CN112751258B - 一种to激光器模组快速压配装置 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种用于TO半导体激光器模组的快速压配装置,包括主体、按钮、两组电机、滑轨、压配夹具、连接器、液压缸、压板、载物台、控制箱、丝杠,压配夹具放置在载物台上,压板位于压配夹具上方,压板由驱动机构带动上下移动,压板将放置于压配夹具内的激光器和模组铜件压配在一起,压配夹具包括层叠设置的上盘、定位板和下盘,其内对夹激光器与模组铜件,载物台上设置有定位座,定位座上表面设有定位块,下盘背离定位板的表面设有定位槽,下盘放置于定位座上,定位块嵌入定位槽中,载物台由丝杠带动沿滑轨移动,压板由液压缸驱动下压压配夹具完成压配过程。采用机械自动化代替手动激光器模组压配工作,生产效率得到大大提高。
Description
技术领域
本发明涉及半导体激光器领域,具体是一种TO激光器模组快速压配装置。
背景技术
经过几十年的发展,半导体激光器越来越被社会所熟知,并且已经在多处领域得到应用,半导体激光器的光电转换效率在60%以上,远远高于其他同类产品的光电转换效率,其能耗低,器件中热积累少、寿命长、准直性好、照明距离远等优点在社会同类行业中作为一种新兴的技术应用越来越广泛。半导体激光器所具有的各类优点决定其越来越高受到社会各界的广泛重视,已在通讯、医疗、显示、工业制作和安防等领域广泛使用,其应用范围也在逐步扩展。在半导体激光器应用领域,封装好的激光器是无法直接进行使用的,因为激光器发射的激光由LD芯片直接射出,半导体激光器工作时LD芯片产生大量的热,热量需要及时有效的排出,否则会造成激光器芯片温度过高,降低器件发光效率并诱发激光器的失效。同时单纯激光器发出的激光没有聚焦光斑发散,激光没有经过过滤颜色不纯正,所以激光器由简单器件到应用产品之前,需要将激光器压配到模组铜件上,通过激光模组铜件可以将激光器产生的热量散发出去。模组铜件上再装配上弹簧、透镜、晶体、电路板等结构,生产出各种各样结构的激光模组,最后激光模组组装成不同样式的激光应用产品,从而扩大激光器的应用范围。
激光器与模组铜件的配合在一起的工作称为TO激光器模组压配,目前该工作采用的手动单只激光器与模组铜件压配,具体操作方法是用镊子取一个洁净的模组铜件,并观看模组铜件内壁是否洁净无毛刺,检查合格方可使用。然后用镊子将激光器倒置到压力机的底板上的铜板上,然后用镊子将TO激光器倒置放到模组铜件小圆中,稍用力按压镊子初步固定激光器,将预固定压块穿过激光器管腿放置到TO激光器上(主要是保护管腿,使TO激光器均匀受力),用手扶正压块,保证激光器水平,然后慢慢的操作压力机对激光器施压,将激光器初步压入模组铜件的小圆中,然后换用方座压块,左手扶正压块,右手均匀用力将激光器压入模组铜件中,压入后每转动90°激光器压一下,肉眼观察TO激光器底部是否完全进入到模组铜件小圆中,是否处于同一平面,管帽是否处于模组铜件的正中心,合格的下传,不合格的重新压配直到合格。
手动进行TO激光器模组压配工作,工具简单但操作步骤比较繁琐,每次只能完成一套激光器模组的压配,并且需要多个角度多次压配,才能保证压配后的激光模组符合生产要求,生产效率低。手动操作难以保证压配的精度,容易造成压配的激光器在模组铜件内偏斜,从而使激光无法从模组铜件内发出,使激光模组报废无法使用,手动进行激光器模组压配的合格率较低。同时手动压配难以避免操作者与激光器直接接触,非常容易造成激光器表面污染,人体的产生的静电容易造成激光器的损坏,影响了产品质量。因此解决这一类的问题显得尤为重要,需要一结构简单、方便操作和生产效率高的TO激光器模组压配装置和压配方法,以解决目前手动TO模组压配所面临的问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种TO激光器模组快速压配装置,以解决现有技术中的问题。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:
一种TO激光器模组快速压配装置,用于将激光器和模组铜件压配在一起,激光器具有管座,设置在管座一侧的管帽和另一侧的管腿,模组铜件为一个阶梯形的圆筒,包括大圆与小圆,本发明的目的是要将激光器压入模组铜件中,使得管座插入小圆中央,管帽位于模组铜件中,管腿位于模组铜件外,管座上、管腿一侧的表面约和小圆的外端面齐平;
压配装置包括压配夹具、载物台和压板,压配夹具放置在载物台上,压板位于压配夹具上方,压板由驱动机构带动上下移动,压板将放置于压配夹具内的激光器和模组铜件压配在一起。激光器和模组铜件批量放置在压配夹具,然后压板下移,接触上压配夹具上表面,将激光器上的管座压进模组铜件的小圆中。
进一步的,压配夹具包括上盘、定位板和下盘,
上盘、定位板、下盘依次层叠设置,上盘、定位板、下盘三者垂直于层叠方向的平面定位由第一定位孔、第二定位孔和定位柱完成,定位柱设置在下盘的周边,定位柱穿过上盘、定位板表面上四周设置的第一定位孔、第二定位孔;定位柱和第一定位孔、第二定位孔之间为销孔定位,按照自由度设计,用于平面定位的定位柱以及定位孔至少有两个,
下盘朝向定位板的表面上设置若干固定柱,定位板盘面上设置若干固定孔,上盘朝向定位板的表面上设置若干压柱,压柱、固定孔、固定柱在垂直于连线方向的平面上的投影中心点相重合,压柱的外径小于固定孔孔径,压柱中心设有圆孔。
第一定位孔、第二定位孔和定位柱为了将上盘、定位板、下盘三者定位层叠,而上盘、定位板之间放入激光器,定位板、下盘之间放入模组铜件,固定柱的直径约等于大圆孔径,将模组铜件大圆朝下插嵌在下盘上,下盘上阵列分布的固定柱上分别放置一个模组铜件,然后将定位板叠放在下盘上,定位板下表面与模组铜件上小圆端面抵触,固定孔与小圆端孔保持同心,然后在固定孔内分别放入激光器,管帽朝向模组铜件,固定孔的直径略大于管座外径,待所有固定孔内都放置好激光器后,将上盘压柱方向朝下盖上,压柱中心的圆孔直径大于激光器上管腿的外接圆,以便管腿都被容纳在圆孔中,防止压配过程损伤管腿,压柱下端面的底部抵紧在管座上,之后,只要压板下降抵触上上盘上端面,然后下压,那么下压力会同时加载在所有的管座上,使得管座被压入小圆内完成压配过程。压板的下压深度通过其上方的驱动机构控制或者在定位板的厚度、压柱长度尺寸上进行控制,驱动机构的行程深度控制通过电控,另一种行程控制的原理是:设计上让定位板的厚度等于压柱长度,当上盘被压紧使得上盘下表面与定位板表面接触上时,压柱也正好完全填补固定孔的深度,管座与压柱相接触的表面正好与小圆外端面齐平,然后压板进一步往下压时,下压力不再加载在管座上,而是定位板上,阻力显著增大。
作为一种进一步方案,载物台上设置有定位座,定位座上表面设有定位块,下盘背离定位板的表面设有定位槽,下盘放置于定位座上,定位块嵌入定位槽中,上盘背离定位板的表面朝向压板。定位座和定位槽相配合,使压配夹具在载物台上精确定位固定,从而使压配夹具在装置上不会出现左右前后移动。
作为另一种进一步方案,上盘背离定位板的表面设有定位槽,圆孔贯穿压柱和上盘盘面,定位块上设有若干与圆孔投影相重合的孔,上盘放置于定位座上,定位块嵌入定位槽中,下盘背离定位板的表面朝向压板。这样设置的目的在于:当激光器的管腿较长时,如果激光器在上且管腿朝上,那么上盘就需要做得较厚以便能充分容纳管腿,而将压配夹具上下颠倒,上盘并不需要制造得较厚,长度多余的管腿可以伸出上盘的端面并被容放进定位座上的孔内。
进一步的,压配装置还包括主体、按钮、第一电机、导轨、控制箱、丝杠,载物台滑动安装在导轨上,导轨水平设置,载物台上沿导轨方向设置若干个定位座,载物台底部设有丝杠螺母并与丝杠螺纹连接,第一电机连接在丝杠的一端并驱动丝杠正反转,第一电机、导轨、控制箱均固定在主体上,按钮分别与控制箱、第一电机电连接。
载物台上的多个定位座是多个压配过程的工位,可以实现压配过程的连续进行,增大一次运行的压配数量。载物台的平移与压板的升降进行自动控制。
进一步的,压配装置还包括液压缸和第二电机,压板上方的驱动机构为液压缸,液压缸输出端与压板通过连接器连接,液压缸通过油管与控制箱相连接,第二电机设置在主体上,第二电机为液压缸提供运行动力。控制箱位于主体右侧,控制箱用于放置电器元件和液压系统,控制箱上端设有第二电机,通过第二电机的运转,带动液压系统的运行,控制液压缸的升降,液压缸位于装置最上端。
作为优化,主体下部的两侧设有若干地脚,地脚为万向可调底脚。地脚用于提高设备放置的稳定性,通过调节地脚的高度可以调节装置的水平度。
作为优化,载物台与丝杠的连接为滚珠丝杠副。滚珠丝杠副相比于普通螺纹丝杠副滑动更顺畅、阻力更小,在相同类型的驱动力下,位置精度更高。
作为优化,丝杠沿导轨方向的两侧设有护板。护板对装置起到安全防护作用。
与现有技术相比,本发明的有益效果是:本发明采用机械自动化代替手动激光器模组压配工作,生产效率得到大大提高。本装置主要采用机械结构与电气控制和液压系统相结合,使用寿命长装置精度高,维修维护方便,本装置操作简单,一键式启动,解决了手动操作步骤繁琐,操作方法难以掌握的难题,操作员只需经过简单培训后就能独立操作。本装置的压配夹具可实现激光器与模组铜件自动定位同心,确保激光器与模组铜件的压配精度,解决了手动压配精度低的难题。激光器与模组铜件压配时全部位于夹具内部,有效避免了人体与产品之间的接触,解决了人为因素造成激光器污染和人体静电造成产品损坏的问题,提高了激光器模组压配质量。本发明装置的压配夹具单个夹具可以固定很多套激光器和模组铜件,实现了装置下压一次可以完成很多套模组的压配工作,较手动单只压配工作,生产效率提高几十倍。
附图说明
为了使本发明的内容更容易被清楚地理解,下面根据具体实施例并结合附图,对本发明作进一步详细的说明。
图1是本发明的立体结构外形图;
图2是图1中载物台、压配夹具处的局部放大图;
图3是图2中载物台、压配夹具处的进一步放大图;
图4是本发明的压配夹具的立体结构示意图;
图5是本发明的压配夹具爆炸的立体结构示意图;
图6是本发明的上盘的立体结构示意图;
图7是本发明的定位板的立体结构示意图;
图8是本发明的下盘的立体结构示意图;
图9是本发明的下盘的立体结构示意图;
图10是TO激光器的立体结构示意图;
图11是模组铜件的立体结构示意图;
图12是TO激光器与模组铜件压配过程的立体结构示意图;
图13是本发明压配夹具工作原理示意图;
图14是TO激光器与模组铜件压配后的立体结构示意图。
图中:1-主体、2-按钮、3-第一电机、4-导轨、5-压配夹具、6-连接器、7-液压缸、8-压板、9-载物台、10-第二电、11-控制箱、12-地脚、13-定位座、14-丝杠、15-护板、16-定位块、17-上盘、18-定位板、19-下盘、20-第一定位孔、21-压柱、22-圆孔、23-第二定位孔、24-固定孔、25-定位柱、26-固定柱、27-定位槽、28-激光器、29-管腿、30-模组铜件、31-小圆、32-大圆、33-管座、34-管帽。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
实施例一:
一种TO激光器模组快速压配装置,用于将激光器28和模组铜件30压配在一起,图10~12示出了激光器28和模组铜件30的形状、结构,激光器28具有管座33,设置在管座33一侧的管帽34和另一侧的管腿29,模组铜件30为一个阶梯形的圆筒,包括大圆32与小圆31,如图14所示,本发明的目的是要将激光器28压入模组铜件30中,使得管座33插入小圆31中央,管帽34位于模组铜件30中,管腿29位于模组铜件30外,管座33上、管腿29一侧的表面约和小圆31的外端面齐平;
如图1~3所示,压配装置包括压配夹具5、载物台9和压板8,压配夹具5放置在载物台9上,压板8位于压配夹具5上方,压板8由驱动机构带动上下移动,压板8将放置于压配夹具5内的激光器28和模组铜件30压配在一起。激光器28和模组铜件30批量放置在压配夹具5,然后压板8下移,接触上压配夹具5上表面,将激光器28上的管座33压进模组铜件30的小圆31中。
如图4~8所示,压配夹具5包括上盘17、定位板18和下盘19,
上盘17、定位板18、下盘19依次层叠设置,上盘17、定位板18、下盘19三者垂直于层叠方向的平面定位由第一定位孔20、第二定位孔23和定位柱25完成,定位柱25设置在下盘19的周边,定位柱25穿过上盘17、定位板18表面上四周设置的第一定位孔20、第二定位孔23;定位柱25和第一定位孔20、第二定位孔23之间为销孔定位,按照自由度设计,用于平面定位的定位柱25以及定位孔至少有两个,
下盘19朝向定位板18的表面上设置若干固定柱26,定位板18盘面上设置若干固定孔24,上盘17朝向定位板18的表面上设置若干压柱21,压柱21、固定孔24、固定柱26在垂直于连线方向的平面上的投影中心点相重合,压柱21的外径小于固定孔24孔径,压柱21中心设有圆孔22。
第一定位孔20、第二定位孔23和定位柱25为了将上盘17、定位板18、下盘19三者定位层叠,而上盘17、定位板18之间放入激光器28,定位板18、下盘19之间放入模组铜件30,如图13所示,固定柱26的直径约等于大圆32孔径,将模组铜件30大圆朝下插嵌在下盘19上,下盘19上阵列分布的固定柱26上分别放置一个模组铜件30,然后将定位板18叠放在下盘19上,定位板18下表面与模组铜件30上小圆31端面抵触,固定孔24与小圆31端孔保持同心,然后在固定孔24内分别放入激光器28,管帽34朝向模组铜件30,固定孔24的直径略大于管座33外径,待所有固定孔24内都放置好激光器28后,将上盘17压柱21方向朝下盖上,压柱21中心的圆孔22直径大于激光器28上管腿29的外接圆,且压柱21的高度加上上盘17的厚度应大于管腿29的长度,以便管腿29都被容纳在圆孔22中,防止压配过程损伤管腿29,压柱21下端面的底部抵紧在管座33上,之后,只要压板8下降抵触上上盘17上端面,然后下压,那么下压力会同时加载在所有的管座33上,使得管座33被压入小圆31内完成压配过程。压板8的下压深度通过其上方的驱动机构控制或者在定位板18的厚度、压柱21长度尺寸上进行控制,驱动机构的行程深度控制通过电控,另一种行程控制的原理是:设计上让定位板18的厚度等于压柱21长度,当上盘17被压紧使得上盘17下表面与定位板18表面接触上时,压柱21也正好完全填补固定孔24的深度,管座33与压柱21相接触的表面正好与小圆31外端面齐平,然后压板8进一步往下压时,下压力不再加载在管座33上,而是定位板18上,阻力显著增大。
如图3、9所示,载物台9上设置有定位座13,定位座13上表面设有定位块16,下盘19背离定位板18的表面设有定位槽27,下盘19放置于定位座13上,定位块16嵌入定位槽27中,上盘17背离定位板18的表面朝向压板8。定位座13和定位槽27相配合,使压配夹具5在载物台9上精确定位固定,从而使压配夹具5在装置上不会出现左右前后移动。
如图1~3所示,压配装置还包括主体1、按钮2、第一电机3、导轨4、控制箱11、丝杠14,载物台9滑动安装在导轨4上,导轨4水平设置,载物台9上沿导轨4方向设置若干个定位座13,载物台9底部设有丝杠螺母并与丝杠14螺纹连接,第一电机3连接在丝杠14的一端并驱动丝杠14正反转,第一电机3、导轨4、控制箱11均固定在主体1上,按钮2分别与控制箱11、第一电机3电连接。
载物台9上的多个定位座13是多个压配过程的工位,可以实现压配过程的连续进行,增大一次运行的压配数量。载物台9的平移与压板8的升降进行自动控制。
如图1、2所示,压配装置还包括液压缸7和第二电机10,压板8上方的驱动机构为液压缸7,液压缸7输出端与压板8通过连接器6连接,液压缸7通过油管与控制箱11相连接,第二电机10设置在主体1上,第二电机10为液压缸7提供运行动力。控制箱11位于主体1右侧,控制箱11用于放置电器元件和液压系统,控制箱11上端设有第二电机10,通过第二电机10的运转,带动液压系统的运行,控制液压缸7的升降,液压缸7位于装置最上端。
如图1所示,主体1下部的两侧设有若干地脚12,地脚12为万向可调底脚。地脚12用于提高设备放置的稳定性,通过调节地脚12的高度可以调节装置的水平度。
载物台9与丝杠14的连接为滚珠丝杠副。滚珠丝杠副相比于普通螺纹丝杠副滑动更顺畅、阻力更小,在相同类型的驱动力下,位置精度更高。
丝杠14沿导轨4方向的两侧设有护板15。护板15对装置起到安全防护作用。
本装置的使用过程是:将模组铜件30大圆32方向朝下,通过大圆32插入到压配夹具5下盘19固定柱26上;待每个固定柱26上都放置好模组铜件30后,将定位板18沿着四周第二定位孔23方向插入到下盘19定位柱内25,定位板18压到模组铜件30小圆31上端,此时定位板18上的固定孔24与对应位置的模组铜件30保持同心。将激光器28管帽34方向朝下,放置到定位板18固定孔24内,待所有固定孔24内都放置好激光器28后;将上盘17压柱21方向朝下通过第一定位孔20插入到下盘19定位柱25上。同样的步骤完成所有的压配夹具5装配完成后;将所有的装配后的压配夹具5通过下端定位槽27固定到定位块16上。按下装置的启动按钮2,第一电机3转动,装置根据程序设定将压配夹具5移动到压板8下方,第二电机10自动启动,液压系统带动液压缸7向下移动,液压缸7通过连接器6带动压板8向下移动,压板8压向压配夹具5的上盘17的上端中间位置,挤压上盘17向下移动,上盘17下端的压柱21对激光器28管座33施加向下的压力,将激光器28压入到对应位置模组铜件30的小圆31内,液压缸7下降到一定高度后,激光器28与模组铜件30压配到一起。压板8自动向上移动,同时载物台9向右移动,待装置上所有的激光器28与模组铜件30都完成压配后,设备自动移动到原点,将压配夹具5从装置上取下。移除压配夹具5的上盖17和定位板18,将压配完成的模组铜件30,从夹具内取出后放置到流程盒内,完成模组铜件30的压配工作。
实施例二:
与实施例一区别在于:压配夹具5上下颠倒放置,并在定位块16上设置通孔,即:
将用于上盘17、定位板18、下盘19三者定位的定位柱25设置到位于下方的上盘17上,在定位板18上设置第二定位孔23,在下盘19上设置第一定位孔20,即将图6和图8中的定位柱25和第一定位孔20调换位置,然后三者层叠后上盘17在下、下盘19在上;
然后,上盘17背离定位板18的表面设有定位槽27,圆孔22贯穿压柱21和上盘17盘面,定位块16上设有若干与圆孔22投影相重合的孔,上盘17放置于定位座13上,定位块16嵌入定位槽27中,下盘19背离定位板18的表面朝向压板8。
这样设置的目的在于:当激光器18的管腿29较长时,如果激光器18在上且管腿29朝上,那么上盘17就需要做得较厚以便能充分容纳管腿29,而本实施例将压配夹具5上下颠倒,上盘17并不需要制造得较厚,长度多余的管腿29可以伸出上盘17的端面并被容放进定位座13上的孔内。
对于本领域技术人员而言,显然本发明不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本发明。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
Claims (6)
1.一种TO激光器模组快速压配装置,用于将激光器(28)和模组铜件(30)压配在一起,其特征在于:所述压配装置包括压配夹具(5)、载物台(9)和压板(8),所述压配夹具(5)放置在载物台(9)上,所述压板(8)位于压配夹具(5)上方,压板(8)由驱动机构带动上下移动,压板(8)将放置于压配夹具(5)内的激光器(28)和模组铜件(30)压配在一起;
所述压配夹具(5)包括上盘(17)、定位板(18)和下盘(19),
所述上盘(17)、定位板(18)、下盘(19)依次层叠设置,上盘(17)、定位板(18)、下盘(19)三者垂直于层叠方向的平面定位由第一定位孔(20)、第二定位孔(23)和定位柱(25)完成,所述定位柱(25)设置在上盘(17)或下盘(19)的周边,
当定位柱(25)设置在下盘(19)周边时:
定位柱(25)穿过上盘(17)、定位板(18)表面上四周设置的第一定位孔(20)、第二定位孔(23),
当定位柱(25)设置在上盘(17)周边时:
定位柱(25)穿过定位板(18)、下盘(19)表面上四周设置的第二定位孔(23)、第一定位孔(20);
所述下盘(19)朝向定位板(18)的表面上设置若干固定柱(26),所述定位板(18)盘面上设置若干固定孔(24),所述上盘(17)朝向定位板(18)的表面上设置若干压柱(21),所述压柱(21)、固定孔(24)、固定柱(26)在垂直于连线方向的平面上的投影中心点相重合,压柱(21)的外径小于固定孔(24)孔径,所述压柱(21)中心设有圆孔(22);
所述载物台(9)上设置有定位座(13),所述定位座(13)上表面设有定位块(16),
所述定位块(16)与下盘(19)或上盘(17)嵌合实现定位,
当定位块(16)与下盘(19)嵌合定位时:
所述下盘(19)背离定位板(18)的表面设有定位槽(27),所述下盘(19)放置于定位座(13)上,所述定位块(16)嵌入定位槽(27)中,所述上盘(17)背离定位板(18)的表面朝向压板(8);
当定位块(16)与上盘(17)嵌合定位时:
所述上盘(17)背离定位板(18)的表面设有定位槽(27),所述圆孔(22)贯穿压柱(21)和上盘(17)盘面,所述定位块(16)上设有若干与圆孔(22)投影相重合的孔,所述上盘(17)放置于定位座(13)上,所述定位块(16)嵌入定位槽(27)中,所述下盘(19)背离定位板(18)的表面朝向压板(8)。
2.根据权利要求1所述的一种TO激光器模组快速压配装置,其特征在于:所述压配装置还包括主体(1)、按钮(2)、第一电机(3)、导轨(4)、控制箱(11)、丝杠(14),所述载物台(9)滑动安装在导轨(4)上,所述导轨(4)水平设置,所述载物台(9)上沿导轨(4)方向设置若干个定位座(13),载物台(9)底部设有丝杠螺母并与丝杠(14)螺纹连接,所述第一电机(3)连接在丝杠(14)的一端并驱动丝杠(14)正反转,所述第一电机(3)、导轨(4)、控制箱(11)均固定在主体(1)上,所述按钮(2)分别与控制箱(11)、第一电机(3)电连接。
3.根据权利要求2所述的一种TO激光器模组快速压配装置,其特征在于:所述压配装置还包括液压缸(7)和第二电机(10),所述压板(8)上方的驱动机构为液压缸(7),所述液压缸(7)输出端与压板(8)通过连接器(6)连接,所述液压缸(7)通过油管与控制箱(11)相连接,所述第二电机(10)设置在主体(1)上,第二电机(10)为液压缸(7)提供运行动力。
4.根据权利要求2所述的一种TO激光器模组快速压配装置,其特征在于:所述主体(1)下部的两侧设有若干地脚(12),所述地脚(12)为万向可调底脚。
5.根据权利要求2所述的一种TO激光器模组快速压配装置,其特征在于:所述载物台(9)与丝杠(14)的连接为滚珠丝杠副。
6.根据权利要求2所述的一种TO激光器模组快速压配装置,其特征在于:所述丝杠(14)沿导轨(4)方向的两侧设有护板(15)。
Priority Applications (1)
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