况相比，可以使更换喷头20的工序简略化，从而可以节约喷头20内的液状体。另外，不会浪费例如像工业用的液状体那样高价的材料，从而可以实现生产成本的降低。

另外，在喷头20喷出规定次数液滴后，通过拍摄喷嘴的周边部，就可以拍摄薄膜(共析镀膜等)的因腐蚀等而变化了的喷嘴的状态。另外，通过像这样基于所拍摄的图像判定喷嘴的异常或正常，就可以发现在规定次数的液滴喷出之间产生的异常喷嘴。

另外，在将所述喷嘴的周边部放大拍摄的情况下，可以详细地拍摄喷嘴的形状。另外，在缩小的情况下可以同时地拍摄多个喷嘴。

另外，由于所拍摄的图像为彩色图像或单色图像，因此在彩色图像的情况下可以确认喷嘴的形状或周边部的薄膜(共析镀膜等)的腐蚀状态等、附着在喷嘴附近的液状体的残存物等，从而可以获得详细的拍摄信息。另外，由于在单色图像的情况下可以将喷嘴的形状作为黑白的图像确认，因此就可以用比彩色图像更简单的拍摄信息进行拍摄。

(喷嘴的喷出性能判定的实施例2)

下面，参照图6、图12、图13、图14，对喷嘴的喷出性能判定的实施例2进行说明。

图12是表示喷嘴的喷出性能判定的处理的一个例子的流程图。该流程图中，对流程的整体进行统一管理的是图6的中央控制部150。

首先，如图12所示，判定从喷头20喷出的液滴的喷出次数是多于还是少于规定次数(步骤1)。

这里，液滴的喷出次数如所述的「喷头的液滴喷出动作」中说明所示，是由中央控制部150计数的从喷头20中喷出的液滴数。另外，所谓规定次数是在中央控制部150中预先设定的次数。而且，这里所说的喷出次数是指对于各喷嘴的平均值。

此外，在喷出次数少于规定次数的情况(否的情况)下，判定为不需要进行喷嘴观察，转移至液滴喷出动作等的下一个处理(步骤2)。另外，在喷出次数多于规定次数的情况(是的情况)下，判定为需要进行喷嘴观察，进行后述的一连串的喷嘴观察。

然后，进行喷头20的喷嘴形成面20P的抽吸动作(步骤3)。该抽吸动作是在所述的图1及图4所示的抽吸·擦拭单元23中进行。

参照图4对具体的动作进行说明。首先，将帽81与喷头20的喷嘴形成面20P连接。然后，在该状态下，抽吸泵82抽吸由喷头20和帽81形成的空间的空气。通过抽吸该空间，将喷头20的喷嘴面的附着物、流路内的气泡等与液状体一起抽吸。通过进行此种抽吸，例如喷出空缺或不良喷嘴就会复原。

此种抽吸动作是通过图6的中央控制部150向抽吸部控制部153发出抽吸的命令，抽吸部控制部153驱动控制抽吸部80a来进行的。而且，进行此种抽吸动作的实施次数被中央控制部150计数并储存，如后述所示，成为判定喷头20的不良所必需的信息。

另外，由抽吸泵82所抽吸的抽吸量为预先由抽吸部控制部153设定的值。

再次回到图12，然后，进行喷头20的喷嘴形成面20P的擦拭动作(步骤4)。该擦拭动作是在所述的图1及图4所示的擦拭单元23中进行的。对于擦拭动作的详细情况，由于已经说明，因此省略。

此种擦拭动作是通过图6的中央控制部150向擦拭部控制部154发出擦拭的命令，擦拭部控制部154驱动控制擦拭部80b而进行的。而且，进行此种擦拭动作的实施次数被中央控制部150计数并储存，如后述所示，成为判定擦拭器83的良好与否所必需的信息。

然后，进行用于拍摄喷头20的喷嘴形成面20P的喷嘴面观察(步骤5)。该喷嘴面观察是在照相机单元24中进行的。对于喷嘴面观察动作的详细情况，由于已经说明，因此省略。

此种喷嘴面观察是由图6的拍摄控制部160的控制完成的。其结果是，拍摄部91中，可以获得喷嘴周边部的图像，特别是在本实施例中，可以获得能够识认喷嘴内的弯月面的状态的图像，所获得的图像被送至判定部162。

然后，在拍摄了喷嘴形成面20P后，基于将喷嘴内部放大而拍摄的图像，进行该喷嘴内的弯月面的状态的判定(步骤6)。具体来说，进行在喷嘴内部是否良好地形成弯月面的判定，换言之，对弯月面的有无(良好与否)进行判定。

弯月面的有无(良好与否)是利用反映了照射光在弯月面上的反射光的喷嘴内部的亮度来判定的。另外，该判定也可以利用弯月面的液状体的颜色来进行。使用哪一种判定方法可以根据拍摄图像是单色图像还是彩色图像来选择，另外也可以同时使用两种方法。

此种弯月面的状态的判定利用图6的判定部162进行，判定结果被送至中央控制部150。此外，在没有弯月面的情况(否的情况)下，判断为喷嘴不良而转移到下面的步骤7。另外，在有弯月面的情况(是的情况)下，判定为喷嘴良好，转移到下面的步骤8。

这里，参照图13，对判定了喷嘴形成面20P的喷嘴内部的弯月面的有无(良好与否)的结果的一个例子进行说明。该图13表示拍摄部91所拍摄的图像。另外，图13(a)是表示判定为有弯月面或正常的喷嘴的状态的图，图13(b)是表示判定为没有弯月面或不良的喷嘴的状态的图。

如图13(a)所示，在被判定为有弯月面或正常的喷嘴中，在喷嘴内部可以看到照明光的反射部X。与之相反，如图13(b)所示，在判定为没有弯月面或不良的喷嘴中，在喷嘴内部，可以看到黑色部Y。该黑色部Y为照明光不反射的部分，意味着成为弯月面的液状体并未形成。

再次回到图12，在步骤7中，比较由中央控制部150储存的抽吸动作的实施次数和预先设定的规定次数，判定抽吸动作的实施次数是多于还是少于规定次数。

此外，在实施次数多于规定次数的情况(是的情况)下，判定为喷头20的不良(步骤7A)，中央控制部150向显示器等显示部(喷头异常显示部165)发出命令，使之显示敦促喷头20的更换的信息，流程结束(步骤7B)。另外，在实施次数少于规定次数的情况(否的情况)下，回到步骤3，进行抽吸动作，其后基于所述的各步骤进行处理。

步骤8中，在拍摄了喷嘴形成面20P后，基于拍摄喷嘴附近的图像，进行该喷嘴的周围的污染物的有无的判定。

污染物的有无是利用反映了照射光在污染物上的反射光的亮度的差异来判定的。另外，该判定也可以利用喷嘴形成面20P的颜色的差异来进行。使用哪一种判定方法可以根据拍摄图像是单色图像还是彩色图像来选择，另外也可以同时使用两种方法。

此种污染物的有无的判定也是利用图6的判定部162进行。此外，在喷嘴的周围有污染物的情况(是的情况)下，转移到下面的步骤9。在喷嘴的周围没有污染物的情况(否的情况)下，将判定结果返回到图6的中央控制部150，转移到下面的步骤10。

步骤9中，对附着在喷嘴周围的污染物是否在离开喷嘴规定的距离内进行判定。该判定在控制装置CONT中进行。而且，在污染物处于规定的距离内的情况(是的情况)下，将该判定结果返回图6的中央控制部150，移到下面的步骤11。另外，在污染物处于规定的距离内的情况(否的情况)下，将该判定结果返回图6的中央控制部150，移到下面的步骤10。

这里，参照图14，对判定了喷嘴形成面20P的污染物是否在离喷嘴211规定的距离内的结果的例子进行说明。该图14表示拍摄部91所拍摄的图像。另外，图14(a)是判定为污染物不在离喷嘴211规定的距离内的图，图14(b)是判定为污染物在规定的距离内的图。

如图14(a)所示，在判定为污染物不在离喷嘴211规定的距离内的情况下，在离喷嘴211距离L的范围以外可以看到污染物Z。与之相反，如图14(b)所示，在判定为污染物在规定的距离内的喷嘴中，在离喷嘴211距离L的范围内可以看到污染物Z。

在像这样污染物Z存在于比喷嘴211更远的位置，即比距离L更长的距离处的情况下，该污染物Z就不会对液滴的喷出造成影响。与之相反，当污染物Z存在于喷嘴211的附近，即比距离L更短的距离处时，则该污染物Z就会导致液滴的飞行弯曲或命中精度的降低。

再次回到图12，在步骤10中，进行液滴喷出动作等的下一个处理。在此种步骤10中，由于经过所述的喷嘴面观察喷嘴的弯月面的状态为良好，因此如参照图7及图8说明所示，可以进行与电压波形V(t)对应的良好的液滴的喷出。另外，由于判断为污染物不在离喷嘴规定距离内，因此就不会产生由该污染物引起的飞行弯曲或命中精度的降低，从而可以进行液滴的喷出。

在步骤11中，比较储存在中央控制部150中的擦拭动作的实施次数和预先设定的规定次数，判定擦拭动作的实施次数是多于还是少于规定次数。

这样，在实施次数多于规定次数的情况(是的情况)下，判定为擦拭器83的不良(步骤11A)，中央控制部150向显示器等显示部(喷头异常显示部165)发出命令，使之显示敦促喷头20的更换的信息，流程结束(步骤11B)。另外，在实施次数少于规定次数的情况(否的情况)下，增加或减少擦拭器83向喷嘴形成面20P推压的量，或进行驱动部84的调整等(步骤11C)。并且，回到步骤4进行擦拭动作，其后基于所述的各步骤进行处理。

如上所述，本实施例中，与以往那样观察附着于喷嘴附近的液状体的异常、液状体的泡状的残存物、液状体的污物的技术不同，可以拍摄喷嘴的内部，而获得能够识认喷嘴内的弯月面的状态的图像。

另外，基于所拍摄的喷嘴内部的图像，就可以判定喷嘴的良好与否，通过根据该判定结果来改善不良的喷嘴，就可以使喷头20的全部喷嘴都处于用于进行正常的喷出的良好的状态。所以，就可以喷出与由压电元件240供给的电压波形V(t)对应的液滴Q’，另外，可以实现液滴Q’向基板P上喷出的位置的高精度化(命中位置的高精度化)、液滴量的不均的减少。

另外，由于基于判定为正常的喷嘴和不良的喷嘴的结果改善不良的喷嘴，而正常的喷嘴在该状态下使用即可，因此，与单纯地对正常的喷嘴及不良的喷嘴的液状体都相同地抽吸的情况相比，就不需要无谓地对由正常的喷嘴抽吸的液状体进行抽吸。即，由于可以节约液状体，因此就不会浪费像工业用的液状体那样高价的材料，从而可以实现生产成本的降低。

另外，由于不是简单地拍摄喷嘴的内部，而是拍摄填充于喷嘴的内部的液状体的弯月面的状态，因此就可以判定为了进行正常的液滴喷出所必需的弯月面的良好与否，通过根据该判定结果来改善不良的弯月面，就可以使全部喷嘴的弯月面都处于用于进行正常的喷出的良好的状态。

另外，由于在进行了规定次数的液滴喷出后，观察所述的喷嘴，因此就可以发现在规定次数的液滴喷出之间产生的不良喷嘴。

而且，并不限定于每隔规定次数进行喷嘴观察的方法，也可以采用在经过了规定时间后进行喷嘴观察的方法。

另外，由于将附着在喷嘴形成面20P上的液状体的残存物利用擦拭除去，因此就可以将喷嘴形成面20P保持为洁净的状态。所以，由于除去了导致飞行弯曲的液状体的残存物，因此就可以提高命中精度。

另外，由于从喷嘴形成面20P中抽吸液状体，因此就可以在不良喷嘴内填充液状体，并且可以在该不良喷嘴内形成弯月面。所以，就可以按照使不良喷嘴可以正常地进行液滴喷出的方式进行改善。

另外，在判定污染物是否在离喷嘴规定距离内的结果为判定污染物处于规定距离内的情况下，则除去该污染物，因此就可以抑制由喷嘴形成面20P上的污染物的残留引起的飞行弯曲或命中精度的降低。另外，在判定为污染物在规定距离外的情况下，污染物就不会对液滴喷出时的飞行弯曲或命中精度产生影响。所以，通过使污染物残留，就不需要除去该污染物的工序，从而可以实现工序的简单化。

另外，不需要无谓地对喷嘴形成面20P进行擦拭，从而可以最恰当地进行喷出。

另外，由于基于判定为正常的喷嘴和不良的喷嘴的结果改善不良的喷嘴，而正常的喷嘴在该状态下使用即可，因此，与单纯地对正常的喷嘴及不良的喷嘴的液状体都相同地抽吸的情况相比，就不需要无谓地对由正常的喷嘴抽吸的液状体进行抽吸。即，由于可以节约液状体，因此就不会浪费像工业用的液状体那样高价的材料，从而可以实现生产成本的降低。

而且，所述的实施方式中，虽然抽吸·擦拭单元23对多个喷嘴的全部都抽吸，但是，作为抽吸·擦拭单元23的变形例，也可以采用对形成于喷头20上的多个喷嘴当中选择性地仅抽吸一个喷嘴的构成。

这样，从不良喷嘴中选择性地抽吸液状体，就可以向该不良喷嘴内填充液状体而形成弯月面。另外，由于不从多个喷嘴当中的被判断为良好的喷嘴中抽吸液状体，因此就不会无谓地抽吸液状体。所以，例如在填充了高价的液状体的喷头中，由于不需要无谓地抽吸液状体，因此就可以实现该液状体的节约。

另外，作为抽吸·擦拭单元23的另一个变形例，也可以采用对多个喷嘴当中的、按照规定数的喷嘴分割的喷嘴区域进行抽吸的构成。

这样，仅从具有不良喷嘴的喷嘴区域中抽吸液状体，就可以向该不良喷嘴内填充液状体而形成弯月面。这里，由于不从多个喷嘴当中的具有被判断为良好的喷嘴的喷嘴区域中抽吸液状体，因此就不会无谓地抽吸液状体。所以，例如在填充了高价的液状体的喷头中，由于不需要无谓地抽吸液状体，因此就可以实现该液状体的节约。另外，在喷嘴间距微小的情况下，由于必须准备用于仅从一个喷嘴中抽吸液状体的微小的抽吸部，因此液状体的抽吸就很困难，但是，在从喷嘴区域中抽吸液状体的情况下，由于可以增大抽吸部的尺寸，因此就可以容易地进行液状体的抽吸。另外，与从全部喷嘴中抽吸液状体的情况相比，由于仅从具有不良喷嘴的喷嘴区域中抽吸液状体，因此就可以节约液状体。

(显示装置)

下面，对通过使用所述的液滴喷出装置、液滴喷出方法制造的显示装置进行说明。

(等离子型显示装置)

图15表示本实施方式的等离子型显示装置500的分解立体图。

等离子型显示装置500包含相互面对配置的基板501、501及形成于它们之间的放电显示部510。

放电显示部510是集合了多个放电室516的部分。多个放电室516当中的红色放电室516(R)、绿色放电室516(G)、蓝色放电室516(B)这3个放电室516被按照形成一对而构成1个象素的方式配置。

在基板501的上面以规定的间隔成条纹状形成地址电极511，按照覆盖地址电极511和基板501的上面的方式形成电介质层519。

在电介质层519上，按照位于地址电极511、511之间并且沿着各地址电极511的方式形成隔壁515。隔壁515包括与地址电极511的宽度方向左右两侧相邻的隔壁、沿与地址电极511正交的方向延伸设置的隔壁。另外，与由隔壁515分隔出的长方形的区域对应地形成放电室516。

另外，在由隔壁515划分的长方形的区域的内侧配置有荧光体517。荧光体517是发出红、绿、蓝任意一种荧光的物质，在红色放电室516(R)的底部配置有红色荧光体517(R)，在绿色放电室516(G)的底部配置有绿色荧光体517(G)，在蓝色放电室516(B)的底部配置有蓝色荧光体517(B)。

另一方面，在基板502上，沿与前面的地址电极511正交的方向成条纹状以规定的间隔形成有多个显示电极512。另外，按照覆盖它们的方式形成有电介质层513及由MgO等形成的保护膜514。

基板501和基板502按照使所述地址电极511...和显示电极512...相互正交的方式被相面对地相互贴合在一起。

所述地址电极511和显示电极512与图示省略的交流电源连接。通过向各电极通电，在放电显示部510中荧光体517激励发光，从而可以进行彩色显示。

在此种等离子型显示装置500中，所述地址电极511及显示电极512分别使用前面的图1所示的液滴喷出装置IJ并基于所述的液滴喷出方法、喷嘴异常判定方法而形成。此种地址电极511及显示电极512是通过将在二甲苯等溶剂中分散了金属微粒的分散液填充到液滴喷出装置IJ的喷头20中，以规定的图案进行液滴喷出动作而形成的。另外，适当使用除去溶剂的工序、烧结金属微粒的工序。

(液晶显示装置)

图16是用于说明液晶显示装置的图，图16(a)是构成液晶显示装置的图像显示区域的开关元件等各种元件及配线等的等价电路，图16(b)表示液晶显示装置的主要部分，是用于说明各象素所具有的开关元件和象素电极的构造的剖面放大图。

如图16(a)所示，液晶显示装置100形成有多个以矩阵状配置的扫描线101及数据线102、象素电极130、用于控制该象素电极130的象素开关用TFT(以下称为TFT。)110。在扫描线101中，脉冲式地供给扫描信号Q1、Q2、...、Qm，在数据线102中，供给图像信号P1、P2、...、Pn。另外，扫描线101及数据线102如后述所示，与TFT110连接，从而利用扫描信号Q1、Q2、...、Qm及图像信号P1、P2、...、Pn驱动TFT110。另外，形成将规定电平的图像信号P1、P2、...、Pn保持一定期间的存储电容120，在该存储电容120上连接有电容线103。

下面，参照图16(b)，对TFT110的构造进行说明。

如图16(b)所示，TFT110是所谓底栅极型(逆交错型)构造的TFT。作为具体的构造，将构成液晶显示装置100的基材的绝缘基板100a、形成于绝缘基板100a的表面的基底保护膜100I、栅电极110G、栅极绝缘膜110I、通道区域110C、通道保护用的绝缘膜112I以该顺序层叠。在绝缘膜112I的两侧形成高浓度N型的无定形硅膜的源区域110S及漏区域110D，在它们的表面形成有源电极111S及漏电极111D。

另外，在它们的表面侧形成有绝缘膜112I、由ITO等透明电极构成的象素电极130，象素电极130借助绝缘膜112I的接触孔与漏电极111D电连接。

这里，栅电极110G是扫描线101的一部分，另外，源电极111S是数据线102的一部分。另外，栅电极110G及扫描线101利用前面所述的图案形成方法形成。

在此种液晶显示装置100中，与扫描信号Q1、Q2、...、Qm对应地从扫描线101向栅电极110G供给电流，在栅电极110G附近产生电场，利用该电场的作用，通道区域110C成为导通状态。另外，在该导通状态下，与图像信号P1、P2、...、Pn对应地从数据线102向源电极110S供给电流，与象素电极130导通，在象素电极130和对置电极间加上电压。即，通过控制扫描信号Q1、Q2、...、Qm及图像信号P1、P2、...、Pn，就可以按照所希望的方式驱动液晶显示装置。

在此种液晶显示装置中，栅电极110G及扫描线101分别使用前面的图1所示的液滴喷出装置IJ以及基于所述的液滴喷出方法、喷嘴异常判定方法而形成。此种栅电极110G及扫描线101是通过将在二甲苯等溶剂中分散了金属微粒的分散液填充到液滴喷出装置IJ的喷头20中，以规定的图案进行液滴喷出动作而形成的。另外，适当使用除去溶剂的工序、烧结金属微粒的工序。

(场致发射显示器)

图17是用于说明场致发射显示器(以下称为FED)的图，图17(a)是表示构成FED的阴极基板和阳极基板的配置的概略构成图，图17(b)是FED当中的阴极基板所具备的驱动电路的示意图，图17(c)是表示阴极基板的主要部分的立体图。

如图17(a)所示，FED 400形成将阴极基板400a和阳极基板400b相面对配置的构成。阴极基板400a如图17(b)所示，具备栅极线401、射极线402、与该栅极线401和射极线402连接的场致发射元件403，即，形成所谓单纯矩阵驱动电路。在栅极线401中，供给门信号V1、V2、...、Vm，在射极线402中，供给射极信号W1、W2、...、Wn。另外，阳极基板400b具有由RGB构成的荧光体，该荧光体具有通过与电子接触而发光的性质。

如图17(c)所示，场致发光元件403具备与射极线402连接的发射电极403a、与栅极线401连接的栅电极403b。另外，发射电极403a具备从发射电极403a侧向栅电极403b直径缩小化的被称为射极尖端405的突起部，在与该射极尖端405对应的位置上在栅电极403b上形成孔部404，在该孔部404内配置有射极尖端405的头端。

在此种FED400中，通过控制栅极线401的门信号V1、V2、...、Vm，及射极线402的射极信号W1、W2、...、Wn，就可以向栅电极403a和发射电极403b之间供给电压，利用电解的作用，电子410从射极尖端405向孔部404移动，从射极尖端405的头端放出电子410。这里，由于该电子410和阳极基板400b的荧光体通过接触而发光，因此就可以按照所希望的方式驱动FED400。

另外，在此种FED400中，所述发射电极403a及射极线402分别使用前面的图1所示的液滴喷出装置IJ以及基于所述的液滴喷出方法、喷嘴异常判定方法形成。

此种发射电极403a及射极线402是通过将在二甲苯等溶剂中分散了金属微粒的分散液填充到液滴喷出装置IJ的喷头20中，以规定的图案进行液滴喷出动作而形成的。另外，适当使用除去溶剂的工序、烧结金属微粒的工序。

而且，本实施方式的图案形成方法并不限定于发射电极403a及射极线402，也可以适用于栅电极403b及栅极线401等其他的配线的形成方法中。

(有机电致发光显示装置)

图18是用于说明有机电致发光显示装置(以下称为有机EL装置)的图。

如图18所示，该有机EL装置301是在由基板311、电路元件部321、象素电极331、围堰部341、发光元件351、阴极361(对置电极)及密封用基板371构成的有机EL元件302上，连接了柔性基板(图示略)的配线及驱动IC(图示略)的装置。电路元件部321形成于基板311上，多个象素电极331整齐排列在电路元件部321上。此外，在各象素电极331间形成有格子状的围堰部341，在利用围堰部341产生的凹部开口344中，形成有发光元件351。阴极361形成于围堰部341及发光元件351的上部整个面上，在阴极361上层叠有密封用基板371。

电路元件部321具有底栅极型构造的TFT321a、第1层间绝缘膜321b、第2层间绝缘膜321c。TFT321a的主构成与液晶显示装置之中所述的构成相同，其说明省略。另外，第1层间绝缘膜321b及第2层间绝缘膜321c是利用本发明的层间绝缘膜的制造方法形成的部位。即，是按照使各层间绝缘膜的上面平坦的方式，与形成该层间绝缘膜的绝缘膜形成区域的凹凸部的形状对应地使膜厚变化而形成的。

发光元件351是利用液体喷出法形成的部分，并且形成于所述被平坦化了的第1层间绝缘膜321b及第2层间绝缘膜321c的上部。

此种有机EL装置301是具有使用液体喷出法形成的发光元件351的所谓高分子型有机EL装置。

包括有机EL元件的有机EL装置301的制造工艺具有：形成围堰部341的围堰部形成工序、用于恰当地形成发光元件351的等离子处理工序、形成发光元件351的发光元件形成工序、形成阴极361的对置电极形成工序、将密封用基板371层叠在阴极361上而进行密封的密封工序。

发光元件形成工序是通过在凹部开口344即象素电极331上形成空穴注入层352及发光层353来形成发光元件351的工序，包括空穴注入层形成工序和发光层形成工序。此外，空穴注入层形成工序具有将用于形成空穴注入层352的第1组合物(液状体)向各象素电极331上喷出的第1喷出工序、使所喷出的第1组合物干燥而形成空穴注入层352的第1干燥工序，发光层形成工序具有将用于形成发光层353的第2组合物(液状体)向空穴注入层352之上喷出的第2喷出工序、使所喷出的第2组合物干燥而形成发光层353的第2干燥工序。

在此种有机EL装置中，使用前面的图1所示的液滴喷出装置IJ，以及基于所述的液滴喷出方法、喷嘴异常判定方法，实施空穴注入层形成工序、发光层形成工序。

而且，所述的有机EL装置并不限定于高分子型，也可以是低分子型。

如上所述，图15～图18所示的各种显示装置由于使用前面所述的液滴喷出装置、液滴喷出方法制造，因此就可以使规定的液体材料高精度地命中规定的位置而形成配线或象素等的图案，与公知的光刻技术相比，可以实现制造工序的简单化，从而可以制造廉价的显示装置。另外，由于使用具有所述的照相机单元24(拍摄部)的液滴喷出装置制造各种显示装置，因此就可以实现液滴喷出的高精度、液滴量的不均的减少。另外，不会浪费液状体，从而可以实现生产成本的降低。

而且，作为适用本发明的制造方法的器件，具有配线图案的其他的器件也可以使用。例如，在形成于电泳装置内的配线图案的制造等中，当然也可以使用。

(电子设备)

下面，对具有所述实施方式的显示装置的电子设备的例子进行说明。

图19是作为电子设备的一个例子表示的携带电话的立体图。图19中，符号1000表示携带电话主体，表示使用以所述实施方式的制造方法制造的多层配线基板，并且具有前面所述的液晶显示装置的液晶显示部1001。

图19所示的电子设备由于具有使用所述实施方式的液滴喷出装置，并基于液滴喷出方法、喷嘴异常判定方法制造的液晶显示装置，因此与以往的设备相比，可以用更简单的制造工序精密地制造，并且可以用低成本制造。

而且，本实施方式的电子设备虽然为具有液晶显示装置的电子设备，但是也可以为具有等离子型显示装置、场致发射显示器、有机电致发光显示装置等其他的电光学装置的电子设备。

另外，并不限定于携带电话，也可以适用于手表型电子设备、文字处理器、个人电脑等携带型信息处理装置。

而且，本发明的技术范围并不限定于所述实施方式，在不脱离本发明的主旨的范围内可以施加各种变更，实施方式中所举的具体的材料或层构成及制造方法等只不过是一个例子，可以进行适当变更。

例如，本发明的制造方法并不限定于多层印刷线路的制造，可以适用于大型显示器装置等的多层配线的制造方法中。

Claims (12)

1.一种液滴喷出方法，是在使具有从喷嘴喷出液滴的喷出部的喷出头、配置在与该喷出头相面对的位置上的基板相对移动的同时，根据向所述喷出部供给的驱动信号的电压波形将所述液滴向所述基板上喷出的液滴喷出方法，其特征是，对所述喷出头的所述喷嘴内部进行拍摄。

2.根据权利要求1所述的液滴喷出方法，其特征是，基于通过拍摄所述喷嘴内部而取得的图像，判定所述喷嘴良好与否。

3.根据权利要求1或2所述的液滴喷出方法，其特征是，在拍摄所述喷嘴内部时，主要拍摄填充于所述喷嘴内部的液状体和所述喷嘴的内面的接触状态。

4.根据权利要求1至3中任意一项所述的液滴喷出方法，其特征是，在所述喷出头将所述液滴喷出规定次数后，拍摄所述喷嘴内部。

5.根据权利要求1至4中任意一项所述的液滴喷出方法，其特征是，在拍摄所述喷嘴内部前，擦拭所述喷出头的喷嘴形成面。

6.根据权利要求1至5中任意一项所述的液滴喷出方法，其特征是，关于判定的所述喷嘴良好与否的结果，在该喷嘴被判定为不良的情况下，从所述喷出头的喷嘴形成面通过所述喷嘴抽吸所述液状体。

7.根据权利要求6所述的液滴喷出方法，其特征是，所述喷出头具备多个喷嘴，关于判定的该多个喷嘴良好与否的结果，在至少一个喷嘴被判定为不良的情况下，仅通过该不良喷嘴从所述喷嘴形成面抽吸所述液状体。

8.根据权利要求6所述的液滴喷出方法，其特征是，所述喷出头具备多个喷嘴，并且具备将该多个喷嘴按照规定数目的喷嘴分割而成的多个喷嘴区域，关于判定的所述多个喷嘴良好与否的结果，在至少一个喷嘴被判定为不良的情况下，通过具有该不良喷嘴的喷嘴区域从所述喷嘴形成面抽吸所述液状体。

9.根据权利要求1至8中任意一项所述的液滴喷出方法，其特征是，拍摄残留在所述喷出头的喷嘴形成面上的液滴或污染物，判定该残留的液滴或污染物是否位于离所述喷嘴规定距离内。

10.一种液滴喷出装置，是在使具有从喷嘴喷出液滴的喷出部的喷出头、配置在与该喷出头相面对的位置上的基板相对移动的同时，根据向所述喷出部供给的驱动信号的电压波形将所述液滴向所述基板上喷出的液滴喷出装置，其特征是，具备拍摄所述喷出头的所述喷嘴内部的摄像机。

11.一种显示装置，其特征是，使用权利要求10所述的液滴喷出装置制造。

12.一种电子设备，其特征是，具备权利要求11所述的显示装置。

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